JP2006248876A - High density powder compact, its sintered compact and its manufacturing method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a slurry suitable for cast molding, its manufacturing method, a high density powder compact manufactured by using the slurry and a high density sintered compact with low shrinkage. <P>SOLUTION: In the method for manufacturing the slurry by mixing raw material powders and a solvent, a raw material slurry having low viscosity and low thixotropy is prepared by adopting wet jet mill processing without the use of a grinding medium. The homogeneous and high density powder compact is molded by the cast molding of the slurry. A method for manufacturing a high density sintered compact with low shrinkage at sintering by sintering the molded product and the sintered product are provided. The high density sintered compact with low shrinkage has a relative density of 98% or more and a shrinkage factor at sintering of 13% or less. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、鋳込み成形に適合したスラリー、その製造方法、該スラリーを使用した高密度成形体及びその焼結体に関するものであり、更に詳しくは、湿式ジェットミルプロセスにより製造された低粘性・低チクソトロピー性を有するスラリー、これを鋳込み成形することにより製造された高密度成形体、及びこれを焼結することにより得られた高密度低収縮焼結体に関するものである。本発明は、近年の産業技術の発展にともない、例えば、建築、自動車、電子機器等分野において、製品の高機能・高性能化が求められている中で、複雑な形状のセラミック部品類等を、高密度化、高精度化することによりニアネットシェイプ化を行うことを実現するために開発されたものである。本発明は、ファインセラミックス製品等の技術分野において、歩留まりよく、高い寸法精度で、高密度化、高精度化した焼結部品類を提供することを可能とするものである。   The present invention relates to a slurry suitable for casting, a production method thereof, a high-density molded body using the slurry, and a sintered body thereof. More specifically, the present invention relates to a low-viscosity / low-pressure produced by a wet jet mill process. The present invention relates to a slurry having thixotropy, a high-density molded body produced by casting this, and a high-density low-shrinkage sintered body obtained by sintering the slurry. With the development of industrial technology in recent years, the present invention, for example, in the fields of architecture, automobiles, electronic equipment, etc. It was developed to realize near net shaping by increasing the density and accuracy. The present invention makes it possible to provide sintered parts with high yield, high dimensional accuracy, high density, and high accuracy in technical fields such as fine ceramic products.

従来、鋳込み成形による粉末成形体及び焼結体の製造において、原料粉末を所定の形状に成形し、その粉末成形体を焼結して製品とする粉末焼結プロセスは、複雑形状の製品を高効率、安価に行えるといったメリットを有することから、諸産業分野において広く用いられている。粉末焼結プロセスにおいては、焼結前の粉末成形体により、得られる製品の品質、形状、及び精度は大きく影響を受ける。例えば、成形体密度が低い場合には、焼結時の試料の収縮が大きくなり、製品の形状や精度を制御することが困難となる。また、成形体中の空隙が残存することにより製品の品質を著しく低下させることもある。粉末成形体の密度にムラがある場合には、場所による収縮率に違いが生じ、焼結時に不均一に収縮し、亀裂が生じるといった問題を生じる。そのため、良好な製品を得るためには、高密度で均一な密度分布を有する粉末成形体の作製が極めて重要である。   Conventionally, in the production of powder molded bodies and sintered bodies by casting molding, the powder sintering process in which raw powder is molded into a predetermined shape and the powder molded body is sintered to produce a product is complicated. Since it has the merit of being efficient and inexpensive, it is widely used in various industrial fields. In the powder sintering process, the quality, shape, and accuracy of the product obtained are greatly affected by the powder compact before sintering. For example, when the density of the compact is low, the shrinkage of the sample during sintering becomes large, and it becomes difficult to control the shape and accuracy of the product. Moreover, the quality of a product may be reduced remarkably by the space | gap in a molded object remaining. When the density of the powder compact is uneven, there is a difference in the shrinkage rate depending on the location, causing a problem that the powder shrinks unevenly during sintering and cracks occur. Therefore, in order to obtain a good product, it is extremely important to produce a powder compact having a high density and a uniform density distribution.

粉末成形体の成形方法は数多くあり、大別すると、乾式プロセスと湿式プロセスの二つの方式がある。乾式プロセスとしては、原料粉末に高温・高圧を印加して成形するプレス、押出し、及び圧延等がある。これらの方法は、高温や高圧を必要とすることから装置が大型化し、コストが高くなってしまう。更に、近年の産業技術の発展に伴う材料、部材への要求の高機能化・高性能化により、原料粉末の微細化が進んでいるが、乾式プロセスでは、原料粉末の微細化により作業性の低下、危険性の増大、及び作業環境の悪化等の問題が生じる。一方、湿式プロセスとしては、原料粉末を溶媒と混合してスラリーを作製し、多孔質型に鋳込む泥しょう鋳込みプロセス、金型に高圧で射出する射出プロセス等がある。射出プロセスは、高圧を必要とするため、乾式プロセスと同様にコストが高くなってしまうのに対し、泥しょう鋳込みプロセスは、特別高価な装置を必要としない。更に、泥しょう鋳込みプロセスは、比較的大型の複雑形状品の成形体を高密度に作製することができ、複雑形状の多品種少量生産に適した方法である。   There are many methods for forming a powder compact, and broadly divided into two types: a dry process and a wet process. Examples of the dry process include pressing, extruding, rolling, and the like that apply high temperature and high pressure to the raw material powder. Since these methods require high temperatures and high pressures, the size of the apparatus increases and the cost increases. In addition, the refinement of raw material powder has been progressing due to the higher functionality and higher performance of the demands for materials and components in accordance with the recent development of industrial technology, but in the dry process, workability is improved by making the raw material powder finer. Problems such as reduction, increased risk, and deterioration of the work environment occur. On the other hand, the wet process includes a slurry casting process in which a raw material powder is mixed with a solvent to prepare a slurry and cast into a porous mold, and an injection process in which the mold is injected at a high pressure. The injection process requires high pressure and therefore costs as much as the dry process, whereas the mud casting process does not require specially expensive equipment. Furthermore, the mud casting process is a method suitable for high-mix low-volume production of complex shapes because it can produce a compact body having a relatively large complex shape at a high density.

しかし、近年、より複雑な部品をより高精度に製造するというネットシェイプ化への期待は高まるばかりであり、泥しょう鋳込み成形体の更なる高密度化が求められている。鋳込み成形体の更なる高密度化を図る方法として、成形プロセスに起因する方法と、成形に用いるスラリーに起因する方法とがある。成形プロセスに起因する方法としては、成形時に外力を印加する加圧鋳込み成形(特許文献1参照)や遠心力を加える遠心鋳込み成形、振動を加える振動鋳込み成形(特許文献2参照)等がある。しかしながら、加圧鋳込み、遠心鋳込み、振動鋳込み等の各プロセスは、加圧装置、遠心装置、振動装置を必要とするため、装置が大型化し、また、型や装置等の消耗が激しくなるといった問題を有する。更に、それほど高密度化が達成されていない。   However, in recent years, there is an increasing expectation for net shaping to produce more complex parts with higher precision, and further densification of the mud cast molding is required. As a method for further increasing the density of the cast molded body, there are a method resulting from a molding process and a method resulting from a slurry used for molding. Examples of methods resulting from the molding process include pressure casting (see Patent Document 1) in which an external force is applied during molding, centrifugal casting in which centrifugal force is applied, and vibration casting in which vibration is applied (see Patent Document 2). However, each process such as pressure casting, centrifugal casting, and vibration casting requires a pressurizing device, a centrifugal device, and a vibration device, so that the size of the device is increased, and the mold and the device are heavily consumed. Have Furthermore, the density is not so high.

