JP2006165356A - Manufacturing method of solid electrolytic capacitor - Google Patents

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昌樹 西山
Masafumi Oshima
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a solid electrolytic capacitor including a step of forming a chemical polymerization preliminary conductive precoat layer that uses less oxidizer-containing solution and is excellent in leak current characteristic. <P>SOLUTION: In the case of applying the oxidizer-containing solution, two coating rollers including the oxidizer-containing solution are located in contact with each other in parallel, valve action metallic foil passes through between the coating rollers to apply the oxidizer-containing solution on the surface of the valve action metallic foil, and vapor of a conductive high molecule monomer is in contact with the surface of the valve action metallic foil to form the preliminary conductive precoat layer. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、導電性高分子を固体電解質として用いた固体電解コンデンサの製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a solid electrolytic capacitor using a conductive polymer as a solid electrolyte.

弁作用金属表面に誘電体酸化皮膜を形成し、該誘電体酸化皮膜上に導電性高分子膜を形成して固体電解質とした固体電解コンデンサが提案されている。   There has been proposed a solid electrolytic capacitor in which a dielectric oxide film is formed on a valve metal surface, and a conductive polymer film is formed on the dielectric oxide film to form a solid electrolyte.

特許文献1には、誘電体酸化皮膜表面にプレコート層として化学重合法により形成させた予備導電性プレコート層を設け、さらに該導電性プレコート層上に電解重合法による導電性高分子層を形成して、これを固体電解質とする構造の固体電解コンデンサが開示されている。   In Patent Document 1, a preliminary conductive precoat layer formed by a chemical polymerization method as a precoat layer is provided on the surface of the dielectric oxide film, and a conductive polymer layer is formed on the conductive precoat layer by an electrolytic polymerization method. Thus, a solid electrolytic capacitor having a structure in which this is used as a solid electrolyte is disclosed.

予備導電性プレコート層を形成させる化学重合法は、例えば誘電体酸化皮膜を形成させた弁作用金属表面に、酸化剤含有溶液を塗布し、付着した酸化剤とピロール、チオフェン、アニリン及びそれらの誘導体に代表される導電性高分子モノマーとを気相中または液相中で接触、重合させることにより、導電性高分子層を形成することができる。   The chemical polymerization method for forming the pre-conductive precoat layer is performed by, for example, applying an oxidant-containing solution to a valve metal surface on which a dielectric oxide film is formed, and attaching the oxidant and pyrrole, thiophene, aniline, and derivatives thereof. A conductive polymer layer can be formed by contacting and polymerizing a conductive polymer monomer typified by the above in a gas phase or a liquid phase.

特許文献2には、気相中で導電性高分子モノマーを化学重合させて予備導電性プレコート層を形成させ、次いで、電解重合導電性高分子層を形成させた固体電解コンデンサが開示されている。この場合、気相法による化学重合は、弁作用金属に酸化剤含有溶液を浸漬、塗布または噴霧した後、導電性高分子モノマーの蒸気中に接触させることにより行われている。   Patent Document 2 discloses a solid electrolytic capacitor in which a conductive polymer monomer is chemically polymerized in a gas phase to form a preliminary conductive precoat layer, and then an electrolytic polymerization conductive polymer layer is formed. . In this case, chemical polymerization by the vapor phase method is performed by immersing, applying or spraying an oxidant-containing solution on the valve action metal, and then bringing it into contact with the vapor of the conductive polymer monomer.

予備導電性プレコート層形成のため弁作用金属に酸化剤含有溶液を付着させる際、浸漬あるいは噴霧といった方法では、薬液の使用量が多く製造コストが増大するという問題点があった。また、酸化剤含有溶液がコンデンサの陰極形成部以外に付着してしまうため、予備導電性プレコート層が陽極引出部に達するなどし、得られるコンデンサの漏れ電流不良が生じやすいという不具合があった。   When the oxidant-containing solution is attached to the valve metal for forming the preliminary conductive precoat layer, the method of dipping or spraying has a problem that the amount of the chemical solution used is large and the manufacturing cost increases. Further, since the oxidant-containing solution adheres to portions other than the cathode forming portion of the capacitor, the preliminary conductive precoat layer reaches the anode leading portion, and there is a problem that a leakage current failure of the obtained capacitor tends to occur.

また、従来の塗布による方法は、ディスペンス法あるいは刷毛による塗布方法が知られているが、板状基材の場合、片面ずつ処理する必要があり、工程に多大な時間を費やすため、より簡便な塗布方法が望まれていた。   In addition, as a conventional coating method, a dispensing method or a brush coating method is known. However, in the case of a plate-shaped substrate, it is necessary to process each side one by one, and it takes a lot of time for the process. A coating method has been desired.

特開昭63−173313号公報JP 63-173313 A 特開平3−6217号公報Japanese Patent Laid-Open No. 3-6217

化学重合予備導電性プレコート層を形成する工程を含有する固体電解コンデンサの製造方法において、酸化剤含有溶液の使用量が少なく、かつ漏れ電流特性に優れた固体電解コンデンサの製造方法を提供することである。   In a method for producing a solid electrolytic capacitor including a step of forming a chemical polymerization pre-conductive precoat layer, the present invention provides a method for producing a solid electrolytic capacitor that uses a small amount of an oxidant-containing solution and has excellent leakage current characteristics. is there.

