JP2005306696A - Magnetic ferrite, and common mode noise filter and chip transformer using the same - Google Patents

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Atsushi Inuzuka
敦 犬塚
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Matsushita Electric Ind Co Ltd
松下電器産業株式会社
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problems that a nonmagnetic material or low magnetic permeability material of a great magnetic loss is used, resulting in reduction of a coupling coefficient in a laminated common mode noise filter. <P>SOLUTION: The magnetic ferrite has a composition obtained by adding 8 to 14wt% copper oxide to 100 parts by weight to a composition enclosed by 39.5:53.0:7.5mol%. 39.5: 48.0:12.5mol%, 20.0:67.5.:12.5mol%, and 20.0:55.0:25.5mol% in terms of Fe<SB>2</SB>O<SB>3</SB>, CoO, and ZnO in the composition ratios of Fe, Co and Zn as essential components. As a result, the magnetic ferrite having the low temperature sinterability of low loss in a high-frequency band and the common mode noise filter and chip transformer using the same can be realized. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は各種電子機器に用いられる磁性フェライトおよびそれを用いたコモンモードノイズフィルタ並びにチップトランスに関するものである。 The present invention relates to magnetic ferrite, and common mode noise filter and chip transformer using the same used for various electronic devices.

近年、電子機器の小型化、高周波化に伴い、高周波帯域で用いる小型の電子部品の需要が高まっており、この要望に応えるために積層構造の電子部品が実用化されてきている。 Recently, miniaturization of electronic devices, along with the high frequency, the demand for compact electronic components used in the high frequency band has been increasing, electronic parts of the multilayer structure have been put into practical use in order to meet this need. 特にインダクタンス部品やノイズ対策部品においても小型で高周波帯域で用いるコイルを内蔵した積層構造の積層電子部品が多く用いられており、このようなコイルを内蔵した積層構造の積層電子部品の一例として、コモンモードノイズフィルタやチップトランスのような2つ以上のコイルを内蔵する積層電子部品がある。 Particularly inductance part and small are laminated electronic component of a laminated structure with a built-in coil to be used in a high frequency band is often used in even anti-noise component, as an example of a multilayer electronic component of a laminated structure with a built-in such a coil, the common there are laminated electronic component that incorporates two or more coils, such as mode noise filter or chip transformer. この従来の積層型のコモンモードノイズフィルタの構成は内蔵する二つ以上のコイル間の磁束を鎖交させるために磁性体である第一の絶縁体層と、非磁性体もしくは低透磁率の絶縁性を有した第2の磁性体層を組み合わせた構成のものがある(例えば、特許文献1参照)。 Isolation of the the first insulator layer conventional arrangement of a multilayer common mode noise filter of a magnetic material in order to interlinked magnetic flux between two or more coils built, non-magnetic or low magnetic permeability there is a configuration that combines the second magnetic layer having a gender (e.g., see Patent Document 1).

このような積層構造のコイル部品に用いられるGHzの高周波帯域で用いる磁性材料としては前記ZnCuフェライトあるいはNi−Zn−Cu−Coフェライトでは損失特性の観点から不十分であり、これらに代わる磁性フェライトとして六方晶フェライトが考えられている。 Such magnetic material used in a high frequency band of GHz for use in the coil component of the laminate structure is insufficient in view of the ZnCu ferrite or Ni-ZnCu-Co ferrite in loss characteristic, as the magnetic ferrite in place of these hexagonal ferrite has been considered. しかしながら、この六方晶フェライトの焼成温度は銀の融点よりも高温であり、このままでは銀電極と同時焼成は困難であり、積層構造のコイル部品を実現することは困難である。 However, the firing temperature of the hexagonal ferrite is higher than the melting point of silver, this remains in the silver electrode and the co-firing is difficult, it is difficult to realize a coil component of a laminated structure.

これに対して、この六方晶フェライトの低温焼結を実現するための添加物として酸化銅と酸化ビスマスを添加した磁性材料が開示されている(例えば、特許文献2参照)。 In contrast, the magnetic material obtained by adding copper oxide bismuth oxide is disclosed as an additive to achieve the low-temperature sintering of the hexagonal ferrite (e.g., see Patent Document 2).
特開2003−31416号公報 JP 2003-31416 JP 特開2002−260911号公報 JP 2002-260911 JP

しかしながら、前記従来の構成ではガラスセラミックやZnCuフェライトのような非磁性材料を用いるためにコイルから発生する磁束の一部が二つのコイル間で鎖交しないことから積層電子部品の結合係数が低くなる、あるいは第2の絶縁体層にNi−Zn−Cu−Coフェライトを用いたときにはこの磁性材料の磁気損失に起因して積層電子部品のディファレンシャルインピーダンスが増大して結合係数が低下してしまうという課題を有していた。 However, the coupling coefficient of the multilayer electronic part from a part of the magnetic flux generated from the coil in order to use the non-magnetic material such as glass ceramic or ZnCu ferrite is not interlinked between the two coils is lower than the conventional configuration or a problem that the coupling coefficient differential impedance is increased the laminated electronic component due to the magnetic loss of the magnetic material when using the Ni-Zn-Cu-Co ferrite in the second insulator layer is reduced the had.

また、低温焼結のために添加物を加えた六方晶系フェライトを用いて銀電極などと同時焼成した場合、六方晶フェライトの結晶内部に銀電極が拡散し、導体抵抗の増大、マイグレーションの誘発といった課題を有していた。 Also, when co-firing such as a silver electrode with a hexagonal ferrite plus additives for low-temperature sintering, silver electrode diffuses inside the crystal of the hexagonal ferrite, the increase in conductor resistance, migration induction of It has been a problem such as. 特にこの問題は電極のパターンがファインになるに従って重要な問題となってくる。 In particular, this problem is a pattern of electrodes becomes an important issue in accordance becomes fine.

本発明は、前記従来の課題を解決するもので、銀電極と同時焼結できる高周波帯域で磁気損失の小さな磁性フェライトを提供することを目的とする。 The present invention is intended to solve the conventional problems, and an object thereof is to provide a small magnetic ferrite magnetic loss in a high frequency band which can be sintered simultaneously with the silver electrode.

前記従来の課題を解決するために、本発明は主成分としてFeとCoとZnの組成比がFe 23 ,CoO,ZnO換算で39.5:53.0:7.5モル%、39.5:48.0:12.5モル%、20.0:67.5:12.5モル%、20.0:55.0:25.0モル%で囲まれた組成に酸化銅を8〜14wt%添加した組成からなる磁性フェライトとするものである。 Wherein in order to solve the conventional problems, the present invention is Fe and Co and Zn composition ratio of Fe 2 O 3 as a main component, CoO, 39.5 in terms of ZnO: 53.0: 7.5 mol%, 39 .5: 48.0: 12.5 mol%, 20.0: 67.5: 12.5 mol%, 20.0: 55.0: copper oxide composition surrounded by 25.0 mol% 8 it is an magnetic ferrite having the composition added ~14wt%.

