JP2006337050A - Ic handler - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To shorten the tact time at transfer of electronic components between an inspection socket and a plurality of trays. <P>SOLUTION: The IC handler comprises an inspection socket 6 provided at an end part of the base 2; a stocker 11 for the plurality of trays provided on the base 2, arranged in the horizontal direction (X direction) perpendicular to the direction (Y direction), leaving from the inspection socket 6; the tray support device 12 for transferring the trays between the stocker 11, moving the trays in the X direction and in the Y direction, and also supporting the plurality of trays, while aligning the trays in X direction; and the component-moving devices 3 and 4 for sucking the electronic components on the trays of the tray support device 12, then loading to the inspection socket 6, and the electronic components are transferred to the tray of the tray supporting device 12, after the inspection is finished. Herein, the tray support device 12 is arranged in between the inspection socket 6 and the stocker 11 and is installed in the movable range of the component moving devices 3 and 4. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、未検査部品用トレイ上で吸着した電子部品を放すことなく検査用ソケットに装填し、検査後の電子部品を良品トレイまたは不良品トレイに移載する部品移動装置を装備したICハンドラーに関するものである。   The present invention provides an IC handler equipped with a component moving device for loading an electronic component adsorbed on an uninspected component tray into an inspection socket without releasing it, and transferring the inspected electronic component to a non-defective product tray or a defective product tray. It is about.
従来のこの種のICハンドラーとしては、例えば特許文献1に開示されたものがある。この特許文献1に示されているICハンドラーでは、部品検査装置に電子部品を接続するための検査用ソケットが基台の一側部に設けられ、この検査用ソケットから離間する方向(以下、この方向を単にY方向という)に複数の電子部品収納用のトレイが一列に並ぶ状態で設けられている。   A conventional IC handler of this type is disclosed in Patent Document 1, for example. In the IC handler shown in Patent Document 1, an inspection socket for connecting an electronic component to a component inspection apparatus is provided on one side of a base, and a direction away from the inspection socket (hereinafter referred to as “this”). A plurality of electronic component storage trays are provided in a row in a direction (referred to simply as the Y direction).
これらのトレイは、未検査部品用トレイと、良品用トレイおよび不良品用トレイなどがあり、前記Y方向とは直交する水平方向(以下、この方向を単にX方向という)にトレイ移動装置によって移動し、これらのトレイと平行に並ぶように設けられたストッカーに対して出入れされる。これらのストッカーは、トレイと平行に並ぶように複数設けられている。前記未検査部品用トレイには、未検査の電子部品が収納され、良品用トレイには、検査後に良品であると判定された電子部品が収納され、不良品用トレイには、検査後に不良品と判定された電子部品が収納される。   These trays include an uninspected component tray, a non-defective product tray, a defective product tray, and the like, and are moved by a tray moving device in a horizontal direction orthogonal to the Y direction (hereinafter, this direction is simply referred to as the X direction). The stocker is placed in and out of the stocker arranged in parallel with these trays. A plurality of these stockers are provided in parallel with the tray. The uninspected component tray stores uninspected electronic components, the good product tray stores electronic components that are determined to be non-defective after inspection, and the defective product tray has defective products after the inspection. Are stored.
前記未検査部品用トレイに収納された電子部品は、吸着ノズルを有する部品移動装置によってトレイから取出されて検査用ソケットに装填され、検査終了後に良品用トレイまたは不良品用トレイに移載される。
前記部品移動装置は、前記複数のトレイと平行にY方向に延びるレールと、このレールに沿って平行に移動可能でかつX方向に移動可能に構成されたヘッドユニットとを備えている。このヘッドユニットには、前記吸着ノズルを昇降させる吸着ヘッドが設けられている。
特開2003−262658号公報(第1図)
The electronic components stored in the uninspected component tray are taken out of the tray by a component moving device having a suction nozzle, loaded in an inspection socket, and transferred to a non-defective product tray or a defective product tray after the inspection is completed. .
The component moving device includes a rail extending in the Y direction in parallel with the plurality of trays, and a head unit configured to be movable in parallel along the rail and movable in the X direction. The head unit is provided with a suction head for raising and lowering the suction nozzle.
Japanese Patent Laid-Open No. 2003-262658 (FIG. 1)
特許文献1に記載された従来のICハンドラーでは、トレイから検査ソケットまで未検査部品を運搬するに際し、吸着ヘッドによる1回の吸着保持のみで電子部品を運搬できる。このため、トレイ受け渡し回数が減るので電子部品の損傷や、いずれかの電子部品運搬手段が故障することによる操業率の低下等の可能性を小さくすることができる。しかも、検査用ソケットからトレイまで検査済み部品を運搬するに際しても同じ吸着ヘッドによる1回の吸着保持のみで電子部品を運搬でき、より一層電子部品の損傷や、いずれかの電子部品運搬手段が故障することによる操業率の低下等の可能性を小さくすることができる。   In the conventional IC handler described in Patent Document 1, when an uninspected part is transported from the tray to the inspection socket, the electronic part can be transported by only one suction holding by the suction head. For this reason, since the number of times of tray delivery is reduced, it is possible to reduce the possibility of damage to the electronic components and a decrease in the operation rate due to failure of any electronic component transporting means. Moreover, even when inspected parts are transported from the inspection socket to the tray, the electronic parts can be transported with only one suction holding by the same suction head, and the electronic parts are further damaged or any of the electronic part transporting means breaks down. It is possible to reduce the possibility of a decrease in the operation rate due to the operation.
しかしながら、特許文献1に記載された従来のICハンドラーは、検査用ソケットから離間する方向にトレイが並べられている。このため、検査用ソケットから大きく離間した位置にあるトレイから電子部品を取出す場合や、このような位置にあるトレイに検査後の電子部品を載置する場合には、電子部品の移動距離が長くなり、タクトタイムが長くなるという問題があった。   However, in the conventional IC handler described in Patent Document 1, trays are arranged in a direction away from the inspection socket. For this reason, when an electronic component is taken out from a tray that is far away from the inspection socket, or when an electronic component after inspection is placed on the tray at such a position, the moving distance of the electronic component is long. As a result, there is a problem that the tact time becomes long.
本発明はこのような問題を解消するためになされたもので、検査用ソケットと複数のトレイとの間で電子部品を移動させるに当たり、タクトタイムを短縮することができるICハンドラーを提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve such problems, and it is an object of the present invention to provide an IC handler capable of shortening tact time when moving an electronic component between an inspection socket and a plurality of trays. Objective.
この目的を達成するために、本発明に係るICハンドラーは、被検査用電子部品が装填される複数の検査用ソケットを一端部において支持する基台と、前記検査用ソケットから離間する方向とは直交する水平方向に並ぶように基台に複数設けられたトレイ用ストッカーと、前記ストッカーとの間でトレイの受け渡しが行われるとともに、トレイをストッカーの並ぶ方向と、この方向とは直交する水平方向とに移動させ、複数のトレイをストッカーと平行に並べて支持するトレイ支持装置と、前記トレイ支持装置に支持された未検査部品用トレイ上で吸着した未検査の電子部品を前記検査用ソケットに装填しかつ検査終了後の電子部品をトレイ支持装置の検査済み部品用トレイに移載する部品移動装置とを備えてなり、前記トレイ支持装置を、前記検査用ソケットと前記ストッカーとの間であって、前記部品移動装置の動作可能範囲に設けたものである。   In order to achieve this object, an IC handler according to the present invention includes a base that supports a plurality of inspection sockets loaded with electronic components to be inspected at one end, and a direction away from the inspection socket. A plurality of tray stockers arranged on the base so as to be arranged in a horizontal direction perpendicular to each other, and the trays are transferred between the stockers, and the tray is arranged in the horizontal direction in which the stockers are arranged and the direction is perpendicular to this direction. The tray support device that supports a plurality of trays arranged side by side in parallel with the stocker, and the uninspected electronic components that are adsorbed on the tray for uninspected components supported by the tray support device are loaded into the inspection socket. And a component moving device that transfers the electronic component after the inspection to the inspected component tray of the tray support device, the tray support device, It is between serial and testing socket and the stocker, but on the operating range of the component moving device.
請求項2に記載したICハンドラーは、請求項1に記載したICハンドラーにおいて、トレイ支持装置は、ストッカーとの間でトレイの受け渡しが行われる第1のトレイ保持部を有し、この第1のトレイ保持部をストッカーの並ぶ方向に移動させる第1の支持装置と、ストッカーと平行に並ぶ複数の第2のトレイ保持部を有し、これらの第2のトレイ保持部を前記第1の支持装置より検査用ソケット側の基台上でストッカーの並ぶ方向に移動させる第2の支持装置と、前記第1のトレイ保持部と第2のトレイ保持部とにそれぞれ設けられ、前記第1のトレイ保持部と、前記第2のトレイ保持部とがストッカーの並ぶ方向とは直交する水平方向に並ぶ状態で両トレイ保持部間においてトレイを搬送する移送手段とを備えているものである。   The IC handler according to claim 2 is the IC handler according to claim 1, wherein the tray support device includes a first tray holding portion that transfers the tray to and from the stocker. A first support device that moves the tray holding portion in the direction in which the stocker is arranged; and a plurality of second tray holding portions that are arranged in parallel with the stocker, and the second tray holding portion is used as the first support device. The first tray holding unit is provided in a second supporting device that moves in a direction in which stockers are arranged on the base on the socket side for inspection, and the first tray holding unit and the second tray holding unit, respectively. And a second tray holding unit are provided with transfer means for transporting the tray between the tray holding units in a state where the second tray holding unit is arranged in a horizontal direction perpendicular to the direction in which the stockers are arranged.
請求項3に記載したICハンドラーは、請求項2に記載したICハンドラーにおいて、移送手段をコンベアとしたものである。   The IC handler described in claim 3 is the IC handler described in claim 2, wherein the transfer means is a conveyor.
請求項4に記載したICハンドラーは、請求項2または請求項3に記載したICハンドラーにおいて、第1の支持装置の第1のトレイ保持部は、前記両ベルトコンベアの内側において、トレイを前記ベルトコンベアの上方であってストッカーとの間でトレイの受け渡しが行われる上昇位置と、ベルトコンベアに支承される下降位置との間で昇降させる第1の昇降装置を備えているものである。   The IC handler according to claim 4 is the IC handler according to claim 2 or claim 3, wherein the first tray holding portion of the first support device is configured such that the tray is placed on the belt inside the both belt conveyors. A first lifting device that moves up and down between a raised position above the conveyor and where the tray is transferred to and from the stocker and a lowered position supported by the belt conveyor is provided.
請求項5に記載したICハンドラーは、請求項2ないし請求項4のうちいずれか一つに記載したICハンドラーにおいて、第2の支持装置の第2のトレイ保持部は、前記両ベルトコンベアの内側において、トレイを前記ベルトコンベアの上方であって部品移動装置との間で電子部品の受け渡しが行われる上昇位置と、ベルトコンベアに支承される下降位置との間で昇降させる第2の昇降装置を備えているものである。   The IC handler according to claim 5 is the IC handler according to any one of claims 2 to 4, wherein the second tray holding portion of the second support device is provided inside the belt conveyors. A second elevating device that raises and lowers the tray between an elevated position where electronic components are transferred to and from the component moving device above the belt conveyor and a lowered position supported by the belt conveyor. It is what it has.
本発明に係るICハンドラーおいて、部品移動装置が電子部品を吸着、載置する複数のトレイは、検査用ソケットとストッカーとの間でストッカーと平行に並ぶ状態で配設されているから、これらの全てのトレイと検査用ソケットとの距離を略同一とすることができる。したがって、本発明によれば、前記吸着、載置を行うためにトレイを越えて検査用ソケットとは反対側へ部品移動装置の吸着部分が移動する従来のICハンドラーに較べて、タクトタイムを短縮することができる。   In the IC handler according to the present invention, the plurality of trays on which the component moving device sucks and places the electronic components are arranged in parallel with the stocker between the inspection socket and the stocker. The distances between all the trays and the inspection socket can be made substantially the same. Therefore, according to the present invention, the tact time is shortened compared with the conventional IC handler in which the suction portion of the component moving device moves beyond the tray to the side opposite to the inspection socket in order to perform the suction and placement. can do.
請求項2ないし請求項5記載の発明によれば、第1の支持装置のストッカーへのトレイの出入れ動作と、第2の支持装置のトレイ上での部品移動装置の電子部品の吸着、載置動作とを同時に行うことができる。したがって、第2の支持装置上でトレイに対して電子部品の吸着または載置が行われているときに動作の対象ではないトレイをストッカーに対して出し入れすることができる。このため、トレイを交換するために電子部品の吸着、載置を行う動作を停止させる必要がないから、より一層タクトタイムを短縮することができる。   According to the second to fifth aspects of the present invention, the tray loading / unloading operation of the first support device to / from the stocker, and the adsorption and mounting of the electronic component of the component moving device on the tray of the second support device are performed. Can be performed simultaneously. Therefore, when the electronic component is being sucked or placed on the tray on the second support device, the tray that is not the object of operation can be taken in and out of the stocker. For this reason, since it is not necessary to stop the operation | movement which adsorb | sucks and mounts an electronic component in order to replace | exchange trays, tact time can be shortened further.