本発明は、誘電体酸化皮膜を形成させた弁作用金属表面に、酸化剤含有溶液を塗布させる工程、該酸化剤溶液を塗布させた弁作用金属表面に導電性高分子モノマーの蒸気を接触させて化学重合による予備導電性プレコート層を形成させる工程、該予備導電性プレコート層上に電解重合により導電性高分子層を形成する工程を包含する固体電解コンデンサの製造方法において、該酸化剤含有溶液を塗布する際、酸化剤含有溶液を保持させたスポンジ状の塗布用ローラーを2個平行に接触させて設置し、その塗布用ローラー間に該弁作用金属を通過させることによって該弁作用金属表面に酸化剤含有溶液を塗布し、導電性高分子モノマーの蒸気を接触させて予備導電性プレコート層を形成させることを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法である。   The present invention includes a step of applying an oxidant-containing solution to a valve metal surface on which a dielectric oxide film is formed, and contacting a vapor of a conductive polymer monomer on the valve metal surface to which the oxidant solution is applied. In the method for producing a solid electrolytic capacitor, comprising a step of forming a preliminary conductive precoat layer by chemical polymerization, and a step of forming a conductive polymer layer by electrolytic polymerization on the preliminary conductive precoat layer, the oxidizing agent-containing solution When coating the surface of the valve action metal, two sponge-like application rollers holding the oxidant-containing solution are placed in parallel and the valve action metal is passed between the application rollers. A method for producing a solid electrolytic capacitor comprising: applying an oxidant-containing solution to the substrate, and contacting a vapor of a conductive polymer monomer to form a preliminary conductive precoat layer. That.

また、酸化剤含有溶液を塗布する際、酸化剤含有溶液を保持させた塗布用ローラーに、他素材からなる外部ローラーを押し当て、塗布用ローラー表面に液溜り部を発生させた後、該塗布用ローラー間に弁作用金属を通過させることによって酸化剤含有溶液を塗布し、導電性高分子モノマーの蒸気を接触させて予備導電性プレコート層を形成させることを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法である。   Further, when applying the oxidant-containing solution, an external roller made of another material is pressed against the application roller holding the oxidant-containing solution to generate a liquid reservoir on the surface of the application roller, and then the application A method for producing a solid electrolytic capacitor, characterized in that an oxidizing agent-containing solution is applied by passing a valve metal between rollers for contact, and a conductive polymer monomer vapor is contacted to form a preliminary conductive precoat layer It is.

また、塗布用ローラーが、塗布部、撥水部、拭取り部に区画されてなり、該塗布部に酸化剤含有溶液を保持させた後、弁作用金属を塗布用ローラー間に通過させることによって、該弁作用金属の所望の位置に酸化剤含有溶液を塗布し、導電性高分子モノマーの蒸気を接触させて予備導電性プレコート層を形成させることを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法である。   In addition, the application roller is divided into an application part, a water repellent part, and a wiping part. After holding the oxidizing agent-containing solution in the application part, the valve metal is passed between the application rollers. A method for producing a solid electrolytic capacitor, characterized in that an oxidant-containing solution is applied to a desired position of the valve metal and a vapor of a conductive polymer monomer is contacted to form a preliminary conductive precoat layer. .

また、上記塗布方法を用いて形成した予備導電性プレコート層および電解重合による導電性高分子層が、ポリピロールからなることを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法である。   The method for producing a solid electrolytic capacitor is characterized in that the preliminary conductive precoat layer formed using the coating method and the conductive polymer layer formed by electrolytic polymerization are made of polypyrrole.

また、上記方法を用いて酸化剤含有溶液を塗布する際、使用する酸化剤含有溶液の溶媒が、水とアルコールとの混合溶媒であり、その重量比が9:1〜1:9であることを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法である。   Moreover, when apply | coating an oxidizing agent containing solution using the said method, the solvent of the oxidizing agent containing solution to be used is a mixed solvent of water and alcohol, and the weight ratio is 9: 1 to 1: 9. This is a method for manufacturing a solid electrolytic capacitor.

本発明によると、弁作用金属箔に簡便に酸化剤含有溶液を塗布することができ、酸化剤含有溶液の使用量を少なくすることができる。また目的とする部分、すなわち陰極形成部のみに酸化剤含有溶液を塗布することができ、漏れ電流特性の優れた固体電解コンデンサの製造方法を提供することができる。   According to the present invention, the oxidizing agent-containing solution can be simply applied to the valve action metal foil, and the amount of the oxidizing agent-containing solution used can be reduced. Moreover, an oxidizing agent containing solution can be apply | coated only to the target part, ie, a cathode formation part, and the manufacturing method of the solid electrolytic capacitor excellent in the leakage current characteristic can be provided.

以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照して、詳細に説明する。   Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

本発明に用いられる弁作用金属としては、箔状または板状のアルミニウム、タンタル及びニオブがあげられる。   Examples of the valve metal used in the present invention include foil-like or plate-like aluminum, tantalum, and niobium.

弁作用金属箔1の表面をエッチングした後、アジピン酸アンモニウム等の水溶液中で陽極化成を行い、誘電体酸化皮膜を形成させた後、図1に示すように一定の間隔で該弁作用金属箔に貫通孔2を形成し、貫通孔部2の化成を行い、陰極形成部3を残し絶縁性塗膜4を形成させ、絶縁性塗膜4上に電解重合時の給電電極となる導電性塗膜5を形成させる。この時、導電性塗膜5は誘電体酸化皮膜に直接接触しないように離して形成させる。   After the surface of the valve metal foil 1 is etched, anodization is performed in an aqueous solution such as ammonium adipate to form a dielectric oxide film, and then the valve metal foil is formed at regular intervals as shown in FIG. The through-hole 2 is formed in the substrate, the through-hole portion 2 is formed, the cathode forming portion 3 is left, and the insulating coating 4 is formed, and the conductive coating serving as a power supply electrode during electrolytic polymerization is formed on the insulating coating 4. A film 5 is formed. At this time, the conductive coating film 5 is formed so as not to be in direct contact with the dielectric oxide film.

次いで、誘電体酸化皮膜を形成させた弁作用金属表面に予備導電性プレコート層を形成させる工程について説明する。   Next, a process of forming a preliminary conductive precoat layer on the valve metal surface on which the dielectric oxide film is formed will be described.

酸化剤含有溶液を弁作用金属表面に塗布させる方法としては、図2に示すように、2つの塗布用ローラー6を平行に接触させて設置し、酸化剤含有溶液を滴下ロート、ディスペンサー等からなる供給部7から塗布用ローラー6に滴下し、酸化剤含有溶液を十分に供給する。その後、弁作用金属を2つの塗布用ローラー6の下方から引き上げ、該ローラー間を通過させることによって、酸化剤含有溶液を弁作用金属表面に塗布する。   As a method of applying the oxidizing agent-containing solution to the valve action metal surface, as shown in FIG. 2, two application rollers 6 are installed in parallel to each other, and the oxidizing agent-containing solution is composed of a dropping funnel, a dispenser or the like. The solution is dropped from the supply unit 7 onto the application roller 6 to sufficiently supply the oxidant-containing solution. Thereafter, the oxidant-containing solution is applied to the valve metal surface by pulling the valve metal from below the two application rollers 6 and passing between the rollers.

