JP2006242965A - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006242965A JP2006242965A JP2006148812A JP2006148812A JP2006242965A JP 2006242965 A JP2006242965 A JP 2006242965A JP 2006148812 A JP2006148812 A JP 2006148812A JP 2006148812 A JP2006148812 A JP 2006148812A JP 2006242965 A JP2006242965 A JP 2006242965A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- signal
- probe
- cantilever
- scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
【解決手段】低倍率でラスター走査をしながら、所定の位置・条件になると所定の高倍率画郭でラスター走査を行ない、試料を発見する機構を作成した。また移動中に探針直下の高さを示す信号(Z信号)と探針と探針直下の基板あるいは試料に働くZ方向の力の初期設定置からのずれ量に比例した信号(エラー信号)と試料と探針直下の基板あるいは試料の間に働く水平方向の信号(摩擦信号)を検出して、これらの信号の時系列信号および瞬時置信号を表示したり、操作レバーを介してエラー信号をZ方向反力に摩擦信号をXY方向反力に変換して作業者に知らせる機構を作成した。
【選択図】図1
Description
1.基板に広範囲に分散した微細な試料の発見が容易になった。
2.基板に広範囲に分散した微細な試料への探針の接触が容易になった。
3.試料の移動中に高さ信号、摩擦信号とエラー信号を観察できるため、
移動中の試料の状態が容易に推定でき、試料移動の確実性が向上した。
4.試料の移動中に高さ信号、摩擦信号とエラー信号の設定値を決め、設定値を越えた場合移動を中断する機構を設けたため、探針、試料、基板間に設定以 上の力が働かず、カンチレバーの破損、試料や基板へのダメージが低減した。
以下本発明の試料移動・加工走査型プローブ顕微鏡の模式図(図1)に基づいてこの発明の実施の形態を説明する。
図3Aは、ラスター走査/試料発見/探針停止動作の画面取り込み図と、図3Bは、XYスキャンコントローラー[14]の出力電圧の時系列表示例である。以下にラスター走査/試料発見/探針停止動作を説明する。基板上に広く分散している微細な試料を発見するために、図3Aに示す、低倍率(広い領域)を走査し、試料と想定される物体を針先が検知した時その周辺を高倍率(狭い領域)走査し微細試料の発見を容易にする動作である。図3Aに示すように広い領域の画郭をLとし走査ライン本数をNとする。また高倍率測定する狭い領域をlとし走査本数をnとする。また走査の開始点の初期走査ライン位置からのオフセット量をO=pnxL/Nとする。まず低倍率(広い領域)をオフセット量ゼロで走査し、探針直下のZ高さの瞬時値が設定値より高くなったり、探針直下のエラー信号の瞬時値が設定値より大きくなったり、あるいは探針直下の摩擦信号の瞬時値が設定値より大きくなったりすることをトリガー信号(4))として、そのトリガー発生位置を画面の中心になるように設定し、狭い領域lで走査本数nの高倍率画像の測定を行なう。その後トリガー発生点に戻り中断された低倍率走査をつづける。N本走査しても、試料が発見されない場合は、2分法に基づきオフセット量をO=(1/2)(L/N)にし再度低倍率走査をN本行なう。それでも見つからない場合はオフセット量を順次O=(1/4)(L/N)、O=(3/4)(L/N)・・・にして再度低倍率走査をN本行ない微細サンプルを探す。
図3Bに、低倍率・高倍率XY走査のための三角波波形を示す。
この方法を用いると基板上に広く分散した微細な試料を自動的に高倍率で短時間で発見できる。
このラスター走査方法は、試料面の加工にも適用できる。
基板上にAFMの探針を使用して機械的加工あるいは電気的加工する方法は、たとえば、特願平5−49713などに提案されている。しかし今までは、図4Aに示すように「A」という文字を加工する場合、一筆書きで直接Aという文字を作成してきた。この方法で作成するとピエゾスキャナーの非線形性とヒステリシスの影響で文字が歪んでしまう。したがって図4Bに示すようラスター走査をしながら所定の場所に到達したら試料面を加工する方法を適用した。電気的加工を例にして説明すると、まず加工する画郭L1とラスター本数N1を決める。つぎに探針が走査ラインを移動しているある期間(図4B:t1)に探針/試料間に電圧を印加し、試料面を加工する。このラスター走査をしながら加工する方法は、探針が一定の走査を繰り返すため、走査ラインごとにリニアリティー補正ができ、正確な位置での加工が可能である。)
つぎに試料の移動時の記述を行なう。試料の移動は通常探針と試料間の力が一定となるように制御する(コンタクトモード)で制御しながら試料を所定の場所まで移動させる。作用の項で記述した画面1と画面5より、試料の移動先場所と移動の方向をきめ、画面1上に移動のルートを決め表示させておく。探針が試料に接触後、高倍率画面の形状より試料の重心位置を割りだし、試料を移動する方向と重心位置にもとづいた試料への押圧位置(図5A)を画像表示器に位置を示し、探針をその位置に移動後試料に押圧をして移動を開始する。探針の現在位置は、画面1を測定したときのXYのピエゾスキャナーに印加した電圧より割り出し、画面1上に表示する。基板が滑らかなところでは探針の移動速度が一定になると、図5Bに示すように摩擦信号は当初静止摩擦のため大きくなり、すぐに一定になる。エラー信号とZ高さ信号も一定になる。しかし試料が段差などの障害物に当たった場合、図2Bに示すように摩擦信号とエラー信号が増大し、遅れてZの高さ信号が増大する。この場合探針が破損あるいは、試料にダメージを与えないように前記エラー信号設定値以下に上記信号が戻るまで移動を停止し、増大した摩擦信号とエラー信号に比例した反力を操作レバーに発生させ作業者に体感させたり画面に表示し、移動速度を落とす。
正常に移動しているときは摩擦信号が一定の値を示す。しかしなんらかの理由で試料が探針から外れた場合は、基板に接して移動する面積が減少するため、図7に示すように摩擦力が突然減少する。この場合は移動を停止し、その地点で高倍率測定を行ない試料の位置と形状を再確認し、再び前記試料への押圧位置を求め移動を再開する。
微細な探針つき片持ち梁(カンチレバー)で試料表面近傍を走査し、カンチレバーのたわみ信号より試料表面の形状、物性情報を得たのち、試料の移動や試料面の加工を行なう走査型プローブ顕微鏡において、基板上に広く分散した微細な試料を発見する目的で、低倍率でラスター走査をしながら広域画像取り込み、走査中に探針直下の高さ信号や前記エラー信号や摩擦信号が所定の設定値を越えたとき、トリガー信号を発生させ、そのトリガー信号を受けた地点で高倍率画像を採取し、再びトリガー地点に復帰し低倍率でラスター走査を行なうことを特徴とした走査型プローブ顕微鏡。
