JP2005510851A - 有機発光ダイオード(oled) - Google Patents

有機発光ダイオード(oled) Download PDF

Info

Publication number
JP2005510851A
JP2005510851A JP2003548594A JP2003548594A JP2005510851A JP 2005510851 A JP2005510851 A JP 2005510851A JP 2003548594 A JP2003548594 A JP 2003548594A JP 2003548594 A JP2003548594 A JP 2003548594A JP 2005510851 A JP2005510851 A JP 2005510851A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
oled
barrier
cathode
anode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2003548594A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4625911B2 (ja
Inventor
リン、ケー
センティル、クマール、ラマダス
ソー、ジン、チュア
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Agency for Science Technology and Research Singapore
National University of Singapore
Original Assignee
Agency for Science Technology and Research Singapore
National University of Singapore
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Agency for Science Technology and Research Singapore, National University of Singapore filed Critical Agency for Science Technology and Research Singapore
Publication of JP2005510851A publication Critical patent/JP2005510851A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4625911B2 publication Critical patent/JP4625911B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/84Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K50/844Encapsulations
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/805Electrodes
    • H10K50/82Cathodes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/805Electrodes
    • H10K50/82Cathodes
    • H10K50/826Multilayers, e.g. opaque multilayers
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10S428/917Electroluminescent

Abstract

“ダークスポット”として知られる非放射領域の形成及び成長を抑制する有機発光ダイオード(OLED)は、基板上に配置されたアノードと、カソードと、前記アノードと前記カソードとの間に配置されるエレクトロルミネッセンス(EL)層と、前記アノードと前記EL層との間に配置されるホール移動層とを含む。前記OLEDは、1以上のOLEDの層間に配置されたいくらかの酸素/水分バリアを有する。これらのバリアは有機ポリマーから形成され、酸素及び水分による透過を阻止、且つ、金属移動を抑制するように構成される。

