JP2006287113A - 発光素子およびこれを用いた発光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 GaNから放射された光の再入射を生じることなく、更なる光取り出し効率の向上を図ることのできる発光素子およびこれを用いた発光装置を提供する。
【解決手段】 LED素子2のサファイア基板20に、4面の第1傾斜部201からなる四角錘状凹部である複数の錘状部200Aを格子状に配列して錘状加工部200を形成したので、n−GaN層21を介して入射する青色光がGaNとサファイアとの臨界角に基づいて全反射されることを低減できる。また、GaNとサファイアとの界面で全反射された青色光についても反射方向にある他の第1傾斜部201の臨界角範囲に入射すればサファイア基板20に入射することができるので、光取り出し効率を向上させることができる。
【選択図】 図1
【解決手段】 LED素子2のサファイア基板20に、4面の第1傾斜部201からなる四角錘状凹部である複数の錘状部200Aを格子状に配列して錘状加工部200を形成したので、n−GaN層21を介して入射する青色光がGaNとサファイアとの臨界角に基づいて全反射されることを低減できる。また、GaNとサファイアとの界面で全反射された青色光についても反射方向にある他の第1傾斜部201の臨界角範囲に入射すればサファイア基板20に入射することができるので、光取り出し効率を向上させることができる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体材料からなる発光素子およびこれを用いた発光装置、発光素子形成用基板に関し、特に、GaNから放射された光の再入射を生じることなく更なる光取り出し効率の向上を図ることのできる発光素子およびこれを用いた発光装置に関する。
従来、青色や短波長領域の発光素子材料としてGaN系半導体を用いたものが知られている。GaNは融点が極めて高く、また、窒素の平衡蒸気圧が極めて高いことにより、高品質、大面積でバルク状の単結晶基板を製造することが難しいことから、例えば、下地基板としてのサファイア(Al2O3)基板上に結晶成長させる方法が取られている。
Al2O3基板上にGaN系半導体層を形成すると、GaNの屈折率(n=2.4)に対してAl2O3の屈折率(n=1.7)が小であるため、GaN層からAl2O3に入射する光の入射角によっては屈折率差による全反射が生じて光取り出し効率が低下する。実際にはGaN層で発する光のうち、約30%の立体角に相当する方向の光しか外部放射させることができない。
このような屈折率差による光取り出し効率の低下を解消するものとして、半導体層が積層される側の基板の表面に側面が傾斜した凹凸を設けた発光装置が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。
特許文献1に記載される発光装置は、基板表面にストライプ状にV字型溝を形成させたもの、六角錘型で断面が台形状のピットを形成させたもの、あるいは三角形状の突起をストライプ状に形成することで、GaNとAl2O3基板の界面に入射する光の入射角が全反射角を超えないものとしており、特に、凹凸の傾斜側面の角度範囲を30°<θ<60°の範囲とすることで十分な光取り出し効率向上の効果が得られるとしている。
また、窒化物半導体をエピタキシャル成長させる主面にストライプ型の溝を60°から90°の角度で設けたサファイア基板が提案されている(例えば、特許文献2参照。)。
特許文献2に記載されるサファイア基板によれば、主面に窒化物半導体をエピタキシャル成長させると、窒化物半導体の縦方向の成長と横方向の成長が合体して平坦な表面を有する窒化物半導体膜が形成される。これによりサファイア基板本体の主面での転位密度が、106cm−2に低減され、発光効率の高い発光素子を形成できるとしている。
特開2004−200523号公報(〔0015〕、図3)
特開2003−282551号公報(〔0019〕)
しかし、特許文献1および2に記載された発光装置によると、溝に対して平行に発せられる光は溝の側面に入射しないことになる。そのため、サファイア基板とGaNとの界面で反射される光が多くなる。このようにストライプの溝の角度制御だけではGaNから十分に光を取り出すことができない。また、ピットを設ける場合についても、ピット形状によっては一度GaNから放射された光が隣接するピットに再入射してしまうといった問題がある。
従って、本発明の目的は、GaNから放射された光の再入射を生じることなく、更なる光取り出し効率の向上を図ることのできる発光素子およびこれを用いた発光装置を提供することにある。
本発明は、上記目的を達成するため、実装面の反対側に略錘面状の光取り出し面を有し、発光層を含む半導体層を有する発光素子において、前記略錘面状の光取り出し面は、前記発光層を含む半導体層と、前記発光層を含む半導体層より屈折率の低い媒質との界面で形成され、前記錘面の傾斜角は、前記発光層を含む半導体層から前記屈折率の低い媒質への臨界角より大なる角度であることを特徴とする発光素子を提供する。