以下、本発明に係るICハンドラーの一実施の形態を図1ないし図13によって詳細に説明する。
図1は本発明に係るICハンドラーの平面図である。同図においては、トレイ支持装置やストッカーをこれらの上にトレイが載置されていない状態で描いてある。図2は図1におけるII−II線断面図、図3は部品移動装置の構成を説明するための斜視図、図4はヘッドユニットの斜視図、図5は単位ユニットの動作方向を説明するための斜視図で、同図は二つの単位ユニットのみが描いてある。図6は単位ユニットの側面図で、同図においては構成部材の連結部分を破断して示す。この破断位置を図1中にVI−VI線によって示す。
Hereinafter, an embodiment of an IC handler according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS.
FIG. 1 is a plan view of an IC handler according to the present invention. In the figure, the tray support device and the stocker are drawn with no tray placed thereon. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG. 1, FIG. 3 is a perspective view for explaining the configuration of the component moving device, FIG. 4 is a perspective view of the head unit, and FIG. This figure shows only two unit units. FIG. 6 is a side view of the unit unit. In FIG. This fracture position is indicated by the line VI-VI in FIG.
図7は第2の支持装置の構成を示す図で、同図(a)は側面図、同図(b)は正面図である。図8はトレイ移載装置とトレイ支持装置の動作を説明するための平面図、図9ないし図12はトレイ移載装置とストッカーの動作を説明するための正面図、図13はICハンドラーの概略構成を示す斜視図である。   7A and 7B are diagrams showing the configuration of the second support device, where FIG. 7A is a side view and FIG. 7B is a front view. FIG. 8 is a plan view for explaining the operation of the tray transfer device and the tray support device, FIGS. 9 to 12 are front views for explaining the operation of the tray transfer device and the stocker, and FIG. 13 is an outline of the IC handler. It is a perspective view which shows a structure.
これらの図において、符号1で示すものは、この実施の形態によるICハンドラーを示す。
このICハンドラー1は、図1および図2に示すように、基台2の後端部(図1においては上端部であって、図2においては右側の端部)に位置する検査領域Aと、前記基台2の前後方向の略中央部に位置する部品領域Bとの間において後述する部品移動装置3,4によって電子部品5(図2および図6参照)を移動させるものである。なお、本明細書中においては、図1において上下方向を装置の前後方向としてY方向といい、図1において左右方向を装置の左右方向としてX方向といい、紙面に直交する方向を単にZ方向という。
In these drawings, the reference numeral 1 indicates an IC handler according to this embodiment.
As shown in FIGS. 1 and 2, the IC handler 1 includes an inspection area A located at the rear end of the base 2 (the upper end in FIG. 1 and the right end in FIG. 2). The electronic component 5 (see FIG. 2 and FIG. 6) is moved by the component moving devices 3 and 4 to be described later between the component region B and the component region B located in the substantially central portion of the base 2 in the front-rear direction. In the present specification, the vertical direction in FIG. 1 is referred to as the Y direction as the longitudinal direction of the apparatus, the horizontal direction in FIG. 1 is referred to as the X direction as the lateral direction of the apparatus, and the direction orthogonal to the paper surface is simply the Z direction. That's it.
前記基台2の検査領域Aには開口2aが設けられ、被検査用の電子部品5が載置される検査用ソケット6が複数配設されたテストヘッド8が、この開口2aの下方において基台2に着脱可能に固着されている。前記検査用ソケット6は、基台2内においてICハンドラー1とは独立に床に載置される検査装置本体7(図2参照)に、テストヘッド8を介してあるいは直接に、不図示の検査用電流ケーブルを介して連結されている。また、この検査用ソケット6は、上方から電子部品5(図2および図6参照)が装填される構成が採られ、基台2のX方向の略中央部に配設されている。この実施の形態においては、4個の検査用ソケット6が設けられている。これらの検査用ソケット6は、X方向に並ぶ2個の検査用ソケット6,6がY方向に2組並ぶように設けられている。電子部品5の検査は、検査用ソケット6に電子部品5が載置された状態で、電子部品5と検査装置本体7との間で検査用電流を入出力することにより実施される。前記検査用電流ケーブルのいずれか一方の端部あるいは中間部には、脱着可能なコネクタが配置されている。   An opening 2a is provided in the inspection area A of the base 2, and a test head 8 provided with a plurality of inspection sockets 6 on which the electronic components 5 to be inspected are placed is located below the opening 2a. The base 2 is detachably fixed. The inspection socket 6 is inspected on the inspection apparatus main body 7 (see FIG. 2) placed on the floor independently of the IC handler 1 in the base 2 via the test head 8 or directly. Are connected via a current cable. In addition, the inspection socket 6 has a configuration in which an electronic component 5 (see FIGS. 2 and 6) is loaded from above, and is disposed at a substantially central portion of the base 2 in the X direction. In this embodiment, four inspection sockets 6 are provided. These inspection sockets 6 are provided such that two sets of inspection sockets 6 and 6 arranged in the X direction are arranged in the Y direction. The inspection of the electronic component 5 is performed by inputting / outputting an inspection current between the electronic component 5 and the inspection apparatus body 7 in a state where the electronic component 5 is placed on the inspection socket 6. A detachable connector is disposed at one end or middle of the inspection current cable.
前記検査領域Bを含む基台2上には、この基台2の前端部に位置する複数のストッカー11,11‥‥と、これらのストッカー11と前記部品領域Bとの間でトレイT(図2参照)を移動させるとともに部品領域BにおいてX方向に並ぶように複数のトレイを支持するトレイ支持装置12と、基台2のX方向の両端部に位置する固定レール13によって支持された第1の部品移動装置3および第2の部品移動装置4と、これらの部品移動装置3,4によって吸着されて移動する電子部品5を下方から撮像するための複数の基台側撮像装置14とが設けられている。これらの基台側撮像装置14は、検査用ソケット6とトレイ支持装置12との間において基台2のX方向の中央に対して左側と右側とに振り分けられるような位置にそれぞれX方向に並ぶ状態で2個ずつ設けられている。   On the base 2 including the inspection area B, a plurality of stockers 11, 11... Located at the front end of the base 2 and a tray T (see FIG. 2) and a first rail supported by fixed rails 13 positioned at both ends in the X direction of the base 2 and supporting a plurality of trays so as to be aligned in the X direction in the component region B. Component moving device 3 and second component moving device 4, and a plurality of base-side imaging devices 14 for imaging electronic components 5 that are attracted and moved by these component moving devices 3 and 4 from below. It has been. These base side imaging devices 14 are arranged in the X direction at positions between the inspection socket 6 and the tray support device 12 so as to be distributed to the left side and the right side with respect to the center of the base 2 in the X direction. Two are provided in a state.
前記ストッカー11は、図2に示すように、複数のトレイTを上下方向に重ねた状態で収容する構造のもので、図1に示すように、X方向に並ぶ状態で複数設けられている。前記トレイTは、図8に示すように、プラスチックによって平面視においてY方向に長い長方形の皿状に形成されている。このトレイTには、図示してはいないが、電子部品5を収納するための凹陥部が上方に向けて開口する状態で多数形成されている。   As shown in FIG. 2, the stocker 11 has a structure that accommodates a plurality of trays T stacked in the vertical direction. As shown in FIG. 1, a plurality of stockers 11 are arranged in the X direction. As shown in FIG. 8, the tray T is formed in a rectangular dish shape that is long in the Y direction in a plan view by plastic. Although not shown in the figure, a large number of recesses for accommodating the electronic components 5 are formed in the tray T so as to open upward.
前記ストッカー11は、図1、図2および図13に示すように、最下部に位置する平面視四角形状の枠体21と、この枠体21の後端部に立設された断面L字状の後側支柱22と、前記枠体21の前端部に立設された断面L字状の前側支柱23と、前記枠体21に設けられたトレイ支持用のフック24(図9〜図12参照)などを備えている。図13においては、複数のストッカーのうちX方向の両端部に位置するストッカーのみが描いてある。   As shown in FIGS. 1, 2, and 13, the stocker 11 has a rectangular frame 21 in a plan view located at the lowermost portion, and an L-shaped cross-section erected at the rear end of the frame 21. A rear support 22, a front support 23 having an L-shaped cross-section standing at the front end of the frame 21, and a tray support hook 24 provided on the frame 21 (see FIGS. 9 to 12). ) Etc. In FIG. 13, only the stockers located at both ends in the X direction are depicted among the plurality of stockers.
このストッカー11は、図2に示すように、前記基台2の前端部上に設けられたストッカー用フレーム25の上に搭載されている。このストッカー用フレーム25は、図1には図示していない。このストッカー用フレーム25における前記ストッカー11の枠体21の下方となる部位には、トレイ出し入れ口26(図2参照)が形成されている。   As shown in FIG. 2, the stocker 11 is mounted on a stocker frame 25 provided on the front end of the base 2. The stocker frame 25 is not shown in FIG. A tray loading / unloading port 26 (see FIG. 2) is formed in a portion of the stocker frame 25 that is below the frame body 21 of the stocker 11.
ストッカー11の前記枠体21は、内部の開口部分に水平状態のトレイTを上下方向に装填することができるように形成されている。
前記後側支柱22と前側支柱23は、長方形状のトレイTの四隅を嵌合状態で保持するように位置付けられている。前側支柱23は、図2に示すように、後側支柱22より低くなるように形成されている。
The frame body 21 of the stocker 11 is formed so that the horizontal tray T can be loaded in the vertical direction in the opening portion inside.
The rear column 22 and the front column 23 are positioned so as to hold the four corners of the rectangular tray T in a fitted state. As shown in FIG. 2, the front column 23 is formed to be lower than the rear column 22.
前記フック24は、ストッカー11内のトレイTを支えるためのもので、平面視において前記枠体21の開口部分内に先端部が臨む前進位置と、この先端部が開口部分の外に出る後退位置との間で往復可能に枠体21に支持されている。また、各フック24には、前進位置と後退位置とのいずれか一方にフック24を移動させるアクチュエータ(図示せず)が接続されている。   The hook 24 is for supporting the tray T in the stocker 11, and in the plan view, the forward position where the tip portion faces the opening portion of the frame body 21, and the retreat position where the tip portion comes out of the opening portion. Is supported by the frame body 21 so as to be able to reciprocate between. Each hook 24 is connected to an actuator (not shown) that moves the hook 24 to either the forward position or the backward position.
このフック24の前記先端部は、図示してはいないが、トレイTの側部に側方へ向けて開口するように形成された凹陥部内に係入するように形成されている。なお、図9〜図12に図示したフック24は、トレイTを支持している状態と放した状態とを容易に判別することができるように、前記先端部によってトレイTの下端を支承する構造として描いてある。また、このフック24は、上述したように平行移動する構造の他に、平面視において先端部が前記開口部分内に臨む横状態と、先端部が下方を指向するようにフック全体が約90°回り、先端部が前記開口部分の外に出る縦状態との間で回動する構造を採ることもできる。   Although not shown in the drawing, the tip end portion of the hook 24 is formed so as to engage with a recessed portion formed so as to open sideways on the side portion of the tray T. The hook 24 shown in FIGS. 9 to 12 has a structure in which the lower end of the tray T is supported by the tip portion so that the state in which the tray T is supported and the state in which the tray T is released can be easily discriminated. It is drawn as. In addition to the structure that translates as described above, the hook 24 has a horizontal state in which the tip end faces the opening in a plan view, and the entire hook is approximately 90 ° so that the tip is directed downward. It is also possible to adopt a structure that rotates and rotates between the vertical state where the tip end portion is out of the opening portion.
前記トレイ支持装置12は、図1、図2および図8に示すように、前記ストッカー11の下方に位置する第1の支持装置30と、前記部品領域Bに位置する第2の支持装置31と、これらの支持装置30,31との間に位置する中継用コンベア32を有し両装置30,31間でトレイを搬送する移送手段33とから構成されている。   As shown in FIGS. 1, 2, and 8, the tray support device 12 includes a first support device 30 located below the stocker 11 and a second support device 31 located in the component region B. The transfer device 33 includes a relay conveyor 32 positioned between the support devices 30 and 31 and transports a tray between the devices 30 and 31.
前記第1の支持装置30は、図1、図2、図8〜図12に示すように、基台2上でX方向に延びる固定レール34と、この固定レール34にX方向に移動自在に支持されたスライダ35と、このスライダ35をX方向に所定量だけ移動させるボールねじ式の駆動装置36と、前記スライダ35の上に固定された支持板37と、この支持板37の上に設けられた2組の第1のトレイ保持部38,38とによって構成されている。   As shown in FIGS. 1, 2, and 8 to 12, the first support device 30 has a fixed rail 34 that extends in the X direction on the base 2, and the fixed rail 34 is movable in the X direction. A supported slider 35, a ball screw type driving device 36 for moving the slider 35 by a predetermined amount in the X direction, a support plate 37 fixed on the slider 35, and a support plate 37 are provided on the support plate 37. The two sets of first tray holding portions 38 and 38 are configured.
