JP2006245559A - 電界効果トランジスタ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
る有機半導体層を少なくとも有する電界効果トランジスタにおいて、閾値電圧、及び、On/Off比の優れた電界効果トランジスタ、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 支持基板上に、アザアヌレン構造を有する化合物からなる有機半導体を含
有する有機半導体層を少なくとも有する電界効果トランジスタであって、該有機半導体層の両面いずれかの少なくとも一部表面に隣接して、メルカプト基を含有する層を有する電界効果トランジスタ、及び、支持基板上に、アザアヌレン構造を有する化合物からなる有機半導体を含有する有機半導体層を少なくとも有する電界効果トランジスタを製造するにおいて、該有機半導体層の両面いずれかの少なくとも一部表面に隣接する層の表面を、メルカプト基を有する表面処理剤で処理する電界効果トランジスタの製造方法。
【選択図】 なし。
Description
一方、特許文献2には、ペンタセンやフラーレンを半導体とする電界効果トランジスタにおいて、アミノ基、アルキル基、トリフロロメチル基を有する層を半導体とゲート絶縁膜間に形成し、閾値電圧を制御する方法が記載されている。
C.R.Kagan、P.Andry編集「Thin−Film Transistors」(Marcel Dekker、New York2003)
特に、アクティブマトリクスのスイッチング素子用途においては、閾値電圧の絶対値が0V付近になる事が望ましい。本発明者らの検討に依れば、アザアヌレン化合物を半導体とし、特許文献2にあるような表面処理では、閾値電圧が正または負の大きな値となってしまい、0V近くにならない問題がある事が判明した。
<支持基板>
本発明の電界効果トランジスタにおいて、支持基板1としては、従来の電界効果トランジスタにおいて用いられている基板を用いることができる。その材料としては、電界効果トランジスタ及びその上に作製される表示素子、表示パネル等を支持できるものであればよく、公知のガラス、酸化珪素、及び珪素等の金属等の無機材料、並びに各種有機ポリマー等の有機材料等が挙げられ、これらは、例えば、無機材料の基板の表面に有機ポリマー等をコーティングして表面に絶縁層を形成した基板等の無機材料と有機材料との併用の場合も含めて2種以上を組み合わせて用いることもできる。尚、有機ポリマーとしては、例えば、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミド、ポリエーテルスルフォン、エポキシ樹脂、ポリベンゾオキサゾール、ポリベンゾチアゾール、ポリパラバン酸、ポリシルセスキオキサン、ポリビニルフェノール、及びポリオレフィン等が挙げら、又、これらの有機ポリマーは、必要に応じて、充填材、添加剤等を含んでいてもよい。
本発明の電界効果トランジスタにおいて、ゲート電極2としては、従来の電界効果トランジスタにおいて用いられている導電性材料を用いることができる。例えば、白金、金、アルミニウム、クロム、ニッケル、銅、チタン、マグネシウム、カルシウム、バリウム、ナトリウム等の金属の他、InO2 、SnO2 、 ITO等の導電性金属酸化物、ポリア
ニリン、ポリピロール、ポリチオフェン、ポリアセチレン等の導電性高分子、及び、それらに塩酸、硫酸、スルホン酸等の酸、PF6 、AsF5 、FeCl3 等のルイス酸、沃素等のハロゲン原子、ナトリウム、カリウム等の金属原子等のドーパントを添加したもの、並びに、カーボンブラック、グラファイト粉、金属微粒子等を分散した導電性の複合材料等が挙げられる。