また、本発明は、上記目的を達成するため、実装面の反対側に略錘面状の光取り出し面を有し、発光層を含む半導体層を有する発光素子と、前記発光素子を搭載する基板と、前記発光素子とともに前記基板を封止する封止部とを有する発光装置において、前記発光素子は、前記発光層を含む半導体層と、前記発光層を含む半導体層より屈折率の低い媒質との界面に形成される前記略錘面状の光取り出し面を有し、前記錘面の傾斜角は、前記発光層を含む半導体層から前記屈折率の低い媒質への臨界角より大なる角度であることを特徴とする発光装置を提供する。
本発明によると、半導体層の実装面と反対側に錘面状の光取り出し面を設け、錘面の傾斜角を発光層を含む半導体層から屈折率の低い媒質への臨界角より大なる角度で設けることにより、どの方向に光が発せられたとしても素子外部に効率的に外部放射させることができるとともに、一度外部放射された光がGaNに再入射することを防ぐことができる。
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1の実施の形態に係るLED(Light Emitting Diode)を示し、(a)はLEDの縦断面図、(b)はLEDの光源であるLED素子の拡大した側面図である。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係るLED(Light Emitting Diode)を示し、(a)はLEDの縦断面図、(b)はLEDの光源であるLED素子の拡大した側面図である。
(LED1の構成)
このLED1は、図1(a)に示すように基板側を光取り出し面とするフリップチップ型のLED素子2と、LED素子2を素子搭載面に搭載する素子搭載基板であるAl2O3基板3と、Al2O3基板3の表面である素子搭載面および裏面である外部実装面に所定のパターンで設けられる回路パターン4と、LED素子2の第1および第2の電極とAl2O3基板3の回路パターン4とを電気的に接合するAuからなるパッド電極5と、LED素子2およびAl2O3基板3とを一体的に封止する低融点ガラスからなるガラス封止部6とを有する。
このLED1は、図1(a)に示すように基板側を光取り出し面とするフリップチップ型のLED素子2と、LED素子2を素子搭載面に搭載する素子搭載基板であるAl2O3基板3と、Al2O3基板3の表面である素子搭載面および裏面である外部実装面に所定のパターンで設けられる回路パターン4と、LED素子2の第1および第2の電極とAl2O3基板3の回路パターン4とを電気的に接合するAuからなるパッド電極5と、LED素子2およびAl2O3基板3とを一体的に封止する低融点ガラスからなるガラス封止部6とを有する。
(LED素子2の構成)
LED素子2は、図1(b)に示すように、下地基板であるサファイア基板20上にSiドープのn−GaN層21と、発光層22と、Mgドープのp−GaN層23とを順次結晶成長させることによって形成されたGaN系半導体層を有し、p−GaN層23の表面にはロジウム(Rh)からなるp側コンタクト電極24が設けられている。このp側コンタクト電極24は、パッド電極5を介して図1(a)に示すように素子搭載側の回路パターン4上にフリップ実装される。また、p−GaN層23からエッチングを施すことにより露出させたn−GaN層21には、Alからなるn側電極25が設けられており、n側電極25についてもパッド電極5を介して回路パターン4に電気的に接続される。
LED素子2は、図1(b)に示すように、下地基板であるサファイア基板20上にSiドープのn−GaN層21と、発光層22と、Mgドープのp−GaN層23とを順次結晶成長させることによって形成されたGaN系半導体層を有し、p−GaN層23の表面にはロジウム(Rh)からなるp側コンタクト電極24が設けられている。このp側コンタクト電極24は、パッド電極5を介して図1(a)に示すように素子搭載側の回路パターン4上にフリップ実装される。また、p−GaN層23からエッチングを施すことにより露出させたn−GaN層21には、Alからなるn側電極25が設けられており、n側電極25についてもパッド電極5を介して回路パターン4に電気的に接続される。
サファイア基板20は、n−GaN層21との界面に四角錘状の突起を整列させてなる錘状加工部200を有したサファイア加工基板である。
図2は、第1の実施の形態にかかるLED素子を部分的に示す部分断面図である。図3は、LED素子の各部について部分的に示し、(a)はサファイア基板錘状加工部を含むLED素子の部分断面図、(b)は(a)のA−A部における断面図、(c)は光取り出し面側から見た錘状突起の平面図、(d)は錘状突起の斜視図である。
錘状加工部200は、図3(a)に示すように、サファイア基板20上にエッチング加工に基づいて4面の第1傾斜部201からなる四角錘状凹部である錘状部200Aを格子状に複数設けることによって形成されており、錘状加工部200の表面に図示しないGaNバッファ層を設けてGaNの結晶成長を行うことでn−GaN層21と、発光層22と、p−GaN層23とが順次形成される。基板面に対する錘状加工部200の傾斜角はGaNからサファイアへの光入射における臨界角(45°)より大なる70°とし、深さ1μm、幅0.72μmで形成されて1μm間隔で配置されている。
