JP2006269643A - Heat radiation sheet - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は放熱シートに関し、特に電子部品等において発生する熱を放熱するための放熱シートとして好適に用いられる膨張黒鉛製の放熱シートに関する。 The present invention relates to a heat radiating sheet, and more particularly to a heat radiating sheet made of expanded graphite that is suitably used as a heat radiating sheet for radiating heat generated in electronic components and the like.
黒鉛の結晶は、炭素原子が共有結合で固く結ばれた六角網平面層が形成され、この平面層が積み重なって比較的弱いファン・デル・ワールス力で結合した構造を有している。そしてその構造上、平面層は非常に安定しているが、平面層間は原子や分子、イオン等の侵入を容易に許して層間化合物が形成される。
膨張黒鉛の製造にはこの性質が利用されており、一般的には、黒鉛の層間に硫酸、硝酸等を酸化剤（過酸化水素、過塩素酸等）の存在下或いは電解処理下にて挿入し、形成された層間化合物を９００〜１２００℃程度の高温で急激に加熱することで分解ガス化し、このときのガス圧によって黒鉛の層間を拡げて黒鉛を膨張させる方法により製造されている。
The graphite crystal has a structure in which a hexagonal network plane layer in which carbon atoms are firmly bonded by a covalent bond is formed, and the plane layers are stacked and bonded by a relatively weak van der Waals force. Although the planar layer is very stable due to its structure, an intercalation compound is formed between the planar layers by easily allowing intrusion of atoms, molecules, ions and the like.
This property is used in the production of expanded graphite. Generally, sulfuric acid, nitric acid, etc. are inserted between graphite layers in the presence of oxidizing agents (hydrogen peroxide, perchloric acid, etc.) or under electrolytic treatment. Then, the formed intercalation compound is decomposed and gasified by rapidly heating at a high temperature of about 900 to 1200 ° C., and the graphite is expanded by expanding the interlayer of graphite by the gas pressure at this time.
放熱シートは、このようにして得られる膨張黒鉛をローラ等で圧延処理することによって製造されるものであり、近年、その優れた熱伝導率を活かして、パソコン等の電子機器において半導体等の電子部品からの発熱をフィンやヒートシンクへと伝達して外部に放熱するための放熱シートとして利用されている（例えば、特許文献１参照）。 A heat-dissipating sheet is produced by rolling the expanded graphite obtained in this way with a roller or the like. In recent years, taking advantage of its excellent thermal conductivity, an electronic device such as a semiconductor in an electronic device such as a personal computer. It is used as a heat radiating sheet for transmitting heat generated from components to fins and heat sinks to dissipate the heat to the outside (see, for example, Patent Document 1).
しかしながら、膨張黒鉛製シートは、膨張化処理によって黒鉛層間の空隙が拡がっているために、水分を吸収し易いという性質があり、この性質が放熱シートとして利用した際に大きな問題となっていた。
具体的には、水分を吸収した膨張黒鉛製シートからなる放熱シートを、回路基板に装着する等して電子機器等に組み込む製造工程において、加熱炉等による加熱処理が行われた際に、吸収されている水分が水蒸気となって体積膨張し、層間の空隙に存在する空気と共に、シート外部へと放出されるため、シート表面に多くの膨れが生じることとなっていた。
このように生じた膨れは、シート表面に凹凸を形成するため、基板等への密着性を低下させ、放熱効果を大きく低下させる原因となっていた。
However, the expanded graphite sheet has a property that it easily absorbs moisture because the voids between the graphite layers are expanded by the expansion treatment, and this property has been a serious problem when used as a heat dissipation sheet.
Specifically, when a heat-dissipating sheet made of expanded graphite sheet that has absorbed moisture is incorporated into an electronic device by mounting it on a circuit board, etc., it is absorbed when heat treatment is performed by a heating furnace or the like. Since the moisture that has been produced is expanded into a volume of water vapor and is released to the outside of the sheet together with the air present in the gaps between the layers, many blisters have occurred on the sheet surface.