本発明の電界効果トランジスタにおいて、ゲート絶縁層3としては、従来の電界効果トランジスタにおいて用いられている材料を用いることができる。例えば、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリビニルフェノール、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリビニルアルコール、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン、ポリスルホン、エポキシ樹脂、フェノール樹脂等の有機ポリマー等の有機材料、及び、二酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化チタン等の酸化物、窒化珪素等の窒化物、SrTiO3 、BaTiO3 等の強誘電性酸化物等の無機材料が挙げられる。又、有機材料と無機材料との混合物も用いられ、例えば、上記酸化物や窒化物、強誘電性酸化物等の粒子を分散させた上記有機ポリマー等が挙げられる。
が低下することから、4μm以下であるのが好ましく、2μm以下であるのが特に好ましい。尚、一般にゲート絶縁層の静電容量が大きくなる程、ゲート電圧を低電圧で駆動できることになるので有利になり、これには、誘電率の大きな絶縁材料を用いるか、絶縁層の厚さを薄くすることで対応できる。
本発明の電界効果トランジスタにおいて、半導体層4としては、アザアヌレン構造を有する化合物からなる有機半導体を含有する有機半導体層であることを必須とし、アザアヌレン構造を有する有機半導体を含有しない場合には、電界効果トランジスタとして高い移動度を発現することが困難となり、又、本発明の効果を有効に発現することができないこととなる。
それぞれ独立に、水素原子、水酸基、置換基を有していてもよいアミノ基、ニトロ基、1価の有機基、又はハロゲン原子を示し、R9、R10、R11、及びR12はそれぞれ独立して
、水素原子、1価の有機基、又はハロゲン原子を示し、Mは金属原子を示す。〕
素数1〜10のものであるのが好ましく、具体的には、例えば、アルキル基、アルコキシ基、アルキルチオ基、アシル基、カルボキシル基と炭素数1〜10のアルコールとのエステル基、ホルミル基、カルバモイル基等が挙げられ、これらの有機基は置換基を有していてもよい。又、R1 〜R8 のハロゲン原子としては、例えば、弗素原子、塩素原子、臭素原子、沃素原子等が挙げられる。
ン原子、ナトリウム、カリウム等の金属原子等のドーパントを用いて、例えば、有機半導体材料や前駆体の溶液にそれらドーパントを混合したり、前駆体層の形成の段階でそれらドーパントのガスや溶液に接触或いは浸漬させたりする、有機半導体層形成前に処理する方法、及び、形成した有機半導体層をそれらドーパントのガスや溶液に接触或いは浸漬させたり、又は電気化学的な処理をしたりする、有機半導体層形成後に処理する方法等が採られる。これらのドーピング処理により、キャリア密度の増加或いは減少による電気伝導度の変化、キャリアの極性(p型又はn型)の変化、フェルミ準位の変化等の効果が得られる。
電界効果トランジスタにおいて、ソース電極5は、配線を通じて外部から電流が流入する電極であり、ドレイン電極6は、配線を通じて外部に電流を送り出す電極であり、前述した半導体層4に接して設けられている。本発明の電界効果トランジスタにおいて、ソース電極5及びドレイン電極6の材料としては、従来の電界効果トランジスタに用いられている導電性材料を用いることができ、例えば、前記ゲート電極2の材料として挙げたと同様の材料が挙げられる。
本発明の電界効果トランジスタにおいて、オーバーコート層の材料としては、例えば、ポリスチレン、アクリル樹脂、ポリビニルアルコール、ポリオレフィン、ポリイミド、ポリウレタン、エポキシ樹脂等の有機ポリマー、酸化珪素、酸化アルミニウム、窒化珪素等の金属酸化物や窒化物等の無機物が挙げられる。
