JP2005066549A - Double membrane ceramic filter - Google Patents

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Hiroshi Yorita
浩 寄田
Hiroyuki Ishihara
博之 石原
Seiji Yamada
誠司 山田
Takuya Higuchi
卓也 樋口
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Noritake Co Ltd
Asahi Sunac Corp
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Noritake Co Ltd
Asahi Sunac Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a ceramic filter capable of sufficiently exhibiting a filtration function that is the inherent function of filtration layers even when it is applied with high filtration pressure. <P>SOLUTION: A double membrane ceramic filter has a monolithic support 31 having a plurality of parallel through holes 35 in the longitudinal direction, a tubular intermediate filtration layer 42 and a tubular filtration surface layer 43 laminated in this order on the outer peripheral surface of the support 31, and a tubular intermediate filtration layer 42' and a tubular filtration surface layer 43' laminated in this order on the inner peripheral surface of each of the above through holes. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、液体中に分散する固体粒子を前記液体から分離するためのセラミックフィルタに関し、より詳細には、液体中に僅かに分散する微細な固体粒子を前記液体から分離するためのセラミックフィルタに関する。   The present invention relates to a ceramic filter for separating solid particles dispersed in a liquid from the liquid, and more particularly to a ceramic filter for separating fine solid particles slightly dispersed in a liquid from the liquid. .

従来、多孔質セラミックス製の支持体の表面に、前記支持体の細孔径よりも細孔径が小さい多孔質セラミックス製の濾過層を設けた、非対象構造をした精密濾過用セラミックフィルタ及び限外濾過用セラミックフィルタが知られていた。また、多孔質セラミックス製の支持体の表面に、前記支持体の細孔径よりも細孔径が小さい多孔質セラミックス製の濾過中間層を1層以上積層して設け、さらに、前記濾過中間層の細孔径よりも細孔径が小さい多孔質セラミック製の濾過層を最外層として前記濾過中間層に積層して設けた、非対象構造をした精密濾過用セラミックフィルタ及び限外濾過用セラミックフィルタが知られていた。   Conventionally, a non-target structure ceramic filter for ultrafiltration and ultrafiltration, in which a porous ceramic filter layer having a pore size smaller than the pore size of the support is provided on the surface of a porous ceramic support. Ceramic filters were known. In addition, one or more porous ceramic filtering intermediate layers having a pore diameter smaller than the pore diameter of the support are provided on the surface of the porous ceramic support, and the filtration intermediate layer is further thinned. A non-target structure ceramic filter for ultrafiltration and a ceramic filter for ultrafiltration, which are provided by laminating a filter layer made of a porous ceramic having a pore size smaller than the pore size as the outermost layer on the filtration intermediate layer, are known. It was.

このようなセラミックフィルタは、長さ方向(軸方向)に1本の柱状空間部を有するチューブ型又は長さ方向(軸方向)に2本以上のチャンネル(柱状空間部である流路)を並列に形成したモノリス型(マルチチャンネル型)をしており、濾過層は、チューブ型では内側(支持体の柱状空間部の内周面)又は外側(支持体の外周面)のいずれかに管状の濾過層として積層して形成され、モノリス型では内側(支持体の柱状空間部の内周面)のみに管状の濾過層として積層して形成されていた。モノリス型セラミックフィルタとしては、例えば、特許文献1、特許文献2に記載のものがある。   Such a ceramic filter has a tube shape having one columnar space portion in the length direction (axial direction) or two or more channels (flow paths which are columnar space portions) in parallel in the length direction (axial direction). In the tube type, the filtration layer is tubular on either the inner side (the inner peripheral surface of the columnar space portion of the support) or the outer side (the outer peripheral surface of the support). It was formed by laminating as a filtration layer. In the monolith type, it was formed by laminating as a tubular filtration layer only on the inner side (inner peripheral surface of the columnar space portion of the support). Examples of the monolithic ceramic filter include those described in Patent Document 1 and Patent Document 2.