成形に用いるスラリーに起因する方法としては、原料粉末の粒度分布幅を大きくする方法(例えば、特許文献3参照)や、スラリーの溶媒、pH、及び分散剤等を調整する方法(例えば、特許文献4参照)等がある。原料粉末の粒度分布を大きくとることにより、成形体密度を高くすることは可能となるが、大きい粒子が小さい粒子を吸収する形で焼結が進むため、焼結時の異常粒成長を生じ焼結体の品質低下を招く。一方、スラリーの溶媒及びpH等を調整する方法では、若干の密度上昇効果が得られる程度である。これは、スラリー作製工程での粘性増加・粒子の再凝集が一因である。原料粉末と溶媒を混合してスラリーを作製する方法として、メディアと呼ばれる粉砕媒体を用いたボールミルを使用することが多い。しかし、ボールミルを用いた場合、大きな質量を有するメディアの衝突により、原料粉末の結晶及び表面構造が損傷を受け、表面エネルギーの増大により原料粉末の再凝集が生じる。このような原料粉末の再凝集は、スラリー粘度の増加、チクソトロピー性の増加を引き起すことが知られている。高粘性・高チクソトロピー性及び/又は凝集粒子を含むスラリーは、泥しょう鋳込みにおいて成形体の高密度化及び均質化を阻害する。このような低密度、不均質な成形体を焼結又は脱脂、焼結すると、低密度で不均質な焼結体しか得られず、しかも焼結時に変形や亀裂が生じる等の不都合が生じる。   As a method resulting from the slurry used for molding, a method of increasing the particle size distribution width of the raw material powder (for example, see Patent Document 3), a method of adjusting the solvent, pH, and dispersant of the slurry (for example, Patent Document) 4)). By increasing the particle size distribution of the raw material powder, it is possible to increase the density of the compact, but sintering proceeds in such a way that large particles absorb small particles, resulting in abnormal grain growth during sintering. The quality of the aggregate is reduced. On the other hand, in the method of adjusting the solvent and pH of the slurry, a slight density increase effect is obtained. This is partly due to viscosity increase and particle re-aggregation in the slurry preparation process. As a method of preparing a slurry by mixing raw material powder and a solvent, a ball mill using a grinding medium called a media is often used. However, when a ball mill is used, the crystal and surface structure of the raw material powder are damaged due to the collision of a medium having a large mass, and the raw material powder is re-agglomerated due to an increase in surface energy. Such reaggregation of the raw material powder is known to cause an increase in slurry viscosity and an increase in thixotropy. Slurries containing high viscosity, high thixotropy and / or agglomerated particles impede densification and homogenization of the molded body during slurry casting. When such a low density, non-homogeneous shaped body is sintered, degreased, or sintered, only a low density, non-homogeneous sintered body can be obtained, and inconveniences such as deformation and cracking occur during sintering.

更に、メディア同士の衝突等により、メディアの摩耗粉が不純物として材料中に混入する。混入量は多ければ1wt%にもなり、この様な不純物は焼結の妨げとなり、また、得られる製品の特性低下の原因となる。従来のスラリー作製方法は、主にこの粉砕媒体型が用いられるが、この他にも、撹拌型、摩粉型、及び超音波型等の作製方法がある。しかしながら、いずれの方法も、過剰なエネルギーによる原料粉末表面の損傷や再凝集等は避けられない問題であり、また、少なからず不純物の混入は発生するものであった。更に、従来のスラリー作製方法はどれも、その処理に数時間から数日を必要とする等、経済的、環境的な面においても問題を有している。   Furthermore, media abrasion powder is mixed into the material as impurities due to collision between the media. If the mixing amount is large, the amount becomes 1 wt%, and such impurities interfere with sintering and cause deterioration of characteristics of the obtained product. The conventional slurry preparation method mainly uses this grinding medium type, but there are other preparation methods such as a stirring type, a powder type, and an ultrasonic type. However, in any of the methods, damage to the raw material powder surface or re-aggregation due to excessive energy is an unavoidable problem, and not a few impurities are mixed. Furthermore, all the conventional slurry preparation methods have problems in terms of economy and environment, such as requiring several hours to several days for the treatment.

一方、本発明において採用している湿式ジェットミルプロセスに関しては、これまでに幾つかの報告があるが、その適用分野は主に食品関係である(例えば、特許文献5参照)。また、セラミックス粉末や金属粉末等に適用した例もあるが(例えば、特許文献6参照)、どれも原料粉末を微細化することに主眼を置いたものであり、当技術分野では、本発明で提供する湿式ジェットミルにより作製したスラリーを用いた成形方法、その成形体、及び焼結体には何らの考慮も払われていないのが実情である。   On the other hand, regarding the wet jet mill process employed in the present invention, there have been several reports so far, but its application field is mainly related to food (for example, see Patent Document 5). In addition, there are examples applied to ceramic powder, metal powder, and the like (see, for example, Patent Document 6), but all of them are focused on miniaturizing the raw material powder. In fact, no consideration is given to the molding method using the slurry produced by the provided wet jet mill, the molded body, and the sintered body.

特開平8−99306号公報JP-A-8-99306 特開平2−141455号公報JP-A-2-141455 特開2000−128625号公報JP 2000-128625 A 特開平3−169506号公報JP-A-3-169506 特開平11−113544号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-113544 特開平11−147714号公報JP-A-11-147714

このような状況の中で、本発明者らは、上記従来技術に鑑みて、上記従来技術の諸問題を解決し得るとともに、例えば、ファインセラミックス材料の製造において、複雑な形状の部品を、高密度、高精度な焼結体として製造することにより、その高機能化、ニアネットシェイプ化を行うことを可能とする新しい技術を開発することを目標として鋭意研究を積み重ねた結果、湿式ジェットミルにより製造された低粘性・低チクソトロピー性のスラリーを使用することにより所期の目的を達成し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。   Under such circumstances, the present inventors can solve the problems of the prior art in view of the prior art, and, for example, in the production of fine ceramic materials, As a result of intensive research aimed at developing a new technology that makes it possible to achieve high functionality and near net shape by manufacturing as a sintered body with high density and high precision, It has been found that the intended purpose can be achieved by using the produced low-viscosity and low-thixotropic slurry, and the present invention has been completed.

本発明は、各種部材の高信頼性、高機能化及びニアネットシェイプ化を可能とする高密度粉末成形体及び高密度低収縮粉末焼結体及びそれらの製造プロセスを提供することを目的とするものである。また、本発明は、それらの製品を製造するために使用される低粘性・低チクソトロピー性を有するスラリーを提供することを目的とするものである。また、本発明は、高密度粉末成形体及び高密度低収縮粉末焼結体を得ることができる低粘性・低チクソトロピー性スラリーを、湿式ジェットミルプロセスにより製造する方法を提供することを目的とするものである。また、本発明は、原料粉末の結晶構造及び表面構造が、損傷を受けないで、表面エネルギーが増加していない、一次粒子にまで解砕された微粉末の製造方法を提供することを目的とするものである。更に、本発明は、例えば、ファインセラミクス部品を製造するために有用な新しい鋳込み成形技術を提供することを目的とするものである。   It is an object of the present invention to provide a high-density powder molded body and a high-density low-shrinkage powder sintered body that enable high reliability, high functionality, and near-net shape of various members, and a manufacturing process thereof. Is. It is another object of the present invention to provide a slurry having low viscosity and low thixotropy used for producing those products. Another object of the present invention is to provide a method for producing a low-viscosity and low-thixotropic slurry capable of obtaining a high-density powder compact and a high-density low-shrinkage powder sintered body by a wet jet mill process. Is. Another object of the present invention is to provide a method for producing a fine powder crushed to primary particles, in which the crystal structure and surface structure of the raw material powder are not damaged and the surface energy is not increased. To do. A further object of the present invention is to provide a new casting technique useful for producing, for example, fine ceramic parts.