そして、本発明の電界効果トランジスタにおいては、アザアヌレン構造を有する化合物からなる有機半導体を含有する前記有機半導体層の両面いずれかの少なくとも一部表面に隣接して、即ち、例えば、図1(A)に示される電界効果トランジスタであれば、半導体層4の表面であって、隣接するゲート絶縁層3の表面、或いは、隣接するソース電極5の表面、或いは、隣接するドレイン電極6の表面、或いは、半導体層4の図面上剥き出しの表面等のいずれか、又、図1(B)に示される電界効果トランジスタであれば、半導体層4の表面であって、隣接するゲート絶縁層3の表面、或いは、隣接するソース電極5の表面、或いは、隣接するドレイン電極6の表面、或いは、半導体層4の図面上剥き出しの表面等のいずれか、又、図1(C)に示される電界効果トランジスタであれば、半導体層4の表面であって、隣接する支持基板1の表面、或いは、隣接するソース電極5の表面、或いは、隣接するドレイン電極6の表面、或いは、隣接するゲート絶縁層3の表面等のいずれか、又、図1(D)に示される電界効果トランジスタであれば、半導体層4の表面であって、隣接する支持基板1の表面、或いは、隣接するソース電極5の表面、或いは、隣接するドレイン電極6の表面、或いは、隣接するゲート絶縁層3の表面等のいずれかに、メルカプト基を含有する層を有する。
中でも、(3)の場合が望ましい。さらにはメルカプト基含有層が半導体と接するゲート絶縁層あるいはオーバーコート層、支持基板である事が好ましく、より好ましくは、ゲート絶縁層あるいはオーバーコート層、であり、特に好ましくはゲート絶縁層である。これらの層は複数層からなっていても良く、有機半導体層に隣接する層にメルカプト基を含有していれば良い。また(3)の場合、メルカプト基含有層は、均一に膜を形成する為にある程度の厚みがある事が望ましく、5nm以上、好ましくは10nmが望ましい。ゲート絶縁層は厚すぎると駆動電圧が上がってしまうことや、厚膜の形成が塗布乾燥が難しくなること、さらには用いる材料の量のコストが高くなることから、10μm以下、好ましくは1μm以下が望ましい。
モル/100m2以上であるのが更に好ましく、6.5×10-6モル/100m2 以上で
あるのが最も好ましく、又、1×10-2モル/100m2以下であるのが好ましく、6.5×10-3モル/100m2 以下であるのが好ましい。
(a)メルカプト基に特異的に結合する化合物を結合させて、その結合した化合物の量を測定する方法。具体的には、例えば、Journal of Chromatograp
hy B、659巻、227−241頁に挙げられている、メルカプト基と結合する化合
物(以下、「標識化合物」と言う。)を用い、定量したい表面を侵さない溶媒にこの標識化合物を溶解し、その溶液に、表面にメルカプト基を有する対象物を浸漬してメルカプト基に標識化合物を結合させ、結合した標識化合物を定量することでメルカプト基を定量する。又、使用後の標識化合物溶液の標識化合物濃度を定量分析し、その減少量からメルカプト基の量を見積もることもできる。尚、標識化合物に蛍光性の化合物を用いれば、蛍光を測定することで高感度で定量することができる。
(b)ESCAやSIMS等の表面分析手法を用いて、メルカプト基に由来する硫黄原子と隣接層由来の原子のシグナルの強度比から測定する方法。この場合、上記(a)の方法を用いて検量線を作成しておけば定量することができる。
有機半導体層に隣接する層全体にメルカプト基を含有する場合には、半導体層とメルカプト基含有層を積層して製膜する際に界面が混じりあう事が起こるので、際表面にあるメルカプト基に加え、層内部のメルカプト基も半導体と相互作用する。この場合のメルカプト基の含有量は、10−5モル/g以上であるのが好ましく、さらに望ましくは、10−4モル/g以上、さらには10−3モル/g以上が好ましい。
又、もう一つには、界面状態の変化に由来する有機半導体層と隣接層間の界面状態の変化が考えられる。半導体層は、メルカプト基を有する隣接層表面に形成される場合、その形成方法の如何にかかわらず、その表面の影響下で半導体層が成長する。閾値電圧は、半導体層中のキャリア密度に関係する以外に、トラップにも関係すると考えられる。例えば、半導体層中の深いトラップに捕獲されたキャリア伝導に寄与しないキャリアは、閾値電圧として電気特性に関係する。このようなトラップは、チャネルの形成される半導体層の隣接層付近の半導体層中に形成されるものによるので、隣接層にメルカプト基が存在することにより、トラップの形成様式が異なってくることが考えられる。
