JP2006144825A - Device holder - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、デバイスが挿入されるデバイスホルダに関するものである。
更に詳述すれば、例えば、水平搬送ハンドラのデバイスポケットに使用されるデバイスホルダに関するものである。
The present invention relates to a device holder into which a device is inserted.
More specifically, for example, the present invention relates to a device holder used in a device pocket of a horizontal transfer handler.
デバイスホルダに関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
図１０は従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図で、水平ハンドラーのロードシャトルに使用された例を示す。
水平ハンドラーにおけるロードシャトルＡは、搬送されてきたディバイスＢを、ベース基板１に設けられた凹状のポケット２の中央のくぼみに入れ、必要に応じて,ディバイスＢの向きを図面の紙面内で、任意の方向に回転させて、搬送する機能・動作を有する。
FIG. 10 is a diagram for explaining the configuration of the main part of a conventional example that is generally used in the past, and shows an example used for a load shuttle of a horizontal handler.
The load shuttle A in the horizontal handler puts the conveyed device B into a recess at the center of the concave pocket 2 provided in the base substrate 1, and if necessary, the direction of the device B is within the drawing sheet. It has a function and operation to rotate and transport in any direction.
ロードシャトルＡは,図示を省略するが,空気圧シリンダー、又は電動機構により,紙面の上下方向に動く。
ロードシャトルＡは、本実施例では，４個のポケット２を有しており、必要に応じてディバイスＢの向きを変える。
例えば、時計方向に９０°回転する。
Although not shown, the load shuttle A moves in the vertical direction on the paper surface by a pneumatic cylinder or an electric mechanism.
The load shuttle A has four pockets 2 in this embodiment, and changes the direction of the device B as necessary.
For example, it rotates 90 ° clockwise.
３は、ポケット２の底部と平行に、ポケット２を通って、ベース基板１に設けられた溝である。
これらのポケット２にディバイスＢが搬送されて置かれると、ロードシャトルＡの左右に配置された透過型の光ファイバセンサヘッド４により、溝３を介して、その状態が検出される。
Reference numeral 3 denotes a groove provided in the base substrate 1 through the pocket 2 in parallel with the bottom of the pocket 2.
When the device B is conveyed and placed in these pockets 2, the state is detected through the grooves 3 by the transmission type optical fiber sensor heads 4 arranged on the left and right of the load shuttle A.
光ファイバセンサヘッド４は、光源４１と受光センサ４２とより成る。
受光センサ４２で検出された受光量に基づき、光ファイバセンサアンプ５より検出信号が出力される。
The optical fiber sensor head 4 includes a light source 41 and a
Based on the amount of light received detected by the
以上の構成において、図１０においては、今、ベース基板１の紙面に対する左上のポケット２１と右上のポケット２２とには、ディバイスＢが配置されており、左下のポケット２３と右下のポケット２４とには、ディバイスＢが配置されていない状態を示す。 In the above configuration, in FIG. 10, the device B is disposed in the upper left pocket 21 and the upper right pocket 22 with respect to the paper surface of the base substrate 1, and the lower left pocket 23 and the lower right pocket 24. Shows a state in which the device B is not arranged.
図１１に示す如く、ディバイスＢが無い，または、まだ搬送されていない場合は、透過光Ｃは、受光センサ４２にて、ほぼ最大の光量が受光される。
また、図１２，図１３に示す如く、ディバイスＢが有る、即ち、ポケット２内に存在する場合は、ディバイスＢにより光が遮られ、受光センサ４２にて、減光された光量が受光される。
As shown in FIG. 11, when the device B is not present or has not yet been conveyed, the transmitted light C is received by the
As shown in FIGS. 12 and 13, when the device B is present, that is, in the pocket 2, the light is blocked by the device B, and the
この二つの状態の光量の差により、閾値を決めて、光ファイバセンサアンプ５から信号を発する。この場合は、図１４に示す如く、ディバイスＢがポケット２内に有るときは、オン信号を出力する。 A threshold is determined based on the difference between the amounts of light in these two states, and a signal is emitted from the optical fiber sensor amplifier 5. In this case, as shown in FIG. 14, when the device B is in the pocket 2, an ON signal is output.
ディバイスＢがポケット２内に無いときは、オフ信号を出力して、例えば、警報を発する設定となっている。
つまり、ディバイスＢの状態の有るか、無いかの判定を行う。
When the device B is not in the pocket 2, it is set to output an off signal and issue an alarm, for example.
