JP2005266632A - 光スイッチ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、一方から入射された光信号を途中で2つに分岐して出射する光導波路が形成され、分岐する部分でキャリア注入による屈折率変化により光信号の伝送経路を切り換える光スイッチに改良を加えたものである。本光スイッチは、光信号が伝搬されるコア層またはこのコア層を含む光導波路層内に量子井戸構造を挿入したことを特徴とするものである。
【選択図】 図2
Description
光スイッチが”OFF”の場合、電極3(電極9)および電極4(電極10)には電流が供給されない。このため、図6に示す”X字状”の光導波路2の交差部分の屈折率の変化は生じないため、例えば、図6中”PI01”に示す入射端から入射した光信号は交差部分を直進して図6中”PO01”に示す出射端から出射される。
一方から入射された光信号を途中で2つに分岐して出射する光導波路が形成され、前記分岐する部分でキャリア注入による屈折率変化により光信号の伝送経路を切り換える光スイッチにおいて、
前記光信号が伝搬されるコア層またはこのコア層を含む光導波路層内に量子井戸構造を挿入したことを特徴とするものである。
光導波路層は、前記光導波路を伝搬する伝搬光が閉じ込められる領域であることを特徴とするものである。
請求項3記載の発明は、請求項1または2記載の発明において、
前記光導波路がスラブ型の光導波路であることを特徴とするものである。
前記量子井戸構造でキャリアが消滅するときの発光再結合によって発生する光の波長が、前記光信号の波長と異なることを特徴とするものである。
請求項5記載の発明は、請求項1〜4のいずれかに記載の発明において、
前記量子井戸構造でキャリアが消滅するときの発光再結合によって発生する光を除去する波長選択フィルタを設けたことを特徴とするものである。
前記光導波路は、2本の直線の光導波路が交差したことを特徴とするものである。
請求項7記載の発明は、請求項1〜5のいずれかに記載の発明において、
前記光導波路は、1本の直線の光導波路の途中から異なる角度で分岐する光導波路を有することを特徴とするものである。
請求項1〜7によれば、光信号の伝送経路の切り替えが行われる部分のコア層またはこのコア層を含む光導波路層内にバンドギャップが狭い量子井戸構造を挿入するので、この量子井戸構造による発光キャリア再結合でキャリア寿命を短くすることができる。これにより、光スイッチの光応答速度を高速化できる。
量子井戸構造でキャリアが消滅するときの発光再結合によって発生する光の波長を、光スイッチに入射される光信号の波長と異なるようにするので、量子井戸構造が挿入されたことによる光吸収の増加を低減することができる。
波長選択フィルタが、量子井戸構造でキャリアが消滅するときの発光再結合によって発生する光を除去するので、発光キャリア再結合で発生した光の影響を容易に遮断することができる。
図1は、本発明に係る光スイッチの一実施例を示す平面図である。また、図2は、本発明に係る光スイッチの一実施例を示す断面図である。
図1において半導体の基板30上には、”X字状”の光導波路31が形成される。電極32は、”X字状”の光導波路31の交差部分(光信号を分岐する部分であり、光スイッチ部とも呼ばれる)に形成される。
基板33上にInP層34、下部クラッド層35を結晶成長させる。そして、平坦な下部クラッド層35内で、p側電極40(厳密には、コンタクト層38とp側電極40が接触している部分)の直下以外の部分、すなわち、図2中”DR41”および”DR42”に示す部分にはp型不純物であるZnが選択拡散されて電流狭窄構造を形成する。
光スイッチが”OFF”の場合、電極32(図2中のp側電極40に相当する。)および基板30裏面の図示しないn側電極(図2中のn側電極41に相当する。)には電流が供給されない。
コア層36に量子井戸構造を挿入できるキャリア注入方式の光スイッチには、本発明を適用することができる。例えば、従来例2、3の構成の光スイッチに本発明を適用してもよい。
31 光導波路
35 下部クラッド層
36 コア層
36a バリア層
36b 量子井戸層
37 上部クラッド層
Claims (7)
- 一方から入射された光信号を途中で2つに分岐して出射する光導波路が形成され、前記分岐する部分でキャリア注入による屈折率変化により光信号の伝送経路を切り換える光スイッチにおいて、
前記光信号が伝搬されるコア層またはこのコア層を含む光導波路層内に量子井戸構造を挿入したことを特徴とする光スイッチ。 - 光導波路層は、前記光導波路を伝搬する伝搬光が閉じ込められる領域であることを特徴とする請求項1記載の光スイッチ。
- 前記光導波路がスラブ型の光導波路であることを特徴とする請求項1または2記載の光スイッチ。
- 前記量子井戸構造でキャリアが消滅するときの発光再結合によって発生する光の波長が、前記光信号の波長と異なることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の光スイッチ
- 前記量子井戸構造でキャリアが消滅するときの発光再結合によって発生する光を除去する波長選択フィルタを設けたことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の光スイッチ。
- 前記光導波路は、2本の直線の光導波路が交差したことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の光スイッチ。
- 前記光導波路は、1本の直線の光導波路の途中から異なる角度で分岐する光導波路を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の光スイッチ。
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