JP2006184759A - Optical waveguide and optical waveguide module - Google Patents

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Takahiro Arakida
Momoko Eguchi
Hidehiko Nakada
Akikazu Naruse
Yoshikazu Okubo
Kazuyoshi Yamada
英彦 中田
美和 大久保
和義 山田
晃和 成瀬
百子 江口
孝博 荒木田
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Sony Corp
ソニー株式会社
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical waveguide module that has small optical loss, that makes miniaturization and cost reduction possible, and that has less polarization dependency of the transmissivity and reflectance by the filter. <P>SOLUTION: A waveguide sheet 2 has a first core 4a, a second core 4b and a third core 4c, wherein an angle formed between a side 2a and the first core 4a or the third core 4c is 90°. The second core 4b intersects the first core 4a, forming an angle of 90° with a side 2c. Then, by making the side 2a and the side 2c intersect at an obtuse angle, e.g., 135°, the crossed axes angle between the first and second cores 4a, 4b is made an acute angle, e.g., 45°. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、少なくとも2本のコアを有し、光を合分波する平面型の光導波路と、この光導波路を備えた光導波路モジュールに関する。 The present invention has at least two cores, the optical waveguide of the planar to demultiplexing light, relates to an optical waveguide module having the optical waveguide. 詳しくは、交差する一方のコアに対する光接続部が構成される辺と、他方のコアに対する光接続部が構成される辺を鈍角をなす向きで交差させることで、コアに曲線部分を設けることなく、2本のコアを鋭角で交差させることができるようにしたものである。 Specifically, the optical connection portion is composed sides against one of the core which intersect, by optical connections to other core cross the edges formed in a direction which forms an obtuse angle, without providing a curved portion in the core are those which make it possible to cross the two cores at an acute angle.

従来、音声信号や映像信号等の送受信は電気信号により行われてきたが、更に超高速、大容量の情報伝送を実現するために、光配線技術が注目されている。 Conventionally, the transmission and reception, such as audio signals and video signals has been performed by an electrical signal, further ultrafast, in order to realize the information transmission of a large capacity, optical interconnection technology has attracted attention.

音声信号や映像信号等を送受信するには、主信号の他に、制御信号やクロック信号も送受信する必要がある。 To send and receive audio signals and video signals, etc., in addition to the main signal, the control signal or clock signal must also be transmitted and received. このため、光通信で複数の信号を同時に送受信できるよう、波長多重技術を用いる。 Therefore, to be able to simultaneously transmit and receive a plurality of signals in optical communication, using the wavelength multiplexing technology.

従来は、例えば光導波路と波長フィルタを用いた波長合分波器を多段に接続して送受信を行っていた(例えば、特許文献1参照)。 Conventionally, for example, a wavelength demultiplexer using an optical waveguide and the wavelength filter had done transceiver connected cascade (e.g., see Patent Document 1).

特開平11−295540号公報 JP 11-295540 discloses

しかしながら、このような従来の装置では、コアの光入出射端面を光導波路層の対向する2辺にのみ設けているので、コアには必ず曲線部分が含まれる。 However, in such conventional apparatus, since provided only the light input and output end faces of the core in two opposite sides of the optical waveguide layer, always includes a curved portion in the core. この場合、コンパクトな光源装置を作製するために光導波路層を小型化すると、必然的にコアに曲率の大きい部分が含まれ、漏光による光損失が大きくなり、逆に、光損失を抑えるためにコアの曲率を小さくすると、光導波路層が大型化するという二律背反の関係が生じることになる。 In this case, to a compact optical waveguide layer to make a compact light source device, inevitably contains a large portion of the curvature in the core, the optical loss due to light leakage increases, conversely, in order to suppress the optical loss When the curvature of the core to reduce, the optical waveguide layer is that a trade-off relationship that large results.

これに対する対策として、光導波路層の対向する2辺ではなく、互いに直交する2辺に光入射端面を設ければ、コアに曲線部分を設けなくても合波又は分波を行うことのできる構造を形成できると考えられる。 Structure as a countermeasure against this, rather than the two opposite sides of the optical waveguide layer, by providing the light incident end face two sides orthogonal to each other, which can perform multiplexing or demultiplexing without providing a curved portion in the core It is considered to be able to form.

図10は、本発明の比較例としての従来の光導波路装置の一例を示す平面図である。 Figure 10 is a plan view showing an example of a conventional optical waveguide device as a comparative example of the present invention. 光導波路装置101は、平面型の光導波路102と実装基板103を備える。 Optical waveguide device 101 includes an optical waveguide 102 of the planar mounting substrate 103.

光導波路102は、直線状の第1のコア104aと、第1のコア104aと交差した第2のコア104b及び第3のコア104cを備える。 Optical waveguide 102 includes a first core 104a straight, the second core 104b, and a third core 104c that intersects the first core 104a. 第1のコア104aに対する光の入出射端面と、第2のコア104b及び第3のコア104cの入出射端面を、光導波路102の対向する2辺ではなく、互いに直交する2辺に設けるため、第1のコア104aと第2のコア104bの交差角は90度で、第1のコア104aと第3のコア104cの交差角は90度である。 And light input and output end faces for the first core 104a, the input and output end face of the second core 104b, and a third core 104c, rather than the two opposite sides of the optical waveguide 102, to provide two sides orthogonal to each other, crossing angle of the first core 104a and the second core 104b is 90 degrees, the crossing angle of the first core 104a and the third core 104c is 90 degrees.

第1のコア104aと第2のコア104bの交差位置及び第1のコア104aと第3のコア104cの交差位置には挿入溝105が形成され、波長選択フィルタ106が挿入されている。 The intersection of the first core 104a and the second intersection of the core 104b and the first core 104a and the third core 104c insertion groove 105 is formed, the wavelength selective filter 106 is inserted.

また、第1のコア4aの端面に対向して端面発光型の第1の発光素子106aが実装され、第3のコア4cの端面に対向して第2の発光素子106bが実装される。 Further, the first light-emitting element 106a of the opposite the end face edge emitting of the first core 4a is mounted, the second light-emitting element 106b is mounted to face the end surface of the third core 4c. 更に、第2のコア4bの端面に対向して受光素子107が実装される。 Further, the light receiving element 107 is mounted to face the end face of the second core 4b.

図10に示すように、光導波路2の互いに直交する2辺に光入射端面を設ければ、コア104に曲線部分を設けなくても合分波を行うことのできる構造を形成できる。 As shown in FIG. 10, by providing the light incident end face two sides orthogonal to each other of the optical waveguide 2 can form a structure capable of performing demultiplexing without providing a curved portion in the core 104.

また、図11は従来の光導波路の作製工程の一部を説明する平面図であるが、従来の光導波路102は長方形の形状を有するため、図11に示すように、光導波路102が形成されたシリコンウエハから一括ダイシングによって無駄なく多数の光導波路102を切り出すことができ、この点からも好都合である。 Further, FIG. 11 is a plan view illustrating a part of a conventional optical waveguide manufacturing process, conventional light guide 102 to have a rectangular shape, as shown in FIG. 11, the optical waveguide 102 is formed can be cut a number of optical waveguide 102 without waste from a silicon wafer by batch dicing was, it is advantageous from this point.

しかしながら、このような構造の光導波路装置では、コアからフィルタに入射して反射によって方向変換される際の角度変化が90度であり、フィルタへの入射角は45度になる。 However, in the optical waveguide device having such a structure, the angle changes as it is redirecting the reflected incident from the core into the filter is 90 degrees, the angle of incidence on the filter becomes 45 degrees.

LED(発光ダイオード)や偏波面を制御せずに送信されてきたLD(レーザダイオード)からの光のような、偏波規定されていない光を、狭い波長範囲で一方の波長の光は透過させ、他方の波長の光は反射させようとする場合、入射光を45度のような大きな角度でフィルタに入射させると、フィルタの反射率及び透過率の偏波依存性が大きくなり、損失が大きくなる、または大きく変動することが知られている。 LED such as light from the (light emitting diode) and transmitted polarization planes without control has LD (laser diode), a light that is not polarized defined, the light of one wavelength in a narrow wavelength range is transmitted through , if the light of the other wavelengths to try reflected and is incident on the filter at a large angle such as 45 degrees incident light, the polarization dependence of the reflectance and transmittance of the filter is increased, large losses It is known to be, or to vary greatly.

また、全ての信号を1本の経路で合波させて送受信させると、信号間の干渉などにより信号劣化が生じ、所望の特性を得ることが難しくなってくるという問題もある。 Also, when the transmitted and received by combining all of the signals in one path, signal degradation occurs due to interference between the signals, there is also a problem that it it becomes difficult to obtain the desired properties.

更には、信号干渉を防ぐために、全ての信号を異なる波長の光で送受信する必要があり、それぞれの波長に対応したフィルタや受発光素子が必要なことから、コストが高くなるという問題もある。 Furthermore, in order to prevent signal interference, it is necessary to transmit and receive all signals at different wavelengths of light, because it can have filters and light emitting and receiving elements corresponding to the respective wavelengths required, there is also a problem that cost is increased.

本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、光損失が少なく、小型化や低コスト化が可能で、しかもフィルタによる透過率及び反射率の偏波依存性が小さく、透過させる光の波長と反射させる光の波長をより狭い範囲で切り分けて、波長が異なる複数の光を合波又は分波する光導波路及び光導波路モジュールを提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve such a problem, the optical loss is small, can be reduced in size and cost, yet is small polarization dependence of transmittance and reflectance by the filter, transmission isolate the wavelength of the light to be reflected wavelength of light to be in a narrower range, and to provide an optical waveguide and the optical waveguide module wavelengths of a plurality of multiplexing or demultiplexing light of different.

上述した課題を解決するため、本発明に係る光導波路は、コアとクラッドを備えた光導波路において、少なくとも1本以上のコアからなる第1のコア群と、少なくとも1本以上のコアからなり、かつ第1のコア群のコアと交差する第2のコア群と、第1のコア群と第2のコア群とが交差する交差部に形成され、任意の波長領域の光を選択的に反射及び透過させ、光の波長により光路を切り替える波長選択フィルタが挿入される挿入溝とを備え、第1のコア群は、クラッドの対向する第1の辺と第2の辺の間を、直線状で、かつ第1の辺及び第2の辺に対して略垂直に延在し、第1の辺と第2の辺に、第1のコア群に対する光接続部を備え、第2のコア群は、クラッドの第1の辺と交差する第3の辺に対して略垂直に延在し、第3の辺に、第2 To solve the problems described above, an optical waveguide according to the present invention, in the optical waveguide having a core and a cladding, a first core group of at least one or more cores, comprising at least one or more cores, and a second core groups which intersects the first core group of core, the first core group and the second core group formed at the intersection of intersecting, selectively reflect light of any wavelength region and is transmitted through, and a insertion groove wavelength selection filter for switching the optical path by a wavelength of light is inserted, the first core group, between the first side and second side opposite the cladding, straight in, and extends substantially perpendicular to the first side and a second side, the first side and the second side, provided with an optical connection to the first core group, the second core groups extend substantially perpendicular to the third side intersecting the first side of the cladding, the third side, the second コア群に対する光接続部を備え、クラッドの第3の辺を、第1の辺と鈍角をなす向きで交差させ、第2のコア群と第1のコア群とのなす角を鋭角としたものである。 It includes an optical connection to the core group, which the third side of the cladding, crossed in a direction forming a first side and an obtuse angle, and the angle between the second core group and the first core group and acute it is.

本発明に係る光導波路では、第1のコア群を第1の辺側から伝搬される光は、波長選択フィルタに対する入射角が鋭角となる。 The optical waveguide according to the present invention, light that is propagated through the first core group from the first side, the incident angle is an acute angle with respect to the wavelength selective filter. また、第2のコア群を第3の辺側から伝搬される光は、波長選択フィルタに対する入射角が鋭角となる。 Further, the light propagating second core groups from the third side, the incident angle is an acute angle with respect to the wavelength selective filter.

また、本発明に係る光導波路モジュールは、コアとクラッドを有する光導波路と、光導波路のコアと結合した光素子を備えた光導波路モジュールにおいて、光導波路は、少なくとも1本以上のコアからなる第1のコア群と、少なくとも1本以上のコアからなり、かつ第1のコア群のコアと交差する第2のコア群と、第1のコア群と第2のコア群とが交差する交差部に形成され、任意の波長領域の光を選択的に反射及び透過させ、光の波長により光路を切り替える波長選択フィルタが挿入される挿入溝とを備え、第1のコア群は、クラッドの対向する第1の辺と第2の辺の間を、直線状で、かつ第1の辺及び第2の辺に対して略垂直に延在し、第1の辺と第2の辺に、第1のコア群に対する光接続部を備え、第2のコア群は、クラッドの第1の Further, the optical waveguide module according to the present invention, an optical waveguide having a core and a cladding, the optical waveguide module having an optical element coupled to the core of the optical waveguide, the optical waveguide is composed of at least one or more cores and one of the core groups comprises at least one or more cores, and cross section and the second core group intersecting the first core of the core groups, and the first core group and the second core groups intersect It is formed in the light of an arbitrary wavelength region selectively reflecting and is transmitted, and a insertion groove wavelength selection filter for switching the optical path by a wavelength of light is inserted, the first core group, opposed cladding between the first and second sides, straight and extends substantially perpendicular to the first side and a second side, the first and second sides, the first It includes an optical connection of to the core group, the second core group, the first cladding と交差する第3の辺に対して略垂直に延在し、第3の辺に、第2のコア群に対する光接続部を備え、クラッドの第3の辺を、第1の辺と鈍角をなす向きで交差させ、第2のコア群と第1のコア群とのなす角を鋭角としたものである。 Extend substantially perpendicular to the third side intersecting the, the third side, with a light connection to the second core group, the third side of the cladding, a first side and an obtuse angle crossed with eggplant orientation, in which the angle between the second core group and the first core group and an acute angle.

本発明に係る光導波路モジュールでは、第1のコア群を第1の辺側から伝搬される光は、波長選択フィルタに対して鋭角に入射し、波長に応じて反射あるいは透過する。 In the optical waveguide module according to the present invention, light that is propagated through the first core group from the first side is incident at an acute angle with respect to the wavelength selective filter, reflected or transmitted according to wavelength. また、第2のコア群を第3の辺側から伝搬される光は、波長選択フィルタに対して鋭角に入射し、波長に応じて反射あるいは透過する。 Further, the light propagating second core groups from the third side is incident at an acute angle with respect to the wavelength selective filter, reflected or transmitted according to wavelength.

