JP2005160191A - 駆動装置 - Google Patents
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Abstract
低コストながら移動部材の広範囲な移動を確保し、ピッチの細かい周期構造の作成しにくい電極や磁極の代わりに、一様な材質に機械加工を施すして形成される表面形状の周期構造をステップ幅の基本周期とした駆動を行える駆動装置を提供する。
【解決手段】
駆動部23の歯23aの左斜面(駆動面)が、移動部材10の歯11の右斜面(従動面)に接近するか接触して、同じ極性の電荷が接近することによる静電的反発力、場合によっては機械的接触反力も加わった力で押圧することとなる。歯23aの左斜面により、歯11の右斜面が押圧されることで、移動部材10には、その法線方向に反力が生ずるが、移動部材10は図で左右方向にのみ移動可能であるため、その水平方向分力によって、移動部材10は、第2アクチュエータ22の伸長に応じて、図で左方向に押し出される。
【選択図】 図1
Description
相対移動方向に対して傾いた斜面である複数の従動面を含む3次元パターンを備えたパターン部材と、
駆動面を備えた駆動手段と、を有し、
前記従動面と前記駆動面とは、相対的に接近させると媒体を介して一方から他方へと力が伝達されるようになっており、
前記駆動手段は、前記駆動面を第1の方向に移動させることによって、前記媒体を介して一つの従動面に力を伝達することで、前記パターン部材を所定の方向に相対移動させ、更に前記駆動面を前記第1の方向とは異なる第2の方向に移動させることによって、前記駆動面を前記一つの従動面から他の従動面に対向する位置へと相対移動させるようになっており、
前記第1の方向の移動と前記第2の方向の移動とを、前記パターン部材の移動量と前記3次元パターンとに基づいて行うことにより、前記パターン部材をステップ的に相対移動させることを特徴とする。
相対移動方向に対して傾いた斜面である従動面を含む3次元パターンを備えたパターン部材と、
往復移動可能な複数の駆動面を備えた駆動手段と、を有し、
前記従動面と前記駆動面とは、相対的に接近させると媒体を介して一方から他方へと力が伝達されるようになっており、 前記駆動手段は、一つの駆動面を、前記従動面に接近させることによって前記媒体を介して力を伝達することで、前記パターン部材を所定の方向に相対移動させた後、別の駆動面を、前記従動面に接近させることによって前記媒体を介して力を伝達することで、前記パターン部材を前記所定の方向に継続的に相対移動させることを特徴とする。
20,20A〜20D、220 駆動ユニット
30 制御装置
31 センサ
Claims (14)
- 相対移動方向に対して傾いた斜面である複数の従動面を含む3次元パターンを備えたパターン部材と、
駆動面を備えた駆動手段と、を有し、
前記従動面と前記駆動面とは、相対的に接近させると媒体を介して一方から他方へと力が伝達されるようになっており、
前記駆動手段は、前記駆動面を第1の方向に移動させることによって、前記媒体を介して一つの従動面に力を伝達することで、前記パターン部材を所定の方向に相対移動させ、更に前記駆動面を前記第1の方向とは異なる第2の方向に移動させることによって、前記駆動面を前記一つの従動面から他の従動面に対向する位置へと相対移動させるようになっており、
前記第1の方向の移動と前記第2の方向の移動とを、前記パターン部材の相対移動量と前記3次元パターンとに基づいて行うことにより、前記パターン部材をステップ的に相対移動させることを特徴とする駆動装置。 - 前記従動面は周期的な3次元パターンを有し、前記駆動面は前記3次元パターンの周期と同じ周期の3次元パターンを持つことを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。
- 相対移動方向に対して傾いた斜面である従動面を含む3次元パターンを備えたパターン部材と、
往復移動可能な複数の駆動面を備えた駆動手段と、を有し、
前記従動面と前記駆動面とは、相対的に接近させると媒体を介して一方から他方へと力が伝達されるようになっており、
前記駆動手段は、一つの駆動面を、前記従動面に接近させることによって前記媒体を介して力を伝達することで、前記パターン部材を所定の方向に相対移動させた後、別の駆動面を、前記従動面に接近させることによって前記媒体を介して力を伝達することで、前記パターン部材を前記所定の方向に継続的に相対移動させることを特徴とする駆動装置。 - 前記従動面は周期的な3次元パターンを有し、前記駆動面は前記3次元パターンの周期と同じ周期の3次元パターンを持つことを特徴とする請求項3に記載の駆動装置。
- 前記駆動手段は、前記駆動面を備えた駆動部と、前記駆動部を独立に往復駆動する複数のアクチュエータとを備え、前記パターン部材に配置された従動面に対して独立にそれぞれの駆動面を接近させることができ、前記パターン部材の相対移動量に同期させながら順次駆動面を従動面に接近させ、離間させる往復駆動を繰り返すことで所望の相対移動方向と相対移動量を制御できることを特徴とする請求項3又は4に記載の駆動装置。
- 前記複数の駆動部の一部がパターン部材の相対移動方向とは逆向きの斜面に接近させられることで相対移動方向と逆向きの力を発生し、相対移動方向の斜面の接近による力との差し引き量だけが、前記パターン部材の相対移動をもたらすことを特徴とする請求項5のいずれかに記載の駆動装置。
- 前記駆動手段の往復駆動に、前記従動面に垂直な方向と前記従動面に沿う方向の成分を持たせ、前記従動面に沿う方向の成分の大きさによって、1回の押圧で前記パターン部材が相対移動する量を制御できることを特徴とする請求項3乃至6のいずれかに記載の駆動装置。
- 前記従動面および前記駆動面の3次元パターンを構成する凹凸が、両面を互いに深く押し込むことで、相対移動方向の斜面とその逆方向の斜面の両方が接触する形をもち、前記従動部材を静止させるときに、前記駆動面を前記従動面に深く押し込むことで静止性能を高めることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の駆動装置。
- 前記従動面の3次元パターンの凸部の頂点側に、前記3次元パターンの周期よりも小さい周期の3次元微細パターンを刻み、この小さい周期を持つ3次元微細パターンと同じ周期の3次元微細パターンを前記駆動面の3次元パターンの凸部の頂点側に刻み、3次元微細パターン同士が対向する状態で前記駆動面を前記従動面に接近させることで、ステップ幅の小さいステップ駆動を実現することのできることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の駆動装置
- 前記パターン部材の相対移動量を測定する測定手段を有することを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載の駆動装置。
- 前記従動面と前記駆動面とは、相対的に接近させるとクーロン力が生じるように等電位に保たれていることを特徴とする請求項1乃至10のいずれかに記載の駆動装置。
- 前記複数の駆動部の一部が従動面と正負逆の電位に保持され、接近した両面に吸引力を発生させることで、他の駆動面と従動面の間の面に垂直な方向の力をバランスさせ、前記従動面と前記駆動面の垂直方向の距離が所定の範囲内に保持されることを特徴とする前記請求項5乃至11のいずれかに記載の駆動装置。
- 前記従動面と前記駆動面とは、相対的に接近させると反発力が生じるように同じ磁極となるよう磁化されているか、相対的に接近させると吸引力が生じるように異なる磁極となるよう磁化されていることを特徴とする請求項1乃至12のいずれかに記載の駆動装置。
- 前記従動面と前記駆動面との間には液体又は気体が配置されており、前記駆動手段は、前記駆動面に高周波振動を付与することによって、前記液体又は気体にスクイーズ効果を生じさせ、それに基づき前記従動面と前記駆動面との間に反発力が生じるようになっていることを特徴とする請求項1乃至10のいずれかに記載の駆動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003394240A JP2005160191A (ja) | 2003-11-25 | 2003-11-25 | 駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003394240A JP2005160191A (ja) | 2003-11-25 | 2003-11-25 | 駆動装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005160191A true JP2005160191A (ja) | 2005-06-16 |
Family
ID=34720370
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003394240A Pending JP2005160191A (ja) | 2003-11-25 | 2003-11-25 | 駆動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005160191A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107800327A (zh) * | 2017-10-19 | 2018-03-13 | 天津大学 | 一种开环可控高精度旋转压电驱动装置及其制作方法 |
-
2003
- 2003-11-25 JP JP2003394240A patent/JP2005160191A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107800327A (zh) * | 2017-10-19 | 2018-03-13 | 天津大学 | 一种开环可控高精度旋转压电驱动装置及其制作方法 |
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