JP2006035062A - 液滴吐出装置、液晶表示装置及び電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】 所定の基板上に異なる濃度のインクを吐出するこができる液滴吐出装置を提供することである。
【解決手段】 制御装置１４からの信号に基づいて駆動装置１６により駆動されるベルトコンベアＢＣにより搬送された基板、例えば、セグメント電極が形成された基板を洗浄装置４において洗浄する。次に、ベルトコンベアＢＣにより搬送された基板に、吐出装置６のノズル形成面に形成されている複数のノズル列毎に異なる濃度の配向膜材料を異なる量吐出する。次に、乾燥装置８において基板上に塗布されている配向膜材料の仮乾燥を行い、焼成装置１０において基板を焼成し配向膜を形成する。そして、ラビング装置１２において配向膜にラビング処理を施す。
【選択図】 図１

Description

この発明は、所定の基板上に吐出物を吐出する液滴吐出装置、液晶表示装置及び電子機器に関するものである。

従来、所定の基板上に膜を成形する場合、例えば、液晶表示装置の基板上に配向膜を形成する場合には、フレキソ印刷法やオフセット印刷法等の印刷法が用いられていた。例えば、フレキソ印刷法では、配向膜材料を含む塗布液を印刷により基板に転写塗布した後、所定の温度で加熱することにより溶剤成分を蒸発させ、その後所定の温度で焼成することにより配向膜が形成される。

なお、特許文献１に、所定のピッチで各行に配列される複数の噴出孔を有し、任意の行の噴出孔は隣接する行の噴出孔の配列に対してピッチが半分ずれるように配置されているインクジェットノズルを用いて配向膜溶液を基板に噴射塗布する液晶表示素子の配向膜形成方法が開示されている。

特開平９−１３８４１０号公報

ところで、一般的に印刷法で用いられる配向膜材料を含む塗布液は、印刷性を考慮して４０〜６０ｍＰａ・ｓ程度の粘度に調整されている。従って、塗布液の粘度が高いために、基板に転写塗布する際に印刷ムラが生じ易く、表示不良が発生し易いという問題がある。一方、インクジェットノズルを用いる場合には、印刷法と同様の粘度では配向膜材料をインクジェットノズルを介して吐出することができないため、溶剤成分を多くし配向膜材料を含む塗布液（インク）の粘度を１０ｍＰａ・ｓ以下に調整している。

従って、印刷法により形成される配向膜と同じ厚さの配向膜を形成するためには、より多くの塗布液を基板上に塗布する必要があるものの、基板上に転写塗布する場合と異なり印刷ムラの発生を防止することができる。しかし、低粘度の配向膜材料を基板上に塗布した場合、基板上に均一に配向膜材料を塗布した場合であっても、乾燥工程において溶剤を蒸発させる際に基板上の中央部に形成される配向膜の膜厚に対して基板上の周辺部に形成される配向膜の膜厚が厚くなる。即ち、乾燥工程においては、中央部では周辺に溶剤蒸気が存在するため、インクに含まれる溶剤の蒸発速度がゆっくりであるのに対して、周辺部では溶剤蒸気が速やかに拡散するため、インクに含まれる溶剤の蒸発速度が中央部よりも速くなる。従って、周辺部は中央部よりも濃度が高くなり、インクの表面張力が高くなるが、中央部のインクの表面張力は低いままであり、中央部の塗布液が周辺部に流れ込んでしまい、周辺部に形成される配向膜の膜厚が中央部に形成される配向膜の膜厚よりも厚くなることが経験的に知られている。そのため、配向膜材料を均一に塗布することによって、逆に形成される配向膜の膜厚が不均一になってしまい、表示不良が発生するという問題がある。

この発明の課題は、複数のノズルを配置した複数のノズル列を介して、所定の基板上に異なる濃度の吐出物を吐出することができる液滴吐出装置、該液滴吐出装置を用いて製造された液晶表示装置及び製造された液晶表示装置を搭載した電子機器を提供することである。