The blisters thus formed cause unevenness on the sheet surface, which reduces the adhesion to the substrate or the like and greatly reduces the heat dissipation effect.
このような問題点を解決する方法として、放熱シートを厳密な湿度管理がなされた倉庫等に保管することにより、膨張黒鉛の吸湿を防ぐことも考えられるが、管理のための手間やコストが嵩む上に、保管場所から製造工程への移送の際等にも吸湿が生じることから、充分な効果が期待できなかった。 As a method for solving such problems, it may be possible to prevent moisture absorption of the expanded graphite by storing the heat-dissipating sheet in a warehouse or the like in which strict humidity control is performed, but the labor and cost for management increase. In addition, since moisture absorption occurs during transfer from the storage location to the manufacturing process, a sufficient effect cannot be expected.
本発明は上記課題を解決するためになされたものであって、加熱処理の際に内部に含まれる水分の蒸発によってシート表面に膨れが生じることを簡単な方法で効果的に防ぐことができ、電子部品等において発生する熱を放熱するための放熱シートとして好適に利用することができる膨張黒鉛製の放熱シートを提供するものである。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and can effectively prevent swelling of the sheet surface due to evaporation of moisture contained therein during heat treatment in a simple manner, The present invention provides a heat-dissipating sheet made of expanded graphite that can be suitably used as a heat-dissipating sheet for dissipating heat generated in electronic components.
請求項１に係る発明は、膨張黒鉛からなる放熱シートであって、膨張黒鉛内に含まれる水分が加熱により気化した際に、該気化ガスをシート外部へと放出するための通路となる貫通孔又は凹部を有していることを特徴とする放熱シートに関する。
請求項２に係る発明は、前記貫通孔又は凹部の直径が、０．００１〜０．１ｍｍであることを特徴とする請求項１記載の放熱シートに関する。
請求項３に係る発明は、前記貫通孔又は凹部の密度が、１０〜１０００個／ｃｍ２であることを特徴とする請求項２記載の放熱シートに関する。
The invention according to
The invention according to
The invention according to
請求項４に係る発明は、シート表面に、多数の金属粉末が埋設されていることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の放熱シートに関する。
請求項５に係る発明は、前記粉末の大きさが、０．０１〜１０μｍであることを特徴とする請求項４記載の放熱シートに関する。
請求項６に係る発明は、前記粉末が圧延によりシート内部に埋設されていることを特徴とする請求項４又は５記載の放熱シートに関する。
The invention according to
The invention according to claim 5 relates to the heat dissipation sheet according to
The invention according to claim 6 relates to the heat radiating sheet according to
請求項１に係る発明によれば、加熱により発生するシート内部に含まれる水分の蒸気及び層間の空隙に存在する空気が、貫通孔又は凹部を通ってシート外部へと容易に排出されるので、シート表面に膨れが生じることを防ぐことができる。従って、電子部品等において発生する熱を放熱するための放熱シートとして利用した場合に、加熱炉等を利用した加熱処理によって放熱シート表面に膨れが生じて基板等への密着性が低下することがなく、高い放熱効果を維持することができる。しかも、簡単に且つ低コストで製造することができる上に、吸湿防止のための厳重な湿度管理を必要としない。
請求項２及び３に係る発明によれば、充分なシート強度を維持しながら、シート表面の膨れ発生を防止することができる。
According to the first aspect of the present invention, the moisture vapor contained in the sheet generated by heating and the air present in the gaps between the layers are easily discharged to the outside of the sheet through the through holes or the recesses. It is possible to prevent swelling of the sheet surface. Therefore, when used as a heat radiating sheet for radiating heat generated in electronic components, etc., the heat treatment using a heating furnace or the like may cause swelling on the surface of the heat radiating sheet and reduce the adhesion to the substrate or the like. And a high heat dissipation effect can be maintained. Moreover, it can be manufactured easily and at a low cost, and strict humidity control for preventing moisture absorption is not required.
According to the second and third aspects of the invention, the occurrence of swelling of the sheet surface can be prevented while maintaining a sufficient sheet strength.