That is, it is determined whether or not the device B is present.
しかしながら、このような装置においては、装置が複雑となり、また高価な装置を必要とする。
しかし、デバイスポケット部にデバイスが搬送され、正規の姿勢（水平置き）で置かれ無かった場合には、吸着ノズルにより吸着する場合、定位置にノズルが降りてくる為、デバイスを破損（瓦割状態）してしまう。
そこで、正規の姿勢に置かれたかを判断する為、デバイスポケットの裏面から真空引きをし、その真空度により判断する機構が考えられる。
However, in such an apparatus, the apparatus becomes complicated and an expensive apparatus is required.
However, if the device is transported to the device pocket and is not placed in a normal posture (horizontal position), the device will be damaged (the tile breakage) because the nozzle will come down to a fixed position when sucked by the suction nozzle. State).
Therefore, in order to determine whether the device is placed in a normal posture, a mechanism is considered in which a vacuum is drawn from the back surface of the device pocket and the determination is made based on the degree of vacuum.
図１５はこのような真空引き形式のデバイスホルダで、図１６は図１５の側断面図である。
図１７において、デバイス挿入凹部５１は、ベースプレート５２の一面に設けられている。 真空吸引孔５３は、ベースプレート５２に設けられデバイス挿入凹部５１に連通する。
また、真空吸引孔５３の圧力信号に基づき、デバイスホルダにデバイスが配置されているか否かを検出する真空センサ５４と、この真空センサ５４の検出信号に基づき信号を発する配置信号発生器５５が設けられている。
FIG. 15 shows such a vacuum type device holder, and FIG. 16 is a side sectional view of FIG.
In FIG. 17, the device insertion recess 51 is provided on one surface of the base plate 52. The vacuum suction hole 53 is provided in the base plate 52 and communicates with the device insertion recess 51.
Further, a vacuum sensor 54 for detecting whether or not a device is arranged in the device holder based on the pressure signal of the vacuum suction hole 53 and an arrangement signal generator 55 for generating a signal based on the detection signal of the vacuum sensor 54 are provided. It has been.
デバイスは、精度よく水平に出来ている場合は、デバイス挿入凹部５１に置かれた状態でデバイス挿入凹部５１内は、デバイスにより完全に閉じた空間となる。
そこで、デバイス挿入凹部５１を真空引きすることで、真空度がたかまり真空センサーによりデバイスが水平に置かれていることが、センシングできる。
When the device is made horizontally with high accuracy, the inside of the device insertion recess 51 becomes a space completely closed by the device in a state of being placed in the device insertion recess 51.
Therefore, by evacuating the device insertion recess 51, it can be sensed that the degree of vacuum is increased and the device is placed horizontally by the vacuum sensor.
しかしながら、実際のデバイスは、必ずしも精度良く水平には出来ていない。
多くは、上反り・下反り・ねじれを伴う。
したがって、デバイス挿入凹部５１に対して水平に置かれていたとしても、隙間を生じる。
However, an actual device is not necessarily horizontal with high accuracy.
Many are accompanied by warping, warping and twisting.
Therefore, even if it is placed horizontally with respect to the device insertion recess 51, a gap is generated.
隙間により、真空引きをしても真空度が上がらず、水平に置かれているか傾いて置かれているかの、正確な判断ができない。
水平に置かれていながら、真空漏れにより誤検出した場合、ジャミング発生と判断され装置としての信頼を著しく損なうことになる。
Due to the gap, the degree of vacuum does not increase even when vacuuming is performed, and it is impossible to accurately determine whether the vacuum is placed horizontally or tilted.
If it is placed horizontally and erroneously detected due to a vacuum leak, it is determined that jamming has occurred, and the reliability of the device is significantly impaired.
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、デバイス形状に起因する誤検出を防ぎ、誤検出によるジャミング発生を防ぎデバイスホルダに傾いて置かれたデバイスの破損を未然に防止出来るデバイスホルダを提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION The object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and to prevent erroneous detection due to device shape, to prevent jamming due to erroneous detection, and to prevent damage to a device placed on the device holder in advance. The purpose is to provide.
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１のデバイスホルダにおいては、
真空吸引孔が設けられたベースプレートと、このベースプレートに一面が接して設けられたリング状のガスケットと、このガスケットの他面に一面が接して設けられ前記デバイスが挿入されるガイドプレートとを具備したことを特徴とする。
In order to achieve such a subject, in the present invention, in the device holder of claim 1,
A base plate provided with a vacuum suction hole, a ring-shaped gasket provided in contact with the base plate, and a guide plate provided in contact with the other surface of the gasket and into which the device is inserted. It is characterized by that.
本発明の請求項２においては、請求項１記載のデバイスホルダにおいて、
前記ガスケットは、内径が前記デバイスの外形よりわずかに小さい穴を有するリング状のガスケットが使用されたことを特徴とする。
In claim 2 of the present invention, in the device holder according to claim 1,
The gasket is characterized in that a ring-shaped gasket having a hole whose inner diameter is slightly smaller than the outer shape of the device is used.
本発明の請求項３においては、請求項１又は請求項２記載のデバイスホルダにおいて、
前記ガスケットは導電性，耐熱性を有する弾性材料が使用されたことを特徴とする。
In claim 3 of the present invention, in the device holder according to claim 1 or claim 2,
The gasket is made of an elastic material having conductivity and heat resistance.
本発明の請求項４においては、請求項３記載のデバイスホルダにおいて、
前記ガスケットはエチレンプロピレンゴムの発泡体が使用されたことを特徴とする。
In claim 4 of the present invention, in the device holder according to claim 3,
The gasket is characterized in that an ethylene propylene rubber foam is used.
本発明の請求項５においては、請求項１乃至請求項４の何れかに記載記載のデバイスホルダにおいて、
前記真空吸引孔の吸引力に基づく圧力信号に基づき前記デバイスホルダにデバイスが配置されているか否かの信号を発する配置信号発生器を具備したことを特徴とする。
In claim 5 of the present invention, in the device holder according to any one of claims 1 to 4,
An arrangement signal generator is provided that generates a signal indicating whether a device is arranged in the device holder based on a pressure signal based on the suction force of the vacuum suction hole.
以上説明したように、本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
上反り・下反り・ねじれを伴うデバイスがデバイスホルダ置かれても、デバイスホルダに水平にデバイスが置かれたか否かを正確に検出出来るデバイスホルダが得られる。
As described above, according to the first aspect of the present invention, the following effects can be obtained.
Even when a device with upper warp, lower warp, or twist is placed on the device holder, it is possible to obtain a device holder that can accurately detect whether the device is placed horizontally on the device holder.
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
ガスケットは、内径がデバイスの外形よりわずかに小さいリング状のガスケットが使用されたので、
デバイスのハンダボールを確実に避けることが出来、ハンダボールにごみ付着や汚れが防止出来、信頼性が向上されたデバイスホルダが得られる。
According to claim 2 of the present invention, there are the following effects.
Since the gasket used was a ring-shaped gasket whose inner diameter was slightly smaller than the outer shape of the device,
It is possible to reliably avoid the solder balls of the device, prevent dust adhesion and contamination on the solder balls, and obtain a device holder with improved reliability.
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
ガスケットは導電性，耐熱性を有する弾性材料が使用されたので、熱が印加されたデバイスに対しても対処出来検出可能なデバイスホルダが得られる。
ガスケットは導電性を有する弾性材料が使用されたので、デバイスの剥離帯電による、静電気破壊を防止できるデバイスホルダが得られる。
According to claim 3 of the present invention, there are the following effects.
Since an elastic material having conductivity and heat resistance is used for the gasket, a device holder capable of handling even a device to which heat is applied can be obtained.
Since an elastic material having conductivity is used for the gasket, a device holder capable of preventing electrostatic breakdown due to peeling charging of the device is obtained.
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
前記ガスケットはエチレンプロピレンゴムの発泡体が使用されたので、エチレンプロピレンゴムの発泡体は市場性があり、安価に容易に入手し易く安価なデバイスホルダが得られる。
According to claim 4 of the present invention, there are the following effects.
Since the foam of ethylene propylene rubber is used for the gasket, the foam of ethylene propylene rubber is marketable, and an inexpensive device holder can be obtained that is easily available at low cost.
本発明の請求項５によれば、次のような効果がある。
真空吸引孔の吸引力に基づく圧力信号に基づき、デバイスホルダにデバイスが配置されているか否かの信号を発する配置信号発生器が設けられたので、信号処理が出来、制御が容易なデバイスホルダが得られる。
According to claim 5 of the present invention, there are the following effects.
