JP2005309371A - 光学フイルム貼着装置及び方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基板に光学フイルムを正確に貼着可能であると共に、気泡、塵埃、帯電の発生を防止可能とする光学フイルム貼着装置及び方法を提供する。
【解決手段】フイルム片１６の先端部を、内筒部９６ｂに連結する吸引ポンプの駆動により、孔１５６、１６０を介して外筒部９６ａ表面に吸引保持させる。次に、前記先端部を外筒部９６ａ表面で吸引保持した状態で、前記外筒部９６ａを前記内筒部９６ｂに対して回転させて、前記先端部を前記外筒部９６ａ表面に吸引保持させた状態で圧着ローラ９６から受ローラ９４に向けて突出させる。次に、前記先端部が、前記受ローラ９４の中心と前記圧着ローラ９６の中心とを結ぶ直線上に来るように、前記外筒部９６ａを反対方向に回転させて、前記フイルム片１６のうち、前記圧着ローラ９６とフイルム片搬送手段５６との間の部分を撓ませる。
【選択図】図６

Description

本発明は、液晶表示基板、プラズマ表示基板等の基板に偏光板、位相差膜等の光学フイルムを貼り付ける光学フイルム貼付装置及び方法に関する。

近年、液晶表示装置（ＬＣＤ）の普及に伴い、偏光板、位相差膜等の光学フィルムの需要が急増している。

前記光学フイルムは、偏光板又は位相差膜と、前記偏光板又は位相差膜の両面又は片面に積層された保護層と、前記保護層に積層された粘着層と、前記粘着層に積層された剥離フイルムとから構成されている。

ここで、前記光学フイルムから剥離フイルムを剥離し、前記粘着層を介して前記光学フイルムをガラス等の基板に貼着することにより、前記ＬＣＤが形成される。

上述した光学フイルムを基板に貼着してＬＣＤを形成する従来技術として、特許文献１〜３が開示されている。

図１３は、特許文献１で開示されている光学フイルム貼着装置２００を示し、前記光学フイルム貼着装置２００は、基板２０２を実線の矢印方向（正方向）に搬送する供給ローラ２０４、２０６と、図示しない巻出機構から供給されたフイルム２０８を前記基板２０２表面に搬送して、前記基板２０２と前記フイルム２０８との貼着を行う貼着ローラ２１０、２１２と、前記貼着ローラ２１０の下流側（図１３上、左側）に配置され、且つ前記フイルム２０８の先端部を前記基板２０２表面から離間させて吸着する吸着具２１４とから構成されている。

ここで、供給ローラ２０４、２０６を点線の矢印方向（逆方向）に回転させると基板２０２が搬送方向の上流側に移動を開始する。これにより、貼着ローラ２１０、２１２が逆方向に回転し、フイルム２０８も前記上流側に移動して、該フイルム２０８が基板２０２表面に貼着される。

次いで、フイルム２０８の先端部が基板２０２に貼着された場合、供給ローラ２０４、２０６は回転を停止し、今度は正方向に回転する。これにより、基板２０２は上流側から下流側に搬送されると共に、貼着ローラ２１０、２１２も正方向に回転してフイルム２０８の残余部分と前記基板２０２との貼着が行われる。

図１４は、特許文献２で開示されている光学フイルム貼着装置２２０を示し、前記光学フイルム貼着装置２２０は、基板２０２を吸着して正方向に搬送する基板吸着用ステージ２２２と、フイルム２０８を前記基板２０２表面に搬送し、ローラ２２４で前記フイルム２０８を前記基板２０２表面に押し付けて貼着を行うローラ付きステージ２２６とから構成されている。

光学フイルム貼着装置２２０では、図１５に示すように、先ず、ローラ２２４でフイルム２０８の先端部を基板２０２表面に押し付けて、前記先端部と前記基板２０２との貼着を行う。次いで、前記フイルム２０８の前記先端部を前記ローラ２２４により前記基板２０２表面に押し付けた状態で、ローラ付きステージ２２６を逆方向に移動させるか、あるいは基板吸着用ステージ２２２を正方向に移動させることにより、前記基板２０２と前記フイルム２０８の残余部分との貼着が行われる。

特開平１−２３３７８９号公報 特開２００２−２３１５１号公報 特開２００３−９８５２０号公報

しかしながら、特許文献１に開示されている光学フイルム貼着装置２００では、貼着ローラ２１０、２１２の逆回転によりフイルム２０８に弛みが発生した場合、前記逆回転の最中に、前記フイルム２０８の先端部以外にも基板２０２に貼着する部位が発生する。これにより、前記基板２０２と前記フイルム２０８との間に気泡が混入し、その結果、作製されたＬＣＤの品質が低下するという問題がある。

また、貼着ローラ２１０、２１２の逆回転により、吸着具２１４とフイルム２０８との間で摩擦が発生し、その結果、塵埃が発生したり、フイルム２０８が帯電する。これにより、前記塵埃が前記基板２０２及び前記フイルム２０８に付着してＬＣＤの歩留まりが低下したり、前記ＬＣＤを使用する電子回路の機能が低下するという問題がある。

さらに、光学フイルム貼着装置２００は、供給ローラ２０４、２０６及び貼着ローラ２１０、２１２を正回転及び逆回転させるために装置構成が複雑となり、装置全体のコストが高騰するという問題がある。

一方、特許文献２、３に開示されている光学フイルム貼着装置２２０では、ローラ２２４を上昇させてフイルム２０８の先端部を基板２０２表面に押し付ける場合、前記ローラ２２４上方に前記フイルム２０８の前記先端部が配置され、且つと前記ローラ２２４と前記先端部とが接触していないので、前記ローラ２２４が基板２０２表面に到着する前に前記先端部と前記基板２０２表面との貼着が行われる。

ここで、ローラ２２４をさらに基板２０２に向ってさらに上昇させると、フイルム２０８の一部が前記ローラ２２４によって湾曲し、前記基板２０２表面における前記先端部の接触位置が変化する。前記フイルム２０８の巻き癖等の変形により前記接触位置の変化がより一層顕著になる。従って、前記フイルム２０８の前記先端部を前記基板２０２表面に正確に位置決め固定することが困難となり、ＬＣＤの歩留まりが低下するおそれがある。

また、ローラ２２４を基板２０２側に上昇させる際に、前記基板２０２表面に対するフイルム２０８の先端部の位置が変化するので、前記フイルム２０８を構成する粘着層の一部が前記基板２０２表面に付着して、この付着箇所に塵が集積し、その結果、前記ＬＣＤの歩留まりが低下するおそれがある。

さらに、光学フイルム貼着装置２２０においても、フイルム２０８とローラ付きステージ２２６との間で発生する摩擦により、塵埃及び帯電が発生するので、前記塵埃が前記基板２０２及び前記フイルム２０８に付着してＬＣＤの歩留まりが低下したり、前記ＬＣＤを使用する電子回路の機能が低下するという問題がある。

さらにまた、光学フイルム貼着装置２２０を大型化して長尺のＬＣＤを製造する場合、ローラ２２４の直径も大きくなるので、前記ローラ２２４からのフイルム２０８の突出量も増加し、上述した前記フイルム２０８の先端部の位置ずれやＬＣＤの歩留まり低下という問題が発生する。

本発明は、基板に光学フイルムを正確に貼着可能であると共に、前記基板と前記光学フイルムとの間に気泡、塵埃、帯電が発生させることを防止可能とする光学フイルム貼着装置及び方法を提供することを目的とする。

本発明に係る光学フイルム貼着装置は、基板を搬送する第１ローラと、光学フイルムを前記基板表面に搬送する第２ローラと、前記光学フイルムを前記第２ローラに保持する光学フイルム保持機構と、前記第２ローラを回転させるローラ回転機構と、前記第２ローラを前記第１ローラに対して進退させるローラ移動機構と、を備え、前記ローラ回転機構は、前記ローラ移動機構により前記光学フイルムを前記基板から離間している状態で、前記光学フイルムの搬送方向に対して前記第２ローラを正回転及び逆回転させることにより、前記基板表面に対する前記光学フイルムの先端部の位置決めを行うことを特徴とする。

前記光学フイルムを前記基板から離間している状態で、前記第２ローラの回転により前記基板表面に対する前記光学フイルムの先端部の位置決め調整を行うようにしたので、前記ローラ移動機構を用いて前記第２ローラを前記第１ローラに進行させると前記基板表面において前記光学フイルムの先端部が正確に位置決め固定される。

これにより、前記第１ローラを回転させて前記基板を搬送させれば、前記基板と前記光学フイルムの残余部分との貼着が行われ、前記基板表面に前記光学フイルムを高精度に貼着することができる。従って、前記光学フイルムと前記基板との間の塵埃及び気泡の発生や帯電の発生を抑制することが可能となると共に、液晶表示装置（ＬＣＤ）の品質を向上させて歩留まりを向上させることが可能になる。

特に、前記ローラ回転機構について、前記第２ローラを所定の角度だけ正回転させてから、前記光学フイルムの前記先端部が、前記第１のローラの中心と前記第２のローラの中心とを結ぶ線上に位置決めされるように、前記第２ローラを逆回転させることが好ましく、これにより、前記光学フイルムの巻き癖等の変形があっても、位置ずれの発生を抑制することができる。

また、前記第２ローラは、その表面に孔が形成された中空円筒であり、前記光学フイルム保持機構は、前記孔及び前記中空部分を介して前記光学フイルムを吸引する吸引手段であることが好ましい。

ここで、前記第２ローラは、前記孔が形成される外筒部と、前記外筒部と同軸に配置され且つ前記吸引手段に連結する内筒部とを有し、前記内筒部には孔と、前記孔を囲繞するように前記外筒部に向い突設し且つ前記吸引手段による前記光学フイルムの吸引範囲を規制する吸引範囲規制部とが形成されていることが好ましい。

また、前記光学フイルム保持機構は、少なくとも前記第２ローラの表面に形成された粘着層であることが好ましい。

この場合、前記光学フイルム保持機構は、前記第２ローラの表面に形成された粘着層と、前記光学フイルムを前記第２ローラに押圧するエアブロー手段とであることが好ましい。

また、本発明に係る光学フイルム貼着方法は、第１ローラによって基板を搬送する工程と、光学フイルムを光学フイルム保持機構によって第２ローラに保持する工程と、前記第２ローラをローラ回転機構により前記光学フイルムの搬送方向に対して所定の角度だけ正回転させる工程と、前記第２ローラを前記ローラ回転機構により前記光学フイルムの搬送方向に対して逆回転させて、前記光学フイルムの先端部を前記基板表面に対して位置決めする工程と、前記第２ローラをローラ移動機構で前記第１ローラに進行させることにより、前記光学フイルムの前記先端部を前記基板表面に配置する工程と、を有することを特徴とする。

この場合も、前記光学フイルムを前記基板から離間している状態で、前記第２ローラの回転により前記基板表面に対する前記光学フイルムの先端部の位置決め調整を行うようにしたので、前記ローラ移動機構を用いて前記第２ローラを前記第１ローラに進行させると前記基板表面において前記光学フイルムの先端部が正確に位置決め固定される。

これにより、前記第１ローラを回転させて前記基板を搬送させれば、前記基板と前記光学フイルムの残余部分との貼着が行われ、前記基板表面に前記光学フイルムを高精度に貼着することができる。従って、前記光学フイルムと前記基板との間の塵埃及び気泡の発生や帯電の発生を抑制することが可能となると共に、液晶表示装置（ＬＣＤ）の品質を向上させて歩留まりを向上させることが可能になる。

特に、前記ローラ回転機構について、前記第２ローラを所定の角度だけ正回転させてから、前記光学フイルムの前記先端部が、前記第１のローラの中心と前記第２のローラの中心とを結ぶ線上に位置決めされるように、前記第２ローラを逆回転させることが好ましく、これにより、前記光学フイルムがロール状のフイルムで供給される場合であっても、巻き癖による位置ずれの発生を抑制することができる。

本発明によれば、光学フイルムを基板から離間している状態で、第２ローラの回転により前記基板表面に対する前記光学フイルムの先端部の位置決め調整を行うようにしたので、ローラ移動機構を用いて前記第２ローラを第１ローラに進行させると前記基板表面において前記光学フイルムの先端部が正確に位置決め固定される。これにより、前記第１ローラを回転させて前記基板を搬送させれば、前記基板と前記光学フイルムの残余部分との貼着が行われ、前記基板表面に前記光学フイルムを高精度に貼着することができる。従って、前記光学フイルムと前記基板との間の塵埃及び気泡の発生や帯電の発生を抑制することが可能となると共に、液晶表示装置（ＬＣＤ）の品質を向上させて歩留まりを向上させることが可能になる。