本発明の磁性フェライトおよびそれを用いたコモンモードノイズフィルタ並びにチップトランスは、銀電極と同時焼結できる高周波帯域で低損失の磁性フェライトを実現するとともに、これを積層電子部品に用いることにより二つのコイル間で結合係数の大きい高周波用のコモンモードノイズフィルタ並びにチップトランスを実現することができる。 Magnetic ferrite and common mode noise filter and chip transformer using the same of the present invention, in a high frequency band which can be sintered simultaneously with the silver electrode with realizing the magnetic ferrite of low loss, two by using the multilayer electronic component this it is possible to realize a common mode noise filter and chip transformer for large high-frequency coupling coefficient between the coils.

(実施の形態1) (Embodiment 1)
以下、本発明の実施の形態1における磁性フェライトについて、図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, the magnetic ferrite in the first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は本発明の実施の形態1における磁性フェライトの周波数特性を示した特性図であり、図2は本発明の実施の形態1における磁性フェライトの酸化銅の添加量と焼成収縮率の関係を示した図である。 Figure 1 is a characteristic diagram showing the frequency characteristic of the magnetic ferrite in the first embodiment of the present invention, Figure 2 is the relationship of the additive amount of sintering shrinkage of the copper oxide magnetic ferrite according to the first embodiment of the present invention it is a diagram showing. また図3は本発明の磁性フェライトの組成域を示す組成図である。 The Figure 3 is a composition diagram showing the composition range of the magnetic ferrite of the present invention.

以上のような特性を有する磁性フェライトについて、以下にその製造方法を説明しながら材料組成について詳細に説明する。 For magnetic ferrite having the characteristics described above will be described in detail material composition while explaining its manufacturing method below.

まず、本発明の磁性フェライトの出発原料である市販の酸化鉄と炭酸コバルト及び酸化亜鉛をFe 23 ,CoO,ZnO換算で、Fe 23 =30.0モル%、CoO=57.5モル%、ZnO=12.5モル%の組成比となるように配合し、これに純水を適量加えてボールミルを用いて混合した後、乾燥して混合粉を得る。 First, a commercially available iron oxide and cobalt carbonate and zinc oxide as the starting material for the magnetic ferrite of the present invention Fe 2 O 3, CoO, in terms of ZnO, Fe 2 O 3 = 30.0 mol%, CoO = 57.5 mol%, and blended so that ZnO = 12.5 mol% composition ratio were mixed using a ball mill by adding an appropriate amount of pure water to obtain a dried mixed powder. この混合粉を800℃で仮焼した後、遊星ボールミルを用いて粉砕して磁性粉末(以後仮焼粉と記す)を得る。 After the mixed powder was calcined at 800 ° C., to obtain a magnetic powder (hereinafter referred to as calcined powder) was pulverized using a planetary ball mill. 得られた仮焼粉の主要結晶相はX線回折の結果からスピネル型結晶構造であり、その平均粒径は0.8μmであった。 Predominant crystalline phase of the resulting calcined powder is a spinel type crystal structure from the results of X-ray diffraction, the average particle diameter was 0.8 [mu] m.

次に、この仮焼粉100重量部に対して酸化銅の粉末を8重量部混合し、PVA(ポリビニルアルコール)水溶液を適量添加して混練することにより平均粒径300μmφ程度の造粒粉を作製する。 Then, prepare a granulated powder having a mean particle size of about 300μmφ By this respect calcined powder 100 parts by weight powder of copper oxide were mixed 8 parts by weight, and kneaded with an appropriate amount of PVA (polyvinyl alcohol) solution to. その後この造粒粉をリング形状に成形し、900℃で焼成し、トロイダル状のスピネル結晶構造を有する磁性フェライトを得る(発明品1)。 Then molding the granulated powder in a ring shape, and fired at 900 ° C., to obtain a magnetic ferrite having a toroidal spinel crystal structure (invention product 1).

また、比較のために出発原料である市販の酸化鉄と酸化ニッケルと酸化亜鉛と酸化銅及び炭酸コバルトをFe 23 ,NiO,ZnO,CuO,CoO換算で、Fe 23 =46.0モル%、NiO=38.5モル%、CuO=13.5モル%、ZnO=1モル%、CoO=1モル%の組成比となるように配合し、同様なプロセスを経てトロイダル状のスピネル結晶構造を有する磁性フェライトを作製した(従来品1)。 Further, a commercially available iron oxide and nickel oxide and zinc oxide copper oxide and cobalt carbonate which is the starting material for comparison Fe 2 O 3, NiO, ZnO , CuO, in terms of CoO, Fe 2 O 3 = 46.0 mol%, NiO = 38.5 mol%, CuO = 13.5 mol%, ZnO = 1 mol%, and blended so that CoO = 1 mol% composition ratio, toroidal spinel crystal through the same process to prepare a magnetic ferrite having a structure (conventional product 1).

さらに、市販の酸化鉄と炭酸バリウムと炭酸コバルトと酸化銅と酸化ビスマスを46.0モル%、NiO=38.5モル%、CuO=13.5モル%、ZnO=1モル%、CoO=1モル%の組成比となるように配合し、同様なプロセスを経てトロイダル状の六方晶結晶構造を有する磁性フェライトを作製した(従来品2)。 Furthermore, 46.0 mol% of bismuth oxide with a commercial iron oxide and barium carbonate and cobalt carbonate and copper oxide, NiO = 38.5 mol%, CuO = 13.5 mol%, ZnO = 1 mol%, CoO = 1 formulated such that the mole% composition ratio to prepare a magnetic ferrite having a toroidal hexagonal crystal structure through the same process (conventional product 2).

発明品1、従来品1,2ともに900℃焼成で寸法が15%以上収縮しており、十分に焼結していることが分かった。 Inventions 1, shrank the size more than 15% in the conventional product 1 and 2 both 900 ° C. firing, it was found to be sufficiently sintered.

このようにして得られたそれぞれのトロイダル状の磁性フェライトの複素透磁率の周波数特性を図1に示す。 The frequency characteristics of the complex permeability of each toroidal magnetic ferrite thus obtained is shown in Figure 1. なお、複素透磁率はネットワークアナライザーHP8753C(アジレント・テクノロジー(株)製)を用いて同軸管法より求めた。 Incidentally, the complex magnetic permeability was calculated from the coaxial tube method using a network analyzer HP8753C (manufactured by Agilent Technologies Inc.).

図1に示すように、従来品1と従来品2は600MHz以上でμ”が増大するのに対し、本発明品はμ'が1GHzまで約2.5であり、かつμ”は約0.2以下である。 As shown in FIG. 1, "whereas the increase is the product of the present invention is about 2.5 mu 'until 1 GHz, and mu" Conventional product 1 and the conventional product 2 mu above 600MHz is approximately 0. 2 or less. すなわち、本発明品は従来品1、従来品2と比較して1GHzまで低損失な磁性フェライトであり、これが銀電極と同時焼結ができる900℃前後の焼成温度で得られることが分かる。 That is, the present invention product Conventional product 1, a conventional 2 low-loss magnetic ferrite to 1GHz as compared with, it can be seen that this is obtained at a firing temperature of about 900 ° C., which can co-sintering and silver electrodes.