前記2組の第1のトレイ保持部38は、上述したストッカー11に下方からトレイTを搬入したりストッカー11の下端部からトレイTを搬出するためのもので、複数のストッカー11の並設ピッチと同一のピッチとなるようにX方向に並べられている。
これらの第1のトレイ保持部38は、前記支持板37の上にY方向に並ぶ状態で固定された第1のシリンダ41および第2のシリンダ42と、これらのシリンダ41,42のX方向の両側において前記支持板37に立設された一対の縦板43,43とによって構成されている。これらの縦板43の内側には、前記移送手段33の一部を構成する一対のベルトコンベア44,44が設けられている。
The two sets of first tray holding portions 38 are for loading the tray T into the stocker 11 described above from the lower side or carrying out the tray T from the lower end portion of the stocker 11. Are arranged in the X direction so as to have the same pitch.
These first tray holding portions 38 are provided with a first cylinder 41 and a second cylinder 42 that are fixed on the support plate 37 in the Y direction, and the X direction of these cylinders 41 and 42. It is constituted by a pair of vertical plates 43, 43 erected on the support plate 37 on both sides. Inside these vertical plates 43, a pair of belt conveyors 44, 44 constituting a part of the transfer means 33 are provided.
前記第1および第2のシリンダ41,42は、ピストンロッド41a,42aが上下方向に移動するように前記支持板37に固定され、ピストンロッド41a,42aによって後述するトレイ支承部材45を昇降させる。このトレイ支承部材45と第1および第2のシリンダ41,42によって本発明でいう第1の昇降装置が構成されている。   The first and second cylinders 41 and 42 are fixed to the support plate 37 so that the piston rods 41a and 42a move in the vertical direction, and a tray support member 45 described later is moved up and down by the piston rods 41a and 42a. The tray support member 45 and the first and second cylinders 41 and 42 constitute a first lifting device in the present invention.
これらの第1および第2のシリンダ41,42のうち装置後側(図2においては右側)に位置する第1のシリンダ41のピストンロッド41aの移動ストロークは、第2のシリンダ42のピストンロッド42aの移動ストロークより長くなるように形成されている。このように移動ストロークが異なる2種類のシリンダ41,42を装備しているのは、後述するようにトレイ支承部材45の上昇位置を相対的に高い位置と相対的に低い位置との2段階に切換えるためである。   The movement stroke of the piston rod 41a of the first cylinder 41 located on the rear side of the device (the right side in FIG. 2) of the first and second cylinders 41 and 42 is the piston rod 42a of the second cylinder 42. It is formed so as to be longer than the moving stroke. Equipped with two types of cylinders 41 and 42 having different movement strokes in this way is that the raised position of the tray support member 45 is divided into two stages, a relatively high position and a relatively low position, as will be described later. This is for switching.
前記トレイ支承部材45は、トレイTの下面を支承するためのもので、平面視においてY方向に長くなる長方形状に形成されており、前記支持板37または縦板43に設けられた昇降ガイド(図示せず)によって昇降自在に支持されている。また、このトレイ支承部材45は、図9〜図12に示すように、後述する一対のベルトコンベア44,44の間にこれらのベルトコンベア44に対して接触することがないように挿入されている。なお、図9〜図12においては、第1の支持装置30の動作を理解し易いように、トレイ支承部材45は模式的に描いてある。   The tray support member 45 is for supporting the lower surface of the tray T, is formed in a rectangular shape that is long in the Y direction in plan view, and is an elevating guide provided on the support plate 37 or the vertical plate 43 ( (Not shown) so as to be movable up and down. Further, as shown in FIGS. 9 to 12, the tray support member 45 is inserted between a pair of belt conveyors 44, 44 described later so as not to contact the belt conveyors 44. . 9 to 12, the tray support member 45 is schematically illustrated so that the operation of the first support device 30 can be easily understood.
さらに、このトレイ支承部材45の平面視における大きさは、例えば図9(b)に示すように、第1のトレイ保持部38が前記ストッカー11の直下に位置決めされている状態でトレイ支承部材45が上昇することによって、このトレイ支承部材45がストッカー用フレーム25のトレイ出し入れ口26内に入ることができるような大きさに形成されている。
このように形成されたトレイ支承部材45は、第1のシリンダ41と第2のシリンダ42の駆動により、ベルトコンベア44の搬送面より低くなるような待機位置(図2参照)と、前記搬送面より高い位置であってストッカー11の下端部近傍の後述する上昇位置との間で昇降する。
Further, the size of the tray support member 45 in a plan view is such that the tray support member 45 is positioned in a state where the first tray holding portion 38 is positioned directly below the stocker 11 as shown in FIG. The tray support member 45 is formed in such a size that the tray support member 45 can enter the tray loading / unloading opening 26 of the stocker frame 25.
The tray support member 45 formed in this way has a standby position (see FIG. 2) that becomes lower than the conveying surface of the belt conveyor 44 by driving the first cylinder 41 and the second cylinder 42, and the conveying surface. It moves up and down between a higher position, which will be described later, in the vicinity of the lower end of the stocker 11.
第1のシリンダ41によってトレイ支承部材45を上昇させた場合のトレイ支承部材45の上昇位置は、例えば図12(a)に示すように、ストッカー11内の最も下に位置するトレイTがトレイ支承部材45によって前記フック24より上に押し上げられるような位置に設定されている。一方、第2のシリンダ42によってトレイ支承部材45を上昇させた場合のトレイ支承部材45の上昇位置は、図10(a)に示すように、フック24に支持されたストッカー11内の最も下に位置するトレイTに、トレイ支承部材45に載せられたトレイTが下から重ねられるような位置に設定されている。   The raised position of the tray support member 45 when the tray support member 45 is raised by the first cylinder 41 is, for example, as shown in FIG. 12A, where the lowermost tray T in the stocker 11 is the tray support. The position is set such that the member 45 is pushed up above the hook 24. On the other hand, when the tray support member 45 is raised by the second cylinder 42, the raised position of the tray support member 45 is the lowest in the stocker 11 supported by the hook 24, as shown in FIG. The position is set such that the tray T placed on the tray support member 45 is superimposed on the tray T located from above.
前記第1の支持装置30側のベルトコンベア44は、トレイTの両側部を支承しながらトレイTをY方向に搬送する構造が採られており、図2に示すように、搬送面が水平になるように前記縦板43に装着されている。   The belt conveyor 44 on the side of the first support device 30 has a structure for transporting the tray T in the Y direction while supporting both sides of the tray T. As shown in FIG. It is attached to the vertical plate 43 so as to be.
前記第2の支持装置31は、図1および図8に示すように、X方向に並ぶ3組の第2のトレイ保持部51と、これらの第2のトレイ保持部51をX方向に移動させる部品領域移動装置52とから構成されている。前記第2の支持装置31の基台2上のX方向の位置は、前記複数のストッカー11,11‥‥のうちX方向一方の端から他方の端に至る領域内であって、かつ部品移動装置3あるいは部品移動装置4のいずれかの吸着ノズルが到達可能な領域内に位置付けられている。このX方向領域内に検査用ソケット6も位置付けられている。   As shown in FIGS. 1 and 8, the second support device 31 moves three sets of second tray holding parts 51 arranged in the X direction and these second tray holding parts 51 in the X direction. The component area moving device 52 is configured. The position of the second support device 31 in the X direction on the base 2 is within a region from one end to the other end in the X direction among the plurality of stockers 11, 11,. The suction nozzle of either the device 3 or the component moving device 4 is positioned within the reachable area. An inspection socket 6 is also positioned in the X direction region.
前記3組の第2の支持装置31には、未検査の電子部品5が収納された未検査品用トレイT1と、検査後に良品であると判定された電子部品5を収納する良品用トレイT2と、検査後に不良品であると判定された電子部品5を収納する不良品用トレイT3とが支持されている。なお、この第2のトレイ保持部51の台数は3台に限定されることはなく、必要に応じて増加したり減少させたりすることができる。   The three sets of second support devices 31 include an uninspected product tray T1 in which uninspected electronic components 5 are stored, and a good product tray T2 in which electronic components 5 determined to be non-defective after inspection are stored. And a defective product tray T3 for storing the electronic component 5 determined to be defective after the inspection. The number of the second tray holding parts 51 is not limited to three, and can be increased or decreased as necessary.
各第2のトレイ保持部51は、図1、図2、図7および図8に示すように、後述する部品領域移動装置52の板状支持台53の上に設けられたトレイ昇降用シリンダ54と、X方向に間隔をおいて互いに対向するように前記板状支持台53の上に立設された一対の縦板55と、前記2枚の縦板55,55の上端部どうしの間に横架された前側受圧板56および後側受圧板57と、前記縦板55のY方向の途中の部位に設けられた一対の側部ガイド部材58,58と、装置後側の端部に設けられたトレイ用ストッパー59{図7(a)参照}などによって構成されている。前記縦板55の内側には、前記移送手段33の一部を構成するベルトコンベア60が設けられている。   As shown in FIGS. 1, 2, 7, and 8, each second tray holding unit 51 includes a tray lifting cylinder 54 provided on a plate-like support base 53 of a component area moving device 52 described later. And a pair of vertical plates 55 erected on the plate-like support base 53 so as to face each other with an interval in the X direction, and between the upper ends of the two vertical plates 55 and 55 A front pressure plate 56 and a rear pressure plate 57 that are horizontally mounted, a pair of side guide members 58 and 58 provided in the middle of the vertical plate 55 in the Y direction, and provided at the rear end of the apparatus. The tray stopper 59 {see FIG. 7 (a)} is used. Inside the vertical plate 55, a belt conveyor 60 that constitutes a part of the transfer means 33 is provided.
前記トレイ昇降用シリンダ54は、ピストンロッド54aが上下方向に移動するように板状支持台53の上に固定され、ピストンロッド54aによって後述するトレイ昇降用プレート61を昇降させる。なお、図7はシリンダ54を支持する部材を省略して描いてある。
前記トレイ昇降用プレート61は、トレイTの下面を支承するためのもので、平面視においてY方向に長くなる長方形状に形成されており、前記板状支持台53に昇降ガイド62によって昇降自在に支持されている。このトレイ昇降用プレート61は、前記一対のベルトコンベア60,60の間にこれらのベルトコンベア60に対して接触することがないように挿入されている。
The tray lifting / lowering cylinder 54 is fixed on the plate-like support base 53 so that the piston rod 54a moves in the vertical direction, and the tray lifting / lowering plate 61 described later is moved up and down by the piston rod 54a. In FIG. 7, the member that supports the cylinder 54 is omitted.
The tray elevating plate 61 is for supporting the lower surface of the tray T, and is formed in a rectangular shape that is long in the Y direction in plan view. The plate elevating plate 62 can be raised and lowered by the elevating guide 62. It is supported. The tray lifting / lowering plate 61 is inserted between the pair of belt conveyors 60 and 60 so as not to contact the belt conveyors 60.
このように形成されたトレイ昇降用プレート61は、前記シリンダ54の駆動により、ベルトコンベア60の搬送面より低くなるような待機位置(図2参照)と、前記搬送面より高い位置であってトレイTが後述する前側受圧板56と後側受圧板57とに押付けられるような上昇位置との間で昇降する。   The tray lifting / lowering plate 61 formed in this way has a standby position (see FIG. 2) that is lower than the conveying surface of the belt conveyor 60 by driving the cylinder 54, and a position that is higher than the conveying surface. T ascends and descends between raised positions where it is pressed against a front pressure plate 56 and a rear pressure plate 57 described later.
前記縦板55は、ベルトコンベア60を前端部から後端部にわたって側方から囲むような長さに形成されている。
前記ベルトコンベア60は、トレイTの両側部を支承しながらトレイTをY方向に搬送し、第2のトレイ保持部51内へのトレイTの搬入と第2のトレイ保持部51からのトレイTの搬出とを行うためのものである。このベルトコンベア60の駆動軸63は、3組の第2のトレイ保持部51をX方向に貫通するように形成され、これらの第2のトレイ保持部51の全てのベルトコンベア60を同時に駆動する。なお、ベルトコンベア60の搬送面の高さは、第1の支持装置30側に位置するベルトコンベア44の搬送面の高さと等しくなるように形成されている。
The vertical plate 55 is formed in such a length as to surround the belt conveyor 60 from the side from the front end portion to the rear end portion.
The belt conveyor 60 conveys the tray T in the Y direction while supporting both sides of the tray T, and carries the tray T into the second tray holding portion 51 and the tray T from the second tray holding portion 51. It is for carrying out. The drive shaft 63 of the belt conveyor 60 is formed so as to penetrate the three sets of second tray holding portions 51 in the X direction, and drives all the belt conveyors 60 of these second tray holding portions 51 simultaneously. . The height of the conveyor surface of the belt conveyor 60 is formed to be equal to the height of the conveyor surface of the belt conveyor 44 located on the first support device 30 side.
前記前側受圧板56と後側受圧板57は、トレイTの上下方向の位置を決めるともにトレイTの歪みを矯正するためのものである。これらの前側受圧板56と後側受圧板57の下面は、前記シリンダ54とトレイ昇降用プレート61とによって上昇させられたトレイTの上面が下方から当接するように平坦に形成されている。前記前側受圧板56には、図7(a)に示すように、ベルトコンベア60によって搬入されたトレイTの端部を検出するための光学式センサ64が設けられている。   The front pressure plate 56 and the rear pressure plate 57 are for determining the vertical position of the tray T and correcting the distortion of the tray T. The lower surfaces of the front pressure plate 56 and the rear pressure plate 57 are formed flat so that the upper surface of the tray T raised by the cylinder 54 and the tray lifting / lowering plate 61 abuts from below. As shown in FIG. 7A, the front pressure plate 56 is provided with an optical sensor 64 for detecting the end of the tray T carried in by the belt conveyor 60.
前記側部ガイド部材58は、トレイTのX方向の位置を決めるためのもので、図1に示すように、平面視において縦板55の上端部からベルトコンベア60の上方へ延びるように形成されている。この側部ガイド部材58の延在部分の下面は、図示してはいないが、上方に向かうにしたがって次第に側部ガイド部材58の先端に向かうように傾斜している。すなわち、ベルトコンベア60によって第2のトレイ保持部51内に搬入されたトレイTが前記シリンダ54とトレイ昇降用プレート61とによって上昇させられることにより、このトレイTは、側部ガイド部材58の前記下面に両側部が下方から接触し、一対の側部ガイド部材58によってX方向に位置決めされる。   The side guide member 58 is for determining the position of the tray T in the X direction, and is formed to extend from the upper end of the vertical plate 55 to above the belt conveyor 60 in a plan view as shown in FIG. ing. Although not illustrated, the lower surface of the extending portion of the side guide member 58 is gradually inclined toward the tip of the side guide member 58 as it goes upward. That is, the tray T carried into the second tray holding portion 51 by the belt conveyor 60 is raised by the cylinder 54 and the tray lifting / lowering plate 61, so that the tray T Both sides contact the lower surface from below and are positioned in the X direction by the pair of side guide members 58.
前記トレイ用ストッパー59は、ベルトコンベア60によって第2のトレイ保持部51内に搬送されたトレイTの搬送方向の位置を決めるためのもので、図7(a)に示すように、トレイTの後端面(第2のトレイ保持部51内に搬入されるトレイTの進行方向前側の端面)が当接する縦面が形成されている。このトレイ用ストッパー59は、前記板状支持台53または縦板55にブラケット(図示せず)を介して支持されている。   The tray stopper 59 is for determining the position in the transport direction of the tray T transported into the second tray holding part 51 by the belt conveyor 60. As shown in FIG. A vertical surface is formed on which the rear end surface (the end surface on the front side in the traveling direction of the tray T carried into the second tray holding portion 51) abuts. The tray stopper 59 is supported on the plate-like support base 53 or the vertical plate 55 via a bracket (not shown).
前記部品領域移動装置52は、図1、図2、図7(b)および図8に示すように、基台2上でX方向に延びる一対の固定レール65と、これらの固定レール65にX方向に移動自在に支持されたスライダ66と、このスライダ66に支持された前記板状支持台53と、この板状支持台53と前記スライダ66とをX方向に移動させるボールねじ式の駆動装置67(図8参照)とから構成されている。このボールねじ式の駆動装置67は、図1および図2に示すように、前記両固定レール65,65どうしの間でX方向に延びるボールねじ軸67aを回転させ、このボールねじ軸67aに螺合するとともに板状支持台53に一体的に設けられたナット部材67bを移動させる。   As shown in FIGS. 1, 2, 7 (b), and 8, the component area moving device 52 includes a pair of fixed rails 65 extending in the X direction on the base 2, and X to the fixed rails 65. Slider 66 supported movably in the direction, plate-like support base 53 supported by slider 66, and a ball screw type drive device for moving plate-like support base 53 and slider 66 in the X direction. 67 (see FIG. 8). As shown in FIGS. 1 and 2, the ball screw type driving device 67 rotates a ball screw shaft 67a extending in the X direction between the fixed rails 65, 65, and is screwed onto the ball screw shaft 67a. At the same time, the nut member 67b provided integrally with the plate-like support base 53 is moved.
前記移送手段33は、図1および図2に示すように、前記第1の支持装置30に装備された前記ベルトコンベア44,44と、前記第2の支持装置31に装備された前記ベルトコンベア60,60と、前記両装置30,31の間に位置する中継用コンベア32とから構成されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the transfer means 33 includes the belt conveyors 44 and 44 provided in the first support device 30 and the belt conveyor 60 provided in the second support device 31. , 60 and a relay conveyor 32 located between the two devices 30, 31.
この中継用コンベア32は、基台2に支持された一対の縦板68,68を有するフレーム69と、前記縦板68の内側に設けられた一対のベルトコンベア70,70とから構成されている。このベルトコンベア70は、トレイTの両側部を支承しながらトレイTをY方向に搬送するように構成されている。この中継用コンベア32は、上述した第1のトレイ保持部38のベルトコンベア44と、第2のトレイ保持部51のベルトコンベア60との間でトレイTの受け渡しを行うように構成されている。また、この中継用コンベア32のベルトコンベア70は、前記両ベルトコンベア44,60とトレイTの搬送方向が一致するように動作する。   The relay conveyor 32 includes a frame 69 having a pair of vertical plates 68 and 68 supported by the base 2, and a pair of belt conveyors 70 and 70 provided inside the vertical plate 68. . The belt conveyor 70 is configured to convey the tray T in the Y direction while supporting both sides of the tray T. The relay conveyor 32 is configured to transfer the tray T between the belt conveyor 44 of the first tray holding unit 38 and the belt conveyor 60 of the second tray holding unit 51 described above. Further, the belt conveyor 70 of the relay conveyor 32 operates so that both the belt conveyors 44 and 60 and the transport direction of the tray T coincide with each other.
前記第1の部品移動装置3と第2の部品移動装置4は、基台2のY方向に延びる中心線に対して線対称となるように形成されている。このため、ここにおいては、図1において左側に位置する第1の部品移動装置3について説明し、第2の部品移動装置4については、第1の部品移動装置3と同一符号を付して詳細な説明は省略する。   The first component moving device 3 and the second component moving device 4 are formed so as to be line symmetric with respect to a center line extending in the Y direction of the base 2. Therefore, here, the first component moving device 3 located on the left side in FIG. 1 will be described, and the second component moving device 4 is denoted by the same reference numerals as those of the first component moving device 3 in detail. The detailed explanation is omitted.
第1の部品移動装置3は、図1〜図6に示すように、基台2のX方向の端部上でY方向に延びる一対の固定レール14,14と、これらの固定レール14にY方向に移動自在に支持されたY方向移動部材71と、このY方向移動部材71をY方向に移動させるボールねじ式の第1のY方向駆動装置72と、前記Y方向移動部材71にX方向に移動自在に支持された支持部材73(図3参照)と、この支持部材73を前記Y方向移動部材71に対してX方向に移動させるボールねじ式の第1のX方向駆動装置74(図3参照)と、前記支持部材73に設けられたヘッドユニット75などによって構成されている。この第1の部品移動装置3と第2の部品移動装置4の前記駆動装置72,74と、後述するヘッドユニット75内の各装置の動作は、後述する制御手段200によって制御される。   As shown in FIGS. 1 to 6, the first component moving device 3 includes a pair of fixed rails 14, 14 extending in the Y direction on the X-direction end of the base 2, and the fixed rails 14 have Y A Y-direction moving member 71 movably supported in the direction, a ball screw type first Y-direction driving device 72 for moving the Y-direction moving member 71 in the Y direction, and the Y-direction moving member 71 in the X direction. A support member 73 (refer to FIG. 3) supported movably in the first direction, and a ball screw type first X direction drive device 74 (see FIG. 3) for moving the support member 73 in the X direction with respect to the Y direction movement member 71. 3) and a head unit 75 provided on the support member 73. The operations of the driving devices 72 and 74 of the first component moving device 3 and the second component moving device 4 and the respective devices in the head unit 75 described later are controlled by a control means 200 described later.
前記固定レール14は、図1に示すように、基台2上に複数設けられたストッカー11のうち最も外側に位置するストッカー11とX方向の同一位置であって、かつ前記最も外側に位置するストッカー11から装置の後方に離間するような位置に配設されている。
前記Y方向移動部材71は、図3に示すように、前記固定レール14,14にスライド部材(図示せず)を介して接続された基部71aと、この基部71bの上端部から側方(図3においては右方)に突出する一対の腕部71bとを備えている。これらの腕部71bは、Y方向に間隔をおいて並ぶように設けられており、ガイド部材71cを介して前記支持部材73をX方向に移動自在に支持している。前記ガイド部材71cは、支持部材73に設けられたレール73aを上方から支える構造が採られている。
As shown in FIG. 1, the fixed rail 14 is located at the same position in the X direction as the outermost stocker 11 among the plurality of stockers 11 provided on the base 2 and located at the outermost side. It is arranged at a position away from the stocker 11 to the rear of the apparatus.
As shown in FIG. 3, the Y-direction moving member 71 includes a base 71a connected to the fixed rails 14 and 14 via a slide member (not shown), and a side (see FIG. 3) from the upper end of the base 71b. 3 is provided with a pair of arm portions 71b protruding rightward). These arm portions 71b are provided so as to be arranged at intervals in the Y direction, and support the support member 73 movably in the X direction via a guide member 71c. The guide member 71c has a structure that supports a rail 73a provided on the support member 73 from above.
前記Y方向移動部材71をY方向に駆動する第1のY方向駆動装置72は、図1に示すように、Y方向に延びる状態で前記固定レール14に対して回転自在に支持されたボールねじ軸76と、このボールねじ軸76の途中に螺合しかつY方向移動部材71に固着したナット部材(図示せず)と、前記ボールねじ軸76における装置後側の端部に接続されたモータ79などによって構成されている。   As shown in FIG. 1, a first Y-direction drive device 72 that drives the Y-direction moving member 71 in the Y direction is a ball screw that is rotatably supported with respect to the fixed rail 14 while extending in the Y direction. A shaft 76, a nut member (not shown) screwed in the middle of the ball screw shaft 76 and fixed to the Y-direction moving member 71, and a motor connected to the end of the ball screw shaft 76 on the rear side of the device 79 or the like.
前記支持部材73は、図3に示すように、開口73bを有する平面視長方形の板状に形成されており、Y方向の両端部が前記レール73aを介して前記Y方向移動部材71に支持されている。
この支持部材73をX方向に駆動する第1のX方向駆動装置74は、図3に示すように、Y方向移動部材71の上部に設けられたモータブロック81と、このモータブロック81に回転自在に支持されたボールねじ軸82と、このボールねじ軸82に螺合しかつ支持部材73に固着したナット部材82aと、前記ボールねじ軸82の一端部(第1の部品移動装置3においては左側の端部)に接続されたモータ83などによって構成されている。前記ナット部材82aは、支持部材73における開口73bを有する枠状部84とは反対側の端部に取付けられている。
As shown in FIG. 3, the support member 73 is formed in a rectangular plate shape having an opening 73b in a plan view, and both ends in the Y direction are supported by the Y direction moving member 71 via the rail 73a. ing.
As shown in FIG. 3, the first X-direction drive device 74 that drives the support member 73 in the X direction includes a motor block 81 provided on an upper portion of the Y-direction moving member 71, and the motor block 81 is rotatable. , A nut member 82a screwed onto the ball screw shaft 82 and fixed to the support member 73, one end of the ball screw shaft 82 (on the left side in the first component moving device 3) The motor 83 is connected to the end of the motor. The nut member 82a is attached to an end portion of the support member 73 opposite to the frame-shaped portion 84 having the opening 73b.
前記ヘッドユニット75は、図1および図4に示すように、前記枠状部84のX方向延在部分84aに取付けられた4個の単位ユニット85によって構成されている。
これらの4個の単位ユニット85は、図1に示すように、平面視において前記4個の検査用ソケット6と同様にX方向とY方向とに並べられている。この実施の形態によるヘッドユニット75には、前記検査用ソケット6を上方から撮像するためのヘッド側撮像装置86,87が設けられている。ヘッド側撮像装置86は検査ソケット6の撮像に用いられ、ヘッド側撮像装置87は第2の支持装置31に搬送されるトレイTの撮像に用いられる。所定のタイミングで撮像されるトレイTの所定の凹陥部あるいはフィデューシャルマークの位置から、ベルトコンベア60の搬送誤差、ボールねじ式駆動装置67の駆動量の補正量が算出される。これら補正量が加味されて、部品領域移動装置52上の各トレイTは、電子部品5の吸着、載置に際して正しい位置に配置される。
これらの撮像装置86,87は、前記枠状部84のY方向の両端部に設けられている。
As shown in FIGS. 1 and 4, the head unit 75 includes four unit units 85 attached to the X-direction extending portion 84 a of the frame-like portion 84.