請求項４に係る発明によれば、シート表面に埋設された粉末により、放熱シートのグラファイト層が破られて、層間の空隙が連通状態となって外部へと通じるようになるため、加熱により発生するシート内部に含まれる水分の蒸気及び層間の空隙に存在する空気が、シート外部へと更に容易に排出されるようになり、シート表面に膨れが生じることをより確実に防ぐことができる。
請求項５に係る発明によれば、充分なシート強度を維持しながら、シート表面の膨れ発生を防止することができる。
請求項６に係る発明によれば、多数の粉末が表面に埋設されたシートを簡単に製造することができるとともに、粉末によってシート表面の平滑性が損なわれることがない。
According to the invention of
According to the fifth aspect of the present invention, it is possible to prevent occurrence of swelling of the sheet surface while maintaining sufficient sheet strength.
According to the invention which concerns on Claim 6, while the sheet | seat with which many powder was embed | buried in the surface can be manufactured easily, the smoothness of the sheet | seat surface is not impaired by powder.
以下、本発明に係る放熱シートの好適な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
図１は本発明に係る放熱シートの第一実施形態を示す斜視図であり、図２はその概略拡大断面図である。
本発明に係る放熱シート（１）は、多数の貫通孔（２）又は凹部（３）を有する膨張黒鉛製シートからなるものであって、図２（ａ）は貫通孔（２）を有する場合、図２（ｂ）は凹部（３）を有する場合を夫々示している。
Hereinafter, a preferred embodiment of a heat dissipation sheet according to the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a perspective view showing a first embodiment of a heat dissipation sheet according to the present invention, and FIG. 2 is a schematic enlarged sectional view thereof.
The heat dissipating sheet (1) according to the present invention is composed of an expanded graphite sheet having a large number of through holes (2) or recesses (3), and FIG. 2 (a) has a through hole (2). FIG. 2 (b) shows a case having a recess (3), respectively.
これら多数の貫通孔（２）又は凹部（３）は、膨張黒鉛内に含まれる水分が加熱により気化した際に、該気化ガス（水蒸気）を層間の空隙に存在する空気と共にシート外部へと放出するための通路となるものである。
貫通孔（２）又は凹部（３）の配置形態は、格子状や千鳥状等の規則的な配置としてもよいし、不規則な配置としてもよいが、シート面の一部に偏らないように全体に亘って略均一に配置することが好ましい。
These numerous through holes (2) or recesses (3) release the vaporized gas (water vapor) to the outside of the sheet together with the air present in the gaps between the layers when the moisture contained in the expanded graphite is vaporized by heating. It becomes a passage to do.
The arrangement form of the through holes (2) or the recesses (3) may be a regular arrangement such as a lattice shape or a staggered shape, or may be an irregular arrangement, but not to be biased to a part of the sheet surface. It is preferable to arrange it substantially uniformly throughout.
貫通孔（２）又は凹部（３）の大きさは特に限定されないが、大きすぎるとシート強度や熱伝達性能が低下し、小さすぎると蒸気及び空気を放出するための通路としての機能を充分に果たせなくなるため、適当な範囲に設定することが好ましい。
適当な範囲としては、例えば直径０．００１〜０．１ｍｍ、好ましくは０．００３〜０．０８ｍｍの範囲を例示することができる。
The size of the through hole (2) or the recess (3) is not particularly limited, but if it is too large, the sheet strength and heat transfer performance will be reduced, and if it is too small, the function as a passage for releasing steam and air will be sufficient. Since it cannot be achieved, it is preferable to set it in an appropriate range.
As an appropriate range, for example, a range of 0.001 to 0.1 mm in diameter, preferably 0.003 to 0.08 mm can be exemplified.
貫通孔（２）又は凹部（３）の数（密度）についても特に限定されないが、数が多すぎるとシート強度や熱伝達性能が低下し、少なすぎると蒸気及び空気を放出するための通路としての機能を充分に果たせなくなるため、適当な範囲に設定することが好ましい。
適当な範囲としては、例えば上記した直径０．００３〜０．０８ｍｍのものを設ける場合には１０〜１０００個／ｃｍ２、より好ましくは５０〜３００個／ｃｍ２の範囲を例示することができる。
The number (density) of the through holes (2) or the recesses (3) is not particularly limited. However, if the number is too large, the sheet strength and heat transfer performance deteriorate, and if the number is too small, the passage for releasing steam and air. Therefore, it is preferable to set an appropriate range.
As an appropriate range, for example, when the above-mentioned one having a diameter of 0.003 to 0.08 mm is provided, a range of 10 to 1000 / cm 2 , more preferably 50 to 300 / cm 2 can be exemplified. .
凹部（３）については、その縦断面形状を半円形、三角形、四角形などの任意の形状とすることができる。また、その深さについても任意に設定することができるが、浅すぎると蒸気及び空気を放出するための通路としての機能を充分に果たせなくなるため、シート厚みに対して５０％以上に設定することが好ましい。 About the recessed part (3), the longitudinal cross-sectional shape can be made into arbitrary shapes, such as a semicircle, a triangle, and a rectangle. The depth can also be set arbitrarily, but if it is too shallow, the function as a passage for releasing steam and air cannot be performed sufficiently, so it should be set to 50% or more of the sheet thickness. Is preferred.
上記したような貫通孔（２）又は凹部（３）を有する放熱シート（１）によれば、加熱により発生するシート内部に含まれる水分の蒸気及び層間の空隙に存在する空気が、貫通孔（２）又は凹部（３）を通ってシート外部へと容易に排出されるので、シート表面に膨れが生じることを防ぐことができる。
従って、電子部品等において発生する熱を放熱するための放熱シートとして利用した場合に、加熱炉等を利用した加熱処理によって放熱シート表面に膨れが生じて基板等への密着性が低下することがなく、高い放熱効果を維持することができる。
しかも、通常の方法で製造された放熱シートに貫通孔（２）又は凹部（３）を設ける加工を行うだけでよいので、簡単に且つ低コストで製造することができる。
According to the heat-dissipating sheet (1) having the through hole (2) or the recess (3) as described above, moisture vapor contained in the sheet generated by heating and air present in the gaps between the layers are formed in the through hole ( Since it is easily discharged to the outside of the sheet through 2) or the recess (3), it is possible to prevent the sheet surface from being swollen.
Therefore, when used as a heat radiating sheet for radiating heat generated in electronic components, etc., the heat treatment using a heating furnace or the like may cause swelling on the surface of the heat radiating sheet and reduce the adhesion to the substrate or the like. And a high heat dissipation effect can be maintained.
In addition, since it is only necessary to perform the process of providing the through holes (2) or the recesses (3) in the heat dissipation sheet manufactured by a normal method, it can be manufactured easily and at low cost.
図３は本発明に係る放熱シートの第二実施形態を示す斜視図であり、図４はその概略拡大断面図である。
この実施形態の放熱シート（１）は、多数の貫通孔（２）又は凹部（３）を有する第一実施形態のシートにおいて、シート（１）の表面に、多数の粉末（４）が埋設されているものであり、図４（ａ）は貫通孔（２）を有する場合、図４（ｂ）は凹部（３）を有する場合を夫々示している。
FIG. 3 is a perspective view showing a second embodiment of the heat dissipation sheet according to the present invention, and FIG. 4 is a schematic enlarged sectional view thereof.
In the heat dissipation sheet (1) of this embodiment, in the sheet of the first embodiment having a large number of through holes (2) or recesses (3), a large number of powders (4) are embedded on the surface of the sheet (1). 4A shows a case where the through hole (2) is provided, and FIG. 4B shows a case where the concave portion (3) is provided.
粉末（４）としては、例えば、金属、セラミックス、粘土、マイカのいずれか１種を単独で、若しくは２種以上を混合して用いることができる。
本発明においては、粉末（４）として、銅、アルミニウム、錫、ニッケル等の金属の粉末を使用することが好ましい。これは、金属粉末を用いた場合には、厚み方向の熱伝導性を高めることができるためである。
As the powder (4), for example, any one of metal, ceramics, clay, and mica can be used alone, or two or more kinds can be mixed and used.
