JP2005228913A5 - - Google Patents

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  1. Fe及びCoの少なくとも一方と、Pd及びPtの少なくとも一方とを主成分とする薄膜にNb、Al、Cr及びMoから選ばれる少なくとも1種のイオンを局所的に注入した後に熱処理することを特徴とする磁性膜の形成方法。
  2. 前記熱処理後のNb、Al、Cr及びMoから選ばれる少なくとも1種のイオンが注入されていない部分が、CuAuI型規則構造であることを特徴とする請求項1に記載の磁性膜の形成方法。
  3. 前記薄膜が、前記Fe及びCoの少なくとも一方を主成分とする膜と、前記Pd及びPtの少なくとも一方を主成分とする膜とを積層した薄膜であることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁性膜の形成方法。
  4. 前記薄膜が、前記Fe及びCoの少なくとも一方と前記Pd及びPtの少なくとも一方とが膜厚方向において組成が変調した組成変調膜であることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁性膜の形成方法。
  5. Fe及びCoの少なくとも一方と、Pd及びPtの少なくとも一方とを主成分とする薄膜の所定の箇所にマスクを用いてNb、Al、Cr及びMoから選ばれる少なくとも1種のイオンを注入した後に熱処理することを特徴とする磁性パターンの形成方法。
  6. 非磁性基板と、当該非磁性基板上に設けられる磁性膜とを少なくとも有する磁気記録媒体の製造方法であって、
    前記磁性膜が、Fe及びCoの少なくとも一方と、Pd及びPtの少なくとも一方とを主成分とする薄膜にNb、Al、Cr及びMoから選ばれる少なくとも1種のイオンを局所的に注入した後に熱処理してなることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
  7. 前記Nb、Al、Cr及びMoから選ばれる少なくとも1種のイオンの局所的な注入がマスクを用いて行われることを特徴とする請求項6に記載の磁気記録媒体の製造方法。
  8. 1−x (FはFe及びCoの少なくとも一方であり、MはPd及びPtの少なくとも一方であり、xは原子比で0.3以上、0.65以下である。)を主成分とする磁性膜であって、当該磁性膜が、Nb、Al、Cr及びMoから選ばれる少なくとも1種を有する低保磁力部分と、それらを有さない高保磁力部分とを有する磁性パターンを備えることを特徴とする磁性膜。
  9. 前記低保磁力部分が、2.5原子%〜20原子%の範囲のNb、2.5原子%〜10原子%の範囲のAl、2.5原子%〜10原子%の範囲のCr及び2.5原子%〜10原子%の範囲のMoから選ばれる少なくとも1種を有する、請求項8に記載の磁性膜。
  10. 前記高保磁力部分がCuAl型規則構造である、請求項8又は9に記載の磁性膜。
  11. 非磁性基板と、当該非磁性基板上に設けられる磁性膜とを少なくとも有する磁気記録媒体であって、前記磁性膜が、請求項8〜10のいずれかに記載の磁性膜であることを特徴とする磁気記録媒体。
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