JP2006249931A - 一軸偏心ねじポンプのロータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一軸偏心ねじポンプ11は、雄ねじ形のロータ12を、雌ねじ形のステータ13内に回転可能に嵌挿して偏心回転させることにより、被移送物を移送する。ロータ12には、中実あるいは中空のステンレス鋼、アルミニウム合金を用いる一方、ステータ13には、ゴムを用いる。ロータ12は、ロータ基材(ステンレス鋼)の表面に、膜厚さが0.5〜5μmのDLC膜を形成してなる。
【選択図】 図1
Description
(1)ロータ基材がステンレス鋼からなり、その表面に層厚さ20〜50μmの窒化層を介して膜厚さ0.5〜5μmのDLC膜を成膜したもの。
(2)ロータ基材がアルミニウム合金からなり、その表面に膜厚さ50〜100μmのWC溶射皮膜を介して層厚さ0.5〜5μmのDLC膜を成膜したもの。
(3)ロータ基材がアルミニウム合金からなり、その表面に層厚さ20〜50μmの窒化層を介して膜厚さ0.5〜5μmのDLC膜を成膜したもの。
(工程1)
前記ロータ基材を、例えば電気炉加熱やハロゲンランプなどの既存の加熱方法を用いて300〜500℃に加熱する。
(工程2)
前記工程1での加熱温度状態を保持しながら、真空チャンバー内に窒素ガスあるいは窒素混合ガスからなる反応ガスを供給する。そして、例えば放電室で生成された放電プラズマから、加速電極により引き出して加速した電子ビームを前記真空チャンバー内に導き、前記反応ガスをプラズマ化して、その電子ビーム励起プラズマ(EBEP)を前記ロータ基材に作用させることによりロータ基材中に窒素原子及び窒素イオンを注入し、中間層となる、20〜50μm厚の窒化層(窒素化合物層あるいは窒素拡散層)をロータ基材の表面に形成する。
(工程3)
続いて、同一の真空チャンバー内に炭化水素系ガスを導入し、前記ロータ基材に前記導体を介して、プラズマ発生用電源により高周波電力を所定時間印加して、ロータ基材の周囲にプラズマを発生させ、プラズマ発生後に前記ロータ基材に前記導体を介して高電圧パルス発生用電源により負の高電圧パルスを印加して、ロータ基材にプラズマ中のイオンを誘引注入し、前記窒化層の表面に0.5〜5μm厚のDLC膜を成膜する。
12 ロータ
13 ステータ
Claims (3)
- ゴムなどの高分子材料からなる雌ねじ形のステータ内に、ステンレス鋼、アルミニウム合金などの金属材料からなる雄ねじ形のロータを回転可能に嵌挿して、前記ロータを偏心回転させることにより、比較的摩耗性の少ない移送液を移送する一軸偏心ねじポンプのロータにおいて、
前記ロータは、DLC(ダイアモンドライクカーボン)膜を表面に有することを特徴とする一軸偏心ねじポンプのロータ。 - 前記ロータは、アルミニウム合金からなるロータ基材の表面に、WC(タングステンカーバイド)溶射皮膜を介して前記DLC膜を有するものであり、
前記WC溶射皮膜の膜厚さが50〜100μmで、前記DLC膜の膜厚さが0.5〜5μmであること特徴とする請求項1記載の一軸偏心ねじポンプのロータ。 - 前記ロータは、ステンレス鋼あるいはアルミニウム合金からなるロータ基材の表面に、窒化層を介して前記DLC膜を有するものであり、
前記窒化層の層厚さが20〜50μmで、前記DLC膜の膜厚さが0.5〜5μmであること特徴とする請求項1記載の一軸偏心ねじポンプのロータ。
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JP2005063320A JP2006249931A (ja) | 2005-03-08 | 2005-03-08 | 一軸偏心ねじポンプのロータ |
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Family Applications (1)
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JP2005063320A Pending JP2006249931A (ja) | 2005-03-08 | 2005-03-08 | 一軸偏心ねじポンプのロータ |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007327349A (ja) * | 2006-06-06 | 2007-12-20 | Tocalo Co Ltd | 送液ポンプ用部材及びその製造方法 |
JP2010196129A (ja) * | 2009-02-26 | 2010-09-09 | Toyota Motor Corp | 鋼材の製造方法 |
EP2578882A4 (en) * | 2010-06-07 | 2017-01-04 | NETZSCH Pumpen & Systeme GmbH | Uniaxial eccentric screw pump |
CN112593213A (zh) * | 2020-12-11 | 2021-04-02 | 岳阳市青方环保科技有限公司 | 一种自动倾斜器导筒表面的耐磨防腐工艺 |
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2005
- 2005-03-08 JP JP2005063320A patent/JP2006249931A/ja active Pending
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