300nmの酸化膜(ゲート絶縁層)を形成したn型のシリコン基板(Sbドープ、抵抗率0.02Ωcm以下、住友金属工業社製)(ゲート電極)を、0.5規定の塩酸水溶液に6時間浸漬させた後、減圧乾燥し、次いで3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン(アルドリッチ社製)に6時間浸漬させ、ジクロロメタンで洗浄することにより、酸化膜表面にメルカプト基を付加させた後、その上に、フォトレジスト(日本ゼオン社製「ZPN1100」)用いたリフトオフ法で間隔(L)10μm、幅(W)500μmのギャップを有する金電極(ソース電極、ドレイン電極)を形成し
た。次いで、形成した電極パターンを有するシリコン基板を140℃で30分間加熱処理をした後、ソース電極とドレイン電極間に、下記構造のポルフィリン化合物の0.7重量%クロロホルム溶液をスピンコートし、200℃で5分間加熱して、該ポルフィリン化合物をテトラベンゾポルフィリンに変換させることにより、テトラベンゾポルフィリンからなる有機半導体層を有し、前記図1(A)に示されるボトムゲート・ボトムコンタクト型の電界効果トランジスタを作製した。尚、その際の層形成、及び電極の形成は、全て窒素雰囲気中で行った。
値電圧Vt =−3.5V、On/Off比=3×105 であった。
ソース電極とドレイン電極間に印加された電圧Vd に対して流れる電流をId 、ソース電極とゲート電極に印加される電圧をVg 、閾値電圧をVt、ゲート絶縁層の単位面積当
たりの静電容量をCi 、ソース電極とドレイン電極の間隔をL、幅をW、半導体層の移動度をμとすると、その動作は下記(1)又は(2)式の関係で表すことができ、異なるVgに対するId の変化を測定し、Id 1/2 とVg とをプロットしたグラフにおける傾きと
して移動度μを求め、又、そのグラフのId切片から閾値電圧Vt を求めた。
Vd <Vg −Vt のとき、
Id =μCi(W/L)〔(Vg −Vt )Vd −(Vd 2/2)〕 (1)
Vd >Vgのとき、
Id =(1/2)μCi(W/L)(Vg −Vt )2 (2)
ソース電極とドレイン電極間に印加された電圧Vd を−30Vに固定し、ソース電極とゲート電極に印加される電圧Vg を、−50V、+30Vにした時のソース電極とドレイン電極間に流れる電流Id(−50V)、Id (+30V)をそれぞれ測定し、これらの
比Id (−50V)/Id (+30V)によってOn/Off比を算出した。
300nmの酸化膜(ゲート絶縁層)を形成したn型のシリコン基板(抵抗率5〜15Ωcm)(ゲート電極)上に、フォトリソグラフィーで間隔(L)2〜100μm、幅(W)500μmのギャップを有する金/クロム電極(ソース電極、ドレイン電極)を形成し、又、この電極と異なる位置の酸化膜をフッ酸/フッ化アンモニウム液でエッチングし、むき出しになった珪素部分に金を蒸着し、これをシリコン基板(ゲート電極)に電圧を印加するための電極とした。次いで、この基板を3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン(アルドリッチ社)に6時間浸漬させ、ジクロロメタンで洗浄することにより、酸化膜表面にメルカプト基を付加させた後、その上に、実施例1で用いたと同じポルフィリン化合物の0.7重量%クロロホルム溶液をスピンコートし、200℃で5分間加熱して、該ポルフィリン化合物をテトラベンゾポルフィリンに変換させることにより、テトラベンゾポルフィリンからなる有機半導体層を有し、前記図1(A)に示されるボトムゲート・ボトムコンタクト型の電界効果トランジスタを作製した。尚、その際の層形成、及び電極の形成は、全て窒素雰囲気中で行った。