本発明の光導波路によれば、交差する一方のコアに対する光接続部が構成される辺と、他方のコアに対する光接続部が構成される辺を鈍角をなす向きで交差させることで、コアに曲線部分を設けることなく、2本のコアを鋭角で交差させることができる。 According to the optical waveguide of the present invention, the optical connection portion is composed sides against one of the core which intersect, the side optical connection portion is formed for the other cores that are crossed in a direction which forms an obtuse angle, the core without providing a curved portion, it is possible to cross the two cores at an acute angle.

これにより、フィルタによる透過率及び反射率の偏波依存性を少なくすることができる。 Thus, it is possible to reduce the polarization dependence of the transmittance and reflectance by the filter. また、コアを直線で構成できるので、光損失が少なく、小型化が可能となる。 Since it constitutes a core with a straight line, the light loss is small, it can be miniaturized.

本発明の光導波路モジュールによれば、上述した光導波路を備えることで、透過させる光の波長と反射させる光の波長をより狭い範囲で切り分けて、波長が異なる複数の光を合波又は分波することができ、既存の光素子の利用が可能となるので、損失の少ない波長多重送受信モジュールを、低コストで提供できる。 According to the optical waveguide module of the present invention, by providing the optical waveguide described above, isolate the wavelength of the light to be reflected from the wavelength of the light to be transmitted in a narrower range, a plurality of light having different wavelengths multiplexing or demultiplexing it can be, since it is possible to use the existing optical element, a wavelength multiplexing transceiver module low loss, can be provided at low cost.

以下、図面を参照して本発明の光導波路及び光導波路モジュールの実施の形態について説明する。 Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, embodiments of the optical waveguide and the optical waveguide module of the present invention will be described.

<第1の実施の形態の光導波路の構成例> <Configuration example of an optical waveguide of the first embodiment>
図1は第1の実施の形態の光導波路の一例を示す構成図で、図1(a)は平面図、図1(b)は図1(a)のA−A断面図である。 Figure 1 is a block diagram showing an example of an optical waveguide of the first embodiment, FIG. 1 (a) is a plan view, FIG. 1 (b) is an A-A sectional view of FIG. 1 (a).

第1の実施の形態の光導波路1Aは、平面型の光導波路を構成する導波路シート2と、導波路シート2を支持する実装基板3を備える。 Optical waveguides 1A of the first embodiment includes a waveguide sheet 2 constituting a planar optical waveguide, the mounting substrate 3 for supporting a waveguide sheet 2. 導波路シート2は、例えば高分子材料で構成され、コア4とクラッド層5を備えてコア・クラッド構造を有する埋め込み型導波路である。 Waveguide sheet 2, for example, a polymeric material, a buried waveguide having a core-clad structure includes a core 4 and the cladding layer 5. 実装基板3は例えばシリコン(Si)基板であり、表面に導波路シート2が形成される。 Mounting the substrate 3 is a silicon (Si) substrate, for example, waveguide sheet 2 is formed on the surface.

導波路シート2は、コア4として、図1(a)に示すように、第1のコア群を構成する第1のコア4aと、第2のコア群を構成する第2のコア4bと、第3のコア群を構成する第3のコア4cを備える。 Waveguide sheet 2, as the core 4, as shown in FIG. 1 (a), and the second core 4b constituting the first core 4a constituting the first core group, the second core group, a third core 4c constituting the third core group. また、クラッド層5として、図1(b)に示すように、下部クラッド5aと上部クラッド5bを備える。 Also, as the cladding layer 5, as shown in FIG. 1 (b), it comprises a lower cladding 5a and the upper cladding 5b.

各コア4の構成は、コア径が例えば40×40μm、コア4と下部クラッド5a及び上部クラッド5bの比屈折率差は例えば1.0%で、コア4の屈折率が下部クラッド5a及び上部クラッド5bより若干大きくなるように構成されて、光がコア4に閉じ込められて伝搬される。 Configuration of each core 4, a core diameter of for example 40 × 40 [mu] m, the core 4 and the lower clad 5a and the relative refractive index difference of the upper clad 5b in example 1.0%, a refractive index lower cladding 5a and the upper cladding of the core 4 is configured to be slightly larger than 5b, the light is propagated confined in the core 4.

導波路シート2は、対向する2辺の間を第1のコア4aが直線状に延在し、第1のコア4aの一方の端部と交差する第1の辺となる辺2aに垂直端面6aを備える。 Waveguide sheet 2, the first core 4a between two opposing sides extend linearly, perpendicular end face to the side 2a of the first side intersecting the one end of the first core 4a equipped with a 6a. また、導波路シート2は、第1のコア4aの他方の端部と交差する第2の辺となる辺2bに垂直端面6bを備える。 Further, the waveguide sheet 2 is provided with a vertical end face 6b to the side 2b of the second side intersecting the other end of the first core 4a.

第3のコア4cは、第1のコア4aと平行で、他のコアとの交差部を持たない直線状で、一方の端部が垂直端面6aと交差し、他方の端部が垂直端面6bと交差する。 The third core 4c, parallel to the first core 4a, a straight having no intersection with the other core, one end intersects the vertical end face 6a, the other end a vertical end face 6b It intersects with. これにより、垂直端面6aは、第1のコア4a及び第3のコア4cの一方の端面が露出して光接続部が構成され、垂直端面6bは、第1のコア4a及び第3のコア4cの他方の端面が露出して光接続部が構成される。 Thus, the vertical end face 6a, the first core 4a and the one end face is exposed is configured optical connections, vertical end face 6b of the third core 4c, the first core 4a and the third core 4c optical connection portion is constituted by the other end face of the exposure.

また、導波路シート2は、第2のコア4bが第1のコア4aと交差して直線状に延在し、第2のコア4bの一方の端部と交差する第3の辺となる辺2cに垂直端面6cを備える。 Further, the waveguide sheet 2, side second core 4b extends linearly intersect the first core 4a, a third side that intersects the one end portion of the second core 4b comprising a vertical end surface 6c to 2c. 垂直端面6cは、第2のコア4bの一方の端面が露出して光接続部が構成される。 Vertical end face 6c is an optical connection portion and one end face of the exposure of the second core 4b is formed.

光導波路1Aにおいて、第1のコア4a及び第3のコア4cの一方の端部と交差し、各コア4の端面を露出させた垂直端面6aが形成される辺2aと、第1のコア4a及び第3のコア4cのなす角は90度である。 In the optical waveguide 1A, intersects with one end of the first core 4a and the third core 4c, and the side 2a of the vertical end face 6a is formed to expose the end faces of the core 4, the first core 4a and the angle of the third core 4c is 90 degrees.

また、第1のコア4a及び第3のコア4cの他方の端部と交差し、各コア4の端面を露出させた垂直端面6bが形成される辺2bは、辺2aと平行で、辺2bと、第1のコア4a及び第3のコア4cのなす角は90度である。 The first core 4a and the third intersecting the other end of the core 4c, the side 2b of the vertical end face 6b of the end face is exposed in the core 4 is formed, parallel to the sides 2a, side 2b When, the angle of the first core 4a and the third core 4c is 90 degrees.

更に、第2のコア4bの一方の端部と交差し、第2のコア4bの端面を露出させた垂直端面6cが形成される辺2cと、第2のコア2bのなす角は90度である。 Furthermore, intersects with one end of the second core 4b, and the side 2c of the vertical end surface 6c exposing the end face of the second core 4b is formed, the angle of the second core 2b is 90 degrees is there.

そして、第1のコア4aと第2のコア4bの交差角は鋭角で、例えば45度である。 The crossing angle of the first core 4a and the second core 4b is an acute angle, for example 45 degrees. これにより、辺2aと辺2cのなす角は鈍角、本例では135度である。 Thus, the angle of the sides 2a and the side 2c is obtuse, in this example is 135 degrees.

なお、垂直端面6aと垂直端面6bの間をつなぎ、導波路シート2の側面となる辺2dは、第1のコア4a及び第3のコア4cと平行で各コア4とは交差せず、辺2dと、辺2a及び辺2bのなす角はそれぞれ90度である。 Note that connects between the vertical end face 6a and the vertical end face 6b, side and consisting sides 2d of the waveguide sheet 2 does not intersect the first core 4a and the third core 4c and parallel to each core 4, the side and 2d, the angle of the sides 2a and sides 2b are each 90 degrees.

また、辺2dと対向する辺2eは、各コア4とは交差せず、辺2eと辺2cのなす角は90度、辺2eと辺2bのなす角は135度である。 Further, the side 2e opposite to the sides 2d, not intersect with each core 4, the angle is 90 degrees edges 2e and the side 2c, the angle of the side 2e and the side 2b is 135 degrees.

導波路シート2は、第1のコア4aと第2のコア4bの交差部に挿入溝7を備え、挿入溝7に波長選択フィルタ8が挿入される。 Waveguide sheet 2 is provided with an insertion groove 7 at the intersection of the first core 4a and the second core 4b, the wavelength selection filter 8 is inserted into the insertion groove 7. 挿入溝7は、第1のコア4aと第2のコア4bの交差部を横切る位置に形成され、挿入溝7の対向する側壁面の一方に、第1のコア4a及び第2のコア4bの端面が露出すると共に、他方の側壁面に第1のコア4aの端面が露出する。 Insertion groove 7 is formed at a position crossing the intersection of the first core 4a and the second core 4b, the one side wall surface facing the insertion groove 7, the first core 4a and the second core 4b with the end surface is exposed, end faces of the first core 4a is exposed on the other side wall surface. 本例では、挿入溝7の大きさは、例えば幅65μm、長さ1300μm、深さ90μmである。 In this example, the size of the insertion groove 7, for example, a width of 65 .mu.m, length 1300 [mu] m, the depth 90 [mu] m.

波長選択フィルタ8は、任意の波長領域における光を選択的に反射及び透過させる機能を有し、例えば波長λ1の光は反射し、波長λ2の光は透過するように構成される。 Wavelength selection filter 8 has a function of selectively reflecting and transmitting light in any wavelength region, for example, light of wavelength λ1 is reflected configured so that light of a wavelength λ2 is transmitted.

波長選択フィルタ8は、挿入溝7に挿入され、導波路シート2に接着固定される。 Wavelength selection filter 8 is inserted into the insertion groove 7, it is adhesively fixed to the waveguide sheet 2. 波長選択フィルタ8は、第1のコア4aと第2のコア4bの交差部を横切る位置に挿入されており、第1のコア4a及び第2のコア4bを伝搬される光の波長に応じて光路を切り替える。 Wavelength selection filter 8 is inserted into a position crossing the intersection of the first core 4a and the second core 4b, depending on the wavelength of light that is propagated through the first core 4a and the second core 4b switching the optical path.

<第2の実施の形態の光導波路の構成例> <Configuration example of an optical waveguide of the second embodiment>
図2は第2の実施の形態の光導波路の一例を示す平面図である。 Figure 2 is a plan view showing an example of an optical waveguide of the second embodiment. 以下の説明で、第1の実施の形態の光導波路1Aと同じ構成については同じ番号を付して説明する。 In the following description, the same configuration as the optical waveguide 1A in the first embodiment will be denoted by the same numerals.

第2の実施の形態の光導波路1Bは、第1の実施の形態の光導波路1Aと同様に導波路シート2と図1に示す実装基板3を備え、導波路シート2は、第1のコア4aと第2のコア4b及び第3のコア4cを備える。 Optical waveguide 1B of the second embodiment includes a first embodiment of an optical waveguide 1A as well as waveguide sheet 2 and the mounting board 3 shown in FIG. 1, the waveguide sheet 2, the first core comprising 4a and the second core 4b and the third core 4c.

導波路シート2は、第1のコア4a及び第1のコア4aと平行な第3のコア4cの一方の端部と交差する辺2aに垂直端面6aを備え、第1のコア4a及び第3のコア4cの他方の端部と交差する辺2bに垂直端面6bを備える。 Waveguide sheet 2 is provided with a vertical end face 6a on the first core 4a and edges 2a which intersects with one end of the first core 4a parallel to the third core 4c, the first core 4a and the third comprising a vertical end face 6b to the side 2b intersecting the the other end of the core 4c.

また、第1のコア4aと交差する第2のコア4bの一方の端部と交差する辺2cに垂直端面6cを備える。 Also includes a vertical end surface 6c to the side 2c intersecting the one end of the second core 4b which intersects the first core 4a.

第1のコア4a及び第3のコア4cと、辺2aのなす角は90度で、辺2aと対向する辺2bと、第1のコア4a及び第3のコア4cのなす角は90度で、辺2aと辺2bは平行である。 A first core 4a and the third core 4c, at an angle of 90 degrees of the side 2a, and the side 2b opposite to the side 2a, the angle between the first core 4a and the third core 4c is 90 ° , the side 2a and the side 2b are parallel.

また、第2のコア4bと辺2cのなす角は90度で、第1のコア4aと第2のコア4bの交差角が例えば45度であるので、辺2aと辺2cのなす角は135度である。 Further, in the angle 90 ° of the second core 4b and edges 2c, since the crossing angle of the first core 4a and the second core 4b is, for example, 45 degrees, the angle of the sides 2a and the side 2c is 135 every time it is.

更に、導波路シート2の側面となる辺2dと辺2eは、それぞれ第1のコア4a及び第3のコア4cと平行で各コア4と交差せず、辺2dと、辺2a及び辺2bのなす角はそれぞれ90度、辺2eと辺2bのなす角は90度である。 Furthermore, side to become the side 2d and the side 2e of the waveguide sheet 2 are each not intersect the first core 4a and the third core 4c and the core 4 are parallel, the sides 2d, the side 2a and the sides 2b angle each 90 degrees, the angle of the side 2e and the side 2b is 90 degrees.

<第3の実施の形態の光導波路の構成例> <Configuration example of an optical waveguide of the third embodiment>
図3は第3の実施の形態の光導波路の一例を示す平面図である。 Figure 3 is a plan view showing an example of an optical waveguide of the third embodiment. 以下の説明で、第1の実施の形態の光導波路1Aと同じ構成については同じ番号を付して説明する。 In the following description, the same configuration as the optical waveguide 1A in the first embodiment will be denoted by the same numerals.

第3の実施の形態の光導波路1Cは、第1の実施の形態の光導波路1Aと同様に導波路シート2と図1に示す実装基板3を備え、導波路シート2は、第1のコア4aと第2のコア4b及び第3のコア4cを備える。 Optical waveguide 1C of the third embodiment includes a first embodiment of an optical waveguide 1A as well as waveguide sheet 2 and the mounting board 3 shown in FIG. 1, the waveguide sheet 2, the first core comprising 4a and the second core 4b and the third core 4c.

導波路シート2は、第1のコア4a及び第3のコア4cの一方の端部と交差する辺2aに垂直端面6aを備え、第1のコア4a及び第3のコア4cの他方の端部と交差する辺2bに垂直端面6bを備える。 Waveguide sheet 2, the other end portion of the first core 4a and provided with a vertical end face 6a on the side 2a intersecting the one end of the third core 4c, the first core 4a and the third core 4c comprising a vertical end face 6b to the side 2b intersecting the.

また、第1のコア4aと交差する第2のコア4bの一方の端部と交差する辺2cに垂直端面6cを備える。 Also includes a vertical end surface 6c to the side 2c intersecting the one end of the second core 4b which intersects the first core 4a.

第1のコア4a及び第3のコア4cと、辺2aのなす角は90度で、辺2aと対向する辺2bと、第1のコア4a及び第3のコア4cのなす角は90度で、辺2aと辺2bは平行である。 A first core 4a and the third core 4c, at an angle of 90 degrees of the side 2a, and the side 2b opposite to the side 2a, the angle between the first core 4a and the third core 4c is 90 ° , the side 2a and the side 2b are parallel.

また、第2のコア4bと辺2cのなす角は90度で、第1のコア4aと第2のコア4bの交差角が例えば45度であるので、辺2aと辺2cのなす角は135度である。 Further, in the angle 90 ° of the second core 4b and edges 2c, since the crossing angle of the first core 4a and the second core 4b is, for example, 45 degrees, the angle of the sides 2a and the side 2c is 135 every time it is. 更に、辺2cは辺2bと交差し、辺2cと辺2bのなす角は45度である。 Furthermore, the sides 2c intersects the sides 2b, the angle of the sides 2c and the side 2b is 45 degrees.

また、導波路シート2の側面となる辺2dは、第1のコア4a及び第3のコア4cと平行で各コア4と交差せず、辺2dと、辺2a及び辺2bのなす角は90度である。 The side surfaces become sides 2d of the waveguide sheet 2, parallel to the first core 4a and the third core 4c do not intersect with each core 4, and the side 2d, the angle between the sides 2a and sides 2b 90 every time it is.

<各実施の形態の光導波路の作用効果> <Operation and Effect of the optical waveguide of the Embodiment>
上述した光導波路1A、光導波路1B及び光導波路1Cは、導波路シート2において第1のコア4aの入出射面が構成される辺2aと、第1のコア4aと交差する第2のコア4bの入出射面が構成される辺2cのなす各を鈍角、例えば135度とすることで、第1のコア4aと第2のコア4bは鋭角で交差することになる。 Optical waveguides 1A described above, the optical waveguide 1B and the optical waveguide. 1C, the input-output face is formed sides 2a of the first core 4a in the waveguide sheet 2, the second core 4b which intersects the first core 4a each form of entry and exit surface are formed side 2c by obtuse, for example, 135 degrees, the first core 4a and the second core 4b will intersect at an acute angle.

これにより、光が第1のコア4aと第2のコア4bとの間で光路を変える際の角度変化は、第1のコア4aと第2のコア4bの交差角と同等の鋭角となり、波長選択フィルタ8で反射される際の入射角は45度未満となる。 Thus, the angle change when changing the optical path between the light and the first core 4a and the second core 4b becomes the same acute and crossing angle of the first core 4a and the second core 4b, wavelength incident angle when reflected by the selected filter 8 is less than 45 degrees. 本例では、波長選択フィルタ8に対する入射角は約22.5度である。 In this example, the angle of incidence on the wavelength selection filter 8 is approximately 22.5 degrees.

従って、従来例のように入射角が45度で波長選択フィルタに光が入射する場合と比較して、波長選択フィルタ8の反射率及び透過率の偏波依存性を低減することができる。 Therefore, it is possible to light the wavelength selective filter at an incident angle of 45 degrees as in the conventional example in comparison with the case of incident, to reduce the polarization dependence of the reflectance and transmittance of the wavelength selection filter 8.

これにより、LED(発光ダイオード)光や偏波保持されていない光ファイバを伝搬されたLD(レーザダイオード)光のような偏波規定されていない光を、狭い波長範囲で一方の光は透過させ、他方の波長の光は反射させようとする場合に起こる光の損失を小さく抑えることができる。 Thus, an LED (light emitting diode) light or polarization maintaining which do not propagated through the optical fiber LD (laser diode) polarized undefined light, such as light, is one the of light transmission in a narrow wavelength range , the light of the other wavelength can be reduced the loss of light that occurs when attempting to reflection.

また、透過させる光の波長と反射させる光の波長をより狭い波長範囲で切り分けすることが可能となる。 Further, it is possible to isolate the wavelength of light to be reflected from the wavelength of the light to be transmitted in a narrower wavelength range.

更に、第1コア4aと第2のコア4bは、従来例のように曲線部を設ける必要がないので、光損失の増加を伴わずに小型化が可能となる。 Further, the first core 4a and the second core 4b, there is no need to provide a curved portion as in the conventional example, miniaturization is possible without an increase in optical loss.

また、第1のコア4a及び第2のコア4bと独立して第3のコア4cを備えることで、例えば映像信号のような高速信号を第3のコア4cを用いて送信し、クロック信号や制御信号等の低速信号を第1のコア4a及び第2のコア4bで送受信することで、干渉や劣化に弱い高速信号を独立した送信経路で送信でき、比較的干渉や劣化に強い低速信号の送受信を1本の経路で行うことが可能となる。 Further, by providing the third core 4c independently of the first core 4a and the second core 4b, for example, it transmits a high speed signal such as a video signal using a third core 4c, the clock signal Ya the low-speed signal such as control signal by transmitting and receiving at the first core 4a and the second core 4b, interference or a weak high-speed signals to the deterioration can be sent in a separate transmission path, a strong low-speed signals in a relatively interference and degradation it is possible to transmit and receive a single path. これにより、小型で高性能な送受信モジュール用合分波回路を実現することができる。 Thus, it is possible to realize multiplexing and demultiplexing circuit for high-performance transceiver module compact.

図4〜図6は各実施の形態の光導波路の作製工程の一部を示す平面図で、図4は第1の実施の形態の光導波路1Aのダイシング工程を示し、図5は第2の実施の形態の光導波路1Bのダイシング工程を示し、図6は第3の実施の形態の光導波路1Cのダイシング工程を示す。 4 to 6 is a plan view showing a part of a manufacturing process of the optical waveguide of the embodiments, FIG. 4 shows a step of dicing the optical waveguide 1A in the first embodiment, FIG. 5 of the second shows a step of dicing the optical waveguide 1B of the embodiment, FIG. 6 shows a step of dicing the optical waveguide 1C of the third embodiment. 各図において、破線Lは図示しないダイシングソーによるダイシング位置を示す。 In each figure, illustrating a dicing position by a dicing saw to the broken line L is not shown.

図1に示すように変形した五角形の光導波路1Aでも、図4に示すように各辺が一列に並ぶようにウエハU上に形成可能であり、一括ダイシングによる作製が可能で、かつ不要な部分も少ない。 Even pentagonal optical waveguide 1A deformed as shown in FIG. 1, can be formed on a wafer U to each side as shown in FIG. 4 are arranged in a row, it can be manufactured by batch dicing, and unnecessary portions even less.

また、図2に示すようにやはり変形した五角形の光導波路1Bでも、図5に示すように各辺が一列に並ぶようにウエハU上に形成可能であり、一括ダイシングによる作製が可能で、かつ不要な部分も少ない。 Further, even pentagonal optical waveguide 1B was also modified as shown in FIG. 2, can be formed on a wafer U to each side as shown in FIG. 5 are arranged in a row, it can be manufactured by batch dicing, and unnecessary portion is also small.

更に、図3に示すように変形した四角形の光導波路1Cでも、図6に示すように各辺が一列に並ぶようにウエハU上に形成可能であり、一括ダイシングによる作製が可能で、かつ不要な部分も少ない。 Furthermore, even optical waveguide 1C square deformed as shown in FIG. 3, each side as shown in FIG. 6 may be formed on a wafer U so as to line up in a row, can be manufactured by batch dicing, and unnecessary such portion is also small.

<第1の実施の形態の光導波路モジュールの構成例> <Configuration example of an optical waveguide module of the first embodiment>
図7は第1の実施の形態の光導波路モジュールの一例を示す構成図で、図7(a)は平面図、図7(b)は図7(a)のB−B断面図である。 Figure 7 is a block diagram showing an example of an optical waveguide module of the first embodiment, FIGS. 7 (a) is a plan view, FIG. 7 (b) is a B-B sectional view of FIGS. 7 (a).

第1の実施の形態の光導波路モジュール11Aは、例えば図1で説明した第1の実施の形態の光導波路1Aを構成する導波路シート2と、導波路シート2を支持する実装基板3を備える。 Optical waveguide module 11A of the first embodiment includes a waveguide sheet 2 constituting the optical waveguide 1A in the first embodiment described in FIG. 1, for example, a mounting substrate 3 for supporting a waveguide sheet 2 . 導波路シート2は、例えば高分子材料で構成され、コア4とクラッド層5を備えてコア・クラッド構造を有する埋め込み型導波路である。 Waveguide sheet 2, for example, a polymeric material, a buried waveguide having a core-clad structure includes a core 4 and the cladding layer 5. 実装基板3は例えばシリコン(Si)基板であり、表面に導波路シート2が形成される。 Mounting the substrate 3 is a silicon (Si) substrate, for example, waveguide sheet 2 is formed on the surface.

導波路シート2は、コア4として、第1のコア群を構成する第1のコア4aと、第2のコア群を構成する第2のコア4bと、第3のコア群を構成する第3のコア4cを備える。 Waveguide sheet 2, as the core 4, the third constituting a first core 4a constituting the first core group, and the second core 4b constituting the second core group, the third core groups comprising a core 4c. また、クラッド層5として、下部クラッド5aと上部クラッド5bを備える。 Also, as the cladding layer 5, it comprises a lower cladding 5a and the upper cladding 5b.

各コア4の構成は、コア径が例えば40×40μm、コア4と下部クラッド5a及び上部クラッド5bの比屈折率差は例えば1.0%で、コア4の屈折率が下部クラッド5a及び上部クラッド5bより若干大きくなるように構成されて、光がコア4に閉じ込められて伝搬される。 Configuration of each core 4, a core diameter of for example 40 × 40 [mu] m, the core 4 and the lower clad 5a and the relative refractive index difference of the upper clad 5b in example 1.0%, a refractive index lower cladding 5a and the upper cladding of the core 4 is configured to be slightly larger than 5b, the light is propagated confined in the core 4.

導波路シート2は、対向する2辺の間を第1のコア4aが直線状に延在し、第1のコア4aの一方の端部と交差する辺2aに垂直端面6aを備える。 Waveguide sheet 2, the first core 4a between two opposing sides extend in a straight line, and a vertical end face 6a on the side 2a intersecting the one end of the first core 4a. また、導波路シート2は、第1のコア4aの他方の端部と交差する辺2bに垂直端面6bを備える。 Further, the waveguide sheet 2 is provided with a vertical end face 6b to the side 2b intersecting the other end of the first core 4a.

第3のコア4cは、第1のコア4aと平行で、他のコアとの交差部を持たない直線状で、一方の端部が垂直端面6aと交差し、他方の端部が垂直端面6bと交差する。 The third core 4c, parallel to the first core 4a, a straight having no intersection with the other core, one end intersects the vertical end face 6a, the other end a vertical end face 6b It intersects with. これにより、垂直端面6aは、第1のコア4a及び第3のコア4cの一方の端面が露出して光接続部が構成され、垂直端面6bは、第1のコア4a及び第3のコア4cの他方の端面が露出して光接続部が構成される。 Thus, the vertical end face 6a, the first core 4a and the one end face is exposed is configured optical connections, vertical end face 6b of the third core 4c, the first core 4a and the third core 4c optical connection portion is constituted by the other end face of the exposure.

また、導波路シート2は、第2のコア4bが第1のコア4aと交差して直線状に延在し、第2のコア4bの一方の端部と交差する辺2cに垂直端面6cを備える。 Further, the waveguide sheet 2, the second core 4b extends linearly intersect the first core 4a, a second vertical end surface 6c to the side 2c intersecting the one end of the core 4b provided. 垂直端面6cは、第2のコア4bの一方の端面が露出して光接続部が構成される。 Vertical end face 6c is an optical connection portion and one end face of the exposure of the second core 4b is formed.

導波路シート2において、第1のコア4a及び第3のコア4cの一方の端部と交差し、各コア4の端面を露出させた垂直端面6aが形成される辺2aと、第1のコア4a及び第3のコア4cのなす角は90度である。 In waveguide sheet 2, and the side 2a of the first core 4a and the third one end portion and intersecting core 4c, vertical end face 6a which expose the end faces of the core 4 is formed, a first core 4a and the angle of the third core 4c is 90 degrees.

また、第1のコア4a及び第3のコア4cの他方の端部と交差し、各コア4の端面を露出させた垂直端面6bが形成される辺2bは、辺2aと平行で、辺2bと、第1のコア4a及び第3のコア4cのなす角は90度である。 The first core 4a and the third intersecting the other end of the core 4c, the side 2b of the vertical end face 6b of the end face is exposed in the core 4 is formed, parallel to the sides 2a, side 2b When, the angle of the first core 4a and the third core 4c is 90 degrees.

更に、第2のコア4bの一方の端部と交差し、第2のコア4bの端面を露出させた垂直端面6cが形成される辺2cと、第2のコア2bのなす角は90度である。 Furthermore, intersects with one end of the second core 4b, and the side 2c of the vertical end surface 6c exposing the end face of the second core 4b is formed, the angle of the second core 2b is 90 degrees is there.

そして、第1のコア4aと第2のコア4bの交差角は鋭角で、例えば45度である。 The crossing angle of the first core 4a and the second core 4b is an acute angle, for example 45 degrees. これにより、辺2aと辺2cのなす角は鈍角、本例では135度である。 Thus, the angle of the sides 2a and the side 2c is obtuse, in this example is 135 degrees.

なお、垂直端面6aと垂直端面6bの間をつなぎ、導波路シート2の側面となる辺2dは、第1のコア4a及び第3のコア4cと平行で各コア4とは交差せず、辺2dと、辺2a及び辺2bのなす角はそれぞれ90度である。 Note that connects between the vertical end face 6a and the vertical end face 6b, side and consisting sides 2d of the waveguide sheet 2 does not intersect the first core 4a and the third core 4c and parallel to each core 4, the side and 2d, the angle of the sides 2a and sides 2b are each 90 degrees.

また、辺2dと対向する辺2eは、各コア4とは交差せず、辺2eと辺2cのなす角は90度、辺2eと辺2bのなす角は135度である。 Further, the side 2e opposite to the sides 2d, not intersect with each core 4, the angle is 90 degrees edges 2e and the side 2c, the angle of the side 2e and the side 2b is 135 degrees.