As shown in FIG. 1, these four unit units 85 are arranged in the X direction and the Y direction in the same manner as the four inspection sockets 6 in a plan view. The head unit 75 according to this embodiment is provided with head-side imaging devices 86 and 87 for imaging the inspection socket 6 from above. The head side imaging device 86 is used for imaging the inspection socket 6, and the head side imaging device 87 is used for imaging the tray T conveyed to the second support device 31. From the position of a predetermined recessed portion or fiducial mark of the tray T imaged at a predetermined timing, the correction amount of the conveyance error of the belt conveyor 60 and the driving amount of the ball screw type driving device 67 is calculated. In consideration of these correction amounts, the respective trays T on the component area moving device 52 are arranged at correct positions when the electronic component 5 is sucked and placed.
These imaging devices 86 and 87 are provided at both ends of the frame-shaped portion 84 in the Y direction.
前記各単位ユニット85は、図6に示すように、前記枠状部84の前記X方向延在部分84aに取付けられたX方向支持部材91と、このX方向支持部材91の下部にX方向に移動自在に装着されたX方向スライダ92と、このX方向スライダ92をX方向に駆動するボールねじ式の第2のX方向駆動装置93と、前記X方向スライダ92の下部に一体に形成されたY方向支持部材94と、このY方向支持部材94の下部にY方向に移動自在に装着されたY方向スライダ95と、このY方向スライダ95をY方向に駆動するボールねじ式の第2のY方向駆動装置96と、前記Y方向スライダ95の下部にブラケット97を介して取付けられたZ方向支持部材98と、このZ方向支持部材98にZ方向に移動可能に支持された吸着ヘッド99と、この吸着ヘッド99を昇降させるZ方向駆動装置100などによって構成されている。この単位ユニット85によって、本発明でいう吸着ノズル移動装置が構成されている。   As shown in FIG. 6, each unit unit 85 includes an X-direction support member 91 attached to the X-direction extending portion 84 a of the frame-shaped portion 84, and a lower portion of the X-direction support member 91 in the X direction. An X-direction slider 92 that is movably mounted, a second ball screw type X-direction drive device 93 that drives the X-direction slider 92 in the X-direction, and a lower portion of the X-direction slider 92 are integrally formed. A Y-direction support member 94, a Y-direction slider 95 attached to the lower portion of the Y-direction support member 94 so as to be movable in the Y-direction, and a second Y of the ball screw type that drives the Y-direction slider 95 in the Y-direction A direction driving device 96, a Z-direction support member 98 attached to a lower portion of the Y-direction slider 95 via a bracket 97, and a suction head 99 supported by the Z-direction support member 98 so as to be movable in the Z-direction. It is constituted by the Z-direction driving device 100 for vertically moving the suction head 99. The unit unit 85 constitutes the suction nozzle moving device referred to in the present invention.
前記X方向支持部材91とX方向スライダ92との間と、Y方向支持部材94とY方向スライダ95との間には、いわゆるクロスローラガイドなどの直動案内用の部材101が介装されている。前記第2のX方向駆動装置93は、X方向支持部材91にX方向に延びる状態で回転自在に支持されたボールねじ軸102と、このボールねじ軸102の一端部に接続されたモータ103(図4〜図6参照)と、ボールねじ軸102の途中に螺合しかつX方向スライダ92に固着したナット部材104とから構成されている。この第2のX方向駆動装置93のモータ103は、図4に示すように、前記枠状部84のX方向延在部分84aに沿うように装備されている。   A linear motion guide member 101 such as a so-called cross roller guide is interposed between the X direction support member 91 and the X direction slider 92 and between the Y direction support member 94 and the Y direction slider 95. Yes. The second X-direction drive device 93 includes a ball screw shaft 102 that is rotatably supported by the X-direction support member 91 in a state extending in the X direction, and a motor 103 connected to one end of the ball screw shaft 102 ( 4 to 6) and a nut member 104 screwed in the middle of the ball screw shaft 102 and fixed to the X-direction slider 92. As shown in FIG. 4, the motor 103 of the second X-direction drive device 93 is equipped along the X-direction extending portion 84 a of the frame-shaped portion 84.
前記第2のY方向駆動装置96は、図6に示すように、Y方向に延びる状態で前記Y方向支持部材73に回転自在に支持されたボールねじ軸110と、このボールねじ軸110の一端部に接続されたモータ111と、前記ボールねじ軸110の途中に螺合しかつY方向スライダ95に固着したナット部材112とから構成されている。この第2のY方向駆動装置96のモータ111は、図4に示すように、前記枠状部84からY方向の両側に突出するように装備されている。   As shown in FIG. 6, the second Y-direction drive device 96 includes a ball screw shaft 110 that is rotatably supported by the Y-direction support member 73 in a state extending in the Y direction, and one end of the ball screw shaft 110. And a nut member 112 screwed in the middle of the ball screw shaft 110 and fixed to the Y-direction slider 95. As shown in FIG. 4, the motor 111 of the second Y-direction drive device 96 is provided so as to protrude from the frame-shaped portion 84 to both sides in the Y direction.
この第2のY方向駆動装置96と前記第2のX方向駆動装置93は、上述した第1のY方向駆動装置72と第1のX方向駆動装置74に較べてナット部材104,112の移動量が少なくなり、またナット部材104,112の位置(従動側の部材の位置)を決める際の分解能が高くなるように構成されている。   The second Y-direction drive device 96 and the second X-direction drive device 93 are configured to move the nut members 104 and 112 as compared with the first Y-direction drive device 72 and the first X-direction drive device 74 described above. The amount is reduced, and the resolution when determining the position of the nut members 104 and 112 (position of the driven member) is increased.
前記Z方向支持部材98は、図6に示すように、Z方向に延びる筒状に形成されており、内部に後述するZ方向駆動装置100のボールねじ軸113と、後述する吸着ヘッド99を昇降自在に支持するガイド部材(図示せず)などを収容している。
Z方向駆動装置100は、図6に示すように、Z方向に延びる状態で前記Z方向支持部材98に回転自在に支持された前記ボールねじ軸113と、Z方向支持部材98の上端部に支持されかつ前記ボールねじ軸113の上端部に接続されたモータ114と、前記ボールねじ軸113の途中に螺合しかつ後述する吸着ヘッド99に結合されたナット部材115とから構成されている。
As shown in FIG. 6, the Z direction support member 98 is formed in a cylindrical shape extending in the Z direction, and moves up and down a ball screw shaft 113 of a Z direction drive device 100 described later and a suction head 99 described later. A guide member (not shown) that is freely supported is accommodated.
As shown in FIG. 6, the Z-direction drive device 100 is supported by the ball screw shaft 113 that is rotatably supported by the Z-direction support member 98 in a state extending in the Z direction, and the upper end portion of the Z-direction support member 98. The motor 114 is connected to the upper end of the ball screw shaft 113, and the nut member 115 is screwed in the middle of the ball screw shaft 113 and coupled to a suction head 99 described later.
前記吸着ヘッド99は、図6に示すように、前記Z方向支持部材98のガイド部材に嵌合するとともにZ方向駆動装置100のナット部材115に結合されたハウジング121と、Z方向に延びる状態で前記ハウジング121の内部に回転自在に支持されたシャフト122と、このシャフト122を回転させるモータ123を有する回転駆動装置124と、前記シャフト122の下端部に着脱可能に取付けられた吸着ノズル125とを備えている。前記シャフト122は、中空状に形成されており、空気吸引装置(図示せず)に接続されている。   As shown in FIG. 6, the suction head 99 is fitted to the guide member of the Z-direction support member 98 and is coupled to the nut member 115 of the Z-direction drive device 100, and extends in the Z direction. A shaft 122 rotatably supported inside the housing 121, a rotation driving device 124 having a motor 123 for rotating the shaft 122, and a suction nozzle 125 detachably attached to the lower end portion of the shaft 122. I have. The shaft 122 is formed in a hollow shape and is connected to an air suction device (not shown).
前記吸着ノズル125は、下端に吸着面が形成され、前記シャフト122ともに前記ハウジング121に対してZ方向の軸線回りに回動できるように構成されている。
すなわち、この単位ユニット85は、図5に示すように、支持部材73に対してX方向と、Y方向と、Z方向とに吸着ノズル125を移動させるとともに、Z方向の軸線回りに吸着ノズル125を回動させる。
The suction nozzle 125 has a suction surface at the lower end, and is configured so that both the shaft 122 and the housing 121 can be rotated around an axis in the Z direction.
That is, as shown in FIG. 5, the unit unit 85 moves the suction nozzle 125 in the X direction, the Y direction, and the Z direction with respect to the support member 73, and the suction nozzle 125 around the Z-direction axis. Rotate.
この吸着ノズル125を含めこのICハンドラー1の動作を制御する制御手段(図示せず)は、検査装置本体7内の制御装置と不図示の連係用ケーブルで結ばれ、複数の検査用ソケット6への各電子部品5の各吸着ノズル125による装着が終了した情報を検査装置本体7内の制御装置に伝達し、検査装置本体7内の制御装置は検査が終わったことと検査結果の情報を、前記制御手段へ伝達する。   A control means (not shown) for controlling the operation of the IC handler 1 including the suction nozzle 125 is connected to a control device in the inspection apparatus body 7 by a link cable (not shown), and is connected to a plurality of inspection sockets 6. The information about the mounting of each electronic component 5 by each suction nozzle 125 is transmitted to the control device in the inspection apparatus main body 7, and the control device in the inspection apparatus main body 7 informs that the inspection is completed and the inspection result. To the control means.
また、ICハンドラー1の制御手段は、検査が終わったことと検査結果の情報を受けて、検査済みの電子部品5が良品である場合には良品用トレイT2へ、不良品である場合には不良品用トレイT3にそれぞれ電子部品5を移載するように、ヘッドユニット75を制御する。   Further, the control means of the IC handler 1 receives information on the completion of the inspection and the inspection result, and when the inspected electronic component 5 is a non-defective product, it is transferred to the non-defective product tray T2. The head unit 75 is controlled so that the electronic component 5 is transferred to the defective product tray T3.
次に、上述したように構成されたICハンドラー1の動作について説明する。このICハンドラー1によって、電子部品5を検査用ソケット6に装填するためには、先ず、ストッカー11から第1の支持装置30と第2の支持装置31とによって未検査品用トレイT1を部品領域Bに搬送し、第1または第2の部品移動装置3,4によって前記トレイT1の上の電子部品5を検査用ソケット6に移動させる。   Next, the operation of the IC handler 1 configured as described above will be described. In order to load the electronic component 5 into the inspection socket 6 by the IC handler 1, first, the uninspected product tray T 1 is moved from the stocker 11 to the component region by the first support device 30 and the second support device 31. The electronic component 5 on the tray T1 is moved to the inspection socket 6 by the first or second component moving device 3 or 4.
ストッカー11から未検査品用トレイT1を第1の支持装置30に移載するためには、先ず、図9(a)に示すように、所望のストッカー11の下方に第1のトレイ保持部38を移動させ、第1のシリンダ41によってトレイ支承部材45を上昇位置に上昇させるとともに、第2のシリンダ42を伸長状態とする。このとき、前記トレイ支承部材45はストッカー11内の最も下に位置するトレイT1に接触する。次に、同図(b)に示すように、ストッカー11のフック24を後退させ、同図(c)に示すように、第1のシリンダ41のピストンロッド41aを下降させる。   In order to transfer the uninspected product tray T1 from the stocker 11 to the first support device 30, first, as shown in FIG. 9A, the first tray holding portion 38 is provided below the desired stocker 11. The tray support member 45 is raised to the raised position by the first cylinder 41, and the second cylinder 42 is brought into the extended state. At this time, the tray support member 45 contacts the lowermost tray T1 in the stocker 11. Next, as shown in FIG. 4B, the hook 24 of the stocker 11 is retracted, and the piston rod 41a of the first cylinder 41 is lowered as shown in FIG.
このピストンロッド41aの下降により、トレイ支承部材45とストッカー11内の多数のトレイTが下降し、第2のシリンダ42のピストンロッド42aによって支承されるようになる。その後、図10(a)に示すように、前記フック24を前進させ、同図(b)に示すように、第2のシリンダ42のピストンロッド42aを下降させる。このようにピストンロッド42aが下降することにより、トレイ支承部材45とトレイT1とが下がり、トレイT1がベルトコンベア44上に支承される。   By the lowering of the piston rod 41a, the tray support member 45 and a large number of trays T in the stocker 11 are lowered and are supported by the piston rod 42a of the second cylinder 42. Thereafter, as shown in FIG. 10 (a), the hook 24 is advanced, and as shown in FIG. 10 (b), the piston rod 42a of the second cylinder 42 is lowered. As the piston rod 42a is lowered in this manner, the tray support member 45 and the tray T1 are lowered, and the tray T1 is supported on the belt conveyor 44.