/V・s、閾値電圧Vt =−0.2V、On/Off比=5.2×105であった。
ITOガラス板(豊和産業社製、2.5cm×2.5cm)上に、フォトレジスト(日本ゼオン社製「ZPN1100」)を用いてパターニングを行い、1重量%の塩化鉄(II)を溶解させた1規定の塩化水素水溶液で不要のITOをエッチングし、洗浄することによりゲート電極を形成した。次いで、その上に、下記構造の弗化ポリイミドの10重量%シクロヘキサノン溶液(0.2μmのPTFEフィルターで加圧濾過したもの)を、1500rpmの回転数でスピンコートし、180℃で乾燥することにより、ポリイミドからなり、膜厚8000Åのゲート絶縁層を形成した。引き続いて、このゲート絶縁層上を、ソース電極及びドレイン電極を形成するためシャドーマスクで覆い、クロムを50Å、金を1000Åの厚さで蒸着することにより、間隔(L)1000μm、幅(W)40μmでソース電極及びドレイン電極を形成し、次いで、この基板を3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン(アルドリッチ社)に6時間浸漬させ、ジクロロメタンで洗浄することにより、ゲート絶縁層のポリイミド中の未反応のカルボキシル基とメルカプトトリメチルシランのトリアルコキシシリル部分とを反応させ、ゲート絶縁層表面にメルカプト基を付加させた後、その上に、実施例1で用いたと同じポルフィリン化合物の0.7重量%クロロホルム溶液をスピンコートし、180℃で10分間加熱して、該ポルフィリン化合物をテトラベンゾポルフィリンに変換させることにより、テトラベンゾポルフィリンからなる半導体層を有し、前記図1(A)に示されるボトムゲート・ボトムコンタクト型の電界効果トランジスタを作製した。尚、その際の層形成、及び電極の形成は、全て窒素雰囲気中で行った。
/V・s、閾値電圧Vt =−0.3V、On/Off比=9.4×103であった。
実施例4
実施例1で、半導体を形成する材料として、下記構造式のものを用いた他は、全く同様の素子を作製し、FET特性を評価したところ、移動度μ=0.40cm2 /V・s、閾値電圧Vt =5.3V、On/Off比=4.2×106 であった。
実施例2で、半導体を形成する材料として、実施例4と同じものを用いた他は、全く同様の素子を作製し、FET特性を評価したところ、移動度μ=0.35cm2 /V・s、閾値電圧Vt =12.3V、On/Off比=4.7×103であった。
室温、窒素雰囲気下でテトラヒドロフラン(THF):53mLにMg粉末1.64gを分
散させ、4-ブロモスチレン(アルドリッチ製)8mLをゆっくり滴下した。途中反応熱の上昇を抑えるために段階的に冷却を行い、-15℃まで冷却してグリニャール反応液を調整
した。この温度のまま反応液に硫黄粉末(アルドリッチ製)を投入し3時間かけて徐々に0℃まで戻した。3時間後、反応液に1NのNaOH水溶液を加えて撹拌した。この反応液をろ別
し、エーテルで分液した。水層を回収し、室温で減圧濃縮した。この水層に1NHClを徐々
に加えてpH6.5に調整すると薄黄色に着色した。この水層をベンゼンで分液して、有機層
を硫酸ナトリウムで乾燥、濃縮して目的物であるp−ビニルベンゼンチオールを得た。1H−NMR:3.45(−SH,s,1H)、7.02−7.38(−C6H4−,m,4H)、GC−MS:m/e=136
−5℃、窒素雰囲気下でTHF300mLに合成例1で得られたp−ビニルベンゼンチオー
ル2.7gを溶解させ、脱酸剤としてピリジン10mLを加えた。1時間良く撹拌し、そ
の後アセチルクロライド3gをゆっくり滴下した。滴下終了後、1時間撹拌するとピリジ
ン塩酸塩が析出した。このピリジン塩酸塩を濾別してろ液を低温で減圧濃縮し、さらにベンゼンと水で分液抽出し、有機層を低温で減圧濃縮して薄黄色液体を得た。この液体をアルミナカラムクロマトグラフィー(塩化メチレン)で精製して目的物を得た。1H−NMR:7.02−7.38(−C6H4−,m,4H)、GC−MS:m/e=178
合成例2で精製したアセチル保護基つきp−ビニルベンゼンチオール1.8gと桂皮酸ビニル(アルドリッチ製)1.7g=1:1を遮光状態、窒素中でTHFに10wt%濃度で溶解させ、重合開始剤2,2‘−アゾビス−イソブチロニトリル(キシダ化学製)を0.01%の割
合で加え、8時間加熱還流を行った。反応終了後、反応液をメタノールに投入して再沈殿
を行い、白色固体ポリマーを得た。ポリスチレン換算によるGPC測定の結果、数平均分子量は30,000、重量平均分子量は90,000であった。得られたポリマーのアセチル基脱保護反応は、ポリマーを再びTHFに溶解させ、1N塩酸水溶液に再沈殿させて行っ
た。脱保護反応を行ったポリマーの乾燥は減圧下で行い、下記構造式のポリマーAを得た。
合成例2で精製したアセチル保護基つきp−ビニルベンゼンチオール1.8gと桂皮酸ビニル(アルドリッチ製)0.9gおよび無水マレイン酸(アルドリッチ製)0.5g=2:1:1を遮光状態、窒素中でTHFに10wt%濃度で溶解させ、重合開始剤2,2‘−アゾビス−イソブチロニトリル(キシダ化学製)を0.01%の割合で加え、8時間加熱還流を行った。反応終了後、反応液をメタノールに投入して再沈殿を行い、白色固体ポリマーを得た。このポリマーをN−メチルピロリドン200mLに溶解させ、遮光常態、窒素雰囲気下にしてアニリン100mLを加えて、3時間加熱還流した。反応終了後、1N塩酸水溶液に再沈殿させてアセチル基の脱保護反応を併せて行い、白色固体ポリマーを得た。ポリスチレン換算によるGPC測定の結果、数平均分子量は20,000、重量平均分子量は70,000であった。得られたポリマーのアセチル基脱保護反応は、ポリマーを再びTHFに溶解
させ、1N塩酸水溶液に再沈殿させて行った。脱保護反応を行ったポリマーの乾燥は減圧下で行い、下記構造式のポリマーBを得た。
ITOガラス板(豊和産業社製、2.5cm×2.5cm)上に、フォトレジスト(日本ゼオン社製「ZPN1100」)を用いてパターニングを行い、1重量%の塩化鉄(II)を溶解させた1規定の塩化水素水溶液で不要のITOをエッチングし、洗浄することによりゲート電極を形成した。次いで、その上に、合成例3で得られたポリマーAの10重量%N−メチルピロリドン溶液(0.2μmのPTFEフィルターで加圧濾過したもの)を、2000rpmの回転数でスピンコートし、膜厚3000Åのフィルムを作製した。このフィルムに超高圧水銀灯を用いた紫外線露光装置で紫外線を照射して、桂皮酸部位の光架橋反応を行い、溶媒に対する不溶化を行ってゲート絶縁層を形成した。引き続いて、このゲート絶縁層上を、ソース電極及びドレイン電極を形成するためフォトリソグラフィー(ナガセケムテックス社:ポジ型リフトオフレジストNPR9700T)でパターニングを行い、クロムを50Å、金を1000Åの厚さで蒸着することにより、間隔(L)10μm、幅(W)500μmでソース電極及びドレイン電極を形成し、その上に、実施例4で用いたと同じポルフィリン化合物の0.7重量%クロロホルム溶液をスピンコートし、180℃で10分間加熱して、該ポルフィリン化合物をテトラベンゾポルフィリンに変換させることにより、テトラベンゾポルフィリンからなる半導体層を有し、前記図1(A)に示されるボトムゲート・ボトムコンタクト型の電界効果トランジスタを作製した。尚、その際の層形成、及び電極の形成は、全て窒素雰囲気中で行った。
度μ、閾値電圧Vt 、及びOn/Off比を測定したところ、移動度μ=0.11cm2 /V・s、閾値電圧Vt =0.3V、On/Off比=1.0×103 であった。
