JP2006337470A - 支持装置およびそれを備えた顕微鏡 - Google Patents

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Abstract

【課題】 撮像手段の光軸(視野中心)と撮像手段を支持する支持部材の回動軸(回動中心)とを容易に直交させることが可能な支持装置およびそれを備えた顕微鏡を提供する。
【解決手段】 取り付け連結部6bにはカメラ取り付け部9が固定されている。カメラ取り付け部9はカメラ当接部を有する。また、カメラ当接部の内側には、カメラ10が挿通するための孔部が設けられている。カメラ取り付け部9は、カメラ取り付け部9の孔部に挿通されたカメラ10を固定するための固定ネジ、孔部に挿通されたカメラ10をそれぞれX軸方向およびY軸方向に移動させるためのX軸調整ネジおよびY軸調整ネジ、ならびにX軸方向およびY軸方向への移動量が微調整された後、カメラ10のX軸およびY軸方向への移動を防止するための固定具を含む。
【選択図】 図1

Description

本発明は、支持装置およびそれを備えた顕微鏡に関する。
従来より、カメラが取り付けられた拡大観察用のスタンド装置が開発されている(例えば、特許文献1参照)。
ここで、上記従来のスタンド装置の概略について図面を参照しながら説明する。
図11は、従来の拡大観察用のスタンド装置を示す側面図であり、図12は、従来の拡大観察用のスタンド装置を示す正面図である。
図11に示すように、従来の拡大観察用のスタンド装置(以下、単にスタンド装置と呼ぶ)は、固定支柱120および固定支柱130を有する。固定支柱120および固定支柱130はそれぞれベース140に立設されている。
固定支柱130の上端部には回動機構130Aを介して回動支柱110が取り付けられている。
回動支柱110にはカメラ取り付け部111が取り付けられている。このカメラ取り付け部111には拡大観察用のカメラCが取り付けられている。
また、固定支柱120には、ステージ取り付け部121を介して測定対象物Wを載置するためのステージ126が取り付けられている。ステージ126は、平面を構成するX軸方向およびY軸方向に移動可能なX−Yステージからなり、ステージ取り付け部121上に止めネジ125により固定されている。なお、カメラCで撮像された測定対象物Wの拡大像は、例えば液晶ディスプレイのような表示器に表示される。
上記の回動機構130Aは、水平軸Hの周りに回動支柱110を回動可能に支持するものである。
回動機構130Aは、円筒軸受131、回動軸132および止めネジつまみ133からなる。この円筒軸受131に回動軸132が嵌合していることにより、回動軸132は水平軸Hの周りに回動する。
また、止めネジつまみ133は、円筒軸受131を貫通するように設けられており、この止めネジつまみ133を回動軸132に当接させることによって、回動軸132の不必要な回転が防止されている。
すなわち、図12において一点鎖線で示すように、回動支柱110は、鉛直線Vに対する傾斜角Aを自在に調整できるように設けられている。
回動支柱110には粗動機構150A(図11)および微調整機構160Aがそれぞれ設けられており、固定支柱120には粗動機構150Bおよび微調整機構160Bがそれぞれ設けられている。このような構成により、カメラ取り付け部111およびステージ126は、それぞれ回動支柱110および固定支柱120に対して鉛直線Vの方向(上下方向)に粗動および微調整される。
ここで、上記の粗動機構150A,150Bおよび微調整機構160A,160Bの詳細について説明する。
図11に示すように、粗動機構150A,150Bは、それぞれ回動支柱110および固定支柱120に摺動可能に設けられたスライダ112,122と、これらスライダ112,122を回動支柱110および固定支柱120にそれぞれ固定するための止めネジからなるポール固定用の粗動つまみ113,123とにより構成されている。
一方、微調整機構160A,160Bは、カメラ取り付け部111およびステージ取り付け部121にそれぞれ設けたラック(図示せず)と、スライダ112,122にそれぞれ設けたピニオン(図示せず)と、これらのラックとピニオンとを噛み合わせることにより上記ピニオンを回転させる微調整つまみ114,124とから構成されている。このような構成により、スライダ112,122に対してカメラ取り付け部111およびステージ取り付け部121がそれぞれ鉛直線Vの方向に摺動される。
このような構成を有するスタンド装置を用いることにより、高さの異なる測定対象物Wを観察する場合においても、ステージ取り付け部121を鉛直線Vの方向に摺動させることによって、カメラCの焦点が合う位置と測定対象物Wの観察ポイントとを一致させることができる。
特開2001−59599号公報
しかしながら、上記従来のスタンド装置において、カメラCの視野中心I1と回動支柱110の回動中心I2とがずれるようにカメラCがカメラ取り付け部111に取り付けられている場合、次のような問題が生じる。
すなわち、上記回動中心を基準にして回動支柱110を傾斜させたときに、回動支柱110を傾斜させないで観察する測定対象物Wの観察ポイントおよび焦点がずれてしまう。そのため、従来のスタンド装置では、回動支柱110の傾斜角Aが変更される度に、ステージ取り付け部121を上下に移動させることにより観察ポイントおよび焦点を修正しなければならず、非常に手間がかかる。特に、高倍率(例えば、100倍〜500倍)のカメラCを用いた場合には、上記観察ポイントのずれ量は著しくなる。
本発明の目的は、撮像手段の光軸(視野中心)と撮像手段を支持する支持部材の回動軸(回動中心)とを容易に直交させることが可能な支持装置およびそれを備えた顕微鏡を提供することである。
第1の発明に係る支持装置は、測定対象物を撮像する撮像手段を支持する支持装置であって、測定対象物が載置される載置面を有するステージと、撮像手段が取り付けられる取り付け手段と、取り付け手段を支持する支持部材と、支持部材を回動軸を中心として所定の面内で傾斜可能に保持する保持手段とを備え、取り付け手段は、撮像手段の光軸に直交する第1および第2の軸の方向に撮像手段を移動させる第1および第2の調整手段を含むものである。
本発明に係る支持装置においては、ステージの載置面に測定対象物が載置される。撮像手段は取り付け手段に取り付けられ、この取り付け手段は支持部材に支持される。支持部材は、回動軸を中心として所定の面内で傾斜できるよう保持手段により保持される。また、撮像手段は、取り付け手段の第1および第2の調整手段により、撮像手段の光軸に直交する第1および第2の軸の方向に移動される。
このような構成において、第1および第2の調整手段を用いることにより、回動部材の回動軸と撮像手段の光軸とを容易に直交させることができる。それにより、回動部材を傾斜させることにより測定対象物を斜め方向から観察する場合にも、測定対象物上の観察ポイントおよび焦点がずれることなく所望の観察ポイントを合焦点状態で観察することができる。特に、高倍率の撮像手段を用いた場合には、上記のような効果が顕著に現れる。
ステージは、載置面に垂直な回転軸の周りで回転可能に設けられ、ステージの回転軸と、支持部材の回動軸とが直交するようにステージおよび保持手段が配置されてもよい。
このように、ステージの回転軸と支持部材の回動軸とが直交するようにステージおよび保持手段が配置されることにより、作業者はステージの回転軸と撮像手段の光軸とを一致させることによって、撮像手段の光軸と支持部材の回動軸とを間接的に直交させることができる。この場合、作業者は、ステージを回転させつつ撮像手段により得られる画像を観察することにより、ステージの回転軸と撮像手段の光軸とを容易に一致させることができる。