この発明に係る液滴吐出装置は、タンクに収容された吐出物を、所定の基板上に吐出するノズルが形成されたヘッドを備える液滴吐出装置であって、前記ヘッドには、複数のノズルが配置された複数のノズル列が形成されており、該各ノズル列毎に異なる濃度の前記吐出物を吐出することを特徴とする。

この液滴吐出装置によれば、ヘッドに形成された各ノズル列毎に異なる濃度の吐出物を吐出している。従って、例えば、異なる濃度の配向膜材料を含む吐出物を基板上に吐出することにより、吐出された吐出物を乾燥させ溶剤を蒸発させることによって形成される配向膜の膜厚を均一にすることができる。そのため、例えば、液晶表示装置の表示不良の発生を適切、かつ、容易に低減させることができる。

また、この発明に係る液滴吐出装置は、前記各ノズル列毎に異なる量の前記吐出物を吐出することを特徴とする。この液滴吐出装置によれば、例えば、配向膜材料を含む吐出物を基板上に吐出する場合に、基板上の所定領域毎の蒸発速度等を考慮して、蒸発速度が速い領域には、濃度が薄い吐出物を多めに、蒸発速度が遅い領域には、濃度が濃い吐出物を少なめに吐出することにより、均一な配向膜を形成することができる。そのため、容易に均一な膜厚の配向膜を形成し、液晶表示装置における表示不良を適切に低減させることができる。

また、この発明に係る液晶表示装置は、この発明の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする。この液晶表示装置によれば、この発明の液滴吐出装置を用いて製造されているため、表示不良が適切に低減される。

また、この発明に係る電子機器は、この発明の液晶表示装置を搭載したことを特徴とする。この電子機器によれば、表示不良が適切に低減された液晶表示装置を搭載しているため、電子機器の歩留まりを向上させることができると共に、電子機器の製造コストを低減させることができる。

以下、図面を参照してこの発明の実施の形態に係る液滴吐出装置について説明する。なお、以下においては、この発明の実施の形態に係る液滴吐出装置を用いて液晶表示装置を製造する場合を例として説明する。

図１は、この発明の実施の形態に係る液滴吐出装置を含む液晶表示装置製造ラインの構成の一例を示す図である。図１に示すように、液晶表示装置製造ライン２は、各工程においてそれぞれ用いられる洗浄装置４、吐出装置（液滴吐出装置）６、乾燥装置８、焼成装置１０及びラビング装置１２、各装置を接続するベルトコンベアＢＣ、ベルトコンベアＢＣを駆動させる駆動装置１６及び液晶表示装置製造ライン２全体の制御を行う制御装置１４により構成されている。また、洗浄装置４、吐出装置６、乾燥装置８、焼成装置１０及びラビング装置１２は、ベルトコンベアＢＣに沿って所定の間隔で一列に配置されている。

制御装置１４は、洗浄装置４、吐出装置６、乾燥装置８、焼成装置１０、ラビング装置１２及び駆動装置１６に接続されている。駆動装置１６は、制御装置１４からの制御信号に基づいてベルトコンベアＢＣを駆動させ、液晶表示装置の基板（以下、単に「基板」とする。）を洗浄装置４、吐出装置６、乾燥装置８、焼成装置１０及びラビング装置１２に搬送する。洗浄装置４においては基板を洗浄する処理が行われ、吐出装置６においては基板上に配向膜材料を塗布する処理、即ち、基板上に配向膜材料を含む液滴を吐出する処理が行われ、乾燥装置８においては配向膜材料を仮乾燥させる処理が行われる。また、焼成装置１０においては乾燥させた配向膜材料を焼成させる処理が行われ、ラビング装置１２においては配向膜のラビング処理が行われる。