Description

本発明は、有機発光ダイオード(OLED)に、そして特に、「ダークスポット」として知られる非放射領域の形成および成長を抑制すべく適合されたOLEDに関する。
本発明は、特にフラットパネルディスプレイに使用されるOLEDに好適であり、そして、以下においては、この応用に関して説明される。しかしながら、本発明は、この特定の使用分野に限定されるものではないことが理解されよう。
典型的なOLEDは、2つの電極に加えてこれら電極の間に配置される1つ以上のポリマー層からなっている。図1に示されるように、これらのデバイスは、一般に、次の順序に配列された、次の各層:
(i)多くの場合プラスティックまたはガラスから作られる基板2と;
(ii)基板上に配置され、且つ一般に、有機材料またはインジウムすず酸化物(ITO)のような無機酸化物であり得る透明な伝導性材料から作られるアノード3と;
(iii)アノード上に配置されるホール移動層5と;
(iv)ホール移動層上に配置されるエレクトロルミネッセンス(EL)層6と;
(v)EL層上に配置されるカソードであって、カルシウムまたはマグネシウムの第1の層9および銀またはアルミニウムの第2の層10とからなるカソード8と;
を含む。
アノード3は、カソードに関して、正にバイアスされている。使用においては、電子およびホールは、EL層6に注入され、そしてそこで、それらは、それらが再結合してフォトンが生成されるまで、電界内において移動する。有機層の全体の厚みは、通常は、50から150nm程度であり、そしてバイアスは、約2から20Vである。アノード3は、典型的には透明であり、そしてカソード材料の仕事関数は、アノードについてHOMOで且つカソードについてLUMOのポリマーのエネルギーレベルに合致すべく選定される。それゆえ、OLEDカソードに最も広く使用されている材料は、カルシウム、マグネシウム、アルミニウムおよびリチウム合金である。
近年、OLEDの材料およびデバイスアーキテクチャーにおいて、かなりの改良がなされており、それは結果として、100000カンデラ(cd))/mを超える輝度値および4%を超過する外部量子効率を有するデバイスを生ずるに至っている。これらの新たな世代のデバイスは、大面積の照明器およびフラットパネルディスプレイにおいて有用であることが見出されている。
非常に安定したエレクトロルミネッセンス(EL)デバイスが、不活性環境において動作することが立証されているが、そのようなデバイスの耐用年数は、「ダークスポット」として知られる非放射領域の形成および成長によって制限される。
いくらかの要因が、ダークスポットの形成および成長に寄与している。1つのそのような要因は、ピンホールのようなカソード欠陥である。これらのピンホールは、抵抗加熱蒸着の間にしばしば形成される。酸化されたカソードは、デバイスの電子注入効果を減弱し、そしてそれゆえ、より高い駆動バイアスが必要とされる。このことは、局所短絡の可能性を著しく増大させる。スパッタリングは、カソードの被着のために半導体産業において一般に使用される方法の1つであるが、この技術は、現在に至るまで、OLEDには適していない。この理由は、OLEDが極度に敏感であり、スパッタリングプロセスに含まれる放射線、荷電、加熱およびイオン衝撃によって損傷を受けるからである。スパッタリングは、ピンホールをほとんどまたは全く有していないカソードを生成するが、当該技術に起因する損傷のために、それは使用されていない。
ダークスポット形成および成長の他の要因は、OLED材料における酸素および水分の放出、ならびに操作中におけるデバイスを通してのその浸透である。OLEDの層を通しての水分および酸素の拡散は、カソードにおけるダークスポットの成長の重大な原因である。マグネシウムおよびカルシウムは、それらの低い仕事関数を理由としてOLEDデバイスにおけるカソード材料としてしばしば使用される。しかしながら、カルシウムおよびマグネシウムは、酸素および水蒸気に対して非常に敏感である。ダークスポットおよび欠陥の成長は、その後に種々の層および基板を通して浸透し且つ電極に反応する、OLED材料の内部に生成される酸素および水分に起因している。
ダークスポットの成長における付加的な要因は、電気的ストレスの間における電極材料の移動である。この金属移動は、OLEDの種々の部分において電気的短絡のピークおよび強い電界を生じさせる。
ダークスポットの形成に寄与するさらなる要因は、局所加熱である。この加熱は、しばしば高電流に起因する。これは材料破損を促進し、有機層の相互拡散の可能性を増大させ、そしてダークスポットの成長へと導く。
先行技術のOLEDによって直面されるさらなる問題は、それらが非常に良好なポリマー安定性を持たないことである。共役のポリマーにおけるより重大な劣化の仕組みの1つは、光酸化されることに見出される。そのような光酸化は、ポリマーバックボーンでのビニル二重結合の鎖の切断を誘発し、それによってカルボニル基の形成による結合長さを減縮し、結果としてより低い光ルミネッセンス効率を生じさせる。
近年において、OLEDの性能は、有機材料の適切な選択によるだけでなく、電極の効果的なキャリア注入および明確な区域内でのコントロールされた電子−ホール再結合により向上されることが見出されている。電荷注入およびキャリア閉じ込めの増大に焦点を当てた研究は、デバイス性能における重大な改善に導いている。
図2は、多層高効率構造からなるそのような従来のOLEDの進歩した形態を示している。図1のそれらと共通の参照符号が付された層に加えて、進歩した従来のOLEDは、電子注入層15および誘電体層14をも含んでいる。
電子注入層15は、エレクトロルミネッセンス(EL)層6とカソード8との間に配置され、且つホールおよび電子の注入を効果的にコントロールする。
誘電体層14は、アノード3とホール移動層5との間に配置される。もし、誘電体層の厚みが、トンネル現象の厚み以内であれば、電子注入に対する有効なバリアは低下され、そして放出層へのホールの注入が、低減される。結果として、キャリア注入に対する有効なバリアのこの低下は、電子およびホールのよりバランスされた注入に導き、そしてOLEDの量子効果を増大させる。