Based on the pressure signal based on the suction force of the vacuum suction hole, the device holder is provided with a placement signal generator that issues a signal as to whether or not a device is placed. can get.
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、図２は図１の側断面図、図３は図１の部品説明図、図４は図３の側断面図、図５は図１の部品説明図、図６は図５の側断面図、図７は図１の部品説明図、図８は図７の側断面図である。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is an explanatory view of a main part configuration of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional side view of FIG. 1, FIG. 3 is an explanatory diagram of parts of FIG. 6 is a side sectional view of FIG. 5, FIG. 7 is a part explanatory view of FIG. 1, and FIG. 8 is a side sectional view of FIG.
図において、ベースプレート６１には、真空吸引孔６２が設けられている。
ガスケット６３は、このベースプレート６１に一面が接して設けられ、リング状をなす。
ガイドプレート６４は、このガスケット６３の他面に一面が接して設けられ、デバイスが挿入される。
６４１は、デバイスが挿入されるデバイス挿入孔である。。
この場合は、ガスケット６３は、内径６３１がデバイスの外形よりわずかに小さい穴を有するリング状のガスケットが使用されている。
In the figure, the base plate 61 is provided with a vacuum suction hole 62.
The gasket 63 is provided in contact with the base plate 61 and has a ring shape.
One surface of the guide plate 64 is provided in contact with the other surface of the gasket 63, and a device is inserted therein.
Reference numeral 641 denotes a device insertion hole into which a device is inserted. .
In this case, the gasket 63 is a ring-shaped gasket having a hole whose inner diameter 631 is slightly smaller than the outer shape of the device.
ガスケット６３は、この場合は、導電性，耐熱性を有する弾性材料が使用され、エチレンプロピレンゴムの発泡体が使用されている。
また、図９に示す如く、真空吸引孔６２の圧力信号に基づき、デバイスホルダにデバイスが配置されているか否かを検出する真空センサ６５と、この真空センサ６５の検出信号に基づき信号を発する配置信号発生器６６が設けられている。
In this case, the gasket 63 is made of an elastic material having conductivity and heat resistance, and an ethylene propylene rubber foam is used.
Further, as shown in FIG. 9, a vacuum sensor 65 that detects whether or not a device is placed in the device holder based on the pressure signal of the vacuum suction hole 62, and an arrangement that emits a signal based on the detection signal of the vacuum sensor 65. A signal generator 66 is provided.
以上の構成において、デバイスを受ける部分をガスケット６３で受けることにし、上反り・下反り・ねじれを伴うデバイスがデバイスホルダーに置かれても、真空引きを始めたところで、デバイス形状にガスケット６３がなじむ形になり、真空漏れを防ぐことが出来、デバイスホルダーに水平にデバイスが置かれたか否かを正確に検出できるようになる。 In the above configuration, the part that receives the device is received by the gasket 63, and even if a device with upper warp, lower warp, or twist is placed on the device holder, the gasket 63 is adapted to the shape of the device when evacuation is started. It can be shaped to prevent vacuum leakage and accurately detect whether the device is placed horizontally on the device holder.
デバイスが傾いて置かれた場合、僅かな隙間でも真空度が上昇しないため、検出ができる。
ガスケット６３は、例えば１ｍｍ厚であり、圧縮に関してはデバイスの形状に追従しやすいが、傾いて置かれた場合など隙間を埋める様に持ち上げるまでは追従しない。
また、仮に持ち上げられても、他の個所にガスケット６３の歪（しわ寄せ）が生じ、やはり、真空度を上昇させるには至らない。
When the device is placed at an angle, the degree of vacuum does not increase even with a small gap, and detection is possible.
The gasket 63 has a thickness of 1 mm, for example, and easily follows the shape of the device with respect to compression, but does not follow until it is lifted so as to fill a gap when it is placed at an angle.
Further, even if it is lifted up, the gasket 63 is distorted (wrinkled) at other locations, and the degree of vacuum is not increased.
この結果、上反り・下反り・ねじれを伴うデバイスがデバイスホルダ置かれても、デバイスホルダに水平にデバイスが置かれたか否かを正確に検出出来るデバイスホルダが得られる。 As a result, it is possible to obtain a device holder that can accurately detect whether or not a device is placed horizontally on the device holder even when a device with warping, warping or twisting is placed on the device holder.