次に、本発明の実施の形態1における発明品1に示した磁性フェライトの酸化銅の添加量と焼成収縮率の関係を図2に示す。 Then, the amount and the firing shrinkage rate of the relationship between copper oxide magnetic ferrite shown in inventions 1 in the first embodiment of the present invention shown in FIG.

図2に示すように、6重量部以上の酸化銅の添加量で焼成収縮率が15%以上になり、十分に焼結が進んでいることがわかる。 As shown in FIG. 2, the firing shrinkage rate amount of 6 parts by weight or more of copper oxide is more than 15%, it can be seen that progressed sufficiently sintered. また、16重量部以上の酸化銅の添加量では、1GHzでのμ”が増大してしまっていることから酸化銅の添加量は6から14重量部の範囲内であることが望ましい。 Also, 16 in the amount of parts by weight or more of copper oxide, the amount of copper oxide from the mu "at 1GHz has got increased is desirably in the range from 6 to 14 parts by weight.

次に、本発明の実施の形態1における磁性フェライトの仮焼粉の組成を酸化鉄粉と炭酸コバルト粉及び酸化亜鉛粉をFe 23 ,CoO,ZnO換算で(表1)に示した組成比とし、これらの仮焼粉に対して8重量部の酸化銅を添加して、前記と同様なプロセスを経て、トロイダル状の磁性フェライトを作成した(実施例1〜実施例7)。 Next, the composition shown in the composition of the calcined powder of magnetic ferrite in the first embodiment of the present invention the iron oxide powder and cobalt carbonate powder and zinc oxide powder Fe 2 O 3, CoO, in terms of ZnO (Table 1) and the ratio, by adding a copper oxide 8 parts by weight with respect to these calcined powder, through the similar process to create a toroidal magnetic ferrite (examples 1 to 7).

得られたそれぞれのトロイダル状の磁性フェライトの1GHzでの複素透磁率μ'とμ”を(表1)に本発明の組成比外である比較例1〜比較例8と比較して示す。 The resulting complex permeability mu 'and mu "at 1GHz of each toroidal magnetic ferrite in comparison with (Table 1) in a proportion outside the present invention Comparative Examples 1 to 8.

(表1)の結果より、Fe成分が少なくなると、比較例7,8のようにμ'が小さくなってしまうため、必要以上にFe成分を少なくするのは望ましくない。 From (Table 1) result, the Fe component is reduced, because the mu 'is reduced as in Comparative Examples 7 and 8, to reduce the Fe component than necessary is undesirable.

また、Zn成分が少なくなると、比較例3,6のようにμ'が小さくなってしまうため、必要以上にZn成分を少なくするのは望ましくない。 Further, the Zn component is less, since the mu 'is reduced as in Comparative Example 3 and 6, to reduce the Zn component than necessary is undesirable. Zn成分が多くなると、比較例2,4,5のようにμ”が大きくなり低損失が要求される用途には不適切となる。 If the Zn component increases, becomes unsuitable for applications where mu "is increased and low loss are required as in Comparative Example 2, 4 and 5.

また、実施例5,7のようにFe成分が少ない場合は、Zn成分が、比較的多くなってもμ”は増大しなかった。 Further, if the Fe component is less as in Examples 5, 7, Zn component, even when relatively large mu "was not increased.

また、比較例1のように、Fe成分が多い組成では、μ'の温度変化が大きくなってしまい、優れた温度特性を要求する用途には不適切となる。 Also, as in Comparative Example 1, the composition Fe component is large, becomes large temperature change of mu 'becomes unsuitable for applications requiring excellent temperature characteristics.

以上の結果から、図3の斜線で示す組成範囲において1GHzでのμ'が1.5以上であり、μ”が0.1以下であるGHz帯域で有効な特性を有する磁性フェライトを実現でき、この組成範囲を超えても実用的に有用な効果は現れないことが分かる。 These results are in 1GHz in the mu 'is 1.5 or more in the composition range shown by oblique lines in FIG. 3, mu "can be realized a magnetic ferrite having an effective properties in the GHz band is 0.1 or less, it can be seen that this also beyond the composition range does not appear practically useful effects.

また、得られた本発明の磁性フェライトはX線回折による解析結果から、若干のCoO等の異相が認められるものの、スピネル型結晶構造が主要相であった。 The magnetic ferrite of the present invention obtained from the result of analysis by X-ray diffraction, although heterogeneous phases such as some CoO observed, spinel crystalline structure was the primary phase. この結晶構造の同定にはX線回折装置RINT−2000(理学電機(株)製)を用いた。 The identification of the crystal structure by X-ray diffraction device RINT-2000 (manufactured by Rigaku Denki Co., Ltd.).

以上説明してきたように、得られた磁性粉はX線回折による解析結果から、若干のZnFe 23 ,ZnCo 24等の異相が認められるものの、スピネル型結晶構造が主要相であり、その平均粒子径は0.5〜1.0μmであった。 As described above, the analysis results obtained magnetic powder by X-ray diffraction, although some of ZnFe 2 O 3, ZnCo 2 hetero phases O 4 and the like are observed, spinel type crystal structure is the primary phase, the average particle diameter was 0.5 to 1.0 [mu] m. この平均粒子径が上記範囲外である場合には、緻密な磁性フェライトを得ることが困難になる。 If this average particle diameter is outside the above range, it is difficult to obtain a dense magnetic ferrite. この平均粒子径はレーザー回折式粒度分布測定装置SALD2100(島津製作所製)で測定したX 50の値で示した。 The average particle diameter indicated by the value of X 50 measured by a laser diffraction particle size distribution analyzer SALD2100 (manufactured by Shimadzu Corporation).

また、出発原料として用いる炭酸コバルトは仮焼する過程で酸化物に変化することからCoO,Co 34のような価数の異なる酸化コバルトを出発原料として用いても同様の効果が得られる。 Further, cobalt carbonate used as the starting material CoO, similar effects by using a different valence cobalt oxide such as Co 3 O 4 as a starting material resulting from changing to oxides calcining process.

また、仮焼温度は800〜1000℃前後でZnFe 24 ,ZnCo 24等が仮焼粉に含有していない温度以上を選択することが望ましい。 Further, the calcining temperature is desirably selected over temperature ZnFe 2 O 4 before and after 800~1000 ℃, ZnCo 2 O 4 or the like is not contained in the calcined powder. 仮焼の途中過程で出発原料である酸化鉄と炭酸コバルト及び酸化亜鉛から生じるZnCo 24 ,ZnFe 24等が多量に仮焼粉に含有している場合、特に成形体のサイズが大きいほど焼成の過程で亀裂が生じる可能性があるためである。 If a dummy in baked the middle course resulting from iron oxide and cobalt carbonate and zinc oxide as the starting material ZnCo 2 O 4, ZnFe 2 O 4 or the like is contained in a large amount of calcined powder, the large size of the particular green body there is a possibility that cracks occur in baking process as.