上記課題を解決するための本発明は、以下の技術的手段から構成される。
(1)低粘性・低チクソトロピー性スラリーであって、粘度が40mPa・s以下で、粘度の単位時間あたりの変化量が10mPa・s/h以下であることを特徴とするスラリー。
(2)スラリー中の原料粉末の濃度が、10〜60vol%の範囲である上記(1)に記載のスラリー。
(3)スラリー中の粉末が、分散前の表面状態が壊れることなく、元の結晶性及び表面構造を保持している上記(1)に記載のスラリー。
(4)一次粒子に解砕された粉末であって、(1)表面状態が壊れることなく、元の結晶性及び表面構造を保持していること、(2)該粉末を、溶媒中に分散したスラリーの粘度が40mPa・s以下で、粘度の単位時間あたりの変化量が10mPa・s/h以下であることを特徴とする粉体。
(5)上記(1)から(3)のいずれかに記載のスラリーの鋳込み成形高密度成形体であって、相対密度が65〜75%であることを特徴とする高密度成形体。
(6)上記(5)に記載の成形体の焼結体であって、線収縮率が13%以下で、相対密度が98%以上であることを特徴とする高密度低収縮焼結体。
(7)粘度40mPa・s以下で、粘度の単位時間変化量が10mPa・s/h以下であるスラリーを製造する方法であって、湿式ジェットミル処理による混合、解砕する工程を有することを特徴とするスラリーの製造方法。
(8)湿式ジェットミル処理が、原料粉末と溶媒をスラリー状となし、耐圧容器内に密封状態で配置されたノズルへ該スラリーを高圧で圧送して、スラリーの対向流を相互に衝突・合流させることにより、スラリー中の原料粉末を、混合、分散、解砕する湿式ジェットミル処理である上記(7)に記載のスラリーの製造方法。
(9)原料粉末と溶媒の総量に対して、原料粉末が10〜60vol%の範囲にある上記(7)に記載のスラリーの製造方法。
(10)湿式ジェットミル処理が、10MPa以上の処理圧力下で行われる上記(7)に記載のスラリーの製造方法。
(11)上記(1)から(3)のいずれかに記載のスラリーを、成形型に鋳込むことにより高密度成形体を作製することを特徴とする高密度成形体の製造方法。
(12)成形体の相対密度が、65〜75%である上記(11)に記載の高密度成形体の製造方法。
(13)上記(1)から(3)のいずれかに記載のスラリーを、成形型に鋳込み、固化して高密度成形体を作製し、該成形体を、焼結することにより焼結体を作製することを特徴とする高密度低収縮焼結体の製造方法。
(14)線収縮率が13%以下で、相対密度が98%以上である上記(13)に記載の高密度低収縮焼結体の製造方法。
The present invention for solving the above-described problems comprises the following technical means.
(1) A slurry having a low viscosity and a low thixotropy and having a viscosity of 40 mPa · s or less and a change in viscosity per unit time of 10 mPa · s / h or less.
(2) The slurry according to (1) above, wherein the concentration of the raw material powder in the slurry is in the range of 10 to 60 vol%.
(3) The slurry according to (1) above, wherein the powder in the slurry retains the original crystallinity and surface structure without breaking the surface state before dispersion.
(4) The powder is pulverized into primary particles, (1) the original crystallinity and surface structure are maintained without breaking the surface state, and (2) the powder is dispersed in a solvent. The powder is characterized in that the viscosity of the slurry is 40 mPa · s or less and the amount of change in viscosity per unit time is 10 mPa · s / h or less.
(5) A high density molded body of the slurry according to any one of (1) to (3), wherein the relative density is 65 to 75%.
(6) A sintered compact of the molded product according to (5) above, having a linear shrinkage rate of 13% or less and a relative density of 98% or more.
(7) A method for producing a slurry having a viscosity of 40 mPa · s or less and a unit time variation of viscosity of 10 mPa · s / h or less, comprising a step of mixing and crushing by a wet jet mill treatment. A method for producing a slurry.
(8) The wet jet mill process forms the raw material powder and solvent into a slurry, and pumps the slurry at a high pressure to a nozzle arranged in a sealed state in a pressure-resistant vessel so that the opposing flow of the slurry collides and joins each other. The manufacturing method of the slurry as described in said (7) which is a wet jet mill process which mixes, disperses, and crushes the raw material powder in a slurry by making it.
(9) The manufacturing method of the slurry as described in said (7) in which raw material powder exists in the range of 10-60 vol% with respect to the total amount of raw material powder and a solvent.
(10) The method for producing a slurry according to (7), wherein the wet jet mill treatment is performed under a treatment pressure of 10 MPa or more.
(11) A method for producing a high-density molded body, comprising producing a high-density molded body by casting the slurry according to any one of (1) to (3) above into a mold.
(12) The method for producing a high-density molded body according to (11), wherein the relative density of the molded body is 65 to 75%.
(13) The slurry according to any one of (1) to (3) above is cast into a mold and solidified to produce a high-density molded body, and the molded body is sintered to obtain a sintered body. A method for producing a high-density, low-shrinkage sintered body, characterized by being produced.
(14) The method for producing a high-density, low-shrinkage sintered body according to (13), wherein the linear shrinkage rate is 13% or less and the relative density is 98% or more.

次に、本発明について更に詳細に説明する。
本発明は、粘度が40mPa・s以下及び/又は粘度の単位時間当たりの変化量が10mPa・s/h以下であるスラリー、このスラリーを鋳込み成形することにより得られる相対密度が65%〜75%の範囲にある高密度粉末成形体(以下、成形体ともいう。)、及び該成形体を焼結することにより得られる相対密度98%以上で、線収縮率13%以下である高密度低収縮粉末焼結体に特徴を有するものである。また、本発明は、湿式ジェットミルによる混合、解砕工程を経て製造された、表面構造の損傷が無く、一次粒子にまで解砕された粉末に特徴を有し、更に、本発明は、湿式ジェットミルによる混合、解砕工程を有する上記スラリーの作製方法であり、好適には、前記湿式ジェットミル処理工程として、耐圧容器内に密封状態で配置されたノズルへスラリーを高圧で圧送し、当該スラリーの対向流を相互に衝突・合流させる工程を採用してスラリーを製造する方法に特徴を有するものである。
Next, the present invention will be described in more detail.
The present invention provides a slurry having a viscosity of 40 mPa · s or less and / or a change in viscosity per unit time of 10 mPa · s / h or less, and a relative density obtained by casting the slurry of 65% to 75%. High-density powder compacts (hereinafter also referred to as compacts) in the range of 10%, and high-density low-shrinkage having a relative density of 98% or more and a linear shrinkage ratio of 13% or less obtained by sintering the compacts. It is characterized by a powder sintered body. Further, the present invention is characterized by a powder produced through a mixing and pulverization process by a wet jet mill, without damaging the surface structure, and pulverized to primary particles. A method for producing the slurry having a mixing and crushing step by a jet mill, and preferably, as the wet jet mill treatment step, the slurry is pumped at a high pressure to a nozzle disposed in a sealed state in a pressure vessel. It has a feature in a method of manufacturing a slurry by adopting a step of colliding / merging opposite flow of the slurry with each other.

上記のように、本発明は、メディア等の粉砕媒体を用いないスラリー作製方法を採用することにより、一次粒子径もしくは一次粒子径近くまで解砕された粉末を含有し、且つ低粘性・低チクソトロピー性を有するスラリーを製造するものである。本発明のスラリー中には、ほぼ一次粒子に解砕され、分散前の表面状態が壊れることなく、元の結晶性及び表面構造を保有する粉体が含有されている。これらの特性に基づいて、粘性が低く、チクソトロピー性を示さない、鋳込み成形に適したスラリーが形成される。また、本発明は、このスラリーを、鋳込み成形により高密度粉末成形体とし、これを焼結することにより、焼結時の線収縮率が13%以下であり、焼成後の相対密度が98%以上である高密度焼結体を作製するものである。   As described above, the present invention employs a slurry preparation method that does not use a pulverizing medium such as a medium, thereby containing a powder pulverized to a primary particle size or close to the primary particle size, and having low viscosity and low thixotropy. The slurry which has property is manufactured. The slurry of the present invention contains a powder having the original crystallinity and surface structure that is crushed into primary particles and the surface state before dispersion is not broken. Based on these characteristics, a slurry suitable for casting is formed that has low viscosity and does not exhibit thixotropic properties. Further, in the present invention, the slurry is made into a high-density powder molded body by casting and sintered, so that the linear shrinkage rate during sintering is 13% or less, and the relative density after firing is 98%. The high-density sintered body as described above is produced.

本発明のスラリーは、粘度が40mPa・s以下で、粘度の単位時間あたりの変化量が10mPa・s/h以下である。スラリーの粘度が、40mPa・s以上になると、鋳込み時の粒子の再配列を阻害し、成形体の相対密度の低下を招くので好ましくない。また、粘度の単位時間あたりの変化量が10mPa・s/h以上となると、再凝集性が高くなり、成形体の相対密度の低下を引き起こすので好ましくない。本発明のスラリーの粘度の変化については、例えば、図1に示すように、3時間後にも、製造直後の粘度とほぼ同一の値を示し、粘度の増加がほとんど認められない。本発明のスラリーは、好適には、湿式ジェットミル処理によって製造される。そのスラリー中では、粉末がほぼ一次粒子に解砕されて、分散前の表面状態が壊れることなく、元の結晶性及び表面状態が保存されているため、このような粘性特性を示す。一方、メディア等の粉砕媒体を用いるスラリーの製造方法、例えば、ボールミルによる粉砕・分散処理で製造されたスラリーは、図5に示すように、製造直後から、急激に粘度が上昇する。こうした粘度の上昇は、大きな重量を有するメディアの衝突により、原料粉末の結晶性及び表面構造が損傷を受け、表面エネルギーが増大したことにより粉末の再凝集が生じることに起因するものである。   The slurry of the present invention has a viscosity of 40 mPa · s or less and a change in viscosity per unit time of 10 mPa · s / h or less. When the viscosity of the slurry is 40 mPa · s or more, it is not preferable because the rearrangement of particles at the time of casting is hindered and the relative density of the molded body is lowered. In addition, when the amount of change in viscosity per unit time is 10 mPa · s / h or more, the reaggregation property is increased and the relative density of the molded body is lowered, which is not preferable. Regarding the change in the viscosity of the slurry of the present invention, for example, as shown in FIG. 1, even after 3 hours, the viscosity is almost the same as that immediately after the production, and almost no increase in viscosity is observed. The slurry of the present invention is preferably produced by a wet jet mill process. In the slurry, the powder is almost pulverized into primary particles, and the original crystallinity and surface state are preserved without breaking the surface state before dispersion. On the other hand, as shown in FIG. 5, the viscosity of a slurry manufactured by a slurry manufacturing method using a pulverizing medium such as a medium, for example, a pulverizing / dispersing process using a ball mill, rapidly increases. Such an increase in viscosity is caused by the re-aggregation of the powder due to the damage of the crystallinity and surface structure of the raw material powder due to the collision of the medium having a large weight and the increase of the surface energy.

原料粉末としては、金属粉末、金属間化合物粉末、酸化物、炭化物、及び窒化物等のセラミックス粉末、あるいはこれらの混合粉末等が使用され、泥しょう鋳込み成形可能なものであれば、特に制限はないが、好適には、酸化アルミニウム、TiAl金属間化合物、酸化ジルコニウム、チタン酸バリウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素、窒化アルミニウム等が使用される。これらの原料粉末の粒度については、スラリーとしたときに、その粘度が40mPa・s以下で、粘度の単位時間あたりの変化量が、10mPa・s/h以下である条件を満たすものであれば、特に制限はないが、好適には、平均粒径50〜1000nmのものが使用される。   As the raw material powder, metal powder, intermetallic compound powder, ceramic powder such as oxide, carbide, and nitride, or mixed powders thereof are used, and there are no particular restrictions as long as they can be cast by moulding. Preferably, aluminum oxide, TiAl intermetallic compound, zirconium oxide, barium titanate, silicon carbide, silicon nitride, aluminum nitride, etc. are preferably used. About the particle size of these raw material powders, when the slurry is used, if the viscosity is 40 mPa · s or less and the amount of change in viscosity per unit time satisfies the condition of 10 mPa · s / h or less, Although there is no restriction | limiting in particular, The thing with an average particle diameter of 50-1000 nm is used suitably.

また、溶媒についても、水、アルコール類、ケトン類、油類、及びアミン類等のように従来から使用されているものが、本発明においてもそのまま使用することができ、特に制限はないが、好適には、環境負荷の観点から、水(蒸留水、イオン交換水、水道水、工業用水等)が使用される。   As for the solvent, those conventionally used such as water, alcohols, ketones, oils, and amines can be used as they are in the present invention, and there is no particular limitation. Preferably, water (distilled water, ion exchange water, tap water, industrial water, etc.) is used from the viewpoint of environmental load.

スラリー中に含まれる原料粉末の好適な濃度は、10〜60vol%の範囲である。10vol%以下では、高密度な成形体が得られず、また、60vol%以上では、湿式ジェットミル処理が可能な流動性を有したスラリーの作製が行えず、どちらも好ましくない。好適には、原料粉末を、20〜50vol%の範囲で含有するスラリーが用いられる。また、本発明の効果を損なわない限り、原料粉末の他に、得られる成形体又は焼結体の特性改善等のために、公知の添加剤、例えば、ポリアクリル酸アンモニウム塩、ポリカルボン酸アンモニウム塩、ポリエチレンイミン等の高分子添加剤をスラリー中に配合することは差し支えない。   The suitable density | concentration of the raw material powder contained in a slurry is the range of 10-60 vol%. If it is 10 vol% or less, a high-density molded article cannot be obtained, and if it is 60 vol% or more, a fluid slurry capable of wet jet milling cannot be produced. Preferably, a slurry containing the raw material powder in the range of 20 to 50 vol% is used. Moreover, as long as the effects of the present invention are not impaired, known additives such as ammonium polyacrylate and ammonium polycarboxylate are used in addition to the raw material powder in order to improve the properties of the obtained molded body or sintered body. A polymer additive such as salt or polyethyleneimine may be blended in the slurry.

本発明のスラリー中に含有される粉末は、処理前の表面状態が壊れることなく、元の結晶性及び表面構造を保持していること、一次粒子に解砕されていること、溶媒中に10〜60vol%の範囲で分散したスラリーの粘度が40mPa・s以下で、粘度の単位時間あたりの変化量が10mPa・s/h以下を示すこと、の各特性を有する新規な粉末である。   The powder contained in the slurry of the present invention maintains the original crystallinity and surface structure without breaking the surface state before the treatment, is crushed into primary particles, and 10 in a solvent. It is a novel powder having the respective characteristics that the viscosity of the slurry dispersed in the range of ˜60 vol% is 40 mPa · s or less and the change amount of the viscosity per unit time is 10 mPa · s / h or less.

本発明の粉体の表面状態については、本発明の実施例1、2、及び比較例3で製造した3種類のアルミナ粉体と、原料アルミナ粉体の粒子表面を、赤外分光分析した結果を対比すると、本発明のアルミナ粉体は、原料アルミナ粉末と同じ表面状態を示す。一方、比較例3のボールミルにより作製されたアルミナ粉末は、その表面状態が変化していることが、赤外分光分析の結果から分かる(図5参照)。また、粉末の粒径については、本発明が、582nm、比較例が、570nmの平均粒径値をそれぞれ示し、原料アルミナの500nmとほぼ同程度であることから、両粉体は、ほぼ一次粒子にまで解砕されていることが分かる。本発明の粉末は、処理前の原料粉末の表面状態が壊れることなく、元の結晶性及び表面構造を保持した、ほぼ一次粒子に解砕された粉末である。   As for the surface state of the powder of the present invention, the results of infrared spectroscopic analysis of the three types of alumina powders produced in Examples 1 and 2 and Comparative Example 3 of the present invention and the particle surface of the raw material alumina powder. In contrast, the alumina powder of the present invention shows the same surface state as the raw material alumina powder. On the other hand, it can be seen from the result of infrared spectroscopic analysis that the surface state of the alumina powder produced by the ball mill of Comparative Example 3 is changed (see FIG. 5). As for the particle size of the powder, the present invention shows an average particle size value of 582 nm and the comparative example is 570 nm, respectively, which is almost the same as 500 nm of the raw material alumina. It can be seen that it has been crushed. The powder of the present invention is a powder that is crushed into almost primary particles that retain the original crystallinity and surface structure without breaking the surface state of the raw material powder before processing.

本発明のスラリーを製造するには、原料粉末と溶媒の混合物を作製し、これを湿式ジェットミル処理にて混合、解砕することが重要であり、これにより上記の低粘性・低チクソトロピー性のスラリーが製造される。また、本発明では、湿式ジェットミル処理前の粉末の表面状態が、該処理により壊れることなく、元の結晶性及び表面構造を保持して一次粒子に解砕されている粉末が得られる。   In order to produce the slurry of the present invention, it is important to prepare a mixture of the raw material powder and the solvent, and mix and pulverize the mixture by wet jet mill treatment, which enables the low viscosity and low thixotropic properties described above. A slurry is produced. Further, in the present invention, a powder in which the surface state of the powder before the wet jet mill treatment is not broken by the treatment and the original crystallinity and the surface structure are maintained and pulverized into primary particles can be obtained.

本発明の粘度が40mPa・s以下で、粘度の単位時間あたりの変化量が10mPa・s/h以下であるスラリーを製造するには、湿式ジェットミルが使用される。湿式ジェットミルとしては、粉砕媒体を用いず、任意の方法で処理溶液を高速流とし、処理液同士及び/又は処理液と流路壁との衝突並びに高速流によって生じる乱流、剪断流、及びキャビテーション効果を有効に活用し、処理溶液中の被処理物を、混合、分散、及び解砕するタイプのものが好適に用いられる。こうした湿式ジェットミルによる混合、分散、及び解砕の効果をより効果的に発揮させる上で好ましい処理圧力は、10MPa程度以上、より好ましくは50MPa程度以上、更に好ましくは100MPa程度以上である。この湿式ジェットミル工程において、処理回数は特に制限されるものではなく、所望の特性を有するスラリーが得られるまで何回も処理を繰り返すことができるが、通常は、1〜10回の処理が行われる。   In order to produce a slurry having a viscosity of 40 mPa · s or less and a change in viscosity per unit time of 10 mPa · s / h or less, a wet jet mill is used. The wet jet mill does not use a pulverization medium, and the processing solution is made to flow at a high speed by any method, and the turbulent flow, shear flow generated by collision between the processing liquids and / or the processing liquid and the flow path wall and the high speed flow, and A type that effectively utilizes the cavitation effect and mixes, disperses, and disintegrates the object to be processed in the processing solution is preferably used. A preferable processing pressure for more effectively exerting the effects of mixing, dispersion and crushing by such a wet jet mill is about 10 MPa or more, more preferably about 50 MPa or more, and further preferably about 100 MPa or more. In this wet jet mill process, the number of treatments is not particularly limited, and the treatment can be repeated many times until a slurry having desired characteristics is obtained. Usually, the treatment is performed 1 to 10 times. Is called.

次に、湿式ジェットミルについて説明すると、本発明で用いられる湿式ジェットミルとは、任意の方法で高速流を発生させ、液体同士又は液体と流路壁との衝突を起こさせると共に、高速流によって生じる乱流、剪断及びキャビテーション効果等を有効に活用し、被処理物を微粒化して、乳化、分散、及び混合を促進する機能を備えた装置を総称するものであり、この様な湿式ジェットミルとしては、高圧ホモジナイザーがあり、具体的にはプランジャーポンプやロータリーポンプ等によって被処理液をノズルから噴射させ、固定板に高速で衝突させる方式と、噴射される被処理液同士を衝突させる方式がある。そして、被処理液が流路内を高速で通過し、あるいは衝突しながら通過する際に、乱流・剪断を受け、被処理流体中に含まれる分散質は、解砕されると共に、衝突直後に減圧解放されるときにキャビテーション効果が生じ、急激な放圧による衝撃を受けて被処理液中の分散質は著しく微粒化される。   Next, the wet jet mill will be described. The wet jet mill used in the present invention generates a high-speed flow by an arbitrary method, causes a collision between liquids or a liquid and a flow path wall, and causes a high-speed flow. This wet jet mill is a generic term for equipment that has the function of effectively emulsifying, dispersing, and mixing by effectively utilizing the turbulent flow, shearing, and cavitation effects that occur and atomizing the workpiece. As a high-pressure homogenizer, specifically, a method in which a liquid to be treated is injected from a nozzle by a plunger pump or a rotary pump and collides with a fixed plate at a high speed, and a method in which the liquids to be treated collide with each other There is. When the liquid to be treated passes through the flow path at high speed or while colliding, the dispersoid contained in the fluid to be treated is subjected to turbulent flow and shearing and is crushed and immediately after the collision. When released under reduced pressure, a cavitation effect occurs, and the dispersoid in the liquid to be treated is remarkably atomized due to an impact caused by sudden pressure release.

この様な湿式ジェットミルとしては、例えば、「高圧ホモジナイザー」として市販されている、バルププレートによる高速噴射を利用したタイプ、スリット状に形成した流路内で高速衝突させるタイプ、90°位相させて連通せしめた夫々一文字の流路内で高速衝突を起こさせるタイプ、同一ノズル内で流体同士の衝突回数を複数回発生させるタイプ、対向するオリフィスから非球面構造の部屋へ噴出させて衝突させるタイプ、あるいは液相ジェット流を高速で衝突させるタイプ等が挙げられる。   As such a wet jet mill, for example, a type that uses a high-speed jet by a valve plate that is commercially available as a “high-pressure homogenizer”, a type that collides at high speed in a flow path formed in a slit shape, and a 90 ° phase shift A type that causes high-speed collisions within each flow channel that communicates with each other, a type that generates multiple collisions between fluids within the same nozzle, a type that causes collisions by jetting from opposing orifices into a non-spherical structure room, Or the type etc. which collide a liquid phase jet flow at high speed are mentioned.

これらの湿式ジェットミルは、それぞれ装置タイプの特性により、混合、分散、及び解砕効果に多少の差を生じるが、前述したような従来のメディア媒体型分散機をはじめとする分散装置を用いた場合に比べると、飛躍的に高い効率で安定なスラリーを得ることができる。従って、本発明で使用する湿式ジェットミルのタイプは、特に制限されないが、望ましくは高速の被処理スラリー同士を正面から衝突させる方式が最も好ましい。   Each of these wet jet mills has some difference in mixing, dispersion, and crushing effect depending on the characteristics of each device type. However, a dispersion device such as a conventional media medium type disperser as described above was used. Compared to the case, a stable slurry can be obtained with remarkably high efficiency. Therefore, the type of the wet jet mill used in the present invention is not particularly limited, but the method of causing high-speed slurry to collide from the front is desirably the most desirable.

泥しょう鋳込み成形用型としては、例えば、石膏型、樹脂型等の吸水性のあるものであれば使用可能であり、特に限定されるものではなく、公知の多孔質型から適宜採用できる。また、鋳込み方法についても、例えば、排泥鋳込み、固形鋳込み、振動鋳込み、加圧鋳込み、減圧鋳込み、及び遠心鋳込み等の公知の鋳込み方法が採用でき、鋳込み方法に特に制限はない。   The mud casting mold can be used as long as it has water absorption, such as a plaster mold and a resin mold, and is not particularly limited, and can be appropriately selected from known porous molds. As for the casting method, for example, known casting methods such as waste mud casting, solid casting, vibration casting, pressure casting, reduced pressure casting, and centrifugal casting can be employed, and the casting method is not particularly limited.

本発明のスラリーを使用して鋳込み成形して作製した粉末成形体は、相対密度が65〜75%で、均質な組織を持った成形体である。この成形体は、次いで焼結工程に付され、焼結され、焼結体が製造される。本発明において、焼成方法は、特に限定されず、原料粉末に応じて、各種焼結炉、焼結雰囲気及び焼結温度・時間等を選択できる。以上の方法により、粘度が40mPa・s以下で、粘度の単位時間変化量が10mPa・s/h以下であるスラリーが作製され、高密度粉末成形体、及び高密度低収縮粉末焼結体が製造される。   The powder compact produced by casting using the slurry of the present invention is a compact having a homogeneous structure with a relative density of 65 to 75%. This formed body is then subjected to a sintering step and sintered to produce a sintered body. In the present invention, the firing method is not particularly limited, and various sintering furnaces, sintering atmospheres, sintering temperatures and times, and the like can be selected according to the raw material powder. By the above method, a slurry having a viscosity of 40 mPa · s or less and a unit time variation of viscosity of 10 mPa · s / h or less is produced, and a high-density powder molded body and a high-density low-shrinkage powder sintered body are produced. Is done.

以上説明したように、本発明のスラリーを、鋳込み成形、遠心成形等に代表される、湿式成形プロセスで成形すると、相対密度が、65〜75%の高密度粉末成形体を形成することが可能であり、また、図3に示すように、この成形体は、粉末の均質な充填状態を形成する。この均質で、高密度の粉末成形体を焼結することにより、相対密度98%以上の焼結体を製造することができる。また、この粉末成形体を、高温で加熱して焼結体を製造する工程では、焼結体の線収縮率を13%以下に抑えることが可能である。このように、本発明は、製品の形状や精度を正確に制御することができるため、ネットシェイプ化を実現することが可能であり、製品の品質を著しく向上させることができる。本発明の焼結体の焼結時の線収縮率が少ないことは、図4に示す本発明の実施例と、比較例における焼結体の収縮状態を対比することより明らかである。   As described above, when the slurry of the present invention is molded by a wet molding process represented by casting molding, centrifugal molding, etc., it is possible to form a high-density powder molded body having a relative density of 65 to 75%. Moreover, as shown in FIG. 3, this compact | molding | casting forms the uniform filling state of a powder. By sintering this homogeneous and high-density powder compact, a sintered compact having a relative density of 98% or more can be produced. Further, in the process of manufacturing the sintered body by heating the powder compact at a high temperature, the linear shrinkage rate of the sintered body can be suppressed to 13% or less. As described above, according to the present invention, the shape and accuracy of the product can be accurately controlled, so that the net shape can be realized and the quality of the product can be remarkably improved. It is clear that the linear shrinkage rate during sintering of the sintered body of the present invention is small by comparing the shrinkage state of the sintered body in the example of the present invention shown in FIG. 4 and the comparative example.

本発明により、(1)高密度で、均質な焼結体を製造することが可能な低粘性・低チクソトロピー性のスラリーが得られる、(2)湿式ジェットミルを適用して、低粘性・低チクソトロピー性の、鋳込み成形に適合したスラリーを製造する方法を提供できる、(3)鋳込み成形により、高密度粉末成形体を作製し、その焼結により、高密度で、高精度の焼結体を製造することができる、(4)焼結時の収縮の小さな焼結体を製造できるので、金属、金属間化合物、セラミックスやそれらの複合材料部材、製品の高性能化、ニアネットシェイプ化を行うことができる、(5)スラリーの作製、鋳込み両面において、従来プロセスに比較して、短時間及び/又は省エネルギーで行うことができる、(6)低粘性・低チクソトロピー性を有するスラリーは、鋳込み成形プロセス以外の湿式プロセス、例えば、インクジェット法への適用が期待される、という効果が奏される。   According to the present invention, (1) a low-viscosity and low-thixotropic slurry capable of producing a high-density, homogeneous sintered body can be obtained. (2) Applying a wet jet mill, A method of producing a thixotropic slurry suitable for casting molding can be provided. (3) A high-density powder molded body is produced by casting molding, and a high-density, high-precision sintered body is produced by sintering. (4) Since it is possible to manufacture sintered bodies with small shrinkage during sintering, metal, intermetallic compounds, ceramics and their composite materials, high performance products, and near net shape (5) The slurry can be produced and casted on both sides by a shorter time and / or energy saving compared to the conventional process. (6) A slurry having low viscosity and low thixotropy. Over the casting process other than a wet process, for example, application to an ink-jet method is expected, the effect is exhibited that.

次に、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明は、下記の実施例によって何ら限定されるものではない。以下の実施例では、原料粉末を溶媒と混合し、これを湿式ジェットミル処理することによりスラリーを作製した。このスラリーを使用して、石膏型を用いた排泥鋳込みを行い、成形体を作製した。この成形体を常温で乾燥後、所定の温度、雰囲気、及び時間にて焼結を行い焼結体とした。   EXAMPLES Next, although this invention is demonstrated concretely based on an Example, this invention is not limited at all by the following Example. In the following Examples, the raw material powder was mixed with a solvent, and this was wet-jet milled to produce a slurry. Using this slurry, waste mud casting using a gypsum mold was performed to produce a molded body. The molded body was dried at room temperature and then sintered at a predetermined temperature, atmosphere, and time to obtain a sintered body.

原料粉末として酸化アルミニウム粉末(アルミナ粉末:平均一次粒子径約500nm)を、溶媒として蒸留水を用い、アルミナ濃度が30vol%となるように秤量、混合し、これを200MPa・1回の条件で湿式ジェットミル処理を行い、スラリーを作製した。このスラリーを用いて鋳込み成形を行い、成形体を得た。その後、大気中にて1600℃で焼結することにより焼結体とした。   Aluminum oxide powder (alumina powder: average primary particle diameter of about 500 nm) is used as a raw material powder, distilled water is used as a solvent, and weighed and mixed so that the alumina concentration is 30 vol%. A jet mill treatment was performed to prepare a slurry. Using this slurry, casting was performed to obtain a molded body. Then, it was set as the sintered compact by sintering at 1600 degreeC in air | atmosphere.

湿式ジェットミル処理後のスラリーの粘度の経時変化を、粘度計を用いて測定したところ、6.1mPa・sであり、3時間の測定の間、粘度は全く変化しなかった(図1参照)。湿式ジェットミル処理後のアルミナ粒子の平均粒径は、582nmとほぼ一次粒子にまで解砕され、また、その表面状態は原料粉末とほぼ同じであった(図2参照)。すなわち、粉体粒子の表面状態が壊れない粉末でスラリーを製造でき、更に、その表面エネルギーは小さいため、再凝集性、すなわちチクソトロピー性は低い。成形体の相対密度は67.0%で、均質な充填状態が得られた(図3参照)。焼結体の相対密度は98.5%であり、線収縮率は11.5%であった(図4a参照)。   The change over time in the viscosity of the slurry after the wet jet mill treatment was measured using a viscometer, and it was 6.1 mPa · s, and the viscosity did not change at all during the measurement for 3 hours (see FIG. 1). . The average particle size of the alumina particles after the wet jet mill treatment was crushed to almost primary particles at 582 nm, and the surface state was almost the same as the raw material powder (see FIG. 2). That is, a slurry can be produced with a powder whose surface state of the powder particles is not broken, and furthermore, since the surface energy is small, the reaggregation property, that is, thixotropy property is low. The relative density of the molded body was 67.0%, and a uniform filling state was obtained (see FIG. 3). The relative density of the sintered body was 98.5%, and the linear shrinkage rate was 11.5% (see FIG. 4a).

実施例1と同じ混合比で、アルミナ粉末と蒸留水を秤量、混合し、200MPa・5回の条件で湿式ジェットミル処理を行い、スラリーとした。その後、実施例1と同様の方法で鋳込み、焼結を行った。処理後のスラリー粘度は6.3mPa・sであり、粘度の経時変化は見られなかった(図1参照)。湿式ジェットミル処理後の平均粒径は558nmであり、その表面状態は、実施例1と同様に、原料粉末とほぼ同じ状態を保っていた(図2参照)。成形体の相対密度及び焼結体の相対密度は、それぞれ67.6%、及び98.6%であり、線収縮率は11.7%(図4b参照)であった。   Alumina powder and distilled water were weighed and mixed at the same mixing ratio as in Example 1, and wet-jet mill treatment was performed under conditions of 200 MPa · 5 times to obtain a slurry. Thereafter, casting and sintering were performed in the same manner as in Example 1. The slurry viscosity after the treatment was 6.3 mPa · s, and no change in viscosity with time was observed (see FIG. 1). The average particle size after the wet jet mill treatment was 558 nm, and the surface state thereof was almost the same as that of the raw material powder as in Example 1 (see FIG. 2). The relative density of the molded body and the relative density of the sintered body were 67.6% and 98.6%, respectively, and the linear shrinkage rate was 11.7% (see FIG. 4b).

実施例1と同じ混合比で、アルミナ粉末と蒸留水を秤量、混合したものを、100MPa・1回の条件で湿式ジェットミル処理を行い、スラリーとした。その後、実施例1と同様の方法で鋳込み、焼結を行った。処理後のスラリー粘度は6.8mPa・sであり、粘度の経時変化は見られなかった。成形体の相対密度及び焼結体の相対密度は、それぞれ65.7%、及び99.1%であり、線収縮率は12.5%であった。   A mixture obtained by weighing and mixing alumina powder and distilled water at the same mixing ratio as in Example 1 was subjected to a wet jet mill treatment under the conditions of 100 MPa · one time to obtain a slurry. Thereafter, casting and sintering were performed in the same manner as in Example 1. The slurry viscosity after the treatment was 6.8 mPa · s, and no change in viscosity with time was observed. The relative density of the molded body and the relative density of the sintered body were 65.7% and 99.1%, respectively, and the linear shrinkage rate was 12.5%.

アルミナ濃度が50vol%となるようにアルミナ粉末と蒸留水を秤量、混合し、実施例1と同条件で、湿式ジェットミル処理、鋳込み、及び焼結を行った。処理後のスラリー粘度は38.4mPa・sで一定であった。成形体及び焼結体の相対密度は、それぞれ72.8%、及び99.5%、線収縮率は9.9%であった。   Alumina powder and distilled water were weighed and mixed so that the alumina concentration was 50 vol%, and wet jet mill treatment, casting and sintering were performed under the same conditions as in Example 1. The slurry viscosity after the treatment was constant at 38.4 mPa · s. The relative densities of the molded body and the sintered body were 72.8% and 99.5%, respectively, and the linear shrinkage rate was 9.9%.

溶媒としてエタノールを用い、実施例1と同様の方法で、湿式ジェットミル処理、鋳込み、及び焼結を行った。スラリーの粘度は7.2mPa・sで一定であった。成形体の相対密度及び焼結体の相対密度は、それぞれ66.8%、及び98.9%、線収縮率は12.0%であった。   Using ethanol as the solvent, wet jet milling, casting, and sintering were performed in the same manner as in Example 1. The viscosity of the slurry was constant at 7.2 mPa · s. The relative density of the molded body and the relative density of the sintered body were 66.8% and 98.9%, respectively, and the linear shrinkage rate was 12.0%.

原料粉末としてTiAl金属間化合物粉末を使用し、実施例1と同条件で、湿式ジェットミル、鋳込み成形を行った後、真空中、1400℃で焼結を行った。スラリー粘度は8.2mPa・sで一定であり、成形体の相対密度及び焼結体の相対密度は、それぞれ68.1%、及び99.3%、線収縮率は11.6%であった。   TiAl intermetallic compound powder was used as a raw material powder, and after wet wet milling and casting under the same conditions as in Example 1, sintering was performed at 1400 ° C. in vacuum. The slurry viscosity was constant at 8.2 mPa · s, the relative density of the compact and the relative density of the sintered body were 68.1% and 99.3%, respectively, and the linear shrinkage rate was 11.6%. .

比較例1
実施例1と同じ割合で、アルミナ粉末と蒸留水を混合したものを、5MPa・1回の条件で湿式ジェットミル処理を行い、スラリーを作製した。その後、実施例1と同条件で鋳込み、焼結を行った。湿式ジェットミル処理後のスラリーの粘度は7.2mPa・sで一定であった。ジェットミル処理圧が低く、十分な混合、分散及び解砕の効果が得られないため、成形体の相対密度は61.2%と低い値を示した。焼結体の相対密度は98.1%と良好な値を示したが、成形体の相対密度が低いため、線収縮率は14.6%と高い値であった。
Comparative Example 1
A mixture of alumina powder and distilled water in the same ratio as in Example 1 was subjected to a wet jet mill treatment under conditions of 5 MPa · 1 time to produce a slurry. Thereafter, casting and sintering were performed under the same conditions as in Example 1. The viscosity of the slurry after the wet jet mill treatment was constant at 7.2 mPa · s. Since the jet mill treatment pressure was low and sufficient mixing, dispersion and crushing effects could not be obtained, the relative density of the molded product showed a low value of 61.2%. The relative density of the sintered body was a good value of 98.1%, but the linear shrinkage rate was a high value of 14.6% because the relative density of the molded body was low.

比較例2
アルミナ粉末の濃度が5vol%となるように秤量、混合し、実施例1と同様の方法で、湿式ジェットミル処理、鋳込み、及び焼結を行った。スラリー濃度が低いため、粘度は2.3mPa・sと低い値で一定であったが、成形体の相対密度は63.1%と低かった。焼結体の相対密度は98.4%、線収縮率は13.5%であった。
Comparative Example 2
Weighing and mixing were performed so that the concentration of the alumina powder was 5 vol%, and wet jet milling, casting and sintering were performed in the same manner as in Example 1. Since the slurry concentration was low, the viscosity was constant at a low value of 2.3 mPa · s, but the relative density of the molded body was as low as 63.1%. The relative density of the sintered body was 98.4%, and the linear shrinkage rate was 13.5%.

比較例3
アルミナ粉末濃度が70vol%となるように秤量、混合したところ、混合物は、流動性を有せず、湿式ジェットミル処理を行うことができなかった。
Comparative Example 3
When weighed and mixed so that the alumina powder concentration was 70 vol%, the mixture did not have fluidity and could not be subjected to wet jet milling.

比較例4
実施例1と同様に、アルミナ粉末濃度が30vol%になるように調製したものを、従来行われているボールミルにて、24時間処理して、スラリーを作製した。その後、実施例1と同条件で鋳込み、焼結を行った。ボールミル処理による過剰なエネルギー付与のため、アルミナ粉末の再凝集が生じ、処理直後のスラリー粘度は29.7mPa・sと、やや高い値を示し、その後1時間で約120mPa・sの粘度上昇を示した(図5参照)。ボールミル処理後のアルミナ粒子の平均粒径は、570nmであり、ほぼ一次粒子にまで解砕されていた。また、ボールミルによる過剰なエネルギーにより、表面が損傷を受けたためと思われる表面の水酸基の増加が観察された(図2中の矢印参照)。このように、スラリーが高粘度・高チクソトロピー性、すなわち再凝集性を有しているため、成形体の相対密度は57.4%と低い値を示した。焼結体の相対密度は99.0%と良好な値を示したが、成形体の相対密度が低いため、線収縮率は16.8%と高くなった(図4c参照)。
Comparative Example 4
In the same manner as in Example 1, the slurry prepared so that the alumina powder concentration was 30 vol% was treated in a conventional ball mill for 24 hours to prepare a slurry. Thereafter, casting and sintering were performed under the same conditions as in Example 1. Due to excessive energy application due to ball milling, re-agglomeration of alumina powder occurs, and the slurry viscosity immediately after processing is a slightly high value of 29.7 mPa · s. After that, an increase in viscosity of about 120 mPa · s is shown in 1 hour. (See FIG. 5). The average particle size of the alumina particles after the ball mill treatment was 570 nm, and the particles were almost pulverized to primary particles. Moreover, the increase in the hydroxyl group of the surface considered to be the surface damaged by the excess energy by a ball mill was observed (refer the arrow in FIG. 2). Thus, since the slurry has high viscosity and high thixotropy, that is, re-aggregation property, the relative density of the molded body showed a low value of 57.4%. The relative density of the sintered body was a good value of 99.0%, but the linear shrinkage rate was as high as 16.8% because the relative density of the molded body was low (see FIG. 4c).

以上詳述したように、本発明は、鋳込み成形に適合したスラリー、その製造方法、該スラリーを使用して作製した高密度粉末成形体、及び高密度低収縮粉末焼結体に係るものであり、本発明により、湿式ジェットミルプロセスにより製造された低粘性・低チクソトロピー性を有するスラリー、このスラリーを鋳込み成形することにより製造された高密度粉末成形体、及びこれを焼結することにより得られた高密度低収縮粉末焼結体を提供することができる。本発明では、焼結体の、焼結時の線収縮率を13%以下にすることができるため、各種部材の高信頼性・高性能化・ニアネットシェイプに大きく貢献することができる。また、本発明では、成形体の相対密度を高くすることができるため、焼結温度の低減や焼結時間の短縮を行うことができ、粉末焼結プロセスの環境負荷低減及び低コスト化が期待される。更に、本発明の低粘性・低チクソトロピー性を有するスラリーは、鋳込み成形以外のプロセス、例えば、インクジェットへの適用も期待される。   As described above in detail, the present invention relates to a slurry suitable for casting, a method for producing the same, a high-density powder molded body produced using the slurry, and a high-density low-shrinkable powder sintered body. According to the present invention, a slurry having a low viscosity and a low thixotropy produced by a wet jet mill process, a high-density powder molded body produced by casting the slurry, and obtained by sintering the slurry. A high-density low-shrinkage powder sintered body can be provided. In the present invention, since the linear shrinkage rate of the sintered body during sintering can be reduced to 13% or less, it can greatly contribute to high reliability, high performance, and near net shape of various members. Further, in the present invention, since the relative density of the molded body can be increased, the sintering temperature and the sintering time can be reduced, and the environmental load reduction and cost reduction of the powder sintering process are expected. Is done. Furthermore, the slurry having low viscosity and low thixotropy of the present invention is expected to be applied to processes other than casting, for example, inkjet.

湿式ジェットミル処理後のアルミナスラリーの粘度を示す。実線は実施例1、点線は実施例2のスラリーの粘度である。The viscosity of the alumina slurry after a wet jet mill process is shown. The solid line is the viscosity of the slurry of Example 1, and the dotted line is the viscosity of the slurry of Example 2. アルミナ粉末の赤外分光分析結果を示す。a、b、c、dは、それぞれ原料粉末、比較例4、実施例1及び実施例2の結果である。The infrared spectroscopy analysis result of an alumina powder is shown. a, b, c, and d are the results of the raw material powder, Comparative Example 4, Example 1 and Example 2, respectively. 実施例1の成形体の破面を示す。a、b、cは、それぞれ成形体の上部、中央部、下部に対応する。The fracture surface of the molded object of Example 1 is shown. a, b, and c correspond to the upper part, the center part, and the lower part of the molded body, respectively. 焼結後の試料の外観を示す。点線は焼結前の試料サイズを示す。a、b、cは、それぞれ、実施例1、2、及び比較例4の試料である。The appearance of the sample after sintering is shown. The dotted line indicates the sample size before sintering. a, b, and c are the samples of Examples 1 and 2 and Comparative Example 4, respectively. ボールミル処理後(比較例4)のアルミナスラリーの粘度を示す。The viscosity of the alumina slurry after a ball mill process (comparative example 4) is shown.

Claims (14)

低粘性・低チクソトロピー性スラリーであって、粘度が40mPa・s以下で、粘度の単位時間あたりの変化量が10mPa・s/h以下であることを特徴とするスラリー。   A slurry having a low viscosity and a low thixotropic property, having a viscosity of 40 mPa · s or less and a change in viscosity per unit time of 10 mPa · s / h or less. スラリー中の原料粉末の濃度が、10〜60vol%の範囲である請求項1に記載のスラリー。   The slurry according to claim 1, wherein the concentration of the raw material powder in the slurry is in the range of 10 to 60 vol%. スラリー中の粉末が、分散前の表面状態が壊れることなく、元の結晶性及び表面構造を保持している請求項1に記載のスラリー。   The slurry according to claim 1, wherein the powder in the slurry retains the original crystallinity and surface structure without breaking the surface state before dispersion. 一次粒子に解砕された粉末であって、(1)表面状態が壊れることなく、元の結晶性及び表面構造を保持していること、(2)該粉末を、溶媒中に分散したスラリーの粘度が40mPa・s以下で、粘度の単位時間あたりの変化量が10mPa・s/h以下であることを特徴とする粉体。   It is a powder crushed into primary particles, (1) the original crystallinity and surface structure are maintained without breaking the surface state, and (2) the slurry in which the powder is dispersed in a solvent. A powder having a viscosity of 40 mPa · s or less and a change in viscosity per unit time of 10 mPa · s / h or less. 請求項1から3のいずれかに記載のスラリーの鋳込み成形高密度成形体であって、相対密度が65〜75%であることを特徴とする高密度成形体。   4. A high density molded body according to any one of claims 1 to 3, wherein the relative density is 65 to 75%. 請求項5に記載の成形体の焼結体であって、線収縮率が13%以下で、相対密度が98%以上であることを特徴とする高密度低収縮焼結体。   6. A sintered compact of a compact according to claim 5, wherein the linear shrinkage rate is 13% or less and the relative density is 98% or more. 粘度40mPa・s以下で、粘度の単位時間変化量が10mPa・s/h以下であるスラリーを製造する方法であって、湿式ジェットミル処理による混合、解砕する工程を有することを特徴とするスラリーの製造方法。   A method for producing a slurry having a viscosity of 40 mPa · s or less and a unit time variation of viscosity of 10 mPa · s / h or less, comprising a step of mixing and crushing by a wet jet mill treatment. Manufacturing method. 湿式ジェットミル処理が、原料粉末と溶媒をスラリー状となし、耐圧容器内に密封状態で配置されたノズルへ該スラリーを高圧で圧送して、スラリーの対向流を相互に衝突・合流させることにより、スラリー中の原料粉末を、混合、分散、解砕する湿式ジェットミル処理である請求項7に記載のスラリーの製造方法。   The wet jet mill process is a process in which the raw material powder and the solvent are made into a slurry, and the slurry is pumped at a high pressure to a nozzle arranged in a sealed state in a pressure vessel, and the opposing flows of the slurry collide and merge with each other. The method for producing a slurry according to claim 7, which is a wet jet mill treatment in which the raw material powder in the slurry is mixed, dispersed, and pulverized. 原料粉末と溶媒の総量に対して、原料粉末が10〜60vol%の範囲にある請求項7に記載のスラリーの製造方法。   The manufacturing method of the slurry of Claim 7 which has raw material powder in the range of 10-60 vol% with respect to the total amount of raw material powder and a solvent. 湿式ジェットミル処理が、10MPa以上の処理圧力下で行われる請求項7に記載のスラリーの製造方法。   The method for producing a slurry according to claim 7, wherein the wet jet mill treatment is performed under a treatment pressure of 10 MPa or more. 請求項1から3のいずれかに記載のスラリーを、成形型に鋳込むことにより高密度成形体を作製することを特徴とする高密度成形体の製造方法。   A method for producing a high-density molded body, comprising producing a high-density molded body by casting the slurry according to any one of claims 1 to 3 into a mold. 成形体の相対密度が、65〜75%である請求項11に記載の高密度成形体の製造方法。   The method for producing a high-density molded body according to claim 11, wherein the relative density of the molded body is 65 to 75%. 請求項1から3のいずれかに記載のスラリーを、成形型に鋳込み、固化して高密度成形体を作製し、該成形体を、焼結することにより焼結体を作製することを特徴とする高密度低収縮焼結体の製造方法。   A slurry according to any one of claims 1 to 3 is cast into a mold and solidified to produce a high-density molded body, and the molded body is sintered to produce a sintered body. A method for producing a high-density, low-shrinkage sintered body. 線収縮率が13%以下で、相対密度が98%以上である請求項13に記載の高密度低収縮焼結体の製造方法。   The method for producing a high-density, low-shrinkage sintered body according to claim 13, wherein the linear shrinkage ratio is 13% or less and the relative density is 98% or more.
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