導波路シート2は、第1のコア4aと第2のコア4bの交差部に挿入溝7を備え、挿入溝7に波長選択フィルタ8が挿入される。 Waveguide sheet 2 is provided with an insertion groove 7 at the intersection of the first core 4a and the second core 4b, the wavelength selection filter 8 is inserted into the insertion groove 7. 挿入溝7は、第1のコア4aと第2のコア4bの交差部を横切る位置に形成され、挿入溝7の対向する側壁面の一方に、第1のコア4a及び第2のコア4bの端面が露出すると共に、他方の側壁面に第1のコア4aの端面が露出する。 Insertion groove 7 is formed at a position crossing the intersection of the first core 4a and the second core 4b, the one side wall surface facing the insertion groove 7, the first core 4a and the second core 4b with the end surface is exposed, end faces of the first core 4a is exposed on the other side wall surface.

波長選択フィルタ8は、任意の波長領域における光を選択的に反射及び透過させる機能を有し、例えば波長λ1の光は反射し、波長λ2の光は透過するように構成される。 Wavelength selection filter 8 has a function of selectively reflecting and transmitting light in any wavelength region, for example, light of wavelength λ1 is reflected configured so that light of a wavelength λ2 is transmitted.

波長選択フィルタ8は、挿入溝7に挿入され、導波路シート2に接着固定される。 Wavelength selection filter 8 is inserted into the insertion groove 7, it is adhesively fixed to the waveguide sheet 2. 波長選択フィルタ8は、第1のコア4aと第2のコア4bの交差部を横切る位置に挿入されており、第1のコア4a及び第2のコア4bを伝搬される光の波長に応じて光路を切り替える。 Wavelength selection filter 8 is inserted into a position crossing the intersection of the first core 4a and the second core 4b, depending on the wavelength of light that is propagated through the first core 4a and the second core 4b switching the optical path.

光導波路モジュール11Aは、第1の発光素子12a及び第2の発光素子12bと、受光素子13を備える。 Optical waveguide module 11A includes a first light emitting element 12a and the second light emitting element 12b, and the light receiving element 13. 第1の発光素子12aと第2の発光素子12bは、端面発光型のレーザダイオード(LD)で、第1の発光素子12aは、導波路シート2の第1のコア4aと光学的に結合するように、導波路シート2の垂直端面6bに対向して実装基板3に実装される。 The first light emitting element 12a and the second light-emitting element 12b is in edge-emitting laser diode (LD), a first light emitting element 12a is first core 4a optically coupled waveguide sheet 2 as is mounted on the mounting board 3 to face the vertical end face 6b of the waveguide sheet 2.

また、第2の発光素子12bは、導波路シート2の第3のコア4cと光学的に結合するように、導波路シート2の垂直端面6bに対向して実装基板3に実装される。 The second light-emitting element 12b, the third core 4c and to optically couple the waveguide sheet 2, is mounted on the mounting board 3 to face the vertical end face 6b of the waveguide sheet 2.

受光素子13は、端面受光型のフォトダイオード(PD)で、導波路シート2の第2のコア4bと光学的に結合するように、導波路シート2の垂直端面6cに対向して実装基板3に実装される。 Light-receiving element 13, the end face light-receiving type photodiode (PD), a waveguide second core 4b and to optically couple the seat 2, the mounting board 3 to face the vertical end surface 6c of the waveguide sheet 2 It is mounted on.

実装基板3は、所定のパターンで電極14が形成され、第1の発光素子12a及び第2の発光素子12bと、受光素子13は、図示しない電子回路等とワイヤボンディング等により電気的に接続される。 Mounting substrate 3, electrodes 14 are formed in a predetermined pattern, a first light-emitting element 12a and the second light emitting element 12b, the light receiving element 13 is electrically connected by an electronic circuit such as a wire bonding or the like (not shown) that.

光導波路モジュール11Aは、光伝送経路を構成する第1の光ファイバ15aと第2の光ファイバ15bを備える。 Optical waveguide module 11A includes a first optical fiber 15a and the second optical fiber 15b constituting the optical transmission path. 第1の光ファイバ15aと第2の光ファイバ15bは、ファイバブロック16に支持され、第1の光ファイバ15aが導波路シート2の第1のコア4aと光学的に結合し、第2の光ファイバ15bが第3のコア4cと光学的に結合するように、導波路シート2の垂直端面6aに対向して実装される。 First optical fiber 15a and the second optical fiber 15b is supported by the fiber block 16, the first optical fiber 15a is attached first core 4a in optical waveguide sheet 2, a second light fiber 15b is such that the third core 4c optically coupled, is mounted to face the vertical end face 6a of the waveguide sheet 2.

<第1の実施の形態の光導波路モジュールの動作例> <Operation Example of the optical waveguide module of the first embodiment>
光導波路モジュール11Aは、図示しない対向機器からの入力信号が波長λ1の光信号で第1の光ファイバ15aから入力される。 Optical waveguide module 11A, the input signal from the counterpart device (not shown) is input from the first optical fiber 15a in the optical signal of the wavelength .lambda.1. 第1の光ファイバ15aは、上述したように導波路シート2の第1のコア4aと光学的に結合している。 The first optical fiber 15a is coupled first core 4a in optical waveguide sheet 2 as described above. これにより、第1の光ファイバ15aを伝搬される入力光信号は、導波路シート2の第1のコア4aに入射して、第1のコア4aを伝搬される。 Thus, the input optical signal propagated the first optical fiber 15a is incident on the first core 4a of the waveguide sheet 2 is propagated through the first core 4a.

導波路シート2の第1のコア4aを伝搬される入力光信号は、波長選択フィルタ8に入射する。 The input optical signal propagated a first core 4a of the waveguide sheet 2 enters the wavelength selection filter 8. 波長選択フィルタ8は、本例では波長λ1の光は反射するので、第1のコア4aを伝搬される波長λ1の入力光信号は、波長選択フィルタ8で反射して、第2のコア4bに入射し、第2のコア4bを伝搬される。 Wavelength selection filter 8, the light is reflected wavelength λ1 in this example, the input optical signal of the wavelength λ1 propagated the first core 4a is reflected by the wavelength selection filter 8, the second core 4b incident, is propagated through the second core 4b.

導波路シート2の第2のコア4bを伝搬される入力光信号は垂直端面6cから出射し、対向する受光素子13の受光部で受光されて、受光素子13で電気信号に変換される。 The input optical signal propagated the second core 4b of the waveguide sheet 2 is emitted from the vertical end surface 6c, is received by the light receiving portion opposing the light receiving element 13, it is converted into an electric signal by the light receiving element 13.

一方、光導波路モジュール11Aでは、電気信号が第1の発光素子12aで光信号に変換される。 On the other hand, the optical waveguide module 11A, the electrical signal is converted into an optical signal by the first light emitting element 12a. ここで、第1の発光素子12aの発振波長はλ2とする。 Here, the oscillation wavelength of the first light emitting element 12a is set to .lambda.2.

第1の発光素子12aの発光部から出射された出力光信号は、導波路シート2の垂直端面6bから第1のコア4aに入射し、第1のコア4aを伝搬される。 Output optical signal emitted from the light emitting portion of the first light-emitting element 12a, from the vertical end face 6b of the waveguide sheet 2 enters the first core 4a, is propagated through the first core 4a. 導波路シート2の第1のコア4aを伝搬される出力光信号は、波長選択フィルタ8に入射する。 Output optical signal propagated a first core 4a of the waveguide sheet 2 enters the wavelength selection filter 8. 波長選択フィルタ8は、上述したように波長λ2の光は透過するので、第1のコア4aを伝搬される波長λ2の出力光信号は、波長選択フィルタ8を透過して先の第1のコア4aに入射し、更に第1のコア4aを伝搬される。 Wavelength selection filter 8, since the light of the wavelength λ2, as described above transmits, output optical signal of the wavelength λ2 is propagated through the first core 4a, a first core previous passes through the wavelength selection filter 8 enters the 4a, it is further propagated through the first core 4a.

そして、導波路シート2の第1のコア4aを伝搬された出力光信号は、第1の光ファイバ15aに入射して、第1の光ファイバ15aを伝搬されて図示しない対向機器で受光される。 Then, the first output optical signal propagated through the core 4a of the waveguide sheet 2 is incident on the first optical fiber 15a, and is received by the counter device (not shown) is propagated through the first optical fiber 15a .

更に、光導波路モジュール11Aでは、電気信号が第2の発光素子12bで光信号に変換される。 Further, the optical waveguide module 11A, the electrical signal is converted into an optical signal by the second light emitting element 12b. 第2の発光素子12bの発光部から出射された出力光信号は、導波路シート2の垂直端面6bから第3のコア4cに入射し、第3のコア4cを伝搬される。 Output optical signal emitted from the light emitting portion of the second light emitting element 12b from the vertical end face 6b of the waveguide sheet 2 enters the third core 4c, is propagated through the third core 4c. 導波路シート2の第3のコア4cを伝搬される出力光信号は、第2の光ファイバ15bに入射して、第2の光ファイバ15bを伝搬されて図示しない対向機器で受光される。 Output optical signal propagated a third core 4c of the waveguide sheet 2 is incident on the second optical fiber 15b, and is received by the counter device (not shown) is propagated through the second optical fiber 15b.

これにより、光導波路モジュール11Aは、波長選択フィルタ8を備えた第1のコア4aと第2のコア4bでは、複数の異なる波長の光信号の分離多重化を行って、1本の光ファイバに複数の異なる波長の光信号を伝送させることが可能となる。 Thus, the optical waveguide module 11A includes the first core 4a and the second core 4b with a wavelength selection filter 8, by performing the separation multiplexing of a plurality of different wavelengths of the optical signal, the single optical fiber it is possible to transmit optical signals of a plurality of different wavelengths.

また、第3のコア4cでは、第1のコア4a及び第2のコア4bと独立して光信号を伝送させることが可能となる。 Further, the third core 4c, it is possible to transmit an optical signal independently of the first core 4a and the second core 4b. これにより、光導波路モジュール11Aは、3種類の信号を送受信できるモジュールとして機能する。 Thus, the optical waveguide module 11A functions as a module that can send and receive three types of signals.

<第2の実施の形態の光導波路モジュールの構成例> <Configuration example of an optical waveguide module of the second embodiment>
図8は第2の実施の形態の光導波路モジュールの一例を示す構成図で、図8(a)は平面図、図8(b)は図8(a)のC−C断面図である。 Figure 8 is a block diagram showing an example of an optical waveguide module of the second embodiment shown in FIG. 8 (a) is a plan view, FIG. 8 (b) is a sectional view taken along line C-C of FIG. 8 (a).

第2の実施の形態の光導波路モジュール11Bは、導波路シート2と、導波路シート2を支持する実装基板3を備える。 Optical waveguide module 11B of the second embodiment includes a waveguide sheet 2, a mounting substrate 3 for supporting a waveguide sheet 2. 導波路シート2は、例えば高分子材料で構成され、コア4とクラッド層5を備えてコア・クラッド構造を有する埋め込み型導波路である。 Waveguide sheet 2, for example, a polymeric material, a buried waveguide having a core-clad structure includes a core 4 and the cladding layer 5. 実装基板3は例えばシリコン(Si)基板であり、表面に導波路シート2が形成される。 Mounting the substrate 3 is a silicon (Si) substrate, for example, waveguide sheet 2 is formed on the surface.

導波路シート2は、コア4として、第1のコア4aと第2のコア4b及び第3のコア4cを備える。 Waveguide sheet 2, as the core 4, comprises a first core 4a and the second core 4b and the third core 4c. また、クラッド層5として、下部クラッド5aと上部クラッド5bを備える。 Also, as the cladding layer 5, it comprises a lower cladding 5a and the upper cladding 5b.

各コア4の構成は、コア径が例えば40×40μm、コア4と下部クラッド5a及び上部クラッド5bの比屈折率差は例えば1.0%で、コア4の屈折率が下部クラッド5a及び上部クラッド5bより若干大きくなるように構成されて、光がコア4に閉じ込められて伝搬される。 Configuration of each core 4, a core diameter of for example 40 × 40 [mu] m, the core 4 and the lower clad 5a and the relative refractive index difference of the upper clad 5b in example 1.0%, a refractive index lower cladding 5a and the upper cladding of the core 4 is configured to be slightly larger than 5b, the light is propagated confined in the core 4.

導波路シート2は、対向する2辺の間を第1のコア4a及び第3のコア4cが直線状に延在し、第1のコア4a及び第3のコア4cの一方の端部側の辺2aにファイバ位置決め溝17を備える。 Waveguide sheet 2, between the two opposite sides a first core 4a and the third core 4c extends in a straight line, the one end portion side of the first core 4a and the third core 4c comprising a fiber positioning groove 17 to the side 2a. また、導波路シート2は、第1のコア4a及び第3のコア4cの他方の端部と交差する辺2bに第1の傾斜端面18aを備える。 Further, the waveguide sheet 2 is provided with a first inclined end surface 18a to the side 2b intersecting the other end of the first core 4a and the third core 4c.

更に、導波路シート2は、第2のコア4bが第1のコア4aと交差して直線状に延在し、第2のコア4bの一方の端部と交差する辺2cに第2の傾斜端面18bを備える。 Furthermore, the waveguide sheet 2, the second core 4b extends linearly intersect the first core 4a, a second inclined edges 2c intersecting the one end of the second core 4b comprising an end face 18b.

ファイバ位置決め溝17は、導波路シート2に接続される第1の光ファイバ15a及び第2の光ファイバ15bが嵌る形状を有する上面が開口した溝が、導波路シート2の端面から第1のコア4a及び第3のコア4cと平行な向きで形成される。 Fiber positioning groove 17, the first optical fiber 15a and a second groove having an upper surface opened with an optical fiber 15b is fitted shape, the first core from the end surface of the waveguide sheet 2 connected to the waveguide sheet 2 formed by 4a and the third core 4c parallel orientation. ファイバ位置決め溝17は、一方のファイバ位置決め溝17の先端には、第1のコア4aの一方の端面が露出して光接続部を構成し、他方のファイバ位置決め溝17の先端には、第3のコア4cの一方の端面が露出して光接続部を構成する。 Fiber positioning groove 17, the distal end of one fiber positioning groove 17, one end surface is exposed to form an optical connection portion of the first core 4a, the tip of the other fiber positioning groove 17, the third one end face is exposed in the core 4c constituting the optical connection portion.