また、焼成温度は850〜930℃で磁性フェライトが緻密になる温度を選択することが望ましい。 The firing temperature is desirable to select a temperature at which the magnetic ferrite becomes dense at 850-930 ° C.. 銀電極との同時焼成を行うため、930℃以上の焼成温度は好ましくない。 For simultaneous firing with silver electrodes, the firing temperature above 930 ° C. is not preferable. さらに、焼結の進行は磁性フェライトの組成や仮焼粉の粒径に依存するため、用いる仮焼粉により若干の調整を行う必要が生じる。 Furthermore, the progress of sintering is dependent on the particle size of the composition and the calcined powder of magnetic ferrite, it is necessary to perform small adjustments by calcined powder to be used.

また、酸化銅の添加は出発原料である酸化鉄、酸化亜鉛、炭酸コバルトに加えて仮焼しても良く、酸化銅を添加せずに酸化鉄、酸化亜鉛、炭酸コバルトから得られる仮焼粉に対して酸化銅を添加した場合と同様な焼成温度で同様な磁気特性が得られる。 Moreover, iron oxide added is the starting material of the copper oxide, zinc oxide, may be calcined in addition to cobalt carbonate, iron oxide without the addition of copper oxide, zinc oxide, calcined powder obtained from cobalt carbonate similar magnetic properties in the same firing temperature in the case of adding copper oxide relative to obtain.

以上のように、本実施の形態1では主要相がスピネル型結晶構造を有し、FeとCoとZnの組成比がFe 23 ,CoO,ZnO換算で39.5:53:7.5モル%と、39.5:48:12.5モル%と、20:67.5:12.5モル%と、20:55:25モル%で囲まれた範囲の組成100重量部に対して酸化銅を6〜14重量部添加されている組成を有する磁性フェライトであり、酸化銅の添加により900℃焼成が可能な1GHzまで磁気損失の小さい磁性フェライトを実現することができる。 As described above, the major phase in the first embodiment has a spinel type crystal structure, Fe and the composition ratio of Co and Zn are Fe 2 O 3, CoO, calculated as ZnO 39.5: 53: 7.5 mole%, 39.5: 48: 12.5 mol%, 20: 67.5: 12.5 mol%, 20: 55: relative composition 100 parts by weight in the range surrounded by 25 mol% a magnetic ferrite having a composition which is added 6-14 parts by weight of copper oxide, it is possible to realize a small magnetic ferrite having magnetic loss to 1GHz capable 900 ° C. firing by the addition of copper oxide. またこの磁性フェライトは900℃の焼成により最適の磁気特性を示すことから銀あるいは銅などの高導電率を有する電極材料との同時焼結が可能なことから内部にコイル導体を内蔵した積層電子部品も用いる磁性フェライトとして有用である。 The multilayer electronic component that incorporates a coil conductor therein because it can simultaneously sintering the electrode material having a high conductivity such as silver or copper because they exhibit an optimum in magnetic properties by sintering of the magnetic ferrite 900 ° C. also useful as magnetic ferrite used.

(実施の形態2) (Embodiment 2)
以下、本発明の実施の形態2におけるコモンモードノイズフィルタについて、図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, the common mode noise filter according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

図4(a)は本発明の実施の形態2におけるコモンモードノイズフィルタの構造を説明するための分解斜視図であり、図4(b)はその等価回路を示す回路図である。 4 (a) is an exploded perspective view illustrating the structure of a common mode noise filter according to the second embodiment of the present invention, FIG. 4 (b) is a circuit diagram showing an equivalent circuit thereof. 図4(c)はその外観斜視図である。 FIG. 4 (c) is its perspective view.

図4(a)、図4(b)、図4(c)において、3はNi−Zn−Cuフェライトなどによる絶縁性を有した磁性体層である。 FIG. 4 (a), in FIG. 4 (b), the FIG. 4 (c), 3 is a magnetic layer having an such as by insulating Ni-Zn-Cu ferrite. この磁性体層3の上に二つのコイルパターン2−1、2−2よりなるコイル層7が積層されている。 The coil layer 7 consisting of two coil pattern 2-1 and 2-2 on the magnetic layer 3 is laminated. このコイル層7に用いるコイルパターン2−1、2−2は銀などの高導電率を有する電極材料が好ましい。 The coil pattern 21 and 22 used in the coil layer 7 is preferably an electrode material having a high conductivity such as silver. さらにこのコイル層7の上に絶縁性を有する磁性体層1が積層されている。 Magnetic layer 1 having an insulating property on the coil layer 7 are laminated further. この磁性体層1には本発明の磁性フェライトを用いる構成としている。 It has a configuration using a magnetic ferrite of the present invention in the magnetic layer 1.

また、この磁性体層1の上には二つのコイルパターン2−1、2−2からなるコイル層8が積層されており、この二つのコイルパターン2−1、2−2は磁性体層1に設けたビア5によって接続されている。 Also, this of on magnetic layer 1 a coil layer 8 consisting of two coil patterns 21 and 22 are stacked, the two coil patterns 21 and 22 are magnetic layers 1 It is connected by vias 5 provided on. このコイルパターン2−1、2−2は磁性体層1に設けたビア5を介して接続された2本のコイルが並行に配置された2条渦巻きの螺旋状のコイルとして形成している。 The coil patterns 21 and 22 are formed as a spiral coil of two rows swirl two coils connected through a via 5 provided on the magnetic layer 1 are arranged in parallel. これらのコイルを含む接続回路は図4(b)に示すような等価回路を構成するように配置されている。 Connection circuit including the coils are arranged to form an equivalent circuit as shown in Figure 4 (b). さらにこのコイルパターン2−1、2−2の両端には引出電極部2−1a、2−1b、2−2a、2−2bが接続されている。 Further extraction electrode portions 2-1a to opposite ends of the coil pattern 2-1,2-2, 2-1b, 2-2a, 2-2b are connected.

次に、このコイル層8の上には絶縁性を有する磁性体層3が積層されている。 Next, the magnetic layer 3 having insulating properties is stacked on the coil layer 8.

このような積層構造のコモンモードノイズフィルタはセラミックグリーンシート成型法と印刷技術により積層成型体とすることができ、コイルパターン2−1、2−2が溶融しない温度(900℃前後)で焼成した後、引出電極2−1a、2−1b、2−2a、2−2bのいずれか一つとそれぞれ電気的に接続している外部電極6を形成することにより、図4(c)に示すようなチップ状のコモンモードノイズフィルタ4が実現できる。 Common mode noise filter of such a laminated structure may be a laminated molded body by printing technology and the ceramic green sheet molding method, and fired at a temperature of the coil patterns 21 and 22 is not melted (900 ° C. so) after lead electrodes 2-1a, 2-1b, 2-2a, by forming the external electrodes 6 which are connected to any one respectively electrically in 2-2b, as shown in FIG. 4 (c) common mode noise filter 4 of the chip-can be realized.

以上説明してきたように、コイルパターン2−1とコイルパターン2−2が並行して配置された2条渦巻の螺旋状の構成のコモンモードノイズフィルタにおいて、コイル層7とコイル層8の間に高周波数帯域においても低損失な磁気特性を有する磁性体層1となる本発明の磁性フェライトを介在させることによって、コイルパターン2−1とコイルパターン2−2の磁束が効率よく鎖交することによりコイル層7とコイル層8の磁気結合が強くなり、コモンモードノイズフィルタとしての結合係数が向上する。 As has been described, in the common mode noise filter of the helical structure of double-threaded spiral coil pattern 2-1 and the coil pattern 2-2 are arranged in parallel, between the coil layer 7 and the coil layer 8 also by interposing the magnetic ferrite of the present invention that will become the magnetic layer 1 having a low loss magnetic properties in the high frequency band, by the magnetic flux of the coil pattern 2-1 and the coil pattern 2-2 is efficiently interlink magnetic coupling coil layer 7 and the coil layer 8 becomes stronger, thereby improving the coupling coefficient of the common mode noise filter.

また、並行して配置されたコイルパターン2−1とコイルパターン2−2の間での磁気結合をより高めるために磁性体層1は磁性体層3よりも透磁率を低くすることが好ましい。 Further, magnetic layer 1 to improve the magnetic coupling between the parallel coil patterns 2-1 are disposed with the coil pattern 2-2 it is preferable to lower the magnetic permeability than the magnetic layer 3.

また、コイルパターン2−1、コイルパターン2−2の片面のみに磁性体層1が接していることが好ましい。 The coil pattern 2-1, it is preferable that the magnetic layer 1 only on one side of the coil pattern 2-2 is in contact. コイルパターン2−1、コイルパターン2−2の両面に磁性体層1が接している場合には、並行して配置されたコイルパターン2−1、2−2間で磁束が鎖交しなくなることから磁気結合が劣化するので好ましくないからである。 Coil pattern 2-1, when the magnetic layer 1 on both sides of the coil pattern 2-2 is in contact with, the magnetic flux is eliminated interlinked between coil patterns 21 and 22 disposed in parallel since magnetic coupling is degraded from is not preferable.

次に、このコモンモードノイズフィルタの積層構造について製造方法を説明しながら詳細に説明する。 It will now be described in detail while explaining the manufacturing method for the laminate structure of this common mode noise filter.

まず始めに、本発明の磁性フェライトの出発原料である酸化鉄と酸化コバルトと酸化亜鉛を用いてFe 23 :CoO:ZnO=38:50:12モル%の組成比になるように配合し、これに純水を適量加えてボールミルを用いて混合した後、120℃で乾燥させて混合粉を得る。 First, Fe 2 O iron oxide as the starting material of magnetic ferrite with cobalt oxide zinc oxide of the present invention 3: CoO: ZnO = 38: 50: formulated to be 12 mole% of the composition ratio , it was mixed using a ball mill by adding an appropriate amount of pure water to obtain a mixed powder was dried at 120 ° C..

この混合粉を800℃で仮焼した後、遊星ボールミルを用いて最大粒径が8μm以下になるまで粉砕してフェライト仮焼粉を得る。 After the mixed powder was calcined at 800 ° C., to obtain a ferrite calcined powder was pulverized to a maximum particle size of the 8μm below using a planetary ball mill. このフェライト仮焼粉にCuOの粉末を10wt%加え、さらにブチラール樹脂と酢酸ブチルを適量加えてボールミルを用いて十分に分散させてセラミックスラリーを得る。 The calcined ferrite powder powder CuO added 10 wt% to obtain a ceramic slurry was sufficiently dispersed using a ball mill was further added a suitable amount of a butyral resin and butyl acetate. このセラミックスラリーをドクターブレード法により約50μmの磁性体層1に用いるフェライトグリーンシートを得た。 The ceramic slurry was obtained ferrite green sheet used for the magnetic layer 1 to about 50μm by a doctor blade method.

一方、磁性体層3となるフェライトの出発原料である酸化鉄と酸化ニッケルと酸化亜鉛と酸化銅をFe 23 :NiO:ZnO:CuO=48:21:21:10モル%の組成比になるように配合し、前記フェライトグリーンシートと同様なプロセスを経て磁性体層3に用いるフェライトグリーンシートを得た。 On the other hand, the magnetic layer 3 to become copper oxide and iron oxide as the starting material and nickel oxide and zinc oxide ferrite Fe 2 O 3: NiO: ZnO : CuO = 48: 21: 21: 10 mol% composition ratio become so blended, to obtain a ferrite green sheet used for the magnetic layer 3 through the same processes and the ferrite green sheet. その後、それぞれのフェライトグリーンシートを多数個取りとするために5cm□に切断した。 Then, cut into 5cm □ to each of the ferrite green sheet and multi-cavity.

次に、5cm□に切断された磁性体層3に用いるフェライトグリーンシートを複数枚積層して厚み400μmとし、さらにこの上にAgを主成分とする線幅30μm、線間幅25μmの並列する2本の電極パターンから構成されるコイルパターン2−1、2−2として印刷形成した。 Then, the ferrite green sheet used in the magnetic layer 3 which is cut to 5 cm □ a plurality laminated thickness 400 [mu] m, further linewidth 30μm mainly comprising Ag on the, in parallel between lines width 25 [mu] m 2 formed by printing a composed coil patterns 2-1 and 2-2 from the electrode pattern.

その後、このコイルパターン2−1、コイルパターン2−2の上に層間のコイルパターン2−1、コイルパターン2−2を接続するビア5を形成した磁性体層1に用いるフェライトグリーンシートを積層した後、さらにこの上にAgを主成分とする線幅30μm、線間幅25μmの並列する2本の電極パターンから構成される上層のコイルパターン2−1、コイルパターン2−2として印刷形成し、フェライトグリーンシートのビア5を介して接続された2本の螺旋状のコイルを形成した。 Thereafter, the coil pattern 2-1 was laminated ferrite green sheet used in the magnetic layer 1 formed with the via 5 for connecting coil pattern 2-1 layers, the coil pattern 2-2 on the coil pattern 2-2 after further linewidth 30μm mainly comprising Ag on the upper layer of the coil pattern composed of two electrode patterns parallel to the line width between 25 [mu] m 2-1, formed by printing a coil pattern 2-2, to form two helical coils that are connected through via 5 ferrite green sheet.

この2本の螺旋状のコイルはコイルパターン2−1とコイルパターン2−2が磁性体層3の上面にほぼ並行な渦巻き状に設けられるとともに、さらに磁性体層1を挟むようにして磁性体層1の上部に設けられたコイルパターン2−1とコイルパターン2−2は磁性体層1に設けられたビア5を介して接続されてほぼ並行な渦巻き状に設けられた構成となっている。 Together provided substantially parallel spiral spiral coil upper surface of the coil pattern 2-1 and the coil pattern 2-2 magnetic layer 3 of the two magnetic layers 1 so as to further sandwich the magnetic layer 1 coil pattern 2-1 and the coil pattern 2-2 provided on the upper part of has a structure which is provided substantially in parallel spiral are connected through via 5 provided on the magnetic layer 1.

次に、この上に磁性体層3に用いるフェライトグリーンシートを複数枚積層して厚み約1mmの積層成形品を得た。 Next, to obtain a laminated molded article having a thickness of about 1mm ferrite green sheet used in the magnetic layer 3 on the a plurality of stacked.

その後、この積層成形品を128個のコモンモードノイズフィルタの個片に切断した後930℃−2時間で焼成し、その後端面部に表出した引出電極部2−1a、2−1b、2−2a、2−2bにAgあるいはCuの外部電極6を厚膜プロセスあるいはめっきプロセスにより形成することにより図4(c)に示すような1.2×1.0×0.8mmの128個のコモンモードノイズフィルタを得ることができた(発明品2)。 Thereafter, the laminated molded article 128 is fired at 930 ° C. -2 hours after cutting into pieces of the common mode noise filter, the extraction electrode portion 2-1a which is exposed to the outside at its rear surface, 2-1b, 2- 2a, 128 pieces of the common of 1.2 × 1.0 × 0.8 mm, as shown in FIG. 4 (c) by the external electrode 6 of Ag or Cu is formed by a thick film process or a plating process 2-2b It could be obtained mode noise filter (invention product 2).

また、比較のためにNi−Zn−Cu−Coフェライトを磁性体層に用いて同様なプロセスを経て得たコモンモードノイズフィルタ(従来品3)を作製した。 Further, to produce a common mode noise filter obtained through a similar process using a Ni-Zn-Cu-Co ferrite in the magnetic layer (conventional product 3) for comparison. これらのコモンモードノイズフィルタの電気特性を評価した。 And evaluating these electrical characteristics of the common mode noise filter.

その結果、従来品3、発明品2ともにコモンモードインピーダンスが90Ωであったが、従来品3の結合係数が0.90であるのに対して、発明品2では結合係数が0.93と良好であった。 As a result, conventional 3, although both the common mode impedance invention product 2 was 90 ohms, while the coupling coefficient of the conventional product 3 is 0.90, the coupling coefficient in the invention product 2 0.93 good Met.

なお、磁性体層1に用いるフェライトグリーンシートは薄いほど結合係数の大きなコモンモードノイズフィルタが得られるが、特に焼結後の厚さを50μm以下にすることが望ましく、このような構成とすることにより結合係数が0.93以上の優れたコモンモードノイズフィルタを得ることができた。 Although a large common mode noise filter of the ferrite green sheet thinner coupling coefficients used for the magnetic layer 1 is obtained, it is desirable to 50μm or less, especially a thickness after sintering, such a structure coupling coefficient could be obtained than 0.93 excellent common mode noise filter by.

また、コモンモードノイズフィルタのコイルパターン2−1、コイルパターン2−2は所望するインダクタンス特性やクロストーク特性によってさまざまな形態を取ることができるが、磁性体層1が2つのコイルで形成するコイルパターン2−1、コイルパターン2−2に接触している限り、いずれの場合も同様な効果を得ることができ、特に2つのコイルパターン2−1、コイルパターン2−2間が狭くなるほど効果は大きくなる。 The coil coil pattern 2-1 of the common mode noise filter, although the coil patterns 2-2 can take various forms by the desired inductance characteristic and crosstalk characteristics, the magnetic layer 1 is formed of two coils pattern 2-1, as long as contact with the coil pattern 2-2, also can be obtained the same effects in any case, in particular two coil patterns 2-1, the effect as between the coil pattern 2-2 is narrower growing.

これらを検討した結果、電極パターンの間隔は30μm以下にすることにより二つのコイル間で鎖交する磁束を増大させる効果があることが分かった。 As a result of considering these, the electrode spacing pattern was found to be effective to increase the magnetic flux interlinking between the two coils by the 30μm or less.

以上のように、本実施の形態2では内蔵する2つのコイルを形成するコイルパターン2−1、コイルパターン2−2の間の少なくとも一部に1GHzまで低損失な磁性フェライトである磁性体層1が介在することにより、磁気損失を増大させることなくコイル間で鎖交する磁束を増大させることにより、結合係数の大きなコモンモードノイズフィルタを実現し、コモンモードノイズフィルタとしてコモンモードノイズを効率良く除去することが可能となる。 As described above, the coil pattern 2-1 for forming the two coils built in the second embodiment, the magnetic layer 1 is at least part until 1GHz low-loss magnetic ferrite between coil patterns 2-2 by but intervening, by increasing the magnetic fluxes interlinked between the coil without increasing the magnetic loss, and achieve a large common mode noise filter of the coupling coefficient, effectively removing the common mode noise as common mode noise filter it is possible to become.

また、このような構成を有するコモンモードノイズフィルタとすることにより、小型でGHz帯域で優れた特性を有する積層電子部品を実現できる。 Further, with the common mode noise filter having such a configuration, it is possible to realize a multilayer electronic component having excellent characteristics in the GHz band with a small.

さらに、このコモンモードノイズフィルタを内蔵した複合部品とすることにより、高密度の積層セラミック電子部品、積層モジュール部品あるいは他のコンデンサ素子あるいは抵抗素子などとの複合部品化された積層電子部品として有用である。 Further, by the composite components that include this common mode noise filter, useful as high density multilayer ceramic electronic component, composite part of it has been laminated electronic component with such multilayer module component or other capacitor element or resistive element is there.

(実施の形態3) (Embodiment 3)
以下、本発明の実施の形態3におけるチップトランスについて、図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, the chip transformer according to the third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

図5(a)は本発明の実施の形態3におけるチップトランスの構造を説明するための分解斜視図であり、図5(b)はその等価回路を示す回路図であり、図5(c)はその外観斜視図である。 5 (a) is an exploded perspective view illustrating the structure of the chip transformer according to the third embodiment of the present invention, FIG. 5 (b) is a circuit diagram showing an equivalent circuit, and FIG. 5 (c) is its perspective view.

また、図6は本実施の形態3における他の例であるチップトランスの断面構造図である。 Also, FIG. 6 is a cross-sectional view of a chip transformer which is another example of the third embodiment.

次に、図5(a)〜図5(c)を用いて本発明の実施の形態3における積層型のチップトランスの例を示す。 Next, an example of a multilayer type chip transformer according to the third embodiment of the present invention with reference to FIG. 5 (a) ~ FIG 5 (c).

図5(a)に示す本発明による積層型のチップトランスは、絶縁性を有する磁性体層30で挟まれた一次コイル21(引出電極部21a、引出電極部21bを含む)と2次コイル22(引出電極部22a、引出電極部22b)を形成したコイル層7とコイル層8の間に絶縁性を有する磁性体層10が介在するとともにビア5を介してコイル層7とコイル層8がそれぞれ一次コイル21、二次コイル22として接続された電極構造を有しており、特に銀を主成分とする2本の並列する電極パターンから構成される螺旋状の一次コイル21、二次コイル22を形成することを特徴としている。 5 the multilayer chip transformer according to the present invention shown in (a), the primary coil 21 sandwiched between the magnetic layer 30 having insulating properties (extraction electrode portion 21a, including the lead electrode portion 21b) and the secondary coil 22 (extraction electrode portion 22a, the lead electrode portion 22b) coil layer 7 and the coil layer 8 through the via 5 with the magnetic layer 10 having an insulating property between the coil layer 7 was formed coil layer 8 is interposed, respectively the primary coil 21, secondary coil 22 has a connected electrode structure as, 2 by one from the electrode pattern spiral composed of parallel primary coil 21, in particular mainly composed of silver, a secondary coil 22 It is characterized by the formation. その結果として、それぞれの一次コイル21、二次コイル22の近傍に周回する磁束を断ち切り、2つのコイル間21,22の磁気的な結合を強化することができる。 As a result, each of the primary coil 21, break the magnetic flux circulating in the vicinity of the secondary coil 22, it is possible to enhance the magnetic coupling between the two coils 21 and 22.

このことは実施の形態2とおなじ作用を発揮するものであり、特に異なっている点は、図5(b)の等価回路に示したように入出力端子の組み合わせが異なっているだけである。 This is intended to exert the same effects as in the second embodiment, the point to be particularly different, only the combination of the input and output terminals as shown in the equivalent circuit shown in FIG. 5 (b) it is different.

以上説明してきたような構成を有するチップトランスの外観を図5(c)に示す。 The appearance of the chip transformer having a description to like have configured above is shown in FIG. 5 (c). 11はチップトランスであり、12は4個の外部電極であり、図5(a)に示す引出電極部21a,21b,22a,22bのいずれか一つとそれぞれ電気的に接続している。 11 is a chip transformer, 12 is a four external electrodes, lead electrode portion 21a shown in FIG. 5 (a), 21b, 22a, respectively one of 22b are electrically connected.

以上の構成を有するチップトランスの特性を評価した結果、従来の磁性フェライトであるNi−Zn−Cu−Coフェライトを用いたチップトランス(従来品4)の結合係数が0.9であるのに対して、磁性体層10に本発明のCo−Zn−Cuフェライトを用いたチップトランス(発明品3)の結合係数は0.93と良好であった。 Result of evaluating the characteristics of the chip transformer having the above configuration, while the coupling coefficient of the chip transformer (conventional product 4) using the Ni-Zn-Cu-Co ferrite is a conventional magnetic ferrite is 0.9 Te, the coupling coefficient of the chip transformer using Co-Zn-Cu ferrite of the present invention to the magnetic layer 10 (inventive product 3) was good and 0.93.

以上のように、本実施の形態3では、内蔵する2つのコイルを形成する一次コイル21、二次コイル22の間の少なくとも一部に1GHzまで低損失な磁性フェライトが介在し、この磁性フェライトが磁気損失を増大させることなく二つのコイル間で鎖交する磁束を増大させることにより、結合係数の大きな積層型のチップトランスを実現し、トランスとして高効率なエネルギーの授受が可能となる。 As described above, in the third embodiment, the primary coil 21 to form the two coils to be built, at least a portion up to 1GHz low-loss magnetic ferrite between the secondary coil 22 interposed, the magnetic ferrite by increasing the magnetic fluxes interlinked between the two coils without increasing the magnetic loss, and achieving a large multilayer chip transformer coupling coefficient, transfer of highly efficient energy it is possible as transformers.

また、全てのコイルの電極パターンの形成方法はスクリーン印刷でもよく、さらにファインパターンを形成するためにはめっき転写、凹版転写工法が有効であり、これらの技術と組み合わせることにより直流抵抗の小さな小型のチップトランスを実現することができる。 Further, the method of forming the electrode patterns of all of the coils may be by screen printing, in order to further form a fine pattern transfer plating, intaglio transfer method is effective, small small DC resistance by combining with these techniques it is possible to realize a chip transformer.

次に、本実施の形態3における他の例のチップトランスについて説明する。 Next, a description will be given chip transformer another example of the third embodiment.

図6において、少なくとも一面の断面構造において、絶縁性を有する磁性体層3が絶縁性を有する磁性体層1を被覆した構造であることが異なっている。 6, in the cross-sectional structure of at least one surface, is magnetic layers 3 having an insulating property is different to be a structure coated with the magnetic layer 1 having an insulating property. この構成は透磁率の高い磁性体層3がコイルの電極パターンの外周部を周回するように被覆することにより磁束密度が高まることによって、さらに磁気特性を向上したチップトランスを実現することができる。 This arrangement by the magnetic flux density increases by coating so that a high magnetic layer 3 magnetic permeability around the outer portion of the electrode pattern of the coil, it is possible to realize a chip transformer further improved magnetic properties.

なお、このような構成はコモンモードノイズフィルタの構成においても同様の効果を確認している。 Such a configuration is confirmed similar effects also in the configuration of the common mode noise filter.

以上のように、本発明にかかる磁性フェライトおよびコモンモードノイズフィルタ並びにチップトランスは、低抵抗な銀電極と同時焼成ができる高周波帯域で、低損失な磁性フェライトを実現することにより、これをコモンモードノイズフィルタ並びにチップトランスの磁性材料として用いることによって大きな結合係数を有する各種コモンモードノイズフィルタ並びにチップトランスが実現可能となり、各種電子機器に用いられるコモンモードノイズフィルタ並びにチップトランス等の用途に有用である。 As described above, the magnetic ferrite and common mode noise filter and chip transformer according to the present invention, in a high frequency band which can co-fired with the low-resistance silver electrode, by realizing a low-loss magnetic ferrite, common mode it various common mode noise filter and chip transformer becomes feasible with a large coupling coefficient by using as a magnetic material of the noise filter and chip transformer, useful for common mode noise filter and uses such as a chip transformer used for various electronic devices .

本発明の実施の形態1における磁性フェライトの周波数特性を示す特性図 Characteristic diagram showing frequency characteristics of magnetic ferrite in the first embodiment of the present invention 同磁性フェライトの酸化銅の添加量と900℃焼成による焼成収縮率の関係を示す特性図 Characteristic diagram showing the relationship between firing shrinkage due to the added amount and the 900 ° C. calcined copper oxide of the same magnetic ferrite 同磁性フェライトの組成域を示す組成図 Composition diagram showing the composition range of the magnetic ferrite (a)本発明の実施の形態2におけるコモンモードノイズフィルタの分解斜視図、(b)同等価回路図、(c)同外観斜視図 Exploded perspective view of common mode noise filter according to the second embodiment of (a) the present invention, (b) the equivalent circuit diagram, the external perspective view (c) (a)本発明の実施の形態3におけるチップトランスの分解斜視図、(b)同等価回路図、(c)同外観斜視図 Exploded perspective view of a chip transformer according to the third embodiment of (a) the present invention, (b) the equivalent circuit diagram, the external perspective view (c) 同他の例のチップトランスの構造断面図 Structural cross-sectional view of a chip transformer of the same other examples

符号の説明 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 磁性体層(第2) 1 magnetic layer (second)
2−1 コイルパターン 2−2 コイルパターン 2−1a,2−1b 引出電極部 2−2a,2−2b 引出電極部 3 磁性体層(第1) 2-1 coil pattern 2-2 coil pattern 2-1a, 2-1b lead electrode portions 2-2a, 2-2b lead electrode portions 3 magnetic layer (first)
4 コモンモードノイズフィルタ 5 ビア 5a ビア電極 6 外部電極 7 コイル層(第1) 4 common mode noise filter 5 via 5a via electrode 6 external electrode 7 coil layer (first)
8 コイル層(第2) 8 coil layer (second)
10 磁性体層(第2) 10 magnetic layer (second)
11 チップトランス 12 外部電極 21 一次コイル 21a,21b 引出電極部 22 二次コイル 22a,22b 引出電極部 30 磁性体層(第1) 11 chip transformer 12 external electrode 21 primary coils 21a, 21b lead electrode 22 secondary coils 22a, 22b lead electrode portions 30 magnetic layer (first)

Claims (11)

  1. 主成分としてFeとCoとZnの組成比がFe 23 ,CoO,ZnO換算で39.5:53.0:7.5モル%、39.5:48.0:12.5モル%、20.0:67.5:12.5モル%、20.0:55.0:25.0モル%で囲まれた範囲の組成100重量部に対して酸化銅を6〜14重量部添加した組成からなる磁性フェライト。 The composition ratio of Fe and Co, and Zn as main components Fe 2 O 3, CoO, 39.5 in terms of ZnO: 53.0: 7.5 mol%, 39.5: 48.0: 12.5 mol%, 20.0: 67.5: 12.5 mol%, 20.0: 55.0: copper oxide was added 6-14 parts by weight relative to the composition 100 parts by weight in the range surrounded by 25.0 mol% magnetic ferrite having the composition.
  2. 絶縁性を有した第1の磁性体層の上にほぼ並行に配置された2本の電極パターンから構成される渦巻き状の第1のコイル層を設け、この第1のコイル層の上に第2の磁性体層を設け、この第2の磁性体層の上にほぼ並行に配置された2本の電極パターンから構成される渦巻き状の第2のコイル層を設け、前記第1のコイル層と第2のコイル層を第2の磁性体層に設けたビアを介して接続することにより2本の螺旋状のコイルを設け、この第2のコイル層の上に第3の磁性体層を設けたコモンモードノイズフィルタであって、前記第2の磁性体層を請求項1に記載の磁性フェライトで構成したコモンモードノイズフィルタ。 A first magnetic layer and the first coil layer spiral composed of two electrode patterns arranged substantially parallel to the top of which has an insulating property is provided, the over the first coil layer 2 of the magnetic layer is provided, the second magnetic layer second coil layer spiral composed of two electrode patterns arranged substantially parallel to the top of providing, the first coil layer When the two spiral coils by connecting the second coil layer through a via formed in the second magnetic layer is provided, a third magnetic layer over the second coil layer a common mode noise filter provided, common mode noise filter formed of a magnetic ferrite according to the second magnetic layer to claim 1.
  3. 第2の磁性体層の透磁率を第1、第3の磁性体層の透磁率よりも小さくした請求項2に記載のコモンモードノイズフィルタ。 Common mode noise filter according to claim 2, the permeability of the second magnetic layer was first, smaller than the magnetic permeability of the third magnetic layer.
  4. 第2の磁性体層の厚みを50μm以下の厚みとした請求項2に記載のコモンモードノイズフィルタ。 Common mode noise filter according to claim 2 in which the thickness of the second magnetic layer and a thickness of less than 50 [mu] m.
  5. 電極パターンの間隔を30μm以下とした請求項2に記載のコモンモードノイズフィルタ。 Common mode noise filter according to claim 2 in which the distance between the electrode pattern was set to 30μm or less.
  6. 少なくとも1つの断面において、第2の磁性体層が第1または第3の磁性体層にて被覆された構成とした請求項2に記載のコモンモードノイズフィルタ。 In at least one cross-section, the second common mode noise filter according to claim 2, the magnetic layer has a coated structure in the first or third magnetic layer.
  7. 絶縁性を有した第1の磁性体層の上にほぼ並行に配置された2本の電極パターンから構成される渦巻き状の第1のコイル層を設け、この第1のコイル層の上に第2の磁性体層を設け、この第2の磁性体層の上にほぼ並行に配置された2本の電極パターンから構成される渦巻き状の第2のコイル層を設け、前記第1のコイル層と第2のコイル層を第2の磁性体層に設けたビアを介して接続することにより2本の螺旋状のコイルを設け、この第2のコイル層の上に第3の磁性体層を設けたチップトランスであって、前記第2の磁性体層を請求項1に記載の磁性フェライトで構成したチップトランス。 A first magnetic layer and the first coil layer spiral composed of two electrode patterns arranged substantially parallel to the top of which has an insulating property is provided, the over the first coil layer 2 of the magnetic layer is provided, the second magnetic layer second coil layer spiral composed of two electrode patterns arranged substantially parallel to the top of providing, the first coil layer When the two spiral coils by connecting the second coil layer through a via formed in the second magnetic layer is provided, a third magnetic layer over the second coil layer provided with a chip transformers, chip transformer constituted by a magnetic ferrite according to the second magnetic layer to claim 1.
  8. 第2の磁性体層の透磁率を第1の磁性体層の透磁率よりも小さくした請求項7に記載のチップトランス。 Chip transformer according to claim 7 in which the magnetic permeability of the second magnetic layer was smaller than the magnetic permeability of the first magnetic layer.
  9. 第2の磁性体層の厚みを50μm以下の厚みとした請求項7に記載のチップトランス。 Chip transformer according to the thickness of the second magnetic layer to claim 7 in which the thickness of less than 50 [mu] m.
  10. 電極パターンの間隔を30μm以下とした請求項7に記載のチップトランス。 Chip transformer according apart electrode patterns to claim 7 in which a 30μm or less.
  11. 少なくとも1つの断面において、第2の磁性体層が第1または第3の磁性体層にて被覆された構成とした請求項7に記載のチップトランス。 In at least one cross-section, the chip transformer according to the second claim 7 magnetic layer was coated constituted by the first or third magnetic layer.
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