JP2005270800A - Droplet discharge apparatus having coordinate precision confirming device, coordinate precision confirming method, method of manufacturing electro-optic device, electro-optic device, and electronic device - Google Patents

Droplet discharge apparatus having coordinate precision confirming device, coordinate precision confirming method, method of manufacturing electro-optic device, electro-optic device, and electronic device Download PDF

Info

Publication number
JP2005270800A
JP2005270800A JP2004087621A JP2004087621A JP2005270800A JP 2005270800 A JP2005270800 A JP 2005270800A JP 2004087621 A JP2004087621 A JP 2004087621A JP 2004087621 A JP2004087621 A JP 2004087621A JP 2005270800 A JP2005270800 A JP 2005270800A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
movement axis
coordinate accuracy
axis
image sensor
along
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004087621A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4604533B2 (en
Inventor
Nagatane Yasu
永植 安
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2004087621A priority Critical patent/JP4604533B2/en
Publication of JP2005270800A publication Critical patent/JP2005270800A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4604533B2 publication Critical patent/JP4604533B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a droplet discharge apparatus having a coordinate precision confirming device capable of previously grasping the precision of discharging a droplet to a work and capable of shortening the adjustment time of the apparatus by reducing the practical discharge tests of the droplet to the work. <P>SOLUTION: The coordinate precision confirming device is provided with a coordinate precision confirming member 40 held by a table 30 and having a pattern 41 comprising a plurality of marks M aligned with a prescribed pitch along a 1st movement axis X and a 2nd movement axis Y, an image pick-up element 51 moving along the 1st moving axis X and for imaging the mark M for the coordinate precision confirming member 40 held by the table 30 and a control section 200 for confirming the coordinate precision by obtaining error along the 1st movement axis X and the 2nd movement axis Y to the center position CM of the mark M in the picked up image obtained in the image pick-up element 51. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、第1移動軸と第2移動軸を有している座標精度確認装置を有する液滴吐出装置、座標精度確認方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関する。   The present invention relates to a droplet discharge device having a coordinate accuracy confirmation device having a first movement axis and a second movement axis, a coordinate accuracy confirmation method, a method for manufacturing an electro-optical device, an electro-optical device, and an electronic apparatus.

液滴吐出装置は、描画システムとして用いられることがあり、この描画システムはインクジェット式で液滴をワークに対して吐出するようになっている。この描画システムはたとえばフラットパネルディスプレイのような電気光学素子の製造に用いられることがある。
インクジェット式で液滴を吐出する装置のヘッドは、たとえば記録紙のようなワークに対してインクを吐出する形式のものがある(たとえば特許文献1)。
The droplet discharge device is sometimes used as a drawing system, and this drawing system discharges droplets onto a workpiece by an ink jet method. This drawing system may be used in the manufacture of electro-optical elements such as flat panel displays.
As a head of an ink jet type apparatus that ejects droplets, there is a type that ejects ink onto a work such as recording paper (for example, Patent Document 1).

特開2003−89212号公報(第4頁、図1)JP 2003-89212 A (page 4, FIG. 1)

この種のインクジェット式記録装置のヘッドは、記録紙のようなワークに対して直交する方向に移動することで、ワークに対して液滴を吐出する構造である。つまり、ヘッドの移動方向に対してワークの移動方向は直交する方向に移動することで、ワーク上に液滴を吐出する。ヘッドの移動軸とワークの移動軸は直交する方向であるので、ヘッドとワークは直交座標内で移動するようになっている。
ところが、ヘッドの移動軸とワークの移動軸との相対的な位置精度が正しく設定されていないと、ワークに対する印字精度に大きく影響を与えることになる。
The head of this type of ink jet recording apparatus has a structure that ejects liquid droplets onto a work by moving in a direction orthogonal to the work such as recording paper. In other words, the movement direction of the work moves in a direction orthogonal to the movement direction of the head, thereby ejecting droplets onto the work. Since the moving axis of the head and the moving axis of the work are orthogonal to each other, the head and the work are moved in the orthogonal coordinates.
However, if the relative positional accuracy between the moving axis of the head and the moving axis of the workpiece is not set correctly, the printing accuracy for the workpiece will be greatly affected.

このために、あらかじめ装置における印字精度の把握ができることが望まれている。これによって、実際のワークに対して液滴を吐出して印字実験をすることを減らして機械の調整期間を短縮したいという希望がある。
そこで本発明は上記課題を解消し、あらかじめワークに対して液滴を吐出する精度の把握をすることができ、実際のワークに対する液滴の吐出実験を減らして装置の調整期間を短縮することができる座標精度確認装置を有する液滴吐出装置、座標装置確認方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的としている。
For this reason, it is desired that the printing accuracy in the apparatus can be grasped in advance. Accordingly, there is a desire to reduce the adjustment period of the machine by reducing the printing experiment by discharging droplets to an actual work.
Therefore, the present invention solves the above-mentioned problems, can grasp the accuracy of ejecting droplets to a workpiece in advance, and can reduce the adjustment period of the apparatus by reducing the droplet ejection experiment on the actual workpiece. An object of the present invention is to provide a droplet discharge device having a coordinate accuracy confirmation device, a coordinate device confirmation method, a method of manufacturing an electro-optical device, an electro-optical device, and an electronic apparatus.

上記目的は、第1の発明にあっては、液滴をワークに吐出する際の座標精度を確認するための座標精度確認装置を有する液滴吐出装置であって、前記座標精度確認装置は、液滴を吐き出すヘッドを第1移動軸に沿って移動させる第1操作部と、前記ヘッドからワークに対して前記液滴を与える際に前記ワークを保持するためのテーブルを有しており、前記テーブルを前記第1移動軸とは直交する第2移動軸に沿って移動させる第2操作部と、前記テーブルに保持される座標精度確認用部材であって、前記第1移動軸と前記第2移動軸に沿って所定のピッチで配列された複数のマークからなるパターンを有している前記座標精度確認用部材と、前記第1移動軸に沿って移動する撮像素子であって、前記テーブルに保持された前記座標精度確認用部材の前記マークを撮像する前記撮像素子と、前記撮像素子の移動と前記座標精度確認用部材を保持した前記テーブルの移動により、前記撮像素子から得られる撮像画像における前記マークの中心位置と、前記撮像画像内の対象との間の前記第1移動軸と前記第2移動軸に沿った誤差を得ることで座標精度を確認する制御部と、を備えることを特徴とする液滴吐出装置により、達成される。   In the first invention, the above object is a liquid droplet ejection device having a coordinate accuracy confirmation device for confirming the coordinate accuracy when ejecting a liquid droplet onto a workpiece, wherein the coordinate accuracy confirmation device comprises: A first operation unit that moves a head for discharging droplets along a first movement axis; and a table for holding the workpiece when the droplet is applied from the head to the workpiece. A second operating portion that moves the table along a second movement axis that is orthogonal to the first movement axis; and a coordinate accuracy confirmation member that is held by the table, wherein the first movement axis and the second movement axis A coordinate accuracy checking member having a pattern composed of a plurality of marks arranged at a predetermined pitch along a moving axis; and an image sensor that moves along the first moving axis, For checking the held coordinate accuracy A center position of the mark in a picked-up image obtained from the image pickup device by moving the image pickup device for picking up an image of the mark of the material, and moving the image pickup device and the table holding the coordinate accuracy confirmation member; A droplet ejection device comprising: a control unit that confirms coordinate accuracy by obtaining an error along the first movement axis and the second movement axis between a target in a captured image; Achieved.

第1の発明の構成によれば、第1操作部は、液滴を吐き出すヘッドを第1移動軸に沿って移動する。第2移動軸は、ヘッドからワークに対して液滴を与える際にワークを保持するためのテーブルを有しており、第2操作部はテーブルを第1移動軸とは直交する第2移動軸に沿って直線移動する。
座標精度確認用部材は、テーブルに保持されるものである。この座標精度確認用部材は、第1移動軸と第2移動軸に沿って所定のピッチで配列された複数のマークからなるパターンを有している。
According to the configuration of the first invention, the first operation unit moves the head that discharges the droplets along the first movement axis. The second movement axis has a table for holding the workpiece when droplets are applied from the head to the workpiece, and the second operation unit has a second movement axis that is orthogonal to the first movement axis. Move along a straight line.
The coordinate accuracy confirmation member is held on the table. The coordinate accuracy confirmation member has a pattern made up of a plurality of marks arranged at a predetermined pitch along the first movement axis and the second movement axis.

撮像素子は、第1移動軸に沿って移動可能なものである。撮像素子は、テーブルに保持された座標精度確認用部材のマークを撮像するためのものである。
制御部は、撮像素子の移動と座標精度確認用部材を保持したテーブルの移動により、撮像素子から得られる撮像画像におけるマークの中心位置と、撮像画像内の対象との間の第1移動軸と第2移動軸に沿った誤差を得ることで座標精度を確認する。
The image sensor is movable along the first movement axis. The imaging element is for imaging the mark of the coordinate accuracy confirmation member held on the table.
The control unit moves the image sensor and moves the table holding the coordinate accuracy confirmation member, and a first movement axis between the center position of the mark in the captured image obtained from the image sensor and the target in the captured image The coordinate accuracy is confirmed by obtaining an error along the second movement axis.

これにより、あらかじめヘッドによりワークに対して液滴を吐出する作業前に液滴の吐出精度の把握が可能になる。したがって、実際にワークに対してヘッドから液滴を吐き出す実験を減らしたりあるいは無くしたりすることができ、製造および組立時の装置の調整期間を短縮できる。実際のワークに対して液滴を吐き出して実験する必要が無くなるので、高価な液滴を使用する量を減らすことができ、製品のコストダウンを図ることができる。   As a result, it is possible to grasp the droplet discharge accuracy before the operation of discharging droplets onto the workpiece by the head in advance. Therefore, it is possible to reduce or eliminate the experiment of actually ejecting droplets from the head to the work, and to shorten the adjustment period of the apparatus during manufacture and assembly. Since it is not necessary to expel droplets from an actual work and experiment, the amount of expensive droplets used can be reduced, and the cost of the product can be reduced.

第2の発明は、第1の発明の構成において、前記制御部は、前記マークの中心位置と、前記対象としての前記撮像素子の中心位置との間の誤差により前記座標精度を確認することを特徴とする。
第2の発明の構成によれば、制御部は、マークの中心位置と撮像素子の中心位置との間の誤差により座標精度を得る。
これにより、マークの中心位置と撮像素子の中心位置との間の誤差を撮像素子から得ることにより、座標精度を確認することができる。
According to a second aspect, in the configuration of the first aspect, the control unit confirms the coordinate accuracy based on an error between a center position of the mark and a center position of the imaging element as the target. Features.
According to the configuration of the second invention, the control unit obtains the coordinate accuracy by the error between the center position of the mark and the center position of the image sensor.
Thereby, the coordinate accuracy can be confirmed by obtaining an error between the center position of the mark and the center position of the image sensor from the image sensor.

第3の発明は、第1の発明の構成において、前記制御部は、前記マークから得られる中心位置と、前記ヘッドが前記座標精度確認用部材の上に吐き出した前記対象としての前記液滴の中心位置との間の誤差により前記座標精度を得ることを特徴とする。
第3の発明の構成によれば、制御部は、マークから得られる中心位置とヘッドが座標精度確認用部材の上に吐き出した液滴の中心位置との間の誤差により座標精度を得ることができる。
これにより、ヘッドが座標精度確認用部材の上に試験的に液滴を吐き出すだけで、液滴の中心位置とマークから得られる中心位置との間の誤差により座標精度を確認することができる。
According to a third aspect of the present invention, in the configuration of the first aspect, the control unit is configured to control the center position obtained from the mark and the droplet as the target that the head spouts onto the coordinate accuracy confirmation member. The coordinate accuracy is obtained by an error with respect to the center position.
According to the configuration of the third invention, the control unit can obtain the coordinate accuracy by an error between the center position obtained from the mark and the center position of the droplet ejected by the head onto the coordinate accuracy confirmation member. it can.
Thus, the coordinate accuracy can be confirmed by the error between the center position of the droplet and the center position obtained from the mark only by the head ejecting the droplet on the coordinate accuracy confirmation member on a trial basis.