上記方法によれば、弁作用金属箔両面の陰極形成部に同時に酸化剤含有溶液を塗布することが可能で、塗布工程に費やす時間が短縮できる。   According to the said method, it is possible to apply | coat an oxidizing agent containing solution simultaneously to the cathode formation part of both sides of valve action metal foil, and the time spent for an application | coating process can be shortened.

また、酸化剤含有溶液を塗布用ローラー6に供給した後、外部ローラー8を塗布用ローラー6に押し当てるよう設置することにより2つの塗布用ローラー6の表面に液溜まり部9を発生させ、該ローラー間に弁作用金属箔を通過させることにより、所望の量の酸化剤含有溶液を塗布することができる。   In addition, after supplying the oxidizing agent-containing solution to the application roller 6, a liquid reservoir 9 is generated on the surfaces of the two application rollers 6 by placing the external roller 8 against the application roller 6. A desired amount of the oxidant-containing solution can be applied by passing the valve action metal foil between the rollers.

上記方法によれば、適宜、外部ローラーの押しつけ圧力、弁作用金属の引き上げ速度等を選択することによって、弁作用金属表面に塗布する酸化剤含有溶液量を必要最低限の量にすることができ、薬剤使用量が低減できる。   According to the above method, the amount of the oxidant-containing solution applied to the valve metal surface can be reduced to the minimum necessary amount by appropriately selecting the pressing pressure of the external roller, the pulling speed of the valve metal, etc. The amount of drug used can be reduced.

また、塗布用ローラー6が、塗布部6a、撥水部6b、拭取り部6cに区画されてなるものを使用すれば、弁作用金属の陰極形成部3のみに塗布することが可能である。この時、外部ローラー8の幅は陰極形成部3の全長以下に設定する。外部ローラー8を塗布用ローラー6の塗布部6aに押し当てて液溜まり部9を生成させ、塗布用ローラー6の塗布部6aの両端にはゴム性パッキン等からなる撥水部6bを設置し、発生した液溜まり部9が陰極形成部3以外への流出することを塞き止め、撥水部6bの外側には液溜まりから溢れた酸化剤含有溶液を拭き取るために、拭取り部6cを設置する。   Moreover, if the roller 6 for application | coating uses what is divided into the application part 6a, the water repellent part 6b, and the wiping part 6c, it can apply | coat only to the cathode formation part 3 of a valve action metal. At this time, the width of the external roller 8 is set to be equal to or less than the total length of the cathode forming portion 3. The external roller 8 is pressed against the application part 6a of the application roller 6 to generate a liquid pool part 9, and water repellent parts 6b made of rubber packing or the like are installed at both ends of the application part 6a of the application roller 6, A wiping portion 6c is installed on the outer side of the water repellent portion 6b to wipe off the oxidant-containing solution overflowing from the liquid pool, preventing the generated liquid pool portion 9 from flowing out to other than the cathode forming portion 3. To do.

上記方法によれば、陰極形成部のみに酸化剤含有溶液を塗布でき、その上に予備導電性プレコート層を形成できるため、陽極引出部と陰極形成部の接触の恐れが少なく、漏れ電流特性に優れ、歩留まりの良い固体電解コンデンサが得られる。   According to the above method, since the oxidant-containing solution can be applied only to the cathode forming portion and the preconductive precoat layer can be formed thereon, there is little risk of contact between the anode lead portion and the cathode forming portion, and the leakage current characteristics are improved. An excellent solid electrolytic capacitor with a good yield can be obtained.

上記塗布用ローラー6の塗布部6aの材質としては、ポリウレタン、ポリエチレン、ポリビニルアルコール、天然ゴム、ポリブタジエンゴム、スチレンブタジエンゴム、クロロプレンゴム、エチレンプロピレンゴム、ニトリルゴム、シリコンゴム、フッ素ゴム、メラミン樹脂などが挙げられ、吸水性を保持できるようにスポンジ状に成形されたものが好ましい。耐磨耗性、耐薬品性、柔軟性、酸化剤含有溶液の保持力を考慮すると吸水率が200〜800%のポリウレタン、またはポリエチレンであることがより好ましい。スポンジの肉厚は1.0〜5.0cmとして酸化剤含有溶液の組成により適宜選択される。   Examples of the material of the application portion 6a of the application roller 6 include polyurethane, polyethylene, polyvinyl alcohol, natural rubber, polybutadiene rubber, styrene butadiene rubber, chloroprene rubber, ethylene propylene rubber, nitrile rubber, silicon rubber, fluoro rubber, melamine resin, and the like. And those formed into a sponge shape so as to maintain water absorption are preferable. In consideration of wear resistance, chemical resistance, flexibility, and retention of the oxidant-containing solution, polyurethane or polyethylene having a water absorption rate of 200 to 800% is more preferable. The thickness of the sponge is appropriately selected depending on the composition of the oxidizing agent-containing solution as 1.0 to 5.0 cm.

上記撥水部6bの材質としては、酸化剤含有溶液を吸収せず、撥水性を有するゴム系材料等が好ましく使用できるが、特に限定されない。   The material of the water repellent portion 6b is not particularly limited, although a rubber-based material that does not absorb the oxidant-containing solution and has water repellency can be preferably used.

上記拭取り部6cは塗布部6aと材質が同一あるいは、6aの材質よりも吸水性の高い材質のものを用いることができる。図1に示す様に塗布部6a、撥水部6b、拭取り部6cの全長が塗布を行う弁金属箔1の幅より大きくなる様に拭取り部6cの幅を設定し、上記拭取り部6cの肉厚は塗布部6aと同様であることが好ましい。   The wiping portion 6c can be made of the same material as the coating portion 6a or a material having higher water absorption than the material of 6a. As shown in FIG. 1, the width of the wiping portion 6c is set so that the entire length of the coating portion 6a, the water repellent portion 6b, and the wiping portion 6c is larger than the width of the valve metal foil 1 to be coated. The thickness of 6c is preferably the same as that of the application part 6a.