ファイバ位置決め溝17は、断面形状が例えば四角状で、その幅及び深さは、第1の光ファイバ15a及び第2の光ファイバ15bの芯線の直径と略同じに設定される。 Fiber positioning groove 17 is a cross-sectional shape for example a square shape, its width and depth are substantially set to be the same as the diameter of the core wire of the first optical fiber 15a and the second optical fiber 15b. また、第1の光ファイバ15aを一方のファイバ位置決め溝17に嵌めると、導波路シート2の第1のコア4aに対して位置合わせされ、第2の光ファイバ15bを他方のファイバ位置決め溝17に嵌めると、導波路シート2の第3のコア4cに対して位置合わせされるように、各ファイバ位置決め溝17の形成位置が設定される。 Also, when fitting the first optical fiber 15a on one fiber positioning groove 17 is aligned with respect to the first core 4a of the waveguide sheet 2, the second optical fiber 15b to the other fiber positioning groove 17 When fitted, as will be aligned with respect to the third core 4c of the waveguide sheet 2, the formation position of each fiber positioning grooves 17 is set.

これにより、第1の光ファイバ15aを導波路シート2の一方のファイバ位置決め溝17に嵌めると、導波路シート2の第1のコア4aに第1の光ファイバ15aの位置が合うように調芯され、導波路シート2の第1のコア4aの一方の端面と、第1の光ファイバ15aが対向する。 Thus, first the fitting the optical fiber 15a on one fiber positioning groove 17 of the waveguide sheet 2, centering as the position of the first optical fiber 15a is aligned with the first core 4a of the waveguide sheet 2 is, one end face of the first core 4a of the waveguide sheet 2 and, the first optical fiber 15a facing.

また、第2の光ファイバ15bを導波路シート2の他方のファイバ位置決め溝17に嵌めると、導波路シート2の第3のコア4cに第2の光ファイバ15bの位置が合うように調芯され、導波路シート2の第3のコア4cの一方の端面と、第2の光ファイバ15bが対向する。 Also, when fitting the second optical fiber 15b to the other fiber positioning groove 17 of the waveguide sheet 2, the position of the second optical fiber 15b is centering to match the third core 4c of the waveguide sheet 2 , one end face of the third core 4c of the waveguide sheet 2 and, the second optical fiber 15b facing.

なお、ファイバ位置決め溝17は、導波路シート2の端面側にテーパ部17aを形成して、光ファイバ15の挿入工程が容易に行えるようにしてある。 Incidentally, fiber positioning groove 17 is formed a tapered portion 17a on the end face of the waveguide sheet 2, the insertion process of the optical fiber 15 are as easily.

各ファイバ位置決め溝17に挿入された第1の光ファイバ15a及び第2の光ファイバ15bは、ファイバ押え蓋17bにより押えて接着固定される。 First optical fiber 15a and the second optical fiber 15b which is inserted into each fiber positioning groove 17 is adhered and fixed pressing by the fiber holder lid 17b. ファイバ押え蓋17bは、透明な例えばガラス板で構成され、各ファイバ位置決め溝17の上面開口を覆う大きさを有する。 The fiber holder lid 17b is made of a transparent example a glass plate, having a size to cover an upper opening of each fiber positioning groove 17.

第1の傾斜端面18aは、導波路シート2の下面に対して45度に傾斜しており、第1のコア4a及び第3のコア4cの他方の端面が、第1の傾斜端面18aと同一平面に露出している。 The first inclined end face 18a is inclined at 45 degrees to the lower surface of the waveguide sheet 2, the other end face of the first core 4a and the third core 4c is identical to the first inclined end face 18a They are exposed to the plane. そして、第1の傾斜端面18aに露出した第1のコア4aの端面により、光接続部として第1の反射面19aが構成され、第1の傾斜端面18aに露出した第3のコア4cの端面により、光接続部として第3の反射面19cが構成される。 By the end face of the first core 4a exposed to the first inclined end surface 18a, a first reflecting surface 19a is configured as an optical connecting part, the end face of the third core 4c which is exposed to the first inclined end face 18a , the third reflecting surface 19c is formed as an optical connection.

同様に、第2の傾斜端面18bは、導波路シート2の下面に対して45度に傾斜しており、第2のコア4bの一方の端面が、第2の傾斜端面18bと同一平面に露出している。 Similarly, the second inclined end face 18b, to the lower surface of the waveguide sheet 2 is inclined at 45 degrees, one end face of the second core 4b is exposed to the second inclined end surface 18b flush are doing. そして、第2の傾斜端面18bに露出した第2のコア4bの端面により、光接続部として第2の反射面19bが構成される。 By the end face of the second core 4b exposed to the second inclined end face 18b, the second reflecting surface 19b is configured as an optical connection.

導波路シート2において、第1のコア4a及び第3のコア4cの延長線上にあって、ファイバ位置決め溝17が形成される辺2aと、第1のコア4a及び第3のコア4cのなす角は90度である。 In waveguide sheet 2, in the extension of the first core 4a and the third core 4c, and the side 2a of fiber positioning groove 17 is formed, the angle of the first core 4a and the third core 4c is 90 degrees.

また、第1のコア4a及び第3のコア4cの他方の端部と交差し、第1の傾斜端面18aが形成される辺2bは、辺2aと平行で、辺2bと、第1のコア4a及び第3のコア4cのなす角は90度である。 Further, crosses the other end portion of the first core 4a and the third core 4c, the side 2b of the first inclined end face 18a is formed, parallel to the sides 2a, and the side 2b, the first core 4a and the angle of the third core 4c is 90 degrees.

更に、第2のコア4bの一方の端部と交差し、第2の傾斜端面18bが形成される辺2cと、第2のコア2bのなす角は90度である。 Furthermore, intersects with one end of the second core 4b, a side 2c of the second inclined end face 18b is formed, the angle of the second core 2b is 90 degrees.

そして、第1のコア4aと第2のコア4bの交差角は鋭角で、例えば45度である。 The crossing angle of the first core 4a and the second core 4b is an acute angle, for example 45 degrees. これにより、辺2aと辺2cのなす角は鈍角、本例では135度である。 Thus, the angle of the sides 2a and the side 2c is obtuse, in this example is 135 degrees.

なお、導波路シート2の側面となる辺2dは、第1のコア4a及び第3のコア4cと平行で各コア4とは交差せず、辺2dと、辺2a及び辺2bのなす角はそれぞれ90度である。 Incidentally, the side surface become the sides 2d of the waveguide sheet 2, parallel to the first core 4a and the third core 4c and each of the core 4 do not intersect, and the side 2d, the angle of the sides 2a and sides 2b is are each 90 degrees. また、辺2dと対向する辺2eは、辺2dと平行で各コア4とは交差せず、辺2eと辺2bのなす角は90度である。 Also, the sides 2d opposed sides 2e, not intersect with each core 4 parallel to the sides 2d, the angle of the side 2e and the side 2b is 90 degrees.

導波路シート2は、第1のコア4aと第2のコア4bの交差部に挿入溝7を備え、挿入溝7に波長選択フィルタ8が挿入される。 Waveguide sheet 2 is provided with an insertion groove 7 at the intersection of the first core 4a and the second core 4b, the wavelength selection filter 8 is inserted into the insertion groove 7. 挿入溝7は、第1のコア4aと第2のコア4bの交差部を横切る位置に形成され、挿入溝7の対向する側壁面の一方に、第1のコア4a及び第2のコア4bの端面が露出すると共に、他方の側壁面に第1のコア4aの端面が露出する。 Insertion groove 7 is formed at a position crossing the intersection of the first core 4a and the second core 4b, the one side wall surface facing the insertion groove 7, the first core 4a and the second core 4b with the end surface is exposed, end faces of the first core 4a is exposed on the other side wall surface.

波長選択フィルタ8は、任意の波長領域における光を選択的に反射及び透過させる機能を有し、例えば波長λ1の光は反射し、波長λ2の光は透過するように構成される。 Wavelength selection filter 8 has a function of selectively reflecting and transmitting light in any wavelength region, for example, light of wavelength λ1 is reflected configured so that light of a wavelength λ2 is transmitted.

波長選択フィルタ8は、挿入溝7に挿入され、導波路シート2に接着固定される。 Wavelength selection filter 8 is inserted into the insertion groove 7, it is adhesively fixed to the waveguide sheet 2. 波長選択フィルタ8は、第1のコア4aと第2のコア4bの交差部を横切る位置に挿入されており、第1のコア4a及び第2のコア4bを伝搬される光の波長に応じて光路を切り替える。 Wavelength selection filter 8 is inserted into a position crossing the intersection of the first core 4a and the second core 4b, depending on the wavelength of light that is propagated through the first core 4a and the second core 4b switching the optical path.

実装基板3は、第1の面型発光素子(VCSEL)20a及び第2の面型発光素子20bと、面型受光素子(PD)21と、図示しない電子部品等が実装される。 Mounting board 3 has a first surface light-emitting device (VCSEL) 20a and a second surface light-emitting device 20b, and the surface light-receiving device (PD) 21, electronic components (not shown) are mounted. また、実装基板3は、導波路シート2の第1の反射面19aに対向させて第1の面型発光素子20aを実装し、第3の反射面19cに対向させて第2の面型発光素子20bを実装するために第1の実装凹部22aを備えると共に、導波路シート2の第2の反射面19bに対向させて面型受光素子21を実装するために第2の実装凹部22bを備える。 Further, the mounting board 3, the first surface light-emitting device 20a is mounted to face the first reflecting surface 19a of the waveguide sheet 2, the second surface light-emitting to face the third reflecting surface 19c provided with a first mounting recess 22a in order to implement the elements 20b, a second mounting recess 22b to implement the surface light-receiving device 21 are opposed to the second reflecting surface 19b of the waveguide sheet 2 .

第1の実装凹部22a及び第2の実装凹部22bは、実装基板3の表面の一部を凹状にして形成され、例えば第2の実装凹部22bの底面に電極23を備える。 The first mounting recess 22a and the second mounting recess 22b is formed by a portion of the surface of the mounting board 3 in a concave shape, provided with electrodes 23 for example, on the bottom surface of the second mounting recess 22b.

第1の面型発光素子20aは、発光部が導波路シート2の第1の反射面19aと対向するように第1の実装凹部22aに実装され、第1の反射面19aを介して第1のコア4aと光学的に結合する。 The first surface light-emitting device 20a, the light emitting unit is mounted on the first mounting recess 22a so as to face the first reflecting surface 19a of the waveguide sheet 2, the first through the first reflecting surface 19a 1 binding core 4a of the optically.

また、第2の面型発光素子20bは、発光部が導波路シート2の第3の反射面19cと対向するように第1の実装凹部22aに実装され、第3の反射面19cを介して第3のコア4cと光学的に結合する。 The second surface light-emitting device 20b, the light emitting unit is mounted on the first mounting recess 22a to the third reflecting surface 19c and the opposite waveguide sheet 2, via a third reflecting surface 19c third to core 4c optically coupled.

そして、第1の面型発光素子20a及び第2の面型発光素子20bは、図示しない電子部品等とボンディングワイヤ24等により電気的に接続される。 The first surface light-emitting element 20a and a second surface light-emitting device 20b is electrically connected by an electronic component or the like (not shown) and the bonding wire 24 or the like.

面型受光素子21は、受光部が導波路シート2の第2の反射面19bと対向するように第2の実装凹部22bに実装され、第2の反射面19bを介して第2のコア4bと光学的に結合する。 Surface light-receiving element 21 is mounted on the second mounting recess 22b to the light receiving portion faces the second reflecting surface 19b of the waveguide sheet 2, the second core 4b via the second reflecting surface 19b and optically coupled. また、面型受光素子21は、電極23等とボンディングワイヤ24により電気的に接続される。 Further, the surface light-receiving element 21 is electrically connected to the electrode 23 like the bonding wires 24.

<第2の実施の形態の光導波路モジュールの動作例> <Operation Example of the optical waveguide module of the second embodiment>
光導波路モジュール11Bは、図示しない対向機器からの入力信号が波長λ1の光信号で第1の光ファイバ15aから入力される。 Optical waveguide module 11B, the input signal from the counterpart device (not shown) is input from the first optical fiber 15a in the optical signal of the wavelength .lambda.1. 第1の光ファイバ15aは、ファイバ位置決め溝17に挿入されて導波路シート2に固定されることで、上述したように、導波路シート2の第1のコア4aと光学的に結合している。 The first optical fiber 15a, by being inserted into and fixed to the fiber positioning groove 17 to the waveguide sheet 2, as described above, are bonded first core 4a in optical waveguide sheet 2 . これにより、第1の光ファイバ15aを伝搬される入力光信号は、導波路シート2の第1のコア4aに入射して、第1のコア4aを伝搬される。 Thus, the input optical signal propagated the first optical fiber 15a is incident on the first core 4a of the waveguide sheet 2 is propagated through the first core 4a.

導波路シート2の第1のコア4aを伝搬される入力光信号は、波長選択フィルタ8に入射する。 The input optical signal propagated a first core 4a of the waveguide sheet 2 enters the wavelength selection filter 8. 波長選択フィルタ8は、本例では波長λ1の光は反射するので、第1のコア4aを伝搬される波長λ1の入力光信号は、波長選択フィルタ8で反射して、第2のコア4bに入射し、第2のコア4bを伝搬される。 Wavelength selection filter 8, the light is reflected wavelength λ1 in this example, the input optical signal of the wavelength λ1 propagated the first core 4a is reflected by the wavelength selection filter 8, the second core 4b incident, is propagated through the second core 4b.

導波路シート2の第2のコア4bを伝搬される入力光信号は、第2の反射面19bで反射することで光の伝搬方向が90度変換され、導波路シート2の第2の傾斜端面18bの下面側から出射し、対向する面型受光素子21の受光部で受光されて、面型受光素子21で電気信号に変換される。 The input optical signal propagated the second core 4b of the waveguide sheet 2, the propagation direction of the light being reflected by the second reflecting surface 19b is converted by 90 degrees, the second inclined end face of the waveguide sheet 2 emitted from the lower surface side of 18b, is received by the light receiving portion of the opposing surface light-receiving device 21 is converted into an electric signal by the surface light-receiving device 21.

一方、光導波路モジュール11Bでは、電気信号が第1の面型発光素子20aで光信号に変換される。 On the other hand, the optical waveguide module 11B, an electrical signal is converted into an optical signal at a first surface light-emitting device 20a. ここで、第1の面型発光素子20aの発振波長はλ2とする。 Here, the oscillation wavelength of the first surface light-emitting device 20a is set to .lambda.2.

第1の面型発光素子20aの発光部から出射された出力光信号は、導波路シート2の第1の傾斜端面18aの下面側から入射し、第1の反射面19aで反射することで光の伝搬方向が90度変換されて、導波路シート2の第1のコア4aを伝搬される。 Output optical signal emitted from the light emitting portion of the first surface light-emitting device 20a enters from the lower side of the first inclined end surface 18a of the waveguide sheet 2, light being reflected by the first reflecting surface 19a propagation direction is changed by 90 degrees, it is propagated through the first core 4a of the waveguide sheet 2.

導波路シート2の第1のコア4aを伝搬される出力光信号は、波長選択フィルタ8に入射する。 Output optical signal propagated a first core 4a of the waveguide sheet 2 enters the wavelength selection filter 8. 波長選択フィルタ8は、上述したように波長λ2の光は透過するので、第1のコア4aを伝搬される波長λ2の出力光信号は、波長選択フィルタ8を透過して先の第1のコア4aに入射し、更に第1のコア4aを伝搬される。 Wavelength selection filter 8, since the light of the wavelength λ2, as described above transmits, output optical signal of the wavelength λ2 is propagated through the first core 4a, a first core previous passes through the wavelength selection filter 8 enters the 4a, it is further propagated through the first core 4a. そして、導波路シート2の第1のコア4aを伝搬された出力光信号は、第1の光ファイバ15aに入射して、第1の光ファイバ15aを伝搬されて図示しない対向機器で受光される。 Then, the first output optical signal propagated through the core 4a of the waveguide sheet 2 is incident on the first optical fiber 15a, and is received by the counter device (not shown) is propagated through the first optical fiber 15a .

更に、光導波路モジュール11Bでは、電気信号が第2の面型発光素子20bで光信号に変換される。 Further, the optical waveguide module 11B, an electrical signal is converted into an optical signal at a second surface light-emitting device 20b. 第2の面型発光素子20bの発光部から出射された出力光信号は、導波路シート2の第1の傾斜端面18aの下面側から入射し、第3の反射面19cで反射することで光の伝搬方向が90度変換されて、導波路シート2の第3のコア4cを伝搬される。 Output optical signal emitted from the light emitting portion of the second surface light-emitting device 20b is incident from the lower surface of the first inclined end surface 18a of the waveguide sheet 2, light being reflected by the third reflecting surface 19c propagation direction is changed by 90 degrees, it is propagated through the third core 4c of the waveguide sheet 2.

第2の光ファイバ15bは、ファイバ位置決め溝17に挿入されて導波路シート2に固定されることで、上述したように、導波路シート2の第3のコア4cと光学的に結合している。 The second optical fiber 15b, by being inserted into and fixed to the fiber positioning groove 17 to the waveguide sheet 2, as described above, attached third core 4c in optical waveguide sheet 2 . このため、導波路シート2の第3のコア4cを伝搬される出力光信号は、第2の光ファイバ15bに入射して、第2の光ファイバ15bを伝搬されて図示しない対向機器で受光される。 Therefore, the output optical signal propagated a third core 4c of the waveguide sheet 2 is incident on the second optical fiber 15b, is received by the counter device (not shown) is propagated through the second optical fiber 15b that.

これにより、光導波路モジュール11Bは、波長選択フィルタ8を備えた第1のコア4aと第2のコア4bでは、複数の異なる波長の光信号の分離多重化を行って、1本の光ファイバに複数の異なる波長の光信号を伝送させることが可能となる。 Thus, the optical waveguide module 11B is, in the first core 4a and the second core 4b with a wavelength selection filter 8, by performing the separation multiplexing of a plurality of different wavelengths of the optical signal, the single optical fiber it is possible to transmit optical signals of a plurality of different wavelengths.

また、第3のコア4cでは、第1のコア4a及び第2のコア4bと独立して光信号を伝送させることが可能となる。 Further, the third core 4c, it is possible to transmit an optical signal independently of the first core 4a and the second core 4b. これにより、光導波路モジュール11Bは、面型の受発光素子を利用して3種類の信号を送受信できるモジュールとして機能する。 Thus, the optical waveguide module 11B functions as a module that can send and receive three types of signal using the optical element of the planar.

<第3の実施の形態の光導波路モジュールの構成例> <Configuration example of a third embodiment of the optical waveguide module of>
図9は第3の実施の形態の光導波路モジュールの一例を示す平面図である。 Figure 9 is a plan view showing an example of an optical waveguide module of the third embodiment. 第3の実施の形態の光導波路モジュール11Cは、導波路シート2と、導波路シート2を支持する実装基板3を備える。 Optical waveguide module 11C of the third embodiment includes a waveguide sheet 2, a mounting substrate 3 for supporting a waveguide sheet 2. 導波路シート2は、例えば高分子材料で構成され、コア4とクラッド層5を備えてコア・クラッド構造を有する埋め込み型導波路である。 Waveguide sheet 2, for example, a polymeric material, a buried waveguide having a core-clad structure includes a core 4 and the cladding layer 5. 実装基板3は例えばシリコン(Si)基板であり、表面に導波路シート2が形成される。 Mounting the substrate 3 is a silicon (Si) substrate, for example, waveguide sheet 2 is formed on the surface.

導波路シート2は、コア4として、第1のコア4aと第2のコア4b及び第3のコア4dを備える。 Waveguide sheet 2, as the core 4, comprises a first core 4a and the second core 4b and the third core 4d. 各コア4の構成は、コア径が例えば40×40μm、コア4とクラッド層5の比屈折率差は例えば1.0%で、コア4の屈折率がクラッド層5より若干大きくなるように構成されて、光がコア4に閉じ込められて伝搬される。 Configuration of each core 4, a core diameter of for example 40 × 40 [mu] m, the relative refractive index difference between the core 4 and the cladding layer 5 is for example 1.0%, configured so that the refractive index of the core 4 is slightly greater than that of the cladding layer 5 is, light is propagated confined in the core 4.

導波路シート2は、対向する2辺の間を第1のコア4aが直線状に延在し、第1のコア4aの一方の端部側の辺2aにファイバ位置決め溝17を備える。 Waveguide sheet 2, the first core 4a between two opposing sides extend in a straight line, and a fiber positioning groove 17 on one end side of the side 2a of the first core 4a. また、導波路シート2は、第1のコア4aの他方の端部と交差する辺2bに第1の傾斜端面18aを備える。 Further, the waveguide sheet 2 is provided with a first inclined end surface 18a to the side 2b intersecting the other end of the first core 4a.

更に、導波路シート2は、第2のコア4bが第1のコア4aと交差して直線状に延在し、第2のコア4bの一方の端部と交差する辺2cに第2の傾斜端面18bを備える。 Furthermore, the waveguide sheet 2, the second core 4b extends linearly intersect the first core 4a, a second inclined edges 2c intersecting the one end of the second core 4b comprising an end face 18b.

また、導波路シート2は、第3のコア4dが第2のコア4bと交差して直線状に延在する。 Further, the waveguide sheet 2, third core 4d extend linearly intersect the second core 4b. 第3のコア4dは第1のコア4aと平行で、一方の端部が第2のコア4bと交差し、他方の端部が第1の傾斜端面18aと交差する。 Third core 4d is parallel to the first core 4a, one end crosses the second core 4b, the other end crosses the first inclined end face 18a.

ファイバ位置決め溝17は、導波路シート2に接続される光ファイバ15が嵌る形状を有する上面が開口した溝が、導波路シート2の端面から第1のコア4aと平行な向きで形成され、ファイバ位置決め溝17の先端には、第1のコア4aの一方の端面が露出して光接続部を構成する。 Fiber positioning groove 17 has an upper surface having a shape that the optical fiber 15 connected to the waveguide sheet 2 is fitted is open groove is formed from the end face of the waveguide sheet 2 in the first core 4a and parallel orientation, fiber the tip of the positioning groove 17, one end face of the first core 4a constitute an optical connection portion is exposed.

ファイバ位置決め溝17は、断面形状が例えば四角状で、その幅及び深さは、光ファイバ15の芯線の直径と略同じに設定される。 Fiber positioning groove 17 is a cross-sectional shape for example a square shape, its width and depth are substantially set to be the same as the diameter of the core wire of the optical fiber 15. また、光ファイバ15をファイバ位置決め溝17に嵌めると、導波路シート2の第1のコア4aに対して位置合わせされるように、ファイバ位置決め溝17の形成位置が設定される。 Also, when fitting the optical fiber 15 to the fiber positioning groove 17, so as to be aligned with respect to the first core 4a of the waveguide sheet 2, the formation position of the fiber positioning groove 17 is set.

これにより、光ファイバ15を導波路シート2のファイバ位置決め溝17に嵌めると、導波路シート2の第1のコア4aに光ファイバ15の位置が合うように調芯され、導波路シート2の第1のコア4aの一方の端面と、光ファイバ15が対向する。 Thus, when fitting the optical fiber 15 to the fiber positioning groove 17 of the waveguide sheet 2, the position of the first optical fiber 15 to the core 4a of the waveguide sheet 2 is centering to match, the waveguide sheet 2 a and one end surface of the first core 4a, the optical fiber 15 faces.

なお、ファイバ位置決め溝17は、導波路シート2の端面側にテーパ部17aを形成して、光ファイバ15の挿入工程が容易に行えるようにしてある。 Incidentally, fiber positioning groove 17 is formed a tapered portion 17a on the end face of the waveguide sheet 2, the insertion process of the optical fiber 15 are as easily.

ファイバ位置決め溝17に挿入された光ファイバ15は、ファイバ押え蓋17bにより押えて接着固定される。 Optical fiber 15 inserted in the fiber positioning groove 17 is adhered and fixed pressing by the fiber holder lid 17b. ファイバ押え蓋17bは、透明な例えばガラス板で構成され、ファイバ位置決め溝17の上面開口を覆う大きさを有する。 The fiber holder lid 17b is made of a transparent example a glass plate, having a size to cover an upper opening of the fiber positioning groove 17.

第1の傾斜端面18aは、導波路シート2の下面に対して45度に傾斜しており、第1のコア4a及び第3のコア4dの他方の端面が、第1の傾斜端面18aと同一平面に露出している。 The first inclined end face 18a is inclined at 45 degrees to the lower surface of the waveguide sheet 2, the other end face of the first core 4a and the third core 4d is the same as the first inclined end face 18a They are exposed to the plane. そして、第1の傾斜端面18aに露出した第1のコア4aの端面により、第1の反射面19aが構成され、第1の傾斜端面18aに露出した第3のコア4dの端面により、第3の反射面19dが構成される。 By the end face of the first core 4a exposed to the first inclined end surface 18a, a first reflecting surface 19a is formed by the end surface of the third core 4d exposed to the first inclined end surface 18a, the third the reflective surface 19d of is configured.

同様に、第2の傾斜端面18bは、導波路シート2の下面に対して45度に傾斜しており、第2のコア4bの一方の端面が、第2の傾斜端面18bと同一平面に露出している。 Similarly, the second inclined end face 18b, to the lower surface of the waveguide sheet 2 is inclined at 45 degrees, one end face of the second core 4b is exposed to the second inclined end surface 18b flush are doing. そして、第2の傾斜端面18bに露出した第2のコア4bの端面により、第2の反射面19bが構成される。 By the end face of the second core 4b exposed to the second inclined end face 18b, the second reflecting surface 19b is formed.

導波路シート2において、第1のコア4aの延長線上にあって、ファイバ位置決め溝17が形成される辺2aと、第1のコア4aのなす角は90度である。 In waveguide sheet 2, in the extension of the first core 4a, and the side 2a of fiber positioning groove 17 is formed, the angle of the first core 4a is 90 degrees.

また、第1のコア4a及び第3のコア4dの他方の端部と交差し、第1の傾斜端面18aが形成される辺2bは、辺2aと平行で、辺2bと、第1のコア4a及び第3のコア4dのなす角は90度である。 Further, crosses the other end portion of the first core 4a and the third core 4d, side 2b of the first inclined end face 18a is formed, parallel to the sides 2a, and the side 2b, the first core 4a and the angle of the third core 4d is 90 degrees.

更に、第2のコア4bの一方の端部と交差し、第2の傾斜端面18bが形成される辺2cと、第2のコア2bのなす角は90度である。 Furthermore, intersects with one end of the second core 4b, a side 2c of the second inclined end face 18b is formed, the angle of the second core 2b is 90 degrees.

そして、第1のコア4aと第2のコア4bの交差角は鋭角で、例えば45度である。 The crossing angle of the first core 4a and the second core 4b is an acute angle, for example 45 degrees. これにより、辺2aと辺2cのなす角は鈍角、本例では135度である。 Thus, the angle of the sides 2a and the side 2c is obtuse, in this example is 135 degrees. ここで、第3のコア4dは第1のコア4aと平行であるので、第3のコア4dと第2のコア4bの交差各は鋭角で、ここでは45度である。 Here, the third core 4d is because it is parallel to the first core 4a, crossing each of the third core 4d and the second core 4b is at an acute angle, here 45 degrees.

なお、導波路シート2の側面となる辺2dは、第1のコア4aと平行で各コア4とは交差せず、辺2dと、辺2a及び辺2bのなす角はそれぞれ90度である。 Incidentally, the side surface become the sides 2d of the waveguide sheet 2, parallel to the first core 4a and each of the core 4 do not intersect, and the side 2d, the angle between the sides 2a and sides 2b are each 90 degrees. また、辺2dと対向する辺2eは、辺2dと平行で各コア4とは交差せず、辺2eと辺2bのなす角は90度である。 Also, the sides 2d opposed sides 2e, not intersect with each core 4 parallel to the sides 2d, the angle of the side 2e and the side 2b is 90 degrees.

導波路シート2は、第1のコア4aと第2のコア4bの交差部に第1の挿入溝7aを備え、第1の挿入溝7aに第1の波長選択フィルタ8aが挿入される。 Waveguide sheet 2 is provided with a first insertion groove 7a to the intersection of the first core 4a and the second core 4b, the first wavelength selective filter 8a is inserted into the first insertion groove 7a. 第1の挿入溝7aは、第1のコア4aと第2のコア4bの交差部を横切る位置に形成され、第1の挿入溝7aの対向する側壁面の一方に、第1のコア4a及び第2のコア4bの端面が露出すると共に、他方の側壁面に第1のコア4aの端面が露出する。 First insertion groove 7a is formed at a position crossing the intersection of the first core 4a and the second core 4b, the one side wall surface facing the first insertion groove 7a, and the first core 4a with the end face of the second core 4b is exposed, the end faces of the first core 4a is exposed on the other side wall surface.

第1の波長選択フィルタ8aは、任意の波長領域における光を選択的に反射及び透過させる機能を有し、例えば波長λ1及び波長λ3の光は反射し、波長λ2の光は透過するように構成される。 The first wavelength selective filter 8a has a function of selectively reflecting and transmitting light in any wavelength region, for example, light of the wavelength λ1 and wavelength λ3 is reflected, configured so that light of a wavelength λ2 is transmitted It is.

第1の波長選択フィルタ8aは、第1の挿入溝7aに挿入され、導波路シート2に接着固定される。 The first wavelength selective filter 8a is inserted into the first insertion groove 7a, it is adhesively fixed to the waveguide sheet 2. 第1の波長選択フィルタ8aは、第1のコア4aと第2のコア4bの交差部を横切る位置に挿入されており、第1のコア4a及び第2のコア4bを伝搬される光の波長に応じて光路を切り替える。 The first wavelength selective filter 8a is inserted into a position crossing the intersection of the first core 4a and the second core 4b, the wavelength of light that is propagated through the first core 4a and the second core 4b switching the optical path in accordance with the.

導波路シート2は、第2のコア4bと第3のコア4dの交差部に第2の挿入溝7bを備え、第2の挿入溝7bに第2の波長選択フィルタ8bが挿入される。 Waveguide sheet 2 is provided with a second insertion groove 7b to the intersection of the second core 4b and the third core 4d, the second wavelength selective filter 8b is inserted into the second insertion groove 7b. 第2の挿入溝7bは、第2のコア4bと第3のコア4dの交差部を横切る位置に形成され、第2の挿入溝7bの対向する側壁面の一方に、第2のコア4bの端面が露出すると共に、他方の側壁面に第2のコア4b及び第3のコア4dの端面が露出する。 Second insertion groove 7b is formed at a position crossing the intersection of the second core 4b and the third core 4d, the one side wall surface facing the second insertion groove 7b, the second core 4b with the end surface is exposed, the end face of the second core 4b and the third core 4d is exposed to the other side wall surface.

第2の波長選択フィルタ8bは、任意の波長領域における光を選択的に反射及び透過させる機能を有し、例えば波長λ3の光は反射し、波長λ1の光は透過するように構成される。 The second wavelength selective filter 8b has a function of selectively reflecting and transmitting light in any wavelength region, for example, light of wavelength λ3 is reflected configured to light of wavelength λ1 is transmitted.

第2の波長選択フィルタ8bは、第2の挿入溝7bに挿入され、導波路シート2に接着固定される。 The second wavelength selective filter 8b is inserted into the second insertion groove 7b, it is adhesively fixed to the waveguide sheet 2. 第2の波長選択フィルタ8bは、第2のコア4bと第3のコア4dの交差部を横切る位置に挿入されており、第2のコア4b及び第3のコア4dを伝搬される光の波長に応じて光路を切り替える。 The second wavelength selective filter 8b is inserted into a position crossing the intersection of the second core 4b and the third core 4d, the wavelength of light propagating second cores 4b and the third core 4d switching the optical path in accordance with the.

実装基板3は、第1の面型発光素子(VCSEL)20a及び第2の面型発光素子20bと、面型受光素子(PD)21と、図示しない電子部品等が実装される。 Mounting board 3 has a first surface light-emitting device (VCSEL) 20a and a second surface light-emitting device 20b, and the surface light-receiving device (PD) 21, electronic components (not shown) are mounted. また、実装基板3は、導波路シート2の第1の反射面19aに対向させて第1の面型発光素子20aを実装し、第3の反射面19dに対向させて第2の面型発光素子20bを実装するために第1の実装凹部22aを備えると共に、導波路シート2の第2の反射面19bに対向させて面型受光素子21を実装するために第2の実装凹部22bを備える。 Further, the mounting board 3, the first surface light-emitting device 20a is mounted to face the first reflecting surface 19a of the waveguide sheet 2, the second surface light-emitting to face the third reflecting surface 19d provided with a first mounting recess 22a in order to implement the elements 20b, a second mounting recess 22b to implement the surface light-receiving device 21 are opposed to the second reflecting surface 19b of the waveguide sheet 2 .

第1の実装凹部22a及び第2の実装凹部22bは、実装基板3の表面の一部を凹状にして形成され、例えば第2の実装凹部22bの底面に電極23を備える。 The first mounting recess 22a and the second mounting recess 22b is formed by a portion of the surface of the mounting board 3 in a concave shape, provided with electrodes 23 for example, on the bottom surface of the second mounting recess 22b.

第1の面型発光素子20aは、発光部が導波路シート2の第1の反射面19aと対向するように第1の実装凹部22aに実装され、第1の反射面19aを介して第1のコア4aと光学的に結合する。 The first surface light-emitting device 20a, the light emitting unit is mounted on the first mounting recess 22a so as to face the first reflecting surface 19a of the waveguide sheet 2, the first through the first reflecting surface 19a 1 binding core 4a of the optically.

また、第2の面型発光素子20bは、発光部が導波路シート2の第3の反射面19dと対向するように第1の実装凹部22aに実装され、第3の反射面19dを介して第3のコア4dと光学的に結合する。 The second surface light-emitting device 20b, the light emitting unit is mounted on the first mounting recess 22a to the third reflecting surface 19d facing the waveguide sheet 2 via the third reflecting surface 19d the third to the core 4d optically coupled.

そして、第1の面型発光素子20a及び第2の面型発光素子20bは、図示しない電子部品等とボンディングワイヤ24等により電気的に接続される。 The first surface light-emitting element 20a and a second surface light-emitting device 20b is electrically connected by an electronic component or the like (not shown) and the bonding wire 24 or the like.

面型受光素子21は、受光部が導波路シート2の第2の反射面19bと対向するように第2の実装凹部22bに実装され、第2の反射面19bを介して第2のコア4bと光学的に結合する。 Surface light-receiving element 21 is mounted on the second mounting recess 22b to the light receiving portion faces the second reflecting surface 19b of the waveguide sheet 2, the second core 4b via the second reflecting surface 19b and optically coupled. また、面型受光素子21は、電極23等とボンディングワイヤ24により電気的に接続される。 Further, the surface light-receiving element 21 is electrically connected to the electrode 23 like the bonding wires 24.

<第3の実施の形態の光導波路モジュールの動作例> <Operation Example of the optical waveguide module of the third embodiment>
光導波路モジュール11Cは、図示しない対向機器からの入力信号が波長λ1の光信号で光ファイバ15から入力される。 Optical waveguide module 11C, the input signal from the counterpart device (not shown) is input from the optical fiber 15 in the optical signal of the wavelength .lambda.1. 光ファイバ15は、ファイバ位置決め溝17に挿入されて導波路シート2に固定されることで、上述したように、導波路シート2の第1のコア4aと光学的に結合している。 Optical fiber 15, by being inserted into and fixed to the fiber positioning groove 17 to the waveguide sheet 2, as described above, are bonded first core 4a in optical waveguide sheet 2. これにより、光ファイバ15を伝搬される入力光信号は、導波路シート2の第1のコア4aに入射して、第1のコア4aを伝搬される。 Thus, the input optical signal propagated through the optical fiber 15 is incident on the first core 4a of the waveguide sheet 2 is propagated through the first core 4a.

導波路シート2の第1のコア4aを伝搬される入力光信号は、第1の波長選択フィルタ8aに入射する。 The input optical signal propagated a first core 4a of the waveguide sheet 2 is incident on the first wavelength selective filter 8a. 第1の波長選択フィルタ8aは、本例では波長λ1の光は反射するので、第1のコア4aを伝搬される波長λ1の入力光信号は、第1の波長選択フィルタ8aで反射して、第2のコア4bに入射し、第2のコア4bを伝搬される。 The first wavelength selective filter 8a, since the light reflected wavelength λ1 in this example, the input optical signal of the wavelength λ1 propagated the first core 4a is reflected by the first wavelength selective filter 8a, enters the second core 4b, is propagated through the second core 4b.

導波路シート2の第2のコア4bを伝搬される入力光信号は、第2の波長選択フィルタ8bに入射する。 The input optical signal propagated the second core 4b of the waveguide sheet 2 enters the second wavelength selective filter 8b. 第2の波長選択フィルタ8bは、本例では波長λ1の光は透過するので、第2のコア4bを伝搬される波長λ1の入力光信号は、第2の波長選択フィルタ8bを透過して、更に先の第2のコア4bに入射し、第2のコア4bを伝搬される。 The second wavelength selective filter 8b, because the light of the wavelength λ1 is transmitted in this example, the input optical signal of the wavelength λ1 propagated the second core 4b is transmitted through the second wavelength selective filter 8b, Furthermore incident on the second core 4b of previously propagated the second core 4b.

導波路シート2の第2のコア4bを更に伝搬される入力光信号は、第2の反射面19bで反射することで光の伝搬方向が90度変換され、導波路シート2の第2の傾斜端面18bの下面側から出射し、対向する面型受光素子21の受光部で受光されて、面型受光素子21で電気信号に変換される。 Further input optical signal propagated the second core 4b of the waveguide sheet 2, the propagation direction of the light being reflected by the second reflecting surface 19b is converted by 90 degrees, a second slope of the waveguide sheet 2 emitted from the lower surface side of the end surface 18b, is received by the light receiving portion of the opposing surface light-receiving device 21 is converted into an electric signal by the surface light-receiving device 21.

一方、光導波路モジュール11Cでは、電気信号が第1の面型発光素子20aで光信号に変換される。 On the other hand, the optical waveguide module 11C, the electrical signal is converted into an optical signal at a first surface light-emitting device 20a. ここで、第1の面型発光素子20aの発振波長はλ2とする。 Here, the oscillation wavelength of the first surface light-emitting device 20a is set to .lambda.2.

第1の面型発光素子20aの発光部から出射された出力光信号は、導波路シート2の第1の傾斜端面18aの下面側から入射し、第1の反射面19aで反射することで光の伝搬方向が90度変換されて、導波路シート2の第1のコア4aを伝搬される。 Output optical signal emitted from the light emitting portion of the first surface light-emitting device 20a enters from the lower side of the first inclined end surface 18a of the waveguide sheet 2, light being reflected by the first reflecting surface 19a propagation direction is changed by 90 degrees, it is propagated through the first core 4a of the waveguide sheet 2.

導波路シート2の第1のコア4aを伝搬される出力光信号は、第1の波長選択フィルタ8aに入射する。 Output optical signal propagated a first core 4a of the waveguide sheet 2 is incident on the first wavelength selective filter 8a. 第1の波長選択フィルタ8aは、上述したように波長λ2の光は透過するので、第1のコア4aを伝搬される波長λ2の出力光信号は、第1の波長選択フィルタ8aを透過して先の第1のコア4aに入射し、更に第1のコア4aを伝搬される。 The first wavelength selective filter 8a, since the light of the wavelength λ2, as described above transmits, output optical signal of the wavelength λ2 is propagated through the first core 4a is transmitted through the first wavelength selective filter 8a incident on the first core 4a previous, further propagating the first core 4a. そして、導波路シート2の第1のコア4aを伝搬された出力光信号は、光ファイバ15に入射して、光ファイバ15を伝搬されて図示しない対向機器で受光される。 Then, the first output optical signal propagated through the core 4a of the waveguide sheet 2 is incident on the optical fiber 15, and is received by the counter device (not shown) is propagated through the optical fiber 15.

更に、光導波路モジュール11Cでは、電気信号が第2の面型発光素子20bで光信号に変換される。 Further, the optical waveguide module 11C, the electrical signal is converted into an optical signal at a second surface light-emitting device 20b. ここで、第2の面型発光素子20bの発振波長はλ3とする。 Here, the oscillation wavelength of the second surface light-emitting device 20b is set to [lambda] 3.

第2の面型発光素子20bの発光部から出射された出力光信号は、導波路シート2の第1の傾斜端面18aの下面側から入射し、第3の反射面19dで反射することで光の伝搬方向が90度変換されて、導波路シート2の第3のコア4dを伝搬される。 Output optical signal emitted from the light emitting portion of the second surface light-emitting device 20b is incident from the lower surface of the first inclined end surface 18a of the waveguide sheet 2, light being reflected by the third reflecting surface 19d propagation direction is changed by 90 degrees, it is propagated through the third core 4d of the waveguide sheet 2.

導波路シート2の第3のコア4dを伝搬される出力光信号は、第2の波長選択フィルタ8bに入射する。 Output optical signal propagated a third core 4d of the waveguide sheet 2 enters the second wavelength selective filter 8b. 第2の波長選択フィルタ8bは、本例では波長λ3の光は反射するので、第3のコア4dを伝搬される波長λ3の出力光信号は、第2の波長選択フィルタ8bで反射して、第2のコア4bに入射し、第2のコア4bを伝搬される。 The second wavelength selective filter 8b, since the light reflected wavelength λ3 in this example, the output optical signal of the wavelength λ3 which is propagated through the third core 4d is reflected by the second wavelength selective filter 8b, enters the second core 4b, is propagated through the second core 4b.

導波路シート2の第2のコア4bを伝搬される出力光信号は、第1の波長選択フィルタ8aに入射する。 Output optical signal propagated the second core 4b of the waveguide sheet 2 is incident on the first wavelength selective filter 8a. 第1の波長選択フィルタ8aは、本例では波長λ3の光は反射するので、第2のコア4bを伝搬される波長λ3の出力光信号は、第1の波長選択フィルタ8aで反射して、第1のコア4aに入射し、第1のコア4aを伝搬される。 The first wavelength selective filter 8a, since the light reflected wavelength λ3 in this example, the output optical signal of the wavelength λ3 which is propagated through the second core 4b is reflected by the first wavelength selective filter 8a, incident on the first core 4a, is propagated through the first core 4a.

そして、導波路シート2の第1のコア4aを伝搬された出力光信号は、光ファイバ15に入射して、光ファイバ15を伝搬されて図示しない対向機器で受光される。 Then, the first output optical signal propagated through the core 4a of the waveguide sheet 2 is incident on the optical fiber 15, and is received by the counter device (not shown) is propagated through the optical fiber 15.

これにより、光導波路モジュール11Cは、第1の波長選択フィルタ8aを備えた第1のコア4aと第2のコア4bでは、複数の異なる波長の光信号の分離多重化を行って、異なる波長の光信号を伝送させることが可能となる。 Thus, the optical waveguide module 11C includes the first core 4a and the second core 4b with a first wavelength selective filter 8a, performs division multiplexing of a plurality of different wavelengths of light signals of different wavelengths it is possible to transmit an optical signal.

同様に、第2の波長選択フィルタ8bを備えた第2のコア4bと第3のコア4dでは、複数の異なる波長の光信号の分離多重化を行って、異なる波長の光信号を伝送させることが可能となる。 Similarly, in the second core 4b and the third core 4d having the second wavelength selective filter 8b, to perform separation multiplexing of a plurality of different wavelengths of the optical signal, to transmit the optical signals of different wavelengths it is possible.

これにより、光導波路モジュール11Cは、面型の受発光素子を利用して3種類の信号を1本の光ファイバ15で送受信できるモジュールとして機能する。 Thus, the optical waveguide module 11C serves the three kinds of signals by using a light emitting and receiving elements of the surface-type as a module that can send and receive a single optical fiber 15.

<各実施の形態の光導波路モジュールの作用効果> <Operation and Effect of the optical waveguide module of the Embodiment>
上述した光導波路モジュール11A及び光導波路モジュール11Bは、例えば図1で説明した配置で第1のコア4a及び第2のコア4bが形成された導波路シート2を備えることで、第1のコア4aと第2のコア4bは鋭角で交差することになる。 Optical waveguide module 11A and the optical waveguide module 11B described above is provided with the waveguide sheet 2 in which the first core 4a and the second core 4b in the arrangement described is formed in FIG. 1, for example, first core 4a When the second core 4b will intersect at an acute angle. これにより、波長選択フィルタ8で反射される際の入射角は45度未満となる。 Accordingly, the incident angle when reflected by the wavelength selection filter 8 is less than 45 degrees.

従って、波長選択フィルタ8の反射率及び透過率の偏波依存性を低減することができ、狭い波長範囲で一方の光は透過させ、他方の波長の光は反射させようとする場合に起こる光の損失を小さく抑えることができる。 Therefore, it is possible to reduce the polarization dependence of the reflectance and transmittance of the wavelength selection filter 8, is one of the light in a narrow wavelength range is transmitted through the light occurs when the light of the other wavelengths to try reflected it is possible to suppress the loss of small.

更に、第1コア4aと第2のコア4bは、従来のように曲線部を設ける必要がないので、光損失の増加を伴わずに小型化が可能となる。 Further, the first core 4a and the second core 4b, since conventional is not necessary to provide a curved portion so miniaturization is possible without an increase in optical loss.

また、第1のコア4a及び第2のコア4bと独立して第3のコア4cを備えることで、例えば映像信号のような高速信号を第3のコア4cを用いて送信し、クロック信号や制御信号等の低速信号を第1のコア4a及び第2のコア4bで送受信することで、干渉や劣化に弱い高速信号を独立した送信経路で送信でき、比較的干渉や劣化に強い低速信号の送受信を1本の経路で行うことが可能となる。 Further, by providing the third core 4c independently of the first core 4a and the second core 4b, for example, it transmits a high speed signal such as a video signal using a third core 4c, the clock signal Ya the low-speed signal such as control signal by transmitting and receiving at the first core 4a and the second core 4b, interference or a weak high-speed signals to the deterioration can be sent in a separate transmission path, a strong low-speed signals in a relatively interference and degradation it is possible to transmit and receive a single path. これにより、小型で高性能な送受信モジュールを実現することができる。 Thus, it is possible to realize a high-performance transceiver module compact.

さて、一般的に、安価な受発光素子や、短波長の受発光素子には、面受発光型の形態のものが多い。 Now, in general, and inexpensive light emitting and receiving element, the optical element having a short wavelength, in the form of a surface light emitting and receiving type there are many. 第2の実施の形態の光導波路モジュール11B及び第3の実施の形態の導波路シート2のように、光を入出射する辺に傾斜端面を形成して反射面を備えることで、導波路シート2に対する光の入出射の方向が垂直方向となる。 As waveguide sheet 2 of the second embodiment of the optical waveguide module 11B and the third embodiment, by forming the inclined end face side of input and output light comprises a reflecting surface, the waveguide sheet direction of light incidence and emission for 2 becomes vertical.

これにより、面型発光素子20及び面型受光素子21を、実装基板3とは独立した実装用キャリアを利用することなく実装基板3に実装できる。 Thus, the surface light-emitting device 20 and the surface light-receiving device 21, and the mounting board 3 can be mounted on the mounting board 3 without using a separate mounting carrier. よって、低コストな送受信モジュールを提供することができる。 Therefore, it is possible to provide an inexpensive transceiver module.

更に、光導波路モジュール11Cは、例えば図1で説明した配置の第1のコア4a及び第2のコア4bに加えて、第2のコア4bと交差する第3のコア4dを備え、かつ、第2のコア4bと第3のコア4dの交差角が鋭角となるようにした。 Moreover, optical waveguide module 11C, for example in addition to the first core 4a and the second core 4b of the arrangement described in FIG. 1, includes a third core 4d intersecting the second core 4b, and the crossing angle of the two cores 4b and the third core 4d is set to be an acute angle.

これにより、第1の波長選択フィルタ8a及び第2の波長選択フィルタ8bの反射率及び透過率の偏波依存性を低減することができ、狭い波長範囲で一方の光は透過させ、他方の波長の光は反射させようとする場合に起こる光の損失を小さく抑えることができる。 Thus, it is possible to reduce the polarization dependence of the reflectance and transmittance of the first wavelength selective filter 8a and the second wavelength selective filter 8b, one light in the narrow wavelength range is transmitted through the other wavelength of light can be minimized the loss of light that occurs when attempting to reflection.

また、第3のコア4dも曲線部を設ける必要がないので、光損失の増加を伴わずに小型化が可能となる。 Further, since the third core 4d also not necessary to provide a curved portion, miniaturization is possible without an increase in optical loss.

更に、1本の伝送経路で全ての信号を送受信できるので、より一層小型の波長多重送受信モジュールを実現できる。 Furthermore, it is possible to transmit and receive all signals in one transmission path can be realized a more compact wavelength multiplexing transceiver module. また、コア数を増やすことで、簡単に波長多重数を増加させることができる。 Further, by increasing the number of cores, it is possible to easily increase the number of multiplexed wavelengths.

本発明は、電子機器のボード間やチップ間の光通信モジュールや、光ファイバを利用した通信ケーブルのコネクタ等に適用される。 The invention, and the optical communication module between and between chips of the electronic device board, is applied to a connector of a communication cable using the optical fiber.

第1の実施の形態の光導波路の一例を示す構成図である。 Is a block diagram showing an example of an optical waveguide of the first embodiment. 第2の実施の形態の光導波路の一例を示す平面図である。 Is a plan view showing an example of an optical waveguide of the second embodiment. 第3の実施の形態の光導波路の一例を示す平面図である。 Is a plan view showing an example of an optical waveguide of the third embodiment. 第1の実施の形態の光導波路の作製工程の一部を示す平面図である。 It is a plan view showing a part of manufacturing process of the optical waveguide of the first embodiment. 第2の実施の形態の光導波路の作製工程の一部を示す平面図である。 It is a plan view showing a part of manufacturing process of the optical waveguide of the second embodiment. 第3の実施の形態の光導波路の作製工程の一部を示す平面図である。 Is a plan view showing a part of a third embodiment of the optical waveguide manufacturing process. 第1の実施の形態の光導波路モジュールの一例を示す構成図である。 Is a block diagram showing an example of an optical waveguide module of the first embodiment. 第2の実施の形態の光導波路モジュールの一例を示す構成図である。 Is a block diagram showing an example of an optical waveguide module of the second embodiment. 第3の実施の形態の光導波路モジュールの一例を示す平面図である。 Is a plan view showing an example of an optical waveguide module of the third embodiment. 従来の光モジュールの一例を示す平面図である。 Is a plan view showing an example of a conventional optical module. 従来の光導波路の作製工程の一部を示す平面図である。 Is a plan view showing a part of a conventional optical waveguide manufacturing process.

符号の説明 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1・・・光導波路モジュール、2・・・導波路シート、3・・・実装基板、4・・・コア、5・・・クラッド層、6・・・垂直端面、7・・・挿入溝、8・・・波長選択フィルタ、11・・・光導波路モジュール、12・・・発光素子、13・・・受光素子、15・・・光ファイバ、16・・・ファイバブロック、17・・・ファイバ位置決め溝、18・・・傾斜端面、19・・・反射面、20・・・面型発光素子、21・・・面型受光素子、22・・・実装凹部、23・・・電極 1 ... optical waveguide module, 2 ... waveguide sheet, 3 ... mounting board, 4 ... core, 5 ... clad layer, 6 ... vertical end face, 7 ... insertion groove, 8 ... wavelength filter, 11 ... optical waveguide module, 12 ... light emitting element, 13 ... light-receiving element, 15 ... optical fiber, 16 ... fiber block, 17 ... fiber positioning groove, 18 ... inclined end face, 19 ... reflecting surface, 20 ... surface-emitting device, 21 ... surface-type light receiving element, 22 ... mounting recess 23 ... electrode

Claims (7)

  1. コアとクラッドを備えた光導波路において、 In the optical waveguide having a core and a cladding,
    少なくとも1本以上のコアからなる第1のコア群と、 A first core group of at least one or more cores,
    少なくとも1本以上のコアからなり、かつ前記第1のコア群のコアと交差する第2のコア群と、 Consists of at least one or more cores, and the second core group intersecting the first core group of the core,
    前記第1のコア群と前記第2のコア群とが交差する交差部に形成され、任意の波長領域の光を選択的に反射及び透過させ、光の波長により光路を切り替える波長選択フィルタが挿入される挿入溝とを備え、 The first core group and the second core group formed at the intersection of intersecting, selectively reflecting and transmits light of an arbitrary wavelength region, the wavelength selection filter is inserted to switch the optical path by a wavelength of light and a insertion groove to be,
    前記第1のコア群は、前記クラッドの対向する第1の辺と第2の辺の間を、直線状で、かつ前記第1の辺及び第2の辺に対して略垂直に延在し、前記第1の辺と前記第2の辺に、前記第1のコア群に対する光接続部を備え、 The first core group, between the first side and second side opposite of the cladding, straight and extends substantially perpendicular to the first side and a second side , the first side and the second side, provided with an optical connection to the first core groups,
    前記第2のコア群は、前記クラッドの前記第1の辺と交差する第3の辺に対して略垂直に延在し、前記第3の辺に、前記第2のコア群に対する光接続部を備え、 The second core group, the extending substantially perpendicular to the third side intersecting the first side of the cladding, the third side, the optical connection to the second core groups equipped with a,
    前記クラッドの前記第3の辺を、前記第1の辺と鈍角をなす向きで交差させ、前記第2のコア群と前記第1のコア群とのなす角を鋭角とした ことを特徴とする光導波路。 Said third side of said cladding, said crossed with the first side and the direction of an obtuse angle, characterized in that the angle between the first core group and the second core group and the acute angle optical waveguide.
  2. 前記第2の辺に形成される前記第1のコア群に対する光接続部または前記第3の辺に形成される前記第2のコア群に対する光接続部の少なくとも一方は、前記クラッドの端面に傾斜端面を形成し、前記傾斜端面にコアの端面を露出させた反射面を備えた ことを特徴とする請求項1記載の光導波路。 At least one optical connection to the second core groups to be formed on the optical connection portion or the third side to the first core group to be formed on the second side is inclined to the end face of the clad forming an end face, an optical waveguide according to claim 1, characterized by comprising the inclined end reflecting surface to expose the end face of the core surface.
  3. 前記第1の辺に形成される前記第1のコア群に対する光接続部は、前記第1のコア群と接続される光伝送経路の位置決め溝を備えた ことを特徴とする請求項1記載の光導波路。 Optical connection portion with respect to the first core group to be formed on the first sides, according to claim 1, comprising the positioning groove of the first core group and connected thereto an optical transmission path optical waveguide.
  4. 前記第1のコア群と平行で、かつ他のコア群と交差しない第3のコア群を備え、 Parallel to the first core group, and includes a third core groups that do not intersect with other core group,
    前記クラッドの前記第1の辺は、前記第1のコア群に対する光接続部と、前記第3のコア群に対する光接続部を備え、前記クラッドの前記第2の辺は、前記第1のコア群に対する光接続部と、前記第3のコア群に対する光接続部を備えた ことを特徴とする請求項1記載の光導波路。 Said first side of said cladding, said a light connections to the first core group, comprising an optical connection to the third core group, the second side of the cladding, the first core an optical connection to the group, an optical waveguide according to claim 1, comprising the optical connection to the third core group.
  5. コアとクラッドを有する光導波路と、前記光導波路のコアと結合した光素子を備えた光導波路モジュールにおいて、 An optical waveguide having a core and a cladding, the optical waveguide module having an optical element coupled to the core of the optical waveguide,
    前記光導波路は、 The optical waveguide,
    少なくとも1本以上のコアからなる第1のコア群と、 A first core group of at least one or more cores,
    少なくとも1本以上のコアからなり、かつ前記第1のコア群のコアと交差する第2のコア群と、 Consists of at least one or more cores, and the second core group intersecting the first core group of the core,
    前記第1のコア群と前記第2のコア群とが交差する交差部に形成され、任意の波長領域の光を選択的に反射及び透過させ、光の波長により光路を切り替える波長選択フィルタが挿入される挿入溝とを備え、 The first core group and the second core group formed at the intersection of intersecting, selectively reflecting and transmits light of an arbitrary wavelength region, the wavelength selection filter is inserted to switch the optical path by a wavelength of light and a insertion groove to be,
    前記第1のコア群は、前記クラッドの対向する第1の辺と第2の辺の間を、直線状で、かつ前記第1の辺及び第2の辺に対して略垂直に延在し、前記第1の辺と前記第2の辺に、前記第1のコア群に対する光接続部を備え、 The first core group, between the first side and second side opposite of the cladding, straight and extends substantially perpendicular to the first side and a second side , the first side and the second side, provided with an optical connection to the first core groups,
    前記第2のコア群は、前記クラッドの前記第1の辺と交差する第3の辺に対して略垂直に延在し、前記第3の辺に、前記第2のコア群に対する光接続部を備え、 The second core group, the extending substantially perpendicular to the third side intersecting the first side of the cladding, the third side, the optical connection to the second core groups equipped with a,
    前記クラッドの前記第3の辺を、前記第1の辺と鈍角をなす向きで交差させ、前記第2のコア群と前記第1のコア群とのなす角を鋭角とした ことを特徴とする光導波路モジュール。 Said third side of said cladding, said crossed with the first side and the direction of an obtuse angle, characterized in that the angle between the first core group and the second core group and the acute angle optical waveguide module.
  6. 前記第2の辺に形成される前記第1のコア群に対する光接続部及び前記第3の辺に形成される前記第2のコア群に対する光接続部に、前記光素子または光伝送経路が接続された ことを特徴とする請求項5記載の光導波路モジュール。 The optical connection to the second core groups to be formed on the optical connecting portion and the third side to the first core group to be formed on the second side, the optical element or the optical transmission path connected the optical waveguide module according to claim 5, characterized in that it is.
  7. 前記第2の辺に形成される前記第1のコア群に対する光接続部または前記第3の辺に形成される前記第2のコア群に対する光接続部の少なくとも一方は、前記クラッドの端面に傾斜端面を形成し、前記傾斜端面にコアの端面を露出させた反射面を備え、 At least one optical connection to the second core groups to be formed on the optical connection portion or the third side to the first core group to be formed on the second side is inclined to the end face of the clad forming an end face, provided with the inclined end face reflecting surface to expose the end face of the core,
    前記反射面と対向する位置に、前記光素子として面型光素子を備えて、前記反射面を介してコアと光結合させた ことを特徴とする請求項5記載の光導波路モジュール。 Wherein the reflective surface opposite to a position, includes a surface optical element as the optical element, an optical waveguide module according to claim 5, wherein the core and optically coupled via the reflecting surface.
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