このより進歩した従来のOLEDデバイスは、それゆえ、優れた発光および効率を呈する。しかしながら、これらの進歩したOLEDも、ダークスポットの形成および成長を呈するため、それらは、それゆえ、比較的短い耐用年数を持つ。
したがって、ダークスポットの形成および成長を抑制すべく適合された改善されたOLEDが必要とされる。
第1の特徴において、本発明は、
(a)基板上に配置されるアノードと;
(b)カソードと;
(c)前記アノードと前記カソードとの間に配置されるエレクトロルミネッセンス(EL)層と;
(d)前記アノードと前記EL層との間に配置されるホール移動層と;
(e)
(i)前記アノードと前記ホール移動層;
(ii)前記ホール移動層と前記EL層;および
(iii)前記EL層と前記カソード;
のうちの1つ以上の間に配置される少なくとも1つの誘電体有機バリア層と;
を具備し、
前記バリア層は:
(A)酸素による透過阻止;
(B)水分による透過阻止;および
(C)金属移動の抑制
のうちの少なくとも1つに適合された、有機発光ダイオード(OLED)を提供する。
好ましくは、前記OLEDは前記EL層と前記カソードとの間に配置されたバリア層を含む。代わりにあるいは付加的に、前記OLEDは、
(i)前記アノードと前記ホール移動層か;または
(ii)前記ホール移動層と前記EL層か;
のいずれかの間に配置されるバリア層を含む。
好ましくは、前記OLEDは2つのバリア層を含み、一方のバリア層は、前記EL層と前記カソードとの間に配置され、そして他方のバリア層は:
(i)前記アノードと前記ホール移動層か;または
(ii)前記ホール移動層と前記EL層か;
のいずれかの間に配置される。
さらに好ましくは、前記少なくとも1つのバリア層の1つ以上は、可視波長帯域において実質的に透明である。
さらに好ましくは、前記少なくとも1つのバリア層は、電界のもとにおいて金属イオン移動を阻止するよう適合される。各バリア層は、好ましくは、さらに、約39℃において約0.1g/m/日から約50g/m/日の範囲において水分バリア特性を有する。 各バリア層の厚みは、好ましくは、約1から20nmの範囲内に存在する。
好ましくは、前記OLEDは、さらに、当該OLEDを少なくとも部分的に封止する封止層をさらに備え、前記封止層は、酸素および/または水分による透過を阻止すべく適合されている。
1つの形態において、前記OLEDは、さらに、前記アノードと前記ホール移動層との間に配置される誘電体層をさらに備え且つ前記少なくとも1つのバリア層は:
(i)前記アノードと前記誘電体層;および
(ii)前記誘電体層と前記ホール移動層;
のうちの1つ以上の間に配置される。
前記誘電体層は、好ましくは、トンネル現象範囲内である厚みを有する。前記誘電体層は、電子注入のために有効なバリア高さを低下させ、それによってOLEDのルミネッセンス量子効率を拡大するべく適合される。
別の形態において、OLEDはさらに、前記EL層と前記カソードとの間に配置される電子注入層をさらに備え、且つ前記少なくとも1つのバリア層は:
(i)前記EL層と前記電子注入層;および
(ii)前記電子注入層と前記カソード;
のうちの1つ以上の間に配置される。
この別の形態は、さらに上で言及された前記誘電体層を含んでもよい。
好ましくは、前記有機バリア層は少なくとも部分的にポリマーから作られ、1〜20nmの厚みを有する。さらに好ましくは、前記バリア層は、
(i)スピンコート法;
(ii)真空蒸着法;または
(iii)化学蒸着(CVD)法;
を含む従来のコーティング技術のいずれかによって被着される。
好ましくは、前記封止層は、有機封止層であり、少なくとも部分的にポリマーから作られ、1nmから30μmの厚みを有する。さらに好ましくは、前記封止層は、
(i)スピンコート法;
(ii)真空蒸着法;または
(iii)化学蒸着(CVD)法;
を含む従来のコーティング技術のいずれかによって被着される。
好ましくは、前記バリア層及び前記封止層の前記ポリマーは、
(i)ポリイミド;
(ii)テフロン(登録商標);および
(iii)パリレン;
から選択される。
前記ポリマーとしては、特にパリレンが好ましい。
前記OLEDの前記基板は、酸素および/または水分による透過を阻止すべく適合されるべきである。また、前記基板は、少なくとも部分的に、プラスティックやガラスのような、剛体または可撓性材料から作られることが好ましい。
前記OLEDの前記カソードおよび/または前記アノードは:
(i)有機金属;
(ii)無機金属;
(iii)有機金属酸化物;および
(iv)無機金属酸化物;
のうちの1つ以上のカソード材料から少なくとも部分的に作られることが好ましい。
前記アノードは、インジウムすず酸化物(ITO)から形成されることが好ましい。
前記カソードは、カルシウム、マグネシウム、銀、アルミニウム、これらの金属の2つ以上の合金、またはリチウム合金から形成されることが好ましい。
さらなる特徴において、本発明は、
(a)基板上に配置されるアノードと;
(b)カソードと;
(c)前記アノードと前記カソードとの間に配置されるエレクトロルミネッセンス(EL)層と;
(d)前記アノードと前記EL層との間に配置されるホール移動層と;
(e)
(i)前記アノードと前記ホール移動層;
(ii)前記ホール移動層と前記EL層;および
(iii)前記EL層と前記カソード;
のうちの1つ以上の間に配置される少なくとも1つの誘電体有機バリア層と;
を具備し、
前記バリア層は:
(A)酸素による透過阻止;
(B)水分による透過阻止;および
(C)金属移動の抑制
のうちの少なくとも1つに適合された、
非放射領域の形成および/あるいは成長を抑制すべく適合された有機発光ダイオード(OLED)を提供する。
好ましくは、前記OLEDは、さらに、当該OLEDを少なくとも部分的に封止する封止層をさらに備え、前記封止層は、酸素および/または水分による透過を阻止すべく適合されている。
本発明のさらなる特徴に従って、
(a)基板上にアノードを形成するステップと;
(b)前記アノード上にホール移動層を形成するステップと;
(c)前記ホール移動層上にエレクトロルミネッセンス(EL)層を形成するステップと;