取り付け手段は、孔部を有する取り付け部材と、孔部内において第1および第2の軸を含む面内で移動可能に設けられ、撮像手段が挿通される環状具とを含み、第1および第2の調整手段は、環状具の外周面に当接するとともに第1および第2の軸の方向に移動可能な第1および第2の調整部材をそれぞれ含んでもよい。
この場合、撮像手段が挿通された環状具の外周面を第1および第2の調整部材により押圧することによって、撮像手段を第1および第2の軸の方向に間接的に移動させることができる。撮像手段は第1および第2の調整部材に直接当接していないので、作業者は環状具内から撮像手段を抜き取り、環状具内に撮像手段を挿入することにより、撮像手段の取り替えを容易かつ迅速に行うことができる。
取り付け手段は、環状具の外周面を環状具の略中心を向かうように付勢する付勢手段をさらに含んでもよい。
この場合、付勢手段により、環状具は第1および第2の調整部材の先端に押圧される。それにより、作業者による第1および第2の調整部材の操作によって環状具が過度に移動されることが防止される。その結果、第1および第2の調整部材の先端が環状具に常に当接した状態で、環状具の位置を正確に調整することが可能となる。
取り付け手段は、付勢手段により付勢されている環状具の部分に当接することにより第1および第2の調整部材とともに環状具を固定する固定具をさらに含んでもよい。
この場合、第1および第2の調整部材とともに固定具により、環状具の上記孔部内における位置が確実に固定される。
支持装置は、保持手段に設けられ、撮像手段に接続されたケーブルを拘束するケーブル拘束手段をさらに備えてもよい。
この場合、ケーブルがケーブル拘束手段に拘束されていることにより、支持部材の傾斜に伴ってケーブルが接続されている撮像手段が傾斜した場合でも、撮像手段とケーブルとの接続部分におけるがたつきを防止することができるとともに、撮像手段の傾斜によるケーブルの強制的な引張りを防止することができる。それにより、撮像手段が傾斜されて測定対象物が観察される場合でも、撮像手段の位置を安定させることが可能となる。
取り付け手段は孔部を有し、支持部材は、取り付け手段の孔部に移動可能に挿通される棒状部材を含み、取り付け手段の孔部に棒状部材が挿通された状態で取り付け手段を棒状部材に固定する粗動手段をさらに備え、粗動手段は、くさび形状の先端部を有し、棒状部材は、軸方向に延びる長溝を有し、粗動手段の先端部が棒状部材の長溝に嵌合されてもよい。
この場合、棒状部材に取り付け手段を固定する場合、作業者は粗動手段を操作する。それにより、粗動手段であるポール固定つまみのくさび形状を有する先端部が、棒状部材に形成された長溝に強固に嵌合される。これにより、取り付け手段が粗動手段に対して精度良く位置決めされた状態で固定される。
また、上記長溝は、棒状部材の長さ方向に沿った所定の長さを有するので、作業者は、所定の範囲内で取り付け手段を上下に摺動させ、所望の高さの位置で粗動手段の先端部を長溝に嵌合させることによって、取り付け手段を棒状部材の所望の位置に固定することができる。
棒状部材は、軸方向の複数の位置を示す複数の目盛部を備えてもよい。
この場合、上記複数の位置には、例えば使用している撮像手段の型番または品名を示すことができる。このような構成により、作業者は、使用している撮像手段の型番または品名の位置に、取り付け手段の棒状部材に対する固定位置を容易に合わせることが可能となる。それにより、撮像手段の種類に応じて撮像手段の先端とステージとの間の距離が適切に設定される。
第2の発明に係る顕微鏡は、測定対象物を撮像する撮像手段と、測定対象物が載置される載置面を有するステージと、撮像手段が取り付けられる取り付け手段と、取り付け手段を支持する支持部材と、支持部材を回動軸を中心として所定の面内で傾斜可能に保持する保持手段とを備え、取り付け手段は、撮像手段の光軸に直交する第1および第2の軸の方向に撮像手段を移動させる第1および第2の調整手段を含むものである。
本発明に係る顕微鏡においては、ステージの載置面に測定対象物が載置される。撮像手段は取り付け手段に取り付けられ、この取り付け手段は支持部材に支持される。支持部材は、回動軸を中心として所定の面内で傾斜できるよう保持手段により保持される。また、撮像手段は、取り付け手段の第1および第2の調整手段により、撮像手段の光軸に直交する第1および第2の軸の方向に移動される。
このような構成において、第1および第2の調整手段を用いることにより、回動部材の回動軸と撮像手段の光軸とを容易に直交させることができる。それにより、回動部材を傾斜させることにより測定対象物を斜め方向から観察する場合にも、測定対象物上の観察ポイントおよび焦点がずれることなく所望の観察ポイントを合焦点状態で観察することができる。特に、高倍率の撮像手段を用いた場合には、上記のような効果が顕著に現れる。
本発明によれば、第1および第2の調整手段を用いることにより、回動部材の回動軸と撮像手段の光軸とを容易に直交させることができる。それにより、回動部材を傾斜させることにより測定対象物を斜め方向から観察する場合にも、測定対象物上の観察ポイントおよび焦点がずれることなく所望の観察ポイントを合焦点状態で観察することができる。
以下、本実施の形態に係る顕微鏡について図面を参照しながら説明する。
図1は、本実施の形態に係る顕微鏡の一例を示す斜視図である。
以下において、水平面内で直交する2方向をX軸およびY軸とし、X軸およびY軸に垂直な方向をZ軸とする。
図1に示すように、本実施の形態に係る顕微鏡100はベース1を有する。ベース1は、X軸およびY軸からなる平面上に位置する。
ベース1上の一端には、剛性を有する第1の支持台2およびこの第1の支持台2の前面に嵌め込まれるように設けられた第2の支持台3が取り付けられている。第1の支持台2が剛性を有するように形成されていることにより、除振性が向上されている。なお、第1の支持台2および第2の支持台3は一体的なものであってもよい。
第1の支持台2は、後述のカメラ10を支持するものであり、第2の支持台3は測定対象物Wを載置する後述のステージSを支持するものである。以下、これらについて詳細に説明する。
第1の支持台2は、その上部に軸受部3aを備える。軸受部3aの詳細な構造については後述する。
軸受部3aの上部は、側面から見た場合に凹形状に形成されている。第1のガイド部3bおよび第2のガイド部3cが、上記凹形状の両側の突起部としてそれぞれ形成されている。
これら第1のガイド部3bおよび第2のガイド部3cは、共にY軸方向に平行な軸を中心軸として形成された円形の孔部(後述の図に記載)を有する。これらの孔部に回動軸(後述の図に記載)がY軸方向に沿って嵌合されている。
ここで、軸受部3aにおける第1のガイド部3bと第2のガイド部3cとの間には、上記回動軸が嵌合されるための孔部(後述の図に記載)を有する連結部4が設けられている。この連結部4の孔部が上記回動軸に嵌合されていることにより、連結部4はY軸の周りに回動(傾斜)可能になっている。
また、本実施の形態では、軸受部3aの第2のガイド部3bの側方には、カメラ10に接続されるケーブルCを拘束するためのケーブル拘束具3dが設けられている。ケーブル拘束具3dは、略凹状の水平断面を有し、この凹状内の空間に上記ケーブルCが挿通されている。
連結部4には回動支柱5が取り付けられている。これにより、回動支柱5は連結部4とともにY軸の周りに回動可能になっている。すなわち、連結部4および回動支柱5は同じ回動軸(回動中心)R1を有する。
回動支柱5にはZ軸方向に摺動自在なスライダ6aが取り付けられている。このスライダ6aは、ポール固定用の粗動つまみ7により回動支柱5に固定される。粗動つまみ7による固定方法の詳細については後述する。