n−GaN層21は、加工されたサファイア基板20上にエピタキシャル成長されるため、上記した錘状加工部200の形状に基づいて図3(c)に示すように錘状突起210Aが形成される。この錘状突起210Aは、図3(a)に示す第1傾斜部201の形状に応じた第1傾斜面211を4面に有して図3(d)に示すように四角錐状に形成されており、サファイア基板20との界面に格子状に複数設けられる。
Al2O3基板3は、表面から裏面に貫通状に設けられるビアホール3Aを有し、ビアホール3Aには素子搭載面の回路パターン4と外部実装面の回路パターン4とを電気的に接続するビアパターン4Aが設けられている。
回路パターン4は、タングステン(W)−ニッケル(Ni)−金(Au)によって所定の配線パターンを有するように形成されている。また、ビアパターン4Aについても回路パターン4と同様に形成されている。
ガラス封止部6は、B2O3−F系の低融点ガラス(熱膨張率:6.9×10−6/℃、屈折率:n=1.75)からなり、板状のB2O3−F系ガラスをホットプレス加工することによって凸半球状の光学形状面6Aを形成されるとともにAl2O3基板3の表面に接着される。
(LED1の動作)
上記したLED1を図示しない外部実装基板に実装して通電すると、p側コンタクト電極24及びn側電極25に順方向の電圧が印加され、そのことにより発光層22においてホールとエレクトロンのキャリア再結合が発生して発光中心波長480nmの青色光を発する。この青色光は、n−GaN層21とサファイア基板20との界面に設けられる錘状突起210Aに入射する。
上記したLED1を図示しない外部実装基板に実装して通電すると、p側コンタクト電極24及びn側電極25に順方向の電圧が印加され、そのことにより発光層22においてホールとエレクトロンのキャリア再結合が発生して発光中心波長480nmの青色光を発する。この青色光は、n−GaN層21とサファイア基板20との界面に設けられる錘状突起210Aに入射する。
ここで、錘状突起210Aへの入射光が、GaNとサファイアの臨界角の範囲にあるときは第1傾斜面211を透過してサファイア基板20に入射し、サファイア基板20から屈折率が略同等のガラス封止部6を透過して表面の光学形状面6Aから光学形状に応じた所定の方向に外部放射される。
また、錘状突起210Aへの入射光が、GaNとサファイアの臨界角の範囲外であるときは第1傾斜面211で全反射されるが、四角錘を構成する他の第1傾斜面211に入射したときにGaNとサファイアの臨界角の範囲にあるときは、第1傾斜面211を透過してサファイア基板20に入射することができる。このことによりGaNからサファイアへ青色光が入射できる確率が大になり、光取り出し効率の向上を図れる。
(第1の実施の形態の効果)
上記した第1の実施の形態によると、LED素子2のサファイア基板20に、4面の第1傾斜部201からなる四角錘状の複数の錘状部200Aを格子状に配列して錘状加工部200を形成したので、n−GaN層21を介して入射する青色光がGaNとサファイアとの臨界角に基づいて全反射されることを低減できる。また、GaNとサファイアとの界面で全反射された青色光についても反射方向にある他の第1傾斜部201の臨界角範囲に入射すればサファイア基板20に入射することができるので、光取り出し効率を向上させることができる。
上記した第1の実施の形態によると、LED素子2のサファイア基板20に、4面の第1傾斜部201からなる四角錘状の複数の錘状部200Aを格子状に配列して錘状加工部200を形成したので、n−GaN層21を介して入射する青色光がGaNとサファイアとの臨界角に基づいて全反射されることを低減できる。また、GaNとサファイアとの界面で全反射された青色光についても反射方向にある他の第1傾斜部201の臨界角範囲に入射すればサファイア基板20に入射することができるので、光取り出し効率を向上させることができる。
(第1の実施の形態の変形例)
図4は、サファイア基板に形成された錘状加工部の他の構成を示し、(a)は平面図、(b)は(a)のB−B部における断面図である。
図4は、サファイア基板に形成された錘状加工部の他の構成を示し、(a)は平面図、(b)は(a)のB−B部における断面図である。
この錘状加工部200は、図4(a)に示すように、4面の第1傾斜部201からなる四角錘状凹部である錘状部200Aが、隣接する錘状部200Aに対して平坦部200Cを介して配置された構成を有する点で図3(a)で説明した錘状加工部200と相違している。
上記した錘状加工部200によると、発光層面積に対し、錘状突起形成面積が50%余となるが、サファイア基板20に平坦面を残すことで、エピタキシャル成長の結晶性を保つことが容易となる。但し、平坦面割合が大きいと、光取り出し効果が低下するので、錘状突起の形成面積は40%以上とすることが望ましい。