In the present invention, it is preferable to use a metal powder such as copper, aluminum, tin and nickel as the powder (4). This is because when metal powder is used, the thermal conductivity in the thickness direction can be increased.
シート表面に埋設された粉末（４）は、放熱シートを構成する膨張黒鉛のグラファイト層を破って、層間の空隙を連通状態として外部へと通じさせるので、加熱により発生するシート内部に含まれる水分の蒸気及び層間の空隙に存在する空気が、シート外部へと更に容易に排出されるようになる。従って、シート表面に膨れが生じることをより確実に防ぐことができる。 The powder (4) embedded in the surface of the sheet breaks the graphite layer of the expanded graphite constituting the heat radiating sheet and allows the voids between the layers to communicate with each other to the outside, so moisture contained in the sheet generated by heating The vapor and the air existing in the gaps between the layers are more easily discharged to the outside of the sheet. Therefore, it can prevent more reliably that a sheet surface bulges.
粉末（４）の大きさ（粒径）は、大きすぎるとシート強度や熱伝達性能が低下し、小さすぎると蒸気を放出するための通路としての機能を充分に果たせなくなるため、適当な範囲に設定することが好ましい。
適当な範囲としては、例えば０．０１〜１０μｍのものを用いることが好ましく、０．１〜５μｍのものを用いることがより好ましい。
If the size (particle size) of the powder (4) is too large, the sheet strength and heat transfer performance will decrease, and if it is too small, the function as a passage for releasing steam will not be sufficiently achieved. It is preferable to set.
As a suitable range, it is preferable to use a thing of 0.01-10 micrometers, for example, and it is more preferable to use a 0.1-5 micrometers thing.
図５は第一実施形態の放熱シートの製造方法を示すフローチャートであって、以下このフローチャートに基づいて第一実施形態の放熱シートの製造方法について説明する。
先ず、膨張黒鉛製シートを製造する。
膨張黒鉛製シートの製造は、例えば以下に示す方法により行うことができる。但し、本発明においてはこれと異なる公知の方法を用いて膨張黒鉛製シートを製造することもできる。
FIG. 5 is a flowchart showing a method for manufacturing a heat dissipation sheet according to the first embodiment. Hereinafter, the method for manufacturing a heat dissipation sheet according to the first embodiment will be described based on this flowchart.
First, an expanded graphite sheet is manufactured.
The expanded graphite sheet can be produced, for example, by the following method. However, in the present invention, the expanded graphite sheet can be produced using a known method different from this.
膨張黒鉛製シートの製造は、先ず、天然鱗状黒鉛、キッシュ黒鉛、熱分解黒鉛等からなる原料を精錬する。この精錬は、例えば原料黒鉛を粉砕して浮遊選鉱した後、化学精錬によって行われる。
次いで、精錬後の黒鉛を硫酸、硝酸等の強酸に浸漬し、過酸化水素や過塩素酸等の酸化剤を添加するか、もしくは電界酸化処理を行うことにより、硫酸や硝酸の分子を黒鉛層内に侵入させて層間化合物を形成する。
そして、酸処理後の黒鉛を水洗して乾燥させた後、この黒鉛を７００〜１２００℃に急加熱することによって層間化合物を黒鉛の層間で急激にガス化させ、このガス化によって黒鉛を膨張させる。
その後、得られた膨張黒鉛を、ローラ等を用いて圧延してシート状にすることにより、膨張黒鉛製シートを得る。このときに得られる膨張黒鉛シートは、例えば厚み０．０５〜０．２５ｍｍ、密度０．６〜１．５ｇ／ｃｍ３とされる。
In the production of the expanded graphite sheet, first, raw materials composed of natural scale graphite, quiche graphite, pyrolytic graphite, and the like are refined. This refining is performed, for example, by chemical refining after pulverizing raw material graphite and flotation.
Next, the graphite after refining is immersed in a strong acid such as sulfuric acid or nitric acid, and an oxidizing agent such as hydrogen peroxide or perchloric acid is added, or an electric field oxidation treatment is performed, whereby sulfuric acid and nitric acid molecules are added to the graphite layer. It penetrates into the inside to form an intercalation compound.
Then, after the acid-treated graphite is washed with water and dried, the graphite is rapidly heated to 700 to 1200 ° C. to rapidly gasify the interlayer compound between the graphite layers, and the gasification expands the graphite. .
Thereafter, the obtained expanded graphite is rolled using a roller or the like to form a sheet, thereby obtaining an expanded graphite sheet. The expanded graphite sheet obtained at this time has a thickness of 0.05 to 0.25 mm and a density of 0.6 to 1.5 g / cm 3 , for example.
次いで、得られた膨張黒鉛製シートに貫通孔又は凹部を設けることにより本発明の第一実施形態の放熱シートが得られる。フローチャートでは貫通孔を設ける場合を示している。
貫通孔は、例えば、多数の針をシートの表面から裏面に向けて貫通するように突き刺す方法（ニードルパンチング法）や針ローラによる方法により形成することができる。
凹部は、針でシート表面を引っ掻いてえぐり取る方法や針ローラによる方法により形成することができる。
Next, the heat radiating sheet of the first embodiment of the present invention is obtained by providing a through hole or a recess in the obtained expanded graphite sheet. The flowchart shows a case where a through hole is provided.
The through hole can be formed by, for example, a method of piercing a large number of needles from the front surface to the back surface (needle punching method) or a method using a needle roller.
The concave portion can be formed by a method of scratching the sheet surface with a needle and a method using a needle roller.
図６は第二実施形態の放熱シートの製造方法を示すフローチャートである。
第二実施形態の放熱シートの製造方法は、上記第一実施形態の製造方法により得られたシートに対して、更に加工を加えるものである。
具体的には、上記第一実施形態の製造方法により得られたシートの表面に、金属、セラミックス、マイカ、粘土等の粉末を単独でもしくは混合して散布した後、シートに再び圧延処理を施す。
これによって、図４に示した如く、粉末がシート内部に埋設され、第二実施形態の放熱シートが得られる。
FIG. 6 is a flowchart showing a method for manufacturing a heat dissipation sheet according to the second embodiment.
The manufacturing method of the heat radiating sheet of the second embodiment further adds processing to the sheet obtained by the manufacturing method of the first embodiment.
Specifically, after the powder of metal, ceramics, mica, clay, or the like is sprayed alone or mixed on the surface of the sheet obtained by the manufacturing method of the first embodiment, the sheet is subjected to rolling again. .
As a result, as shown in FIG. 4, the powder is embedded in the sheet, and the heat dissipation sheet of the second embodiment is obtained.
以下、本発明に係る放熱シートの実施例及び比較例を示すことにより、本発明の効果をより明確なものとする。但し、本発明は以下の実施例には何ら限定されない。 Hereinafter, the effect of this invention is made clearer by showing the Example and comparative example of a thermal radiation sheet which concern on this invention. However, the present invention is not limited to the following examples.
１．サンプルの作成
（実施例１）
図５に示す製造工程によって、先ず、縦３５０ｍｍ×横４３０ｍｍ×厚み０．２ｍｍの大きさであって、密度１．２５ｇ／ｃｍ３の膨張黒鉛製シートを製造し、次いでこの膨張黒鉛製シートに貫通孔を設け、これを実施例１の放熱シートとした。
設けられた貫通孔は、直径が０．００３ｍｍ、密度が３００個／ｃｍ２であった。
（実施例２）
実施例１で得られたシートの表面に、１０ｇの銅粉末（粒径０．０００１ｍｍ）を均一に散布し、次いでローラにより圧延処理を施すことにより、粉末をシートの内部に埋設させ、得られたシートを実施例２の放熱シートとした。
1. Sample preparation (Example 1)
First, an expanded graphite sheet having a size of 350 mm in length, 430 mm in width, and 0.2 mm in thickness and having a density of 1.25 g / cm 3 is manufactured by the manufacturing process shown in FIG. A through hole was provided, and this was used as the heat dissipation sheet of Example 1.
