JP2006009759A - Turbo-molecular pump device - Google Patents
Turbo-molecular pump device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006009759A JP2006009759A JP2004191511A JP2004191511A JP2006009759A JP 2006009759 A JP2006009759 A JP 2006009759A JP 2004191511 A JP2004191511 A JP 2004191511A JP 2004191511 A JP2004191511 A JP 2004191511A JP 2006009759 A JP2006009759 A JP 2006009759A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- rotor
- molecular pump
- emergency stop
- bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
Description
本発明は、ターボ分子ポンプ装置に関する。 The present invention relates to a turbo molecular pump device.
従来、ターボ分子ポンプ装置としては、特開平09−068222号公報(特許文献1)に記載されているものがある。 Conventionally, as a turbo molecular pump device, there is one described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 09-068222 (Patent Document 1).
このターボ分子ポンプ装置は、ロータと、上記ロータを駆動するモータと、上記ロータを磁気的に非接触支持する磁気軸受と、上記モータの回転速度を変速するインバータ制御回路と、上記磁気軸受の動作を制御する磁気軸受制御回路と、上記磁気軸受が上記ロータを支持できなくなったときに、上記ロータを機械的に支持するタッチダウン軸受と、発熱制動用回路とを備える。 The turbo molecular pump device includes a rotor, a motor that drives the rotor, a magnetic bearing that supports the rotor in a magnetic non-contact manner, an inverter control circuit that changes a rotational speed of the motor, and an operation of the magnetic bearing. A magnetic bearing control circuit for controlling the rotor, a touch-down bearing that mechanically supports the rotor when the magnetic bearing cannot support the rotor, and a heating braking circuit.
上記モータは、電源異常等により電源側からの電力の供給が停止されると、慣性力によりロータが回転を持続したままで、発電機として電圧を誘導するようになっている。また、上記インバータ制御回路および磁気軸受制御回路は、電源電圧が低下すると、電源に代わってモータから回生電力を供給されるようになっている。そして、上記モータから供給される回生電力がインバータ制御回路および磁気軸受制御回路を駆動できる間、この回生電力によってモータ制御および磁気浮上制御を行うようになっている。 When the supply of electric power from the power supply side is stopped due to a power supply abnormality or the like, the motor induces a voltage as a generator while the rotor continues to rotate due to inertial force. The inverter control circuit and the magnetic bearing control circuit are adapted to be supplied with regenerative power from the motor instead of the power supply when the power supply voltage decreases. While the regenerative power supplied from the motor can drive the inverter control circuit and the magnetic bearing control circuit, the regenerative power performs motor control and magnetic levitation control.
上記インバータ制御回路は、モータからの回生電力をモータと上記発熱制動用回路に分流するようになっている。そして、上記インバータ制御回路が、電力をモータに戻すことによって回生制動が行われ、インバータ制御回路が、回生電力を上記発熱制動用回路の抵抗に流すことによって発熱制動が行われるようになっている。 The inverter control circuit diverts the regenerative power from the motor to the motor and the heat braking circuit. The inverter control circuit performs regenerative braking by returning electric power to the motor, and the inverter control circuit performs heat generating braking by flowing regenerative power through the resistance of the heat generating braking circuit. .
上記ロータの回転数が下がり、発電機として作用しているモータからの電圧がインバータ制御回路および磁気軸受制御回路の駆動に必要な電圧よりも低下すると、インバータ制御および磁気浮上制御が停止するようになっている。インバータ制御および磁気浮上制御が停止すると、上記モータが上記発熱制動用回路に直列接続され発熱制御が行なわれると共に、ロータは、タッチダウン軸受により支持され、この摩擦による制動も受ける。 The inverter control and the magnetic levitation control are stopped when the rotational speed of the rotor is reduced and the voltage from the motor acting as a generator is lower than the voltage required for driving the inverter control circuit and the magnetic bearing control circuit. It has become. When the inverter control and the magnetic levitation control are stopped, the motor is connected in series with the heat generation braking circuit to perform heat generation control, and the rotor is supported by a touch-down bearing and is also braked by this friction.
しかしながら、上記従来のターボ分子ポンプでは、インバータ制御および磁気浮上制御が停止して、タッチダウン軸受が作動したとき、モータは停止しているので、インバータ制御および磁気浮上制御が停止した後にロータ停止を短時間でなすことができず、タッチダウン軸受が作動している時間が長くなって、タッチダウン軸受が損傷を受けるおそれが高く、タッチダウン軸受の寿命が短くなるという問題がある。
そこで、本発明の課題は、タッチダウン軸受の作動時にロータ停止を短時間で確実に行ない、タッチダウン軸受が作動している時間を短くすることにより、タッチダウン軸受の寿命を長くできるターボ分子ポンプ装置を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a turbo molecular pump capable of extending the life of a touchdown bearing by reliably stopping the rotor in a short time when the touchdown bearing is operated and shortening the time during which the touchdown bearing is operating. To provide an apparatus.
上記課題を解決するため、この発明のターボ分子ポンプ装置は、
ロータを磁気的に非接触支持する磁気軸受と、上記ロータを機械的に支持するタッチダウン軸受と、上記ロータを駆動するモータとを有するターボ分子ポンプ本体と、
上記タッチダウン軸受の作動を検出するタッチダウンセンサと、
上記ターボ分子ポンプの加速および減速を表す信号を出力すると共に、通常の停止時に、通常の減速特性パターンの信号を出力する回転数制御装置と、
上記タッチダウンセンサから上記タッチダウン軸受の作動を表す信号を受けて、上記回転数制御装置の上記通常の減速特性パターンの信号よりも速く減速させる緊急停止の減速特性パターンの信号を出力する停止信号発生回路と、
上記回転数制御装置と上記停止信号発生回路からの信号を受けるモータドライバー制御回路と、
上記モータドライバー制御回路からの信号を受けて上記モータを駆動するモータドライバーと
を備えることを特徴としている。
In order to solve the above problems, the turbomolecular pump device of the present invention is
A turbo-molecular pump body having a magnetic bearing that magnetically supports the rotor in a non-contact manner, a touchdown bearing that mechanically supports the rotor, and a motor that drives the rotor;
A touchdown sensor for detecting the operation of the touchdown bearing;
A rotation speed control device that outputs a signal representing acceleration and deceleration of the turbo molecular pump and outputs a signal of a normal deceleration characteristic pattern at the time of a normal stop,
A stop signal that receives a signal representing the operation of the touchdown bearing from the touchdown sensor and outputs a signal of an emergency stop deceleration characteristic pattern that decelerates faster than the normal deceleration characteristic pattern signal of the rotational speed control device Generating circuit;
A motor driver control circuit that receives signals from the rotation speed control device and the stop signal generation circuit;
And a motor driver that drives the motor in response to a signal from the motor driver control circuit.
本発明によれば、上記タッチダウンセンサが上記タッチダウン軸受の作動を検出したとき、上記停止信号発生回路が、上記回転数制御装置の上記通常の減速特性パターンの信号よりも速く減速させる緊急停止の減速特性パターンの信号をモータドライバー制御回路に出力する。したがって、上記緊急停止の減速特性パターンの信号に基づいて上記モータを制御しロータの回転を停止させることができて、タッチダウン軸受の作動時にロータ停止を短時間で確実に行うことができ、上記タッチダウン軸受が作動した場合に通常の停止時よりも速く上記ロータを確実に停止させることができる。したがって、タッチダウン軸受が損傷するおそれが少なくなり、従来よりもタッチダウン軸受の寿命は格段に長くなる。 According to the present invention, when the touchdown sensor detects the operation of the touchdown bearing, the stop signal generation circuit causes the emergency stop to decelerate faster than the signal of the normal deceleration characteristic pattern of the rotation speed control device. The deceleration characteristic pattern signal is output to the motor driver control circuit. Therefore, the motor can be controlled based on the emergency stop deceleration characteristic pattern signal to stop the rotation of the rotor, and the rotor can be reliably stopped in a short time when the touchdown bearing is operated. When the touch-down bearing is activated, the rotor can be surely stopped faster than during normal stop. Therefore, there is less risk of damage to the touchdown bearing, and the life of the touchdown bearing is significantly longer than before.
