JP2005066718A - Articulated robot - Google Patents

Articulated robot Download PDF

Info

Publication number
JP2005066718A
JP2005066718A JP2003296623A JP2003296623A JP2005066718A JP 2005066718 A JP2005066718 A JP 2005066718A JP 2003296623 A JP2003296623 A JP 2003296623A JP 2003296623 A JP2003296623 A JP 2003296623A JP 2005066718 A JP2005066718 A JP 2005066718A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
auxiliary link
arm
link
base
pivotally supported
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2003296623A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Fumihiro Tara
文宏 多良
Masashi Tamai
真史 玉井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yaskawa Electric Corp
Original Assignee
Yaskawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yaskawa Electric Corp filed Critical Yaskawa Electric Corp
Priority to JP2003296623A priority Critical patent/JP2005066718A/en
Publication of JP2005066718A publication Critical patent/JP2005066718A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an articulated robot having no interference between a robot arm and a link that forms a wiring-piping passage while preventing rubbing of wiring and piping. <P>SOLUTION: This robot is provided with a base 2; a first arm 3 journaled to the base 2; a second arm 4 journaled to the distal end of the first arm 3 and rotationally driven through a connecting means built in the first arm 3; a first auxiliary link 5 journaled to the base 2; a second auxiliary link 6 journaled to the first auxiliary link 5 and the first arm 3; a third auxiliary link 7 journaled to the first auxiliary link 5; and a fourth auxiliary link 8 journaled to the third auxiliary link 7 and the second arm 4. The robot is constituted so that the wiring and piping pass from the base 2 to the first auxiliary link 5, the third auxiliary link 7 and the fourth auxiliary link 8. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、多関節ロボット、特に平行リンク機構付きの水平多関節型ロボットに関する。   The present invention relates to an articulated robot, and more particularly to a horizontal articulated robot with a parallel link mechanism.

半導体基板搬送用に水平多関節型ロボットが多用されている。半導体基板搬送用のロボットでは、エンドエフェクタ用の配線配管に原因する発塵を嫌うので、エンドエフェクタ用の配線配管をアームの中に通すことが行なわれている(例えば特許文献1の図8)。
しかし、このような構成では内径の大きさが限られた中空軸や、アーム内の狭隘部にケーブル等を通すので、ロボットの動作中にケーブルと中空軸等の間に擦れが生じて、ケーブルの損傷や発塵が生じるという問題があった。
この問題を解決するために、特許文献2には、ロボットアームの回動に追従して動くリンク機構を設け、このリンク機構内部に配線配管等を配置した多関節型ロボットが開示されている。
特開2002−307365号公報 特開平7−328982号公報
Horizontal articulated robots are frequently used for transporting semiconductor substrates. Since the robot for transporting a semiconductor substrate dislikes the dust generation caused by the wiring pipe for the end effector, the wiring pipe for the end effector is passed through the arm (for example, FIG. 8 of Patent Document 1). .
However, in such a configuration, since a cable or the like is passed through a hollow shaft with a limited inner diameter or a narrow portion in the arm, rubbing occurs between the cable and the hollow shaft during operation of the robot. There was a problem that damage and dust generation occurred.
In order to solve this problem, Patent Document 2 discloses an articulated robot in which a link mechanism that moves following the rotation of a robot arm is provided, and a wiring pipe or the like is disposed inside the link mechanism.
JP 2002-307365 A Japanese Unexamined Patent Publication No. 7-328982

しかしながら、特許文献2に記載された多関節型ロボットでは、リンク機構はロボットアームの回動に追従するものの、ロボットアームとは別個の構造なので、リンク機構とロボットアームの干渉が生じるという問題があった。また、前記干渉を避けるためにリンク機構とロボットアームの間に設計上の配慮が必要であり、設計上の自由度が制限されるという問題もあった。
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、配線配管を通す通路を十分大きく確保して、配線配管の擦れを防止するともに、前記配線配管通路を形成するリンクとロボットアームが干渉しない多関節ロボットを提供することを目的とする。
However, the articulated robot described in Patent Document 2 has a problem in that although the link mechanism follows the rotation of the robot arm, the link mechanism and the robot arm interfere with each other because the link mechanism is a separate structure. It was. In addition, in order to avoid the interference, design considerations are required between the link mechanism and the robot arm, and there is a problem that the degree of freedom in design is limited.
The present invention has been made in view of such problems, and ensures a sufficiently large passage through which the wiring pipe passes to prevent the wiring pipe from rubbing, and a link and a robot arm that form the wiring pipe passage. It is an object to provide an articulated robot that does not interfere with each other.

上記問題を解決するために、本発明はベースと、前記ベースに軸支されて前記ベースに内蔵されたモータで回転駆動される第1アームと、前記第1アームの先端に軸支されて前記第1アームに内蔵された連結手段を介して前記モータで回転駆動される第2アームと、前記ベースに軸支された第1補助リンクと、前記第1補助リンクと前記第1アームに軸支された第2補助リンクと、前記第1補助リンクに前記第2補助リンクと同軸に軸支された第3補助リンクと、前記第3補助リンクと前記第2アームに軸支された第4補助リンクを備え、前記ベースと前記第1アームと前記第1補助リンクと前記第2補助リンクで第1の平行リンク機構を構成し、前記第2補助リンクと前記第2アームと前記第3補助リンクと前記第4補助リンクで第2の平行リンク機構を構成する多関節ロボットにおいて、前記第1補助リンクと前記第3補助リンクと前記第4補助リンクに中空部を設けるとともに、前記ベースと前記第1補助リンクを中空軸で軸支し、前記第1補助リンクと前記第3補助リンクを中空軸で軸支し、前記第3補助リンクと前記第4補助リンクを中空軸で軸支し、前記ベースから前記第4補助リンクに至る配線配管を前記中空軸と前記中空部の中を通すものである。   In order to solve the above problems, the present invention provides a base, a first arm pivotally supported by the base and driven to rotate by a motor incorporated in the base, and pivotally supported by a tip of the first arm. A second arm that is rotationally driven by the motor via a connecting means built in the first arm, a first auxiliary link that is pivotally supported by the base, and a shaft that is pivotally supported by the first auxiliary link and the first arm. A second auxiliary link, a third auxiliary link pivotally supported coaxially with the second auxiliary link on the first auxiliary link, and a fourth auxiliary pivotally supported on the third auxiliary link and the second arm. A first parallel link mechanism comprising the base, the first arm, the first auxiliary link, and the second auxiliary link; and the second auxiliary link, the second arm, and the third auxiliary link. And the fourth auxiliary link In the articulated robot constituting the link mechanism, a hollow portion is provided in the first auxiliary link, the third auxiliary link, and the fourth auxiliary link, and the base and the first auxiliary link are supported by a hollow shaft, The first auxiliary link and the third auxiliary link are pivotally supported by a hollow shaft, the third auxiliary link and the fourth auxiliary link are pivotally supported by a hollow shaft, and the wiring piping from the base to the fourth auxiliary link Is passed through the hollow shaft and the hollow portion.

本発明は、平行リンク機構を構成する補助リンクの内部に配線配管を通したので、本発明は配線配管を通す通路を十分大きく確保して、配線配管の擦れを防止するともに、前記配線配管通路を形成するリンクとロボットアームが干渉しない多関節ロボットを実現できる効果がある。   In the present invention, since the wiring piping is passed through the auxiliary link constituting the parallel link mechanism, the present invention secures a sufficiently large passage for the wiring piping to prevent the wiring piping from rubbing, and the wiring piping passage. It is possible to realize an articulated robot in which the link forming the link and the robot arm do not interfere with each other.

図1は、本発明の実施例を示す多関節ロボットの平面図であり、図2は、同じ多関節ロボットの側断面図である。以下、図1および図2を引用して本発明の実施の形態を説明する。   FIG. 1 is a plan view of an articulated robot showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side sectional view of the same articulated robot. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

図1において、1は多関節ロボットであり、主として半導体ウェハの搬送を目的に設計されている。2は多関節ロボット1のベースである。ベース2には第1アーム3が軸支され、第1アーム3の先端には第2アーム4がそれぞれ軸支されて、水平面内で回動する。5は第1補助リンクであり、ベース2に軸支されている。第1補助リンク5の先端には第2補助リンク6が軸支され、第2補助リンク6の先端は第2アーム4と同軸に第1アーム3の先端に軸支されている。7は第3補助リンクであり、第1補助リンク5の先端に軸支され、第3補助リンク7の先端には第4補助リンク8が軸支されている。第4補助リンク8の先端は第2アーム4の先端に軸支され、また、第4補助リンク8にはエンドエフェクタ9が取り付けられている。   In FIG. 1, reference numeral 1 denotes an articulated robot, which is designed mainly for the purpose of transporting a semiconductor wafer. Reference numeral 2 denotes a base of the articulated robot 1. A first arm 3 is pivotally supported on the base 2, and a second arm 4 is pivotally supported on the tip of the first arm 3, and rotates in a horizontal plane. Reference numeral 5 denotes a first auxiliary link, which is pivotally supported by the base 2. A second auxiliary link 6 is pivotally supported at the tip of the first auxiliary link 5, and a tip of the second auxiliary link 6 is pivotally supported by the tip of the first arm 3 coaxially with the second arm 4. Reference numeral 7 denotes a third auxiliary link, which is pivotally supported at the distal end of the first auxiliary link 5, and a fourth auxiliary link 8 is pivotally supported at the distal end of the third auxiliary link 7. The distal end of the fourth auxiliary link 8 is pivotally supported on the distal end of the second arm 4, and an end effector 9 is attached to the fourth auxiliary link 8.

このようにして、ベース2と第1アーム3と第1補助リンク5と第2補助リンク6で第1の平行リンク機構が構成され、第2補助リンク6と第2アーム4と第3補助リンク7と第4補助リンク8で第2の平行リンク機構が構成されている。   In this manner, the base 2, the first arm 3, the first auxiliary link 5, and the second auxiliary link 6 constitute a first parallel link mechanism, and the second auxiliary link 6, the second arm 4, and the third auxiliary link. 7 and the fourth auxiliary link 8 constitute a second parallel link mechanism.

図2において、10はベース2に内蔵されたモータである。モータ10の動力は第1のベルトプーリ機構11を介して第1の減速機12に伝えられ、第1の減速機12の出力軸に固定された第1アーム3を回転駆動する。第1のベルトプーリ機構11で伝えられたモータ10の動力は第1の減速機12の中空部を貫く軸を通って、第1アーム3の内部に装置された第2のベルトプーリ機構13を介して第2の減速機14に伝えられ、第2の減速機14の出力軸に固定された第2アーム4を回転駆動する。
なお、第1のベルトプーリ機構11および第2のベルトプーリ機構13は、モータ10の動力を伝える連結手段であるが、連結手段はこれに限られるものでなく、回転軸、歯車、チェーン等を組み合わせた機構であってもよい。
In FIG. 2, reference numeral 10 denotes a motor built in the base 2. The power of the motor 10 is transmitted to the first speed reducer 12 via the first belt pulley mechanism 11 to rotationally drive the first arm 3 fixed to the output shaft of the first speed reducer 12. The power of the motor 10 transmitted by the first belt pulley mechanism 11 passes through the shaft passing through the hollow portion of the first speed reducer 12 and passes through the second belt pulley mechanism 13 installed in the first arm 3. The second arm 4 fixed to the output shaft of the second speed reducer 14 is driven to rotate.
The first belt pulley mechanism 11 and the second belt pulley mechanism 13 are connecting means for transmitting the power of the motor 10, but the connecting means is not limited to this, and a rotating shaft, gears, chains, and the like are used. A combined mechanism may be used.