低倍率ラスター走査後、さらに、ラスター間を補間走査する目的でラスター間の1/2、1/4と3/4、・・と2分法にもとづく初期オフセット位置を走査開始位置に加える、低倍率ラスター走査を行ないながらラスター間に埋没した微細試料を発見することを特徴とした、技術的思想(1)に記載の走査型プローブ顕微鏡。
2 XYZ微動スキャナー
3 ピエゾ振動板
4 カンチレバー部
5 試料
6 サンプル台
7 レーザービーム
8 4分割位置検出器
9 プレアンプ
10 プレアンプ
11 誤差アンプ
12 Zサーボ系
13 高圧アンプ
14 XY走査コントローラー
15 高圧アンプ
16、17、18 比較器
20、21、22 アナログデジタル変換器
30 バスライン
41 コンピュータ
42 表示器
43 デジタルアナログ変換器
44 操作レバー
Claims (6)
- 微細な探針つき片持ち梁(カンチレバー)で試料表面近傍を走査し、カンチレバーのたわみ信号より試料表面の形状、物性情報を得たのち、試料の移動を行なう走査型プローブ顕微鏡において、試料と探針の間に働く力の初期設定置からのずれ量(エラー信号)を検出してずれ量に比例した信号を表示器に表示する機構と、操作レバーに試料面と垂直方向(Z方向)反力として伝達する機構を有することを特徴とした、走査型プローブ顕微鏡。
- 前記ずれ量がある設定範囲内に収まるように試料の移動速度を自動的に調節する機構を有する請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 微細な探針つき片持ち梁(カンチレバー)で試料表面近傍を走査し、カンチレバーのたわみ信号より試料表面の形状、物性情報を得たのち、試料の移動を行なう走査型プローブ顕微鏡において、試料を移動中に試料と探針の間に働く摩擦力を検出して、摩擦力に比例した信号(摩擦信号)を表示器に表示する機構と、操作レバーに試料面に平行方向(XY方向)反力として伝達する機構を有することを特徴とした、走査型プローブ顕微鏡。
- 前記摩擦量がある設定範囲内に収まるように試料の移動速度を自動的に調節する機構を有することを特徴とした請求項3に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 微細な探針つき片持ち梁(カンチレバー)で試料表面近傍を走査し、カンチレバーのたわみ信号より試料表面の形状、物性情報を得たのち、試料の移動や試料面の加工を行なう走査型プローブ顕微鏡において、測定した低倍率測定画面に基づき、試料の移動位置と移動方向を決めた後、試料移動時に障害物に遭遇した場合、探針によって試料を押す方向を、前記高さ信号やエラー信号や摩擦信号が障害物遭遇前の状態に近づくような方向に変えて障害物を回避移動させることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
- 微細な探針つき片持ち梁(カンチレバー)で試料表面近傍を走査し、カンチレバーのたわみ信号より試料表面の形状、物性情報を得たのち、試料の移動や試料面の加工を行なう走査型プローブ顕微鏡において、測定した低倍率測定画面に基づき、試料の移動位置と移動方向を決めた後、移動中の試料の探針からの外れを前記摩擦信号の変化より検知することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006148812A JP4602284B2 (ja) | 2006-05-29 | 2006-05-29 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006148812A JP4602284B2 (ja) | 2006-05-29 | 2006-05-29 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002051888A Division JP3942915B2 (ja) | 2002-02-27 | 2002-02-27 | 走査型プローブ顕微鏡を用いた基板上の試料を発見する方法、走査型プローブ顕微鏡を用いた基板上の試料を移動させる方法、及び走査型プローブ顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006242965A true JP2006242965A (ja) | 2006-09-14 |
JP4602284B2 JP4602284B2 (ja) | 2010-12-22 |
Family
ID=37049490
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006148812A Expired - Fee Related JP4602284B2 (ja) | 2006-05-29 | 2006-05-29 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4602284B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012154012A2 (ko) * | 2011-05-11 | 2012-11-15 | 건국대학교 산학협력단 | Afm 마찰력 매핑을 이용한 그래핀 도메인 측정 시스템 및 그 방법 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05340712A (ja) * | 1992-06-11 | 1993-12-21 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡リアルタイム表示装置 |
JPH06265343A (ja) * | 1993-03-15 | 1994-09-20 | Canon Inc | 試料表面観察装置およびこれを用いた記録再生装置 |
JPH09281119A (ja) * | 1996-04-18 | 1997-10-31 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡の探針・試料接近機構 |
JP2000039390A (ja) * | 1998-07-23 | 2000-02-08 | Nikon Corp | 非接触型原子間力顕微鏡 |
-
2006
- 2006-05-29 JP JP2006148812A patent/JP4602284B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05340712A (ja) * | 1992-06-11 | 1993-12-21 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡リアルタイム表示装置 |
JPH06265343A (ja) * | 1993-03-15 | 1994-09-20 | Canon Inc | 試料表面観察装置およびこれを用いた記録再生装置 |