また、一実施形態のターボ分子ポンプ装置は、上記停止信号発生回路が、外部からの緊急停止信号を受ける入力端子を備え、上記停止信号発生回路は、上記入力端子よりまたは上記入力端子を経て外部からの緊急停止信号を受けると、上記緊急停止の減速特性パターンの信号を出力する。 In one embodiment, the turbo molecular pump device includes an input terminal for receiving the emergency stop signal from the outside, and the stop signal generating circuit is connected to the external from the input terminal or through the input terminal. When the emergency stop signal is received, the emergency stop deceleration characteristic pattern signal is output.
上記実施形態によれば、緊急にターボ分子ポンプを停止させたい場合に、外部から緊急停止信号を入力することによって、従来装置に比し、短時間ですぐにターボ分子ポンプを停止できる。 According to the above embodiment, when it is desired to stop the turbo molecular pump urgently, the turbo molecular pump can be stopped immediately in a short time compared with the conventional apparatus by inputting an emergency stop signal from the outside.
本発明のターボ分子ポンプ装置によれば、タッチダウン軸受が作動したとき、停止信号発生回路が、回転数制御装置よりも速く減速させる緊急停止の減速特性パターンの信号を、モータドライバー制御回路に出力するので、タッチダウン軸受が作動した場合にロータを短時間で確実に停止させることができる。したがって、上記タッチダウン軸受が損傷するおそれが小さくなり、従来よりもタッチダウン軸受の寿命は格段に長くなる。 According to the turbo molecular pump device of the present invention, when the touch-down bearing is operated, the stop signal generation circuit outputs an emergency stop deceleration characteristic pattern signal to the motor driver control circuit that decelerates faster than the rotational speed control device. Therefore, when the touchdown bearing is activated, the rotor can be reliably stopped in a short time. Therefore, the risk of damage to the touchdown bearing is reduced, and the life of the touchdown bearing is significantly longer than before.
以下、本発明を図示の形態により詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図1は、この発明の一実施形態のターボ分子ポンプ装置を模式的に示す図である。 FIG. 1 is a diagram schematically showing a turbo molecular pump device according to an embodiment of the present invention.
このターボ分子ポンプ装置は、ターボ分子ポンプ1と、タッチダウンセンサ2と、回転数制御装置としてのDSP(デジタル・シグナル・プロセッサ)制御装置3と、停止信号発生回路4と、モータドライバー制御回路5と、モータドライバー6と、回転数検出センサ7と、緊急停止信号が入力される緊急停止信号入力端子22とを備える。上記タッチダウンセンサ2の出力側とOR回路18の入力側、および、緊急停止信号入力端子22とOR回路18の入力側とは接続されており、OR回路18の出力側は、停止信号発生回路4の入力端子20と接続されている。上記停止信号発生回路4、モータドライバー制御回路5およびモータドライバー6は、インバータユニットを構成している。上記モータドライバー6は、インバータ本体としての役割を果たしている。
The turbo molecular pump device includes a turbo molecular pump 1, a touchdown sensor 2, a DSP (digital signal processor) control device 3 as a rotation speed control device, a stop signal generation circuit 4, and a motor
尚、図1においては、タッチダウンセンサ2と、回転数検出センサ7は、ターボ分子ポンプ1から離れたところに図示されているが、実際には、タッチダウンセンサ2と、回転数検出センサ7は、ターボ分子ポンプ1に設置されているものとする。 In FIG. 1, the touchdown sensor 2 and the rotation speed detection sensor 7 are illustrated at a position away from the turbo molecular pump 1, but actually, the touchdown sensor 2 and the rotation speed detection sensor 7 are illustrated. Is installed in the turbo molecular pump 1.
上記ターボ分子ポンプ1は、モータ11と、モータ11によって駆動されるロータ12と、ロータ12を径方向に非接触支持する上下二組の磁気軸受15,16と、ロータ12を機械的に支持するタッチダウン軸受17とを有する。
The turbo molecular pump 1 mechanically supports the
上記磁気軸受15,16は、電源から電力を供給されることによって、ロータ12を径方向に所定の目標位置に磁気的に非接触支持するようになっている。また、上記タッチダウン軸受17は、ロータ12が制御不能になった場合、磁気軸受15,16の負荷容量を超えた負荷が磁気軸受15,16にかかった場合、地震等によって外部から衝撃が加えられた場合、ターボ分子ポンプ1内へ空気が浸入した場合、または、ガスの排出流量が大きい場合等、磁気軸受15,16がロータ12を支持できなくなった場合に、ロータ12を機械的に支持するようになっている。上記タッチダウン軸受17は、上記の場合に、磁気軸受15,16とロータ12との接触、および、ロータ12とターボ分子ポンプ1のハウジングとの接触を防止して、ターボ分子ポンプ1が損傷するのを防止するようになっている。
The
上記タッチダウンセンサ2は、振動センサであり、タッチダウン軸受17が作動すると、タッチダウン軸受17の振動を検出することによって、タッチダウン軸受17の作動を検知して、信号を出力するようになっている。また、上記回転数センサ7は、ロータ12の回転数を検出することによって、モータ11の回転数を検出して、信号を出力するようになっている。
The touch-down sensor 2 is a vibration sensor, and when the touch-
上記DSP制御装置3は、回転数センサ7からの信号を受けると、DSP制御回路3のメモリに予め入力されている運転テーブルの信号に従って、加速または減速信号を表す信号としての電圧信号をモータドライバー制御回路5に出力するようになっている。詳細には、上記DSP制御装置3は、上記運転テーブルの信号に従って、加速信号を出力するときには、基準電圧の一例としての2.5Vより大きい電圧信号(電圧が大きければ大きい程、加速の割合が大きい指令となる)をモータドライバー制御回路5に出力し、また、上記運転テーブルの信号に従って、減速信号を出力するときには、2.5Vより小さい電圧信号(電圧が小きければ小さい程、減速の割合が大きい指令となる)をモータドライバー制御回路5に出力するようになっている。
When the DSP control device 3 receives a signal from the rotation speed sensor 7, the DSP control device 3 outputs a voltage signal as a signal representing an acceleration or deceleration signal according to a signal of an operation table input in advance to the memory of the DSP control circuit 3. It outputs to the
上記停止信号発生回路4は、タッチダウンセンサ2から出力されたタッチダウン信号と、緊急停止信号入力端子22からの緊急停止信号のうちの少なくとも一方が、OR18回路に入力して、OR回路18から入力端子20を介して信号を受けると、2.5Vよりも大きい均一な電圧をモータドライバー制御回路5に出力するようになっている。そして、DSP制御装置3によってロータ12が停止させられるまでの時間よりも短い時間で確実にロータ12を停止させるようになっている。上記入力端子20は、外部からの(ユーザによる手入力の)緊急停止信号を受ける端子になっている。
The stop signal generation circuit 4 inputs at least one of the touchdown signal output from the touchdown sensor 2 and the emergency stop signal from the emergency stop
上記モータドライバー制御回路5は、DSP制御装置3からの信号と停止信号発生回路4からの信号を受けて(DSP制御装置3と停止信号発生回路4から同時に信号を受けることはない)、モータドライバー6を制御する信号を生成して、この信号をモータドライバー6に出力するようになっている。また、上記モータドライバー6は、モータ11の入出力端子U、VおよびWに信号を出力することによって、モータ11の回転数を制御するようになっている。
The motor
上記構成において、ターボ分子ポンプ1の運転時には、DSP制御回路3が、回転数センサ7からの信号と、DSP制御回路3のメモリ内に予め入力されている加速/減速テーブルに基づく信号に従って、加速および減速信号(加速および減速信号を同時に出力することはない)をモータドライバー制御回路5に出力するようになっている。詳しくは、DSP制御回路3は、回転数センサ7からの信号に基づいてモータ11の実回転数を算出して、モータ11のすべり制御、すなわち、単位時間あたりの回転数のすべり(出力すべき回転数とロータの実回転数との差)を調整することによって、上記加速/減速テーブルに基づく信号を出力するようになっている(例えば、10秒で20Hz加速/減速させる場合は、すべりは2Hz/1秒となる)。そして、上記モータドライバー制御回路5が、上記加速および減速信号に基づいてモータドライバー6を駆動制御することによって、ロータ12の回転数を上記加速/減速テーブルに従う回転数に制御するようになっている。
In the above configuration, when the turbo molecular pump 1 is operated, the DSP control circuit 3 accelerates according to the signal from the rotational speed sensor 7 and the signal based on the acceleration / deceleration table input in advance in the memory of the DSP control circuit 3. A deceleration signal (the acceleration and deceleration signals are not output simultaneously) is output to the motor
また、ターボ分子ポンプ1の通常の停止時には、DSP制御回路3が、回転数センサ7からの信号と、DSP制御回路3のメモリに予め入力されている通常停止時の減速特性パターン(テーブル)の信号に従って、加速または減速信号をモータドライバー制御回路5に出力するようになっている。そして、上記モータドライバー制御回路5が、上記減速特性パターンに従う減速信号に基づいてモータドライバー6を制御することによってロータ12の回転数を0まで減少させるようになっている。
Further, when the turbo molecular pump 1 is normally stopped, the DSP control circuit 3 displays the signal from the rotation speed sensor 7 and the deceleration characteristic pattern (table) at the time of normal stop inputted in advance in the memory of the DSP control circuit 3. According to the signal, an acceleration or deceleration signal is output to the motor
一方、上記緊急停止信号入力端子22から緊急停止信号が入力されるか、または、タッチダウン軸受17が作動してタッチダウンセンサ2から信号が出力されると、緊急停止信号またはタッチダウンセンサ2からの信号が、DSP制御装置3に出力されると共に、OR回路18を介して停止信号発生回路4に出力される。すると、DSP制御装置3による制御が停止すると共に、停止信号発生回路4が、均一で大きな電圧をモータドライバー制御回路5に出力するようになっている。そして、停止信号発生回路4が、DSP制御装置3によってロータ12が停止させられるまでの時間よりも短い時間で、ロータ12を停止させるようになっている。
On the other hand, when an emergency stop signal is input from the emergency stop
図2は、通常の停止時に上記DSP制御装置3が出力する通常の減速特性パターンの信号31の一例と、緊急の停止時に上記停止信号発生回路4が出力する緊急停止の減速特性のパターンの信号32を示す図である。 FIG. 2 shows an example of a normal deceleration characteristic pattern signal 31 output by the DSP control device 3 during a normal stop, and an emergency stop deceleration characteristic pattern signal output by the stop signal generation circuit 4 during an emergency stop. FIG.
尚、図2において、時間軸は、通常の減速特性パターンの信号31においては、回転数がR3になった時を基準(0秒とする)とし、緊急停止の減速特性のパターンの信号32においては、タッチダウン軸受が作動した時(このときの回転数がR3であったとする)を基準(0秒とする)としている。
In FIG. 2, the time axis in the
図2に示すように、通常の減速特性パターンの信号31においては、単位時間あたりのすべりが時間の経過と共に大きくなるように変動している。
As shown in FIG. 2, in the
詳細には、時間T1までの単位時間あたりのすべりが、(R3―R2)/T1に設定され、時間T1からT3までの単位時間あたりのすべりが、(R3―R2)/T1より大きい(R2−R1)/(T3−T1)に設定され、時間T3からモータが停止する時間T4までの単位時間あたりのすべりが、(R2−R1)/(T3−T1)より大きいR1/(T4−T3)に設定されている。 Specifically, the slip per unit time until time T1 is set to (R3-R2) / T1, and the slip per unit time from time T1 to T3 is greater than (R3-R2) / T1 (R2 -R1) / (T3-T1), and the slip per unit time from time T3 to time T4 when the motor stops is larger than (R2-R1) / (T3-T1) R1 / (T4-T3) ) Is set.
このように、通常の減速特性パターンの信号31においては、単位時間あたりのすべりを時間の経過と共に大きくなるように変動させて、ロータ12の慣性が大きいときにはすべりを小さくする一方、ロータ12の慣性が低下するにしたがってすべりを大きくすることにより、スムーズな停止動作を実現すると共に、ロータ12が急激な制動の影響により破損することを防止するようにしている。
Thus, in the normal deceleration
一方、緊急停止の減速特性のパターンの信号32においては、タッチダウン軸受が作動してからロータ12が停止するまで、単位時間あたりのすべりが一定の値R3/T2に設定されている。緊急停止の減速特性のパターンの信号32においては、図2において、T2<T4となっているように、ロータ12を通常よりも速く停止させて、特にターボ分子ポンプ装置においては潤滑剤がないドライな状態で使用するタッチダウン軸受の作動時間を短くして、タッチダウン軸受の寿命を長くするようにしている。
On the other hand, in the
上記実施形態のターボ分子ポンプ装置によれば、停止信号発生回路4が、タッチダウンセンサ2がタッチダウン軸受17の作動を検出したとき、DSP制御装置3よりも速く減速させる緊急停止の減速特性パターンの信号32を、モータドライバー制御回路5に出力する。したがって、緊急停止の減速特性パターンの信号32に基づいてロータ12を停止させることができて、タッチダウン軸受17の作動時にロータ停止を短時間で確実になすことができる。したがって、タッチダウン軸受17が損傷するおそれを少なくすることができて、従来よりもタッチダウン軸受の寿命を格段に長くすることができる。
According to the turbo molecular pump device of the above-described embodiment, the stop signal generation circuit 4 causes the emergency stop deceleration characteristic pattern to decelerate faster than the DSP control device 3 when the touchdown sensor 2 detects the operation of the
また、上記実施形態のターボ分子ポンプ装置によれば、緊急にターボ分子ポンプ1を停止させたい場合に、外部から緊急停止信号を入力することによって、従来装置に比し、短時間ですぐにターボ分子ポンプ1を停止できる。 Further, according to the turbo molecular pump device of the above embodiment, when the turbo molecular pump 1 is urgently stopped, an emergency stop signal is input from the outside, so that the turbo molecular pump device can be quickly and quickly compared with the conventional device. The molecular pump 1 can be stopped.
尚、上記実施形態のターボ分子ポンプ装置では、モータ11を加速するか減速するかの基準電圧が2.5Vであったが、モータ11を加速するか減速するかの基準電圧は、2.5V以外の電圧に設定されていても良い。
In the turbo molecular pump device of the above embodiment, the reference voltage for accelerating or decelerating the
また、上記実施形態のターボ分子ポンプ装置では、タッチダウンセンサ2が、振動センサであったが、この発明のターボ分子ポンプ装置では、タッチダウンセンサは、位置検出センサや温度センサ等、振動センサ以外のセンサであっても良い。 In the turbo molecular pump device of the above embodiment, the touchdown sensor 2 is a vibration sensor. However, in the turbo molecular pump device of the present invention, the touchdown sensor is not a vibration sensor such as a position detection sensor or a temperature sensor. This sensor may be used.
また、上記実施形態のターボ分子ポンプ装置では、通常の停止パターンの信号31が、回転数が低下するに従って単位時間あたりのすべりが大きくなる折れ線パターンの信号であったが、この発明では、通常の停止パターンの信号が、回転数が低下するに従って単位時間あたりのすべりが大きくなる曲線パターンの信号等、折れ線パターン以外のパターンの信号であっても良い。
Further, in the turbo molecular pump device of the above embodiment, the normal
また、上記実施形態のターボ分子ポンプ装置では、緊急の停止パターンの信号32が、直線パターンの信号であったが、緊急の停止パターンの信号は、通常の停止パターンの信号よりもロータ12を速く停止させる信号であれば、例えば、折れ線パターンの信号や曲線パターンの信号等、如何なる形状のパターンの信号であっても良いことは勿論である。尚、緊急の停止パターンの信号を、通常の停止パターンの信号よりもロータを速く停止させるパターンの信号、かつ、ロータやタッチダウン軸受の損傷に配慮したよりきめ細かな停止パターンを実現する、すなわち、ロータ回転数が低下するに従って単位時間あたりのすべりが大きくなるパターンの信号にすると、ロータの緊急停止を通常停止の場合よりも短時間で確実になすことができると共に、ロータやタッチダウン軸受の損傷も防止できる。
In the turbo molecular pump device of the above embodiment, the emergency
1 ターボ分子ポンプ
2 タッチダウンセンサ
3 DSP制御装置
4 停止信号発生回路
5 モータドライバー制御回路
6 モータドライバー
7 回転数検出センサ
11 モータ
12 ロータ
15,16 磁気軸受
17 タッチダウン軸受
20 入力端子
22 緊急停止信号入力端子
31 通常の減速特性パターンの信号
32 緊急停止の減速特性のパターンの信号
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Turbo molecular pump 2 Touchdown sensor 3 DSP control apparatus 4 Stop
Claims (2)
上記タッチダウン軸受の作動を検出するタッチダウンセンサと、
上記ターボ分子ポンプの加速および減速を表す信号を出力すると共に、通常の停止時に、通常の減速特性パターンの信号を出力する回転数制御装置と、
上記タッチダウンセンサから上記タッチダウン軸受の作動を表す信号を受けて、上記回転数制御装置の上記通常の減速特性パターンの信号よりも速く減速させる緊急停止の減速特性パターンの信号を出力する停止信号発生回路と、
上記回転数制御装置と上記停止信号発生回路からの信号を受けるモータドライバー制御回路と、
上記モータドライバー制御回路からの信号を受けて上記モータを駆動するモータドライバーと
を備えることを特徴とするターボ分子ポンプ装置。 A turbo-molecular pump body having a magnetic bearing that magnetically supports the rotor in a non-contact manner, a touchdown bearing that mechanically supports the rotor, and a motor that drives the rotor;
A touchdown sensor for detecting the operation of the touchdown bearing;
A rotation speed control device that outputs a signal representing acceleration and deceleration of the turbo molecular pump and outputs a signal of a normal deceleration characteristic pattern at the time of a normal stop,
A stop signal that receives a signal representing the operation of the touchdown bearing from the touchdown sensor and outputs a signal of an emergency stop deceleration characteristic pattern that decelerates faster than the normal deceleration characteristic pattern signal of the rotational speed control device Generating circuit;
A motor driver control circuit that receives signals from the rotation speed control device and the stop signal generation circuit;
A turbo molecular pump device comprising: a motor driver that receives a signal from the motor driver control circuit and drives the motor.
上記停止信号発生回路は、外部からの緊急停止信号を受ける入力端子を備え、上記停止信号発生回路は、上記入力端子よりまたは上記入力端子を経て外部からの緊急停止信号を受けると、上記緊急停止の減速特性パターンの信号を出力することを特徴とするターボ分子ポンプ装置。 The turbo-molecular pump according to claim 1,
The stop signal generating circuit has an input terminal for receiving an emergency stop signal from the outside, and the stop signal generating circuit receives the emergency stop signal from the outside through the input terminal or via the input terminal. A turbo molecular pump device that outputs a deceleration characteristic pattern signal of
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004191511A JP2006009759A (en) | 2004-06-29 | 2004-06-29 | Turbo-molecular pump device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004191511A JP2006009759A (en) | 2004-06-29 | 2004-06-29 | Turbo-molecular pump device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006009759A true JP2006009759A (en) | 2006-01-12 |
Family
ID=35777265
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004191511A Pending JP2006009759A (en) | 2004-06-29 | 2004-06-29 | Turbo-molecular pump device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006009759A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014068276A1 (en) * | 2012-10-30 | 2014-05-08 | Edwards Limited | Vacuum pump with back-up bearing contact sensor |
WO2014068277A1 (en) * | 2012-10-30 | 2014-05-08 | Edwards Limited | Vacuum pump |
CN110107523A (en) * | 2019-05-13 | 2019-08-09 | 苏州浪潮智能科技有限公司 | A kind of fan control board based on the processing of DSP association |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0242196A (en) * | 1988-07-31 | 1990-02-13 | Shimadzu Corp | Power unit for turbo molecular pump |
JPH05180224A (en) * | 1991-12-27 | 1993-07-20 | Ntn Corp | Magnetic bearing controlling device |
JPH10288190A (en) * | 1997-04-16 | 1998-10-27 | Daikin Ind Ltd | Magnetic bearing device |
-
2004
- 2004-06-29 JP JP2004191511A patent/JP2006009759A/en active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0242196A (en) * | 1988-07-31 | 1990-02-13 | Shimadzu Corp | Power unit for turbo molecular pump |
JPH05180224A (en) * | 1991-12-27 | 1993-07-20 | Ntn Corp | Magnetic bearing controlling device |
JPH10288190A (en) * | 1997-04-16 | 1998-10-27 | Daikin Ind Ltd | Magnetic bearing device |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015533404A (en) * | 2012-10-30 | 2015-11-24 | エドワーズ リミテッド | Vacuum pump |
WO2014068276A1 (en) * | 2012-10-30 | 2014-05-08 | Edwards Limited | Vacuum pump with back-up bearing contact sensor |
CN104769285A (en) * | 2012-10-30 | 2015-07-08 | 爱德华兹有限公司 | Vacuum pump with back-up bearing contact sensor |
KR20150079653A (en) * | 2012-10-30 | 2015-07-08 | 에드워즈 리미티드 | Vacuum pump |
KR20150079654A (en) * | 2012-10-30 | 2015-07-08 | 에드워즈 리미티드 | Vacuum pump with back-up bearing contact sensor |
CN104781558A (en) * | 2012-10-30 | 2015-07-15 | 爱德华兹有限公司 | Vacuum pump |
WO2014068277A1 (en) * | 2012-10-30 | 2014-05-08 | Edwards Limited | Vacuum pump |
JP2015537146A (en) * | 2012-10-30 | 2015-12-24 | エドワーズ リミテッド | Vacuum pump with backup bearing contact sensor |
KR102237805B1 (en) * | 2012-10-30 | 2021-04-07 | 에드워즈 리미티드 | Vacuum pump |
US10024328B2 (en) | 2012-10-30 | 2018-07-17 | Edwards Limited | Vacuum pump |
US9822788B2 (en) | 2012-10-30 | 2017-11-21 | Edwards Limited | Vacuum pump with back-up bearing contact sensor |
KR102156950B1 (en) * | 2012-10-30 | 2020-09-16 | 에드워즈 리미티드 | Vacuum pump with back-up bearing contact sensor |
CN110107523B (en) * | 2019-05-13 | 2020-09-04 | 苏州浪潮智能科技有限公司 | Fan control board card based on DSP coprocessing |
CN110107523A (en) * | 2019-05-13 | 2019-08-09 | 苏州浪潮智能科技有限公司 | A kind of fan control board based on the processing of DSP association |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6617734B2 (en) | Magnetic bearing control device | |
JP2014149080A (en) | High speed flywheel on magnetic bearings | |
JP5639061B2 (en) | Turbomolecular pump with flexible mounting | |
JP2008106909A (en) | Magnetic bearing control device and turbo-molecular pump | |
WO2019239682A1 (en) | Magnetic bearing control device and magnetic bearing control method | |
JP2006009759A (en) | Turbo-molecular pump device | |
JP2003222096A (en) | Magnetic-bearing type turbo-molecular pump | |
JPH0968222A (en) | Magnetic bearing device | |
JP2006022914A (en) | Magnetic bearing device | |
JP4893353B2 (en) | Centrifugal compressor device, fuel cell compressor, and control method for fuel cell compressor | |
JPH03182698A (en) | Brake control device for turbo molecular pump | |
JP3772979B2 (en) | Braking control device for rotating machine | |
JP2000324885A (en) | Method and apparatus for detecting brake failure of servo motor with brake | |
JP5498171B2 (en) | High speed rotary vacuum pump | |
JPS60190697A (en) | Control system of magnetic bearing in turbo molecular pump | |
JP4483431B2 (en) | Turbo molecular pump device | |
JP6819304B2 (en) | Vacuum valves, vacuum pumps and vacuum exhaust systems | |
JPH10184586A (en) | Turbo-molecular pump | |
JP7171174B2 (en) | Vacuum pump and motor controller | |
JP2005325977A (en) | Magnetic bearing device | |
JP2006029453A (en) | Magnetic bearing device | |
JP3176673B2 (en) | Magnetic bearing control device | |
JP2010031679A (en) | Pump system | |
JP2005094852A (en) | Motor control system and vacuum pump mounting same thereon | |
JP2000270588A (en) | Dynamic pressure bearing motor controller |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20070522 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091222 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Effective date: 20091225 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20091225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100105 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20100511 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |