JP2006008493A - プラズマ耐食材料、その製造方法及びその部材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】窒化アルミニウムを主体とし、1G(109)Hz以上において誘電損失(tan δ)が5×10−3以下であることを特徴とするプラズマ耐食材料、及び窒化アルミニウムを主体とし、酸化イットリウムと酸化マグネシウム又は窒化マグネシウムとを微量添加して焼結することにより、マイクロ波焼結や高ガス圧力焼結といった特別な焼結装置を用いることなく、また焼結後の再加熱や広い温度範囲において毎分0.7℃といった極端に遅い冷却速度で長時間に渡り徐冷をすることなく、フッ化物系反応ガスを含む1GHz以上の高周波プラズマに曝されるプラズマ耐食部材の誘電損失(tan δ)が5×10−3以下の誘電損失特性の優れたプラズマ耐食部材を製造する。
【選択図】なし
Description
本発明のプラズマ耐食材料は、窒化アルミニウムを主体とし、酸化イットリウム及び酸化マグネシウム及び/又は窒化マグネシウムを加えた原料粉体の焼結体からなる、1G(109)Hz以上において誘電損失(tan δ)が5×10−3以下であることを特徴とするものである。また、本発明のプラズマ耐食材料の製造方法は、窒化アルミニウムに、酸化イットリウム及び酸化マグネシウム又は窒化マグネシウムを加え、窒素雰囲気中、1800〜2000℃で焼結することを特徴とするものである。本発明で用いる窒化アルミニウム原料粉末としては、特別な制限はないが、酸素不純物の含有量が少ない方が好適である。酸化イットリウム(Y2O3)及び酸化マグネシウム(MgO)や窒化マグネシウム(Mg3N2)についても特別な制限はないが、高純度で、また、微細な粉末が好ましい。これらを適量秤量し、混合後、成形して窒素フロー雰囲気中で1800〜2000℃で適宜時間焼結することにより、本発明の低誘電損失窒化アルミニウム焼結体が得られる。
(1)窒化アルミニウム(AlN)
窒化アルミニウム原料粉末は、特別な制限はないが、酸素不純物の含有量が少なく、ほどよく微細な粉末が好適である。市販の粉末としては、(株)トクヤマ製Fグレード、Hグレード、三井化学(株)製MAN−2やMAN−10、(株)タキオン製高純度窒化アルミニウム粉末、等がある。
(2)酸化イットリウム
酸化イットリウム(Y2O3)は、AlN中の緻密化及びAlN結晶内部の酸素不純物を取り去るために必要である。特別な制限はないが、高純度で微細な粉末が好ましい。Y2O3は、多すぎるとtan δが悪化するので必要以上に添加しない方が良い。
酸化マグネシウム(MgO)は、その効果の根拠について未だ明らかではないところもあるが、少なくとも適量の添加によりAlN焼結体の緻密化に寄与すると共にtan δを改善することが分かった。そのため、0.05〜1.0mol%、より好ましくは0.1〜0.5mol%添加するとAlN焼結体のtan δを著しく改善する。
(4)窒化マグネシウム
窒化マグネシウム(Mg3N2)についても、その効果の根拠について未だ明らかではないところもあるが、少なくとも適量の添加によりAlN焼結体の緻密化に寄与すると共にtan δを改善することが分かった。好適には、0.1〜3.0mol%添加すると良い。より好ましくは、0.5〜3.0mol%添加すると、AlN焼結体のtan δを著しく改善する。上記マグネシウム化合物は何れも吸湿性があるので、これらを用いたプロセスやこれらの保管には湿気の制御が必要である。
上記粉末を適量秤量し、混合後成形して窒素フロー雰囲気中で1800〜2000℃で適宜時間焼結することにより本発明の低誘電損失窒化アルミニウム焼結体が得られる。引き続き、その冷却過程において、添加した助剤と窒化アルミニウム中の酸素化合物とが反応して生成した液相が凝固する温度範囲、より好適には1750℃〜焼結温度における毎分5℃以下での冷却により、焼結時間がそれほど長くなくても微小組織が発達したtan δが優れた焼結体が得られる。
(6)アニール
本アニールでは狭義に、一定温度で、ある時間、保持する処理を行なう。
1300℃以下の温度において2時間以上保持してアニールすることにより、欠陥の少ないtan δが優れた焼結体が得られる。
Y2O3とMgOの添加量、また焼結温度を変えた他は実施例1と略同じで焼結し、その後、焼結温度から1750℃まで冷却速度を毎分2〜4℃で徐冷し(実施例3、8、12、20)、及び/又は720〜1210℃で2〜4時間アニール(実施例3、4、6、7、8、16、20、24)を施し、焼結体を作製した。表1にY2O3、MgO及びMg3N2の添加量、焼結温度、徐冷速度と徐冷開始−同終了温度、アニール温度と同時間及び誘電正接を示す。代表例として、実施例4及び18のX線回折パターンを図1(a)及び(b)に示すように大部分がAlNで僅かにYAG(3Y2O3・5Al2O3)又はYAP(Y2O3・Al2O3)が認められた。また、焼結後体の微細組織の代表例として、実施例18及び26の焼結体を破砕して得た破面の走査型電子顕微鏡(SEM)写真を図2及び3に示す。いずれも高温・長時間の熱処理を行なっていないにもかかわらず、結晶粒界近傍の微組織が発達していることが分かる。
Y2O3とMg3N2の添加量、また焼結温度、徐冷(実施例26、27、29、30、32、35、36、38、39、41)及びアニール処理(実施例27、28、30、32、33、36、37、39、41、42)を行った他は実施例1と略同じで焼結体を作製した。表1にY2O3及びMg3N2の添加量、焼結温度及び誘電正接を示す。代表例として、実施例26及び32のX線回折パターンを図1(c)及び(d)に示す。大部分がAlNで僅かにYAG (3Y2O3・5Al2O3)が認められた。
MgOを添加しなかった他は実施例1と略同じ比較例1、3を、またMgO(2〜3mol%)及び/又はMg3N2(1、5mol%)を添加した他は実施例1と略同じである比較例4〜10を、また焼結温度が1600〜1700℃である他は実施例1と略同じである比較例2、5、9をそれぞれ表2に示す。比較例1の焼結体の結晶相をX線回折装置で調べたところ、大部分がAlNで僅かにYAP(Y2O3・Al2O3)が認められた。また、焼結後体の微細組織の代表例として、比較例1の焼結体を破砕して得た破面の走査型電子顕微鏡(SEM)写真を図4に示す。本発明の実施例と比べ、粒界近傍が未発達であることが見て取れる。なお、図1において、2Thetaが38.4、44.5及び64.9のピークはX線回折用試料ホルダーの金属Alの回折ピークである。
Claims (18)
- 窒化アルミニウムを主体とし、1G(109)Hz以上において誘電損失(tan δ)が5×10−3以下であることを特徴とするプラズマ耐食材料。
- 窒化アルミニウムを主体とし、酸化イットリウム及び酸化マグネシウムを加えた原料粉体の焼結体からなる請求項1に記載のプラズマ耐食材料。
- 窒化アルミニウムを主体とし、酸化イットリウム及び窒化マグネシウムを加えた原料粉体の焼結体からなる請求項1に記載のプラズマ耐食材料。
- 主に窒化アルミニウムからなり、Y3Al5O12及び/又はYAlO3を含む請求項1に記載のプラズマ耐食材料。
- 前記プラズマ耐食材料の誘電損失(tan δ)が、1G(109)Hz以上において1×10−3以下である請求項1から4のいずれかに記載のプラズマ耐食材料。
- 前記プラズマ耐食材料の誘電損失(tan δ)が、1G(109)Hz以上において5×10−4以下である請求項1から4のいずれかに記載のプラズマ耐食材料。
- 請求項1から6のいずれかに記載のプラズマ耐食材料からなることを特徴とする1G(109)Hz以上において誘電損失(tan δ)が5×10−3以下の低誘電正接特性を有するプラズマ耐食部材。
- 窒化アルミニウムを主体とする原料を、窒素雰囲気中で焼結後、アニール処理して、1G(109)Hz以上において誘電損失(tan δ)が5×10−3以下であるプラズマ耐食材料を製造することを特徴とするプラズマ耐食材料の製造方法。
- 窒化アルミニウムを主体とし、高温にて液相を生成せしめる助剤を添加して窒素雰囲気中で液相焼結後、冷却する請求項8に記載のプラズマ耐食材料の製造方法。
- 前記液相の凝固過程の冷却速度を所定のレベルに調整する請求項8に記載のプラズマ耐食材料の製造方法。
- 前記液相の凝固過程の温度を所定のレベルに調整する請求項8に記載のプラズマ耐食材料の製造方法。
- 窒化アルミニウムを主体とし、酸化イットリウム及び酸化マグネシウム及び/又は窒化マグネシウムを含む原料を、窒素雰囲気中、焼結する請求項8に記載のプラズマ耐食材料の製造方法。
- 前記プラズマ耐食材料の誘電損失(tan δ)が、1G(109)Hz以上において1×10−3以下である請求項8に記載のプラズマ耐食材料の製造方法。
- 前記プラズマ耐食材料の誘電損失(tan δ)が、1G(109)Hz以上において5×10−4以下である請求項8に記載のプラズマ耐食材料の製造方法。
- 窒化マグネシウムを窒化アルミニウムに対し、3mol%まで含む原料を用いる請求項8に記載のプラズマ耐食材料の製造方法。
- 酸化マグネシウム及び/又は窒化マグネシウムをそれぞれ窒化アルミニウムに対し、1 mol%まで含む原料を用いる請求項8に記載のプラズマ耐食材料の製造方法。
- 酸化マグネシウムを0.1mol%まで含む原料を用いる請求項8に記載のプラズマ耐食材料の製造方法。
- 酸化イットリウムを1mol%まで含む原料を用いる請求項8に記載のプラズマ耐食材料の製造方法。
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