ここで、本実施の形態においては、スライダ6aのZ軸方向(高さ方向)における設定位置を示すための複数の目盛線5aが回動支柱5に設けられている。複数の目盛線5aの側方には、例えばカメラ10の型番または品名が示されている。それにより、作業者は、粗動つまみ7の操作によって、使用しているカメラ10の型番または品名の位置に、スライダ6aの回動支柱5に対する固定位置を容易に合わせることが可能となっている。それにより、カメラ10の種類に応じてカメラ10の先端とステージSとの間の距離が適切に設定される。
スライダ6aの前面にはZ軸方向に摺動自在な取り付け連結部6bが取り付けられている。この取り付け連結部6bを摺動させるための微調整つまみ8がスライダ6aに設けられている。なお、微調整つまみ8は、ラックおよびピニオン(共に図示せず)より構成される。
取り付け連結部6bにはカメラ取り付け部9が固定されている。カメラ取り付け部9にはカメラ10がZ軸方向に沿って取り付けられている。なお、本実施の形態におけるカメラ取り付け部9に対するカメラ10の取り付け方法の詳細およびカメラ取り付け部9の構造の詳細については後述する。
上記のような構成により、作業者は、最初にカメラ10のZ軸方向の大まかな設定位置を粗動つまみ7により調整することができ、その後、カメラ10のZ軸方向の精密な設定位置を微調整つまみ8により調整することができる。
次に、測定対象物を載置するステージSの位置設定およびステージSの取り付け構造について説明する。
上述したように、図1において、ベース1上に第2の支持台3が設けられている。第2の支持台3には、Z軸方向に摺動自在なスライダ20が取り付けられている。
スライダ20のZ軸方向(高さ方向)の位置については、第2の支持台3に設けられた調整つまみ21により調整することができる。
また、測定対象物Wが載置されるステージSは、中間連結部22を介してスライダ20に固定され回転可能に設けられているとともに、X軸方向およびY軸方向に移動可能なX−Yステージからなる。なお、回転可能なステージSは、一般的にθステージと呼ばれている。
ここで、本実施の形態においては、第2の支持台3に対して摺動可能に設けられたスライダ20の摺動を所定の上限位置で阻止するように、第2の支持台3における所定の位置に摺動阻止部23が設けられている。
この場合、作業者が調整つまみ21を操作することにより、スライダ20が上昇し、スライダ20の一部が摺動阻止部23に当接する。それにより、ステージSがZ軸方向の所定の位置に設定される。
すなわち、X軸方向から見た場合に、ステージSの上面の高さが、回動支柱5の回動軸R1の高さに一致する。ステージSの上面とは、中間連結部22が取り付けられた面と逆側の面のことである。
なお、スライダ20の一部が摺動阻止部23に当接した場合に、ステージSの上面の高さが回動支柱5の回動軸R1の高さに一致するように、予め出荷時において摺動阻止部23が第2の支持台3における所定の位置に取り付けられている。
また、本実施の形態では、Y軸方向から見た場合に、ステージSの回転軸R3のX軸方向の位置が、回動支柱5の回動軸R1のX軸方向の位置に合うように出荷時に中間連結部22の位置が調整されている。
この場合、突起部3eが軸受部3aの第2のガイド部3cにおいて回動支柱5の回動軸R1と同じ高さに設けられている。出荷時において、レーザ光等によりステージSの上面の高さが突起部3eの位置に一致するように、摺動阻止部23の位置が設定される。
次に、粗動つまみ7によるスライダ6aの固定方法について図面を参照しながら詳細に説明する。
図2は、粗動つまみ7によりスライダ6aが回動支柱5に固定されている部分を示す模式図である。図2(a)は、粗動つまみ7による固定部分の横断面図であり、図2(b)は、図1に示した顕微鏡100の一部が省略されて示された斜視図である。
図2(a)に示すように、回動支柱5は、Z軸方向に沿って形成された長溝5bを有する。また、粗動つまみ7は、その先端部がくさび形状に形成されている。
本実施の形態では、回動支柱5にスライダ6aを固定する場合、作業者は、粗動つまみ7を所定の方向に回す。この場合、粗動つまみ7のくさび形状を有する先端部が、回動支柱5に形成された長溝5bに強固に嵌合される。それにより、図2(b)に示すように、回動支柱5にスライダ6aが固定される。
また、長溝5bは、Z軸方向に沿った所定の長さを有するので、作業者は、Z軸方向の所定の範囲内でスライダ6aを上下に摺動させ、所望の高さの位置で粗動つまみ7の先端部を長溝5bに嵌合させることによって、スライダ6aを回動支柱5の所望の位置に固定することができる。
次に、カメラ取り付け部9に対するカメラ10の取り付け方法およびカメラ取り付け部9の構造について説明する。
図3(a)は、カメラ取り付け部9にカメラ10が取り付けられた状態を示す斜視図であり、図3(b)は、カメラ取り付け部9の上面図である。なお、図3(b)には、カメラ取り付け部9のみが示されており、カメラ10は示されていない。
図3(b)に示すように、カメラ取り付け部9は、カメラ当接部91を有する。また、カメラ当接部91の内側には、カメラ10が挿通するための孔部91aが設けられている。
図3(a)に示すように、カメラ10はフランジ状の当接部10aを備える。なお、当接部10aの直径は、カメラ当接部91の内径よりも大きくなっている。
カメラ10がZ軸方向に沿ってカメラ取り付け部9の孔部91aに挿通されることにより、カメラ10の当接部10aがカメラ取り付け部9のカメラ当接部91に当接する。それにより、カメラ10の高さ(Z軸方向の位置)が拘束される。
続いて、図1のカメラ10の光軸(視野中心)R2と、ステージSの回転軸R3とを一致させる方法、すなわち、カメラ10の視野中心とステージSの回転中心とを一致させる方法について説明する。
図3(b)に示すように、カメラ取り付け部9は、カメラ取り付け部9の孔部91aに挿通されたカメラ10を固定するための固定ネジ92、孔部91aに挿通されたカメラ10をそれぞれX軸方向およびY軸方向に移動させるためのX軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93b、ならびにX軸方向およびY軸方向への移動量が微調整された後、カメラ10のX軸およびY軸方向への移動を防止するための固定具94を含む。
以下、上記の固定ネジ92、X軸調整ネジ93a、Y軸調整ネジ93bおよび固定具94を用いたカメラ10のX軸方向およびY軸方向の位置決めについて説明する。
図4は、カメラ取り付け部9の断面図である。なお、図4に示すカメラ取り付け部9は、ベース1側から見た場合のものを示している。以下、ベース1側から見た場合のカメラ取り付け部9の側をカメラ取り付け部9の裏面側と呼ぶ。
図4に示すように、カメラ取り付け部9の裏面側には、カメラ取り付け部9の裏面側と逆の側(表側)に形成された上述の孔部91aの径よりも大きな径を有する略円形の孔部91bを有する。
孔部91b内には、リング状に形成された薄肉のアダプタ95が設けられている。このアダプタ95は、カメラ取り付け部9の側面に螺合された固定ネジ92に取り付けられている。
また、カメラ取り付け部9の側面には、X軸方向およびY軸方向に沿って、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bがそれぞれ螺合されている。すなわち、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bは、それぞれアダプタ95の中心に向かうように螺合されている。なお、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bの移動量は例えば2mmである。