ガスケット６３は、内径がデバイスの外形よりわずかに小さいリング状のガスケットが使用されたので、デバイスのハンダボールを確実に避けることが出来、ハンダボールにごみ付着や汚れが防止出来、信頼性が向上されたデバイスホルダが得られる。
ガスケット６３は導電性，耐熱性を有する弾性材料が使用されたので、熱が印加されたデバイスに対しても対処出来、検出可能なデバイスホルダが得られる。
Since the gasket 63 is a ring-shaped gasket whose inner diameter is slightly smaller than the outer shape of the device, it is possible to reliably avoid the solder balls of the device, and to prevent dust adhesion and dirt on the solder balls, thereby improving reliability. The obtained device holder is obtained.
Since the gasket 63 is made of an elastic material having conductivity and heat resistance, it can cope with a device to which heat is applied, and a detectable device holder is obtained.
ガスケット６３は導電性を有する弾性材料が使用されたので、デバイスの剥離帯電による、静電気破壊を防止できるデバイスホルダが得られる。
ガスケット６３はエチレンプロピレンゴムの発泡体が使用されたので、エチレンプロピレンゴムの発泡体は市場性があり、安価に容易に入手し易く安価なデバイスホルダが得られる。
Since the gasket 63 is made of a conductive elastic material, a device holder can be obtained that can prevent electrostatic breakdown due to peeling charging of the device.
Since the foam of ethylene propylene rubber is used for the gasket 63, the foam of ethylene propylene rubber is marketable, and an inexpensive device holder that can be easily obtained at low cost can be obtained.
真空吸引孔６２の吸引力に基づく圧力信号に基づき、デバイスホルダにデバイスが配置されているか否かの信号を発する配置信号発生器６６が設けられたので、信号処理が出来、制御が容易なデバイスホルダが得られる。 Since the arrangement signal generator 66 for generating a signal indicating whether or not a device is arranged in the device holder based on the pressure signal based on the suction force of the vacuum suction hole 62 is provided, the device can perform signal processing and can be easily controlled. A holder is obtained.
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
The above description merely shows a specific preferred embodiment for the purpose of explanation and illustration of the present invention.
Therefore, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and includes many changes and modifications without departing from the essence thereof.
１ ベース基板
２ ポケット
２１ ポケット
２２ ポケット
２３ ポケット
２４ ポケット
３ 溝
４ 光ファイバセンサヘッド
４１ 光源
４２ 受光センサ
５ 光ファイバセンサアンプ
１０ 信号発生手段
１１ 第１の信号発生手段
１２ 第１の所定量
１３ 第２の信号発生手段
１４ 第２の所定量
５１ デバイス挿入凹部
５２ ベースプレート
５３ 真空吸引孔
５４ 真空センサ
５５ 配置信号発生器
６１ ベースプレート
６２ 真空吸引孔
６３ ガスケット
６３１ 内径
６４ ガイドプレート
６４１ デバイス挿入孔
６５ 真空センサ
６６ 配置信号発生器
Ａ ロードシャトル
Ｂ デバイス
Ｃ 透過光
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base substrate 2 Pocket 21 Pocket 22 Pocket 23 Pocket 24 Pocket 3 Groove 4 Optical fiber sensor head 41
Claims (5)
このベースプレートに一面が接して設けられたリング状のガスケットと、
このガスケットの他面に一面が接して設けられ前記デバイスが挿入されるガイドプレートと
を具備したことを特徴とするデバイスホルダー。 A base plate provided with a vacuum suction hole;
A ring-shaped gasket provided on one side of the base plate;
A device holder comprising: a guide plate that is provided in contact with the other surface of the gasket and into which the device is inserted.
を特徴とする請求項１記載のデバイスホルダ。 The device holder according to claim 1, wherein the gasket is a ring-shaped gasket having a hole whose inner diameter is slightly smaller than the outer shape of the device.
を特徴とする請求項１又は請求項２記載のデバイスホルダ。 The device holder according to claim 1 or 2, wherein an elastic material having conductivity and heat resistance is used for the gasket.
を特徴とする請求項３記載のデバイスホルダ。 The device holder according to claim 3, wherein a foam of ethylene propylene rubber is used for the gasket.
を具備したことを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載のデバイスホルダ。
5. An arrangement signal generator for generating a signal indicating whether or not a device is arranged in the device holder based on a pressure signal based on the suction force of the vacuum suction hole. Device holder according to crab.
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20070613 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20090909 |