本発明に係る光学フイルム貼着装置及び方法について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。

図１は、本実施の形態に係る光学フイルム貼着装置１０の構成を概略側面図であり、図２は基板１２の搬送部分を示す平面図である。

光学フイルム貼着装置１０は、基板１２に光学フイルム１４（フイルム片１６）を貼着する装置であり、ロール状に巻回された光学フイルム１４を収容するフイルム巻出部１８と、前記フイルム巻出部１８から巻き出された前記光学フイルム１４を搬送するフイルム搬送部２０と、前記光学フイルム１４を構成する剥離フイルム（剥離層）２２を前記光学フイルム１４から剥離してロール状に巻き取る剥離フイルム巻取部２４と、基板１２を搬送する基板搬送部２６と、前記基板搬送部２６における基板１２の位置決めを行う基板位置決め部２８と、前記基板１２に対する光学フイルム１４の貼着を行うフイルム貼着部３０と、前記光学フイルム１４が貼着された基板１２を検査する検査部３２と、前記基板１２及び前記光学フイルム１４の除電を行う除電部３４と、前記光学フイルム貼着装置１０の各部位を電気的に制御する図示しない制御部とから構成されている。

基板１２は、液晶表示基板、プラズマ表示基板、有機ＥＬ基板、ＴＦＴ基板、プリント基板等に用いられるガラス基板、合成樹脂基板等の平板状部材であることが好ましく、予めセル、電極等の電子機構部品が形成されている回路基板であってもよい。また、前記基板１２の形状は、例えば、矩形形状であっても、前記基板１２の片面に光学フイルム１４を切断して形成されたフイルム片１６が貼着されたものでもよい。

光学フイルム１４は、図３に示すように、合紙層１４ａと保護フイルム層１４ｂと偏光板層１４ｃと保護フイルム層１４ｄと粘着層１４ｅと位相差膜層１４ｆと粘着層１４ｇと剥離フイルム２２との積層体で構成され、ロール３６に長さ５００ｍ以上巻回され、その厚みは２００〜５００μｍの帯状のフイルムである。

合紙層１４ａは、ポリエチレン（ＰＥ）又はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）から構成され、シリコンゴムに対する摩擦係数は、０．７以上、より好ましくは０．９以上である。また、保護フイルム層１４ｂ、１４ｄは、三酢酸セルロース（ＴＡＣ）から構成されている。偏光板層１４ｃは、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）から構成されている。位相差膜層１４ｆは、ポリプロピレン（ＰＰ）から構成されている。剥離フイルム２２は、ＰＥＴから構成されている。

また、光学フイルム１４は、図４に示すように、合紙層１４ａと保護フイルム層１４ｂと偏光板層１４ｃと保護フイルム層１４ｄと粘着層１４ｇと剥離フイルム２２との積層体で構成されていてもよい。

そして、上述した光学フイルム１４は、図１に示すフイルム巻出部１８から巻き出された際、合紙層１４ａが図１の下側に配置され、剥離フイルム２２が図１の上側に配置されるように前記フイルム巻出部１８内に収容されている。

また、フイルム片１６は、前述した帯状の光学フイルム１４をフイルム搬送部２０におけるフイルム切断手段３８で所定長さだけ切断することにより切り出される。

フイルム巻出部１８は、フイルム巻出手段３９と、パスローラ４０と、フイルム位置検出手段４２と、フイルム接合手段４４と、パスローラ４６、４８と、フイルム張力調整手段５０と、パスローラ５３とを有する。

フイルム巻出手段３９は、光学フイルム１４が巻回されたロール３６から前記光学フイルム１４を巻き出すユニットであり、前記ロール３６の軸部５２を図示しないモータで回転させることにより、前記光学フイルム１４を巻き出してフイルム搬送部２０に搬送する。

パスローラ４０は、ロール３６から巻き出された光学フイルム１４の送出方向を変化させるローラである。また、フイルム位置検出手段４２は、前記光学フイルム１４の幅方向（図１の紙面に直交する方向）の少なくとも片側端部の位置を検出するエッジセンサであり、光電子式もしくは光学式のフォトセンサを用いることが好ましいが、音波式やエア式のエッジセンサでもよい。

フイルム接合手段４４は、ロール３６から光学フイルム１４が無くなったときに、送出された前記光学フイルム１４と、フイルム巻出手段３９に新たに装填されるロール３６の光学フイルム１４とを接合する。

すなわち、ロール３６に光学フイルム１４が無くなった場合、先ず、光学フイルム貼着装置１０を停止してから、前記フイルム接合手段４４に送出された光学フイルム１４の終端部を吸着する。次いで、前記ロール３６を新しいロール３６に交換し、前記新しいロール３６から光学フイルム１４の先端部を巻き出して、交換前のロール３６の光学フイルム１４の終端部とを前記フイルム接合手段４４において重畳させた状態で、前記フイルム接合手段４４の図示しないテープ貼合ユニットにより前記各光学フイルム１４の端部の接合を行う。

パスローラ４６、４８は、フイルム接合手段４４を通過した光学フイルム１４の送出方向を変化させるローラである。

フイルム張力調整手段５０は、巻き出された光学フイルム１４の張力を所定の大きさに調整する張力調整機構であり、ダンサーローラ５０ａと、空圧ユニット５０ｂとを有する。前記ダンサーローラ５０ａは、ロール３６からフイルム搬送部２０までの間の光学フイルム１４の張力を一定に保つためのローラであり、前記空圧ユニット５０ｂに対して矢印Ａ方向（図１では上下方向）に摺動自在に取り付けられている。前記空圧ユニット５０ｂは、エアの圧力により前記ダンサーローラ５０ａに作用する自重を補正して、前記光学フイルム１４の送出を安定化させるためのものである。

パスローラ５３は、フイルム張力調整手段５０のダンサーローラ５０ａを通過した光学フイルム１４の送出方向を変化させるローラである。

フイルム搬送部２０は、フイルム張力調整手段５０で張力が調整された光学フイルム４の一部を切断してフイルム片１６を形成し、前記フイルム片１６をフイルム貼着部３０に搬送するものであり、フィードローラ５４ａ、５４ｂと、フイルム切断手段３８と、フイルム片搬送手段５６と、フイルム位置検出手段５８と、フイルム切断位置検出手段６０とから構成されている。

フィードローラ５４ａ、５４ｂは、張力が調整された光学フイルム１４を狭持して、その長手方向に送出するローラであり、図示しない制御部により回転量が調整され、前記光学フイルム１４の送出長さを調整することが可能である。