(d)前記EL層上にカソードを形成するステップと;
(e)前記プロセスにおける適切なステップにおいて:
(i)前記アノードと前記ホール移動層;
(ii)前記ホール移動層と前記EL層;および
(iii)前記EL層と前記カソード;
のうちの1つ以上の間に配置される少なくとも1つの誘電体有機バリア層を形成するステップと;
を有する有機発光ダイオード(OLED)を製造する方法であって、
前記バリア層は:
(A)酸素による透過阻止;
(B)水分による透過阻止;および
(C)金属移動の抑制
のうちの少なくとも1つに適合されている方法が提供される。
好ましくは、第1のバリア層が、前記EL層の形成に先立って前記ホール移動層上に形成される。あるいは、第2のバリア層が、前記カソードの形成に先立って前記EL層上に形成され得る。
特に、第1のバリア層が、前記アノード上に形成され且つ第2のバリア層が、前記EL層上に形成されることが好ましい。さらなる代わりの実施形態において、第1のバリア層が、前記ホール移動層上に形成され且つ第2のバリア層が、前記EL層上に形成されてもよい。
各バリア層は:
(i)スピンコート法;
(ii)真空蒸着法;または
(ii)化学蒸着(CVD)法;
を含む従来のコーティング技術のいずれかによって被着され得る。
先述したように、前記バリア層は、少なくとも部分的にパリレンのようなポリマーから作られることが好ましい。好ましくは、前記バリア層は、約1〜20nmの厚みを有する。
前記方法は、好ましくは、さらに、当該OLEDを少なくとも部分的に封止する封止層の形成をさらに含み、前記封止層は、酸素および/または水分による透過を阻止すべく適合される。典型的には、前記封止層は、少なくとも部分的にポリマーから形成される有機封止層である。前記封止層は、約1nmから30μmの厚みを有し得る。前記封止層は典型的には:
(i)スピンコート法;
(ii)真空蒸着法;または
(iii)化学蒸着(CVD)法;
から選択されたプロセスによって被着される。
バリア層が前記EL層上に形成される場合、前記バリア層がイオン衝撃から前記EL層を保護するため、前記カソードはスパッタリングによって形成され得る。
図面を参照すると、図3は、本発明のOLEDの第1の好ましい実施の形態の概略的な断面図を示している。当該図において見られるように、OLED1は、基板2の上に配置されるいくつかの層を含んでいる。この実施の形態においては、各層は、次の順序:アノード3、第1の酸素/水分バリア4、ホール移動層5、およびエレクトロルミネッセンス(EL)層6、第2の酸素/水分バリア7、ならびにカソード8、で構成されている。この実施の形態においては、カソード8は、カルシウムカソード層9および銀/アルミニウムカソード層10を含んでいる。これらの層の全ては、封止層11によって少なくとも部分的に保護されている。
第1の酸素/水分バリア4は、酸素および水分による透過を阻止するように適合され、そして金属移動を抑制するようにも設計されている。この好ましい実施の形態においては、バリア4は、ポリイミド、テフロン(登録商標)およびパリレンの中から選択されたポリマーから作られた有機バリアである。それは、1nm〜20nmの間の厚みであり、スピンコート法、真空蒸着法または化学蒸着(CVD)法のような従来の任意のコーティングプロセスを用いてアノード上に被着されている。
しかしながら、この好ましい実施の形態において、第1の酸素/水分バリアは、アノード3とホール移動層5との間に配置され、それがホール移動層5とEL層6との間に配置されているときに効果的な結果もまた達成される。
この第1の酸素/水分バリア4は、39℃、RH(相対湿度)95%で、0.1g/m/日から50g/m/日の範囲内において、水分バリア特性を有している。それは、可視波長帯域において透明であり、そして電界下において金属移動に対して抵抗する。
このバリアは、酸素および/または水分による透過を阻止すべく適合されているため、アノード3からホール移動層5およびEL層6への酸素の拡散を防止することができる。それは、熱バリア膜としても作用し、そしてOLED1の動作中におけるアノードからEL層への熱移動を効果的に低減することができる。このバリア4は、ホール移動層5の効果的な被着を可能とすべく平滑な形態を提供するために、ピンホールおよび他の欠陥が無いことが好ましい。
このバリア4は、アノードスパイクにおいて生成される強い電界を低減させることもでき、層間にまたがる電位降下を通してバリア高さを低減することにより、キャリア注入効率を増大させるようにする。
第2の酸素/水分バリア7は、第1の酸素/水分バリア4と実質的に同一の構成および特性を有しているが、それはEL層6とカソード8の間に配置されている。
その好ましい形態において、この第2のバリア7は、酸素および/または水分による透過を阻止すべく適合され、そしてそれゆえEL層6へ酸素および水分が拡散し且つカソードと反応するのを防止することができる。
この第2のバリア7は、カソード8の被着のための平滑な形態を提供することができるよう、ピンホールおよび他の欠陥は無いべきである。
先に論じたように、OLED上へカソードを被着する好ましい方法は、「スパッタリング」として知られているプロセスによるものである。しかしながら、この技術は、EL層を損傷しがちであり、それゆえ当該デバイスのEL効率を低下させる。この好ましい実施の形態において、第2の酸素/水分バリア7は、EL層6上に被着されているため、それはEL層を保護し、スパッタリングによって、EL層の損傷なしに、カソード8が、被着されるのを可能とする。この方法において、第2のバリア7は、イオン衝撃、放射線および金属移動からEL層6を保護することができる。スパッタリング技術を用いてカソードを被着することによって、ピンホールがほとんどまたは全くないカソードが生成され得る。