塗布用ローラー6の芯棒6dの素材としては、ステンレス等の金属、塩化ビニル等のプラスチック類から選ばれ、丸棒、芯抜き棒のいずれでも良く、芯棒6dの直径は適宜選択される。   The material of the core rod 6d of the coating roller 6 is selected from metals such as stainless steel and plastics such as vinyl chloride, and may be either a round bar or a cored rod, and the diameter of the core rod 6d is appropriately selected.

上記外部ローラー8の材質としては、金属類、ガラス、プラスチック類があげられるが、塗布用ローラー6に押し当てる圧力に耐久性のある金属類が好ましい。また、外部ローラー8を塗布用ローラー6の塗布部6aに押し当てて生成した液溜まり9が、塗布用ローラー6から溢れないようにするために、外部ローラー8の幅は塗布用ローラー6の塗布部6aの幅より小さくするのが好ましい。   Examples of the material of the external roller 8 include metals, glass, and plastics, and metals that are durable against pressure applied to the coating roller 6 are preferable. Further, the width of the external roller 8 is applied to the application roller 6 so that the liquid pool 9 generated by pressing the external roller 8 against the application part 6 a of the application roller 6 does not overflow from the application roller 6. It is preferable to make it smaller than the width of the portion 6a.

次に、酸化剤含有溶液の組成について説明する。   Next, the composition of the oxidizing agent-containing solution will be described.

本発明に用いられる酸化剤含有溶液は、酸化剤を、アルコール、水、または水とアルコールとの混合溶媒が使用できる。   In the oxidizing agent-containing solution used in the present invention, the oxidizing agent can be alcohol, water, or a mixed solvent of water and alcohol.

本発明に用いられる酸化剤としては、ヨウ素、臭素、ヨウ化臭素、二酸化塩素、ヨウ素酸、過ヨウ素酸、亜塩素酸等のハロゲン化物、五フッ化アンチモン、五塩化リン、五フッ化リン、塩化アルミニウム、塩化モリブデン等の金属ハロゲン化物、過マンガン酸塩、重クロム酸塩、無水クロム酸、第二鉄塩、第二銅塩等の高原子価金属塩、硫酸、硝酸、トリフルオロメタン硫酸等のプロトン酸、三酸化硫黄、二酸化窒素等の酸素化合物、過酸化水素、過硫酸アンモニウム、過ホウ酸ナトリウム等のペルオキソ酸またはその塩、あるいはモリブドリン酸、タングストリン酸、タングストモリブドリン酸等のヘテロポリ酸またはその塩があげられ、少なくとも1種が用いられる。誘電体酸化皮膜への化学的損傷が少なく、反応が容易であるという点からはペルオキソ酸またはその塩、ヘテロポリ酸またはその塩が好ましい。   Examples of the oxidizing agent used in the present invention include iodine, bromine, bromine iodide, chlorine dioxide, iodic acid, periodic acid, chlorous acid and other halides, antimony pentafluoride, phosphorus pentachloride, phosphorus pentafluoride, Metal halides such as aluminum chloride and molybdenum chloride, permanganate, dichromate, chromic anhydride, ferric salt, cupric salt and other high-valent metal salts, sulfuric acid, nitric acid, trifluoromethane sulfuric acid, etc. Protonic acid, sulfur trioxide, nitrogen dioxide and other oxygen compounds, hydrogen peroxide, ammonium persulfate, peroxo acids such as sodium perborate or their salts, or heteropoly acids such as molybdophosphoric acid, tungstophosphoric acid, tungstomolybdophosphoric acid An acid or its salt is mention | raise | lifted and at least 1 sort (s) is used. Peroxo acids or salts thereof, heteropoly acids or salts thereof are preferred from the viewpoint that chemical damage to the dielectric oxide film is small and the reaction is easy.

また、本発明の酸化剤含有溶液に、ドーパントを添加させることにより、導電性高分子中に所望のドーパントを導入することができ、導電性高分子膜の耐熱性、導電性をより一層向上させることができる。   Moreover, by adding a dopant to the oxidant-containing solution of the present invention, a desired dopant can be introduced into the conductive polymer, thereby further improving the heat resistance and conductivity of the conductive polymer film. be able to.

上記ドーパントとしては、以下のアニオン成分を有する化合物が用いられる。ヨウ素、臭素、塩素等のハロゲンアニオン、ヘキサフロロリン、ヘキサフロロヒ素、ヘキサフロロアンチモン、テトラフロロホウ素、過塩素酸等のハロゲン化物アニオン、メタンスルホン酸、ドデシルスルホン酸等のアルキル基置換有機スルホン酸アニオン、カンファースルホン酸等の環状スルホン酸アニオン、ベンゼンスルホン酸、p-トルエンスルホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸、ベンゼンジスルホン酸等のアルキル基置換または無置換のベンゼンモノまたはジスルホン酸アニオン、2−ナフタレンスルホン酸、1,7−ナフタレンジスルホン酸等のスルホン酸基を1〜3個置換させたナフタレンスルホン酸のアルキル基置換または無置換アニオン、アントラセンスルホン酸、アントラキノンスルホン酸、アルキルビフェニルスルホン酸、ビフェニルジスルホン酸等のアルキル基置換または無置換のビフェニルスルホン酸イオン、ポリスチレンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合体等の高分子スルホン酸アニオン、置換または無置換の芳香族スルホン酸アニオン、ビスサルチレートホウ素、ビスカテコレートホウ素等のホウ素化合物アニオン、あるいはモリブドリン酸、タングストリン酸、タングストモリブドリン酸等のヘテロポリ酸アニオンがあげられ、これらのアニオン成分を有する酸、アンモニウム塩等から選ばれる少なくとも1種の化合物が用いられる。   As the dopant, a compound having the following anion component is used. Halogen anions such as iodine, bromine and chlorine, halide anions such as hexafluoroline, hexafluoroarsenic, hexafluoroantimony, tetrafluoroboron and perchloric acid, and alkyl group-substituted organic sulfonate anions such as methanesulfonic acid and dodecylsulfonic acid , Cyclic sulfonic acid anions such as camphorsulfonic acid, benzenesulfonic acid, p-toluenesulfonic acid, dodecylbenzenesulfonic acid, benzenedisulfonic acid and other alkyl group-substituted or unsubstituted benzene mono- or disulfonic acid anions, 2-naphthalenesulfonic acid , Alkyl group substituted or unsubstituted anion of naphthalene sulfonic acid substituted with 1 to 3 sulfonic acid groups such as 1,7-naphthalenedisulfonic acid, anthracene sulfonic acid, anthraquinone sulfonic acid, alkylbiphenyl sulfone Acids, alkyl group-substituted or unsubstituted biphenyl sulfonate ions such as biphenyl disulfonic acid, polymer sulfonate anions such as polystyrene sulfonate and naphthalene sulfonate formalin condensates, substituted or unsubstituted aromatic sulfonate anions, bissal Boron compound anions such as tylate boron and biscatecholate boron, and heteropolyacid anions such as molybdophosphoric acid, tungstophosphoric acid, tungstomolybdophosphoric acid, and the like, selected from acids having these anion components, ammonium salts, etc. At least one compound is used.

