JP2005129692A5 - - Google Patents
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- 端子部を有する電子部品の処理方法であって、銅を主成分とし、かつ、表面が樹脂で被覆された被覆線から成る端子部に、希ガス、酸素及びフッ素を含むガスの混合ガスを用いて発生させたプラズマを照射するに際して、希ガスの比率を９０％以上９９．９％以下とすることを特徴とする電子部品の処理方法。
- フッ素を含むガスがＣＦ4またはＳＦ6である請求項１記載の電子部品の処理方法。
- 端子部を有する電子部品の処理方法であって、銅を主成分とし、かつ、表面が樹脂で被覆された被覆線から成る端子部に、希ガス、酸素及びフッ素を含むガスの混合ガスを用いて発生させたプラズマを照射するに際して、端子部を誘電体製筒に挿入しつつ、誘電体製筒を挟んで相対する２つの電極間に電力を供給してプラズマを発生させることを特徴とする電子部品の処理方法。
- 端子部を有する電子部品の処理方法であって、銅を主成分とし、かつ、表面が樹脂で被覆された被覆線から成る端子部に、希ガス、酸素及びフッ素を含むガスの混合ガスを用いて発生させたプラズマを照射するに際して、内管及び外管から成る２重の誘電体製筒を用いて、内管または外管の一方から希ガスを吹き出し、他の一方から酸素およびフッ素を含むガスを含むガスを吹き出すとともに、外管を挟んで相対する２つの電極間に電力を供給してプラズマを発生させることを特徴とする電子部品の処理方法。
- フッ素を含むガスがＣＦ4またはＳＦ6である請求項４記載の電子部品の処理方法。
- 端子部を有する電子部品の処理装置であって、誘電体製筒と、誘電体製筒を挟んで相対する２つの電極と、誘電体製筒内にガスを供給するガス供給装置と、２つの電極間に電力を供給する電源とを備えたことを特徴とする電子部品の処理装置。
- 端子部を有する電子部品の処理装置であって、内管及び外管から成る２重の誘電体製筒と、内管に第１のガスを供給する第１のガス供給装置と、外管に第２のガスを供給する第２のガス供給装置と、外管を挟んで相対する２つの電極と、２つの電極間に電力を供給する電源とを備えたことを特徴とする電子部品の処理装置。
- はんだメッキ漕と、はんだメッキ槽を加熱するヒーターとを備えた請求項６または７記載の電子部品の処理装置。
- はんだメッキ漕と、はんだメッキ漕を加熱するヒーターと、はんだ噴流装置を備えた請求項６または７記載の電子部品の処理装置。
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