図4に移って、そこには、封止層11を明確に示した、本発明のOLEDの好ましい実施の形態の単純化された概略的な断面図が示されている。当該図において、OLED1は、基板2上に配置され且つ封止層11によって封止されている。一対のエポキシシール12が、OLED1を閉じ込めるために基板2とカバー基板13の間に延びている。図3および図4の両方に示された封止層11は、酸素および/または水分による透過を阻止すべく適合されている。この好ましい実施の形態において、ポリイミド、テフロン(登録商標)およびパリレンから選択されたポリマーによって、それは少なくとも部分的に作られた有機封止層11である。これらのポリマーのうちで、パリレン列は、それが室温で被着され得るとともにそれがOLEDの電子的パラメーターを変更しないため、最も良い結果を生ずる。それはまた優秀な段差被覆性を有し且つそれゆえOLED1の等角被覆性を提供する。封止層11は、スピンコート法、真空蒸着法またはCVD法のような従来の任意のコーティングプロセスによって被着されることが好ましく、そして1nm〜30μmの厚み範囲に被着される。
封止層の優秀な酸素および水分バリア特性から、それは、重量について0.1%よりも小さい水分吸収性を示することができる。層11は、水分透過に対する優秀なバリアを提供し、且つそれゆえ一旦それが封止されるとOLED1を保護する。この封止層11は、OLED1を密封でき、それによってOLEDが水分と酸素の浸透の結果として酸化されるであろう可能性は低減される。
この、そして以下に述べる好ましい実施の形態において、基板2も、酸素および/または水分による透過を阻止すべく適合されており、プラスティックまたはガラスのような剛性または可撓性のある材料から少なくとも部分的に作られている。
加えて、カソード(および多層OLEDアーキテクチャーにおけるアノード)は、有機金属、無機金属、有機金属酸化物および無機金属酸化物を含むカソード材料から少なくとも部分的に作られている。カソード(および多層OLEDアーキテクチャーにおけるアノード)は、それがほとんどまたは全くピンホールを持たないように、スパッタリングとして知られる技術によってOLED上に被着されることが好ましい。
さて、図5に移り、そこには本発明のOLEDの第2の好ましい実施の形態が示されている。この実施の形態は、より進歩したOLEDにおいて使用される第1および第2の酸素/水分バリア4、7および封止層11を示している。
この図に用いられている数字付けは、図3において示された第1の好ましい実施の形態を説明するために使用されたのと同様である。この第2の実施の形態は、2つの付加的な層、すなわちアノード3とホール移動層5との間に配置された誘電体層14、およびEL層6とカソード層8との間に配置された電子注入層15、を有している。この好ましい実施の形態において、第1の酸素/水分バリア4は、アノード3と誘電体層14との間に配置されている。第2の酸素/水分バリア7は、EL層6と電子注入層15との間に配置されている。
図6に示される第3の好ましい実施の形態は、第1の酸素/水分バリア4が誘電体層14とホール移動層5との間に配置され、そして第2の酸素/水分バリア7が電子注入層15とカソード8との間に配置されることを除いて第2の好ましい実施の形態と同様である。第1および第2の酸素/水分バリア4、7のこれらと他の配置との組合せによる他の実施の形態も、考えられる。2つよりも多くの酸素/水分バリアを含むさらなる実施の形態も考えられる。
これらの好ましい実施の形態において、誘電体層の厚みは、トンネル現象の範囲内である。さらにまた、誘電体層は、電子注入のための有効なバリア高さを低下させるべく適合され、それゆえOLEDのルミネッセンス量子効率を向上させることができる。
前述の議論から、OLED内にいくつかの酸素/水分バリアを挿入し、且つOLEDのまわりに封止層を施すことによって、ダークスポットの形成および成長が著しく低減されることがわかるであろう。結果として、フラットパネルディスプレイの商業的生産を含む多くの応用に使用され得る著しく改善された性能および耐用年数を有するOLEDが実現される。
本発明者らは、上述されたバリアおよび封止層を用いることによって、OLED内に形成されるダークスポットの数が、100倍も低減されることを見出した。
本発明は、それゆえ、ダークスポット形成および成長の原因に取り組んだものである。ピンホールのようなカソード欠陥の問題が、EL層上の保護層として作用する第2の酸素/水分バリアによって扱われ、EL層を損傷することなくスパッタリングによって、カルシウム電極が被着されることを可能としている。
OLEDの層を通しての酸素および水分の拡散の問題は、第1および第2の酸素/水分バリアによって扱われる。それらは、カソードの下に存在する層からの酸素および水分の拡散を低減すべく作用し、それによって水分がCa電極と反応することによって生ずるガスの発生を低減させることができる。
バリアは、また、金属移動の問題にも取り組んでいる。それらは、金属の移動を低減し、それによって鮮鋭なスパイクが形成されるであろうようなことを低減し、ポリマーの劣化を阻止し、短絡の発生を制限する。
過度の加熱が確立される問題は、バリアが熱バリア膜として作用するので、OLEDの動作の間におけるアノードからEL層への熱伝導を効果的に低下させるよう取り組まれている。
バリアは、また、後続層の被着のためによりなめらかな面を提供し、それによってOLEDの品質を向上させる。
さらにまた、封止層は、水分および酸素の内在し且つ外部的な侵入からデバイスを保護させる。
バリアの付加的な利点は、当該デバイスにおけるポリマーのLUMOまたはHOMOに対しデバイスの金属のエネルギー仕事関数をより厳密に合わせることによってそれらがデバイスの量子効率を増大させることである。
広く記述された通りの本発明の範囲から逸脱せずに、特定の実施の形態に示された本発明に対し、多数の変形および/または修正がなされ得ることは、当該技術における当業者によって認められるであろう。本実施の形態は、それゆえ、全ての点において例示のものであり且つ限定するものではないと理解される。
単純な従来のOLEDの概略的な断面図である。 進歩した従来のOLEDの概略的な断面図である。 本発明の第1の好ましい実施の形態の概略的な断面図である。 封止層を明確に示した、本発明の第1の好ましい実施の形態の単純化された概略的な断面図である。 本発明のOLEDの第2の好ましい実施の形態の概略的な断面図である。 本発明のOLEDの第3の好ましい実施の形態の概略的な断面図である。

Claims (23)

  1. (a)基板上に配置されるアノードと;
    (b)カソードと;
    (c)前記アノードと前記カソードとの間に配置されるエレクトロルミネッセンス(EL)層と;
    (d)前記アノードと前記EL層との間に配置されるホール移動層と;
    (e)
    (i)前記アノードと前記ホール移動層;
    (ii)前記ホール移動層と前記EL層;および
    (iii)前記EL層と前記カソード;
    のうちの1つ以上の間に配置される少なくとも1つの酸素/水分バリアと;
    を具備し、
    前記バリアは:
    (A)酸素による透過阻止;
    (B)水分による透過阻止;および
    (C)金属移動の抑制
    のうちの少なくとも1つに適合された、有機発光ダイオード(OLED)。
  2. 当該OLEDを少なくとも部分的に封止する封止層をさらに備え、前記封止層は、酸素および/または水分による透過を阻止すべく適合されている、請求項1に記載のOLED。
  3. 前記アノードと前記ホール移動層との間に配置される誘電体層をさらに備え且つ前記少なくとも1つのバリアは:
    (i)前記アノードと前記誘電体層;および
    (ii)前記誘電体層と前記ホール移動層;
    のうちの1つ以上の間に配置される、請求項1または2に記載のOLED。
  4. 前記EL層と前記カソードとの間に配置される電子注入層をさらに備え、且つ前記少なくとも1つのバリアは:
    (i)前記EL層と前記電子注入層;および
    (ii)前記電子注入層と前記カソード;
    のうちの1つ以上の間に配置される、前記請求項のいずれか一項に記載のOLED。
  5. 前記バリアは有機バリアである前記請求項のいずれか一項に記載のOLED。
  6. 前記有機バリアは少なくとも部分的にポリマーから作られている、請求項5に記載のOLED。
  7. 前記バリアの厚みは、1から20nmの範囲内に存在する、前記請求項のいずれか一項に記載のOLED。
  8. 前記バリアは:
    (i)スピンコート法;
    (ii)真空蒸着法;または
    (iii)化学蒸着法;
    を含む従来のコーティング技術のいずれかによって被着される、前記請求項のいずれか一項に記載のOLED。
  9. 前記封止層は、有機封止層である、請求項2から8のいずれか一項に記載のOLED。
  10. 前記有機封止層は、少なくとも部分的にポリマーから作られる、請求項9に記載のOLED。
  11. 前記封止層の厚みは、1nmから30μmの範囲内に存在する、前記請求項のいずれか一項に記載のOLED。
  12. 前記封止層は:
    (i)スピンコート法;
    (ii)真空蒸着法;または
    (iii)化学蒸着法;
    を含む従来のコーティング技術のいずれかによって被着される、前記請求項のいずれか一項に記載のOLED。
  13. 前記ポリマーは:
    (i)ポリイミド;
    (ii)テフロン;および
    (iii)パリレン;
    から選択される、請求項6から12のいずれか一項に記載のOLED。
  14. 前記基板は、酸素および/または水分による透過を阻止すべく適合されており、且つ少なくとも部分的に、プラスティックまたはガラスを含む、剛体または可撓性材料から作られる、前記請求項のいずれか一項に記載のOLED。
  15. 前記誘電体層の厚みは、トンネル現象範囲内である、請求項3から14のいずれか一項に記載のOLED。
  16. 前記誘電体層は、電子注入のために有効なバリア高さを低下させ、それによってOLEDのルミネッセンス量子効率を拡大するべく適合される、請求項15に記載のOLED。
  17. 前記カソードおよび/または前記アノードは:
    (i)有機金属;
    (ii)無機金属;
    (iii)有機金属酸化物;および
    (iv)無機金属酸化物;
    のうちの1つ以上のカソード材料から少なくとも部分的に作られる、前記請求項のいずれか一項に記載のOLED。
  18. 前記カソード材料は、少なくとも部分的に、スパッタリングによって形成される、請求項17に記載のOLED。
  19. 前記カソード材料は、ほとんどまたは全くピンホールを有していない、請求項18に記載のOLED。
  20. 少なくとも1つの前記バリアは、前記EL層と前記カソードとの間に配置される保護バリアであり、そしてスパッタリングプロセスの影響による損傷から前記EL層を保護すべく適合されている、請求項18または19に記載のOLED。
  21. 前記保護バリアは:
    (i)イオン衝撃;
    (ii)放射線;および
    (iii)金属移動;
    のうちの1つ以上に起因する損傷から前記EL層を保護すべく適合されている、請求項20に記載のOLED。
  22. (a)基板上に配置されるアノードと;
    (b)カソードと;
    (c)前記アノードと前記カソードとの間に配置されるエレクトロルミネッセンス(EL)層と;
    (d)前記アノードと前記EL層との間に配置されるホール移動層と;
    (e)
    (i)前記アノードと前記ホール移動層;
    (ii)前記ホール移動層と前記EL層;および
    (iii)前記EL層と前記カソード;
    のうちの1つ以上の間に配置される少なくとも1つの酸素/水分バリアと;
    を具備し、
    前記バリアは:
    (A)酸素による透過阻止;
    (B)水分による透過阻止;および
    (C)金属移動の抑制
    のうちの少なくとも1つに適合された、
    非放射領域の成長を抑制すべく適合された有機発光ダイオード(OLED)。
  23. 当該OLEDを少なくとも部分的に封止する封止層をさらに備え、前記封止層は、酸素および/または水分による透過を阻止すべく適合されている、請求項22に記載のOLED。
JP2003548594A 2001-11-28 2002-11-27 有機発光ダイオード(oled) Expired - Fee Related JP4625911B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SG200107343A SG114514A1 (en) 2001-11-28 2001-11-28 Organic light emitting diode (oled)
PCT/SG2002/000276 WO2003047317A1 (en) 2001-11-28 2002-11-27 Organic light emitting diode (oled)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005510851A true JP2005510851A (ja) 2005-04-21
JP4625911B2 JP4625911B2 (ja) 2011-02-02