本発明の酸化剤含有溶液に用いられる溶媒としては、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール等のアルコール溶媒、水、または水とアルコールの混合溶媒を用いることができるが、弁作用金属の多孔質孔内に酸化剤含有溶液を十分に含浸させることが必要であり、表面張力が低いアルコール溶媒、もしくは水とアルコールとの混合溶媒が好適である。中でも、酸化剤の溶解力とエッチングされた弁作用金属表面への浸透性を併せ持つことから、水とアルコールの重量比が9:1〜1:9である混合溶媒が好ましい。   As the solvent used in the oxidant-containing solution of the present invention, an alcohol solvent such as methanol, ethanol, isopropyl alcohol, water, or a mixed solvent of water and alcohol can be used. It is necessary to sufficiently impregnate the oxidant-containing solution, and an alcohol solvent having a low surface tension or a mixed solvent of water and alcohol is preferable. Among them, a mixed solvent in which the weight ratio of water to alcohol is 9: 1 to 1: 9 is preferable because it has both the ability to dissolve the oxidizing agent and the permeability to the etched valve metal surface.

次に、上記の酸化剤含有溶液を塗布した弁作用金属表面に導電性高分子モノマー蒸気を接触させて予備導電性プレコート層を形成させる工程について説明する。   Next, a process of forming a preliminary conductive precoat layer by bringing a conductive polymer monomer vapor into contact with the valve metal surface coated with the oxidant-containing solution will be described.

前記工程で得られた酸化剤含有溶液を塗布させた弁作用金属の表面に、ピロール、チオフェン、アニリン及びそれらの誘導体に代表される導電性高分子モノマー蒸気を接触させることにより、該モノマーが重合し、該弁作用金属表面に予備導電性プレコート層を形成させることができる。   The monomer is polymerized by bringing a conductive polymer monomer vapor typified by pyrrole, thiophene, aniline, and their derivatives into contact with the surface of the valve action metal coated with the oxidant-containing solution obtained in the above step. In addition, a preliminary conductive precoat layer can be formed on the valve action metal surface.

気相重合法は、酸化剤含有溶液を塗布させた弁作用金属を、導電性高分子モノマー蒸気を含有する雰囲気中に保持させる、あるいは該蒸気を含有する気体を直接弁作用金属表面に吹き付ける方法であり、本発明の予備導電性高分子膜を形成するのに好適である。また、導電性高分子モノマーの中でも、比較的揮発性の高いピロールが気相重合に好適な導電性高分子モノマーである。   In the gas phase polymerization method, a valve metal coated with an oxidizing agent-containing solution is held in an atmosphere containing a conductive polymer monomer vapor, or a gas containing the vapor is directly sprayed on the surface of the valve metal. It is suitable for forming the preliminary conductive polymer film of the present invention. Among conductive polymer monomers, pyrrole having relatively high volatility is a conductive polymer monomer suitable for gas phase polymerization.

気相重合法のより具体的な方法としては、例えば、導電性高分子モノマーの蒸気を外部から導入させた反応槽内に、酸化剤含有溶液を塗布させた弁作用金属を保持させる、または反応槽内に導電性高分子モノマー溶液をあらかじめ封入しておき、該モノマー蒸気を充満させた気相中に該弁作用金属を保持させる、あるいは窒素、アルゴン等のキャリアガスに導電性高分子モノマー蒸気を混入させた混合ガスを、直接弁作用金属表面に吹き付ける等の手段があげられる。   As a more specific method of the gas phase polymerization method, for example, a valve metal in which an oxidant-containing solution is applied is held in a reaction vessel in which a vapor of a conductive polymer monomer is introduced from the outside, or a reaction is performed. A conductive polymer monomer solution is sealed in a tank in advance, and the valve metal is held in a gas phase filled with the monomer vapor, or a conductive polymer monomer vapor in a carrier gas such as nitrogen or argon. Means such as directly spraying the mixed gas mixed with the gas onto the valve metal surface can be used.

気相重合温度は特に限定されないが、安全性を考慮すると、導電性高分子モノマーの引火点以下が好ましく、例えば、ピロールを用いた場合は、39℃以下で適宜選択される。また、重合時間は、使用する導電性高分子モノマーや反応槽、あるいは気相重合温度などの条件により適宜選択されるが、概ね数分〜60分程度である。   The gas phase polymerization temperature is not particularly limited, but considering safety, it is preferably below the flash point of the conductive polymer monomer. For example, when pyrrole is used, it is appropriately selected at 39 ° C. or below. The polymerization time is appropriately selected depending on the conditions such as the conductive polymer monomer used, the reaction vessel, or the gas phase polymerization temperature, but is about several minutes to 60 minutes.

