JP2006086545A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】有機絶縁膜(低誘電率有機膜17,19)を備えた絶縁膜16に形成された凹部23の側壁に、窒素と、前記低誘電率有機膜17,19から解離された炭素との化合物からなる保護膜31が形成されているものである。
【選択図】図1
Description
本発明は、有機絶縁膜の側壁に保護膜を形成して、エッチング時の側壁の後退を阻止することを可能にすることを課題とする。
Claims (1)
- 有機絶縁膜を備えた絶縁膜に形成された凹部の側壁に、窒素と、前記有機絶縁膜から解離された炭素との化合物からなる保護膜が形成されている
ことを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
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JP2005341658A JP2006086545A (ja) | 2005-11-28 | 2005-11-28 | 半導体装置 |
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JP2005341658A JP2006086545A (ja) | 2005-11-28 | 2005-11-28 | 半導体装置 |
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-
2005
- 2005-11-28 JP JP2005341658A patent/JP2006086545A/ja active Pending
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