次に、このベルトコンベア44と、中継用コンベア32のベルトコンベア70と、第2のトレイ保持部51のベルトコンベア60とを同一方向に動作させる。これらのベルトコンベア45,60,70が動作することにより、前記トレイT1は、ストッカー11の下方から中継用コンベア32を通って第2の支持装置31内に搬送される。なお、このとき、第2の支持装置31においては、第2のトレイ保持部51のトレイ昇降用プレート61を待機位置に位置付けておく。   Next, the belt conveyor 44, the belt conveyor 70 of the relay conveyor 32, and the belt conveyor 60 of the second tray holding unit 51 are operated in the same direction. By operating these belt conveyors 45, 60 and 70, the tray T <b> 1 is conveyed from below the stocker 11 through the relay conveyor 32 into the second support device 31. At this time, in the second support device 31, the tray lifting / lowering plate 61 of the second tray holding portion 51 is positioned at the standby position.
3組の第2のトレイ保持部51のうち他の2組の第2のトレイ保持部51には、良品用トレイT2と不良品用トレイT3とを上述した動作と同様の動作により搬送する。このときには、部品領域移動装置52によって第2のトレイ保持部51をX方向に移動させ、良品用トレイT2または不良品用トレイT3を搬入する第2のトレイ保持部51を中継用コンベア32の搬送方向の下流側に位置付ける。   The non-defective product tray T <b> 2 and the defective product tray T <b> 3 are transported to the other two sets of the second tray holding units 51 among the three sets of the second tray holding units 51 by the same operation as described above. At this time, the second tray holding portion 51 is moved in the X direction by the component area moving device 52, and the second tray holding portion 51 for carrying in the non-defective product tray T2 or the defective product tray T3 is transported to the relay conveyor 32. Position downstream in the direction.
トレイT1が第2のトレイ保持部51内に搬入され、センサ64によってトレイT1の搬送方向後側の端部が検出されることにより、前記ベルトコンベアが停止する。また、このときには、トレイT1の搬送方向前側の端部がストッパー59に当接することによって、トレイT1が搬送方向(Y方向)に位置決めされる。このようにベルトコンベア60が停止した後、第2のトレイ保持部51のシリンダ54によってトレイ昇降用プレート61とともにトレイT1を上昇させる。   The tray T1 is carried into the second tray holding unit 51, and the end of the tray T1 on the rear side in the transport direction is detected by the sensor 64, whereby the belt conveyor is stopped. At this time, the tray T1 is positioned in the transport direction (Y direction) by the end of the tray T1 on the front side in the transport direction coming into contact with the stopper 59. After the belt conveyor 60 is thus stopped, the tray T1 is raised together with the tray lifting plate 61 by the cylinder 54 of the second tray holding portion 51.
このようにトレイT1が上昇すると、このトレイT1は、一対の側部ガイド部材58,38によってX方向に位置決めされ、前側受圧板56および後側受圧板57とトレイ昇降用プレート61とによって挟圧されることにより歪みが矯正される。このため、トレイT1は、第2のトレイ保持部51にX方向とY方向とに位置決めされた状態で保持される。   When the tray T1 is raised as described above, the tray T1 is positioned in the X direction by the pair of side guide members 58 and 38, and is clamped by the front pressure plate 56, the rear pressure plate 57, and the tray lifting plate 61. By doing so, the distortion is corrected. For this reason, the tray T1 is held by the second tray holding portion 51 in a state of being positioned in the X direction and the Y direction.
このように第2の支持装置31によってトレイTがストッカー11から検査用ソケット6側に移動することにより、トレイTは検査用ソケット6にY方向に移動し検査用ソケット6に接近することになる。特に、X方向に並ぶ複数のストッカー11のうち、例えばX方向の両端に位置するストッカー11のトレイは、X方向のみならずY方向においても検査用ソケット6に接近することになる。   Thus, the tray T moves from the stocker 11 to the inspection socket 6 side by the second support device 31, so that the tray T moves in the Y direction to the inspection socket 6 and approaches the inspection socket 6. . In particular, among the plurality of stockers 11 arranged in the X direction, for example, the trays of the stocker 11 located at both ends in the X direction approach the inspection socket 6 not only in the X direction but also in the Y direction.
トレイT1が第2のトレイ保持部51に保持された後、第1の部品移動装置3または第2の部品移動装置4の第1のX方向駆動装置74と第1のY方向駆動装置72との駆動によりヘッドユニット75がトレイT1の上方に移動する。その後、Z方向駆動装置100の駆動により各吸着ヘッド99が下降して4個の吸着ノズル125によってトレイT1上の4個の電子部品5を吸着する。このとき、ヘッドユニット75は、吸着ノズル125の位置(X方向とY方向のピッチ)がトレイT1の部品収納用凹陥部の位置(X方向とY方向のピッチ)と一致するように第2のX方向駆動装置93と第2のY方向移動装置96とを動作させる。そして、いずれかの基準とする吸着ノズル125が、この吸着ノズル125に対応することになる基準となる部品収納用凹陥部の真上に来るように、第1のY軸方向駆動装置72および第1のX軸方向駆動装置74を動作させて、ヘッドユニット75を移動制御する。   After the tray T1 is held by the second tray holding unit 51, the first X-direction driving device 74 and the first Y-direction driving device 72 of the first component moving device 3 or the second component moving device 4 The head unit 75 moves to the upper side of the tray T1. Thereafter, each suction head 99 is lowered by driving the Z-direction driving device 100 and the four electronic components 5 on the tray T1 are sucked by the four suction nozzles 125. At this time, the head unit 75 has the second position so that the position of the suction nozzle 125 (the pitch in the X direction and the Y direction) matches the position (the pitch in the X direction and the Y direction) of the component storage concave portion of the tray T1. The X direction driving device 93 and the second Y direction moving device 96 are operated. Then, the first Y-axis direction driving device 72 and the first driving device 72 are arranged so that any of the suction nozzles 125 serving as a reference is located directly above the reference component storage recess corresponding to the suction nozzle 125. The X-axis direction driving device 74 is operated to control the movement of the head unit 75.
吸着ノズル125が電子部品5を吸着した後、第1のX方向駆動装置74と第1のY方向駆動装置72の駆動により、ヘッドユニット75は基台側撮像装置14の上方を通過してから検査用ソケット6の上方に移動する。
基台側撮像装置14の上方をヘッドユニット75が通過することにより、この基台側撮像装置14によって電子部品5が下方から撮像され、このICハンドラー1の図示していない制御装置によって、吸着ノズル125に対する電子部品5の位置が検出される。
After the suction nozzle 125 sucks the electronic component 5, the head unit 75 passes over the base side imaging device 14 by the driving of the first X direction driving device 74 and the first Y direction driving device 72. It moves above the inspection socket 6.
When the head unit 75 passes above the base side imaging device 14, the electronic component 5 is imaged from below by the base side imaging device 14, and the suction nozzle is picked up by a control device (not shown) of the IC handler 1. The position of the electronic component 5 with respect to 125 is detected.
ヘッドユニット75は、前記検出結果に基づいて電子部品5の位置を検査用ソケット6の位置と一致するように第2のX方向駆動装置93と第2のY方向駆動装置96とによって吸着ノズル125をX方向とY方向とに移動させる。また、このとき、ヘッドユニット75は、回転駆動装置124によって、Z方向の軸線回りの電子部品5の角度を検査用ソケット6の角度と一致するように調整する。   The head unit 75 uses the second X-direction drive device 93 and the second Y-direction drive device 96 so that the position of the electronic component 5 coincides with the position of the inspection socket 6 based on the detection result. Are moved in the X and Y directions. At this time, the head unit 75 adjusts the angle of the electronic component 5 around the axis line in the Z direction so as to coincide with the angle of the inspection socket 6 by the rotation driving device 124.
この吸着ノズル125の位置の修正は、ヘッドユニット75が検査用ソケット6の上方に移動するまでの間に実施される。なお、検査用ソケット6の位置は、ヘッドユニット75に設けられたヘッド側撮像装置86により検査用ソケット6を撮像することによって検出する。この撮像と検査用ソケット6の位置検出は、例えば検査用ソケット6の交換時に行う。   The correction of the position of the suction nozzle 125 is performed until the head unit 75 moves above the inspection socket 6. The position of the inspection socket 6 is detected by imaging the inspection socket 6 with the head side imaging device 86 provided in the head unit 75. The imaging and the position detection of the inspection socket 6 are performed, for example, when the inspection socket 6 is replaced.
しかる後、ヘッドユニット75は、吸着ヘッド99を下降させて4個の電子部品5を同時に検査用ソケット6に装填する。このように検査用ソケット6に電子部品5が装填されることにより、部品検査装置7によって電子部品5に対して所定の検査が行われる。検査中には、他方の部品移動装置4が前記同様にトレイT1上の電子部品5を吸着し、検査用ソケット6の近傍に移動して前記検査が終了するまで待機する。   Thereafter, the head unit 75 lowers the suction head 99 and simultaneously loads the four electronic components 5 into the inspection socket 6. When the electronic component 5 is loaded in the inspection socket 6 in this manner, the component inspection apparatus 7 performs a predetermined inspection on the electronic component 5. During the inspection, the other component moving device 4 sucks the electronic component 5 on the tray T1 in the same manner as described above, moves to the vicinity of the inspection socket 6, and waits until the inspection is completed.
検査終了後、ヘッドユニット75は、検査用ソケット6から電子部品5を上昇させ、3個ある第2のトレイ保持部51のうち良品用トレイT2または不良品用トレイT3が位置する第2のトレイ保持部51の上方に移動し、これらのトレイT2,T3に電子部品5を移載する。この移載時にヘッドユニット75は、前記トレイT2またはトレイT3の部品収納用凹陥部の位置と現在の電子部品5の位置とが一致していない場合は、これが一致するように第2のX方向駆動装置93、第2のY方向駆動装置96および回転駆動装置124を動作させ、電子部品5の位置を修正する。そして、いずれかの基準とする吸着ノズル125が、この吸着ノズル125に対応することになる基準となる部品収納用凹陥部の真上に来るように、第1のY軸方向駆動装置72および第1のX軸方向駆動装置74を動作させて、ヘッドユニット75を移動制御する。   After completion of the inspection, the head unit 75 raises the electronic component 5 from the inspection socket 6, and among the three second tray holding portions 51, the second tray on which the non-defective product tray T <b> 2 or the defective product tray T <b> 3 is located. It moves above the holding part 51 and transfers the electronic component 5 to these trays T2 and T3. At the time of transfer, when the position of the concave portion for storing the component of the tray T2 or the tray T3 and the current position of the electronic component 5 do not match, the head unit 75 performs the second X direction so as to match. The drive device 93, the second Y-direction drive device 96, and the rotary drive device 124 are operated to correct the position of the electronic component 5. Then, the first Y-axis direction driving device 72 and the first driving device 72 are arranged so that any of the suction nozzles 125 serving as a reference is located directly above the reference component storage recess corresponding to the suction nozzle 125. The X-axis direction driving device 74 is operated to control the movement of the head unit 75.
第2のトレイ保持部51に保持されている未検査品用トレイT1上の電子部品5が全て取出されこのトレイT1が空になったり、良品用トレイT2または不良品用トレイT3が検査後の電子部品5で満たされたときは、図8(a)に示すように、これらの返却用のトレイT4を一つずつ第2のトレイ保持部51から中継用コンベア32を介して2組の第1のトレイ保持部38のうち一方に移動させる。   All of the electronic components 5 on the uninspected product tray T1 held in the second tray holding unit 51 are taken out, and this tray T1 becomes empty, or the good product tray T2 or the defective product tray T3 is inspected. When the electronic parts 5 are filled, as shown in FIG. 8 (a), these return trays T4 are transferred one by one from the second tray holding portion 51 via the relay conveyor 32. One tray holding unit 38 is moved to one side.
次に、同図(b)に示すように、第1の支持装置30を動作させて2組の第1のトレイ保持部38をX方向に移動させ、他方の第1のトレイ保持部38を中継用コンベア32と対向させる。そして、同図(c)に示すように、前記他方の第1のトレイ保持部38に予め載せておいた新たなトレイT5を中継用コンベア32経由で前記第2のトレイ保持部51に搬送する。このように前記他方の第1のトレイ保持部38上から前記新たなトレイT5が搬出された後、前記一方の第1のトレイ保持部38を所定のストッカー11の下方に移動させ、返却用のトレイT4をストッカー11内に収納する。   Next, as shown in FIG. 5B, the first support device 30 is operated to move the two sets of first tray holding portions 38 in the X direction, and the other first tray holding portion 38 is moved. It is opposed to the relay conveyor 32. Then, as shown in FIG. 3C, a new tray T5 previously placed on the other first tray holding unit 38 is conveyed to the second tray holding unit 51 via the relay conveyor 32. . In this way, after the new tray T5 is unloaded from the other first tray holding portion 38, the one first tray holding portion 38 is moved below the predetermined stocker 11 to return it. The tray T4 is stored in the stocker 11.
返却用のトレイT4のストッカー11への収納は、図11および図12に示すように行う。すなわち、先ず、図11(a),(b)に示すように、第1の支持装置30の第2のシリンダ42によって返却用のトレイT4をストッカー11の最下端に位置する他のトレイTに下方から接触させ、ストッカー11のフック24を後退させる。この後、同図(c)に示すように、第1のシリンダ41によって、返却用のトレイT4とともに前記他のトレイTを含むストッカー11内の全てのトレイTをトレイ1枚分押上げ、図12(a)に示すように、フック24を前進させる。このようにフック24が前進した後に第1および第2のシリンダ41,42のピストンロッド41a,42aを下降させる。   The return tray T4 is stored in the stocker 11 as shown in FIGS. That is, first, as shown in FIGS. 11 (a) and 11 (b), the return tray T 4 is moved to another tray T positioned at the lowermost end of the stocker 11 by the second cylinder 42 of the first support device 30. Contact is made from below, and the hook 24 of the stocker 11 is retracted. Thereafter, as shown in FIG. 5C, the first cylinder 41 pushes up all the trays T in the stocker 11 including the other tray T together with the return tray T4 by one tray. 12 (a), the hook 24 is advanced. Thus, after the hook 24 moves forward, the piston rods 41a and 42a of the first and second cylinders 41 and 42 are lowered.
このように構成されたICハンドラー1においては、ストッカー11のトレイTをトレイ支持装置12によって検査用ソケット6に近接するような位置(部品受け渡し位置)まで移動させることができる。また、このICハンドラー1においては、検査用ソケット6に近接する位置(部品受け渡し位置)にあるトレイTをトレイ支持装置12によって検査用ソケット6とはY方向の反対側に位置するストッカー11に移動させることができる。トレイTの交換のための移動は必要ではあるが頻度は少なく、一方、検査毎に必要となる電子部品の移動は距離を短くしている。したがって、このICハンドラー11によれば、従来のICハンドラーに較べて部品移動装置の移動する距離が短くなり、タクトタイムを短縮することができる。また、トレイTと検査用ソケット6との間の電子部品5の移動は、第1および第2の部品移動装置3,4のみで実施しており、複数の部品装置を使うものに較べて電子部品5の損傷が起き難い。   In the IC handler 1 configured as described above, the tray T of the stocker 11 can be moved to a position (component delivery position) close to the inspection socket 6 by the tray support device 12. Further, in this IC handler 1, the tray T located at a position close to the inspection socket 6 (part delivery position) is moved by the tray support device 12 to the stocker 11 positioned on the opposite side to the inspection socket 6 in the Y direction. Can be made. The movement for replacing the tray T is necessary, but the frequency is low. On the other hand, the movement of the electronic component required for each inspection shortens the distance. Therefore, according to this IC handler 11, compared with the conventional IC handler, the moving distance of the component moving device is shortened, and the tact time can be shortened. In addition, the movement of the electronic component 5 between the tray T and the inspection socket 6 is performed only by the first and second component moving devices 3 and 4, and the electronic component 5 is electronic compared to a device using a plurality of component devices. The part 5 is hardly damaged.
この実施の形態によるICハンドラー1においては、部品移動装置3,4が電子部品5を吸着、載置する複数のトレイTは、検査用ソケット6とストッカー11との間にX方向に並ぶ状態で配設されている。このため、このICハンドラー1では、これらの全てのトレイTと検査用ソケット6との距離を略同一とすることができる。したがって、この実施の形態によるICハンドラー1によれば、前記吸着、載置を行うためにトレイTを越えて検査用ソケット6とは反対側へ部品移動装置の吸着ノズルが移動するような構成の従来のICハンドラーに較べて、電子部品5の吸着→移動→検査→載置という一連の検査動作を行う際のタクトタイムを短縮することができる。   In the IC handler 1 according to this embodiment, the plurality of trays T on which the component moving devices 3 and 4 suck and place the electronic component 5 are arranged in the X direction between the inspection socket 6 and the stocker 11. It is arranged. For this reason, in this IC handler 1, the distance between all these trays T and the inspection socket 6 can be made substantially the same. Therefore, according to the IC handler 1 according to this embodiment, the suction nozzle of the component moving device moves to the opposite side of the inspection socket 6 beyond the tray T in order to perform the suction and placement. Compared to a conventional IC handler, the tact time for performing a series of inspection operations of suction, movement, inspection, and placement of the electronic component 5 can be shortened.
また、この実施の形態によるICハンドラー1によれば、第1の支持装置30のストッカー11へのトレイTの出入れ動作と、第2の支持装置31のトレイT上での部品移動装置3,4の電子部品5の吸着、載置動作とを同時に行うことができる。したがって、第2の支持装置31上でトレイTに対して電子部品5の吸着または載置が行われているときに動作の対象ではないトレイTをストッカー11に対して出し入れすることができる。このため、トレイTを交換するために電子部品5の吸着、載置を行う動作を停止させる必要がないから、より一層タクトタイムを短縮することができる。   In addition, according to the IC handler 1 according to this embodiment, the tray T is put in and out of the stocker 11 of the first support device 30 and the component moving device 3 on the tray T of the second support device 31 is moved. 4 electronic component 5 can be sucked and placed at the same time. Therefore, when the electronic component 5 is being sucked or placed on the tray T on the second support device 31, the tray T that is not the object of operation can be taken in and out of the stocker 11. For this reason, since it is not necessary to stop the operation | movement which adsorb | sucks and mounts the electronic component 5 in order to replace | exchange tray T, a tact time can be shortened further.
この実施の形態によるICハンドラー1においては、第1の部品移動装置3と第2の部品移動装置4とを備え、これらの第1、第2の部品移動装置3,4は、電子部品5を検査用ソケット6に交互に装填するように対称に配設されている。このため、この実施の形態によるICハンドラー1によれば、一方の部品移動装置によって電子部品5を検査用ソケット6に装填し保持している間に(検査中に)他方の部品移動装置によって次の電子部品5を準備しておくことができる。   The IC handler 1 according to this embodiment includes a first component moving device 3 and a second component moving device 4, and these first and second component moving devices 3 and 4 include electronic components 5. The inspection sockets 6 are arranged symmetrically so as to be alternately loaded. Therefore, according to the IC handler 1 according to this embodiment, while the electronic component 5 is loaded and held in the inspection socket 6 by one component moving device (during the inspection), the other component moving device performs the next operation. The electronic component 5 can be prepared.
この実施の形態によるICハンドラー1において、第1の部品移動装置3および第2の部品移動装置4は、吸着ノズル125を昇降させるとともに回動させる吸着ヘッド99と、この吸着ヘッド99を複数支持するヘッドユニット75と、このヘッドユニット75を水平方向に移動させるヘッドユニット75用の移動装置(第1のX方向駆動装置74と第1のY方向駆動装置72など)とを備えている。このため、この実施の形態によるICハンドラー1においては、複数の電子部品5,5を複数の検査用ソケット6,6に一度に装填することができるから、電子部品を一つずつ検査用ソケットに装填する構成のICハンドラーに較べて検査の能率が高くなる。   In the IC handler 1 according to this embodiment, the first component moving device 3 and the second component moving device 4 support a plurality of suction heads 99 that raise and lower the suction nozzle 125 and rotate the suction nozzles 125. A head unit 75 and a moving device for the head unit 75 (a first X-direction driving device 74, a first Y-direction driving device 72, etc.) for moving the head unit 75 in the horizontal direction are provided. For this reason, in the IC handler 1 according to this embodiment, a plurality of electronic components 5 and 5 can be loaded into the plurality of inspection sockets 6 and 6 at a time. The inspection efficiency is higher than that of an IC handler configured to be loaded.
本発明に係るICハンドラーは、図14ないし図19に示すように構成することができる。図14はICハンドラーの他の形態を示す平面図、図15は図14におけるXV−XV線断面図、図16〜図19はICハンドラーの他の形態を示す平面図である。これらの図において、前記図1〜図13によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。   The IC handler according to the present invention can be configured as shown in FIGS. 14 is a plan view showing another embodiment of the IC handler, FIG. 15 is a sectional view taken along line XV-XV in FIG. 14, and FIGS. 16 to 19 are plan views showing other embodiments of the IC handler. In these drawings, members that are the same as or equivalent to those described with reference to FIGS. 1 to 13 are given the same reference numerals, and detailed descriptions thereof are omitted as appropriate.
図14と図15に示すICハンドラー1は、基台側撮像装置14の構成が異なるだけで他の部材は図1〜図13に示すICハンドラー1と同等の構成が採られている。図14と図15に示すICハンドラー1は、基台側撮像装置14を1台のみ備えている。この基台側撮像装置14は、ボールねじ式の駆動装置201によってX方向に移動するように構成されている。   The IC handler 1 shown in FIG. 14 and FIG. 15 has the same configuration as that of the IC handler 1 shown in FIGS. 1 to 13 except that the configuration of the base side imaging device 14 is different. The IC handler 1 shown in FIGS. 14 and 15 includes only one base side imaging device 14. The base side imaging device 14 is configured to move in the X direction by a ball screw type driving device 201.
この構成を採ることにより、基台側撮像装置14をヘッドユニット75に接近するように移動させることができるから、部品吸着後にヘッドユニット75を検査用ソケット6に向けて一直線状に移動させることができる。このため、このICハンドラー1によれば、タクトタイムをより一層短縮することができる。   By adopting this configuration, the base-side imaging device 14 can be moved so as to approach the head unit 75. Therefore, the head unit 75 can be moved in a straight line toward the inspection socket 6 after the components are attracted. it can. For this reason, according to the IC handler 1, the tact time can be further shortened.
図16〜図19に示すICハンドラー1は、部品移動装置を一台のみ備えている。図16に示す部品移動装置202は、図1〜図13に示すICハンドラー1に用いられている第1の部品移動装置3と同一の構造のものである。
図17に示す部品移動装置203は、基台2のX方向の両端部に固定レール204が設けられ、これらの固定レール204上に横架されるように支持部材205が設けられている。この支持部材205は、固定レール204にY方向に移動自在に支持されるとともに、ボールねじ式の第1のY方向駆動装置206によってY方向に移動する。この支持部材205は、X方向に延びるレール207を備え、このレール207によってヘッドユニット75をX方向に移動自在に支持している。
The IC handler 1 shown in FIGS. 16 to 19 includes only one component moving device. A component moving device 202 shown in FIG. 16 has the same structure as the first component moving device 3 used in the IC handler 1 shown in FIGS.
In the component moving device 203 shown in FIG. 17, fixed rails 204 are provided at both ends in the X direction of the base 2, and support members 205 are provided so as to be horizontally mounted on these fixed rails 204. The support member 205 is supported by the fixed rail 204 so as to be movable in the Y direction, and is moved in the Y direction by a ball screw type first Y direction driving device 206. The support member 205 includes a rail 207 extending in the X direction, and the rail 207 supports the head unit 75 so as to be movable in the X direction.
このヘッドユニット75は、支持部材205に設けられたボールねじ式の第1のX方向駆動装置208によってX方向に移動する。この実施の形態によるヘッドユニット75は、レール207にX方向に移動自在に支持されかつ支持部材205から装置前方に延出するように形成された移動部材209に支持されており、支持部材205のY方向への移動によりY方向に移動し、移動部材209のX方向への移動により支持部材205の上でX方向に移動する。このため、この実施の形態においては、図1〜図17で示した形態を採るときに使用した支持部材73は使用されておらず、単位ユニット85は移動部材209に直接取付けられている。   The head unit 75 is moved in the X direction by a ball screw type first X direction driving device 208 provided on the support member 205. The head unit 75 according to this embodiment is supported by a moving member 209 that is supported by the rail 207 so as to be movable in the X direction and extends from the supporting member 205 to the front of the apparatus. The movement in the Y direction moves in the Y direction, and the movement of the moving member 209 in the X direction moves on the support member 205 in the X direction. For this reason, in this embodiment, the support member 73 used when taking the form shown in FIGS. 1 to 17 is not used, and the unit unit 85 is directly attached to the moving member 209.
図18と図19に示すICハンドラー1は、図1〜図17で示す各ICハンドラー1で用いられている中継用コンベア32を装備しておらず、第1の支持装置30と第2の支持装置31との間でトレイTが直接移動するように構成されている。図18に示すICハンドラー1の部品移動装置210は、ストッカー11と第2のトレイ保持部51との間と、基台2の後端部とに固定レール211が設けられ、この固定レール211に支持部材212がX方向に移動自在に支持されている。この支持部材212は、ボールねじ式の第1のX方向駆動装置213によってX方向に移動する。また、この支持部材212は、Y方向に延びるレール214を備え、このレール214によってヘッドユニット75をY方向に移動自在に支持している。ヘッドユニット75は、前記支持部材212に設けられた第1のY方向駆動装置215によってY方向に移動する。   The IC handler 1 shown in FIGS. 18 and 19 is not equipped with the relay conveyor 32 used in each IC handler 1 shown in FIGS. 1 to 17, and the first support device 30 and the second support are provided. The tray T is configured to move directly with the apparatus 31. The component moving device 210 of the IC handler 1 shown in FIG. 18 is provided with a fixed rail 211 between the stocker 11 and the second tray holding unit 51 and at the rear end of the base 2. A support member 212 is supported so as to be movable in the X direction. The support member 212 is moved in the X direction by a ball screw type first X direction driving device 213. The support member 212 includes a rail 214 extending in the Y direction, and the rail 214 supports the head unit 75 so as to be movable in the Y direction. The head unit 75 is moved in the Y direction by the first Y direction driving device 215 provided on the support member 212.
この実施の形態によるヘッドユニット75は、レール214にY方向に移動自在に支持されかつ支持部材212から装置左側に延出するように形成された移動部材216に支持されており、支持部材212のX方向への移動によりX方向に移動し、移動部材216のY方向への移動により支持部材212の上でY方向に移動する。このため、この実施の形態においては、図1〜図17で示した形態を採るときに使用した支持部材73は使用されておらず、単位ユニット85は移動部材216に直接取付けられている。   The head unit 75 according to this embodiment is supported by a moving member 216 that is supported by a rail 214 so as to be movable in the Y direction and extends from the support member 212 to the left side of the apparatus. The movement in the X direction moves in the X direction, and the movement of the moving member 216 in the Y direction moves on the support member 212 in the Y direction. For this reason, in this embodiment, the support member 73 used when taking the form shown in FIGS. 1 to 17 is not used, and the unit unit 85 is directly attached to the moving member 216.
図19に示すICハンドラー1の部品移動装置220は、ヘッドユニット75の延びる方向が異なる他は図17に示した部品移動装置203と同等の構成が採られている。このため、ここでは同一符号を付して詳細な説明は省略する。図19に示すヘッドユニット75は、支持部材205から装置前方に延出するように形成されている。   The component moving device 220 of the IC handler 1 shown in FIG. 19 has the same configuration as the component moving device 203 shown in FIG. 17 except that the extending direction of the head unit 75 is different. For this reason, the same code | symbol is attached | subjected here and detailed description is abbreviate | omitted. The head unit 75 shown in FIG. 19 is formed so as to extend from the support member 205 to the front of the apparatus.
上記各実施の形態においては、ICハンドラーは、テストヘッド8が基台2に脱可能に固着されている。このため、テストヘッド8を基台2に装着して部品検査をすれば、基台が載置される床に基台から遊離してテストヘッドを載置するICハンドラーに較べ、外部環境の振動が床に伝達される場合であっても検査用ソケット6への吸着ノズル125の位置合わせを正確に実施できる。   In each of the above embodiments, the IC handler has the test head 8 fixed to the base 2 in a removable manner. For this reason, when the test head 8 is mounted on the base 2 and the parts are inspected, the vibration of the external environment is separated from the IC handler where the test head is placed on the floor on which the base is placed. Even if it is transmitted to the floor, the suction nozzle 125 can be accurately aligned with the inspection socket 6.
ICハンドラー1内の制御装置と検査装置本体7とは、不図示の信号線で連結され、ICハンドラー1は、電子部品5の検査時、検査装置本体7と連係して動作するので、検査装置本体7をICハンドラー1の一部としても良い。この場合、動作プログラムを一つで構成したり、制御装置を一つにまとめることが有効である。また、検査装置本体7を床に載置するのではなく、基台2の不図示の下部構造部材に載置させるようにしても良い。これにより、部品検査装置としての動作検査を、ICハンドラー1の生産向上で実施することもできる。また、一体としての運搬もできる。   The control device in the IC handler 1 and the inspection device body 7 are connected by a signal line (not shown), and the IC handler 1 operates in conjunction with the inspection device body 7 when the electronic component 5 is inspected. The main body 7 may be a part of the IC handler 1. In this case, it is effective to configure a single operation program or combine control devices into one. Further, the inspection apparatus body 7 may be placed on a lower structural member (not shown) of the base 2 instead of being placed on the floor. Thereby, the operation inspection as the component inspection apparatus can be performed by improving the production of the IC handler 1. It can also be transported as a unit.
テストヘッド8は、基台2に脱可能に固着され、検査用ソケット6と検査装置本体7とを結ぶ不図示の検査用ケーブルはいずれか一端あるいは中間部に不図示のコネクタが配置されるので、検査対象の電子部品5が変更されるに対応して、検査用プログラムの変更を除けば、交換検査装置本体7に影響を与えることなく簡単にテストヘッド8の交換により、部品検査を実施することができる。ICハンドラー1内の制御装置と検査装置本体7の制御装置とは、不図示の信号線で情報の受け渡しを行い、それぞれの部品移載プログラムと部品検査プログラムを連係は取りながら並列実施しても良いが、ICハンドラー1内の制御装置で、部品移載制御と、部品検査制御の両方を実施させるようにしても良い。   The test head 8 is detachably fixed to the base 2, and a test cable (not shown) connecting the test socket 6 and the test apparatus main body 7 is provided with a connector (not shown) at either one end or an intermediate part. Corresponding to the change of the electronic component 5 to be inspected, the component inspection is performed by simply replacing the test head 8 without affecting the replacement inspection apparatus body 7 except for the change of the inspection program. be able to. The control device in the IC handler 1 and the control device of the inspection apparatus main body 7 exchange information by a signal line (not shown), and the parts transfer program and the parts inspection program may be executed in parallel while being linked. Although it is good, both the component transfer control and the component inspection control may be performed by the control device in the IC handler 1.
本発明に係るICハンドラーの平面図である。It is a top view of the IC handler concerning the present invention. 図1におけるII−II線断面図である。It is the II-II sectional view taken on the line in FIG. 図3は部品移動装置の構成を説明するための斜視図である。FIG. 3 is a perspective view for explaining the configuration of the component moving device. ヘッドユニットの斜視図である。It is a perspective view of a head unit. 単位ユニットの動作方向を説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating the operation direction of a unit unit. 単位ユニットの側面図である。It is a side view of a unit unit. 第2の支持装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of a 2nd support apparatus. トレイ移載装置とトレイ支持装置の動作を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating operation | movement of a tray transfer apparatus and a tray support apparatus. トレイ移載装置とストッカーの動作を説明するための正面図である。It is a front view for demonstrating operation | movement of a tray transfer apparatus and a stocker. トレイ移載装置とストッカーの動作を説明するための正面図である。It is a front view for demonstrating operation | movement of a tray transfer apparatus and a stocker. トレイ移載装置とストッカーの動作を説明するための正面図である。It is a front view for demonstrating operation | movement of a tray transfer apparatus and a stocker. トレイ移載装置とストッカーの動作を説明するための正面図である。It is a front view for demonstrating operation | movement of a tray transfer apparatus and a stocker. ICハンドラーの概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of an IC handler. ICハンドラーの他の形態を示す平面図である。It is a top view which shows the other form of IC handler. 図14におけるXV−XV線断面図である。It is the XV-XV sectional view taken on the line in FIG. ICハンドラーの他の形態を示す平面図である。It is a top view which shows the other form of IC handler. ICハンドラーの他の形態を示す平面図である。It is a top view which shows the other form of IC handler. ICハンドラーの他の形態を示す平面図である。It is a top view which shows the other form of IC handler. ICハンドラーの他の形態を示す平面図である。It is a top view which shows the other form of IC handler.
符号の説明Explanation of symbols
1…ICハンドラー、3…第1の部品移動装置、4…第2の部品移動装置、5…電子部品、6…検査用ソケット、11…ストッカー、12…トレイ支持装置、30…第1の支持装置、31…第2の支持装置、32…中継用コンベア、33…移送手段、75…ヘッドユニット、99…吸着ヘッド、125…吸着ノズル、202,203,210,220…部品移動装置、A…検査領域、B…部品領域、T,T1〜T5…トレイ。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... IC handler, 3 ... 1st component moving apparatus, 4 ... 2nd component moving apparatus, 5 ... Electronic component, 6 ... Inspection socket, 11 ... Stocker, 12 ... Tray support apparatus, 30 ... 1st support Device 31 ... second support device 32 ... relay conveyor 33 ... transfer means 75 ... head unit 99 ... adsorption head 125 ... adsorption nozzle 202,203,210,220 ... part moving device A ... Inspection area, B ... parts area, T, T1 to T5 ... tray.

Claims (5)

  1. 被検査用電子部品が装填される複数の検査用ソケットを一端部において支持する基台と、
    前記検査用ソケットから離間する方向とは直交する水平方向に並ぶように基台に複数設けられたトレイ用ストッカーと、
    前記ストッカーとの間でトレイの受け渡しが行われるとともに、トレイをストッカーの並ぶ方向と、この方向とは直交する水平方向とに移動させ、複数のトレイをストッカーと平行に並べて支持するトレイ支持装置と、
    前記トレイ支持装置に支持された未検査部品用トレイ上で吸着した未検査の電子部品を前記検査用ソケットに装填しかつ検査終了後の電子部品をトレイ支持装置の検査済み部品用トレイに移載する部品移動装置とを備えてなり、
    前記トレイ支持装置は、前記検査用ソケットと前記ストッカーとの間であって、前記部品移動装置の動作可能範囲に設けられていることを特徴とするICハンドラー。
    A base supporting at one end a plurality of sockets for inspection loaded with electronic components to be inspected;
    A plurality of tray stockers provided on the base so as to be arranged in a horizontal direction perpendicular to a direction away from the inspection socket;
    A tray support device for transferring the tray to and from the stocker, moving the tray in a direction in which the stocker is arranged, and a horizontal direction perpendicular to the direction, and supporting a plurality of trays in parallel with the stocker; ,
    An uninspected electronic component adsorbed on an uninspected component tray supported by the tray support device is loaded into the inspection socket, and the electronic component after the inspection is transferred to the inspected component tray of the tray support device A component moving device
    The IC handler, wherein the tray support device is provided between the inspection socket and the stocker and is within an operable range of the component moving device.
  2. 請求項1記載のICハンドラーにおいて、
    トレイ支持装置は、
    ストッカーとの間でトレイの受け渡しが行われる第1のトレイ保持部を有し、この第1のトレイ保持部をストッカーの並ぶ方向に移動させる第1の支持装置と、
    ストッカーと平行に並ぶ複数の第2のトレイ保持部を有し、これらの第2のトレイ保持部を前記第1の支持装置より検査用ソケット側の基台上でストッカーの並ぶ方向に移動させる第2の支持装置と、
    前記第1のトレイ保持部と第2のトレイ保持部とにそれぞれ設けられ、前記第1のトレイ保持部と、前記第2のトレイ保持部とがストッカーの並ぶ方向とは直交する水平方向に並ぶ状態で両トレイ保持部間においてトレイを搬送する移送手段とを備えていることを特徴とするICハンドラー。
    The IC handler according to claim 1,
    Tray support device
    A first support device that has a first tray holding portion for transferring the tray to and from the stocker, and moves the first tray holding portion in the direction in which the stocker is arranged; and
    A plurality of second tray holding portions arranged in parallel with the stocker, and the second tray holding portions are moved in the direction in which the stockers are arranged on the base on the inspection socket side from the first support device; Two support devices;
    The first tray holding unit and the second tray holding unit are provided in the first tray holding unit and the second tray holding unit, respectively, and the first tray holding unit and the second tray holding unit are arranged in a horizontal direction orthogonal to the direction in which the stockers are arranged. An IC handler comprising a transfer means for conveying the tray between both tray holding portions in a state.
  3. 請求項2記載のICハンドラーにおいて、
    移送手段はコンベアであることを特徴とするICハンドラー。
    The IC handler according to claim 2,
    An IC handler characterized in that the transfer means is a conveyor.
  4. 請求項2または請求項3記載のICハンドラーにおいて、
    第1の支持装置の第1のトレイ保持部は、前記両ベルトコンベアの内側において、トレイを前記ベルトコンベアの上方であってストッカーとの間でトレイの受け渡しが行われる上昇位置と、ベルトコンベアに支承される下降位置との間で昇降させる第1の昇降装置を備えていることを特徴とするICハンドラー。
    The IC handler according to claim 2 or claim 3,
    The first tray holding unit of the first support device includes a raised position on the inner side of the belt conveyors where the tray is transferred to and from the stocker above the belt conveyor, and the belt conveyor. An IC handler comprising a first lifting device that moves up and down between a lowered position to be supported.
  5. 請求項2ないし請求項4のうちいずれか一つに記載のICハンドラーにおいて、
    第2の支持装置の第2のトレイ保持部は、前記両ベルトコンベアの内側において、トレイを前記ベルトコンベアの上方であって部品移動装置との間で電子部品の受け渡しが行われる上昇位置と、ベルトコンベアに支承される下降位置との間で昇降させる第2の昇降装置を備えていることを特徴とするICハンドラー。
    In the IC handler according to any one of claims 2 to 4,
    The second tray holding portion of the second support device is located inside the two belt conveyors, and is in a raised position where the tray is placed above the belt conveyor and electronic components are transferred to and from the component moving device. An IC handler comprising a second lifting device that moves up and down between a lowered position supported by a belt conveyor.
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