次に、予備導電性プレコート層上に電解重合により導電性高分子層を形成させて固体電解質層を設ける工程について説明する。   Next, the process of forming a conductive polymer layer by electrolytic polymerization on the preliminary conductive precoat layer and providing a solid electrolyte layer will be described.

本発明に用いられる電解重合液は、従来公知の電解重合液が用いられ、導電性高分子モノマーおよび支持電解質を含有した溶液を用いることができる。導電性高分子モノマーについては、ピロール類、チオフェン類、アニリン類等従来公知のものが使用できるが、得られる重合物の電気的特性、熱安定性などから、ピロールが好ましい。   As the electrolytic polymerization solution used in the present invention, a conventionally known electrolytic polymerization solution is used, and a solution containing a conductive polymer monomer and a supporting electrolyte can be used. As the conductive polymer monomer, conventionally known monomers such as pyrroles, thiophenes, and anilines can be used. However, pyrrole is preferred from the viewpoint of electrical characteristics and thermal stability of the resulting polymer.

電解重合液中に含まれる支持電解質としては、LiPF、LiAsF、LiBF、KI、NaPF、NaClO、トルエンスルホン酸ナトリウム、トルエンスルホン酸テトラブチルアンモニウム、1,7−ナフタレンジスルホン酸ナトリウム、アルキルナフタレンスルホン酸テトラエチルアンモニウム、ビスサルチレートホウ素テトラメチルアンモニウム等の化合物から選ばれ特に限定されず、また溶媒としては、アセトニトリル、アルコール、水等から選ばれ、特に限定されない。 As the supporting electrolyte contained in the electrolytic polymerization solution, LiPF 6 , LiAsF 6 , LiBF 4 , KI, NaPF 6 , NaClO 4 , sodium toluenesulfonate, tetrabutylammonium toluenesulfonate, sodium 1,7-naphthalenedisulfonate, The compound is selected from compounds such as tetraethylammonium alkylnaphthalene sulfonate and bis-sulcylate boron tetramethylammonium, and is not particularly limited. The solvent is selected from acetonitrile, alcohol, water and the like, and is not particularly limited.

上記電解重合液中に、前記予備導電性プレコート層を形成させた弁作用金属を浸漬し、弁作用金属箔上に絶縁性塗膜を介して形成した導電性塗膜を陽極とし、ステンレス板等を陰極として電圧を印加し、電解重合導電性高分子層を形成させる。   In the electrolytic polymerization solution, the valve action metal on which the preliminary conductive precoat layer is formed is immersed, and the conductive coating film formed on the valve action metal foil through an insulating coating film is used as an anode, and a stainless steel plate or the like. As a cathode, a voltage is applied to form an electropolymerized conductive polymer layer.

次に、電解重合導電性高分子層上にカーボンペースト、銀ペーストを順次塗布し、コンデンサの陰極とする。   Next, a carbon paste and a silver paste are sequentially applied on the electropolymerized conductive polymer layer to form a capacitor cathode.

得られたコンデンサを個々に切り離し、従来公知の方法で組み立て、外装を施して本発明の固体電解コンデンサを完成させる。   The obtained capacitors are individually separated, assembled by a conventionally known method, and the exterior is applied to complete the solid electrolytic capacitor of the present invention.

以下、本発明を実施例に基づいてより説明するが、本発明はこれらにより限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated more based on an Example, this invention is not limited by these.

実施例1
表面にエッチングを施したアルミニウム箔(厚さ150μm、長さ80mm、幅30mm)を、アジピン酸アンモニウム水溶液中、電圧10Vで電解酸化し、表面に誘電体酸化皮膜を形成した。その後、長さ方向に1.0mmの間隔で15mm×1.0mmの貫通孔を41個打ち抜き、貫通孔2の打ち抜き端面の化成を行い、陰極形成部3(15mm×1.0mm:40個)以外に絶縁性塗膜4を形成し、絶縁性塗膜4上に電解重合時に給電電極となる導電性塗膜5を形成した。
Example 1
An aluminum foil with a surface etched (thickness 150 μm, length 80 mm, width 30 mm) was electrolytically oxidized in an aqueous solution of ammonium adipate at a voltage of 10 V to form a dielectric oxide film on the surface. Thereafter, 41 through-holes of 15 mm × 1.0 mm are punched at intervals of 1.0 mm in the length direction, and the punched end face of the through-hole 2 is formed, and the cathode forming portion 3 (15 mm × 1.0 mm: 40) In addition, an insulating coating film 4 was formed, and a conductive coating film 5 serving as a feeding electrode during electrolytic polymerization was formed on the insulating coating film 4.

該弁作用金属表面に予備導電性プレコート層を形成させる工程では、本発明の塗布部、撥水部、拭取り部からなる塗布用ローラー6、外部ローラー8を使用することにより、酸化剤含有溶液の塗布を行い、各材料の寸法と素材を以下に示す。   In the step of forming the preliminary conductive precoat layer on the surface of the valve action metal, an oxidant-containing solution is obtained by using the application roller 6 and the external roller 8 comprising the application part, the water repellent part, and the wiping part of the present invention. The dimensions and materials of each material are shown below.

<酸化剤含有溶液の塗布用ローラー>
塗布部6a:幅15mm、肉厚10mm、ポリウレタン
撥水部6b:幅3mm、肉厚8mm、フッ素ゴム
拭取り部6c:幅15mm、肉厚10mm、ポリウレタン
芯棒6d:直径10mm、長さ60mm、ステンレス芯抜き棒
外部ローラー8:直径5mm、長さ15mm、ステンレス丸棒
<Coating roller for oxidizing agent-containing solution>
Application part 6a: width 15mm, thickness 10mm, polyurethane water-repellent part 6b: width 3mm, thickness 8mm, fluororubber wiping part 6c: width 15mm, thickness 10mm, polyurethane core 6d: diameter 10mm, length 60mm, Stainless steel core rod External roller 8: Diameter 5mm, length 15mm, stainless steel round bar

酸化剤含有溶液を以下の組成となるように調製した。
<酸化剤含有溶液>
酸化剤:過硫酸アンモニウム0.3mol/L
ドーパント:p−トルエンスルホン酸0.3mol/L
溶媒:エタノールと水の混合溶媒(エタノール:水=6:4)
An oxidizing agent-containing solution was prepared to have the following composition.
<Oxidant-containing solution>
Oxidizing agent: ammonium persulfate 0.3 mol / L
Dopant: p-toluenesulfonic acid 0.3 mol / L
Solvent: Mixed solvent of ethanol and water (ethanol: water = 6: 4)

前記アルミニウム箔に、上記塗布用ローラーと外部ローラーを用いて、本発明に記載の方法により上記酸化剤含有溶液の塗布を行った後、ピロール蒸気中、15分間保持し、この操作を4回繰り返すことにより、誘電体酸化皮膜上に気相重合ポリピロール膜からなる予備導電性プレコート層を形成させた。なお、予備導電性プレコート層は、陰極形成部のみに形成させることができ、気相重合4回での酸化剤含有溶液の使用量は20mLであった。また、酸化剤含有溶液を塗布する工程に所要した時間は20秒であった。   After applying the oxidant-containing solution to the aluminum foil by the method described in the present invention using the application roller and the external roller, the solution is held in pyrrole vapor for 15 minutes, and this operation is repeated four times. Thus, a preliminary conductive precoat layer made of a gas phase polymerization polypyrrole film was formed on the dielectric oxide film. The preliminary conductive precoat layer can be formed only in the cathode forming portion, and the amount of the oxidant-containing solution used in the vapor phase polymerization four times was 20 mL. The time required for the step of applying the oxidizing agent-containing solution was 20 seconds.

次に導電性塗膜の端部を給電部とし、上記箔を、ピロールモノマー0.3mol/L及び支持電解質として2−ナフタレンスルホン酸ナトリウム0.2mol/Lを含む電解重合液に浸漬し、導電性塗膜を陽極とし、外部陰極との間に定電流(0.5mA/cm、60分)を印加させて電解重合ポリピロール膜を形成した。 Next, the end portion of the conductive coating film was used as a power feeding section, and the foil was immersed in an electrolytic polymerization solution containing 0.3 mol / L of pyrrole monomer and 0.2 mol / L of sodium 2-naphthalenesulfonate as a supporting electrolyte. An electropolymerized polypyrrole film was formed by applying a constant current (0.5 mA / cm 2 , 60 minutes) between the conductive coating film as an anode and an external cathode.

得られた上記電解重合ポリピロール膜上に、カーボンペースト及び銀ペーストを順次塗布して陰極層を形成させ、一部から対極を取り出した後、エポキシ樹脂でモールドし、電圧8.2Vを印加させてエージングを行い、定格電圧6.3Vの固体電解コンデンサを完成した。   On the obtained electropolymerized polypyrrole film, a carbon paste and a silver paste are sequentially applied to form a cathode layer, a counter electrode is taken out from a part, molded with an epoxy resin, and a voltage of 8.2 V is applied. Aging was performed to complete a solid electrolytic capacitor with a rated voltage of 6.3V.

得られた固体電解コンデンサ40個について、周波数120Hzにおける静電容量(以下、「C」と略記する。)、120Hzにおける誘電損失(以下、「tanδ」と略記する。)及び100kHzにおける等価直列抵抗(以下、「ESR」と略記する。)、定格電圧6.3V、40秒での漏れ電流(以下、「LC」と略記)の各特性を測定し、40個の平均値の結果を表1に示す。   For the 40 solid electrolytic capacitors obtained, the capacitance at a frequency of 120 Hz (hereinafter abbreviated as “C”), the dielectric loss at 120 Hz (hereinafter abbreviated as “tan δ”), and the equivalent series resistance at 100 kHz ( (Hereinafter abbreviated as “ESR”), the rated voltage of 6.3 V, and the leakage current at 40 seconds (hereinafter abbreviated as “LC”) were measured. Show.

比較例1
予備導電性プレコート層を弁金属表面に形成させる工程において、酸化剤含有溶液の弁作用金属に塗布する方法を、刷毛を用いて行った以外は、実施例1と同様にして、固体電解コンデンサを作製した。なお、陰極形成部3のみ酸化剤含有溶液を塗布した。気相重合4回での酸化剤含有溶液の使用量は20mLであった。また、酸化剤含有溶液を塗布する工程に所要した時間は60秒であった。
Comparative Example 1
In the step of forming the preliminary conductive precoat layer on the valve metal surface, the solid electrolytic capacitor was formed in the same manner as in Example 1 except that the method of applying the oxidizing agent-containing solution to the valve metal was performed using a brush. Produced. The oxidant-containing solution was applied only to the cathode forming portion 3. The amount of the oxidant-containing solution used in the four gas phase polymerizations was 20 mL. The time required for the step of applying the oxidizing agent-containing solution was 60 seconds.

比較例2
予備導電性プレコート層を弁金属表面に形成させる工程において、酸化剤含有溶液の弁作用金属に塗布する方法を、浸漬で行った以外は、実施例1と同様にして、固体電解コンデンサを作製した。なお、予備導電性高分子膜は、アルミニウム箔1の全面に形成され、100mLのステンレス容器で浸漬を行ったため、気相重合4回での酸化剤含有溶液の使用量は100mLであった。
Comparative Example 2
In the step of forming the preliminary conductive precoat layer on the valve metal surface, a solid electrolytic capacitor was produced in the same manner as in Example 1 except that the method of applying the oxidizer-containing solution to the valve action metal was performed by immersion. . In addition, since the preliminary | backup conductive polymer film was formed in the whole surface of the aluminum foil 1, and it immersed in a 100 mL stainless steel container, the usage-amount of the oxidizing agent containing solution in the gas phase polymerization 4 times was 100 mL.

比較例3
予備導電性プレコート層を弁金属表面に形成させる工程において、酸化剤含有溶液の弁作用金属に塗布する方法を、噴霧で行った以外は、実施例1と同様にして、固体電解コンデンサを作製した。なお、予備導電性プレコート層は、比較例2と同じく、アルミニウム箔1の全面に形成され、噴霧での酸化剤含有溶液の塗布は市販の霧吹き器で行い、気相重合1回につき20回、アルミニウム箔1の表裏から噴霧し、気相重合4回の酸化剤含溶液の使用量は80mLであった。
Comparative Example 3
A solid electrolytic capacitor was produced in the same manner as in Example 1 except that in the step of forming the preliminary conductive precoat layer on the valve metal surface, the method of applying the oxidant-containing solution to the valve metal was performed by spraying. . The preliminary conductive precoat layer is formed on the entire surface of the aluminum foil 1 in the same manner as in Comparative Example 2, and the application of the oxidant-containing solution by spraying is performed with a commercially available sprayer, 20 times per gas phase polymerization. It sprayed from the front and back of the aluminum foil 1, and the usage-amount of the oxidizing agent containing solution of vapor phase polymerization 4 times was 80 mL.

Figure 2006165356
Figure 2006165356

本実施例においては、電気的特性の優れたコンデンサが得られ、特に漏れ電流特性に優れたものとなっている。また、酸化剤含有溶液の使用量、塗布に費やす所要時間ももっとも少ない。本発明によれば、生産性に優れた固体電解コンデンサの製造方法を提供できる。   In this embodiment, a capacitor having excellent electrical characteristics can be obtained, and in particular, it has excellent leakage current characteristics. Further, the amount of the oxidizing agent-containing solution used and the time required for coating are the least. ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the manufacturing method of the solid electrolytic capacitor excellent in productivity can be provided.

酸化剤含有溶液の塗布方法の正面図Front view of application method of oxidant-containing solution 酸化剤含有溶液の塗布方法の側面図Side view of coating method of oxidizing agent-containing solution

符号の説明Explanation of symbols

1 弁作用金属箔
2 貫通孔
3 陰極形成部
4 絶縁性塗膜
5 導電性塗膜
6 塗布用ローラー
6a 塗布部
6b 撥水部
6c 拭取り部
6d 芯棒
7 供給部
8 外部ローラー
9 液溜まり部
1 Valve metal foil 2 Through hole 3 Cathode forming part
4 Insulating coating 5 Conductive coating 6 Application roller 6a Application unit 6b Water repellent unit 6c Wiping unit 6d Core rod 7 Supply unit 8 External roller 9 Liquid reservoir

Claims (5)

誘電体酸化皮膜を形成させた弁作用金属表面に、酸化剤含有溶液を塗布させる工程、該酸化剤含有溶液を塗布させた弁作用金属表面に導電性高分子モノマーの蒸気を接触させて化学重合による予備導電性プレコート層を形成させる工程、該予備導電性プレコート層上に電解重合により導電性高分子層を形成する工程を包含する固体電解コンデンサの製造方法において、該酸化剤含有溶液を塗布する際、酸化剤含有溶液を保持させた塗布用ローラーを2個平行に接触させて設置し、その塗布用ローラー間に該弁作用金属を通過させることによって該弁作用金属表面に酸化剤含有溶液を塗布し、導電性高分子モノマーの蒸気を接触させて予備導電性プレコート層を形成させることを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法。 A step of applying an oxidant-containing solution to the valve metal surface on which the dielectric oxide film is formed, and chemical polymerization by bringing vapor of a conductive polymer monomer into contact with the valve metal surface to which the oxidant-containing solution is applied In the method for producing a solid electrolytic capacitor, including the step of forming a preliminary conductive precoat layer by the step of forming a conductive polymer layer by electrolytic polymerization on the preliminary conductive precoat layer, the oxidizing agent-containing solution is applied At this time, two application rollers holding the oxidant-containing solution are placed in contact with each other in parallel, and the oxidant-containing solution is applied to the surface of the valve metal by passing the valve metal between the application rollers. A method for producing a solid electrolytic capacitor, comprising applying a vapor of a conductive polymer monomer to form a preliminary conductive precoat layer. 酸化剤含有溶液を塗布する際、酸化剤含有溶液を保持させた塗布用ローラーに、外部ローラーを押し当て、塗布用ローラー表面に液溜り部を発生させ、該塗布用ローラー間に弁作用金属を通過させることによって酸化剤含有溶液を塗布させることを特徴とする請求項1に記載の固体電解コンデンサの製造方法。 When applying the oxidant-containing solution, an external roller is pressed against the application roller holding the oxidant-containing solution to generate a liquid reservoir on the surface of the application roller, and the valve metal is applied between the application rollers. 2. The method for producing a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the oxidizing agent-containing solution is applied by passing the solution. 塗布用ローラーが、塗布部、撥水部、拭取り部に区画されてなり、該塗布部に酸化剤含有溶液を保持させた後、弁作用金属を塗布用ローラー間に通過させることによって、該弁作用金属の所望の位置に酸化剤含有溶液を塗布することを特徴とした請求項1または2に記載の固体電解コンデンサの製造方法。 The application roller is divided into an application part, a water repellent part, and a wiping part, and after holding the oxidizing agent-containing solution in the application part, passing the valve metal between the application rollers, The method for producing a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the oxidizing agent-containing solution is applied to a desired position of the valve metal. 予備導電性プレコート層および導電性高分子層が、ポリピロールであることを特徴とする請求項1から3に記載の固体電解コンデンサの製造方法。 The method for producing a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the preliminary conductive precoat layer and the conductive polymer layer are polypyrrole. 酸化剤含有溶液の溶媒が、水とアルコールとの混合溶媒であり、その重量比が9:1〜1:9であることを特徴とする請求項1から4に記載の固体電解コンデンサの製造方法。 5. The method for producing a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the solvent of the oxidizing agent-containing solution is a mixed solvent of water and alcohol, and the weight ratio thereof is 9: 1 to 1: 9. .
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2008186881A (en) * 2007-01-29 2008-08-14 Japan Carlit Co Ltd:The Solid electrolytic capacitor
JP2010258128A (en) * 2009-04-23 2010-11-11 Nichicon Corp Method for manufacturing electrolytic capacitor
CN114974902A (en) * 2022-06-22 2022-08-30 西安交通大学 Method for preparing solid cathode of solid valve metal electrolytic capacitor by gas phase method

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