JP2005533397A - 支持体に転移する材料から成る有用な層の面積を拡大する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
− 第1の酸化物によって封入された保持ウエハの前面を、第2の酸化物層によって封入された結合ウエハに対して結合するステップであって、保持ウエハの前面が結合ウエハの前面よりも長いステップと、
− 第2の酸化物層の後面および側面と第1の酸化物層の一部とをエッチングするステップと、
− 得られたアセンブリの全ての露出面上にポリシリコン層を形成するステップと、
− 保持ウエハの前面の上側に残るポリシリコン層の部分と面一になるまで、結合ウエハの後面を覆う前のステップで形成された層の部分と前記結合ウエハの一部とを除去するステップと、を含む。
・ソース基板および支持基板が円形断面を成し、前記第1の基板の外径が前記第2の基板の外径よりも大きい;
・第1の基板の平坦中央領域の外側アウトラインの寸法は、第2の基板の二次面取りの外側アウトラインの寸法よりも大きく、結合中において、基板は、第2の基板の二次面取りの外側アウトラインが第1の基板の平坦中央領域の外側アウトラインの内側にくるように互いに当接する;
・第2の基板は、その平坦中央領域が前記第1の基板の平坦中央領域に対して中心付けられるように、第1の基板に対して結合する;
・第1の基板がソース基板である;
・ソース基板と支持基板とを互いに結合するステップの前に、前記ソース基板の内側に脆弱領域を形成し、転移する前記有用な層が前記脆弱領域と前記基板の前面との間で延び、結合ステップの後、前記有用な層をソース基板の残りの部分から前記脆弱領域に沿って分離する;
・前記脆弱領域が原子種注入、あるいは多孔質層によって形成される;
・有用な層は、機械的または電気的な根源の応力の印加、熱エネルギの供給、化学エッチングのうち、少なくとも1つの技術を単独で、或いは組み合わせて使用することにより分離される;
・ソース基板の前面および支持基板の前面から選択される面のうち、少なくとも1つが絶縁材料から成る層でコーティングされる。
7 支持基板
60,70 平坦中央領域
62 脆弱領域
63 層
64,74 一次面取り
75,65 二次面取り
Claims (10)
- 特に光学、電子工学、または光電子工学の分野で適用できる複合基板の製造中に支持基板(7)に対して転移する材料、特に半導体材料の有用な層(63)の面積を拡大する方法であって、ソース基板(6)の“前”面(600)を対向する支持基板(7)の“前”面(700)に対して分子結合するステップであって、前記各前面(600,700)が対応するアウトライン(C6,C7)を有する平坦中央領域(60,70)を備える少なくとも1つのステップと、前記ソース基板(6)から生じる前記有用な層(63)を前記支持基板(7)上へと転移させるステップであって、前記有用な層(63)が前記ソース基板(6)の内側でその前面(600)から延びるステップとを含む方法において、“第1の”基板(6,7)と称する前記ソースおよび支持基板(6,7)の外側アウトライン(C61,C71)の寸法が“第2の”基板(7,6)と称する他の基板の前記外側アウトライン(C71,C61)の寸法よりも大きく、前記第2の基板(7,6)は、一次面取り(74,64)によって取り囲まれるとともに、前記平坦中央領域(70,60)と前記一次面取り(74,64)との間で延びる二次面取り(75,65)を有し、前記第1の基板(6,7)の前記平坦中央領域(60,70)の前記外側アウトライン(C6,C7)は、前記第2の基板(7,6)の前記二次面取り(75,65)の内側アウトライン(C7,C6)の寸法よりも大きい寸法を有し、結合中において、前記基板(6,7)は、前記第2の基板(7,6)の前記二次面取り(75,65)の前記内側アウトライン(C7,C6)が前記第1の基板(6,7)の前記平坦中央領域(60,70)のアウトライン(C6,C7)の内側にくるように互いに当接することを特徴とする方法。
- 前記ソース基板(6)および前記支持基板(7)が円形断面を成し、前記第1の基板(6,7)の外径(D61,D71)が前記第2の基板(7,6)の外径(D71,D61)よりも大きいことを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の基板(6,7)の前記平坦中央領域(60,70)の前記外側アウトライン(C6,C7)の寸法が、前記第2の基板(7,6)の前記二次面取り(75,65)の前記外側アウトライン(C’7,C’6)の寸法よりも大きく、結合中において、基板は、前記第2の基板(7,6)の前記二次面取り(75,65)の前記外側アウトライン(C’7,C’6)が、前記第1の基板(6,7)の前記平坦中央領域(60,70)の前記外側アウトライン(C6,C7)の内側にくるように互いに当接することを特徴とする、請求項1または2に記載の方法。
- 前記第2の基板(7,6)は、前記平坦中央領域(70,60)が前記第1の基板(6,7)の前記平坦中央領域(60,70)に対して中心付けられるように第1の基板(6,7)に対して結合することを特徴とする、先行する請求項のいずれかに記載の方法。
- 前記第1の基板(6)が前記ソース基板であることを特徴とする、先行する請求項のいずれかに記載の方法。
- 前記ソース基板(6)と前記支持基板(7)とを互いに結合するステップの前に、前記ソース基板(6)の内側に脆弱領域(62)を形成し、転移する前記有用な層(63)が前記脆弱領域(62)と前記基板(6)の前面(600)との間で延び、結合ステップの後、前記有用な層(63)を前記ソース基板(6)の残りの部分から前記脆弱領域(62)に沿って分離することを特徴とする、先行する請求項のいずれかに記載の方法。
- 前記脆弱領域(62)が原子種注入によって形成されることを特徴とする、請求項6に記載の方法。
- 前記脆弱領域(62)が多孔質層によって形成されることを特徴とする、請求項6に記載の方法。
- 前記有用な層(63)は、機械的または電気的な根源の応力の印加、熱エネルギの供給、化学エッチングのうち、少なくとも1つの技術を単独で、或いは組み合わせて使用することにより分離されることを特徴とする、請求項6に記載の方法。
- 前記ソース基板(6)の前記前面(600)および前記支持基板(7)の前記前面(700)から選択される面のうち、少なくとも1つが絶縁材料から成る層でコーティングされることを特徴とする、先行する請求項のいずれかに記載の方法。
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