JP2005119962A - 単結晶引き上げ装置用の断熱材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明に係る単結晶引き上げ装置100用の断熱材40は、単結晶引き上げ装置100内のルツボ10を加熱するヒータ20の熱が密閉本体50の外部へ移動しないようにするための断熱材40であって、前記断熱材40の基材を、炭素質繊維成型体により形成するとともに、炭素質繊維成型体の表面に熱分解炭素からなる被膜を形成してなる。
【選択図】 図1
Description
(1)単結晶の大口径化に伴うメリットを十分生かすためには、コスト上昇を伴わない単結晶の製造技術の開発が望まれるが、単結晶引き上げ装置を構成する各部品を大型化するためには、材料費や加工費に従来サイズの単結晶引き上げ装置より高コストを必要とした。
(2)密閉本体を大型化することによる密閉本体内の熱効率の低下は、多くの電気エネルギーを必要とした。
つまり、炭素繊維1本1本が珪化し、それにより繊維が脱落し炉内を汚染したり、又繊維が珪化して断熱特性が劣化する原因となる。
「単結晶引き上げ装置100内のルツボ10を加熱するヒータ20の熱が密閉本体50の外部へ移動しないようにするための断熱材40であって、
炭素繊維成形体からなる断熱剤の基材と、熱分解炭素からなる被膜とを形成してなり、
炭素質繊維成形体41と熱分解炭素からなる被膜42の間に、熱硬化性樹脂を加熱硬化した後炭化してなる熱硬化性樹脂炭化物を中間層43として形成してなることを特徴とする単結晶引き上げ装置100用の断熱材40」というものである。
「被膜42が形成される被形成体における全表面積の5〜95%の範囲で熱分解炭素からなる被膜42が形成されてなることを特徴とする請求項1又は2に記載の単結晶引き上げ装置用の断熱材40」というものである。
(参考例)
外径φ680mm、内径φ600mm,高さ600mmの筒状に炭素質繊維を成形した。
(参考例2)
参考例1と同様、外径φ680mm、内径φ600mm、高さ600mmの筒状に炭素質繊維を成形した。
10 ルツボ
11 石英ルツボ
20 ヒータ
30 保温筒
40 断熱材
41 炭素質繊維成形体
42 熱分解炭素からなる被膜
43 熱硬化性樹脂炭化物からなる中間層
44 断熱材
50 密閉本体
Claims (3)
- 単結晶引き上げ装置内のルツボを加熱するヒータの熱が密閉本体の外部へ移動しないようにするための断熱材であって、
炭素繊維成形体からなる断熱剤の基材と、熱分解炭素からなる被膜とを形成してなり、
前記炭素質繊維成形体と前記熱分解炭素からなる被膜の間に、熱硬化性樹脂を加熱硬化した後炭化してなる熱硬化性樹脂炭化物を中間層として形成してなることを特徴とする単結晶引き上げ装置用の断熱材。 - 単結晶引き上げ装置内のルツボを加熱するヒータの熱が密閉本体の外部へ移動しないようにするための断熱材であって、
炭素繊維成形体からなる断熱剤の基材と、熱分解炭素からなる被膜とを形成してなり、
前記炭素質繊維成形体と前記熱分解炭素からなる被膜の間に、熱硬化性樹脂を加熱硬化した後炭化してなる熱硬化性樹脂炭化物を中間層として形成してなり、
かつ炭素質繊維成形体の繊維の1本1本に熱分解炭素の被膜形成が防止されてなることを特徴とする単結晶引き上げ装置用の断熱材。 - 被膜が形成される被形成体における全表面積の5〜95%の範囲で熱分解炭素からなる被膜が形成されてなることを特徴とする請求項1又は2に記載の単結晶引き上げ装置用の断熱材。
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JP2004322451A JP4140600B2 (ja) | 2004-11-05 | 2004-11-05 | 単結晶引き上げ装置用の断熱材の製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010120831A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-06-03 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | サファイア単結晶育成装置 |
WO2023008392A1 (ja) * | 2021-07-29 | 2023-02-02 | イビデン株式会社 | 断熱材および断熱材の製造方法 |
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2004
- 2004-11-05 JP JP2004322451A patent/JP4140600B2/ja not_active Expired - Lifetime
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