JP2005129521A - プラズマディスプレイパネル保護膜用MgOペレット及びこれを用いたプラズマディスプレイパネル - Google Patents
プラズマディスプレイパネル保護膜用MgOペレット及びこれを用いたプラズマディスプレイパネル Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 このために本発明のプラズマディスプレイパネルは互いに対向配置される第1基板及び第2基板、第1基板と第2基板の対向面に各々形成されながら互いに交差するように配列される複数の第1電極及び複数の第2電極、複数の第1電極及び複数の第2電極を各々覆って形成される誘電体層及び誘電体層を覆って形成されるMgO保護膜を含み、MgO保護膜は1μm2面積当り、柱状結晶数が400個以下であることを特徴とする。このような本発明を通じて生産性が良好なプラズマディスプレイパネルを製造できる。
【選択図】 図1
Description
[数式1]
体積密度(g/cm3)=k×乾燥したサンプル質量(g)/[水分を含むサンプル質量(g)−水分質量(g)]
ここでkはコロジン(koresene)比重として0.796g/cm3である。
本発明の実験例では前記MgO保護膜の1μm2面積当りの柱状結晶数によるMgO保護膜の特性を評価するために、MgO保護膜の1μm2面積当りの柱状結晶数による放電遅延時間を測定した。走査電極を通じてプラズマディスプレイパネルに駆動電圧が印加される時間を走査時間という。走査時間の間に放電が起こるようになるが、現実的には駆動電圧印加の時に直ちに放電が起こらず、放電が遅延される。これを放電遅延時間という。放電遅延時間は再び形成遅延時間と統計的遅延時間とに分かれる。MgO保護膜の場合、その特性上、二次電子放出と密接な関連性を有するので、本発明の実験例では1μm2当りの柱状結晶数による放電遅延時間を測定して1μm2当りの柱状結晶数の適正範囲を抽出しようとした。このような本発明の実験例は単に本発明を例示するためのもので、本発明がここに限られるわけではない。
MgOペレットをMgO蒸着室に入れて誘電体が形成されたプラズマディスプレイパネルにMgOを蒸着する時、MgO保護膜が約7000Å程度に形成されるようにした。蒸着室内部の場合、基本圧力を1×10-4Paに、蒸着形成時の圧力を5.3×10-2Paにし、酸素及び水素を100sccm(流量体積単位)で供給しながら基板を200±5℃に維持した。酸素と水素との場合、その分圧比を約3:1程度に維持するように供給しながら、電流を390mA、電圧を−15kVDCに調節した電子銃を通じて電子ビームを照射してMgO保護膜を蒸着させた。MgO保護膜の蒸着結果、1μm2当り、約200余個の柱状結晶が得られ、このようなMgO保護膜を備えたプラズマディスプレイパネルの場合、放電遅延時間は265ns程度に測定された。
酸素と水素との場合、分圧比を約6:1とし、残りの条件は実験例1と同一にして実験した。その結果、MgO保護膜の場合、1μm2当り、約400余個の柱状結晶数が得られ、このようなMgO保護膜を備えたプラズマディスプレイパネルの場合、放電遅延時間は284ns程度に測定された。
酸素と水素との場合、分圧比を約30:1とし、残りの条件は実験例1と同一にして実験した。その結果、MgO保護膜の場合、1μm2当り、約1200余個の柱状結晶数が得られ、このようなMgO保護膜を備えたプラズマディスプレイパネルの場合、放電遅延時間は322ns程度に測定された。
酸素と水素との場合、分圧比を約50:1とし、残りの条件は実験例1と同一にして実験した。その結果、MgO保護膜の場合、1μm2当り、約2100余個の柱状結晶数が得られ、このようなMgO保護膜を備えたプラズマディスプレイパネルの場合、放電遅延時間は339ns程度に測定された。
酸素と水素との場合、分圧比を約100:1とし、残りの条件は実験例1と同一にして実験した。その結果、MgO保護膜の場合、1μm2当り、約3400余個の柱状結晶数が得られ、このようなMgO保護膜を備えたプラズマディスプレイパネルの場合、放電遅延時間は345ns程度に測定された。
酸素と水素の場合、分圧比を約150:1とし、残りの条件は実験例1と同一にして実験した。その結果、MgO保護膜の場合、1μm2当り、約5000余個の柱状結晶数が得られ、このようなMgO保護膜を備えたプラズマディスプレイパネルの場合、放電遅延時間は368ns程度に測定された。
17 電極
21 誘電体層
23 蒸着室の入口
25 蒸着室の出口
29 冷却装置
31 電子銃
33 シャッター
57 MgOペレット
Claims (5)
- 互いに対向配置される第1基板及び第2基板と;
前記第1基板及び第2基板の対向面に各々形成されながら互いに交差するように配列される複数の第1電極及び複数の第2電極と;
前記複数の第1電極及び前記複数の第2電極を各々覆って形成される誘電体層と;
前記誘電体層を覆って形成されるMgO保護膜と;を含み、
前記MgO保護膜は1μm2面積当り、柱状結晶数が400個以下であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。 - 前記MgO保護膜の屈折率は1.45乃至1.74であることを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記MgO保護膜は(111)面と(110)面とが混在することを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネル。
- プラズマディスプレイパネルのMgO保護膜に使用するMgOペレットは、体積密度が2.80g/cm3乃至2.95g/cm3であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル保護膜用MgOペレット。
- 前記MgOペレットの平均顆粒塊の大きさは30μm乃至70μmであることを特徴とする請求項4に記載のプラズマディスプレイパネル保護膜用MgOペレット。
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