20は第1補助リンク5をベース2に軸支する軸受けである。21は第3補助リンク7を第1補助リンク5に軸支する軸受けであり、22は第4補助リンク8を第3補助リンク7に軸支する軸受けである。軸受け20、21、22は中空部を有し、この中空部を介して、ベース2、第1補助リンク5、第3補助リンク7および第4補助リンク8の内部を空間が連絡している。23はエンドエフェクタ9に動力あるいは信号を供給する配線配管である。配線配管23はベース2から軸受け20を通って第1補助リンク5の内部に入り、
軸受け21を通って第1補助リンク5から第3補助リンク7に延び、さらに軸受け22を通って第4補助リンク8に入って、エンドエフェクタ9に連結されている。
Reference numeral 20 denotes a bearing that pivotally supports the first auxiliary link 5 on the base 2. Reference numeral 21 denotes a bearing that pivotally supports the third auxiliary link 7 on the first auxiliary link 5, and reference numeral 22 denotes a bearing that pivotally supports the fourth auxiliary link 8 to the third auxiliary link 7. The bearings 20, 21, and 22 have a hollow portion, and the space communicates the inside of the base 2, the first auxiliary link 5, the third auxiliary link 7, and the fourth auxiliary link 8 through the hollow portion. Reference numeral 23 denotes a wiring pipe for supplying power or signals to the end effector 9. The wiring pipe 23 enters the first auxiliary link 5 from the base 2 through the bearing 20,
It extends from the first auxiliary link 5 to the third auxiliary link 7 through the bearing 21, enters the fourth auxiliary link 8 through the bearing 22, and is connected to the end effector 9.

エンドエフェクタ用の配線配管を内蔵した多関節ロボットとして利用できる。   It can be used as an articulated robot with built-in wiring piping for end effectors.

本発明の実施例を示す多関節ロボットの平面図である。It is a top view of the articulated robot which shows the Example of this invention. 本発明の実施例を示す多関節ロボットの側断面図である。It is a sectional side view of the articulated robot which shows the Example of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 多関節ロボット、2 ベース、3 第1アーム、4 第2アーム、5 第1補助リンク、6 第2補助リンク、7 第3補助リンク、8 第4補助リンク、9 エンドエフェクタ、10 モータ、11 第1のベルトプーリ機構、12 第1の減速機、13 第2のベルトプーリ機構、14 第2の減速機、20,21,22 軸受け、23 配線配管 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Articulated robot, 2 Base, 3 1st arm, 4 2nd arm, 5 1st auxiliary link, 6 2nd auxiliary link, 7 3rd auxiliary link, 8 4th auxiliary link, 9 End effector, 10 Motor, 11 1st belt pulley mechanism, 12 1st reduction gear, 13 2nd belt pulley mechanism, 14 2nd reduction gear, 20, 21, 22 bearing, 23 wiring piping

Claims (1)

ベースと、前記ベースに軸支されて前記ベースに内蔵されたモータで回転駆動される第1アームと、前記第1アームの先端に軸支されて前記第1アームに内蔵された連結手段を介して前記モータで回転駆動される第2アームと、前記ベースに軸支された第1補助リンクと、前記第1補助リンクと前記第1アームに軸支された第2補助リンクと、前記第1補助リンクに前記第2補助リンクと同軸に軸支された第3補助リンクと、前記第3補助リンクと前記第2アームに軸支された第4補助リンクを備え、前記ベースと前記第1アームと前記第1補助リンクと前記第2補助リンクで第1の平行リンク機構を構成し、前記第2補助リンクと前記第2アームと前記第3補助リンクと前記第4補助リンクで第2の平行リンク機構を構成する多関節ロボットにおいて、
前記第1補助リンクと前記第3補助リンクと前記第4補助リンクに中空部を設けるとともに、前記ベースと前記第1補助リンクを中空軸で軸支し、前記第1補助リンクと前記第3補助リンクを中空軸で軸支し、前記第3補助リンクと前記第4補助リンクを中空軸で軸支し、前記ベースから前記第4補助リンクに至る配線配管を前記中空軸と前記中空部の中を通したことを特徴とする多関節ロボット。
Via a base, a first arm pivotally supported by the base and driven by a motor built in the base, and a connecting means pivotally supported by the tip of the first arm and built in the first arm. A second arm that is rotationally driven by the motor, a first auxiliary link that is pivotally supported by the base, a second auxiliary link that is pivotally supported by the first auxiliary link and the first arm, and the first A third auxiliary link pivotally supported coaxially with the second auxiliary link; a fourth auxiliary link pivotally supported by the third auxiliary link and the second arm; and the base and the first arm. The first auxiliary link and the second auxiliary link constitute a first parallel link mechanism, and the second auxiliary link, the second arm, the third auxiliary link, and the fourth auxiliary link constitute a second parallel link mechanism. Articulated robots that make up the link mechanism In,
A hollow portion is provided in the first auxiliary link, the third auxiliary link, and the fourth auxiliary link, the base and the first auxiliary link are pivotally supported by a hollow shaft, and the first auxiliary link and the third auxiliary link are supported. A link is pivotally supported by a hollow shaft, the third auxiliary link and the fourth auxiliary link are pivotally supported by a hollow shaft, and a wiring pipe extending from the base to the fourth auxiliary link is disposed in the hollow shaft and the hollow portion. An articulated robot characterized by passing through.
JP2003296623A 2003-08-20 2003-08-20 Articulated robot Pending JP2005066718A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003296623A JP2005066718A (en) 2003-08-20 2003-08-20 Articulated robot

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003296623A JP2005066718A (en) 2003-08-20 2003-08-20 Articulated robot

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005066718A true JP2005066718A (en) 2005-03-17

Family

ID=34402738

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003296623A Pending JP2005066718A (en) 2003-08-20 2003-08-20 Articulated robot

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005066718A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008077896A1 (en) * 2006-12-27 2008-07-03 Abb Ab Industrial robot with tubular member for a cable harness
JP2009006405A (en) * 2007-06-26 2009-01-15 Makino Milling Mach Co Ltd Machine tool equipped with rotary table
JP2009113188A (en) * 2007-11-09 2009-05-28 Toshiba Mach Co Ltd Work robot
JP2011101912A (en) * 2009-11-10 2011-05-26 Yaskawa Electric Corp Arm mechanism and vacuum robot equipped with the same
JP2014069288A (en) * 2012-09-28 2014-04-21 Yaskawa Electric Corp Robot arm and robot

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008077896A1 (en) * 2006-12-27 2008-07-03 Abb Ab Industrial robot with tubular member for a cable harness
US8347753B2 (en) 2006-12-27 2013-01-08 Abb Ab Industrial robot with tubular member for a cable harness
JP2009006405A (en) * 2007-06-26 2009-01-15 Makino Milling Mach Co Ltd Machine tool equipped with rotary table
JP2009113188A (en) * 2007-11-09 2009-05-28 Toshiba Mach Co Ltd Work robot
JP2011101912A (en) * 2009-11-10 2011-05-26 Yaskawa Electric Corp Arm mechanism and vacuum robot equipped with the same
KR101497169B1 (en) 2009-11-10 2015-02-27 가부시키가이샤 야스카와덴키 Arm mechanism and vacuum robot having the same
JP2014069288A (en) * 2012-09-28 2014-04-21 Yaskawa Electric Corp Robot arm and robot

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5327312B2 (en) Robot joint unit and robot
JP4232795B2 (en) Parallel link mechanism and industrial robot
US8910539B2 (en) Robot with reducer
JP5462064B2 (en) Industrial robot
JP4258842B2 (en) Robot cable processing mechanism and robot
JP5338301B2 (en) Horizontal articulated robot
US20030192391A1 (en) Wrist driving mechanism for robot
JP2005066718A (en) Articulated robot
JP2006224297A (en) Industrial robot
JP2010094749A (en) Articulated robot and robot system
JP5270449B2 (en) Robot joint structure and robot including the same
JP2006167863A (en) Link driving mechanism and industrial robot using it
JP2007190629A (en) Robot
KR100336374B1 (en) Joint driving structure of industrial robot
JP2009113188A (en) Work robot
JP4236999B2 (en) Industrial robot
JP2006007355A5 (en)
JP2014069288A (en) Robot arm and robot
JP2006007355A (en) Wrist device of robot
JP2009125846A (en) Robot wrist device
JP2008256011A (en) Concentric double axis mechanism using bevel gear
KR100853637B1 (en) Power transmission device
JP2005212948A (en) Conveyor device
JP2005014100A (en) Wrist mechanism of industrial robot
JP4660350B2 (en) Industrial robot arm mechanism

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060713

A977 Report on retrieval

Effective date: 20080124

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20080128

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A521 Written amendment

Effective date: 20080310

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080910

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20090330