図２は、この発明の実施の形態に係る液滴吐出装置として用いられるインクジェット式の吐出装置６の構成の概略を示す図である。この吐出装置６は、基板上に吐出物を吐出するインクジェットヘッド２２を備えている。このインクジェットヘッド２２は、ヘッド本体２４及び吐出物を吐出する多数のノズルが形成されているノズル形成面２６を備えている。このノズル形成面２６のノズルから吐出物、即ち、基板上に配向膜を形成するための配向膜材料を含むインク（配向膜材料を含む液滴。以下、単に「配向膜材料」という。）が吐出される。また、吐出装置６は、基板を載置するテーブル２８を備えている。このテーブル２８は、所定の方向、例えば、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能に設置されている。また、テーブル２８は、図中矢印で示すようにＸ軸に沿った方向に移動することにより、ベルトコンベアＢＣにより搬送される基板をテーブル２８上に載置して吐出装置６内に取り込む。

また、インクジェットヘッド２２には、ノズル形成面２６に形成されているノズルから吐出される吐出物である配向膜材料を収容しているタンク３０が接続されている。即ち、タンク３０とインクジェットヘッド２２とは、吐出物を搬送する吐出物搬送管３２によって接続されている。また、この吐出物搬送管３２は、吐出物搬送管３２の流路内の帯電を防止するための吐出物流路部アース継手３２ａとヘッド部気泡排除弁３２ｂとを備えている。このヘッド部気泡排除弁３２ｂは、後述する吸引キャップ４０により、インクジェットヘッド２２内の吐出物を吸引する場合に用いられる。即ち、吸引キャップ４０によりインクジェットヘッド２２内の吐出物を吸引するときは、このヘッド部気泡排除弁３２ｂを閉状態にし、タンク３０側から吐出物が流入しない状態にする。そして、吸引キャップ４０で吸引すると、吸引される吐出物の流速が上がり、インクジェットヘッド２２内の気泡が速やかに排出されることになる。

また、吐出装置６は、タンク３０内に収容されている吐出物の収容量、即ち、タンク３０内に収容されている配向膜材料の液面３４ａの高さを制御するための液面制御センサ３６を備えている。この液面制御センサ３６は、インクジェットヘッド２２が備えるノズル形成面２６の先端部２６ａとタンク３０内の液面３４ａとの高さの差ｈ（以下、水頭値という）を所定の範囲内に保つ制御を行う。液面３４ａの高さを制御することで、タンク３０内の吐出物３４が所定の範囲内の圧力でインクジェットヘッド２２に送られることになる。そして、所定の範囲内の圧力で吐出物３４を送ることで、インクジェットヘッド２２から安定的に吐出物３４を吐出することができる。

また、インクジェットヘッド２２のノズル形成面２６に対向して一定の距離を隔てて、インクジェットヘッド２２のノズル内の吐出物を吸引する吸引キャップ４０が配置されている。この吸引キャップ４０は、図２中に矢印で示すＺ軸に沿った方向に移動可能に構成されており、ノズル形成面２６に形成された複数のノズルを囲むようにノズル形成面２６に密着し、ノズル形成面２６との間に密閉空間を形成してノズルを外気から遮断できる構成となっている。なお、吸引キャップ４０によるインクジェットヘッド２２のノズル内の吐出物の吸引は、インクジェットヘッド２２が吐出物３４を吐出していない状態、例えば、インクジェットヘッド２２が、退避位置等に退避しており、テーブル２８が破線で示す位置に退避しているときに行われる。

また、この吸引キャップ４０の下方には、流路が設けられており、この流路には、吸引バルブ４２、吸引異常を検出する吸引圧検出センサ４４及びチューブポンプ等からなる吸引ポンプ４６が配置されている。また、この吸引ポンプ４６等で吸引され、流路を搬送されてきた吐出物３４は、廃液タンク４８内に収容される。

ここで、吐出装置６においては、図３に示すように、ノズル形成面２６に複数のノズルが配置された複数のノズル列が形成されている。図３に示すノズル形成面２６には、ノズル列２６ａ、２６ｂ、２６ｃとして、３列のノズル列が形成されており、各ノズル列には、１５個のノズルが配置されている。なお、インクジェットヘッド２２のノズル形成面２６に複数のノズル列が形成されている場合には、吐出装置６は、形成されているノズル列の数と同じ数のタンクを備えている。従って、図３に示すように、ノズル形成面２６に３列のノズル列が形成されているインクジェットヘッド２２を備える場合には、３つのタンク（図２においては、タンク３０のみを図示）を備え、各タンクに収容されている異なる濃度の配向膜材料がそれぞれのノズル列を介して基板上に吐出される。

図４は、この発明の実施の形態に係る液滴吐出装置を用いて製造される液晶表示装置の断面の概略を示す図である。図４に示すように、液晶表示装置５０は、ガラスやプラスチック等からなる矩形平板形状の基板５２と、基板５４とがシール材及びスペーサ（図示せず）を介して対向配置され、この基板５２と基板５４との間にＳＴＮ（Ｓｕｐｅｒ Ｔｗｉｓｔｅｄ Ｎｅｍａｔｉｃ）液晶等からなる液晶５６が挟持されている。

基板５２と液晶５６との間には、基板５２の側から順に、複数のセグメント電極５８及び配向膜６０が形成されている。セグメント電極５８は、図４に示すように、ストライプ状に形成されており、インジウム錫酸化物（Ｉｎｄｉｕｍｕ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ、以下、「ＩＴＯ」と略記する。）等の透明導電膜により形成されている。また、配向膜６０は、ポリイミド樹脂等により形成されている。

また、基板５４と液晶５６との間には、基板５４側から順に、カラーフィルタ６２、オーバーコート膜６６、コモン電極６８及び配向膜７０が形成されている。カラーフィルタ６２は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色素層６２ｒ、６２ｇ、６２ｂから構成されており、カラーフィルタ６２を構成する各色素層６２ｒ、６２ｇ、６２ｂの間（境界）には、樹脂ブラックや光の反射率が低いクロム（Ｃｒ）等の金属により構成されるブラックマトリクス６４が形成されている。なお、カラーフィルタ６２を構成する各色素層６２ｒ、６２ｇ、６２ｂは基板５２に形成されているセグメント電極５８に対向して配置されている。

また、オーバーコート膜６６は、各色素層６２ｒ、６２ｇ、６２ｂ間の段差を平坦化すると共に各色素層の表面を保護するものであり、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、シリコン酸化膜等の無機膜により形成されている。また、コモン電極６８は、ＩＴＯ等の透明導電膜から形成されており、基板５２に形成されているセグメント電極５８と直交する位置にストライプ状に形成されている。また、配向膜７０は、ポリイミド樹脂等により形成されている。従って、以下においては、セグメント電極５８が形成された基板５２又は、カラーフィルタ６２、ブラックマトリクス６４、オーバーコート膜６６及びコモン電極６８が形成された基板５４上に配向膜を形成する場合を例として説明する。

次に、図５のフローチャートを参照して、実施の形態に係る液滴吐出装置を用いた液晶表示装置製造ラインにおける液晶表示装置の製造処理について説明する。

まず、配向膜を形成する基板を洗浄する（ステップＳ１０）。例えば、セグメント電極５８が形成された基板５２をベルトコンベアＢＣにより洗浄装置４まで搬送する。ベルトコンベアＢＣにより搬送された基板５２が洗浄装置４内に取り込まれ、アルカリ系洗剤、純水等を用いて基板５２が洗浄された後、所定の温度及び時間、例えば、８０〜９０℃で５〜１０分間乾燥させる処理が行われる。なお、洗浄及び乾燥が行われた基板５２は、ベルトコンベアＢＣにより吐出装置６まで搬送される。

次に、ステップＳ１０において洗浄された基板上に配向膜材料を塗布する（ステップＳ１１）。即ち、まず、ベルトコンベアＢＣにより吐出装置６まで搬送された基板、例えば、基板５２を、テーブル２８に載置して吐出装置６内に取り込む。吐出装置６内においては、タンク３０内に収容されている配向膜材料をノズル形成面２６のノズルを介して吐出し、基板５２上に配向膜材料を塗布する。以下、図面を参照して基板上に配向膜材料を塗布する処理について説明する。

図６は、この発明の実施の形態に係る基板上に配向膜材料が塗布される領域を説明するための図である。基板上に配向膜材料を塗布する領域は、図６に示すように、中央部（中央領域）７２、中間部（中間領域）７４及び外周部（周辺領域）７６に分けられている。ここで、中央部７２、中間部７４及び外周部７６を含む配向膜材料塗布領域の全体に配向膜材料を均一に塗布した場合、外周部７６に形成された配向膜の膜厚が中間部７４や中央部７２に形成された配向膜の膜厚よりも厚くなることが経験的に知られている。一方、配向膜を同一の工程、同一の条件において形成した場合であっても、配向膜の種類、溶剤成分、溶剤成分比により中央部に形成された配向膜の膜厚よりも膜厚が厚くなる領域や、中央部に形成された配向膜の膜厚と外周部に形成された配向膜の膜厚の差が異なる。従って、上述のように、中央部に形成された配向膜の膜厚に対して膜厚が厚くなることが経験的に知られている領域を外周部とし、外周部と中央部との間の領域を中間部とする。

従って、吐出装置６においては、中央部７２、中間部７４及び外周部７６とでノズル形成面２６を介して吐出される配向膜材料の濃度及び量を変更することにより、中央部７２、中間部７４及び外周部７６に塗布される配向膜材料の濃度及び量を調整する。例えば、外周部７６に対しては、ノズル列２６ａを介して、濃度１％の配向膜材料をドット量１０ｎｇ／ドットで吐出し、中間部７４に対しては、ノズル列２６ｂを介して、濃度２％の配向膜材料をドット量２０ｎｇ／ドットで吐出し、中央部７２に対しては、ノズル列２６ｃを介して、濃度３％の配向膜材料をドット量３０ｎｇ／ドットで吐出する。なお、吐出装置６においては、ノズル列２６ａを介して外周部７６に対して配向膜材料を吐出する際の駆動波形、ノズル列２６ｂを介して中間部７４に対して配向膜材料を吐出する際の駆動波形、ノズル列２６ｃを介して中央部７２に対して配向膜材料を吐出する際の駆動波形として、それぞれ異なる駆動波形を用いることにより、吐出される液滴の大きさを変更し、中央部７２、中間部７４及び外周部７６の各々に吐出される配向膜材料の量を変更している。

図７は、この発明の実施の形態に係る液滴吐出装置により吐出された配向膜材料の一例を示す図である。即ち、基板を載置したテーブル２８は（図２参照）、図７において矢印で示す方向に移動するため、このテーブル２８の移動に合わせて各ノズル列に配置されているノズルから配向膜材料が吐出される。例えば、実線Ａで示す位置においては、ノズル列２６ａに配置されている全てのノズルから外周部７６に対して配向膜材料が吐出され、ノズル列２６ｂ及びノズル列２６ｃに配置されているノズルからは配向膜材料が吐出されない。次に、実線Ｂで示す位置においては、ノズル列２６ａに配置されているノズルの中で、外周部７６に対応する位置に配置されているノズルからのみ配向膜材料が吐出され、ノズル列２６ｂに配置されているノズルの中で、中間部７４に対応する位置に配置されているノズルからのみ配向膜材料が吐出され、ノズル列２６ｃに配置されているノズルからは配向膜材料が吐出されない。そして、実線Ｃで示す位置においては、ノズル列２６ａに配置されているノズルの中で、外周部７６に対応する位置に配置されているノズルからのみ配向膜材料が吐出され、ノズル列２６ｂに配置されているノズルの中で、中間部７４に対応する位置に配置されているノズルからのみ配向膜材料が吐出され、ノズル列２６ｃに配置されているノズルからは、中央部７２に対応する位置に配置されているノズルからのみ配向膜材料が吐出される。従って、図７に示すように、例えば、中央部７２に濃度が濃い配向膜材料が小量吐出され、外周部７６に濃度が薄い配向膜材料が大量に吐出される。そして、中間部７４には、中央部７２と外周部７６に吐出された配向膜材料の濃度に対して中間の濃度の配向膜材料が、中央部７２と外周部７６に吐出された量の中間の量吐出される。

中央部７２、中間部７４及び外周部７６のそれぞれで異なる濃度で異なる量の配向膜材料が塗布された基板、例えば、基板５２は、吐出装置６において、水平に保持された状態で、例えば、１分間放置され、レベリングが行われる。その後、テーブル２８からベルトコンベアＢＣへと移され、ベルトコンベアＢＣにより乾燥装置８へと搬送される。

次に、基板に塗布された配向膜材料を仮乾燥させる処理が行われる（ステップＳ１２）。即ち、ベルトコンベアＢＣにより乾燥装置８まで搬送された基板、例えば、基板５２を乾燥装置８内に取り込み、例えば、６０〜１００℃で仮乾燥させる。なお、塗布された配向膜材料の仮乾燥が行われた基板５２は、ベルトコンベアＢＣへと移され、ベルトコンベアＢＣにより焼成装置１０へと搬送される。

次に、仮乾燥が行われた配向膜材料を焼成する処理が行われる（ステップＳ１３）。即ち、ベルトコンベアＢＣにより焼成装置１０まで搬送された基板、例えば、基板５２を焼成装置１０内に取り込み、例えば、１８０〜２５０℃で焼成する。なお、焼成が行われ配向膜（例えば、配向膜６０、図４参照）が形成された基板５２は、ベルトコンベアＢＣへと移され、ベルトコンベアＢＣによりラビング装置１２へと搬送される。

次に、基板上に形成された配向膜６０をラビングする処理が行われる（ステップＳ１４）。即ち、ベルトコンベアＢＣによりラビング装置１２まで搬送された基板、例えば、基板５２をラビング装置１２内に取り込み、例えば、布を用いて基板５２上に形成されている配向膜６０を擦ることによりラビング処理を施す。なお、配向膜６０にラビング処理が施された後、基板５２は、ベルトコンベアＢＣへと移され、ベルトコンベアＢＣにより、図示しない基板収容カセット等に収容される。また、図示しない基板収容カセット等に収容された基板５２は、図示しない組立装置において、カラーフィルタ６２、ブラックマトリクス６４、オーバーコート膜６６、コモン電極６８及び配向膜が形成された基板５４と貼り合わせられる。そして、基板５２と基板５４との間に液晶が注入されることにより、図４に示すような液晶表示装置５０が製造される。

次に、この発明の実施の形態に係る液滴吐出装置を用いて製造された液晶表示装置を搭載した電子機器について説明する。図８は、この発明の実施の形態に係る液滴吐出装置を用いて製造された液晶表示装置を搭載した電子機器の一例を示す斜視図である。

図８（ａ）は、液晶表示装置を搭載した携帯電話の一例を示す図である。図８（ａ）に示すように携帯電話１００の表示画面として、この発明の実施の形態に係る液滴吐出装置を用いて製造された液晶表示装置１０１が搭載されている。また、図８（ｂ）は、液晶表示装置を搭載した携帯型情報端末処理装置（例えば、携帯型のワードプロセッサや、携帯型のパーソナルコンピュータ等）の一例を示す図である。図８（ｂ）に示すように、情報処理装置１１０は、情報処理装置本体１１１、キーボード等により構成される入力部１１２、この発明の実施の形態に係る液滴吐出装置を用いて製造された液晶表示装置１１３を備えている。更に、図８（ｃ）は、液晶表示装置を搭載した時計の一例を示す図である。図８（ｃ）に示すように、時計１２０の表示画面として、この発明の実施の形態に係る液滴吐出装置を用いて製造された液晶表示装置１２１が搭載されている。

この発明の実施の形態に係る液滴吐出装置によれば、複数のノズル列毎に異なる濃度の配向膜材料を基板上に吐出している。即ち、一つのインクジェットヘッドを備えた一台の液滴吐出装置を用いて、基板上の所定領域毎に異なる濃度の配向膜材料を一度の処理で吐出することができる。従って、短時間で所定領域毎に異なる濃度の配向膜材料を的確、かつ、容易に塗布することができ、基板上に均一な配向膜を形成することができ、表示不良の発生を低減させることができる。

また、上述の実施の形態に係る液滴吐出装置によれば、基板上の所定領域を中央部、中間部及び外周部に分け、各領域に対応するノズル列を介して異なる濃度の配向膜材料を異なる量吐出している。従って、配向膜材料を乾燥させインクに含まれる溶剤を蒸発させる際の蒸発速度に対応させ、所定濃度の配向膜材料を所定量、所定領域に吐出することにより、均一な膜厚の配向膜を形成することができ、液晶表示装置の表示不良の発生を的確に低減させることができる。

また、上述の実施の形態に係る液晶表示装置によれば、上述の実施の形態に係る液滴吐出装置を用いて均一な膜圧の配向膜が形成されているため、表示不良の発生を適切に防止することができる。

また、上述の実施の形態に係る電子機器によれば、上述の実施の形態に係る液滴吐出装置を用いて製造された液晶表示装置を搭載しているため、電子機器の歩留まりを向上させることができ、効率的に電子機器を生産することができるため、電子機器そのものの製造コストを低減させることができ、電子機器の低価格化を図ることができる。

なお、上述の実施の形態に係る液滴吐出装置においては、中央部、中間部、外周部と３つの領域の各々に異なる濃度の配向膜材料を異なる量吐出しているが、配向膜材料を吐出する領域を任意に分割してもよい。例えば、外周部と中央部の２つの領域に分割してもよい。

また、上述の実施の形態に係る液滴吐出装置においては、配向膜材料の濃度を１％、２％及び３％とし、配向膜材料の液滴の大きさを１０ｎｇ／ドット、２０ｎｇ／ドット、ドット量３０ｎｇ／ドットとして吐出しているが、濃度及び液滴の大きさは配向膜材料の種類等によって任意に設定するようにしてもよい。

また、上述の実施の形態に係る液滴吐出装置においては、ノズル列が３列設けられている場合を例としているが、ノズル列が２列であってもよい。ノズル列が２列の場合には、例えば、一のノズル列からは中央部に対して濃度１％の配向膜材料を吐出し、他のノズル列からは外周部に対して濃度３％の配向膜材料を吐出する。そして、中間部に対しては、双方のノズル列からそれぞれ配向膜材料を吐出することによって、濃度２％の配向膜材料が吐出されるようにしてもよい。

また、上述の実施の形態に係る液滴吐出装置においては、液晶表示装置の配向膜を形成する場合を例として説明したが、その他の場合に用いてもよい。例えば、レジスト、オーバーコート等を吐出する際に用いてもよく、また、カラーフィルタや有機ＥＬディスプレイ等を形成する際に用いるようにしてもよい。

実施の形態に係る液晶表示装置製造ラインの一例を示す図である。 実施の形態に係るインクジェット式吐出装置の概略図である。 実施の形態に係るノズル列の概略図である。 実施の形態に係る液晶表示装置の断面の概略図である。 実施の形態に係る液晶表示装置を製造するフローチャートである。 実施の形態に係る配向膜材料塗布領域の一例を示す図である。 実施の形態に係る吐出された配向膜材料の一例を示す図である。 実施の形態に係る液晶表示装置を搭載した電子機器の斜視図である。

符号の説明

２・・・液晶表示装置製造ライン、４・・・洗浄装置、６・・・吐出装置、８・・・乾燥装置、１０・・・焼成装置、１２・・・ラビング装置、１４・・・制御装置、１６・・・駆動装置、５０・・・液晶表示装置、５２、５４・・・基板、７２・・・中央部、７４・・・中間部、７６・・・外周部。

Claims (4)

1. タンクに収容された吐出物を、所定の基板上に吐出するノズルが形成されたヘッドを備える液滴吐出装置であって、
   前記ヘッドには、複数のノズルが配置された複数のノズル列が形成されており、該各ノズル列毎に異なる濃度の前記吐出物を吐出することを特徴とする液滴吐出装置。
2. 前記各ノズル列毎に異なる量の前記吐出物を吐出することを特徴とする請求項１記載の液滴吐出装置。
3. 請求項１又は請求項２記載の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする液晶表示装置。
4. 請求項３に記載の液晶表示装置を搭載したことを特徴とする電子機器。

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