第4の発明は、第2の発明または第3の発明の構成において、前記撮像素子は、前記ヘッドの搭載されているキャリッジとは別の部位に搭載されていることを特徴とする。
第4の発明の構成によれば、撮像素子は、キャリッジとは別の部位に搭載することができる。
これによって、撮像素子はヘッドを搭載しているキャリッジに搭載する必要が無くなり、キャリッジの小型化が図れる。
A fourth invention is characterized in that, in the configuration of the second invention or the third invention, the image pickup device is mounted on a portion different from a carriage on which the head is mounted.
According to the configuration of the fourth invention, the image sensor can be mounted on a part different from the carriage.
As a result, it is not necessary to mount the image sensor on the carriage on which the head is mounted, and the carriage can be reduced in size.

上記目的は、第5の発明にあっては、液滴を吐き出すヘッドを第1操作部により第1移動軸に沿って移動させ、第2操作部によりワークを前記第1移動軸とは直交する第2移動軸に沿って移動させて前記ヘッドからテーブルにある前記ワークに対して前記液滴を与えるのに先立って行う座標精度確認方法であって、前記第1移動軸に沿って撮像素子を移動し、前記テーブルに保持されており前記第1移動軸と前記第2移動軸に沿って所定のピッチで配列された複数のマークからなるパターンを有している座標精度確認用部材を前記第2移動軸に沿って移動して、前記撮像素子により前記マークを撮像する撮像ステップと、前記撮像素子の移動と前記座標精度確認用部材を保持した前記テーブルの移動により、前記撮像素子から得られる撮像画像における前記マークの中心位置と、前記撮像画像内の対象との間の前記第1移動軸と前記第2移動軸に沿った誤差を得ることで座標精度を確認する精度確認ステップと、を有することを特徴とする座標精度確認方法により、達成される。   According to the fifth aspect of the present invention, the head for discharging droplets is moved along the first movement axis by the first operation unit, and the workpiece is orthogonal to the first movement axis by the second operation unit. A coordinate accuracy confirmation method performed before moving the droplet along the second movement axis to give the droplet to the work on the table from the head, wherein the imaging element is moved along the first movement axis. A coordinate accuracy confirmation member that moves and is held on the table and has a pattern composed of a plurality of marks arranged at a predetermined pitch along the first movement axis and the second movement axis. (2) Obtained from the imaging device by moving along the movement axis and imaging the mark by the imaging device, and moving the imaging device and moving the table holding the coordinate accuracy confirmation member Captured image An accuracy confirmation step of confirming the coordinate accuracy by obtaining an error along the first movement axis and the second movement axis between the center position of the mark in the image and the object in the captured image. This is achieved by a coordinate accuracy confirmation method characterized by the following.

これにより、あらかじめヘッドによりワークに対して液滴を吐出する作業前に液滴の吐出精度の把握が可能になる。したがって、実際にワークに対してヘッドから液滴を吐き出す実験を減らしたりあるいは無くしたりすることができ、製造および組立時の装置の調整期間を短縮できる。実際のワークに対して液滴を吐き出して実験する必要が無くなるので、高価な液滴を使用する量を減らすことができ、製品のコストダウンを図ることができる。   As a result, it is possible to grasp the droplet discharge accuracy before the operation of discharging droplets onto the workpiece by the head in advance. Therefore, it is possible to reduce or eliminate the experiment of actually ejecting droplets from the head to the work, and to shorten the adjustment period of the apparatus during manufacture and assembly. Since it is not necessary to expel droplets from an actual work and experiment, the amount of expensive droplets used can be reduced, and the cost of the product can be reduced.

上記目的は、第6の発明にあっては、液滴を吐き出すヘッドを第1操作部により第1移動軸に沿って移動させ、第2操作部によりワークを前記第1移動軸とは直交する第2移動軸に沿って移動させて前記ヘッドからテーブルにある前記ワークに対して前記液滴を与えて電気光学装置を製造するのに先立って座標精度の確認を行う電気光学装置の製造方法であって、前記座標精度確認の際には、前記第1移動軸に沿って撮像素子を移動し、前記テーブルに保持されており前記第1移動軸と前記第2移動軸に沿って所定のピッチで配列された複数のマークからなるパターンを有している座標精度確認用部材を前記第2移動軸に沿って移動して、前記撮像素子により前記マークを撮像する撮像ステップと、前記撮像素子の移動と前記座標精度確認用部材を保持した前記テーブルの移動により、前記撮像素子から得られる撮像画像における前記マークの中心位置と、前記撮像画像内の対象との間の前記第1移動軸と前記第2移動軸に沿った誤差を得ることで座標精度を確認する精度確認ステップと、を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法により、達成される。   According to the sixth aspect of the present invention, the head for discharging droplets is moved along the first movement axis by the first operation unit, and the workpiece is orthogonal to the first movement axis by the second operation unit. A method of manufacturing an electro-optical device that checks the accuracy of coordinates prior to manufacturing the electro-optical device by moving along a second movement axis and applying the droplets to the work on the table from the head. When checking the coordinate accuracy, the image sensor is moved along the first movement axis, and is held on the table, and has a predetermined pitch along the first movement axis and the second movement axis. An imaging step of moving the coordinate accuracy confirmation member having a pattern made up of a plurality of marks arranged along the second movement axis and imaging the mark by the imaging element; and For moving and checking the coordinate accuracy Along the first movement axis and the second movement axis between the center position of the mark in the captured image obtained from the image sensor and the target in the captured image by the movement of the table holding the material And an accuracy check step for checking the coordinate accuracy by obtaining an error.

これによりあらかじめヘッドによりワークに対して液滴を吐出する作業前に液滴の吐出精度の把握が可能になる。したがって、実際にワークに対してヘッドから液滴を吐き出す実験を減らしたりあるいは無くしたりすることができ、製造および組立時の装置の調整期間を短縮できる。実際のワークに対して液滴を吐き出して実験する必要が無くなるので、高価な液滴を使用する量を減らすことができ、製品のコストダウンを図ることができる。
そして、このような座標精度を確認した後に電気光学装置を製造することにより、電気光学装置の製造におけるコストダウンを図ることができる。
As a result, it is possible to grasp the droplet ejection accuracy before the operation of ejecting droplets onto the workpiece by the head in advance. Therefore, it is possible to reduce or eliminate the experiment of actually ejecting droplets from the head to the work, and to shorten the adjustment period of the apparatus during manufacture and assembly. Since it is not necessary to expel droplets from an actual work and experiment, the amount of expensive droplets used can be reduced, and the cost of the product can be reduced.
Then, by manufacturing the electro-optical device after confirming such coordinate accuracy, it is possible to reduce the cost in manufacturing the electro-optical device.

上記目的は、第7の発明にあっては、液滴を吐き出すヘッドを第1操作部により第1移動軸に沿って移動させ、第2操作部によりワークを前記第1移動軸とは直交する第2移動軸に沿って移動させて前記ヘッドからテーブルにある前記ワークに対して前記液滴を与えるのに先立って座標の精度の確認を行うことで得られる電気光学装置であって、前記座標精度確認の際には、前記第1移動軸に沿って撮像素子を移動し、前記テーブルに保持されており前記第1移動軸と前記第2移動軸に沿って所定のピッチで配列された複数のマークからなるパターンを有している座標精度確認用部材を前記第2移動軸に沿って移動して、前記撮像素子により前記マークを撮像する撮像ステップと、前記撮像素子の移動と前記座標精度確認用部材を保持した前記テーブルの移動により、前記撮像素子から得られる撮像画像における前記マークの中心位置と、前記撮像画像内の対象との間の前記第1移動軸と前記第2移動軸に沿った誤差を得ることで座標精度を確認する精度確認ステップと、を行った後に製造されたことを特徴とする電気光学装置により、達成される。   According to the seventh aspect of the present invention, in the seventh invention, the head for discharging droplets is moved along the first movement axis by the first operation unit, and the workpiece is orthogonal to the first movement axis by the second operation unit. An electro-optical device obtained by checking the accuracy of coordinates prior to applying the droplets from the head to the work on the table by moving along a second movement axis, wherein the coordinates When checking accuracy, the image sensor is moved along the first movement axis, and is held by the table and is arranged at a predetermined pitch along the first movement axis and the second movement axis. An imaging step of moving a coordinate accuracy confirmation member having a pattern of marks along the second movement axis to image the mark by the imaging device, movement of the imaging device, and the coordinate accuracy Before holding the confirmation member By obtaining the error along the first movement axis and the second movement axis between the center position of the mark in the captured image obtained from the image sensor and the target in the captured image by moving the table. This is achieved by an electro-optical device manufactured after performing an accuracy checking step for checking the coordinate accuracy.

これにより、あらかじめヘッドによりワークに対して液滴を吐出する作業前に液滴の吐出精度の把握が可能になる。したがって、実際にワークに対してヘッドから液滴を吐き出す実験を減らしたりあるいは無くしたりすることができ、製造および組立時の装置の調整期間を短縮できる。実際のワークに対して液滴を吐き出して実験する必要が無くなるので、高価な液滴を使用する量を減らすことができ、製品のコストダウンを図ることができる。
そして、このような座標精度確認をした後に得られる電気光学装置は、コストダウンを図ることができる。
As a result, it is possible to grasp the droplet discharge accuracy before the operation of discharging droplets onto the workpiece by the head in advance. Therefore, it is possible to reduce or eliminate the experiment of actually ejecting droplets from the head to the work, and to shorten the adjustment period of the apparatus during manufacture and assembly. Since it is not necessary to expel droplets from an actual work and experiment, the amount of expensive droplets used can be reduced, and the cost of the product can be reduced.
The electro-optical device obtained after such coordinate accuracy confirmation can reduce the cost.

第8の発明は、第7の発明の前記電気光学装置を搭載した電子機器である。   An eighth invention is an electronic apparatus equipped with the electro-optical device according to the seventh invention.

以下、本発明の好適な実施の形態を図面を参照して説明する。
図1は、本発明の座標精度確認装置を有する液滴吐出装置の好ましい実施形態を示す平面図である。図1に示す液滴吐出装置10は、座標精度確認装置100を有している。この液滴吐出装置10は、描画システムとして用いることができる。この描画システムは、いわゆるフラットパネルディスプレイの一種であるたとえば有機EL(エレクトロルミネッセンス)装置の製造ラインに組み込まれるものである。この液滴吐出装置10は、有機EL装置の各画素となる発光素子を形成することができる。
Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a plan view showing a preferred embodiment of a droplet discharge device having a coordinate accuracy confirmation device of the present invention. A droplet discharge device 10 shown in FIG. 1 has a coordinate accuracy confirmation device 100. The droplet discharge device 10 can be used as a drawing system. This drawing system is incorporated in a production line of an organic EL (electroluminescence) device, which is a kind of so-called flat panel display. The droplet discharge device 10 can form a light emitting element to be each pixel of the organic EL device.

液滴吐出装置10は、たとえばインクジェット式描画装置として用いることができる。液滴吐出装置10は、有機EL装置の発光素子を液滴吐出法(インクジェット法)で形成するためのものである。液滴吐出装置10のヘッド(機能液滴吐出ヘッドとも言う)は、有機EL素子の発光素子を形成できる。具体的には、有機EL素子の製造工程において、バンク部形成工程およびプラズマ処理工程を経て、バンク部が形成された基板(ワークの一例)に対して、発光機能材料を導入したヘッドを相対的に走査することにより、液滴吐出装置10は、基板の画素電極の位置に対応して正孔注入/輸送層および発光層の成膜部を形成することができる。
液滴吐出装置10はたとえば2台用意することにより、1台目の液滴吐出装置10が正孔注入/輸送層を形成し、もう1台の液滴吐出装置10はR(赤),G(緑),B(青)の3色の発光層を形成することができる。
The droplet discharge device 10 can be used as, for example, an ink jet drawing device. The droplet discharge device 10 is for forming a light emitting element of an organic EL device by a droplet discharge method (inkjet method). The head of the droplet discharge device 10 (also referred to as a functional droplet discharge head) can form an organic EL element light emitting element. Specifically, in the manufacturing process of the organic EL element, the head in which the light emitting functional material is introduced is relative to the substrate (an example of a workpiece) on which the bank part is formed through the bank part forming process and the plasma processing process. By performing scanning in this manner, the droplet discharge device 10 can form the hole injection / transport layer and the light emitting layer film forming portion corresponding to the position of the pixel electrode on the substrate.
For example, by preparing two droplet discharge devices 10, the first droplet discharge device 10 forms a hole injection / transport layer, and the other droplet discharge device 10 has R (red), G Light emitting layers of three colors (green) and B (blue) can be formed.

図1の液滴吐出装置10はチャンバ12の中に収容されている。チャンバ12は別のチャンバ13を有している。このチャンバ13の中には、ワーク搬出入テーブル14を収容している。ワーク搬出入テーブル14は、ワークをチャンバ12内へ搬入したりあるいは処理後のワークをチャンバ12内のテーブル30の上から搬出するためのテーブルである。   The droplet discharge device 10 of FIG. 1 is accommodated in a chamber 12. The chamber 12 has another chamber 13. In the chamber 13, a work carry-in / out table 14 is accommodated. The workpiece carry-in / out table 14 is a table for carrying a workpiece into the chamber 12 or carrying out a processed workpiece from the table 30 in the chamber 12.

図1に示すチャンバ12の中にはヘッド11のメンテナンスを行うメンテナンス部15を収容している。またチャンバ12の外側には、回収部16を備えている。メンテナンス部15は、図示しないがフラッシングユニット、吸引ユニット、ワイピングユニット、吐出検査ユニットあるいは重量測定ユニット等を有している。フラッシングユニットは、ヘッド11から予備的に吐出された液滴を受けるためのものである。吸引ユニットは、ヘッド11のノズルプレート面からインクや気泡を吸引するためのものである。ワイピングユニットは、ノズルプレート面に付着する汚れをワイピング部材により払拭するためのものである。吐出検査ユニットは、ヘッド11から吐出される液滴の吐出状態を検査する。重量測定ユニットは、ヘッド11から吐出される液滴の重量を測定する。
回収部16は、たとえば液滴を回収する液滴回収系とワイピングの後に用いる洗浄用の溶剤を供給する洗浄液供給系を有している。
A maintenance unit 15 that performs maintenance of the head 11 is accommodated in the chamber 12 shown in FIG. A recovery unit 16 is provided outside the chamber 12. Although not shown, the maintenance unit 15 includes a flushing unit, a suction unit, a wiping unit, a discharge inspection unit, a weight measurement unit, and the like. The flushing unit is for receiving droplets preliminarily ejected from the head 11. The suction unit is for sucking ink and bubbles from the nozzle plate surface of the head 11. The wiping unit is for wiping off dirt adhering to the nozzle plate surface with a wiping member. The discharge inspection unit inspects the discharge state of the droplets discharged from the head 11. The weight measurement unit measures the weight of the droplets ejected from the head 11.
The recovery unit 16 includes, for example, a droplet recovery system that recovers droplets and a cleaning liquid supply system that supplies a cleaning solvent used after wiping.

チャンバ12とチャンバ13は、個別にエアー管理されており、チャンバ12とチャンバ13の中の雰囲気に変動が生じないようになっている。このようにチャンバ12とチャンバ13を用いるのは、たとえば有機EL素子を製造する場合には大気中の水分等を嫌うために大気の影響を排除できるようにするためである。チャンバ12とチャンバ13の中にはドライエアーを連続的に導入して排気することで、ドライエアー雰囲気を維持する。   The chamber 12 and the chamber 13 are individually air-controlled so that the atmosphere in the chamber 12 and the chamber 13 does not vary. The reason why the chamber 12 and the chamber 13 are used in this way is that, for example, in the case of manufacturing an organic EL element, the influence of the atmosphere can be eliminated because the moisture in the atmosphere is disliked. A dry air atmosphere is maintained by continuously introducing and exhausting dry air into the chamber 12 and the chamber 13.

次に、図1に示すチャンバ12内の構成要素について説明する。
チャンバ12の中には、フレーム20、ヘッド11、キャリッジ19、第1操作部21、第2操作部22、テーブル30、マスク40、撮像素子51、ガイド基台17を収容している。
図1のフレーム20はX軸方向に沿って水平に設けられている。ガイド基台17はY軸に沿って設けられている。フレーム20はガイド基台17の上方にある。X軸は第1移動軸に相当し、Y軸は第2移動軸に相当する。X軸とY軸は直交しており、Z軸に対しても直交している。Z軸は、図1において紙面垂直方向である。
座標精度確認装置100は、第1操作部21、第2操作部22、マスク40、撮像素子(カメラともいう)51および制御部200により構成されている。制御部200はチャンバ12の外に設けられている。
Next, components in the chamber 12 shown in FIG. 1 will be described.
In the chamber 12, a frame 20, a head 11, a carriage 19, a first operation unit 21, a second operation unit 22, a table 30, a mask 40, an image sensor 51, and a guide base 17 are accommodated.
The frame 20 in FIG. 1 is provided horizontally along the X-axis direction. The guide base 17 is provided along the Y axis. The frame 20 is above the guide base 17. The X axis corresponds to the first movement axis, and the Y axis corresponds to the second movement axis. The X axis and the Y axis are orthogonal to each other, and are also orthogonal to the Z axis. The Z axis is a direction perpendicular to the paper surface in FIG.
The coordinate accuracy confirmation apparatus 100 includes a first operation unit 21, a second operation unit 22, a mask 40, an image sensor (also referred to as a camera) 51, and a control unit 200. The control unit 200 is provided outside the chamber 12.

ここで、座標精度確認装置100の各構成要素について順次説明する。
第1操作部21は、フレーム20に沿ってキャリッジ19とヘッド11および撮像素子51を、X軸方向に沿って直線往復移動および位置決めするためのものである。
第2操作部22は、テーブル30を有している。このテーブル30は、図1に示すようなマスク40を着脱可能に搭載することもできるし、このマスク40に代えてワークを搭載することができる。この第2操作部22のテーブル30は、ヘッド11からワークに対して液滴を与える際に、ワークを保持する。そして第2操作部22は、ワークをY軸に沿ってガイド基台17上を直線移動して位置決めすることができる。
Here, each component of the coordinate accuracy confirmation apparatus 100 is demonstrated sequentially.
The first operation unit 21 is for linearly reciprocating and positioning the carriage 19, the head 11, and the image sensor 51 along the frame 20 along the X-axis direction.
The second operation unit 22 has a table 30. A mask 40 as shown in FIG. 1 can be detachably mounted on the table 30, and a workpiece can be mounted instead of the mask 40. The table 30 of the second operation unit 22 holds the workpiece when droplets are applied from the head 11 to the workpiece. And the 2nd operation part 22 can position a workpiece | work on the guide base 17 linearly along a Y-axis.

第1操作部21は、ヘッド11および撮像素子51をX軸方向に直線移動して位置決めするためのモータ21Aを有している。このモータ21Aは、たとえば送りねじを用いることにより、このヘッド11および撮像素子51をX軸方向に直線移動することができる。モータ21Aは、この回転型の電動モータであってもよいし、リニアモータであってもよい。   The first operation unit 21 includes a motor 21A for linearly moving the head 11 and the image sensor 51 in the X-axis direction for positioning. The motor 21A can linearly move the head 11 and the image sensor 51 in the X-axis direction by using, for example, a feed screw. The motor 21A may be a rotary electric motor or a linear motor.

第2操作部22のモータ22Aは、テーブル30をガイド基台17に沿ってY軸方向に直線移動して位置決め可能である。モータ22Aはたとえば送りねじを回転する回転型の電動モータを用いることができる。モータ22Aとしては回転型のモータの他にリニアモータを用いることも可能である。   The motor 22 </ b> A of the second operation unit 22 can position the table 30 by linearly moving the table 30 along the guide base 17 in the Y-axis direction. As the motor 22A, for example, a rotary electric motor that rotates a feed screw can be used. As the motor 22A, a linear motor can be used in addition to the rotary motor.

第2操作部22のテーブル30は、搭載面30Aを有している。この搭載面30Aは、図1のZ方向に垂直な面である。搭載面30Aは、吸着部30Bを有している。この吸着部30Bは、マスク40あるいはワークを真空吸着により吸着することができるものである。これによりマスク40またはワークは、搭載面30Aに対してずれることなく確実に着脱可能に固定することができる。   The table 30 of the second operation unit 22 has a mounting surface 30A. The mounting surface 30A is a surface perpendicular to the Z direction in FIG. The mounting surface 30A has a suction portion 30B. The suction portion 30B can suck the mask 40 or the workpiece by vacuum suction. Thereby, the mask 40 or a workpiece | work can be reliably fixed so that attachment or detachment is possible, without shifting | deviating with respect to the mounting surface 30A.

次に、図1と図2を参照して、マスク40について説明する。このマスク40は、座標精度確認用部材の一例である。
マスク40は、例えば長方形状のガラスマスクを用いることができる。マスク40は、パターン41を有している。このパターン41は、撮像素子51により撮像するための目標を有している。パターン41は、例えば図2に示すように、複数の基準線Lと複数の基準線Hから構成されている。基準線Lは、X軸に平行な方向に形成されている。基準線HはY軸方向に平行に形成されている。したがって複数の基準線Lと複数の基準線Hはマトリクス状に形成されている。図2で例示するように、基準線Lと基準線Hが交わる交差点は、目標の中心位置を示すマークMである。
これによって、マスク40には、複数のマークMがX軸とY軸に沿って複数個、等しいピッチで形成されている。したがって、このマークMは、図2における左上のマークMLから右上のマークMR、右下のマークMと、そして左下のマークMTまでの複数のマークを有していることになる。各マークMは撮像素子51により得る撮像画像内に入れる目標でもある。特にマークMの交差点は、目標の中心位置あるいは指令位置ともいう。
図2に示す基準線Lは、例えばマスク40の長辺部40Aに平行である。基準線Hはマスク40の短辺部40Bに平行である。
Next, the mask 40 will be described with reference to FIGS. 1 and 2. The mask 40 is an example of a coordinate accuracy confirmation member.
As the mask 40, for example, a rectangular glass mask can be used. The mask 40 has a pattern 41. This pattern 41 has a target for imaging by the image sensor 51. The pattern 41 is composed of a plurality of reference lines L and a plurality of reference lines H, for example, as shown in FIG. The reference line L is formed in a direction parallel to the X axis. The reference line H is formed in parallel with the Y-axis direction. Therefore, the plurality of reference lines L and the plurality of reference lines H are formed in a matrix. As illustrated in FIG. 2, the intersection where the reference line L and the reference line H intersect is a mark M indicating the center position of the target.
Accordingly, a plurality of marks M are formed on the mask 40 at equal pitches along the X axis and the Y axis. Therefore, this mark M has a plurality of marks from the upper left mark ML to the upper right mark MR, the lower right mark M, and the lower left mark MT in FIG. Each mark M is also a target to be included in a captured image obtained by the image sensor 51. In particular, the intersection of the mark M is also called a target center position or command position.
The reference line L shown in FIG. 2 is parallel to the long side portion 40A of the mask 40, for example. The reference line H is parallel to the short side portion 40B of the mask 40.

次に、図3と図4を参照して、キャリッジ19とヘッド11および撮像素子51の構造例について説明する。
図3はキャリッジ19とヘッド11および撮像素子51の周りの形状例を示す斜視図であり、図4は、図3のE方向から見た正面図の例である。
キャリッジ19は、図1に示すモータ21AによりX軸方向に移動して位置決め可能である。キャリッジ19はヘッドホルダ61を用いてヘッド11を着脱可能に保持している。
Next, referring to FIGS. 3 and 4, a structural example of the carriage 19, the head 11, and the image sensor 51 will be described.
3 is a perspective view showing an example of the shape around the carriage 19, the head 11, and the image sensor 51, and FIG. 4 is an example of a front view seen from the direction E in FIG.
The carriage 19 can be positioned by moving in the X-axis direction by a motor 21A shown in FIG. The carriage 19 detachably holds the head 11 using a head holder 61.

撮像素子51はたとえばキャリッジ19に対して保持されている。図3に示すモータ62が作動すると、ヘッドホルダ61、ヘッド11および撮像素子51のユニットがZ方向に沿って上下動して位置決め可能である。もう1つのモータ63が作動することにより、ヘッド11は、U軸を中心としてθ方向に回転可能になっている。   The image sensor 51 is held with respect to the carriage 19, for example. When the motor 62 shown in FIG. 3 operates, the units of the head holder 61, the head 11, and the image sensor 51 can be moved up and down along the Z direction and positioned. When the other motor 63 is operated, the head 11 is rotatable in the θ direction about the U axis.

図3に示すようにヘッド11はノズルプレート64を有している。ノズルプレート64は複数のノズル開口65を有している。ヘッド11は、図示しない機能液貯蔵部に接続されている。機能液貯蔵部の機能液は、ノズル開口65からたとえば圧電振動子の作動によりインクジェット式で吐出させることができるのである。図4に示すようにモータ62,63は制御部200により動作が制御される。
図3と図4では、撮像素子51はキャリッジ19に対して保持されている。しかしこれに限らず、撮像素子51はキャリッジ19以外の別軸の他の部分に保持することもできる。撮像素子51は、例えばCCD(電荷結合素子)カメラを用いることができる。
As shown in FIG. 3, the head 11 has a nozzle plate 64. The nozzle plate 64 has a plurality of nozzle openings 65. The head 11 is connected to a functional liquid storage unit (not shown). The functional liquid in the functional liquid storage unit can be ejected from the nozzle opening 65 by, for example, an ink jet method by operating a piezoelectric vibrator. As shown in FIG. 4, the operations of the motors 62 and 63 are controlled by the control unit 200.
3 and 4, the image sensor 51 is held with respect to the carriage 19. However, the present invention is not limited to this, and the image pickup device 51 can be held on another part of another axis other than the carriage 19. For example, a CCD (charge coupled device) camera can be used as the imaging device 51.

次に、図5と図6を参照しながら、本発明の液滴吐出装置の座標精度確認装置を用いて行う座標精度確認方法の好ましい実施形態について説明する。
図5は、撮像画像群Gの一例であり、図5に示すように撮像素子51の中心位置CPと、マークMの中心位置CMとの間の誤差(エラー)を用いることにより、装置におけるX・Y座標の精度確認を行う例である。
Next, referring to FIGS. 5 and 6, a preferred embodiment of a coordinate accuracy confirmation method performed using the coordinate accuracy confirmation device of the droplet discharge device of the present invention will be described.
FIG. 5 is an example of the captured image group G. As shown in FIG. 5, by using an error (error) between the center position CP of the image sensor 51 and the center position CM of the mark M, This is an example of checking the accuracy of the Y coordinate.

図5では、代表的に3つのマークM10,M11,M12が例示されている。
マークM10ないしマークM12は、それぞれ十字形状の中心位置CMを有している。これに対して、図5において破線で示すのは撮像素子51の中心位置CPである。撮像素子51の中心位置CPは、各撮像画像群Gにおける対象の一例である。図5において水平方向がX軸方向(第1移動軸)であり、垂直方向がY軸(第2移動軸)である。
このようなマークM10ないしマークM12の中心位置CM(目標)と、撮像素子51の中心位置CP(対象)を用いて、撮像素子51のX軸への移動と、マスク40のY軸への移動とにより、図2に示す制御部200は、撮像素子51から得られる撮像画像群Gにおけるマークの中心位置CMと撮像素子51の中心位置CPとの間におけるX軸に沿った誤差とY軸に沿った誤差を得る。これによって、制御部200は、あらかじめX軸とY軸に関する相対的な座標精度を確認するようになっている。
In FIG. 5, three marks M10, M11, and M12 are typically illustrated.
Each of the marks M10 to M12 has a cross-shaped center position CM. On the other hand, the center position CP of the image sensor 51 is indicated by a broken line in FIG. The center position CP of the image sensor 51 is an example of a target in each captured image group G. In FIG. 5, the horizontal direction is the X-axis direction (first movement axis), and the vertical direction is the Y-axis (second movement axis).
Using the center position CM (target) of the marks M10 to M12 and the center position CP (target) of the image sensor 51, the image sensor 51 moves to the X axis and the mask 40 moves to the Y axis. 2, the control unit 200 shown in FIG. 2 takes the error along the X axis and the Y axis between the mark center position CM and the center position CP of the image sensor 51 in the captured image group G obtained from the image sensor 51. Get the error along. Thus, the control unit 200 confirms the relative coordinate accuracy regarding the X axis and the Y axis in advance.

図6は、図5におけるマークの中心位置CMと撮像素子51の中心位置CPを用いて、XY座標系における機械的誤差計測を行う場合のフローの例を示している。
図6のマスク設定ステップST1は、図2に示すように、テーブル30の上にマスク40をセットする。
図1に示すようにマスク40がテーブル30に対してセットされる際には、吸着部30Bがマスク40の裏面に位置している。
図6のマスクのアライメントステップST2では、マスクのアライメントが自動的に行われる。つまりマスク40とテーブル軸であるY軸とを合わせる。その後マスク40は吸着によりテーブル30の搭載面30Aに固定される。
FIG. 6 shows an example of a flow in the case of performing mechanical error measurement in the XY coordinate system using the mark center position CM and the image sensor 51 center position CP in FIG.
In the mask setting step ST1 of FIG. 6, the mask 40 is set on the table 30 as shown in FIG.
As shown in FIG. 1, when the mask 40 is set on the table 30, the suction portion 30 </ b> B is located on the back surface of the mask 40.
In the mask alignment step ST2 of FIG. 6, mask alignment is automatically performed. That is, the mask 40 and the Y axis that is the table axis are aligned. Thereafter, the mask 40 is fixed to the mounting surface 30A of the table 30 by suction.

次に、図6のカメラ送りステップST3では、キャリッジ19とヘッド11とともに撮像素子51がX軸(キャリッジ軸とも言う)に沿って、パターン41のマークMの1ピッチ分送られる。例えば図5のマークM10に対して撮像素子51の中心位置CPが位置される。
図6の誤差検出ステップST4では、X軸(キャリッジ軸)上の撮像素子により、マークM10の中心位置CMを観測して、図5の撮像画像G1として取り込む。これによって、マークM10の中心位置CMと撮像素子51の中心位置CPとの間の誤差ΔX1,誤差ΔY1を検出する。誤差ΔX1は、X軸方向に沿った誤差であり、誤差ΔY1はY軸方向に沿った誤差である。
Next, in the camera feeding step ST3 of FIG. 6, the image pickup device 51 is fed by one pitch of the mark M of the pattern 41 along the X axis (also referred to as the carriage axis) together with the carriage 19 and the head 11. For example, the center position CP of the image sensor 51 is positioned with respect to the mark M10 in FIG.
In the error detection step ST4 of FIG. 6, the center position CM of the mark M10 is observed by the image sensor on the X axis (carriage axis) and is captured as the captured image G1 of FIG. Thereby, an error ΔX1 and an error ΔY1 between the center position CM of the mark M10 and the center position CP of the image sensor 51 are detected. The error ΔX1 is an error along the X-axis direction, and the error ΔY1 is an error along the Y-axis direction.

次に、図6のカメラ送りステップST5では、さらに、キャリッジ19とともに撮像素子51を次のマークM11側に1ピッチ分送る。これによって、図6に示す誤差検出ステップST6では、X軸上の撮像素子がマークM11の中心位置CMを観測して撮像画像G2として取り込む。これによって、マークM11の中心位置CMと撮像素子51の中心位置CPとの間に誤差ΔX2と誤差ΔY2を得る。   Next, in the camera feeding step ST5 of FIG. 6, the image pickup device 51 is further fed by one pitch to the next mark M11 side together with the carriage 19. Thereby, in the error detection step ST6 shown in FIG. 6, the image sensor on the X axis observes the center position CM of the mark M11 and captures it as a captured image G2. Thereby, an error ΔX2 and an error ΔY2 are obtained between the center position CM of the mark M11 and the center position CP of the image sensor 51.

図6においてステップST7では検出作業が終了かどうかを判断する。検出作業が終了していない場合には、カメラ送りステップST5に移り、さらにキャリッジとともに撮像素子51がパターン41の次のマークM12に対して1ピッチ分送られる。
これによって、誤差検出ステップST6では撮像素子がマークM12の中心位置CMを観測して撮像画像G3を得る。これによって、マークM12の中心位置CMと撮像素子51の中心位置CPとの誤差ΔX3と誤差ΔY3を得る。
In FIG. 6, in step ST7, it is determined whether or not the detection work is finished. If the detection operation has not been completed, the process proceeds to camera feeding step ST5, and the image pickup device 51 is fed by one pitch to the next mark M12 of the pattern 41 together with the carriage.
Accordingly, in the error detection step ST6, the imaging element observes the center position CM of the mark M12 to obtain a captured image G3. Thus, an error ΔX3 and an error ΔY3 between the center position CM of the mark M12 and the center position CP of the image sensor 51 are obtained.

図6のステップST7において検出作業が終了した場合には座標精度確認作業を終了する。
このようにして、図2に示すキャリッジ19とヘッド11とともに撮像素子51がX軸方向に移動しながら、複数のマークの中心位置CMと撮像素子51の中心位置CPとの間のX軸に沿った誤差ΔXとY軸に沿った誤差ΔYを取得することで、座標の精度をあらかじめ確認することができる。
If the detection operation is completed in step ST7 of FIG. 6, the coordinate accuracy confirmation operation is terminated.
In this way, the image sensor 51 moves in the X axis direction together with the carriage 19 and the head 11 shown in FIG. 2, and moves along the X axis between the center position CM of the plurality of marks and the center position CP of the image sensor 51. By acquiring the error ΔX and the error ΔY along the Y axis, the accuracy of the coordinates can be confirmed in advance.

この場合に、キャリッジ19とヘッド11とともに撮像素子51がX軸方向にマークの1ピッチ分ずつ移動するとともに、マスク40がY軸に沿ってマークの1ピッチ分ずつ移動するようにすれば、図2に示す左上のマークMLから右下のMの全てのマークに対して、座標の精度確認を行うことができる。
しかし、これに代えて全てのマークに対して座標確認を行うのではなくマスク40の一部のマークに対して座標位置確認を行うようにしても勿論構わない。
In this case, if the image pickup device 51 moves together with the carriage 19 and the head 11 by one mark pitch in the X-axis direction, and the mask 40 moves by one mark pitch along the Y-axis, FIG. The accuracy of coordinates can be checked for all the marks M from the upper left mark ML shown in FIG.
However, instead of this, it is of course possible to confirm the coordinate position for some marks of the mask 40 instead of confirming the coordinates for all the marks.

次に、図7と図8を参照しながら、本発明の座標精度確認方法のさらに別の実施形態について説明する。
図7は撮像画像群Fを示しており、例えば8つの目標としてのマークM20〜マークM27までを示している。
図7の実施形態では、図2に示すヘッド11のノズル開口から精度確認の対象となるインク滴(液滴の一例)を、実際にマスク40の上に吐き出して形成することにより、座標精度を確認する方法である。
図7の例では、例えば隣接する4つのマークM20,M21,M24,M25が用いられ、M20,M21,M24,M25から仮想的に検出する中心位置CPを、制御部200が撮像素子51の撮像画像F1から得る。図7ではこの中心位置CPは破線で示している。このように隣接する4つのマークMを用いて破線で示す仮想の中心位置CPを利用するのは、もしマークMの上にインク滴が着弾すると、インク滴とそのマークMとの誤差が確認しにくくなるからである。このため、仮想の中心位置CPを用いている。
これに対してインク滴1000はこの中心位置CPの付近に吐き出されることで着弾する。
Next, still another embodiment of the coordinate accuracy confirmation method of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 7 shows a captured image group F, for example, eight marks M20 to M27 as targets.
In the embodiment shown in FIG. 7, the ink droplet (an example of a droplet) whose accuracy is to be confirmed is actually ejected from the nozzle opening of the head 11 shown in FIG. It is a method to confirm.
In the example of FIG. 7, for example, four adjacent marks M20, M21, M24, and M25 are used, and the control unit 200 captures the center position CP virtually detected from M20, M21, M24, and M25. Obtained from image F1. In FIG. 7, the center position CP is indicated by a broken line. The use of the virtual center position CP indicated by the broken line by using the four adjacent marks M in this way confirms an error between the ink droplet and the mark M if the ink droplet lands on the mark M. This is because it becomes difficult. For this reason, a virtual center position CP is used.
On the other hand, the ink droplet 1000 is landed by being ejected in the vicinity of the center position CP.

同様の要領で、次の撮像画像F2では、隣接する4つのマークM21,M22,M25,M26の中心位置にも4つの中心位置CPが検出されている。さらに次の撮像画像F3では、隣接するマークM22,M23,M26,M27の中心にも仮想の中心位置CPが得られている。これらの中心位置CPに対しても、インク滴1001,1002がそれぞれ着弾している。各インク滴1000,1001,1002は、撮像画像群Fにおける対象の一例である。
このようなインク滴1000を着弾して座標精度を確認する方法について、図8を参照しながら説明する。
In the same manner, in the next captured image F2, four center positions CP are also detected at the center positions of the four adjacent marks M21, M22, M25, and M26. Further, in the next captured image F3, a virtual center position CP is also obtained at the center of the adjacent marks M22, M23, M26, and M27. The ink droplets 1001 and 1002 land on these center positions CP, respectively. Each ink droplet 1000, 1001, 1002 is an example of a target in the captured image group F.
A method of confirming the coordinate accuracy by landing the ink droplet 1000 will be described with reference to FIG.

図8のマスク設定ステップST0では、図2に示すように、テーブル30の上にマスク40をセットする。
図1に示すようにマスク40がテーブル30に対してセットされる際には、吸着部30Bがマスク40の裏面に位置される。
図8のマスクのアライメントステップST1では、マスクのアライメントが自動的に行われる。つまりマスク40とテーブル軸であるY軸とを合わせる。その後マスク40は吸着によりテーブル30の搭載面30Aに固定される。
In the mask setting step ST0 of FIG. 8, the mask 40 is set on the table 30 as shown in FIG.
As shown in FIG. 1, when the mask 40 is set on the table 30, the suction portion 30 </ b> B is positioned on the back surface of the mask 40.
In the mask alignment step ST1 of FIG. 8, mask alignment is automatically performed. That is, the mask 40 and the Y axis that is the table axis are aligned. Thereafter, the mask 40 is fixed to the mounting surface 30A of the table 30 by suction.

次に、図8の液滴吐出ステップST2では、例えば図2に示すパターン41の各マークMの全エリア内に液滴吐出(印字)を行う。
ただし液滴であるインク滴の吐出は、全エリアでなくても一部エリアであっても勿論構わない。
このようにインク滴がパターン41の各マークMの領域に対応して吐き出される場合には、図2に示すヘッド11がキャリッジ19とともにX軸に1ピッチずつ移動し、しかも必要に応じてテーブル30がY軸に沿ってやはり1ピッチずつ移動することにより行われる。
Next, in the droplet discharge step ST2 of FIG. 8, for example, droplet discharge (printing) is performed in the entire area of each mark M of the pattern 41 shown in FIG.
However, the ejection of ink droplets, which are droplets, may of course be in a partial area or not in a whole area.
When ink droplets are ejected corresponding to the areas of the marks M of the pattern 41 in this way, the head 11 shown in FIG. 2 moves with the carriage 19 one pitch at a time along the X axis and, if necessary, the table 30. Is performed by moving one pitch at a time along the Y axis.

次に、図8のカメラ送りステップST3に移る。
カメラ送りステップST3では、キャリッジ19とヘッド11とともに撮像素子51がX軸(キャリッジ軸)に沿ってパターン41のマークの1ピッチ分ずつ送られる。例えば図7に示すように、撮像素子51は、誤差検出ステップST4において4つのマークM20,M21,M24,M25の仮想の中心位置CP(目標)と、インク滴1000(対象)を観測する。これによって、インク滴1000の中心位置と中心位置CPとの間に生じている誤差ΔX1,ΔY1を検出する。誤差ΔX1はX軸方向の誤差であり、誤差ΔY1はY軸方向の誤差である。
Next, the process proceeds to the camera feed step ST3 in FIG.
In the camera feed step ST3, the image pickup device 51 is fed by one pitch of the mark of the pattern 41 along the X axis (carriage axis) together with the carriage 19 and the head 11. For example, as shown in FIG. 7, the image sensor 51 observes the virtual center position CP (target) of the four marks M20, M21, M24, and M25 and the ink droplet 1000 (target) in the error detection step ST4. As a result, errors ΔX1 and ΔY1 occurring between the center position of the ink droplet 1000 and the center position CP are detected. The error ΔX1 is an error in the X-axis direction, and the error ΔY1 is an error in the Y-axis direction.

カメラ送りステップST5では、さらにキャリッジ19とヘッド11とともに撮像素子51が次のマークに向けて1ピッチ分送られる。このカメラ送りステップST5により撮像素子が1ピッチ分送られると、撮像素子51は4つのマークM21,M22,M25,M26により得られる仮想の中心位置CP(目標)とインク滴1001(対象)の撮像画像を得る。
誤差検出ステップST6では、撮像素子が、中心位置CPとインク滴1001の中心位置との間の誤差ΔX2と誤差ΔY2を得る。
In the camera feeding step ST5, the image pickup device 51 is further fed by one pitch toward the next mark together with the carriage 19 and the head 11. When the image pickup device is fed by one pitch in this camera sending step ST5, the image pickup device 51 picks up the virtual center position CP (target) and ink droplet 1001 (target) obtained by the four marks M21, M22, M25, and M26. Get an image.
In the error detection step ST6, the imaging device obtains an error ΔX2 and an error ΔY2 between the center position CP and the center position of the ink droplet 1001.

図8のステップST7で検出作業が終了したかどうかを判断する。検出作業を終了していない場合には、カメラ送りステップST5に移り、図7に示すようにさらにキャリッジ19とヘッド11と撮像素子51は次のマークに1ピッチ分だけ送られる。これによって、撮像素子は誤差検出ステップST6において、次の位置にある中心位置CPとインク滴1002の撮像画像を得る。これにより、制御部200は、誤差ΔX3と誤差ΔY3を得る。
このようにして、例えば図2に示すパターン41の全領域にわたって行った後に、座標精度確認作業が終了する。
In step ST7 of FIG. 8, it is determined whether or not the detection work has been completed. If the detection operation has not been completed, the process proceeds to the camera feed step ST5, and the carriage 19, the head 11 and the image sensor 51 are further fed by one pitch to the next mark as shown in FIG. Thereby, the image sensor obtains a captured image of the center position CP and the ink droplet 1002 at the next position in the error detection step ST6. Thereby, the control unit 200 obtains the error ΔX3 and the error ΔY3.
In this way, for example, after the entire area of the pattern 41 shown in FIG.

以上のようにして、本発明の実施形態では、図2の制御部200は、撮像素子のX軸への移動とマスクのY軸への移動により、中心位置CPとインク滴の中心位置を撮像画像により得ることができる。これによって、マークの中心位置CPに対するX軸に沿った誤差ΔXと、Y軸に沿った誤差ΔYと、を得ることで、装置の製造と組立と作業に先立って、XY座標系の座標精度の確認を確実に行うことができる。   As described above, in the embodiment of the present invention, the control unit 200 in FIG. 2 images the center position CP and the center position of the ink droplets by moving the image sensor to the X axis and moving the mask to the Y axis. It can be obtained from an image. Accordingly, by obtaining an error ΔX along the X axis and an error ΔY along the Y axis with respect to the mark center position CP, the coordinate accuracy of the XY coordinate system can be improved prior to the manufacture, assembly, and work of the apparatus. Confirmation can be performed reliably.

本発明の別の実施形態について説明する。
図9に示す実施形態が、図2に示す実施形態と異なるのは、撮像素子51の設けられている箇所である。
この撮像素子51は、図2の実施形態ではヘッド11とともにキャリッジ19に固定されている。これに対して図9に示す実施形態では撮像素子51は、キャリッジ19とは別軸、すなわち別部材の搭載部材170に設けられている。この搭載部材170は、キャリッジ19とは別の部材であり、モータ21Aの作動によりX軸方向に移動して位置決め可能である。このように撮像素子51を別部材である搭載部材170に搭載しても勿論構わない。図9に示す他の構成要素は、図2に示す対応する構成要素と同じであるのでその符号を記してその説明を用いる。
Another embodiment of the present invention will be described.
The embodiment shown in FIG. 9 differs from the embodiment shown in FIG. 2 in the location where the image sensor 51 is provided.
In the embodiment of FIG. 2, the image sensor 51 is fixed to the carriage 19 together with the head 11. On the other hand, in the embodiment shown in FIG. 9, the image sensor 51 is provided on a different shaft from the carriage 19, that is, on a mounting member 170 that is a separate member. The mounting member 170 is a member different from the carriage 19 and can be positioned by moving in the X-axis direction by the operation of the motor 21A. Of course, the imaging element 51 may be mounted on the mounting member 170, which is a separate member. The other constituent elements shown in FIG. 9 are the same as the corresponding constituent elements shown in FIG.

図5と図6に示す本発明の座標精度確認方法では、テーブル上にマスクがセットされて、X軸上に移動する撮像素子が撮像素子の中心位置とマスクのパターンの中心位置(目標:指令位置)との位置ずれを誤差ΔX,ΔYとして計測して、制御部が位置精度を確認する。これによって、液滴吐出装置のX軸とY軸との相対的な位置精度の確認を確実に行うことができる。これによって、高額なインクでの印字実験を減らせるかもしくは無くすことができ、事前に装置の精度確認ができるので、装置を製作する期間を短くすることができる。このことから、装置のコスト削減が図れる。   In the coordinate accuracy checking method of the present invention shown in FIGS. 5 and 6, the mask is set on the table, and the image sensor that moves on the X axis is the center position of the image sensor and the center position of the mask pattern (target: command The positional deviation from the position) is measured as errors ΔX and ΔY, and the control unit confirms the position accuracy. Thereby, confirmation of the relative positional accuracy between the X axis and the Y axis of the droplet discharge device can be reliably performed. As a result, printing experiments with expensive ink can be reduced or eliminated, and the accuracy of the apparatus can be confirmed in advance, so that the period for manufacturing the apparatus can be shortened. As a result, the cost of the apparatus can be reduced.

また、図7と図8に示す別の座標精度確認方法の実施形態では、テーブル上にマスクがセットされて、このマスク上に対してインク(液滴の一例)を吐き出して着弾させる。これによってパターンのマスクの中心位置(目標:指令位置)と吐出物であるインク滴(対象)の中心位置の位置ずれを撮像素子が取り込んで、制御部がその印字精度を確認することができる。キャリッジ軸であるX軸に沿って撮像素子を移動させ、テーブル軸であるY軸に沿ってマスクを移動させることにより、撮像素子はパターンの中心位置と吐出物であるインク滴の中心位置との位置ずれを計測することで、印字精度をあらかじめ確認することができる。これによって、液滴吐出装置のX軸とY軸との相対的な位置精度の確認を確実に行うことができる。これによって、高額なインクでの印字実験を減らせるかもしくは無くすことができ、事前に装置の精度確認ができるので、装置を製作する期間を短くすることができる。このことから、装置のコスト削減が図れる。   Further, in another embodiment of the coordinate accuracy confirmation method shown in FIGS. 7 and 8, a mask is set on a table, and ink (an example of a droplet) is ejected and landed on the mask. As a result, the image sensor captures the positional deviation between the center position (target: command position) of the pattern mask and the center position of the ink droplet (target) as the ejected material, and the control unit can confirm the printing accuracy. By moving the image sensor along the X axis, which is the carriage axis, and moving the mask along the Y axis, which is the table axis, the image sensor moves between the center position of the pattern and the center position of the ink droplets that are ejected matter. By measuring the positional deviation, the printing accuracy can be confirmed in advance. Thereby, confirmation of the relative positional accuracy between the X axis and the Y axis of the droplet discharge device can be reliably performed. As a result, printing experiments with expensive ink can be reduced or eliminated, and the accuracy of the apparatus can be confirmed in advance, so that the period for manufacturing the apparatus can be shortened. As a result, the cost of the apparatus can be reduced.

上述したいずれの実施形態においても、撮像素子はヘッドとともにキャリッジに搭載する例の他に、キャリッジとは他の部材に搭載することができる。ヘッドがマスク上に印字することで印字する時のヘッドの傾き(例えば図3のθ方向の傾きと水平方向の傾きを含む)に関係なく、ヘッドはマスク上に印字をして印字精度を確認することができる。マスクのパターンの全ての印字範囲内の印字を行うことにより、パターンの全ての範囲内での印字精度が確認できる。
なお、図7のようにインク滴1000〜1002を印字したマスク40は、テーブルから外して他の計測機器を用いて、インク滴の中心位置とマークの中心位置との誤差を計測しても勿論よい。
In any of the above-described embodiments, in addition to the example in which the imaging element is mounted on the carriage together with the head, the imaging element can be mounted on another member. Regardless of the inclination of the head when it is printed on the mask (including the inclination in the θ direction and the inclination in the horizontal direction in Fig. 3), the head prints on the mask and confirms the printing accuracy. can do. By performing printing within the entire printing range of the mask pattern, it is possible to confirm the printing accuracy within the entire pattern range.
It should be noted that the mask 40 on which the ink droplets 1000 to 1002 are printed as shown in FIG. 7 may be removed from the table and the error between the center position of the ink droplet and the center position of the mark may be measured using another measuring device. Good.

インク滴がマスク上に着弾した状態で、インク滴の中心位置とマークの中心位置との間の誤差により、液滴吐出装置の印字精度の把握があらかじめ可能である。このために実際にワークに対して印字する実験を減らすことができ、液滴吐出装置の調整期間を短縮することができる。このために製品のコストダウンが図れる。
実際に液滴吐出装置におけるXY座標系の相対的な位置調整は、上述したように座標精度を確認した結果に基づいて行う。
With the ink droplets landed on the mask, the printing accuracy of the droplet discharge device can be grasped in advance by the error between the center position of the ink droplet and the center position of the mark. For this reason, it is possible to reduce the number of experiments for actually printing on the workpiece, and to shorten the adjustment period of the droplet discharge device. For this reason, the cost of the product can be reduced.
Actually, the relative position adjustment of the XY coordinate system in the droplet discharge device is performed based on the result of confirming the coordinate accuracy as described above.

本発明の座標精度確認装置を有する液滴吐出装置の実施形態は、電気光学装置(デバイス)を製造するのに用いることができる。この電気光学装置(デバイス)としては液晶表示装置、有機EL(Electro−Luminescence)装置、電子放出装置、PDP(Plasma Display Panel)装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるFED(Field Emission Display)装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する各種装置が考えられる。   The embodiment of the liquid droplet ejection apparatus having the coordinate accuracy confirmation apparatus of the present invention can be used to manufacture an electro-optical device (device). Examples of the electro-optical device include a liquid crystal display device, an organic EL (Electro-Luminescence) device, an electron emission device, a PDP (Plasma Display Panel) device, an electrophoretic display device, and the like. The electron emission device is a concept including a so-called FED (Field Emission Display) device. Further, as the electro-optical device, various devices including metal wiring formation, lens formation, resist formation, and light diffuser formation are conceivable.

図10は、本発明の液滴吐出装置を描画装置として用いて、フラットパネルディスプレイの一種類である有機EL装置の製造に用いる場合の有機EL装置の構造例を示している。有機EL装置701は、基板711、回路素子部721、画素電極731、バンク部741、発光素子751、陰極761(対向電極)、および封止用基板771から構成された有機EL素子702に対して、フレキシブル基板(図示省略)の配線および駆動IC(図示省略)を接続したものである。   FIG. 10 shows an example of the structure of an organic EL device when the droplet discharge device of the present invention is used as a drawing device for manufacturing an organic EL device which is a kind of flat panel display. The organic EL device 701 is provided for an organic EL element 702 including a substrate 711, a circuit element portion 721, a pixel electrode 731, a bank portion 741, a light emitting element 751, a cathode 761 (counter electrode), and a sealing substrate 771. A wiring of a flexible substrate (not shown) and a driving IC (not shown) are connected.

有機EL素子702の基板711上には、回路素子部721が形成され、回路素子部721上には、複数の画素電極731が整列している。そして、各画素電極731間には、バンク部741が格子状に形成されており、バンク部741により生じた凹部開口744に、発光素子751が形成されている。バンク部741および発光素子751の上部全面には、陰極761が形成され、陰極761の上には、封止用基板771が積層されている。   A circuit element portion 721 is formed on the substrate 711 of the organic EL element 702, and a plurality of pixel electrodes 731 are aligned on the circuit element portion 721. Bank portions 741 are formed in a lattice pattern between the pixel electrodes 731, and light emitting elements 751 are formed in the recess openings 744 generated by the bank portions 741. A cathode 761 is formed on the entire upper surface of the bank portion 741 and the light emitting element 751, and a sealing substrate 771 is laminated on the cathode 761.

有機EL素子702の製造プロセスは、バンク部741を形成するバンク部形成工程と、発光素子751を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子751を形成する発光素子形成工程と、陰極761を形成する対向電極形成工程と、封止用基板771を陰極761上に積層して封止する封止工程とを備えている。
すなわち、有機EL素子702は、予め回路素子部721および画素電極731が形成された基板711(ワークW)の所定位置にバンク部741を形成した後、プラズマ処理、発光素子751および陰極761(対向電極)の形成を順に行い、さらに、封止用基板771を陰極761上に積層して封止することにより製造される。なお、有機EL素子702は、大気中の水分等の影響を受けて劣化しやすいため、有機EL素子702の製造は、ドライエアーまたは不活性ガス(窒素、アルゴン、ヘリウム等)雰囲気で行うことが好ましい。
A manufacturing process of the organic EL element 702 includes a bank part forming process for forming the bank part 741, a plasma treatment process for appropriately forming the light emitting element 751, a light emitting element forming process for forming the light emitting element 751, and a cathode 761. And a sealing step in which a sealing substrate 771 is stacked on the cathode 761 and sealed.
That is, the organic EL element 702 is formed by forming the bank portion 741 at a predetermined position on the substrate 711 (work W) on which the circuit element portion 721 and the pixel electrode 731 are formed in advance, and then performing plasma treatment, the light emitting element 751 and the cathode 761 (opposing Electrode) are sequentially formed, and further, a sealing substrate 771 is laminated on the cathode 761 and sealed. Note that the organic EL element 702 is easily deteriorated by the influence of moisture in the atmosphere, and therefore, the organic EL element 702 is manufactured in a dry air or inert gas (nitrogen, argon, helium, etc.) atmosphere. preferable.

また、各発光素子751は、正孔注入/輸送層752およびR(赤)・G(緑)・B(青)のいずれかの色に着色された発光層753から成る成膜部で構成されており、発光素子形成工程には、正孔注入/輸送層752を形成する正孔注入/輸送層形成工程と、3色の発光層753を形成する発光層形成工程と、が含まれている。
有機EL装置701は、有機EL素子702を製造した後、有機EL素子702の陰極761にフレキシブル基板の配線を接続するとともに、駆動ICに回路素子部721の配線を接続することにより製造される。
Each light emitting element 751 includes a hole injection / transport layer 752 and a film forming portion including a light emitting layer 753 colored in any one color of R (red), G (green), and B (blue). The light emitting element forming step includes a hole injecting / transporting layer forming step for forming the hole injecting / transporting layer 752 and a light emitting layer forming step for forming the three-color light emitting layer 753. .
The organic EL device 701 is manufactured by manufacturing the organic EL element 702 and then connecting the wiring of the flexible substrate to the cathode 761 of the organic EL element 702 and connecting the wiring of the circuit element unit 721 to the driving IC.

次に、本発明の実施形態の液滴吐出装置10を液晶表示装置の製造に適用した場合について説明する。
図11は、液晶表示装置801の断面構造を表している。液晶表示装置801は、カラーフィルタ802と、対向基板803と、カラーフィルタ802と対向基板803との間に封入された液晶組成物804と、バックライト(図示省略)と、で構成されている。対向基板803の内側の面には、画素電極805と、TFT(薄膜トランジスタ)素子(図示省略)とがマトリクス状に形成されている。画素電極805に対向する位置に、カラーフィルタ802の赤、緑、青の着色層813が配列するようになっている。カラーフィルタ802および対向基板803のそれぞれ内側の面には、液晶分子を一定方向に配列させる配向膜806が形成されており、カラーフィルタ802および対向基板803のそれぞれ外側の面には、偏光板807が接着されている。
Next, the case where the droplet discharge device 10 according to the embodiment of the present invention is applied to the manufacture of a liquid crystal display device will be described.
FIG. 11 shows a cross-sectional structure of the liquid crystal display device 801. The liquid crystal display device 801 includes a color filter 802, a counter substrate 803, a liquid crystal composition 804 sealed between the color filter 802 and the counter substrate 803, and a backlight (not shown). On the inner surface of the counter substrate 803, pixel electrodes 805 and TFT (thin film transistor) elements (not shown) are formed in a matrix. Red, green, and blue colored layers 813 of the color filter 802 are arranged at positions facing the pixel electrode 805. An alignment film 806 for aligning liquid crystal molecules in a certain direction is formed on the inner surfaces of the color filter 802 and the counter substrate 803, and a polarizing plate 807 is formed on the outer surfaces of the color filter 802 and the counter substrate 803. Is glued.

カラーフィルタ802は、透光性の透明基板811と、透明基板811上にマトリクス状に並んだ多数の画素(フィルタエレメント)812と、画素812上に形成された着色層813と、各画素812を仕切る遮光性の仕切り814と、を備えている。着色層813および仕切り814の上面には、オーバーコート層815および電極層816が形成されている。   The color filter 802 includes a translucent transparent substrate 811, a large number of pixels (filter elements) 812 arranged in a matrix on the transparent substrate 811, a colored layer 813 formed on the pixels 812, and each pixel 812. A light-shielding partition 814 for partitioning. An overcoat layer 815 and an electrode layer 816 are formed on the top surfaces of the colored layer 813 and the partition 814.

液晶表示装置801の製造方法について説明すると、先ず、透明基板811に仕切り814を作り込んだ後、画素812部分にR(赤)・G(緑)・B(青)の着色層813を形成する。そして、透明アクリル樹脂塗料とスピンコートしてオーバーコート層815を形成し、さらに、ITO(Indium Tin Oxide)から成る電極層816を形成して、カラーフィルタ802を作成する。   A manufacturing method of the liquid crystal display device 801 will be described. First, a partition 814 is formed in the transparent substrate 811, and then a colored layer 813 of R (red), G (green), and B (blue) is formed in the pixel 812 portion. . Then, an overcoat layer 815 is formed by spin coating with a transparent acrylic resin paint, and an electrode layer 816 made of ITO (Indium Tin Oxide) is further formed to form a color filter 802.

対向基板803には、画素電極805とTFT素子を作り込んでおく。次に、作成したカラーフィルタ802および画素電極805が形成された対向基板803に配向膜806の塗布を行った後、これらを貼り合わせる。そして、カラーフィルタ802および対向基板803との間に液晶組成物804を封入した後、偏光板807およびバックライトを積層する。   A pixel electrode 805 and a TFT element are formed in the counter substrate 803. Next, after applying the alignment film 806 to the counter substrate 803 on which the color filter 802 and the pixel electrode 805 are formed, they are bonded to each other. Then, after the liquid crystal composition 804 is sealed between the color filter 802 and the counter substrate 803, a polarizing plate 807 and a backlight are stacked.

本発明の液滴吐出装置の実施形態は、上記カラーフィルタのフィルタエレメント(R(赤)・G(緑)・B(青)の着色層813)の形成に用いることができる。また、画素電極805に対応する液体材料を用いることにより、画素電極805の形成にも用いることが可能である。
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の他、プレパラート形成を包含する装置が考えられる。上記した液滴吐出装置を各種の電気光学装置(デバイス)の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
Embodiments of the droplet discharge device of the present invention can be used to form the filter elements (R (red), G (green), and B (blue) colored layers 813) of the color filter. Further, by using a liquid material corresponding to the pixel electrode 805, the pixel electrode 805 can be used.
In addition, as other electro-optical devices, devices including preparation of a preparation in addition to metal wiring formation, lens formation, resist formation, and light diffuser formation are conceivable. Various electro-optical devices can be efficiently manufactured by using the above-described droplet discharge device for manufacturing various electro-optical devices (devices).

本発明の電子機器は、上記電気光学装置を搭載している。この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。   The electronic apparatus of the present invention is equipped with the electro-optical device. In this case, the electronic apparatus corresponds to various electric products in addition to a mobile phone and a personal computer equipped with a so-called flat panel display.

図12は、電子機器の一例である携帯電話1000の形状例を示している。携帯電話1000は、本体部1001と表示部1002を有している。表示部1002は、上述したような電気光学装置であるたとえば有機EL装置701や液晶表示装置801を用いている。   FIG. 12 shows a shape example of a mobile phone 1000 which is an example of an electronic device. A cellular phone 1000 includes a main body portion 1001 and a display portion 1002. The display unit 1002 uses, for example, an organic EL device 701 or a liquid crystal display device 801 which is an electro-optical device as described above.

図13は、電子機器の他の例であるコンピュータ1100を示している。コンピュータ1100は本体部1101と表示部1102を有している。表示部1102は、上述したような電気光学装置の一例である有機EL装置701や液晶表示装置801を使用することができる。   FIG. 13 illustrates a computer 1100 that is another example of the electronic apparatus. A computer 1100 includes a main body portion 1101 and a display portion 1102. The display unit 1102 can use the organic EL device 701 and the liquid crystal display device 801 which are examples of the electro-optical device as described above.

本発明の実施形態は、あらかじめヘッドによりワークに対して液滴を吐出する作業前に、液滴の吐出精度の把握が可能になる。したがって、実際にワークに対してヘッドから液滴を吐き出す実験を減らしたりあるいは無くしたりすることができ、装置の調整期間を短縮できる。実際のワークに対して液滴を吐き出して実験する必要が無くなるので、高価な液滴を使用する量を減らすことができ、製品のコストダウンを図ることができる。
マークの中心位置(目標)と撮像素子の中心位置(対象)との間の誤差を撮像素子から得ることにより、確実に座標精度を確認することができる。
ヘッドが座標精度確認用部材の上に試験的に液滴を吐き出すだけで、液滴の中心位置(対象)とマークの中心位置(目標)との間の誤差により座標精度を確実に得ることができる。
According to the embodiment of the present invention, it is possible to grasp the droplet discharge accuracy before the operation of discharging a droplet onto a work by the head in advance. Therefore, it is possible to reduce or eliminate experiments for actually ejecting droplets from the head to the workpiece, and to shorten the adjustment period of the apparatus. Since it is not necessary to expel droplets from an actual workpiece and experiment, the amount of expensive droplets used can be reduced, and the cost of the product can be reduced.
By obtaining an error between the center position (target) of the mark and the center position (target) of the image sensor from the image sensor, the coordinate accuracy can be reliably confirmed.
By simply ejecting droplets experimentally onto the coordinate accuracy confirmation member, the coordinate accuracy can be reliably obtained by the error between the center position (target) of the droplet and the center position (target) of the mark. it can.

本発明は、上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。さらに、上述の各実施形態は、相互に組み合わせて構成するようにしてもよい。   The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the claims. Furthermore, the above-described embodiments may be combined with each other.

本発明の液滴吐出装置の好ましい実施形態を示す平面図。The top view which shows preferable embodiment of the droplet discharge apparatus of this invention. 図1の液滴吐出装置の座標精度確認装置を示す平面図。The top view which shows the coordinate accuracy confirmation apparatus of the droplet discharge apparatus of FIG. キャリッジ、ヘッドおよび撮像素子の形状例を示す斜視図。The perspective view which shows the example of a shape of a carriage, a head, and an image pick-up element. キャリッジ、ヘッドおよび撮像素子を示す正面図。The front view which shows a carriage, a head, and an image pick-up element. 本発明の座標精度確認方法の好ましい実施形態を行うためのマスクの一部分を示す図。The figure which shows a part of mask for performing preferable embodiment of the coordinate accuracy confirmation method of this invention. 図5の座標精度確認方法を行うためのフロー図。FIG. 6 is a flowchart for performing the coordinate accuracy confirmation method of FIG. 5. 本発明の座標精度確認方法の別の実施形態を行うためのマスクの一部分を示す図。The figure which shows a part of mask for performing another embodiment of the coordinate accuracy confirmation method of this invention. 図7の座標精度確認方法を行うためのフロー図。The flowchart for performing the coordinate accuracy confirmation method of FIG. 本発明の別の実施形態を示す平面図。The top view which shows another embodiment of this invention. 本発明の液滴吐出装置により製造される有機EL装置の形状例を示す断面図。Sectional drawing which shows the example of a shape of the organic electroluminescent apparatus manufactured with the droplet discharge apparatus of this invention. 本発明の液滴吐出装置により製造される液晶表示装置の構造例を示す断面図。Sectional drawing which shows the structural example of the liquid crystal display device manufactured with the droplet discharge apparatus of this invention. 本発明の実施形態により製造された表示装置を備える電子機器の一例である携帯電話を示す斜視図。The perspective view which shows the mobile telephone which is an example of an electronic device provided with the display apparatus manufactured by embodiment of this invention. 電子機器の別の例であるコンピュータを示す斜視図。The perspective view which shows the computer which is another example of an electronic device.

符号の説明Explanation of symbols

10・・・液滴吐出装置、21・・・第1操作部、22・・・第2操作部、30・・・テーブル、40・・・マスク、41・・・パターン、51・・・撮像素子、M・・・マーク、CM・・・マークの中心位置、CP・・・撮像素子の中心位置、X軸・・・第1移動軸、Y軸・・・第2移動軸、100・・・座標精度確認装置、200・・・制御部   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Droplet discharge apparatus, 21 ... 1st operation part, 22 ... 2nd operation part, 30 ... Table, 40 ... Mask, 41 ... Pattern, 51 ... Imaging Element, M ... mark, CM ... Mark center position, CP ... Image sensor center position, X axis ... First movement axis, Y axis ... Second movement axis, 100 ... .Coordinate accuracy confirmation device, 200 ... control unit

Claims (8)

液滴をワークに吐出する際の座標精度を確認するための座標精度確認装置を有する液滴吐出装置であって、
前記座標精度確認装置は、
液滴を吐き出すヘッドを第1移動軸に沿って移動させる第1操作部と、
前記ヘッドからワークに対して前記液滴を与える際に前記ワークを保持するためのテーブルを有しており、前記テーブルを前記第1移動軸とは直交する第2移動軸に沿って移動させる第2操作部と、
前記テーブルに保持される座標精度確認用部材であって、前記第1移動軸と前記第2移動軸に沿って所定のピッチで配列された複数のマークからなるパターンを有している前記座標精度確認用部材と、
前記第1移動軸に沿って移動する撮像素子であって、前記テーブルに保持された前記座標精度確認用部材の前記マークを撮像する前記撮像素子と、
前記撮像素子の移動と前記座標精度確認用部材を保持した前記テーブルの移動により、前記撮像素子から得られる撮像画像における前記マークの中心位置と、前記撮像画像内の対象との間の前記第1移動軸と前記第2移動軸に沿った誤差を得ることで座標精度を確認する制御部と、を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
A droplet discharge device having a coordinate accuracy confirmation device for confirming the coordinate accuracy when discharging a droplet onto a workpiece,
The coordinate accuracy confirmation device
A first operation unit that moves a head for discharging droplets along a first movement axis;
A table for holding the work when the liquid droplets are applied from the head to the work, and the table is moved along a second movement axis perpendicular to the first movement axis; 2 operation units;
A coordinate accuracy confirmation member held on the table, the coordinate accuracy having a pattern composed of a plurality of marks arranged at a predetermined pitch along the first movement axis and the second movement axis. A confirmation member;
An image sensor that moves along the first movement axis, the image sensor that images the mark of the coordinate accuracy confirmation member held by the table;
The first position between the center position of the mark in the captured image obtained from the image sensor and the target in the captured image by the movement of the image sensor and the table holding the coordinate accuracy confirmation member. A droplet discharge apparatus comprising: a movement axis; and a control unit that confirms coordinate accuracy by obtaining an error along the second movement axis.
前記制御部は、前記マークの中心位置と、前記対象としての前記撮像素子の中心位置との間の誤差により前記座標精度を確認することを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置。   2. The droplet discharge device according to claim 1, wherein the control unit confirms the coordinate accuracy based on an error between a center position of the mark and a center position of the imaging element as the target. 前記制御部は、前記マークから得られる中心位置と、前記ヘッドが前記座標精度確認用部材の上に吐き出した前記対象としての前記液滴の中心位置との間の誤差により前記座標精度を確認することを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置。   The control unit confirms the coordinate accuracy based on an error between a center position obtained from the mark and a center position of the droplet as the target ejected by the head onto the coordinate accuracy confirmation member. The droplet discharge device according to claim 1. 前記撮像素子は、前記ヘッドの搭載されているキャリッジとは別の部位に搭載されていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の液滴吐出装置。   4. The droplet discharge device according to claim 2, wherein the imaging element is mounted on a part different from a carriage on which the head is mounted. 5. 液滴を吐き出すヘッドを第1操作部により第1移動軸に沿って移動させ、第2操作部によりワークを前記第1移動軸とは直交する第2移動軸に沿って移動させて前記ヘッドからテーブルにある前記ワークに対して前記液滴を与えるのに先立って行う座標精度確認方法であって、
前記第1移動軸に沿って撮像素子を移動し、前記テーブルに保持されており前記第1移動軸と前記第2移動軸に沿って所定のピッチで配列された複数のマークからなるパターンを有している座標精度確認用部材を前記第2移動軸に沿って移動して、前記撮像素子により前記マークを撮像する撮像ステップと、
前記撮像素子の移動と前記座標精度確認用部材を保持した前記テーブルの移動により、前記撮像素子から得られる撮像画像における前記マークの中心位置と、前記撮像画像内の対象との間の前記第1移動軸と前記第2移動軸に沿った誤差を得ることで座標精度を確認する精度確認ステップと、を有することを特徴とする座標精度確認方法。
The head for discharging droplets is moved along the first movement axis by the first operation unit, and the workpiece is moved along the second movement axis perpendicular to the first movement axis by the second operation unit. A coordinate accuracy confirmation method that is performed prior to applying the droplet to the workpiece on a table,
The image sensor is moved along the first movement axis, and is held on the table, and has a pattern composed of a plurality of marks arranged at a predetermined pitch along the first movement axis and the second movement axis. An imaging step of moving the coordinate accuracy confirmation member along the second movement axis and imaging the mark by the imaging element;
The first position between the center position of the mark in the captured image obtained from the image sensor and the target in the captured image by the movement of the image sensor and the table holding the coordinate accuracy confirmation member. A coordinate accuracy confirmation method comprising: an accuracy confirmation step of confirming the coordinate accuracy by obtaining an error along the movement axis and the second movement axis.
液滴を吐き出すヘッドを第1操作部により第1移動軸に沿って移動させ、第2操作部によりワークを前記第1移動軸とは直交する第2移動軸に沿って移動させて前記ヘッドからテーブルにある前記ワークに対して前記液滴を与えて電気光学装置を製造するのに先立って座標精度の確認を行う電気光学装置の製造方法であって、
前記座標精度確認の際には、
前記第1移動軸に沿って撮像素子を移動し、前記テーブルに保持されており前記第1移動軸と前記第2移動軸に沿って所定のピッチで配列された複数のマークからなるパターンを有している座標精度確認用部材を前記第2移動軸に沿って移動して、前記撮像素子により前記マークを撮像する撮像ステップと、
前記撮像素子の移動と前記座標精度確認用部材を保持した前記テーブルの移動により、前記撮像素子から得られる撮像画像における前記マークの中心位置と、前記撮像画像内の対象との間の前記第1移動軸と前記第2移動軸に沿った誤差を得ることで座標精度を確認する精度確認ステップと、を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
The head for discharging droplets is moved along the first movement axis by the first operation unit, and the workpiece is moved along the second movement axis perpendicular to the first movement axis by the second operation unit. An electro-optical device manufacturing method for confirming coordinate accuracy prior to manufacturing an electro-optical device by applying the droplets to the workpiece on a table,
When checking the coordinate accuracy,
The image sensor is moved along the first movement axis, and is held on the table, and has a pattern composed of a plurality of marks arranged at a predetermined pitch along the first movement axis and the second movement axis. An imaging step of moving the coordinate accuracy confirmation member along the second movement axis and imaging the mark by the imaging element;
The first position between the center position of the mark in the captured image obtained from the image sensor and the object in the captured image by the movement of the image sensor and the table holding the coordinate accuracy confirmation member. A method for manufacturing an electro-optical device, comprising: an accuracy check step of checking a coordinate accuracy by obtaining an error along a moving axis and the second moving axis.
液滴を吐き出すヘッドを第1操作部により第1移動軸に沿って移動させ、第2操作部によりワークを前記第1移動軸とは直交する第2移動軸に沿って移動させて前記ヘッドからテーブルにある前記ワークに対して前記液滴を与えるのに先立って座標の精度の確認を行うことで得られる電気光学装置であって、
前記座標精度確認の際には、
前記第1移動軸に沿って撮像素子を移動し、前記テーブルに保持されており前記第1移動軸と前記第2移動軸に沿って所定のピッチで配列された複数のマークからなるパターンを有している座標精度確認用部材を前記第2移動軸に沿って移動して、前記撮像素子により前記マークを撮像する撮像ステップと、
前記撮像素子の移動と前記座標精度確認用部材を保持した前記テーブルの移動により、前記撮像素子から得られる撮像画像における前記マークの中心位置と、前記撮像画像内の対象との間の前記第1移動軸と前記第2移動軸に沿った誤差を得ることで座標精度を確認する精度確認ステップと、を行った後に製造されたことを特徴とする電気光学装置。
The head for discharging droplets is moved along the first movement axis by the first operation unit, and the workpiece is moved along the second movement axis perpendicular to the first movement axis by the second operation unit. An electro-optical device obtained by confirming the accuracy of coordinates prior to applying the droplet to the workpiece on a table,
When checking the coordinate accuracy,
The image sensor is moved along the first movement axis, and is held on the table, and has a pattern composed of a plurality of marks arranged at a predetermined pitch along the first movement axis and the second movement axis. An imaging step of moving the coordinate accuracy confirmation member along the second movement axis and imaging the mark by the imaging element;
The first position between the center position of the mark in the captured image obtained from the image sensor and the object in the captured image by the movement of the image sensor and the table holding the coordinate accuracy confirmation member. An electro-optical device manufactured after performing an accuracy check step of checking a coordinate accuracy by obtaining an error along a moving axis and the second moving axis.
請求項7に記載の前記電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 7.
JP2004087621A 2004-03-24 2004-03-24 Coordinate accuracy confirmation method and electro-optic device manufacturing method Active JP4604533B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004087621A JP4604533B2 (en) 2004-03-24 2004-03-24 Coordinate accuracy confirmation method and electro-optic device manufacturing method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004087621A JP4604533B2 (en) 2004-03-24 2004-03-24 Coordinate accuracy confirmation method and electro-optic device manufacturing method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005270800A true JP2005270800A (en) 2005-10-06
JP4604533B2 JP4604533B2 (en) 2011-01-05

Family

ID=35171016

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004087621A Active JP4604533B2 (en) 2004-03-24 2004-03-24 Coordinate accuracy confirmation method and electro-optic device manufacturing method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4604533B2 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005270799A (en) * 2004-03-24 2005-10-06 Seiko Epson Corp Droplet discharge apparatus having coordinate adjustment device, coordinate adjustment method, method of manufacturing electro-optic device, electro-optic device, and electronic device
KR101129193B1 (en) * 2009-12-01 2012-03-26 주식회사 탑 엔지니어링 Method for controlling paste dispenser
WO2019054457A1 (en) * 2017-09-15 2019-03-21 Ntn株式会社 Substrate observation device, application apparatus, and positioning method

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01261886A (en) * 1988-04-12 1989-10-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Thick film drawing method
JPH0886913A (en) * 1994-09-20 1996-04-02 Asahi Glass Co Ltd Forming method for color filter and ink-jet plotting device
WO2003022592A1 (en) * 2001-09-10 2003-03-20 Seiko Epson Corporation Inkjet deposition apparatus and method
JP2003165080A (en) * 2001-11-28 2003-06-10 Sanyo Electric Co Ltd Method and device for teaching positional off-set of component recognition camera
JP2003251257A (en) * 2002-03-07 2003-09-09 Toray Ind Inc Coating apparatus, coating method and apparatus and method of manufacturing plasma display member
JP2003303544A (en) * 2002-04-08 2003-10-24 Lg Electronics Inc Manufacturing device for display panel of ink jet type, and its manufacturing method

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01261886A (en) * 1988-04-12 1989-10-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Thick film drawing method
JPH0886913A (en) * 1994-09-20 1996-04-02 Asahi Glass Co Ltd Forming method for color filter and ink-jet plotting device
WO2003022592A1 (en) * 2001-09-10 2003-03-20 Seiko Epson Corporation Inkjet deposition apparatus and method
JP2003165080A (en) * 2001-11-28 2003-06-10 Sanyo Electric Co Ltd Method and device for teaching positional off-set of component recognition camera
JP2003251257A (en) * 2002-03-07 2003-09-09 Toray Ind Inc Coating apparatus, coating method and apparatus and method of manufacturing plasma display member
JP2003303544A (en) * 2002-04-08 2003-10-24 Lg Electronics Inc Manufacturing device for display panel of ink jet type, and its manufacturing method

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005270799A (en) * 2004-03-24 2005-10-06 Seiko Epson Corp Droplet discharge apparatus having coordinate adjustment device, coordinate adjustment method, method of manufacturing electro-optic device, electro-optic device, and electronic device
JP4534546B2 (en) * 2004-03-24 2010-09-01 セイコーエプソン株式会社 Droplet ejection device, position adjustment method, and electro-optic device manufacturing method
KR101129193B1 (en) * 2009-12-01 2012-03-26 주식회사 탑 엔지니어링 Method for controlling paste dispenser
WO2019054457A1 (en) * 2017-09-15 2019-03-21 Ntn株式会社 Substrate observation device, application apparatus, and positioning method

Also Published As

Publication number Publication date
JP4604533B2 (en) 2011-01-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4029895B2 (en) Droplet ejection device, droplet ejection method, electro-optic device manufacturing method, electro-optic device, and electronic apparatus
JP2006075687A (en) Droplet discharge apparatus, method of cleaning head, method of manufacturing electrooptical device, electro-optical device and electronic equipment
US20050046656A1 (en) Method of recognizing image of nozzle hole and method of correcting position of liquid droplet ejection head using the same: method of inspecting nozzle hole; apparatus for recognizing image of nozzle hole and liquid droplet ejection apparatus equipped with the same; method of manufacturing electro-optical device; electro-optical device; and electronic equipment
KR20080113116A (en) Defect repairing device, defect repairing method, program and computer readable recording medium
JP4539316B2 (en) Head position correction method, head position correction apparatus, droplet discharge apparatus, and electro-optical device manufacturing method
KR20070095744A (en) Liquid droplet spraying examination apparatus, liquid droplet spraying apparatus and manufacturing method of coated body
WO2007129634A1 (en) Droplet applying apparatus
US8033240B2 (en) Apparatus for ejecting liquid droplet, work to be applied thereto, method of manufacturing electro-optic device, electro-optic device, and electronic equipment
JP2004141758A (en) Method of correcting dot position of droplet discharge device, alignment mask, droplet discharge method, electro-optical device and its production method, and an electronic equipment
JP2008225246A (en) Droplet discharge device, manufacturing method of electro-optical device, electro-optical device and electronic equipment
JP4604533B2 (en) Coordinate accuracy confirmation method and electro-optic device manufacturing method
JP2006044059A (en) Method for correcting droplet impact position of droplet jetting apparatus, droplet jetting apparatus, method for manufacturing electro-optic apparatus, electro-optic apparatus and electronic instrument
JPH11248925A (en) Device and method for manufacturing filter
JP2006198509A (en) Liquid droplet ejection apparatus, wiping method of head in liquid droplet ejection apparatus, production method for electro-optical apparatus, electro-optical apparatus and electronic equipment
JP4534546B2 (en) Droplet ejection device, position adjustment method, and electro-optic device manufacturing method
JP2006212500A (en) Liquid drop delivery apparatus, delivery performance maintaining method of nozzle in liquid drop delivery apparatus, production method for electric optical apparatus, electric optical apparatus and electronic equipment
JP4352758B2 (en) Droplet discharge device
JP2006021104A (en) Apparatus for discharging liquid droplet
JP2005288412A (en) Apparatus and method for discharging droplet
JP2006198508A (en) Liquid droplet ejection apparatus, work excitation method in liquid droplet ejection apparatus, production method for electro-optical apparatus, electro-optical apparatus and electronic equipment
JP2005305269A (en) Droplet discharge apparatus, method of cleaning head, method of manufacturing electro-optic device, electro-optic device and electronic apparatus
JP2006136794A (en) Liquid droplet discharge device, suction method for discharge liquid in liquid droplet discharge device, manufacturing method for electrooptical device, electrooptical device and electronic device
JP2007130597A (en) Method and apparatus for inspecting landing position from liquid droplet ejection head, method of manufacturing electro-optical device, electro-optical device and electronic equipment
JP3928456B2 (en) Droplet discharge apparatus, liquid material filling method thereof, device manufacturing apparatus, device manufacturing method, and device
JP2006136793A (en) Liquid droplet discharge device, suction method for discharge liquid in liquid droplet discharge device, manufacturing method for electrooptical device, electrooptical device and electronic device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070130

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20070403

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090827

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20091027

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091222

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100622

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100820

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100907

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100920

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4604533

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131015

Year of fee payment: 3

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250