JP2006173448A - 自動搬送システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 自動搬送システム1が有する搬送起因稼働率ロス検出器3では、収集部4が製造装置2からMES20に報告される製造装置のポートにおけるカセットの載置完了、払出可能、払出完了の情報、MCS23から搬送システム11に指令される搬送開始の情報を収集する。収集部の情報に基づき、カセット待ち時間検出部5で、ポートに載置されたカセットの払出可能時又は払出完了時と次に供給すべきカセットの搬送を搬送システムに対してMCSが指令した搬送開始時とが同時であるか検出する。又、全ポートカセット終了検出部6で、ポートの払出可能報告時に該ポート以外の全ポートから載置完了の情報を収集し、且つ、カセット交換時間内にポート以外の全ポートから払出可能の情報を収集したことを検出する。
【選択図】 図1
Description
2 製造装置
3 搬送起因稼働率ロス検出器
4 収集部(収集手段)
5 カセット待ち時間検出部(カセット待ち時間検出手段)
6 全ポートカセット終了検出部(全ポートカセット終了検出手段)
11 搬送システム
12 保管システム
20 MES(Manufacturing Execution System)
23 MCS(Material Control System)
24 制御装置
Claims (4)
- 被製造物を格納するカセットを、制御装置により制御される搬送システムを介して複数の製造装置間で搬送する自動搬送システムにおいて、
前記製造装置から前記制御装置に対する報告と、前記制御装置から前記搬送システムに対する指令と、の情報を収集する収集手段と、
前記収集手段で収集した前記報告と前記指令とから、前記製造装置のあるポートにおいて供給されたカセットの処理又は測定が終了してから次のカセットが供給されるまでのカセット交換時間の間に、前記制御装置が前記搬送システムに搬送を指令する次に供給すべきカセットの出現を待つカセット待ち時間を含まないかを検出するカセット待ち時間検出手段と、
を有する搬送起因稼働率ロス検出手段を備えることを特徴とする自動搬送システム。 - 前記収集手段が、前記報告に関する情報として、前記製造装置から前記制御装置に対して報告される前記製造装置のポートにおける前記カセットの載置完了、払出可能及び払出完了の情報を収集し、前記指令に関する情報として、前記制御装置から前記搬送システムに対して指令される搬送開始の情報を収集し、
前記カセット待ち時間検出手段が、前記製造装置のあるポートに載置されたカセットの払出可能時から当該ポートで次に供給すべきカセットの載置完了時までをカセット交換時間と判断し、当該カセット交換時間の間において、当該ポートに載置されたカセットの払出可能時又は当該ポートに載置されたカセットの払出完了時と、当該ポートで次に供給すべきカセットを搬送する搬送システムに対して前記制御装置が指令した搬送開始時と、が同時であると判断した場合にカセット待ち時間を含まないものと検出することを特徴とする請求項1に記載の自動搬送システム。 - 前記搬送起因稼働率ロス検出手段が、前記収集手段で収集した前記報告と前記指令とから、前記カセット交換時間の開始時に、前記カセット待ち時間検出手段で前記カセット待ち時間を含まないと検出されたポート以外のポートの全てにカセットが載置され、且つ、前記カセット交換時間の間に、前記カセット待ち時間検出手段で前記カセット待ち時間を含まないと検出されたポート以外のポートの全てに載置されたカセットの処理または測定が終了したかを検出する全ポートカセット終了検出手段、を更に有することを特徴とする請求項1に記載の自動搬送システム。
- 前記収集手段が、前記報告に関する情報として、前記製造装置から前記制御装置に対して報告される前記製造装置のポートにおける前記カセットの載置完了、払出可能及び払出完了の情報を収集し、前記指令に関する情報として、前記制御装置から前記搬送システムに対して指令される搬送開始の情報を収集し、
前記カセット待ち時間検出手段が、前記製造装置のあるポートに載置されたカセットの払出可能時から当該ポートで次に供給すべきカセットの載置完了時までをカセット交換時間と判断し、当該カセット交換時間の間において、当該ポートに載置されたカセットの払出可能時又は当該ポートに載置されたカセットの払出完了時と、当該ポートに次に供給すべきカセットを搬送する搬送システムに対して前記制御装置が指令した搬送開始時と、が同時であると判断した場合にカセット待ち時間を含まないものと検出し、
全ポートカセット終了検出手段が、前記カセット交換時間の開始時に前記カセット待ち時間検出手段で前記カセット待ち時間を含まないと検出されたポート以外の他のポートの全てから前記載置完了の情報を収集しており、且つ、前記カセット交換時間の間に前記カセット待ち時間検出手段でカセット待ち時間を含まないと検出されたポート以外の他のポートの全てから前記払出可能の情報を収集したと判断した場合に、前記カセット待ち時間検出手段でカセット待ち時間を含まないと検出されたポート以外のポートの全てにカセットが載置され、且つ、全てのカセットの処理または測定が終了したと検出することを特徴とする請求項3に記載の自動搬送システム。
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