Family

ID=20430866

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003548594A Expired - Fee Related JP4625911B2 (ja) 2001-11-28 2002-11-27 有機発光ダイオード(oled)

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7733008B2 (ja)
JP (1) JP4625911B2 (ja)
CN (1) CN100521289C (ja)
AU (1) AU2002353758A1 (ja)
SG (1) SG114514A1 (ja)
WO (1) WO2003047317A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101781652B1 (ko) 2008-12-11 2017-10-23 오스람 오엘이디 게엠베하 유기발광다이오드 및 조명수단

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004200141A (ja) * 2002-10-24 2004-07-15 Toyota Industries Corp 有機el素子
DE502004012161D1 (de) * 2004-03-11 2011-03-17 Samsung Mobile Display Co Ltd OLED-Bauelement und Display auf Basis von OLED-Bauelementen mit höherer Lebensdauer
JP4272145B2 (ja) * 2004-03-11 2009-06-03 三星モバイルディスプレイ株式會社 有機電界発光素子及びそれを具備する有機電界発光ディスプレイ装置
US7671520B2 (en) * 2004-09-03 2010-03-02 Sumitomo Chemical Co., Ltd. Display device with birefringent substrate
KR100700013B1 (ko) * 2004-11-26 2007-03-26 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광소자 및 그의 제조 방법
US7147634B2 (en) 2005-05-12 2006-12-12 Orion Industries, Ltd. Electrosurgical electrode and method of manufacturing same
US8814861B2 (en) 2005-05-12 2014-08-26 Innovatech, Llc Electrosurgical electrode and method of manufacturing same
US7722929B2 (en) * 2005-08-18 2010-05-25 Corning Incorporated Sealing technique for decreasing the time it takes to hermetically seal a device and the resulting hermetically sealed device
US20070040501A1 (en) 2005-08-18 2007-02-22 Aitken Bruce G Method for inhibiting oxygen and moisture degradation of a device and the resulting device
US7829147B2 (en) * 2005-08-18 2010-11-09 Corning Incorporated Hermetically sealing a device without a heat treating step and the resulting hermetically sealed device
KR20070069314A (ko) * 2005-12-28 2007-07-03 전자부품연구원 Oled 소자
US8115326B2 (en) 2006-11-30 2012-02-14 Corning Incorporated Flexible substrates having a thin-film barrier
CN101632010A (zh) 2006-12-28 2010-01-20 新加坡科技研究局 带有集成气体渗透传感器的封装器件
CN101295005B (zh) * 2007-04-28 2012-05-23 昆山维信诺显示技术有限公司 一种有机电致发光器件的检测装置及检测方法
US8067085B2 (en) 2007-09-14 2011-11-29 Fujifilm Corporation Gas barrier film, and display device comprising the same
US8536611B2 (en) * 2008-06-17 2013-09-17 Hitachi, Ltd. Organic light-emitting element, method for manufacturing the organic light-emitting element, apparatus for manufacturing the organic light-emitting element, and organic light-emitting device using the organic light-emitting element
TWI508331B (zh) 2008-11-13 2015-11-11 Maven Optronics Corp 用於形成螢光轉換型發光元件之薄膜螢光層的系統及方法、以及用於螢光轉換型發光元件之薄膜螢光層
TWI387391B (zh) * 2009-03-04 2013-02-21 Chung Shan Inst Of Science 有機發光元件之製造方法
TWI387394B (zh) * 2009-03-04 2013-02-21 Chung Shan Inst Of Science 有機電激發光元件及其製造方法
US20120267240A1 (en) * 2009-10-26 2012-10-25 Agency For Science Technology And Research Photoelectrode with a polymer layer
US8329505B2 (en) * 2010-01-29 2012-12-11 Lock Haven University Of Pennsylvania Method for deposition of cathodes for polymer optoelectronic devices
US8963421B2 (en) 2012-09-14 2015-02-24 National Chiao Tung University Electroluminescent device including moisture barrier layer
CN103000818B (zh) * 2012-12-11 2015-05-20 京东方科技集团股份有限公司 顶发射有机电致发光器件及其制备方法和应用
CN104183742A (zh) * 2013-05-20 2014-12-03 海洋王照明科技股份有限公司 一种有机电致发光器件及其制备方法
US20170324040A1 (en) * 2014-12-09 2017-11-09 Mitsui Chemicals, Inc. Surface sealing material for organic el elements and cured product of same
CN104993066B (zh) * 2015-05-27 2017-11-14 京东方科技集团股份有限公司 一种oled器件及其制备方法、显示装置
CN105261712B (zh) * 2015-08-31 2017-07-25 上海和辉光电有限公司 一种柔性oled显示面板
US11222855B2 (en) 2019-09-05 2022-01-11 Skyworks Solutions, Inc. Moisture barrier for bond pads and integrated circuit having the same
US11258045B2 (en) 2019-11-27 2022-02-22 Applied Materials, Inc. Methods of forming stretchable encapsulation for electronic displays
US11211439B2 (en) 2019-11-27 2021-12-28 Applied Materials, Inc. Stretchable polymer and dielectric layers for electronic displays
US11362307B2 (en) 2019-11-27 2022-06-14 Applied Materials, Inc. Encapsulation having polymer and dielectric layers for electronic displays

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04137483A (ja) * 1990-09-28 1992-05-12 Toshiba Corp 有機薄膜el素子
JPH09185994A (ja) * 1995-11-30 1997-07-15 Motorola Inc エレクトロルミネセンス有機デバイスのパッシベーション方法
JPH10513603A (ja) * 1995-03-02 1998-12-22 ジ・オハイオ・ステート・ユニバーシティ バイポーラエレクトロルミネセンス装置
JPH11500574A (ja) * 1995-03-17 1999-01-12 ジ・オハイオ・ステート・ユニバーシティ バイポーラエレクトロルミネセンス装置
JP2000150171A (ja) * 1998-11-05 2000-05-30 Eastman Kodak Co エレクトロルミネセンス素子
JP2001040345A (ja) * 1999-08-02 2001-02-13 Nec Corp 有機エレクトロルミネッセンス材料および該材料を用いたエレクトロルミネッセンス素子
JP2001068270A (ja) * 1999-08-24 2001-03-16 Mitsui Chemicals Inc 有機電界発光素子
JP2001329259A (ja) * 2000-03-16 2001-11-27 Sumitomo Chem Co Ltd 高分子蛍光体およびそれを用いた高分子発光素子

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4356429A (en) * 1980-07-17 1982-10-26 Eastman Kodak Company Organic electroluminescent cell
JPH01197993A (ja) * 1988-02-02 1989-08-09 Sharp Corp 薄膜el素子
GB8909011D0 (en) 1989-04-20 1989-06-07 Friend Richard H Electroluminescent devices
US5770920A (en) * 1995-06-06 1998-06-23 Durel Corporation Electroluminescent lamp having a terpolymer binder
US5686360A (en) * 1995-11-30 1997-11-11 Motorola Passivation of organic devices
US5796120A (en) * 1995-12-28 1998-08-18 Georgia Tech Research Corporation Tunnel thin film electroluminescent device
US5693956A (en) * 1996-07-29 1997-12-02 Motorola Inverted oleds on hard plastic substrate
US5645948A (en) * 1996-08-20 1997-07-08 Eastman Kodak Company Blue organic electroluminescent devices
JP3691192B2 (ja) 1997-01-31 2005-08-31 三洋電機株式会社 有機エレクトロルミネッセンス素子
US5739545A (en) * 1997-02-04 1998-04-14 International Business Machines Corporation Organic light emitting diodes having transparent cathode structures
JP3290375B2 (ja) * 1997-05-12 2002-06-10 松下電器産業株式会社 有機電界発光素子
KR100249784B1 (ko) * 1997-11-20 2000-04-01 정선종 고분자복합막을이용한유기물혹은고분자전기발광소자의패키징방법
JPH11195487A (ja) * 1997-12-27 1999-07-21 Tdk Corp 有機el素子
JPH11283752A (ja) * 1998-03-27 1999-10-15 Futaba Corp 有機エレクトロルミネッセンス素子
JP2000030871A (ja) * 1998-07-08 2000-01-28 Futaba Corp 有機el素子
JP2000068067A (ja) * 1998-08-13 2000-03-03 Tdk Corp 有機el素子
JP2001076884A (ja) * 1999-07-08 2001-03-23 Ulvac Japan Ltd 有機elパネル
JP2001076886A (ja) * 1999-09-03 2001-03-23 Futaba Corp 透明タッチスイッチ付き有機elデバイスとその製造方法
JP2002025781A (ja) * 2000-07-07 2002-01-25 Nec Corp 有機el素子およびその製造方法
US6929870B2 (en) * 2000-08-10 2005-08-16 Mitsui Chemicals, Inc. Hydrocarbon compounds, materials for organic electroluminescent elements and organic electroluminescent elements
US6664732B2 (en) * 2000-10-26 2003-12-16 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device and manufacturing method thereof
US7112844B2 (en) * 2001-04-19 2006-09-26 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and manufacturing method thereof
US6558820B2 (en) * 2001-05-10 2003-05-06 Eastman Kodak Company High contrast light-emitting diode devices

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04137483A (ja) * 1990-09-28 1992-05-12 Toshiba Corp 有機薄膜el素子
JPH10513603A (ja) * 1995-03-02 1998-12-22 ジ・オハイオ・ステート・ユニバーシティ バイポーラエレクトロルミネセンス装置
JPH11500574A (ja) * 1995-03-17 1999-01-12 ジ・オハイオ・ステート・ユニバーシティ バイポーラエレクトロルミネセンス装置
JPH09185994A (ja) * 1995-11-30 1997-07-15 Motorola Inc エレクトロルミネセンス有機デバイスのパッシベーション方法
JP2000150171A (ja) * 1998-11-05 2000-05-30 Eastman Kodak Co エレクトロルミネセンス素子
JP2001040345A (ja) * 1999-08-02 2001-02-13 Nec Corp 有機エレクトロルミネッセンス材料および該材料を用いたエレクトロルミネッセンス素子
JP2001068270A (ja) * 1999-08-24 2001-03-16 Mitsui Chemicals Inc 有機電界発光素子
JP2001329259A (ja) * 2000-03-16 2001-11-27 Sumitomo Chem Co Ltd 高分子蛍光体およびそれを用いた高分子発光素子

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101781652B1 (ko) 2008-12-11 2017-10-23 오스람 오엘이디 게엠베하 유기발광다이오드 및 조명수단
US9797567B2 (en) 2008-12-11 2017-10-24 Osram Oled Gmbh Organic-light-emitting diode and luminaire
US10605422B2 (en) 2008-12-11 2020-03-31 Osram Opto Semiconductors Gmbh Organic-light-emitting diode
US11585504B2 (en) 2008-12-11 2023-02-21 Pictiva Displays International Limited Organic-light-emitting diode
US11828425B2 (en) 2008-12-11 2023-11-28 Pictiva Displays International Limited Organic-light emitting diode

Also Published As

Publication number Publication date
AU2002353758A1 (en) 2003-06-10
WO2003047317A8 (en) 2003-10-23
CN1596561A (zh) 2005-03-16
SG114514A1 (en) 2005-09-28
WO2003047317A1 (en) 2003-06-05
JP4625911B2 (ja) 2011-02-02
US7733008B2 (en) 2010-06-08
US20050012448A1 (en) 2005-01-20
CN100521289C (zh) 2009-07-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4625911B2 (ja) 有機発光ダイオード(oled)
JP5638176B2 (ja) 有機電子デバイス用の金属化合物−金属多層電極
US8288941B2 (en) Electronic device having an electrode with enhanced injection properties
US7358538B2 (en) Organic light-emitting devices with multiple hole injection layers containing fullerene
US7368659B2 (en) Electrodes mitigating effects of defects in organic electronic devices
US6639357B1 (en) High efficiency transparent organic light emitting devices
JP3290375B2 (ja) 有機電界発光素子
US20020176992A1 (en) Highly transparent non-metallic cathodes
KR20130052637A (ko) 스택형 유기 전자 발광 장치
US20090284136A1 (en) Organic light-emission device
TWI411351B (zh) 具改良穩定性,發光性及效率之有機發光二極體(oled)
US7768210B2 (en) Hybrid electroluminescent devices
KR100744282B1 (ko) 유기 el 패널 및 그 제조 방법
JP4615083B2 (ja) 二重絶縁層を有する有機電界発光素子
JP2001093671A6 (ja) 二重絶縁層を有する有機電界発光素子
JP3885440B2 (ja) 光電変換素子及びその製造方法
KR100888148B1 (ko) 유기전계발광소자 및 그 제조방법
JP2015502049A (ja) ポリマーエレクトロルミネッセスデバイス、及び、その製造方法
JP4892795B2 (ja) 有機el素子およびその製造方法
JP2001052863A (ja) 有機el素子の製造方法及び有機el素子
JP4188846B2 (ja) 発光抑制素子及びこれに基づいた画像表示装置
Ke et al. Indium-tin-oxide-free organic light-emitting device
US20060012289A1 (en) Hybrid electroluminescent devices
KR100665700B1 (ko) 유기전계발광소자의 제조방법
Jabbour et al. Effects of insulating layers on the performance of organic electroluminescent devices

Legal Events

Date Code Title Description
A529 Written submission of copy of amendment under article 34 pct

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A529

Effective date: 20040528

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20051117

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20051117

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20051117

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20051124

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20051117

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20051117

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20051117

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081118

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090217

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090324

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20090618

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20090625

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20090723

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20090804

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20090821

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20090831

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090924

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100921

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20101012

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131119

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4625911

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees