JP2005209975A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 下層配線1の上に、第1の絶縁膜2および第2の絶縁膜3を形成する。第2の絶縁膜3は、第1の絶縁膜2とのエッチング選択比が大きく且つ多孔質の低誘電率材料からなる膜である。次に、第2の絶縁膜3の表面をCMP法により研磨する。これにより、空孔密度の大きい第2の絶縁膜の上側部分を除去することができるので、後に形成する第3の絶縁膜との密着力を向上させて、これらの膜の界面に剥離が発生するのを防ぐことが可能となる。研磨の代わりに、第2の絶縁膜3の表面をドライエッチングしてもよい。
【選択図】 図2
Description
2 第1の絶縁膜
3 第2の絶縁膜
4 第3の絶縁膜
5 レジスト膜
6 開口部
7 配線溝
8 バリアメタル膜
9 シードCu膜
10 Cu層
11 溝配線
Claims (8)
- 多孔質の低誘電率材料からなる層間絶縁膜と、該層間絶縁膜上に形成された他の絶縁膜と、前記層間絶縁膜および前記他の絶縁膜に形成される溝に埋め込まれた銅配線とを有する半導体装置であって、
前記層間絶縁膜は、前記他の絶縁膜との界面から前記層間絶縁膜の膜厚の略2分の1の深さまでの領域における平均空孔率が20%〜80%の範囲内にあることを特徴とする半導体装置。 - 多孔質の低誘電率材料からなる層間絶縁膜と、該層間絶縁膜上に形成された他の絶縁膜と、前記層間絶縁膜および前記他の絶縁膜に形成される溝に埋め込まれた銅配線とを有する半導体装置であって、
前記層間絶縁膜の膜厚は100nm〜200nmの範囲内にあり、
前記層間絶縁膜は、前記他の絶縁膜との界面から深さ50nmまでの領域における平均空孔率が20%〜80%の範囲内にあることを特徴とする半導体装置。 - 前記平均空孔率のばらつきは±10%以内である請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記他の絶縁膜は、SiO2、SiOC膜、SiCN膜およびSiN膜よりなる群から選ばれるいずれか1の膜である請求項1〜3のいずれか1に記載の半導体装置。
- 多層配線構造を有する半導体装置の製造方法において、
半導体基板上に形成された下層配線の上に第1の絶縁膜を形成する工程と、
前記第1の絶縁膜の上に、前記第1の絶縁膜とのエッチング選択比が大きく且つ多孔質の低誘電率材料からなる第2の絶縁膜を形成する工程と、
前記第2の絶縁膜の表面をCMP法により研磨する工程と、
前記研磨後の第2の絶縁膜の上に第3の絶縁膜を形成する工程と、
前記第3の絶縁膜の上に、所定のパターンを有するレジスト膜を形成する工程と、
前記レジスト膜をマスクとして、前記第3の絶縁膜および前記第2の絶縁膜に第1のドライエッチングを行い、前記第1の絶縁膜に至る開口部を形成する工程と、
前記レジスト膜を除去する工程と、
前記第3の絶縁膜をマスクとして前記第1の絶縁膜に第2のドライエッチングを行い、前記下層配線に至る配線溝を形成する工程と、
前記配線溝を埋設するように銅層を形成する工程と、
前記配線溝内にのみ前記銅層を残すようにCMP法を用いて表面を平坦化し、前記下層配線に電気的に接続する溝配線を形成する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第2の絶縁膜に対する研磨量は20nm以上である請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- 多層配線構造を有する半導体装置の製造方法において、
半導体基板上に形成された下層配線の上に第1の絶縁膜を形成する工程と、
前記第1の絶縁膜の上に、前記第1の絶縁膜とのエッチング選択比が大きく且つ多孔質の低誘電率材料からなる第2の絶縁膜を形成する工程と、
前記第2の絶縁膜の表面に第1のドライエッチングを行う工程と、
前記第1のドライエッチング後の第2の絶縁膜の上に第3の絶縁膜を形成する工程と、
前記第3の絶縁膜の上に、所定のパターンを有するレジスト膜を形成する工程と、
前記レジスト膜をマスクとして、前記第3の絶縁膜および前記第2の絶縁膜に第2のドライエッチングを行い、前記第1の絶縁膜に至る開口部を形成する工程と、
前記レジスト膜を除去する工程と、
前記第3の絶縁膜をマスクとして前記第1の絶縁膜に第3のドライエッチングを行い、前記下層配線に至る配線溝を形成する工程と、
前記配線溝を埋設するように銅層を形成する工程と、
前記配線溝内にのみ前記銅層を残すようにCMP法を用いて表面を平坦化し、前記下層配線に電気的に接続する溝配線を形成する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1のドライエッチングにおけるエッチング量は20nm以上である請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
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JP2002009078A (ja) * | 2000-05-15 | 2002-01-11 | Asm Microchemistry Oy | 交互層蒸着前の保護層 |
JP2002026121A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-25 | Tokyo Electron Ltd | 半導体装置およびその製造方法、絶縁膜の形成方法 |
JP2003141956A (ja) * | 2001-05-23 | 2003-05-16 | Shipley Co Llc | 多孔性物質 |
JP2003258095A (ja) * | 2002-03-06 | 2003-09-12 | Sony Corp | 基台上の絶縁膜およびその製造方法 |
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