JP2006332442A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体装置の製造方法は、半導体基板10にトレンチ17を形成する工程と、前記トレンチに第1の凹部181を有する第1の絶縁膜18を形成する工程と、前記第1の絶縁膜に形成された前記第1の凹部を埋め込むように塗布膜19を形成する工程と、前記塗布膜を第2の絶縁膜191に変換する工程と、前記第2の絶縁膜を平坦化して前記第1の絶縁膜および前記第2の絶縁膜を露出する工程と、前記第1の凹部から少なくとも前記第2の絶縁膜を除去して前記トレンチ内に形成された前記第1の凹部のアスペクト比に対して、そのアスペクト比を緩和し、第2の凹部20を形成する工程と、前記第2の凹部を埋め込むように前記半導体基板の表面上に第3の絶縁膜21を形成する工程とからなる。
【選択図】図6
Description
以下、図1−図8を参照して第1の実施例による半導体装置の製造方法を説明する。図1は、当業者によく知られているSTI構造を用いたNANDフラッシュメモリセル構造の平面図であり、図2及び図3はそれぞれ図1のII−II断面図及びIII−III断面図である。
即ち、PSZ膜は水蒸気(H2O+O2)の分解により生成される酸素Oと反応してSiO2とNH3(アンモニアガス)に変化してPSZ膜はSiO2(シリカ)に効率よく変化する。この時、素子形成領域はSiN膜14で覆われているので、酸化されない。前記した化学反応はPSZ膜の表面側から進行し、例えば、850℃の水蒸気雰囲気での燃焼酸化(BOX酸化という)の30分程度では、平面構造のウエハに600nm程度塗布したPSZ膜をSiO2膜に変化させることができることが確認されている。
(1)前記第1の絶縁膜はHDP膜からなる。
Claims (6)
- 半導体基板にトレンチを形成する工程と、
前記トレンチに第1の凹部を有する第1の絶縁膜を形成する工程と、
前記第1の絶縁膜に形成された前記第1の凹部を埋め込むように塗布膜を形成する工程と、
前記塗布膜を第2の絶縁膜に変換する工程と、
前記第2の絶縁膜を平坦化して前記第1の絶縁膜および前記第2の絶縁膜を露出する工程と、
前記第1の凹部から少なくとも前記第2の絶縁膜を除去して前記トレンチ内に形成された前記第1の凹部のアスペクト比に対して、そのアスペクト比を緩和し、第2の凹部を形成する工程と、
前記第2の凹部を埋め込むように前記半導体基板の表面上に第3の絶縁膜を形成する工程とを
含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第3の絶縁膜を平坦化しエッチバックする工程をさらに含むことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 半導体基板にトレンチを形成する工程と、
前記トレンチに凹部を有する第1の絶縁膜を形成する工程と、
前記第1の絶縁膜の上側をスラリーを用いたCMP法により平坦化する工程と、
少なくとも前記トレンチ内の前記第1の絶縁膜に形成された前記凹部内に残留する前記スラリーを薬液で除去して前記第1の絶縁膜に具備された前記凹部のアスペクト比に対して、そのアスペクト比を緩和する工程と、
前記凹部を埋め込むように前記半導体基板の表面上に第2の絶縁膜を形成する工程とを
具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 各メモリセルを分離するためのSTI構造において、トレンチにより分離された活性領域には前記各メモリセルを形成するトンネル絶縁膜と前記トンネル絶縁膜上に設けられたフローティングゲートとを有し、
少なくとも前記フローティングゲートの高さまで前記トレンチ内に埋め込まれた第1のCVD系酸化膜と、前記第1のCVD系酸化膜上に形成された第2のCVD系酸化膜とを含むことを特徴とする半導体装置。 - 前記第1のCVD系酸化膜には、多孔質な無機材料膜が内包されていることを特徴とする請求項4記載の半導体装置。
- 前記第1のCVD系酸化膜が、HDP膜であることを特徴とする請求項4又は5記載の半導体装置。
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