フイルム切断手段３８は、光学フイルム１４をその長手方向（搬送方向）に所定の長さで切断してフイルム片１６を切り出すものであり、前記フイルム切断手段３８は、切り出される前記フイルム片１６の長さに対応して、フィードローラ５４ａ、５４ｂと、フイルム片搬送手段５６との間に配置されている。その際、前記フイルム切断手段３８の位置を、図示しない摺動機構により矢印Ｂ方向（光学フイルム１４の搬送方向）を摺動させることにより、サイズの異なるフイルム片１６を切り出し可能である。この場合、前記フイルム切断手段３８は、トムソン刃による油圧又はモータークランクによるギロチン方式カッター、レーザーカッター、丸刃転動式カッター、丸刃ナイフ刃の引き切り式カッター等を用いることが好ましい。

また、フイルム切断手段３８では、光学フイルム１４を基板１２に貼り付けてからフイルム片１６として切り出す場合、前記光学フイルム１４の送出を停止する必要があるが、前記摺動機構により前記基板１２の貼り始めから停止することなく１枚の基板１２への貼着が可能となり、貼付作業を停止することによる停止痕の発生を防止することができる。さらに、前記光学フイルム１４のハーフカットを行う場合、前記光学フイルム１４の下側の面（図３及び図４の合紙１４ａ側）から切り込んでいるので、前記ハーフカットにより発生する切屑は、剥離フイルム２２側（粘着層１４ｇ側）に行きにくい。

フイルム片搬送手段５６は、フイルム切断手段３８で前記所定の長さに切断して形成されたフイルム片１６をフイルム貼着部３０に搬送するものであり、前記フイルム片１６の下側（図３及び図４の合紙層１４ａ側）をベルトで吸引しながら基板２への貼付位置に矢印Ｂ方向に搬送するベルトコンベア（サクションコンベア）である。前記ベルトは、矢印Ｂ方向と直交する方向に引っ張られており、前記ベルトの中央付近が弛まないようにされている。この場合、前記フイルム片搬送手段５６は、図示しない制御部によりフイルム巻出部１８と同期して駆動制御される。

フイルム位置検出手段５８は、フイルム片搬送手段５６のフイルム貼着部３０側の端部近傍に配置され、且つフイルム片搬送手段５６で搬送されたフイルム片１６又は前記フイルム片１６の幅方向の少なくとも片側の端部の位置を検出するエッジセンサであり、光電子式又は光学式のフォトセンサ、音波式又はエア式のエッジセンサであることが好ましい。

フイルム切断位置検出手段６０は、フイルム位置検出手段５８よりもフイルム貼着部３０側に配置され、且つフイルム片搬送手段５６により搬送された光学フイルム１４の先端部を検出するエッジセンサであり、光電子式又は光学式のフォトセンサや、音波式又はエア式のエッジセンサであることが好ましい。

ここで、フイルム切断位置検出手段６０が、前記光学フイルム１４の先端側を検出し、その情報を図示しない制御部に送信すると、前記制御部は、前記情報に基づいて前記光学フイルム１４の切断を指示する信号をフイルム切断手段３８に送信する。これにより、前記フイルム切断手段３８は、前記光学フイルム１４を所定の長さで切断し、フイルム片１６を切り出す。従って、前記フイルム切断位置検出手段６０で検出される前記光学フイルム１４の先端部と、前記フイルム切断手段３８で切断される前記光学フイルム１４の切断箇所との間の距離が、上述した所定の長さとなる。

剥離フイルム巻取部２４は、剥離フイルム分離用ローラ６２と、パスローラ６４、６６、６８と、剥離フイルム巻取手段７０とを有する。

剥離フイルム分離用ローラ６２は、フイルム片搬送手段５６のフイルム貼着部３０寄りにあって、搬送される光学フイルム１４又はフイルム片１６の上面（図３及び図４の剥離フイルム２２）に接し、且つその軸が前記光学フイルム１４又はフイルム片１６の搬送方向（矢印Ｂ１方向）に直交して配置されたローラであり、前記光学フイルム１４又はフイルム片１６から剥離フイルム２２（図３及び図４参照）のみを分離する。この場合、前記剥離フイルム分離用ローラ６２の背後に前記剥離フイルム分離用ローラ６２の撓みを防止する図示しないバックアップローラを設けることが好ましい。前記バックアップローラに代えて、先端に丸みを帯びたエッジを備えるエッジ部材やサクションドラムを用いて前記撓みを防止することも可能である。

パスローラ６４、６６、６８は、剥離フイルム分離用ローラ６２で分離された剥離フイルム２２の送出方向を変化させるローラである。

剥離フイルム巻取手段７０は、分離された剥離フイルム２２を所定のトルクで巻き取るものであり、図示しないトルク発生手段により一定のトルクで巻取ロール７２を回転駆動させて、前記剥離フイルム２２を巻き取る。また、前記剥離フイルム巻取手段７０は、前記巻取ロール７２の軸部７３の外径が可変可能なものであり、これにより巻き取った前記剥離フイルム２２を外しやすくすることができる。

基板搬送部２６は、図１及び図２に示すように、フイルム貼着部３０を挟んで配置される第１基板搬送ユニット７４及び第２基板搬送ユニット７６と、前記第１基板搬送ユニット７４に配置された第１基板検出手段７８と、前記フイルム貼着部３０両側に配置された第２基板検出手段８０と、前記第２基板搬送ユニット７６に配置された第３基板検出手段８２とを有する。

第１基板搬送ユニット７４は、複数の駆動ホイール８４を有するホイールコンベアであり、前記駆動ホイール８４を図示しない制御部で駆動している状態で外部から供給された基板１２を水平に矢印Ｃ１方向（図１及び図２参照）に搬送する。前記駆動ホイール８４は、基板１２にかかる駆動力を緩衝する図示しないすべり軸受を有し、前記基板２に応力が作用するときには、前記すべり軸受が滑って前記基板１２の動きに追従する。これにより、前記駆動ホイールと前記基板１２との間の摩擦によって前記基板１２の表面に形成される傷を抑制することができる。

第１基板検出手段７８は、フイルム貼着部３０に搬送される基板１２の通過を検出するセンサである。また、第２基板検出手段８０は、基板位置決め部２８を構成する基板係止手段８６によって係止される前記基板１２の位置を検出するセンサである。