上記X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bは、アダプタ95の外周面をX軸方向およびY軸方向にそれぞれ押圧する。作業者は、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bをそれぞれ回すことにより、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bの先端部がアダプタ95の外周面に当接する。それにより、アダプタ95は、X軸方向およびY軸方向に移動される。
カメラ10は、上記アダプタ95の内周面に当接するようにZ軸方向に沿ってアダプタ95に挿通される。
このような構成により、本実施の形態においては、カメラ10が挿通されたアダプタ95の外周面をX軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bにより押圧することによって、カメラ10をX軸方向およびY軸方向に間接的に移動させている。それにより、作業者は、カメラ10の取り替えを容易かつ迅速に行うことができる。
また、図4において、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bがアダプタ95の外周面に当接する位置を、それぞれ三角形を構成する3つの頂点における2つの頂点とした場合に、残りの1つの頂点の位置に対応するアダプタ95の外周面の位置に当接するように固定具94が設けられている。
上記固定具94によるアダプタ95の外周面の当接は、板ばね96を介して行われる。板ばね96は、その断面形状がコ字状となっており、平面部96aおよびこの平面部96aに対向する平面部96bを有する。
板ばね96の平面部96bは、止めネジ97により固定されており、平面部96aは、アダプタ95の外周面に当接され、この外周面を付勢している。それにより、アダプタ95は、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bの先端に押圧される。
作業者がX軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bを回すことにより、アダプタ95の位置を調整することが可能となる。
また、固定具94は、カメラ取り付け部9の側面に螺合された固定具当接部94aと、この固定具当接部94aに取り付けられた固定具つまみ部94bとを備える。固定具当接部94aは、板ばね96の平面部96aに当接する。
作業者により上記固定具つまみ部94bが回された場合、その回転力が固定具当接部94aに伝わる。
ここで、固定具つまみ部94bは、所定のトルクで空回りする機構(クラッチ機構)を有する。この場合、作業者が過度に固定具つまみ部94bを回し、その回転力(駆動力)が所定のトルクに達した場合、それ以上の回転力は固定具当接部94aに伝わらない。このような構成により、作業者が固定具つまみ部94を過度に操作した場合にも、固定具当接部94aによる板ばね96の平面部96aに対する過度の押圧を防止することが可能となる。それにより、カメラ10の位置決めを容易に行うことができる。
次に、顕微鏡100の回動支柱5の傾斜方法について図面を参照しながら説明する。
図5は、顕微鏡100の回動支柱5が傾斜されずにZ軸に沿って固定されている状態を示す模式図であり、図6は、顕微鏡100の回動支柱5が所望の角度に傾斜されて固定されている状態を示す模式図である。なお、図5および図6の顕微鏡100は、それらの一部が省略されて図示されているとともに、軸受部3aの第2のガイド部3bの内部構成がそれぞれ示されている。
図5に示すように、軸受部3aの第2のガイド部3b内には、回動支柱5の回動をロックするとともに解錠するための回動ロック解錠部材30が設けられている。
上記回動ロック解錠部材30は、孔部30aを有する。この孔部30aには、上述した図1の連結部4に嵌合された回動軸31が嵌合されている。
また、回動ロック解錠部材30は、上記孔部30aに連通するスリット部30bを有する。なお、このスリット部30bは、Z軸方向に沿って形成されており、例えば1〜2mmの幅を有する。
回動ロック解錠部材30の一方の側面にはスリットつまみ32が螺合されており、このスリットつまみ32は、上記スリット部30bを介して他方の側面に螺合される。
このような構成において、作業者がスリットつまみ32を回すことにより、スリットつまみ32が図5の矢印Lの方向へ進む。それにより、スリット部30bの幅が狭まることによって、このスリット部30bに連通した孔部30aの円周の長さが小さくなる。これにより、連結部4に嵌合された回動軸31の回動が拘束され、回動支柱5の回動が阻止される。
逆に、作業者がスリットつまみ32を上記と逆の方向に回すことにより、スリットつまみ32が矢印Lの逆の方向へ進む。それにより、スリット部30bの幅が拡がることによって、このスリット部に連通した孔部30aの円周の長さが大きくなる。これにより、連結部4に嵌合された回動軸31の拘束が解除され、回動支柱5を回動させることが可能となる。
続いて、作業者による回動支柱5の回動(傾斜)方法について図5および図6を参照しながら説明する。
図5において、回動軸31の端面には、円柱状に形成されるとともにその中心軸が回動軸31の中心軸と同軸の掛かり部31aが設けられている。この掛かり部31aにレバー33の長孔33aが嵌合されている。また、回動軸31の端面の周縁部において、この端面に垂直に回動当接ピン31bが設けられている。以下、レバー33の構成について説明する。
レバー33は、回動軸31の回動に伴って反時計回りに回動する回動当接ピン31bの回動を所定の角度で阻止する第1の回動規制部33bと、回動軸31の回動に伴って時計回りに回動する回動当接ピン31bの回動を所定の角度で阻止する第2の回動規制部33cとを備える。なお、上記の所定の角度とは、それぞれZ軸方向を基準(0°)とした角度である。
上記のような構成において、作業者が回動支柱5を反時計回りに例えば90°傾斜させた場合には、回動軸31の回動に伴って回動当接ピン31bがレバー33の第1の回動規制部33bに当接することによって、回動支柱5は反時計回りに90°を超える角度では傾斜されない。
また、図6に示すように、作業者が回動支柱5を時計回りに例えば60°傾斜させた場合には、回動軸31の回動に伴って回動当接ピン31bがレバー33の第2の回動規制部33cに当接することによって、回動支柱5は時計回りに60°を超える角度では傾斜されない。
このような構成により、作業者は、所定の角度の範囲で回動支柱5を傾斜させることができるとともに、回動支柱5が不用意に傾斜されることによって、高価なカメラ10がステージSに衝突し損傷を受けることが防止されている。
ここで、本実施の形態では、レバー33を用いて回動支柱5を反時計回りに90°を超える角度で傾斜させることができる。以下、この方法について説明する。
図7は、レバー33を用いて回動支柱5を反時計回りに90°を超える角度で傾斜させた状態を示す模式図である。なお、図7の顕微鏡100は、それらの一部が省略されて図示されているとともに、軸受部3aの第2のガイド部3bの内部構成が示されている。
図7に示すように、レバー33の一方の端部にはスプリングSPの一端が取り付けられている。スプリングSPの他端は、回動ロック解錠部材30に固定されている。このスプリングSPにより、レバー33は、通常の状態では、矢印Lの方向へ付勢されている。
レバー33の他方の端部は、軸受部3aの第2のガイド部3bの内部から外方へ突出するように設けられている。