The provided through holes had a diameter of 0.003 mm and a density of 300 holes / cm 2 .
(Example 2)
The surface of the sheet obtained in Example 1 was uniformly dispersed with 10 g of copper powder (particle size 0.0001 mm), and then subjected to a rolling treatment with a roller, whereby the powder was embedded in the sheet and obtained. The sheet was used as the heat dissipation sheet of Example 2.
（比較例）
実施例１と同じ方法によって、縦３５０ｍｍ×横４３０ｍｍ×厚み０．２ｍｍの大きさであって、密度１．２５ｇ／ｃｍ３の膨張黒鉛製シートを製造し、これに貫通孔を設けなかったものを比較例の放熱シートとした。
(Comparative example)
A sheet made of expanded graphite having a size of 350 mm in length, 430 mm in width, and 0.2 mm in thickness and having a density of 1.25 g / cm 3 was manufactured by the same method as in Example 1, and no through hole was provided in the sheet. Was used as a heat dissipation sheet of a comparative example.
２．膨れ発生試験
実施例１，２及び比較例のシートを、温度２５℃、相対湿度４７％の室内に１２０時間放置した後、加熱炉内に供給して１５０℃で１２０時間加熱した後、炉から取り出した。
2. After the sheets of the blister generation test examples 1 and 2 and the comparative example were left in a room at a temperature of 25 ° C. and a relative humidity of 47% for 120 hours, the sheets were supplied into a heating furnace and heated at 150 ° C. for 120 hours, I took it out.
３．試験結果
炉から取り出された実施例１，２及び比較例のシート表面を肉眼で観察した。
その結果、実施例１，２のシートはいずれもシート表面に膨れ（気泡）は全く確認できなかったが、比較例のシートではシート表面に多数の膨れ（気泡）が確認された。
3. Test Results The sheet surfaces of Examples 1 and 2 and Comparative Example taken out from the furnace were observed with the naked eye.
As a result, none of the sheets of Examples 1 and 2 was confirmed to be swollen (bubbles) on the sheet surface, but a number of blisters (bubbles) were confirmed on the sheet surface of the comparative example sheet.
この結果から、実施例即ち本発明に係る放熱シートでは、比較例即ち従来の放熱シートにおいてシート表面に発生する膨れ（気泡）の発生を確実に防止できることが確認された。 From these results, it was confirmed that in the heat radiating sheet according to the example, that is, the present invention, it is possible to reliably prevent the occurrence of blisters (bubbles) generated on the sheet surface in the comparative example, that is, the conventional heat radiating sheet.
本発明は、ノートパソコンや携帯電話等の電子機器の半導体部品を搭載した基板に密着させる或いは多層基板の間に介在させることで、基板上の半導体部品に発生した熱をヒートシンク（放熱器）に伝えるための放熱シート、プラズマテレビのプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の背面のガラス板とＰＤＰを支持するシャシーとの間に介在させることによりＰＤＰにおける局部的な温度過熱を防止するための放熱シート、スパッタリングやドライエッチング装置における冷却のための放熱シート等として好適に用いられる。 In the present invention, heat generated in a semiconductor component on a substrate is transferred to a heat sink (heat radiator) by being closely attached to a substrate on which a semiconductor component of an electronic device such as a notebook computer or a mobile phone is mounted or interposed between multilayer substrates. Heat dissipation sheet for conveying, heat dissipation sheet for preventing local temperature overheating in PDP by interposing between the glass plate on the back of plasma display panel (PDP) of plasma television and chassis supporting PDP, sputtering And a heat dissipation sheet for cooling in a dry etching apparatus.
１ 放熱シート
２ 貫通孔
３ 凹部
４ 粉末
1
Claims (6)
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Cited By (6)
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