第２基板搬送ユニット７６は、複数の駆動ホイール８８を有するホイールコンベアであり、前記駆動ホイール８８を図示しない制御部で駆動している状態で、フイルム貼着部３０でフイルム片１６が貼着された基板１２（貼付途中のものを含む）を水平且つ矢印Ｃ１方向に搬送する。前記各駆動ホイール８８は、駆動ホイール８４と同様の図示しないすべり軸受を有する。

第３基板検出手段８２は、第２基板搬送ユニット７６で搬送されるフイルム片１６が貼着された基板１２を検出するセンサである。

さらに、第２基板搬送ユニット７６は、フイルム片１６が貼り付けられた基板２を外部に排出するために、駆動ホイール８８上の基板１２を前記駆動ホイール８８より高い位置に上昇させる図示しないリフタを有する。

基板位置決め部２８は、フイルム貼着部３０と第２基板搬送ユニット７６との間に配置された基板係止手段８６と、第１基板搬送ユニット７４の前記フイルム貼着部３０側に配置された基板浮上ユニット９０と、前記フイルム貼着部３０側の前記第１基板搬送ユニット７４上に配置された基板位置決めユニット９２とを有する。

基板係止手段８６は、第１基板搬送ユニット７４上を搬送される基板１２の先端部に当接して前記基板１２を係止させる係止部８６ａと、前記係止部８６ａを進退させて前記基板１２に対する係止動作及び解除動作を行わせる進退動作部８６ｂとを有する。

第１基板搬送ユニット７４上を矢印Ｃ１方向に搬送される基板１２は、フイルム貼着部３０を構成する受ローラ（第１ローラ）９４と圧着ローラ（第２ローラ）９６とによって狭持され、前記各ローラ９４、９６の回転動作により、前記第１基板搬送ユニット７４から第２基板搬送ユニット７６に向けてさらに搬送される。ここで、進退動作部８６ｂを駆動させて、前記各ローラ９４、９６における前記基板１２の排出側（前記基板１２の搬送方向下流側）に係止部８６ａを突出させれば、前記基板２は、前記受ローラ６１ａ及び前記圧着ローラ６１ｂに狭持された状態で、前記基板２の先端部が前記係止部８６ａに係止される。

一方、進退動作部８６ｂの駆動により係止部８６ａが前記進退動作部８６ｂに退動すると、前記基板１２の係止状態は解除され、前記基板１２は各ローラ９４、９６から第２基板搬送ユニット７６に向けて搬送される。

また、進退動作部８６ｂは、前述したように、係止部８６ａを進退動作させる摺動機構であっても、図示しないアームを回動させて前記係止部８６ａを基板１２の先端部に当接可能な揺動機構であってもよい。

基板浮上ユニット９０は、基板位置決めユニット９２による基板１２の位置決めに先立って、基板係止手段８６の係止部８６ａによって係止された前記基板１２に対して第１基板搬送ユニット７４側からエアを吹き付けて、前記基板１２を前記第１基板搬送ユニット７４から浮上させるものである。これにより、前記基板１２の位置決めを行う際に発生する前記基板１２と駆動ホイール８４との摩擦による該基板１２の傷の発生を防止することができる。

基板位置決めユニット９２は、基板浮上ユニット９０によって浮上した基板１２の搬送方向（矢印Ｃ１方向）及びその直交方向（矢印Ｄ方向）の位置決めを行うものであり、矢印Ｃ１方向の位置決めを行う搬送方向位置決め手段９８と、矢印Ｄ方向の位置決めを行う２つの幅方向位置決め手段１００とを有する。

搬送方向位置決め手段９８は、基板１２をその背後側から押圧して、基板係止手段８６の係止部８６ａと共に前記基板１２の搬送方向の位置決めを行うものであり、複数のローラ１０２を介して前記基板１２の矢印Ｃ２方向側の端部を押圧する。一方、幅方向位置決め手段１００は、基板１２両側を矢印Ｄ方向に規制して位置決めを行うものであり、複数のローラ１０４を介して前記基板１２両側を矢印Ｄ方向に押圧して位置決めを行う。従って、ローラ１０２、１０４により、前記基板１２の端面が擦れることなくスムーズに位置決めを行うことができる。

フイルム貼着部３０は、剥離フイルム２２が分離されたフイルム片１６の粘着層１４ｇ（図３及び図４参照）を、基板位置決め部２８で位置決めされた基板１２の搬送方向（矢印Ｃ１方向）側の先端部とフイルム片１６の先端部（切断面）とが平行になるように、前記基板１２の所望の位置に貼り付けるものであり、受ローラ９４と圧着ローラ９６とを有する。

受ローラ９４は、基板１２を搬送すると共に、その下側から圧着ローラ９６の押圧力を受けるゴムローラである一方、圧着ローラ９６は、前記基板１２の下側から前記受ローラ９４に向かって押圧することにより、送出されたフイルム片１６を巻き込んで基板１２の下面に圧着させるゴムローラである。

圧着ローラ９６は、図５及び図６に示すように、円筒形状の外筒部９６ａと、前記外筒部９６ａと同軸に前記外筒部９６ａ内に配置された円筒形状の内筒部９６ｂとを有し、前記外筒部９６ａは、ベアリング１０６ａ、１０６ｂを介して前記内筒部９６ｂに保持されている。そのため、前記外筒部９６ａは、その軸を中心に対して回転自在である。

外筒部９６ａは、ステンレス・スチール製の第１部材１０８ａと、前記第１部材１０６の外周に形成されシリコンゴムからなる第２部材１０８ｂとから構成され、円筒部分の両側は、締結部材１１０を介して中空のギヤ１１２ａ、１１２ｂで被蓋されている。一方、内筒部９６ｂの両側には支持部材１１４ａ、１１４ｂを介してシリンダ機構１１６ａ、１１６ｂが連結され、前記シリンダ機構１１６ａ、１１６ｂの駆動により、前記内筒部９６ｂを含む圧着ローラ９６は、受ローラ９４に対して進退自在となる。

また、内筒部９６ｂの一端側（図５では右側）には、複数の固定部材１１８、１２０、１２１を介してトルクモータ１２２と、前記トルクモータ１２２の回転数を調整する減速器１２４とが固定保持されている。さらに、前記内筒部９６ｂに沿って前記減速器１２４から延在するシャフト１２６には、前記シャフト１２６に係合する電磁クラッチ１２８と、電磁クラッチ１２８よりも前記減速器１２４寄りに配置されたベアリング１３０を介して前記シャフト１２６に係合するギヤ１３２とが配置されている。また、前記ギヤ１３２は、内筒部９６ｂ側のギヤ１１２ｂに係合している。なお、前記シャフト１２６の先端部は、ベアリング１３４を介して固定部材１２０上に固定された保持部材１３６によって保持されている。

ここで、トルクモータ１２２が駆動すると減速器１２４を介してシャフト１２６が所定の回転数で回転し、前記シャフト１２６に係合する電磁クラッチ１２８も回転する。この場合、図示しない電源から前記電磁クラッチ１２８に電力を供給すると、前記電磁クラッチ１２８が駆動して前記減速器１２４の方向に移動し、前記ギヤ１３２を押圧する。これにより、シャフト１２６の回転が前記電磁クラッチ１２８を介して前記ギヤ１３２に伝達され、前記ギヤ１３２は前記シャフト１２６と同一方向に回転する。さらに、前記ギヤ１３２に係合するギヤ１１２ｂは、前記ギヤ１３２とは反対方向に回転し、その結果、外筒部９６ａは前記ギヤ１３２と同一方向に回転する。

一方、内筒部９６ｂの他端側（図５では左側）は、支持部材１１４ａ、保持部材１３８及び固定部材１４０、１４２を介してロータリアクチュエータ１４４が固定保持されている。また、前記内筒部９６ｂに沿って前記ロータリアクチュエータ１４４から延在するシャフト１４６には、前記シャフト１４６に係合する電磁クラッチ１４８と、前記電磁クラッチ１４８よりも前記ロータリアクチュエータ１４４側に配置されたベアリング１５０を介して前記シャフト１４６に係合するギヤ１５２とが配置されている。また、前記ギヤ１５２は、内筒部９６ｂ側のギヤ１１２ａに係合している。なお、前記シャフト１４６の先端部は、ベアリング１５４を介して支持部材１１４ａと固定部材１４０との間に固定された前記保持部材１３８によって保持されている。

ここで、ロータリアクチュエータ１４４が駆動するとシャフト１４６が所定の角度だけ回転し、前記シャフト１４６に係合する電磁クラッチ１４８も前記所定の角度だけ回転する。この場合、図示しない電源から前記電磁クラッチ１４８に電力を供給すると、前記電磁クラッチ１４８が駆動して前記ロータリアクチュエータ１４４の方向に移動し、ギヤ１５２を押圧する。これにより、シャフト１４６の回転が前記電磁クラッチ１４８を介して前記ギヤ１５２に伝達され、前記ギヤ１５２は前記シャフト１４６と同一方向に前記所定の角度だけ回転する。さらに、前記ギヤ１５２に係合するギヤ１１２ａは、前記ギヤ１５２とは反対方向に前記所定の角度だけ回転し、その結果、外筒部９６ａは前記ギヤ１５２と同一方向に前記所定の角度だけ回転する。

また、図５及び図６に示す内筒部９６ｂには、複数の孔１５６が形成され、その表面には前記各孔１５６を囲繞し且つ外筒部９６ａに向って延在する吸引範囲規制部１５８が設けられている。また、前記外筒部９６ａには、内筒部９６ｂ側と外部とを連通する複数の孔１６０が形成されている。さらに、前記内筒部９６ｂは図示しない吸引ポンプに連結されており、前記吸引ポンプが駆動すると、前記孔１５６及び前記孔１６０を介して外筒部９６ａ近傍の物体を吸引可能である。

この場合、外筒部９６ａに所定の間隔で多数の前記孔１６０が形成されていても、吸引範囲規制部１５８によって、前記吸引ポンプの吸引範囲（図６で示す角度α）が規制されているので、光学フイルム１４又はフイルム片１６の先端部を外筒部９６ａ表面に吸引保持した状態で、シリンダ機構１１６ａ、１１６ｂを駆動させると、前記光学フイルム１４又はフイルム片１６と圧着ローラ９６とを受ローラ９４に対して進退させることができる。

第２基板搬送ユニット７６に設けられた検査部３２は、図２に示すように、フイルム貼着部３０によって基板１２に貼着されたフイルム片１６の貼付位置を検出する複数の貼着位置検査手段１６１を有し、前記貼着位置検査手段１６１は前記基板２の角部付近に４つ配設されるが、ＣＣＤカメラを用いた検出機構であることが好ましい。

図１に示す除電部３４は、受ローラ９４を回転させて基板１２を搬送させる際に前記受ローラ９４に発生する静電気を除電する第１除電手段３４ａと、剥離フイルム分離用ローラ６２により光学フイルム１４又はフイルム片１６から剥離フイルム２２を分離する際に発生する前記剥離フイルム分離用ローラ６２に発生する静電気を除電する第２除電手段３４ｂとから構成されている。これにより、前記基板１２に対するフイルム片１６の位置決めを向上させることができる。

本実施の形態に係る光学フイルム貼着装置１０は以上のように構成されるものであり、次に、その動作について図１〜図１０を参照しながら説明する。

先ず、図１及び図２の基板１２を第１基板搬送ユニット７４により基板位置決め部２８に搬送し、基板１２を基板浮上ユニット９０で浮上させた状態で、基板係止手段８６の係止部８６ａと搬送方向位置決め手段９８と幅方向位置決め手段１００とにより前記基板１２の位置決めを行う。これにより、前記基板１２の先端部は受ローラ９４の下側に当接し、光学フイルム１４又はフイルム片１６の貼着を待機する状態に至る。

次に、図示しないモータを駆動してフイルム巻出部１８の軸部５２を回転させて、ロール３６から光学フイルム１４を巻き出す。その際、前記光学フイルム１４の幅方向の位置をフイルム位置検出手段４２で検出し、前記位置を調整しながら巻き出す。

次に、パスローラ４０とフイルム接合手段４４とパスローラ４６、４８とを介して巻き出された光学フイルム１４の張力をフイルム張力調整手段５０で調整する。ここで、空圧ユニット５０ｂからのエアの圧力によりダンサーローラ５０ａに作用する自重を補正しながら、前記光学フイルム１４の張力を調整する。

次に、張力が調整された光学フイルム１４を、フィードローラ５４ａ、５４ｂを介して前記光学フイルム１４の長手方向（矢印Ｂ１方向）に送出する。

次に、送出された光学フイルム１４を、フィードローラ５４ａ、５４ｂ及びフイルム片搬送手段５６でフイルム貼着部３０に向けて矢印Ｂ１方向に搬送し、フイルム切断位置検出手段６０で前記光学フイルム１４の先端部を検出する。前記光学フイルム１４の先端部が前記フイルム切断位置検出手段６０で検出された場合、前記フイルム切断位置検出手段６０は図示しない制御部に検出信号を送信し、前記制御部は、前記検出信号に基づいてフイルム切断手段３８に前記光学フイルム１４の切断を指示する信号を送信する。これにより、前記フイルム切断手段３８は、前記光学フイルム１４を所定の長さで切断する。

次に、剥離フイルム分離用ローラ６２により、切断により切り出されたフイルム片１６から剥離フイルム２２を分離する。分離された前記剥離フイルム２２は、パスローラ６４、６６、６８を介して剥離フイルム巻取手段７０で巻き取られる。

次に、剥離フイルム２２が分離されたフイルム片１６の粘着層１４ｇの反対側の面（合紙１４ａ側）をフイルム片搬送手段５６で吸引しつつ、前記フイルム片１６の先端部を、受ローラ９４から所定の距離だけ下方に離間している圧着ローラ９６の外筒部９６ａに所定距離だけ搬送する。

ここで、図５及び図６の圧着ローラ９６では、図示しない吸引ポンプが駆動して孔１５６、１６０を介して外部の空気を吸引しているので、光学フイルム１４の先端部は、前記孔１５６、１６０が設けられている外筒部９６ａ表面部分に吸引保持される。

その際、フイルム片１６を圧着ローラ９６に搬送すると同時に、トルクモータ１２２の回転を減速器１２４、電磁クラッチ１２８及びギヤ１３２、１１２ｂを介して前記圧着ローラ９６に伝達して、該圧着ローラ９６を前記フイルム片１６の搬送方向に回転（正回転）させる。

この動作により、前記フイルム片１６は、その先端部を前記圧着ローラ９６に保持された状態において、前記トルクモータ１２２の設定トルクに応じた張力で前記圧着ローラ９６に緊張保持される。

次に、図５に示す電磁クラッチ１２８に対する電力の供給を停止させ、前記電磁クラッチ１２８を前記ギヤ１３２から離間させる。

次に、図示しない電源から電磁クラッチ１４８に対して電力を供給して、前記電磁クラッチ１４８とギヤ１５２とを係合させる。そして、ロータリアクチュエータ１４４を駆動させてシャフト１４６を所定の角度だけ回転させる。これにより、前記シャフト１４６の回転が前記電磁クラッチ１４８及び前記ギヤ１５２を介してギヤ１１２ａに伝達され、前記ギヤ１１２ａ及び外筒部９６ａは、前記シャフト１４６と反対方向に前記所定の角度だけ回転する。この場合、図８に示すように、前記フイルム片１６の先端部が、受ローラ９４の中心点（図１及び図７参照）と圧着ローラ９６の中心点とを結ぶ直線（図７及び図８に示す一点鎖線）上に来るように、圧着ローラ９６を図７に示す位置から反対方向に角度βだけ回転させる。これにより、前記フイルム片１６のうち、前記圧着ローラ９６とフイルム片搬送手段５６との間の部分は、受ローラ９４の方向に撓むようになる。

次いで、フイルム片１６の一部を撓ませた状態で、シリンダ機構１１６ａ、１１６ｂを駆動させて圧着ローラ９６を受ローラ９４（図１参照）に向い進行させる。これにより、図９に示すように、前記フイルム片１６の撓みは徐々に減少する。

次いで、シリンダ機構１１６ａ、１１６ｂにより圧着ローラ９６をさらに進行させて、図１０に示すように、フイルム片１６の先端部を基板１２表面に貼着させる。この場合、前記フイルム片１６の撓みはなくなっている。

次いで、図５の電磁クラッチ１４８に対する電力の供給を停止し、前記電磁クラッチ１４８とギヤ１５２との係合状態を解除する。

次いで、図１及び図１０に示す受ローラ９４を回転させて、基板１２を矢印Ｃ１方向に搬送する。これにより、前記基板１２とフイルム片１６又は光学フイルム１４の残余部分との貼着が行われる。

次いで、基板１２とフイルム片１６との貼着が完了すると、前記フイルム片１６が貼着された基板１２は、第２基板搬送ユニット７６に排出され、前記基板１２に対するフイルム片１６の貼付位置を検査が貼着位置検査手段１６１により行われる。

図１１は、基板１２表面と前記基板１２から離間した圧着ローラ９６との距離（図７に示す待機位置ｍ）と、図８に示す前記圧着ローラ９６を角度βだけ反対方向に回転させるために必要な距離（図８に示す必要逆転長ｒ）との関係を示すものである。ここで、受ローラ９４から圧着ローラ９６を離間させて前記待機位置ｍを大きくする程、前記必要逆転長ｒが増加する。そのため、圧着ローラ９６が受ローラ９４から離間している程、フイルム片１６を撓ませる必要がある。

図１２は、基板１２の先端部より、例えば１４ｍｍの位置にフイルム片１６の貼着を行う場合における貼着精度を本実施形態（実施例１、２）と従来技術（比較例１、２）とで比較したものであり、実施例１、２では、目標値（１４ｍｍ）近傍の位置から前記フイルム片１６の貼着が行われているが、比較例１、２では、前記目標値で貼着が行われることができない。

このように、本実施の形態に係る光学フイルム貼着装置及び方法では、フイルム片１６（光学フイルム１４）を基板１２から離間している状態で、圧着ローラ９６の回転により前記基板１２表面に対する前記フイルム片１６の先端部の位置決め調整を行うようにしたので、シリンダ機構１１６ａ、１１６ｂにより前記圧着ローラ９６を受ローラ９４に進行させると前記基板１２表面において前記フイルム片１６の先端部が正確に位置決め固定される。

これにより、受ローラ９４を回転させて基板１２を搬送させれば、前記基板１２と前記フイルム片１６の残余部分との貼着が行われ、前記基板１２表面に前記フイルム片１６を高精度に貼着することができる。従って、前記フイルム片１６と前記基板１２との間の塵埃及び気泡の発生や帯電の発生を抑制することが可能となると共に、液晶表示装置（ＬＣＤ）の品質を向上させて歩留まりを向上させることが可能になる。また、光学フイルム１４の巻き癖等の変形があっても、位置ずれの発生を抑制することができる。

また、本実施の形態では、図示しない吸引ポンプの作用によってフイルム片１６の先端部を吸引保持するようにしているが、これに代えて、圧着ローラ９６を粘着作用を有するローラで構成してもよい。また、前記粘着作用を有するローラに図示しないエアブロー手段を組合わせて、強制的に光学フイルム１４又はフイルム片１６の先端部を圧着ローラ９６に保持させるようにしてもよいことは勿論である。

なお、本発明に係る光学フイルム貼着装置及び方法は、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることは勿論である。

本実施形態に係る光学フイルム貼着装置の構成を示す側面図である。 図１の光学フイルム貼着装置の基板搬送部を示す平面図である。 図１の基板に貼着される光学フイルムを示す断面図である。 図１の基板に貼着される光学フイルムを示す断面図である。 図１の光学フイルム貼着装置の圧着ローラを示す一部断面図である。 図５のＶＩ−ＶＩ線に沿った断面図である。 図５の圧着ローラによる光学フイルムの位置決めを示す説明図である。 図５の圧着ローラによる光学フイルムの位置決めを示す説明図である。 図５の圧着ローラによる光学フイルムの位置決めを示す説明図である。 図５の圧着ローラを上昇した後の基板と光学フイルムとの貼着を示す説明図である。 圧着ローラの待機位置と前記圧着ローラの必要逆転長との関係を示す特性図である。 基板に対する光学フイルムの貼着位置の精度を比較した特性図である。 従来技術に係る光学フイルム貼着装置を示す側面図である。 従来技術に係る光学フイルム貼着装置を示す側面図である。 図１４の光学フイルム貼着装置において、基板と光学フイルムとの貼着箇所をを示す拡大側面図である。

符号の説明

１０…光学フイルム貼着装置 １２…基板
１４…光学フイルム １４ａ…合紙層
１４ｂ、１４ｄ…保護フイルム層 １４ｃ…偏光板層
１４ｅ、１４ｇ…粘着層 １４ｆ…位相差膜層
１６…フイルム片 １８…フイルム巻出部
２０…フイルム搬送部 ２２…剥離フイルム
２４…剥離フイルム巻取部 ２６…基板搬送部
２８…基板位置決め部 ３０…フイルム貼着部
３２…検査部 ３４…除電部
３４ａ、３４ｂ…除電手段 ３６、７２…ロール
３８…フイルム切断手段 ３９…フイルム巻出手段
４０、４６、４８、５３、６４、６６、６８…パスローラ
４２、５８…フイルム位置検出手段 ４４…フイルム接合手段
５０…フイルム張力調整手段 ５０ａ…ダンサーローラ
５０ｂ…空圧ユニット ５２、７３…軸部
５４ａ、５４ｂ…フィードローラ ５６…フイルム片搬送手段
６０…フイルム切断位置検出手段 ６２…剥離フイルム分離用ローラ
７０…剥離フイルム巻取手段 ７４、７６…基板搬送ユニット
７８、８０、８２…基板検出手段 ８４、８８…駆動ホイール
８６…基板係止手段 ８６ａ…係止部
８６ｂ…進退動作部 ９０…基板浮上ユニット
９２…基板位置決めユニット ９４…受ローラ
９６…圧着ローラ ９６ａ…外筒部
９６ｂ…内筒部 ９８…搬送方向位置決め手段
１００…幅方向位置決め手段 １０２、１０４…ローラ
１０６ａ、１０６ｂ、１３０、１３４、１５０、１５４…ベアリング
１０８ａ…第１部材 １０８ｂ…第２部材
１１０…締結部材
１１２ａ、１１２ｂ、１３２、１５２…ギヤ
１１４ａ、１１４ｂ…支持部材 １１６ａ、１１６ｂ…シリンダ機構
１１８、１２０、１２１、１４０、１４２…固定部材
１２２…トルクモータ １２４…減速器
１２６、１４６…シャフト １２８、１４８…電磁クラッチ
１３６、１３８…保持部材 １４４…ロータリアクチュエータ
１５６、１６０…孔 １５８…吸引範囲規制部
１６１…貼着位置検査手段

Claims (6)

1. 基板を搬送する第１ローラと、
   光学フイルムを前記基板表面に搬送する第２ローラと、
   前記光学フイルムを前記第２ローラに保持する光学フイルム保持機構と、
   前記第２ローラを回転させるローラ回転機構と、
   前記第２ローラを前記第１ローラに対して進退させるローラ移動機構と、
   を備え、
   前記ローラ回転機構は、前記ローラ移動機構により前記光学フイルムを前記基板から離間している状態で、前記光学フイルムの搬送方向に対して前記第２ローラを正回転及び逆回転させることにより、前記基板表面に対する前記光学フイルムの先端部の位置決めを行う
   ことを特徴とする光学フイルム貼着装置。
2. 請求項１記載の光学フイルム貼着装置において、
   前記第２ローラは、その表面に孔が形成された中空円筒であり、
   前記光学フイルム保持機構は、前記孔及び中空部分を介して前記光学フイルムを吸引する吸引手段である
   ことを特徴とする光学フイルム貼着装置。
3. 請求項２記載の光学フイルム貼着装置において、
   前記第２ローラは、前記孔が形成される外筒部と、前記外筒部と同軸に配置され且つ前記吸引手段に連結する内筒部とを有し、
   前記内筒部には孔と、前記孔を囲繞するように前記外筒部に向い突設し且つ前記吸引手段による前記光学フイルムの吸引範囲を規制する吸引範囲規制部とが形成されている
   ことを特徴とする光学フイルム貼着装置。
4. 請求項１記載の光学フイルム貼着装置において、
   前記光学フイルム保持機構は、少なくとも前記第２ローラの表面に形成された粘着層である
   ことを特徴とする光学フイルム貼着装置。
5. 請求項４記載の光学フイルム貼着装置において、
   前記光学フイルム保持機構は、前記第２ローラの表面に形成された粘着層と、前記光学フイルムを前記第２ローラに押圧するエアブロー手段とである
   ことを特徴とする光学フイルム貼着装置。
6. 第１ローラによって基板を搬送する工程と、
   光学フイルムを光学フイルム保持機構によって第２ローラに保持する工程と、
   前記第２ローラをローラ回転機構により前記光学フイルムの搬送方向に対して所定の角度だけ正回転させる工程と、
   前記第２ローラを前記ローラ回転機構により前記光学フイルムの搬送方向に対して逆回転させて、前記光学フイルムの先端部を前記基板表面に対して位置決めする工程と、
   前記第２ローラをローラ移動機構で前記第１ローラに進行させることにより、前記光学フイルムの前記先端部を前記基板表面に配置する工程と、
   を有する
   ことを特徴とする光学フイルム貼着方法。
   
   

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