(第2の実施の形態)
図5は、本発明の第2の実施の形態に係るLED素子を部分的に示す断面図であり、(a)は錘状加工部を含むLED素子の部分断面図、(b)は錘状加工部にGaN層側から入射する光の光路を示す説明図である。図6は、LED素子の各部について部分的に示し、(a)はサファイア基板の錘状加工部を含むLED素子の部分断面図、(b)は(a)のC−C部における断面図、(c)は光取り出し面側から見た錘状突起の平面図、(d)は錘状突起の斜視図である。なお、以下の説明では、第1の実施の形態と同一の構成および機能を有する部分に同一の引用数字を付して説明している。
図5は、本発明の第2の実施の形態に係るLED素子を部分的に示す断面図であり、(a)は錘状加工部を含むLED素子の部分断面図、(b)は錘状加工部にGaN層側から入射する光の光路を示す説明図である。図6は、LED素子の各部について部分的に示し、(a)はサファイア基板の錘状加工部を含むLED素子の部分断面図、(b)は(a)のC−C部における断面図、(c)は光取り出し面側から見た錘状突起の平面図、(d)は錘状突起の斜視図である。なお、以下の説明では、第1の実施の形態と同一の構成および機能を有する部分に同一の引用数字を付して説明している。
第2の実施の形態では、サファイア基板20上にエッチング加工によって3面の第1傾斜部201からなる三角錘状凹部である錘状部200Aを複数設けることによって形成されており、錘状部200Aは底部に平坦部210Cを介して設けられている点と三角錐状である点とで第1の実施の形態と相違している。
n−GaN層21は、上記した錘状加工部200の形状に基づいて図6(c)に示すように錘状突起210Aが形成される。この錘状突起210Aは、図6(a)に示す第1傾斜部201の形状に応じた第1傾斜面211を3面に有して図6(d)に示すように三角錐状に形成されており、その底部に平坦面210Cを有し、錘状突起210Aが異なる向きで交互に配列された状態でサファイア基板20との界面に複数設けられる。
GaN層側から錘状加工部200に入射する光は、図5(b)に示すようになる。平坦部210Cに対して法線方向に入射する光aについては全反射、屈折を生じることなくサファイア基板20に入射する。また、平坦部210Cの臨界角内に入射する光bについては、サファイア基板20との界面で屈折して入射する。また、第1傾斜部201の臨界角より大なる角度で入射した光cは、第1傾斜部201で全反射して平坦部210Cに至り、平坦部210Cからサファイア基板20に入射する。また、第1傾斜部201の臨界角内に入射した光dは、第1傾斜部201で屈折してサファイア基板20に入射する。また、光eおよびfに示すように、錘状部200Aへは、GaNからサファイアへの光入射における臨界角である45°より入射角の大なる光について入射が可能である。また、錘状部200Aが三角錐状であることより、光gに示すように隣接する錘状部200Aに入射したとしても、閉込モードの光とはならずにサファイア基板20に入射する。
(第2の実施の形態の効果)
上記した第2の実施の形態によると、LED素子2のサファイア基板20に、3面の第1傾斜部201からなる三角錘状の複数の錘状部200Aを交互に配列して錘状加工部200を形成したので、第1の実施の形態の好ましい効果に加えて、平坦部210Cを設けたことにより、エピタキシャル成長の結晶性を保つことが容易となる。そしてなおかつ、発光層から直接平坦部210Cに至る光は、すべてGaNからサファイア基板20への臨界角以内で入射する光なので、平坦部を設けたことによる錘状突起形成効果は減じない。このため、結晶性を良好に保ちつつ全面に錘状突起形成した光取り出し効果効果を得ることができる。また、70°の角度を有して配置される第1傾斜部201による光取り出し形状が構成される。このため、GaN内で閉込モードとなる光を低減でき、光取り出し効率を向上させることができる。
上記した第2の実施の形態によると、LED素子2のサファイア基板20に、3面の第1傾斜部201からなる三角錘状の複数の錘状部200Aを交互に配列して錘状加工部200を形成したので、第1の実施の形態の好ましい効果に加えて、平坦部210Cを設けたことにより、エピタキシャル成長の結晶性を保つことが容易となる。そしてなおかつ、発光層から直接平坦部210Cに至る光は、すべてGaNからサファイア基板20への臨界角以内で入射する光なので、平坦部を設けたことによる錘状突起形成効果は減じない。このため、結晶性を良好に保ちつつ全面に錘状突起形成した光取り出し効果効果を得ることができる。また、70°の角度を有して配置される第1傾斜部201による光取り出し形状が構成される。このため、GaN内で閉込モードとなる光を低減でき、光取り出し効率を向上させることができる。
なお、必ずしも発光層からの1次光が平坦部210Cへ臨界角以上の入射光が全くない形状にしなくても、平坦部210Cがやや広い場合でも、同等の効果を得ることができる。また、傾斜面がGaNからサファイア基板20への臨界角以上の角度であれば、効果を得ることができる。錘状突起形状は、三角錐に限らず、四角錘や円錐であっても構わない。
図7は、サファイア基板に錘状突起を設けることによる光学特性の変化を示す図であり、(a)は加工形状を示す概略図、(b)はGaN層表面の加工面積に対する光出力比の変化を示す特性図、(c)は結晶成長面Wと加工深さHの関係に基づく外部放射効率を示す特性図である。
ここでは、GaN層表面に(a)に示すような錘状突起を設けることで、外部放射効率に対してどのような影響があるかを分析した。この検討に用いたLED素子のサイズは300μm角で、発光層は290μm角のサイズを有し、その厚さは0.9μmである。また、錘状突起が表面に施されるGaN層の厚さは6μmである。錘状突起加工の条件は、錘状突起加工面の法線に対して有する傾斜角θ=20°、結晶成長面をW、加工深さをHとしている。また、分析にあたってはサファイア同等の屈折率(n=1.77)を有する封止媒体で覆われたGaN層を形成して行った。
図7(b)は、GaN層の表面における錘状突起の割合を変化させたときの光出力比の変化を示す。2本のグラフは□が四角錐の錘状突起を設けたもの、△が三角錐の錘状突起を設けたものについてである。
同図において、横軸の加工面積が0%の状態は、錘状突起が設けられていない状態であり、加工面積が100%の状態は、全面に錘状突起が設けられた状態である。図7(b)に示すように、加工面積が大、つまり、光取り出し面としてのGaN層表面に占める錘状突起の形成量が大になるほど光出力比は大になり、四角錐をGaN層表面の全面に設けたものでは、錘状突起を設けないものと比較して1.6倍の光出力比が得られることを確認している。特に、加工面積が0から40%にかけては四角錘の形成量に応じた光出力比の向上を確認している。また、加工面積が55%以上では、光出力比が緩やかに上昇する傾向を示すが、これは、隣接する錘状突起の距離が近接することにより、一旦GaN層から外部放射された光が隣接する錘状突起に再入射し易くなることによる。
このことから、GaN層表面の加工面積が35%から100%となるように錘状突起を設けることで、光出力比を最大利得の50%以上の特性とできる。あるいは結晶成長、加工性を加味すると40%から80%となるように錘状突起を設けることで十分な光出力比と安定した特性を得ることができる。また、錘状突起の形状については四角錐と三角錐とで光出力比の変化に大きな差は生じない。
図7(c)は、四角錐をGaN層表面に形成するにあたってW/Hを変化させたときの外部放射効率の変化を示し、錘状突起の平坦面に臨界角以上の光が入射することのないW/Hは0.636となり、このときの外部放射効率は約160%と最大になる。しかしながら、W/H=1程度であっても外部放射効率の大きな変化はなく、W/H=5でも約140%と外部放射効率の改善を確認している。
(第3の実施の形態)
図8は、本発明の第3の実施の形態に係るLED素子を部分的に示す断面図であり、(a)は錘状加工部を含むLED素子の部分断面図、(b)は光取り出し面側から見た錘状突起の平面図、(c)は錘状突起の斜視図である。
図8は、本発明の第3の実施の形態に係るLED素子を部分的に示す断面図であり、(a)は錘状加工部を含むLED素子の部分断面図、(b)は光取り出し面側から見た錘状突起の平面図、(c)は錘状突起の斜視図である。
第3の実施の形態では、サファイア基板20上に四角錘状の錘状部200Aを有する構成に加えて、四角錘状の錘状部200Aが異なる傾斜角を有した第1傾斜部201と第2傾斜部202を4面に配置して形成されている点で第1の実施の形態と相違している。第1傾斜部201は、基板面に対して70°の傾斜角を有して形成されており、第2の傾斜部202は、基板面に対して40°の傾斜角を有して形成されている。そのため、錘状部200Aは先端方向に向かって傾斜が急峻になる形状を有している。
n−GaN層21は、上記した錘状加工部200の形状に基づいて錘状突起210Aが形成される。この錘状突起210Aは、図8(b)に示す第1傾斜部201および第2傾斜部202の形状に応じた第1傾斜面211および第2傾斜面212を4面に有して図8(c)に示すように傾斜の異なる2種の斜面からなる四角錐状に形成されており、錘状部200Aの形状とは逆に先端方向に向かって傾斜が急峻となる形状を有してサファイア基板20との界面に格子状に複数設けられる。
(第3の実施の形態の効果)
上記した第3の実施の形態によると、LED素子2のサファイア基板20に、傾斜の異なる2種の斜面からなる四角錐状の複数の錘状部200Aを格子状に配列して錘状加工部200を形成したので、隣接する錘状部200Aにおける第1傾斜面211間の距離を大にでき、そのことによってGaNからなる錘状部200Aから一度放射された青色光が隣接する錘状部200Aに再入射することを防ぐことができる。また、先端部が急峻であることから、錘状部201に入射した光のうち、第1傾斜面211で全反射する光も、複数反射によって略全光量を外部放射できる。これらによって、光取り出し効率の更なる向上を図ることができる。
上記した第3の実施の形態によると、LED素子2のサファイア基板20に、傾斜の異なる2種の斜面からなる四角錐状の複数の錘状部200Aを格子状に配列して錘状加工部200を形成したので、隣接する錘状部200Aにおける第1傾斜面211間の距離を大にでき、そのことによってGaNからなる錘状部200Aから一度放射された青色光が隣接する錘状部200Aに再入射することを防ぐことができる。また、先端部が急峻であることから、錘状部201に入射した光のうち、第1傾斜面211で全反射する光も、複数反射によって略全光量を外部放射できる。これらによって、光取り出し効率の更なる向上を図ることができる。
(第4の実施の形態)
図9は、本発明の第4の実施の形態に係るLED素子を部分的に示す断面図であり、(a)は錘状加工部を含むLED素子の部分断面図、(b)は光取り出し面側から見た錘状突起の平面図、(c)は錘状突起の斜視図である。
図9は、本発明の第4の実施の形態に係るLED素子を部分的に示す断面図であり、(a)は錘状加工部を含むLED素子の部分断面図、(b)は光取り出し面側から見た錘状突起の平面図、(c)は錘状突起の斜視図である。
第4の実施の形態では、サファイア基板20上に傾斜の異なる2種の斜面からなる三角錐状の複数の錘状部200Aを有した錘状加工部200を設けた点で第3の実施の形態と相違しており、そのことによって図9(b)に示すようにn−GaN層21の表面には第1傾斜面211と第2傾斜面212とを有した、図9(c)に示す三角錐状の錘状突起210Aが互いに異なる向きで交互に配列された状態でサファイア基板20との界面に複数設けられる。
また、図9(b)に示すように、複数の三角錐の端部には結晶成長用の平坦部210Cが設けられており、図9(b)のように正面から見た面積が三角錐に対し、約10%となるように設けられている。
(第4の実施の形態の効果)
上記した第4の実施の形態によると、LED素子2のサファイア基板20に、傾斜の異なる2種の斜面からなる三角錐状の複数の錘状部200Aを互いに異なる向きで交互に配列して錘状加工部200を形成したので、第3の実施の形態の好ましい効果に加えてGaN内で閉込モードとなる光を低減でき、光取り出し効率を向上させることができる。
上記した第4の実施の形態によると、LED素子2のサファイア基板20に、傾斜の異なる2種の斜面からなる三角錐状の複数の錘状部200Aを互いに異なる向きで交互に配列して錘状加工部200を形成したので、第3の実施の形態の好ましい効果に加えてGaN内で閉込モードとなる光を低減でき、光取り出し効率を向上させることができる。
また、微小エリアで平坦面を設けたことにより、サファイア加工による光取り出し効果を著しく低下することなく、エピタキシャル成長時の結晶性を保つことができる。
(第5の実施の形態)
図10は、本発明の第5の実施の形態に係るLED素子を部分的に示す断面図である。第5の実施の形態では、サファイア基板20上にテーパ部203と平坦部200Cからなる錘状加工部200を設け、その表面にGaNを結晶成長させたものである。このようなサファイア加工基板を用いた構成としても、n−GaN層21から放射された光のn−GaN層21への再入射を防ぐとともに、サファイア基板20への入射を促進させて光取り出し効率を向上させることができる。
図10は、本発明の第5の実施の形態に係るLED素子を部分的に示す断面図である。第5の実施の形態では、サファイア基板20上にテーパ部203と平坦部200Cからなる錘状加工部200を設け、その表面にGaNを結晶成長させたものである。このようなサファイア加工基板を用いた構成としても、n−GaN層21から放射された光のn−GaN層21への再入射を防ぐとともに、サファイア基板20への入射を促進させて光取り出し効率を向上させることができる。
(第6の実施の形態)
図11は、本発明の第6の実施の形態に係るLED素子を示し、(a)はLED素子の側面図、(b)はLED素子の光取り出し面側から見た平面図である。
図11は、本発明の第6の実施の形態に係るLED素子を示し、(a)はLED素子の側面図、(b)はLED素子の光取り出し面側から見た平面図である。
第6の実施の形態では、サファイア基板上にGaN系半導体層を結晶成長後、サファイア基板をレーザリフトオフして露出させたn−GaN層21表面に切削加工を施すことによって、図11(b)に示すように第1傾斜面211からなる三角錐状の錘状突起210Aを形成し、錘状突起210A全体を覆うように低融点ガラスからなるガラス部27を一体化させた構成を有する。
ガラス部27は、屈折率n=1.8のBi系低融点ガラスからなり、ホットプレス加工によって錘状突起210A全体を覆うように熱圧着されている。
このLED素子2では、ガラス部27の熱圧着後にn側電極25およびp側コンタクト電極24の形成が行われ、その後の素子分割工程において素子単位に分割される。
(第6の実施の形態の効果)
上記した第6の実施の形態によると、GaN系半導体層の結晶成長後に下地基板であるサファイア基板をレーザリフトオフし、露出したn−GaN層21に三角錐状の錘状突起210Aをドライエッチング加工してAl2O3基板より高い屈折率のガラス部27を熱圧着しているので、n−GaN層21からガラス部27への光入射性が向上する。加えてn−GaN層21のガラス部27との界面に設けられた錘状突起210AによってGaN内で閉込モードとなる光を低減でき、光取り出し効率をより向上させることができる。
上記した第6の実施の形態によると、GaN系半導体層の結晶成長後に下地基板であるサファイア基板をレーザリフトオフし、露出したn−GaN層21に三角錐状の錘状突起210Aをドライエッチング加工してAl2O3基板より高い屈折率のガラス部27を熱圧着しているので、n−GaN層21からガラス部27への光入射性が向上する。加えてn−GaN層21のガラス部27との界面に設けられた錘状突起210AによってGaN内で閉込モードとなる光を低減でき、光取り出し効率をより向上させることができる。
なお、有機材料では、高屈折率で、かつ化学的に安定な材料の具現化は困難であるが、無機材料を用いることでこれを実現できる。
また、平坦なサファイア基板上にGaN系半導体層を結晶成長した後に錘状突起210Aを形成するので、結晶成長用の平坦部は不要であり、全面に錘状突起210Aが形成され、かつ結晶性の優れるものとできる。
なお、第6の実施の形態では、n−GaN層21に形成された三角錐状の錘状突起210Aにガラス部27を熱圧着した構成を説明したが、ガラス以外の高屈折率樹脂材料等を用いて錘状突起210Aを覆うようにしても良い。
また、サファイア加工基板上にGaN系半導体層を結晶成長した後に、サファイア基板をリフトオフし、露出した凹凸形成されたn−GaN層21にさらに形状加工を加えたものでも良い。
(第7の実施の形態)
図12は、本発明の第7の実施の形態に係るLEDの縦断面図である。このLED1は、図1(b)に示す第1の実施の形態で説明したサファイア加工基板上にGaN系半導体層を設けたLED素子2をAl2O3基板3に実装後、LED素子2からサファイア加工基板をレーザリフトオフしてn−GaN層21の錘状突起210Aを露出させた状態とし、その状態で熱膨張率7.2×10−6/℃、屈折率n=1.85のBi系低融点ガラスでホットプレス加工を行い、表面に凸半球状の光学形状面6Aを有するようにガラス封止部6を形成したものである。
図12は、本発明の第7の実施の形態に係るLEDの縦断面図である。このLED1は、図1(b)に示す第1の実施の形態で説明したサファイア加工基板上にGaN系半導体層を設けたLED素子2をAl2O3基板3に実装後、LED素子2からサファイア加工基板をレーザリフトオフしてn−GaN層21の錘状突起210Aを露出させた状態とし、その状態で熱膨張率7.2×10−6/℃、屈折率n=1.85のBi系低融点ガラスでホットプレス加工を行い、表面に凸半球状の光学形状面6Aを有するようにガラス封止部6を形成したものである。
(第7の実施の形態の効果)
上記した第7の実施の形態によると、LED素子2の実装後に下地基板となったサファイア加工基板を除去して錘状突起210Aを露出させた状態で低融点ガラスによるガラス封止を行うようにしたので、第6の実施の形態と同様に光取り出し効率に優れる高輝度のLEDが得られる。また、レーザリフトオフで露出させた錘状突起210Aを水密性、防湿性に優れるガラス材料で封止するので、素子保護性に優れ、かつLED素子2の発する光による劣化を生じることがないので、長期にわたって安定した発光特性が得られる。また、LED素子2、実装基板3、LED素子2の封止材料のガラスは全て低熱膨張率、かつ約7×10−6/℃の同等の熱膨張率を有することにより、はんだのリフロー炉処理等の高温環境でもLED素子2への引張応力による電気的断線を構造上生じることがなく、より優れた信頼性を有する。
上記した第7の実施の形態によると、LED素子2の実装後に下地基板となったサファイア加工基板を除去して錘状突起210Aを露出させた状態で低融点ガラスによるガラス封止を行うようにしたので、第6の実施の形態と同様に光取り出し効率に優れる高輝度のLEDが得られる。また、レーザリフトオフで露出させた錘状突起210Aを水密性、防湿性に優れるガラス材料で封止するので、素子保護性に優れ、かつLED素子2の発する光による劣化を生じることがないので、長期にわたって安定した発光特性が得られる。また、LED素子2、実装基板3、LED素子2の封止材料のガラスは全て低熱膨張率、かつ約7×10−6/℃の同等の熱膨張率を有することにより、はんだのリフロー炉処理等の高温環境でもLED素子2への引張応力による電気的断線を構造上生じることがなく、より優れた信頼性を有する。
図13(a)から(c)は、錘状突起の他の形状を示す平面図である。第1から第7の実施の形態では、三角錐、四角錐、テーパ形状等の錘状突起を説明したが、その他の形状の錘状突起がn−GaN層21上に設けられても良い。
例えば、図13(a)に示すように、第1傾斜面211のサイズに対して第2傾斜面212のサイズが大にされた横長状の錘状突起210Aとしても良い。
また、図13(b)に示すように、横長状の錘状突起210Aの頂部に平坦面210Cを設けたものとしても良い。
また、図13(c)に示すように、頂部に平坦面210Cを設けた四角錐状の錘状突起を2個並べた形状とし、四角錐の隣接する部分に第1傾斜面211と形状の異なる第4傾斜面214を設けても良い。隣接する四角錘は第3傾斜面213を有している。
図14は、本発明の第8の実施の形態に係るLED素子を部分的に示す断面図である。第8の実施の形態では、サファイア基板20上にGaN系半導体層を結晶成長後、サファイア基板をレーザリフトオフしてGaN基板28を接合し、GaN基板28の表面に切削加工によって錘状突起28Aを設けた構成を有する。
(第8の実施の形態の効果)
上記した第8の実施の形態によると、GaN系半導体層の結晶成長後に下地基板であるサファイア基板をレーザリフトオフし、GaN基板28を接合して錘状突起28Aを設けたので、発光層22で生じた光が界面反射等による光ロスを生じることなく錘状突起28Aに達することができ、錘状突起28Aから効率良く素子外部へ放射させることができる。
上記した第8の実施の形態によると、GaN系半導体層の結晶成長後に下地基板であるサファイア基板をレーザリフトオフし、GaN基板28を接合して錘状突起28Aを設けたので、発光層22で生じた光が界面反射等による光ロスを生じることなく錘状突起28Aに達することができ、錘状突起28Aから効率良く素子外部へ放射させることができる。
なお、第8の実施の形態では、サファイア基板をレーザリフトオフしてGaN基板28を貼り付けた後に錘状突起28Aを切削加工によって設ける構成を説明したが、例えば、GaN基板28に予め錘状突起28Aを形成しておき、サファイア基板をレーザリフトオフした後に錘状突起28Aを形成されたGaN基板28を一体化するようにしても良い。
1…LED、2…LED素子、3…Al2O3基板、3A…ビアホール、4…回路パターン、4A…ビアパターン、5…パッド電極、6…ガラス封止部、6A…光学形状面、20…サファイア基板、21…n−GaN層、22…発光層、23…p−GaN層、24…p側コンタクト電極、25…n側電極、26…パッド電極、27…ガラス部、28…GaN基板、28A…錘状突起、200C…平坦部、200…錘状加工部、200A…錘状部、201…第1傾斜部、202…傾斜部、203…テーパ部、210C…平坦部、210A…錘状突起、211…第1傾斜面、212…第2傾斜面、213…第3傾斜面、214…第4傾斜面
Claims (10)
- 実装面の反対側に略錘面状の光取り出し面を有し、発光層を含む半導体層を有する発光素子において、
前記略錘面状の光取り出し面は、前記発光層を含む半導体層と、前記発光層を含む半導体層より屈折率の低い媒質との界面で形成され、前記錘面の傾斜角は、前記発光層を含む半導体層から前記屈折率の低い媒質への臨界角より大なる角度であることを特徴とする発光素子。 - 前記発光層を含む半導体層より屈折率の低い媒質は、前記発光層を含む半導体層を形成する光透過性基板であることを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
- 前記略錘面状の光取り出し面は、光取り出し面全体に対して35%から100%の面積を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の発光素子。
- 前記略錘面状の光取り出し面は、先端側の頂部に平坦面を有することを特徴とする請求項2又は3に記載の発光素子。
- 前記平坦面は、前記発光層を含む半導体層から前記光透過性基板への臨界角以上の角度で、前記発光層からの1次光が入射しない位置に形成されていることを特徴とする請求項4に記載の発光素子。
- 前記略錘面状の光取り出し面は、略三角錐状あるいは略四角錘状の錘状突起を複数密配列されて設けられることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の発光素子。
- 前記錘状突起は、底部側より先端側の傾斜角が大なる形状を有することを特徴とする請求項6項に記載の発光素子。
- 実装面の反対側に略錘面状の光取り出し面を有し、発光層を含む半導体層を有する発光素子と、前記発光素子を搭載する基板と、前記発光素子とともに前記基板を封止する封止部とを有する発光装置において、
前記発光素子は、前記発光層を含む半導体層と、前記発光層を含む半導体層より屈折率の低い媒質との界面に形成される前記略錘面状の光取り出し面を有し、前記錘面の傾斜角は、前記発光層を含む半導体層から前記屈折率の低い媒質への臨界角より大なる角度であることを特徴とする発光装置。 - 前記発光素子を搭載する基板および前記封止部は、無機材料であることを特徴とする請求項8に記載の発光装置。
- 前記半導体層は、GaN系半導体材料によって形成されており、前記封止部はサファイア以上の屈折率部材であることを特徴とする請求項8又は9に記載の発光装置。
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