JPH09281119A (ja) * | 1996-04-18 | 1997-10-31 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡の探針・試料接近機構 |
JP2000039390A (ja) * | 1998-07-23 | 2000-02-08 | Nikon Corp | 非接触型原子間力顕微鏡 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012154012A2 (ko) * | 2011-05-11 | 2012-11-15 | 건국대학교 산학협력단 | Afm 마찰력 매핑을 이용한 그래핀 도메인 측정 시스템 및 그 방법 |
WO2012154012A3 (ko) * | 2011-05-11 | 2013-01-17 | 건국대학교 산학협력단 | Afm 마찰력 매핑을 이용한 그래핀 도메인 측정 시스템 및 그 방법 |
KR101244383B1 (ko) * | 2011-05-11 | 2013-03-18 | 건국대학교 산학협력단 | Afm 마찰력 매핑을 이용한 그래핀 도메인 측정 시스템 및 그 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4602284B2 (ja) | 2010-12-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4432806B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
US5965881A (en) | Scanning probe microscope and processing apparatus | |
JP4602284B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
JP3942915B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡を用いた基板上の試料を発見する方法、走査型プローブ顕微鏡を用いた基板上の試料を移動させる方法、及び走査型プローブ顕微鏡 | |
JP5806457B2 (ja) | 表面分析装置 | |
CN109313215B (zh) | 扫描型探针显微镜用数据处理装置 | |
JP2611260B2 (ja) | 試料像表示装置 | |
JP2003014605A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
EP2367016A1 (en) | Method for processing output of scanning type probe microscope, and scanning type probe microscope | |
JPH07325090A (ja) | 光てこ方式の走査型プローブ顕微鏡及び原子間力顕微鏡 | |
JP2888599B2 (ja) | 顕微鏡の表示装置 | |
JP2000088735A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
JP2008204813A (ja) | プローブ位置決め装置 | |
KR101025657B1 (ko) | 원자 현미경 및 이의 영상 보정 방법 | |
JP2002098620A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
JP2006329704A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
JP3892184B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
JP2002014025A (ja) | プローブの走査制御装置、該走査制御装置による走査型プローブ顕微鏡、及びプローブの走査制御方法、該走査制御方法による測定方法 | |
JP4448508B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
JPH07248334A (ja) | 原子間力顕微鏡 | |
JP2006228800A (ja) | プローブの移動制御方法及びプローブ装置 | |
JP4050873B2 (ja) | 探針走査制御方法および走査形プローブ顕微鏡 | |
JPH10111300A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
JP4143722B2 (ja) | 原子間力/水平力顕微鏡の感度校正方法 | |
TW202311747A (zh) | 具有潛變校正的afm成像 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060628 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060628 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090811 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091013 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091105 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091113 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100330 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100526 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100831 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100908 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100928 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100929 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131008 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4602284 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131008 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131008 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |