JP2006219724A - 無電解めっき方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板1の表面にシランカップリング処理を施し、基板1をニッケルめっき浴に液浸させることによって、基板1のシランカップリング処理が施された面にNiめっき被膜2を形成した後に、基板1をpH10以下の銅めっき浴に液浸させることによって、基板1のNiめっき被膜2が形成された面にCuめっき被膜3を形成する。
【選択図】 図1
Description
また、本発明の無電解めっき方法は、被めっき物をpH10以下の銅めっき浴に所定の時間だけ液浸させた後に、被めっき物を当該銅めっき浴よりもpH値の大きい銅めっき浴に液浸させることによって、被めっき物の無電解銅めっきが施された面に更に無電解銅めっきを施すようにしてもよい。
また、本発明の無電解めっき方法は、被めっき物をニッケルめっき浴に液浸させる前に、被めっき物を少なくともパラジウムを含む触媒液に液浸させることによって、被めっき物のシランカップリング処理が施された面に触媒処理を施すことが望ましい。
また、本発明の無電解めっき方法は、被めっき物をpH10以下の銅めっき浴に液浸させる前に、被めっき物を少なくともパラジウムを含む触媒液に液浸させることによって、被めっき物の無電解ニッケルめっきが施された面に触媒処理を施すことが望ましい。
また、本発明の無電解めっき方法は、パラジウムの他に金を含有する触媒液にを用いてもよい。
また、本発明の無電解めっき方法は、シランカップリング処理にアミノシラン系のカップリング剤を用いることが望ましい。
(実施例1)
実施例1では、先ず、被めっき物としてアルミナを主体とするセラミック基板を用意し、この基板をアセトンで超音波洗浄した後に硫酸過水で洗浄した。次に、基板を3−アミノプロピルトリエトキシシラン希薄溶液に液浸させてからリンスし、この基板表面にシランカップリング処理を施した。次に、基板をHAuCl4とPdCl2との混合触媒液に液浸してリンスし、この基板表面に触媒処理を施した後に、基板を硫酸ニッケル、ホスフィン酸ナトリウム、グリシンなどを含む市販のニッケルめっき浴に液浸させることによって、無電解ニッケルめっきを施した。次に、基板をパラジウム触媒処理し、硫酸銅や、ロッシェル塩、ホルムアルデヒド、水酸化ナトリウムなどを含むpH7の薄付銅めっき浴に約30分だけ液浸させた後に、硫酸銅や、ロッシェル塩、ホルムアルデヒド、水酸化ナトリウムなどを含む市販(pH12)の厚付銅めっき浴に液浸させることによって、無電解銅めっきを施した。以上のような工程を経て、基板上に、下地となる膜厚0.5μmのNiめっき被膜と、この上に膜厚2μmのCuめっき被膜を形成した。
(実施例2)
実施例2では、基板をpH8.3の薄付銅めっき浴に液浸させた以外は、実施例1と同様にして基板に無電解めっきを施した。
(実施例3)
実施例3では、基板をpH9の薄付銅めっき浴に液浸させた以外は、実施例1と同様にして基板に無電解めっきを施した。
(比較例1)
比較例1では、基板をpH10.5の銅めっき浴にのみ液浸させた以外は、実施例1と同様にして基板に無電解めっきを施した。
(比較例2)
比較例2では、基板をpH12.6の銅めっき浴にのみ液浸させた以外は、実施例1と同様にして基板に無電解めっきを施した。
(比較例3)
比較例3では、無電解ニッケルめっきを行わずに、基板をpH12の銅めっき浴にのみ液浸させた以外は、実施例1と同様にして基板に無電解めっきを施した。
Claims (6)
- 被めっき物の表面にシランカップリング処理を施し、
前記被めっき物をニッケルめっき浴に液浸させることによって、前記被めっき物のシランカップリング処理が施された面に無電解ニッケルめっきを施し、
前記被めっき物をpH10以下の銅めっき浴に液浸させることによって、前記被めっき物の無電解ニッケルめっきが施された面に無電解銅めっきを施すことを特徴とする無電解めっき方法。 - 前記被めっき物をpH10以下の銅めっき浴に所定の時間だけ液浸させた後に、前記被めっき物を当該銅めっき浴よりもpH値の大きい銅めっき浴に液浸させることによって、前記被めっき物の無電解銅めっきが施された面に更に無電解銅めっきを施すことを特徴とする請求項1に記載の無電解めっき方法。
- 前記被めっき物を前記ニッケルめっき浴に液浸させる前に、前記被めっき物を少なくともパラジウムを含む触媒液に液浸させることによって、前記被めっき物のシランカップリング処理が施された面に触媒処理を施すことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の無電解めっき方法。
- 前記被めっき物を前記pH10以下の銅めっき浴に液浸させる前に、前記被めっき物を少なくともパラジウムを含む触媒液に液浸させることによって、前記被めっき物の無電解ニッケルめっきが施された面に触媒処理を施すことを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載の無電解めっき方法。
- 前記触媒液は、パラジウムの他に金を含有することを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の無電解めっき方法。
- 前記シランカップリング処理には、アミノシラン系のカップリング剤を用いることを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れか1項に記載の無電解めっき方法。
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JP2005034362A JP2006219724A (ja) | 2005-02-10 | 2005-02-10 | 無電解めっき方法 |
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2005
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