ITOガラス板(豊和産業社製、2.5cm×2.5cm)上に、フォトレジスト(日本ゼオン社製「ZPN1100」)を用いてパターニングを行い、1重量%の塩化鉄(II)を溶解させた1規定の塩化水素水溶液で不要のITOをエッチングし、洗浄することによりゲート電極を形成した。次いで、その上に、合成例4で得られたポリマーBの10重量%N−メチルピロリドン溶液(0.2μmのPTFEフィルターで加圧濾過したもの)を、2000rpmの回転数でスピンコートし、膜厚3000Åのフィルムを作製した。このフィルムに超高圧水銀灯を用いた紫外線露光装置で紫外線を照射して、桂皮酸部位の光架橋反応を行い、溶媒に対する不溶化を行ってゲート絶縁層を形成した。引き続いて、このゲート絶縁層上を、ソース電極及びドレイン電極を形成するためフォトリソグラフィー(ナガセケムテックス社:ポジ型リフトオフレジストNPR9700T)でパターニングを行い、クロムを50Å、金を1000Åの厚さで蒸着することにより、間隔(L)10μm、幅(W)500μmでソース電極及びドレイン電極を形成し、その上に、実施例4で用いたと同じポルフィリン化合物の0.7重量%クロロホルム溶液をスピンコートし、180℃で10分間加熱して、該ポルフィリン化合物をテトラベンゾポルフィリンに変換させることにより、テトラベンゾポルフィリンからなる半導体層を有し、前記図1(A)に示されるボトムゲート・ボトムコンタクト型の電界効果トランジスタを作製した。尚、その際の層形成、及び電極の形成は、全て窒素雰囲気中で行った。
実施例2において、3−メルカプトプロピルトリメトキシシランによる浸漬処理を行わなかった外は、実施例2におけると同様にして電界効果トランジスタを作製し、実施例1におけると同様にして、移動度μ、閾値電圧Vt 、及びOn/Off比を測定したところ、移動度μ=0.07cm2/V・s、閾値電圧Vt =+10.7V、On/Off比=4.5×104 であった。
実施例2において、3−メルカプトプロピルトリメトキシシランに代えてヘキサメチレンジシラザンを用いて浸漬処理を行った外は、実施例2におけると同様にして電界効果トランジスタを作製し、実施例1におけると同様にして閾値電圧Vt を測定したところ、閾値電圧Vt は+側に大きい値を示し、実施例程のVt の改善は見られなかった。
実施例3において、3−メルカプトプロピルトリメトキシシランによる浸漬処理を行わなかった外は、実施例3におけると同様にして電界効果トランジスタを作製し、実施例1におけると同様にして、移動度μ、閾値電圧Vt 、及びOn/Off比を測定したところ、移動度μ=0.39cm2/V・s、閾値電圧Vt =+24V、On/Off比=1.1×103 であった。
比較例4
実施例5において、3−メルカプトプロピルトリメトキシシランによる浸漬処理を行わなかった外は、実施例5におけると同様にして電界効果トランジスタを作製し、実施例1におけると同様にして、移動度μ、閾値電圧Vt 、及びOn/Off比を測定したところ、移動度μ=0.95cm2/V・s、閾値電圧Vt =+26.4、On/Off比=8.7×102 であった。
300nmの酸化膜(ゲート絶縁層)を形成したn型のシリコン基板(抵抗率5〜15Ωcm)(ゲート電極)上に、フォトリソグラフィーで間隔(L)2〜100μm、幅(W)500μmのギャップを有する金/クロム電極(ソース電極、ドレイン電極)を形成し、又、この電極と異なる位置の酸化膜をフッ酸/フッ化アンモニウム液でエッチングし、むき出しになった珪素部分に金を蒸着し、これをシリコン基板(ゲート電極)に電圧を印加するための電極とした。次いで、この基板を(3−メルカプトプロピル)トリメトキシシラン(アルドリッチ社)に6時間浸漬させ、ジクロロメタンで洗浄することにより、酸化膜表面にメルカプト基を付加させた後、その上に、ペンタセン(東京化成製)を真空蒸着法(真空度5×10−6Torr:基板温度70℃)により蒸着を行い、ペンタセンからなる有機半導体層を有し、前記図1(A)に示されるボトムゲート・ボトムコンタクト型の電界効果トランジスタを作製した。
比較例5において、(3−メルカプトプロピル)トリメトキシシランによる浸漬処理を行わなかった以外は、比較例5と同様にして電界効果トランジスタを作製し、実施例1におけると同様にして、移動度μ、閾値電圧Vt 、及びOn/Off比を測定したところ、移動度μ=0.17cm2 /V・s、閾値電圧Vt =−6V、On/Off比=1.2×105であった。その結果、比較例5とほぼ同等のVt であり、比較例5の様なペンタセンとメルカプト基の組み合わせでは、改善は見られなかった。
300nmの酸化膜(ゲート絶縁層)を形成したn型のシリコン基板(抵抗率5〜15Ωcm)(ゲート電極)上に、フォトリソグラフィーで間隔(L)2〜100μm、幅(W)500μmのギャップを有する金/クロム電極(ソース電極、ドレイン電極)を形成し、又、この電極と異なる位置の酸化膜をフッ酸/フッ化アンモニウム液でエッチングし、むき出しになった珪素部分に金を蒸着し、これをシリコン基板(ゲート電極)に電圧を印加するための電極とした。次いで、この基板をγ−アミノプロピルトリエトキシシラン(GE東芝シリコーン社)に6時間浸漬させ、ジクロロメタンで洗浄することにより、酸化膜表面にメルカプト基を付加させた後、その上に、実施例1で用いたと同じポルフィリン化合物の0.7重量%クロロホルム溶液をスピンコートし、200℃で5分間加熱して、該ポルフィリン化合物をテトラベンゾポルフィリンに変換させることにより、テトラベンゾポルフィリン からなる有機半導体層を有し、前記図1(A)に示されるボトムゲート・ボトムコンタクト型の電界効果トランジスタを作製した。尚、その際の層形成、及び電極の形成は、全て窒素雰囲気中で行った。
、Vtが大きく−側へシフトして、実用的な値から外れてしまった。
加される電圧でソース電極とドレイン電極間の電流をスイッチングできることを利用して、ある表示素子に電圧を印加或いは電流を供給する時のみスイッチを入れ、その他の時間は回路を切断することにより、高速、高コントラストな表示を行うものである。適用される表示素子としては、液晶表示素子、高分子分散型液晶表示素子、電気泳動表示素子、エレクトロルミネッセンス素子、エレクトロクロミック素子等が挙げられる。
2 ゲート電極
3 ゲート絶縁層
4 半導体層
5 ソース電極
6 ドレイン電極
Claims (7)
- 支持基板上に、アザアヌレン構造を有する化合物からなる有機半導体を含有する有機半導体層を少なくとも有する電界効果トランジスタであって、該有機半導体層の両面いずれかの少なくとも一部表面に隣接して、メルカプト基を含有する層を有することを特徴とする電界効果トランジスタ。
- メルカプト基を含有する層と接する有機半導体層の一部表面が、有機半導体層に接してソース電極とドレイン電極を間隔をおいて有する電界効果トランジスタの該ソース電極とドレイン電極間の有機半導体層表面である請求項1に記載の電界効果トランジスタ。
- アザアヌレン構造を有する化合物が、ポルフィリン化合物である請求項1又は2に記載の電界効果トランジスタ。
- ゲート絶縁層を有する電界効果トランジスタであって、メルカプト基を含有する層が、ゲート絶縁層である請求項1〜3のいずれか一項に記載の電界効果トランジスタ。
- ゲート絶縁層が、メルカプト基を含有する高分子を含む、請求項4に記載の電界効果トランジスタ。
- 支持基板上に、アザアヌレン構造を有する化合物からなる有機半導体を含有する有機半導体層を少なくとも有する電界効果トランジスタを製造するにおいて、該有機半導体層の両面いずれかの少なくとも一部表面に隣接する層の表面を、メルカプト基を有する表面処理剤で処理することを特徴とする電界効果トランジスタの製造方法。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載の電界効果トランジスタをピクセル内のスイッチング素子に用いた、アクティブマトリクスディスプレイ。
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