JP2005189626A

JP2005189626A - 空間光変調器及び空間光変調方法

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Publication number: JP2005189626A
Application number: JP2003432478A
Authority: JP
Inventors: Takuya Tsukagoshi; 拓哉塚越; Jiro Yoshinari; 次郎吉成; Eimei Miura; 栄明三浦; Tetsuo Mizushima; 哲郎水島
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2003-12-26
Filing date: 2003-12-26
Publication date: 2005-07-14
Anticipated expiration: 2023-12-26
Also published as: JP4407279B2

Abstract

【課題】迷光の発生を未然に防止することができる上に、光の利用効率を飛躍的に高めることができる空間光変調器及び空間光変調方法を提供する。
【解決手段】空間光変調器１２は、入射光を所定の方向に偏向し、出射するためのマイクロミラーＭ１〜Ｍ６と、このマイクロミラーＭ１〜Ｍ６からの出射光が入射されるマイクロレンズＬ１〜Ｌ６からなるピクセルを複数有している。又、マイクロミラーＭ１〜Ｍ６は、入射光を偏向し、同一ピクセルのマイクロレンズに出射するＯＮピクセルＭ１、Ｍ５と、入射光を偏向し、同一ピクセルのマイクロレンズ外に出射するＯＦＦピクセルＭ２，Ｍ３、Ｍ４、Ｍ６によって構成されている。そして、ＯＦＦピクセルに入射される入射光ＬＢ１を、ＯＮピクセルＭ１、Ｍ５に対応するマイクロレンズＬ１、Ｌ５に出射可能とした。
【選択図】図２

Description

本発明は、入射光を画像信号等の情報に応じて変調し、所定の方向に出射するようにした空間光変調器及び空間光変調方法に関する。

従来、入射光を画像信号等の情報に応じて変調し、所定の方向に出射するようにした空間光変調器（ＳＬＭ）が広く知られている（例えば、特許文献１参照。）。

例えば、図１１に示されるホログラフィック記録再生装置１００の光路上には、従来公知のＳＬＭ１０２が配設されている。このホログラフィック記録再生装置１００では、レーザ光源１０４から出射されたレーザ光ＬＢ０が、ビームエキスパンダ１０６によって拡大された後、ミラー１０８を介して偏光ビームスプリッタ１１０に入射され、この偏光ビームスプリッタ１１０によって物体光（Ｐ偏光）ＬＢ１と参照光（Ｓ偏光）ＬＢ２に分離される。

物体光ＬＢ１は、偏光ビームスプリッタ１１２及び１／４波長板１１４を介してＳＬＭ１０２に入射され、変調された後、フーリエレンズ１１６を介してホログラフィック記録媒体１１８に照射される。

一方、参照光ＬＢ２は、ミラー１２０及び対物レンズ１２２を介してホログラフィック記録媒体１１８に照射される。その結果、物体光ＬＢ１と参照光ＬＢ２が重なり合う領域には光学的な干渉模様が形成され、これがホログラムとして感光材料に記録される。なお、ホログラフィック記録媒体１１８の先には、結像レンズ１２６及び撮像素子１２８が配設されている。

この記録再生装置１００に適用されたＳＬＭ１０２は、図１２に拡大して示されるように、直列に配設された６個のマイクロミラー１２４を備えている。このマイクロミラー１２４は、図示しない支持部材によって揺動自在に支持されると共に、所定角度に傾斜可能な構造となっている。

このＳＬＭ１０２では、入射される物体光ＬＢ１をＯＮピクセル１２４Ａによって偏向し、ビームスプリッタ１１０に出射する一方で、物体光ＬＢ１をＯＦＦピクセル１２４Ｂによって偏向し、光路外に出射するようになっている。

特開平６−１８０４２８号公報

しかしながら、この従来公知のＳＬＭ１０２においては、図１３に示されるように、ＯＦＦピクセルからの出射光ＬＢ１２は光路外に出射され、記録再生には使用されないため、レーザ光ＬＢ０の使用効率が低くなってしまうといった問題点があった。しかも、記録データ量の増大やノイズの低減等を実現するためには、ＯＮピクセル比率（全ピクセル数に対するＯＮピクセル数の比率）を低くし、ＯＦＦピクセル数の比率を高める必要があるため、益々、光の利用効率が低下してしまうことになる。

又、ＯＦＦピクセルの出射光ＬＢ１２の一部が偏光ビームスプリッタ１１２に入射し、迷光ＬＢ１２´となって光路に導かれ、光路上のノイズ要因となったり、場合によっては、ホログラフィック記録媒体１１８が露光されてしまうといった問題点があった。

本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであって、迷光の発生を未然に防止することができる上に、光の利用効率を飛躍的に高めることができる空間光変調器及び空間光変調方法を提供することを目的とする。

本発明の発明者は、鋭意研究の結果、迷光の発生を未然に防止することができる上に、光の利用効率を飛躍的に高めることができる空間光変調器及び空間光変調方法を見出した。

即ち、次のような本発明により、上記目的を達成することができる。

（１）入射光を所定の方向に偏向し、出射するための偏向部と、該偏向部からの出射光が入射される受光部からなるピクセルを複数有してなり、前記偏向部は、前記入射光を偏向し、同一ピクセルの前記受光部に出射するＯＮピクセルと、前記入射光を偏向し、同一ピクセルの前記受光部外に出射するＯＦＦピクセルによって構成された空間光変調器であって、前記ＯＦＦピクセルに入射される前記入射光を、前記ＯＮピクセルに対応する受光部に出射可能としたことを特徴とする空間光変調器。

（２）前記複数のピクセルは所定のピクセル数からなる複数のデータブロックによって構成され、且つ、前記ＯＦＦピクセルに入射される前記入射光を、該ＯＦＦピクセルと同一データブロックの前記ＯＮピクセルに対応する受光部に出射可能としたことを特徴とする前記（１）記載の空間光変調器。

（３）前記データブロックのＯＮピクセル数が、該ＯＮピクセルと同一データブロックのＯＦＦピクセル数の約数とされていることを特徴とする前記（２）記載の空間光変調器。

（４）前記データブロックにおける前記ＯＮピクセル数と前記ＯＦＦピクセル数の比率が、前記複数のデータブロック間で一定とされていることを特徴とする前記（２）又は（３）記載の空間光変調器。

（５）前記データブロックは２つの前記ピクセルからなり、且つ、該２つのピクセルの一方が前記ＯＮピクセル、他方が前記ＯＦＦピクセルとなるように構成されていることを特徴とする前記（４）記載の空間光変調器。

（６）前記偏向部は、所定角度に傾斜可能な凹曲面形状の反射面を有するマイクロミラーからなり、且つ、該マイクロミラーの一方は、その反射面が他方のマイクロミラーに対応する受光部に向けられて取付けられていることを特徴とする前記（５）記載の空間光変調器。

（７）前記偏向部は、所定角度に傾斜可能な凹曲面形状の反射面を有するマイクロミラーからなり、且つ、該マイクロミラーの一方は、該マイクロミラーの反射面の中心軸が前記入射光の光軸と異なるように配設されていることを特徴とする前記（５）記載の空間光変調器。

（８）前記偏向部は、所定角度に傾斜可能な凹曲面形状の反射面を有するマイクロミラーからなり、且つ、該マイクロミラーの一方の前記反射面は、前記入射光の光軸と異なる中心軸を有するように形成されていることを特徴とする前記（５）記載の空間光変調器。

（９）入射光を所定の方向に偏向し、出射するための偏向部と、該偏向部からの出射光が入射される受光部からなる複数のピクセルを用いて、前記偏向部のＯＮピクセルによって前記入射光を同一ピクセルの前記受光部に偏向し、且つ、前記偏向部のＯＦＦピクセルによって前記入射光を同一ピクセルの前記受光部外に偏向するようにした空間光変調方法であって、前記ＯＦＦピクセルに入射される前記入射光を、前記ＯＮピクセルに対応する受光部に偏向するようにしたことを特徴とする空間光変調方法。

本発明に係る空間光変調器及び空間光変調方法によれば、迷光の発生を未然に防止することができる上に、光の利用効率を飛躍的に高めることができるという優れた効果を有する。

本発明は、入射光を所定の方向に偏向し、出射するための偏向部と、該偏向部からの出射光が入射される受光部からなるピクセルを複数有してなり、前記偏向部は、前記入射光を偏向し、同一ピクセルの前記受光部に出射するＯＮピクセルと、前記入射光を偏向し、同一ピクセルの前記受光部外に出射するＯＦＦピクセルによって構成された空間光変調器であって、前記ＯＦＦピクセルに入射される前記入射光を、前記ＯＮピクセルに対応する受光部に出射可能とした空間光変調器によって、上記課題を解決したものである。

又、本発明は、入射光を所定の方向に偏向するための偏向部と、該偏向部からの出射光が入射される受光部からなる複数のピクセルを用いて、前記偏向部のＯＮピクセルによって前記入射光を同一ピクセルの前記受光部に偏向し、且つ、前記偏向部のＯＦＦピクセルによって前記入射光を同一ピクセルの前記受光部外に偏向するようにした空間光変調方法であって、前記ＯＦＦピクセルに入射される前記入射光を、前記ＯＮピクセルに対応する受光部に偏向するようにした空間光変調方法によって、上記同様の課題を解決したものである。

以下、図面を用いて本発明の実施例１〜実施例３について詳細に説明する。

図１に示されるホログラフィック記録再生装置１０の光路上には、本発明の実施例１に係る空間光変調器（ＳＬＭ）１２が配設されている。なお、ＳＬＭ１２以外の構造については、従来のホログラフィック記録再生装置１００と同様であるため、図中において同じ符号を付すと共に、その説明は省略し、以下ＳＬＭ１２について詳細に説明する。

ＳＬＭ１２は、図２に拡大して示されるように、入射される物体光ＬＢ１を所定の方向に偏向し、出射するマイクロミラー（偏向部）Ｍ１〜Ｍ６を備えた第１ＳＬＭユニット１４と、マイクロミラーＭ１〜Ｍ６からの出射光が入射されるマイクロレンズ（受光部）Ｌ１〜Ｌ６を備えた第２ＳＬＭユニット１６によって構成されている。なお、マイクロミラーＭ１〜Ｍ６とマイクロレンズＬ１〜Ｌ６によって、ＳＬＭ１２のピクセルＰ１〜Ｐ６が構成されている。

第１ＳＬＭユニット１４のマイクロミラーＭ１〜Ｍ６は、図３及び図４に示されるように、凹曲面形状の反射面Ｍ１Ａ〜Ｍ６Ａを有し（Ｍ１Ａのみ図示）、且つ、メモリーセル２０に固定されたヨーク２２によって揺動自在に支持されている。このマイクロミラーＭ１〜Ｍ６は、ヨーク２２と、メモリーセル２０上に配設されたアドレス電極２４との間で作用する静電引力によって傾斜可能な構造となっている。

一方、第２ＳＬＭユニット１６のマイクロレンズＬ１〜Ｌ６は、凹曲面を有するレンズからなり、その凹曲面がフーリエレンズ１１６側に向けられている。又、マイクロレンズＬ１〜Ｌ６は、その焦点がマイクロミラーＭ１〜Ｍ６の焦点と略一致するような位置に配置されている。

マイクロミラーＭ１〜Ｍ６は、ＯＮピクセルとＯＦＦピクセルによって構成されている。ここで、「ＯＮピクセル」とは、物体光ＬＢ１を偏向し、同一ピクセルのマイクロレンズに出射するようにされたマイクロミラーをいい、又、「ＯＦＦピクセル」とは、物体光ＬＢ１を偏向し、同一ピクセルのマイクロレンズ外に出射するようにされたマイクロミラーをいう。本実施例１においては、図２に示されるように、マイクロミラーＭ１、Ｍ５は、物体光ＬＢ１を偏向し、同一ピクセルのマイクロレンズＬ１、Ｌ５に出射するＯＮピクセルとされ、又、マイクロミラーＭ２、Ｍ３、Ｍ４、Ｍ６は、物体光ＬＢ１を偏向し、同一ピクセル外のマイクロレンズＬ１、Ｌ５に出射するＯＦＦピクセルとされている。

図５は、ＳＬＭ１２のマイクロミラーＭ１〜Ｍ６とマイクロレンズＬ１〜Ｌ６との対応関係を示した模式図である。なお、説明の都合上、偏光ビームスプリッタ１１２及び１／４波長板１１４の図示は省略している。

図に示されるように、ＳＬＭ１２のピクセルＰ１〜Ｐ６は、３つのピクセルＰ１〜Ｐ３からなるデータブロックＤＢ１と、３つのピクセルＰ４〜Ｐ６からなるデータブロックＤＢ２によって構成されている。又、データブロックＤＢ１、ＤＢ２におけるＯＮピクセル数とＯＦＦピクセル数の比率は、２つのデータブロックＤＢ１、ＤＢ２の間で一定とされており、この例では、ＯＮピクセル数とＯＦＦピクセル数の比率はそれぞれ１：２となっている。更に、データブロックＤＢ１（ＤＢ２）のＯＮピクセル数は、同一データブロックＤＢ１（ＤＢ２）のＯＦＦピクセル数の約数とされており、この例では、ＯＦＦピクセル数が２で、ＯＮピクセル数は１に設定されている。

次に、本発明の実施例１に係るＳＬＭ１２の作用について説明する。

例えば、図５に示されるように、ＳＬＭ１２のピクセルＰ１、Ｐ５をＯＮにする場合を考える。

ピクセルＰ１をＯＮにする場合には、図６に示されるように、ピクセルＰ１のマイクロミラーＭ１がＯＮピクセルとされ、マイクロミラーＭ１は物体光ＬＢ１の光軸に対して垂直な状態に維持される。その結果、マイクロミラーＭ１に対応するマイクロレンズＬ１には、マイクロミラーＭ１からの出射光ＬＢ１１が出射される。

一方、データブロックＤＢ１のＯＮピクセル数とＯＦＦピクセル数との比率は１：２であるため、ピクセルＰ２、Ｐ３のマイクロミラーＭ２、Ｍ３はＯＦＦピクセルとなり、マイクロミラーＭ２、Ｍ３は、ピクセルＰ１のマイクロレンズＬ１の方向に傾斜するように制御される。従って、データブロックＤＢ１のマイクロミラーＭ２、Ｍ３に入射される物体光ＬＢ１は、同一データブロックＤＢ１におけるマイクロレンズＬ１の焦点Ｆに集光する出射光ＬＢ１２、ＬＢ１３として出射される。

このように、データブロックＤＢ１のマイクロレンズＬ１には、データブロックＤＢ１内の３つのマイクロミラーＭ１〜Ｍ３による出射光ＬＢ１１〜ＬＢ１３が入射される。

又、ＳＬＭ１２のピクセルＰ５をＯＮにする場合も同様に、データブロックＤＢ２のマイクロレンズＬ５には、データブロックＤＢ２内の３つのマイクロミラーＭ４〜Ｍ６による出射光が入射される。

このようにして、物体光ＬＢ１はＳＬＭ１２によって変調され、フーリエレンズ１１６に出射されるようになっている。

本発明の実施例１に係るＳＬＭ１２によれば、ＯＦＦピクセルＭ２、Ｍ３、Ｍ４、Ｍ６に入射される物体光（入射光）ＬＢ１を、ＯＮピクセルＭ１、Ｍ５に対応するマイクロレンズＬ１、Ｌ５に出射するようにしたため、迷光の発生を未然に防止することができる上に、光の利用効率を飛躍的に高めることができる。

特に、ＳＬＭ１２のピクセルＰ１〜Ｐ６は、３つのピクセルＰ１〜Ｐ３（Ｐ４〜Ｐ６）からなる２つのデータブロックＤＢ１、ＤＢ２によって構成され、且つ、ＯＦＦピクセルＭ２、Ｍ３（Ｍ４、Ｍ６）に入射される物体光ＬＢ１を、このＯＦＦピクセルＭ２、Ｍ３（Ｍ４、Ｍ６）と同一データブロックＤＢ１（ＤＢ２）におけるＯＮピクセルＭ１（Ｍ５）のマイクロレンズＬ１（Ｌ５）に偏向するようにしたため、マイクロミラーの制御を簡素化することができる。

又、データブロックＤＢ１（ＤＢ２）のＯＮピクセル数は、同一データブロックＤＢ１（ＤＢ２）のＯＦＦピクセル数の約数とされているため、１つのＯＮピクセルに対して、同数のＯＦＦピクセルを対応させることができ、ピクセルにおける光量を均一化することができる。

更に、データブロックＤＢ１、ＤＢ２におけるＯＮピクセル数とＯＦＦピクセル数の比率を、２つのデータブロックＤＢ１、ＤＢ２間で一定としたため、記録媒体の露光量をデータブロック内で一定にすることができ、精密な記録のスケジューリングや、再生時のピクセル間のクロストークを減少させることができる。

以下、本発明の実施例２に係るＳＬＭについて説明する。

本発明の実施例２に係るＳＬＭは、図７に示されるように、上記実施例１に係るＳＬＭ１２のデータブロックＤＢ１（ＤＢ２）に代えて、２つのピクセルＰ１１、Ｐ１２からなるデータブロックＤＢ１１を適用したものである。なお、他の構造については、上記実施例１に係るＳＬＭ１２と同様であるため、その説明は省略する。

このデータブロックＤＢ１１のピクセルＰ１１、Ｐ１２は、２つのマイクロミラーＭ１１、Ｍ１２と、２つのマイクロレンズＬ１１、Ｌ１２によって構成され、且つ、マイクロミラーＭ１１、Ｍ１２の一方がＯＮピクセルの場合、他方がＯＦＦピクセルとなるように構成されている。

例えば、このデータブロックＤＢ１１によって物体光ＬＢ１１をデジタルデータの「０」と「１」に変調する場合には、デジタルデータの「０」は、マイクロミラーＭ１１がＯＮピクセル、且つ、マイクロミラーＭ１２がＯＦＦピクセルとされることによって表現される（図７（Ａ））。一方、デジタルデータの「１」は、マイクロミラーＭ１１がＯＦＦピクセル、且つ、マイクロミラーＭ１２がＯＮピクセルとされることによって表現される（図７（Ｂ））。即ち、データブロックＤＢ１１には、２つのピクセルＰ１１、Ｐ１２によって１ビットのデジタルデータ（「０」及び「１」）を表現する微分符号化が適用されている。なお、マイクロミラーＭ１１、Ｍ１２のＯＮピクセル及びＯＦＦピクセルと、デジタルデータの０及び１との対応関係は、逆であってもよい。

本発明の実施例２に係るＳＬＭによれば、データブロックＤＢ１１は２つのピクセルＰ１１、Ｐ１２からなり、且つ、一方のピクセルがＯＮピクセル、他方のピクセルがＯＦＦピクセルとなるように構成されているため、入射される物体光ＬＢ１を２方向に偏向し、出射できればよい。従って、マイクロミラーＭ１１、Ｍ１２の構造を、より一層簡素化することができる上に、一般に用いられる２階調のＳＬＭを適用することができ、低コスト化や開発期間の短縮を図ることができる。

以下、本発明の実施例３に係るＳＬＭについて説明する。

本発明の実施例３に係るＳＬＭは、図８に示されるように、上記実施例２に係るＳＬＭのマイクロミラーＭ１１に代えて、形状の異なるマイクロミラーＭ２１を適用したものである。なお、他の構造については、上記実施例２に係るＳＬＭと同様であるため、その説明は省略する。

このマイクロミラーＭ２１は、図９に拡大して示されるように、その反射面Ｍ２１ＡがマイクロレンズＬ１２に向けて傾斜された状態でヨーク２２に取り付けられており、反射面Ｍ２１Ａによって反射された出射光ＬＢ２１がマイクロレンズＬ１２に出射されるようになっている。

本発明の実施例３に係るＳＬＭによれば、マイクロミラーＭ２１、Ｍ１２を物体光ＬＢ１の光軸Ｖ１に対して一方向に傾斜させればよいため、従来のＳＬＭを適用することができ、より一層、低コスト化や開発期間の短縮を図ることができる。

なお、本発明に係るＳＬＭは、上記実施例３に係るＳＬＭにおける構造や形状等に限定されるものではなく、例えば、図１０（Ａ）に示されるように、マイクロミラーＭ３１を、その反射面Ｍ３１Ａの中心軸Ｖ２が入射光ＬＢ１の光軸Ｖ１と異なるように配設し、マイクロミラーＭ３１からの出射光ＬＢ３１をマイクロレンズＬ１２に出射するようにしてもよい。

又、図１０（Ｂ）に示されるように、マイクロミラーＭ４１に入射光ＬＢ１の光軸Ｖ１と異なる中心軸Ｖ２を有する反射面Ｍ４１Ａを形成し、マイクロミラーＭ４１からの出射光ＬＢ４１をマイクロレンズＬ１２に出射するようにしてもよい。

なお、上記実施例１〜３においては、反射型のＳＬＭを適用したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、液晶ディスプレイのような透過型のＳＬＭ等を適用してもよい。

又、本発明における「偏向部」はマイクロミラーに限定されず、又、「受光部」はマイクロレンズに限定されない。

更に、ＳＬＭのピクセルを６個で構成したが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば、数十万〜数百万個程度ピクセルを２次元に配置してもよい。

又、データブロックにおけるＯＮピクセル数とＯＦＦピクセル数の比率は、１：２の場合に限定されず、更に、データブロックのＯＮピクセル数は、同一データブロックのＯＦＦピクセル数の約数でなくてもよい。

即ち、本発明における空間光変調器は、入射光を所定の方向に偏向し、出射するための偏向部と、該偏向部からの出射光が入射される受光部からなるピクセルを複数有してなり、前記偏向部は、前記入射光を偏向し、同一ピクセルの前記受光部に出射するＯＮピクセルと、前記入射光を偏向し、同一ピクセルの前記受光部外に出射するＯＦＦピクセルによって構成された空間光変調器であって、前記ＯＦＦピクセルに入射される前記入射光を、前記ＯＮピクセルに対応する受光部に出射可能としたものであればよい。

本発明の実施例１に係るＳＬＭを適用したホログラフィック記録再生装置の光学系統図図１におけるＳＬＭ周辺を拡大して示す図図１におけるマイクロミラーを拡大して示す略示平面図図３におけるIVＡ−IVＡ線及びIVＢ−IVＢ線に沿う断面図図１におけるマイクロミラーとマイクロレンズの対応関係を拡大して示す略示断面図図５におけるデータブロックを拡大して示す略示断面図本発明の実施例２に係るＳＬＭのデータブロックを示す略示断面図本発明の実施例３に係るＳＬＭのデータブロックを示す略示断面図図８におけるマイクロミラーの略示断面図図８におけるマイクロミラーの他の例を示した略示断面図（Ａ）及び図８におけるマイクロミラーの更に他の例を示した略示断面図従来のＳＬＭを適用したホログラフィック記録再生装置の光学系統図図１１におけるＳＬＭ周辺を拡大して示す図（Ａ）、及びＳＬＭの略示側面図（Ｂ）図１１におけるマイクロミラーの作用を示す図

符号の説明

ＤＢ１、ＤＢ２、ＤＢ１１…データブロック
ＬＢ０…レーザ光
ＬＢ１…物体光
ＬＢ２…参照光
ＬＢ１１、ＬＢ１２、ＬＢ１３、ＬＢ２１、ＬＢ３１、ＬＢ４１…出射光
ＬＢ１２´…迷光
Ｍ１〜Ｍ６、Ｍ１１、Ｍ１２、Ｍ２１、Ｍ３１、Ｍ４１…マイクロミラー
Ｍ１Ａ〜Ｍ６Ａ、Ｍ２１Ａ、Ｍ３１Ａ、Ｍ４１Ａ…反射面
Ｌ１〜Ｌ６…マイクロレンズ
Ｐ１〜Ｐ６、Ｐ１１、Ｐ１２…ピクセル
Ｖ１…光軸
Ｖ２…中心軸
１０、１００…ホログラフィック記録再生装置
１２、１０２…空間光変調器（ＳＬＭ）
１４…第１ＳＬＭユニット
１６…第２ＳＬＭユニット
２０…メモリーセル
２２…ヨーク
２４…アドレス電極
１０４…レーザ光源
１０６…ビームエキスパンダ
１０８、１２０…ミラー
１１０、１１２…偏光ビームスプリッタ
１１４…１／４波長板
１１６…フーリエレンズ
１１８…ホログラフィック記録媒体
１２４…マイクロミラー
１２４Ａ…ＯＮピクセル
１２４Ｂ…ＯＦＦピクセル
１２６…結像レンズ
１２８…撮像素子

Claims

入射光を所定の方向に偏向し、出射するための偏向部と、該偏向部からの出射光が入射される受光部からなるピクセルを複数有してなり、前記偏向部は、前記入射光を偏向し、同一ピクセルの前記受光部に出射するＯＮピクセルと、前記入射光を偏向し、同一ピクセルの前記受光部外に出射するＯＦＦピクセルによって構成された空間光変調器であって、前記ＯＦＦピクセルに入射される前記入射光を、前記ＯＮピクセルに対応する受光部に出射可能としたことを特徴とする空間光変調器。
請求項１において、
前記複数のピクセルは所定のピクセル数からなる複数のデータブロックによって構成され、且つ、前記ＯＦＦピクセルに入射される前記入射光を、該ＯＦＦピクセルと同一データブロックの前記ＯＮピクセルに対応する受光部に出射可能としたことを特徴とする空間光変調器。
請求項２において、
前記データブロックのＯＮピクセル数が、該ＯＮピクセルと同一データブロックのＯＦＦピクセル数の約数とされていることを特徴とする空間光変調器。
請求項２又は３において、
前記データブロックにおける前記ＯＮピクセル数と前記ＯＦＦピクセル数の比率が、前記複数のデータブロック間で一定とされていることを特徴とする空間光変調器。
請求項４において、
前記データブロックは２つの前記ピクセルからなり、且つ、該２つのピクセルの一方が前記ＯＮピクセル、他方が前記ＯＦＦピクセルとなるように構成されていることを特徴とする空間光変調器。
請求項５において、
前記偏向部は、所定角度に傾斜可能な凹曲面形状の反射面を有するマイクロミラーからなり、且つ、該マイクロミラーの一方は、その反射面が他方のマイクロミラーに対応する受光部に向けられて取付けられていることを特徴とする空間光変調器。
請求項５において、
前記偏向部は、所定角度に傾斜可能な凹曲面形状の反射面を有するマイクロミラーからなり、且つ、該マイクロミラーの一方は、該マイクロミラーの反射面の中心軸が前記入射光の光軸と異なるように配設されていることを特徴とする空間光変調器。
請求項５において、
前記偏向部は、所定角度に傾斜可能な凹曲面形状の反射面を有するマイクロミラーからなり、且つ、該マイクロミラーの一方の前記反射面は、前記入射光の光軸と異なる中心軸を有するように形成されていることを特徴とする空間光変調器。
入射光を所定の方向に偏向し、出射するための偏向部と、該偏向部からの出射光が入射される受光部からなる複数のピクセルを用いて、前記偏向部のＯＮピクセルによって前記入射光を同一ピクセルの前記受光部に偏向し、且つ、前記偏向部のＯＦＦピクセルによって前記入射光を同一ピクセルの前記受光部外に偏向するようにした空間光変調方法であって、前記ＯＦＦピクセルに入射される前記入射光を、前記ＯＮピクセルに対応する受光部に偏向するようにしたことを特徴とする空間光変調方法。