作業者によりレバー33が矢印Lと逆の方向へ引っ張られた場合に、掛かり部31aに対するレバー33の長孔33aの嵌合の位置が移動することにより、レバー33は矢印Lと逆の方向へ移動する。
この場合、レバー33の第1の回動規制部33bが矢印Lと逆の方向へ移動しているので、作業者は、回動支柱5を反時計回りに90°を超える角度まで傾斜させても、回動支柱5の回動に伴って反時計回りに回動する回動当接ピン31bが第1の回動規制部33bに当接しない。それにより、作業者は、回動支柱5を反時計回りに90°を超える角度まで傾斜させることができる。
なお、上記のように、回動支柱5が反時計回りに90°を超える角度まで傾斜された場合においても、回動支柱5が所定の角度以上さらに傾斜しないようにされている。これについて以下に説明する。
図8は、回動支柱5を反時計回りに可能な限り傾斜させた状態を示す模式図である。
図8に示すように、第1の支持台2および軸受部3aの背面を覆うように背面カバー2aが設けられている。なお、上記の背面とは、第1の支持台2および軸受部3aのステージS側の面と反対側の面をいう。
本実施の形態においては、上記のカバー2aには、回動支柱5の回動に伴って時計回りおよび反時計回りに回動する回動当接ピン31bの軌跡に沿った円弧形状の孔部2bが設けられている。
カバー2aの上記孔部2bから外方へ突出するように回動当接ピン31bが設けられている。
孔部2aは、回動当接ピン31bが反時計回りに例えば120°傾斜された場合に、この回動当接ピン31bが上記120°の位置で当接する一方の端部2cと、回動当接ピン31bが時計回りに例えば70°傾斜された場合に、この回動当接ピン31bが上記70°の位置で当接する他方の端部2dとを有する。
このような構成において、上記120°の位置および上記70°の位置で回動当接ピン31bが、上記孔部2aの一方の端部2cおよび他方の端部2dにそれぞれ当接することにより、回動支柱5は、反時計回りに120°を超える角度に向かって傾斜されることがなく、また、時計回りに70°を超える角度に向かって傾斜されることがない。それにより、安全性およびカメラ10の保護性が向上されている。なお、上記120°および70°は例示であり、これに限定されず、上記120°が例えば110°であってもよく、上記70°が例えば75°であってもよい。
次に、本実施の形態における軸受部3aの詳細な構造およびこの軸受部3aに対する連結部4の取り付け方法について説明する。
図9は、軸受部3a、回動軸31および連結部4が組み立てられる前の状態を示す模式図であり、図10(a)は、連結部4が回動軸31を介して軸受部3aに取り付けられた状態を示す正面図であり、図10(b)は、図10(a)のAA線断面図である。
以下、軸受部3aの詳細な構造および軸受部3aに対する連結部4の取り付け方法について、理解を容易にするため、図9および図10(b)を同時に参照しながら説明する。
図9および図10(b)に示すように、連結部4は孔部4aを有し、軸受部3aの第1のガイド部3bは孔部3fを有し、軸受部3aの第2のガイド部3cは孔部3gを有する。
これら孔部4a、孔部3fおよび孔部3gの各中心軸は、連結部4が第1のガイド部3bと第2のガイド部3cとの間に設けられた場合において、それぞれ同軸となる。
第1の支持台2および軸受部3aの背面を覆うための図8のカバー2aが取り付けられる前に、回動ロック解錠部材30が軸受部3aの背面側における所定の位置に取り付けられる。
軸受部3aの第1のガイド部3bと第2のガイド部3cとの間に連結部4が設けられる。この際に、連結部4の両面ならびに第1のガイド部3bおよび第2のガイド部3cの一方の面にそれぞれ密着するように、第1のベアリング40および第2のベアリング41がそれぞれ設けられる。
上記の状態で、回動軸31が、回動ロック解錠部材30の孔部30a、第1のガイド部3bの孔部3f、第2のベアリング41、連結部4の孔部4a、第1のベアリング40および第2のガイド部3cの孔部3gにそれぞれ嵌合される。
ここで、本実施の形態では、回動軸31は、回動軸部34およびこの回動軸部34と同軸で径大な円柱状に形成された回動調節部35を有している。
回動軸31の上記回動調節部35が回動ロック解錠部材30の孔部30aに嵌合される。回動調節部35は、その側面においてY軸方向に沿って複数の直線状凸部からなるプランジャ当接部36が、例えば15°間隔でそれぞれ設けられている。また、回動ロック解錠部材30には、プランジャ用孔部30cが設けられている。
回動ロック解錠部材30の孔部30aに回動調節部35が嵌合された場合に、プランジャ37が回動ロック解錠部材30の孔部30aに向かって上記プランジャ用孔部30cに嵌合される。
この場合、回動軸31の回動に伴って、プランジャ37が所定の間隔で設けられたプランジャ当接部36に当接することにより、作業者は、図1の回動支柱5の傾斜角度を把握し易くなるとともに、回動支柱5が急激に傾斜されることが防止される。
回動軸31の回動軸部34には、その断面の中心点を通るようにZ軸方向に沿って複数の連結用孔部31cが設けられている。
回動軸31が、回動ロック解錠部材30の孔部30a、第1のガイド部3bの孔部3f、ベアリング41、連結部4の孔部4a、ベアリング40および第2のガイド部3cの孔部3gにそれぞれ嵌合された後に、上記連結用孔部31cを介して止めネジ38により回動軸部34が連結部4に固定される。このような構成により、連結部4の回動に伴って回動軸31も回動する。
また、本実施の形態では、ストッパー44を第1のガイド部3bの上方から、回動ロック解錠部材30に設けられた垂直用孔部30dおよび回動調節部35に設けられた垂直用孔部35aに嵌合させることにより、連結部4の回動を阻止することができる。それにより、回動支柱5を傾斜させることなく垂直に固定させることができる。
なお、第2のガイド部3cの孔部3gを覆うように、ステージS側から蓋42が取り付けられる。蓋42は孔部42aを有する。この孔部42aを介して固定ネジ43が、回動軸31の端面に設けられた孔部31dに嵌合されている。
本実施の形態においては、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bを用いることにより、Y軸方向から見た場合における回動支柱5の回動中心とカメラ10の光軸R2とを容易に一致させることができる。すなわち、回動支柱5の回動軸R1とカメラ10の光軸R2とを容易に直交させることができる。それにより、回動支柱5を傾斜させることにより測定対象物Wを斜め方向から観察する場合にも、測定対象物W上の観察ポイントおよび焦点がずれることなく所望の観察ポイントを合焦点状態で観察することができる。特に、高倍率(例えば、100倍〜500倍)のカメラ10を用いた場合には、上記のような効果が顕著に現れる。
ここで、上記のように、ステージSの回転軸R3とカメラ10の光軸R2とが一致しているか否かの判断は以下のように行われる。
最初に、カメラ10により測定対象物Wが載置されていないステージS上の画像をディスプレイ(図示せず)の画面に表示する。そして、ステージSを回転させる。
この場合において、ステージS上の目印となるもの(例えば、凹凸および傷等)の画像がディスプレイの画面の中心を基準として円を描くように移動する。ここで、画面上で回転する画像の回転中心にある目印(例えば、凹凸および傷等)の位置がステージSの回転中心に相当する。したがって、画像の回転中心にある上記目印が画面の中心と一致すれば、ステージSの回転軸R3とカメラ10の光軸R2とが一致していると判断される。
逆に、画像の回転中心にある目印が画面の中心から外れていれば、ステージSの回転軸R3とカメラ10の光軸R2とが一致していないと判断される。
このように、ステージSの回転軸R3とカメラ10の光軸R2とが一致していない場合、作業者は、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bを用いることにより、ステージSの回転軸R3とカメラ10の光軸R2とを一致させることができる。回動支柱5の回動軸R1とステージSの回転軸R3とは直交するように予め設定されているので、作業者は、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bを用いてステージSの回転軸R3をカメラ10の光軸R2に一致させることにより、回動支柱5の回動軸R1をカメラ10の光軸R2に直交させることができる。
また、より良い方法として、所定のソフトウェアを用いて上記ディスプレイの画面上に、例えば直径10mmの円を描いておく。そして、ステージSが回転された場合に、画像の回転中心にある目印が上記直径10mmの円内に入るように移動すれば、ステージSの回転軸R3とカメラ10の光軸R2とが一致していると判断される。
逆に、画像の回転中心にある目印が上記直径10mmの円内に入るように移動しなければ、すなわち、上記直径10mmの円内から外れるようであれば、ステージSの回転軸R3とカメラ10の光軸R2とが一致していないと判断される。
なお、上記のようなステージS上の凹凸および傷等の目印の代わりに、ステージSがX軸方向およびY軸方向に移動しないように拘束されるのであれば、例えばステージS上に目印となる刻印を設けておいてもよいし、印を付けておいてもよい。
これらの結果、カメラ10を交換した場合でも、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bを用いることにより、Y軸方向から見た場合における回動支柱5の回動中心とカメラ10の光軸R2とを容易に一致させることができる。すなわち、回動支柱5の回動軸R1をカメラ10の光軸R2に容易に直交させることができる。したがって、種々のカメラ10を容易に使用することができる。
また、通常、作業者は、回動ロック解錠部材30による回動軸31の拘束を解除し、測定対象物Wの観察を行いながら回動支柱5を時計回りまたは反時計回りに幾度となく傾斜させる。この場合、回動軸31には大きな負荷が加わる。
本実施の形態では、回動軸31が嵌合されている連結部4が第1のベアリング40および第2のベアリング41により両側から支持されているので、回動軸31が水平方向から傾くことが確実に防止される。
さらに、本実施の形態においては、ケーブルCがケーブル拘束具3dに挿通され拘束されていることにより、回動支柱5の傾斜に伴って上記ケーブルCが接続されているカメラ10が傾斜した場合でも、カメラ10とケーブルCとの接続部分におけるがたつきを防止することができるとともに、カメラ10の傾斜によるケーブルCの強制的な引張りを防止することができる。それにより、カメラ10が傾斜されて測定対象物Wが観察される場合でも、カメラ10の位置を安定させることが可能となる。
本実施の形態においては、カメラ10が撮像手段に相当し、カメラ取り付け部9、スライダ6aおよび取り付け連結部6bが取り付け手段に相当し、回動支柱5が支持部材および棒状部材に相当し、第1の支持台2および軸受部3aが保持手段に相当し、X軸方向およびY軸方向がそれぞれ第1および第2の軸の方向に相当し、X軸調整ネジ93aが第1の調整手段および第1の調整部材に相当し、Y軸調整ネジ93bが第2の調整手段および第2の調整部材に相当する。
また、本実施の形態においては、アダプタ95が環状具に相当し、板ばね96が付勢手段に相当し、ケーブル拘束具3dがケーブル拘束手段に相当し、粗動つまみ7が粗動手段に相当し、目盛線5aが目盛部に相当する。
本発明に係る顕微鏡は、各種試料の観察等に利用することができる。
本実施の形態に係る顕微鏡の一例を示す斜視図である。 粗動つまみによりスライダが回動支柱に固定されている部分を示す模式図である。 (a)は、カメラ取り付け部にカメラが取り付けられた状態を示す斜視図であり、(b)は、カメラ取り付け部の上面図である。 カメラ取り付け部の断面図である。 顕微鏡の回動支柱が傾斜されずにZ軸に沿って固定されている状態を示す模式図である。 顕微鏡の回動支柱が所望の角度に傾斜されて固定されている状態を示す模式図である。 レバーを用いて回動支柱を反時計回りに90°を超える角度まで傾斜させた状態を示す模式図である。 回動支柱を反時計回りに可能な限り傾斜させた状態を示す模式図である。 軸受部、回動軸および連結部が組み立てられる前の状態を示す模式図である。 (a)は、連結部が回動軸を介して軸受部に取り付けられた状態を示す正面図であり、(b)は、(a)のAA線断面図である。 従来の拡大観察用のスタンド装置を示す側面図である。 従来の拡大観察用のスタンド装置を示す正面図である。
符号の説明
1 ベース
2 第1の支持台
3 第2の支持台
3a 軸受部
3b 第1のガイド部
3c 第2のガイド部
3d ケーブル拘束具
3e 突起部
4 連結部
5 回動支柱
5a 目盛線
5b 長溝
6a スライダ6a
6b 取り付け連結部
7 粗動つまみ
8 微調整つまみ
9 カメラ取り付け部
10 カメラ
30 回動ロック解錠部材
31 回動軸
34 回動軸部
35 回動調節部
36 プランジャ当接部
37 プランジャ
38 止めネジ
40 第1のベアリング
41 第2のベアリング
44 ストッパー
91 カメラ当接部
91b 孔部
92 固定ネジ
93a X軸調整ネジ
93b Y軸調整ネジ
94 固定具
94a 固定具当接部
94b 固定具つまみ部
95 アダプタ
96 板ばね
96a,96b 平面部
97 止めネジ
100 顕微鏡
C ケーブル
R1 回動軸
R2 光軸
R3 回転軸
S ステージ
W 測定対象物

Claims (9)

  1. 測定対象物を撮像する撮像手段を支持する支持装置であって、
    前記測定対象物が載置される載置面を有するステージと、
    前記撮像手段が取り付けられる取り付け手段と、
    前記取り付け手段を支持する支持部材と、
    前記支持部材を回動軸を中心として所定の面内で傾斜可能に保持する保持手段とを備え、
    前記取り付け手段は、前記撮像手段の光軸に直交する第1および第2の軸の方向に前記撮像手段を移動させる第1および第2の調整手段を含むことを特徴とする支持装置。
  2. 前記ステージは、前記載置面に垂直な回転軸の周りで回転可能に設けられ、
    前記ステージの回転軸と、前記支持部材の回動軸とが直交するように前記ステージおよび前記保持手段が配置されたことを特徴とする請求項1記載の支持装置。
  3. 前記取り付け手段は、
    孔部を有する取り付け部材と、前記孔部内において前記第1および第2の軸を含む面内で移動可能に設けられ、前記撮像手段が挿通される環状具とを含み、
    前記第1および第2の調整手段は、
    前記環状具の外周面に当接するとともに前記第1および第2の軸の方向に移動可能な第1および第2の調整部材をそれぞれ含むことを特徴とする請求項1または2記載の支持装置。
  4. 前記取り付け手段は、前記環状具の前記外周面を前記環状具の略中心を向かうように付勢する付勢手段をさらに含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の支持装置。
  5. 前記取り付け手段は、前記付勢手段により付勢されている前記環状具の部分に当接することにより前記第1および第2の調整部材とともに前記環状具を固定する固定具をさらに含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の支持装置。
  6. 前記保持手段に設けられ、前記撮像手段に接続されたケーブルを拘束するケーブル拘束手段をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の支持装置。
  7. 前記取り付け手段は孔部を有し、
    前記支持部材は、前記取り付け手段の孔部に移動可能に挿通される棒状部材を含み、
    前記取り付け手段の前記孔部に前記棒状部材が挿通された状態で前記取り付け手段を前記棒状部材に固定する粗動手段をさらに備え、
    前記粗動手段は、くさび形状の先端部を有し、
    前記棒状部材は、軸方向に延びる長溝を有し、
    前記粗動手段の前記先端部が前記棒状部材の前記長溝に嵌合されることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の支持装置。
  8. 前記棒状部材は、軸方向の複数の位置を示す複数の目盛部を備えたことを特徴とする請求項7記載の支持装置。
  9. 測定対象物を撮像する撮像手段と、
    前記測定対象物が載置される載置面を有するステージと、
    前記撮像手段が取り付けられる取り付け手段と、
    前記取り付け手段を支持する支持部材と、
    前記支持部材を回動軸を中心として所定の面内で傾斜可能に保持する保持手段とを備え、
    前記取り付け手段は、前記撮像手段の光軸に直交する第1および第2の軸の方向に前記撮像手段を移動させる第1および第2の調整手段を含むことを特徴とする顕微鏡。
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Cited By (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009180764A (ja) * 2008-01-29 2009-08-13 Moritex Corp カメラスタンド
JP2010014859A (ja) * 2008-07-02 2010-01-21 Mitsutoyo Corp 顕微鏡
JP2010169938A (ja) * 2009-01-23 2010-08-05 Nikon Corp レンズ鏡筒及び光学機器
JP2010286681A (ja) * 2009-06-12 2010-12-24 Nikon Corp レンズ鏡筒及び光学機器
JP2011022461A (ja) * 2009-07-17 2011-02-03 Nikon Corp 光学装置及び光学機器
JP2011158632A (ja) * 2010-01-29 2011-08-18 Nikon Corp 光学装置及び光学機器
JP2012145722A (ja) * 2011-01-12 2012-08-02 Keyence Corp レンズモジュール、該レンズモジュールを用いた拡大観察装置、及び拡大観察方法
DE102012217281A1 (de) 2011-10-07 2013-04-11 Keyence Corporation Vergrösserungsbeobachtungsvorrichtung
JP2014056060A (ja) * 2012-09-11 2014-03-27 Keyence Corp 光学顕微鏡
JP2015127773A (ja) * 2013-12-27 2015-07-09 株式会社キーエンス 拡大観察装置
JP2015219287A (ja) * 2014-05-14 2015-12-07 オリンパス株式会社 顕微鏡システム
CN105487213A (zh) * 2014-10-06 2016-04-13 徕卡显微系统(瑞士)股份公司 具有径向柱塞制动系统的数字显微镜
JP2016075909A (ja) * 2014-10-06 2016-05-12 ライカ マイクロシステムズ (シュヴァイツ) アクチエンゲゼルシャフトLeica Microsystems (Schweiz) AG クリックストップ機構を備えたデジタル顕微鏡
JP2016075908A (ja) * 2014-10-06 2016-05-12 ライカ マイクロシステムズ (シュヴァイツ) アクチエンゲゼルシャフトLeica Microsystems (Schweiz) AG ばね支持された旋回可能なユニットを備えるデジタル顕微鏡
US9690088B2 (en) 2013-12-27 2017-06-27 Keyence Corporation Magnifying observation apparatus, magnified image observing method and computer-readable recording medium
US9690089B2 (en) 2013-12-27 2017-06-27 Keyence Corporation Magnifying observation apparatus, magnified image observing method and computer-readable recording medium
US9726873B2 (en) 2013-12-27 2017-08-08 Keyence Corporation Microscope and magnifying observation method using the same
JP2017530419A (ja) * 2014-10-06 2017-10-12 ライカ マイクロシステムズ (シュヴァイツ) アクチエンゲゼルシャフトLeica Microsystems (Schweiz) AG 旋回可能に支持された旋回ユニットを備えるユーセントリックデジタル顕微鏡
CN108303792A (zh) * 2018-04-04 2018-07-20 殷跃锋 一种可二级调整垂直的显微镜的调整方法
JP2019203966A (ja) * 2018-05-22 2019-11-28 富士通コンポーネント株式会社 撮像装置
JP2020034736A (ja) * 2018-08-30 2020-03-05 株式会社キーエンス 拡大観察装置
US10895733B2 (en) 2015-12-22 2021-01-19 Olympus Corporation Microscope system

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06160725A (ja) * 1992-11-20 1994-06-07 Olympus Optical Co Ltd 鏡筒およびアダプター
JPH0735645A (ja) * 1993-07-23 1995-02-07 Sony Corp 液晶パネルの検査装置
JPH07123300A (ja) * 1993-10-25 1995-05-12 Casio Comput Co Ltd 撮像用スタンド
JPH08340472A (ja) * 1995-06-14 1996-12-24 Canon Inc 画像入力装置
JP2001059599A (ja) * 1999-06-15 2001-03-06 Keyence Corp 拡大観察用のスタンド装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06160725A (ja) * 1992-11-20 1994-06-07 Olympus Optical Co Ltd 鏡筒およびアダプター
JPH0735645A (ja) * 1993-07-23 1995-02-07 Sony Corp 液晶パネルの検査装置
JPH07123300A (ja) * 1993-10-25 1995-05-12 Casio Comput Co Ltd 撮像用スタンド
JPH08340472A (ja) * 1995-06-14 1996-12-24 Canon Inc 画像入力装置
JP2001059599A (ja) * 1999-06-15 2001-03-06 Keyence Corp 拡大観察用のスタンド装置

Cited By (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009180764A (ja) * 2008-01-29 2009-08-13 Moritex Corp カメラスタンド
JP2010014859A (ja) * 2008-07-02 2010-01-21 Mitsutoyo Corp 顕微鏡
JP2010169938A (ja) * 2009-01-23 2010-08-05 Nikon Corp レンズ鏡筒及び光学機器
JP2010286681A (ja) * 2009-06-12 2010-12-24 Nikon Corp レンズ鏡筒及び光学機器
US8917461B2 (en) 2009-07-17 2014-12-23 Nikon Corporation Optical device and optical instrument
JP2011022461A (ja) * 2009-07-17 2011-02-03 Nikon Corp 光学装置及び光学機器
US8437096B2 (en) 2010-01-29 2013-05-07 Nikon Corporation Optical device and optical instrument
JP2011158632A (ja) * 2010-01-29 2011-08-18 Nikon Corp 光学装置及び光学機器
JP2012145722A (ja) * 2011-01-12 2012-08-02 Keyence Corp レンズモジュール、該レンズモジュールを用いた拡大観察装置、及び拡大観察方法
DE102012217281A1 (de) 2011-10-07 2013-04-11 Keyence Corporation Vergrösserungsbeobachtungsvorrichtung
US8994810B2 (en) 2011-10-07 2015-03-31 Keyence Corporation Magnification observation device
DE102012217281B4 (de) 2011-10-07 2022-08-25 Keyence Corporation Vergrösserungsbeobachtungsvorrichtung
JP2014056060A (ja) * 2012-09-11 2014-03-27 Keyence Corp 光学顕微鏡
US9690088B2 (en) 2013-12-27 2017-06-27 Keyence Corporation Magnifying observation apparatus, magnified image observing method and computer-readable recording medium
JP2015127773A (ja) * 2013-12-27 2015-07-09 株式会社キーエンス 拡大観察装置
US9726873B2 (en) 2013-12-27 2017-08-08 Keyence Corporation Microscope and magnifying observation method using the same
US9690089B2 (en) 2013-12-27 2017-06-27 Keyence Corporation Magnifying observation apparatus, magnified image observing method and computer-readable recording medium
JP2015219287A (ja) * 2014-05-14 2015-12-07 オリンパス株式会社 顕微鏡システム
JP2016075907A (ja) * 2014-10-06 2016-05-12 ライカ マイクロシステムズ (シュヴァイツ) アクチエンゲゼルシャフトLeica Microsystems (Schweiz) AG ラジアルピストン制動システムを備えるデジタル顕微鏡
JP2016075909A (ja) * 2014-10-06 2016-05-12 ライカ マイクロシステムズ (シュヴァイツ) アクチエンゲゼルシャフトLeica Microsystems (Schweiz) AG クリックストップ機構を備えたデジタル顕微鏡
JP2017530419A (ja) * 2014-10-06 2017-10-12 ライカ マイクロシステムズ (シュヴァイツ) アクチエンゲゼルシャフトLeica Microsystems (Schweiz) AG 旋回可能に支持された旋回ユニットを備えるユーセントリックデジタル顕微鏡
US10015451B2 (en) 2014-10-06 2018-07-03 Leica Microsystems (Schweiz) Ag Digital microscope having a spring-mounted pivotable unit
US10018820B2 (en) 2014-10-06 2018-07-10 Leica Microsystems (Schweiz) Ag Digital microscope having a click stop
US10018821B2 (en) 2014-10-06 2018-07-10 Leica Microsystems (Schweiz) Ag Digital microscope having a radial-piston brake system
JP2016075908A (ja) * 2014-10-06 2016-05-12 ライカ マイクロシステムズ (シュヴァイツ) アクチエンゲゼルシャフトLeica Microsystems (Schweiz) AG ばね支持された旋回可能なユニットを備えるデジタル顕微鏡
US10185136B2 (en) 2014-10-06 2019-01-22 Leica Microsystems (Schweiz) Ag Eucentric digital microscope having a pivotally mounted pivot unit
CN105487213A (zh) * 2014-10-06 2016-04-13 徕卡显微系统(瑞士)股份公司 具有径向柱塞制动系统的数字显微镜
US10895733B2 (en) 2015-12-22 2021-01-19 Olympus Corporation Microscope system
CN108303792A (zh) * 2018-04-04 2018-07-20 殷跃锋 一种可二级调整垂直的显微镜的调整方法
JP2019203966A (ja) * 2018-05-22 2019-11-28 富士通コンポーネント株式会社 撮像装置
JP2020034736A (ja) * 2018-08-30 2020-03-05 株式会社キーエンス 拡大観察装置
JP7092619B2 (ja) 2018-08-30 2022-06-28 株式会社キーエンス 拡大観察装置

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