特開平7−116480号公報Japanese Patent Laid-Open No. 7-116480 特開平7−124428号公報JP-A-7-124428

支持体の柱状空間部の内周面のみに管状の濾過層を積層させているチューブ型又はモノリス型のような管状のセラミックフィルタを、高い濾過圧力(例えば、8MPa以上)で高効率で濾過を行おうとする用途(例えば、液晶用のガラス基板の洗浄)で使用する際に、濾過対象液を濾過層側から支持体側(管状のセラミックフィルタの内側から外側)の順に通過させた場合、得られる濾過液中の粒子数は、ある一定の数よりも小さくならず、前記濾過層の本来の濾過能力が発揮されていない、という問題点があった。   A tubular ceramic filter such as a tube type or monolith type in which a tubular filtration layer is laminated only on the inner peripheral surface of the columnar space of the support is filtered with high filtration pressure (for example, 8 MPa or more) with high efficiency. It is obtained when the liquid to be filtered is passed in the order from the filtration layer side to the support side (from the inside to the outside of the tubular ceramic filter) when used in the intended use (for example, cleaning of a glass substrate for liquid crystal). The number of particles in the filtrate was not smaller than a certain number, and there was a problem that the original filtration ability of the filtration layer was not exhibited.

本発明の目的は、一視点において、高い濾過圧力で使用する用途においても、濾過層が本来有する濾過性能を十分に発揮することができるセラミックフィルタを提供することである。また、本発明の目的は、一視点において、高い濾過圧力で使用する用途においても、セラミックフィルタの濾過層が、本来有する濾過性能を十分に発揮するようにしてセラミックフィルタを使用することができる濾過方法を提供することである。   The objective of this invention is providing the ceramic filter which can fully exhibit the filtration performance which the filtration layer originally has also in the use used by high filtration pressure from one viewpoint. Moreover, the objective of this invention is the filtration which can use a ceramic filter so that the filtration layer of a ceramic filter may fully exhibit the original filtration performance also in the use used by high filtration pressure from one viewpoint. Is to provide a method.

本発明によれば、第1の視点において、支持体に濾過層を有するセラミックフィルタであって、濾過対象液中の液体が前記支持体の内部に流入する支持体流入面に1層以上の流入面側濾過層を有し、前記流入面側濾過層を通過して前記支持体の内部に流入した前記液体が前記支持体の外部に流出する支持体流出面に1層以上の流出面側濾過層を有する両膜式セラミックフィルタにより、上記目的を達成することができる。   According to the first aspect of the present invention, in the first aspect, the ceramic filter having a filtration layer on the support, the liquid in the liquid to be filtered flows into the support inflow surface where the liquid flows into the support. One or more outflow surface side filtrations on a support outflow surface that has a surface side filtration layer and the liquid that has flowed into the support through the inflow surface side filtration layer flows out of the support. The above object can be achieved by the double membrane ceramic filter having layers.

本発明によれば、第2の視点において、長さ方向に1本の柱状空間部を有するチューブ型の支持体に濾過層を有するセラミックフィルタであって、濾過対象液中の液体が前記支持体の内部に流入する前記支持体の外周面に1層以上の流入面側濾過層を有し、前記流入面側濾過層を通過して前記支持体の内部に流入した前記液体が前記支持体の外部に流出する前記柱状空間部の内周面に1層以上の流出面側濾過層を有する両膜式セラミックフィルタにより、上記目的を達成することができる。また、本発明によれば、第3の視点において、長さ方向に2本以上の柱状空間部を並列に有するモノリス型の支持体に濾過層を有するセラミックフィルタであって、濾過対象液中の液体が前記支持体の内部に流入する前記支持体の外周面に1層以上の流入面側濾過層を有し、前記流入面側濾過層を通過して前記支持体の内部に流入した前記液体が前記支持体の外部に流出する前記柱状空間部の内周面に1層以上の流出面側濾過層を有する両膜式セラミックフィルタにより、上記目的を達成することができる。   According to the present invention, in the second aspect, a ceramic filter having a filtration layer on a tube-type support having a columnar space in the length direction, wherein the liquid in the liquid to be filtered is the support. One or more inflow surface side filtration layers on the outer peripheral surface of the support flowing into the interior of the support, and the liquid that has flowed into the support through the inflow surface side filtration layer flows into the support. The above-mentioned object can be achieved by the double membrane ceramic filter having one or more outflow surface side filtration layers on the inner peripheral surface of the columnar space portion that flows out to the outside. According to the present invention, in the third aspect, the ceramic filter has a filtration layer on a monolithic support having two or more columnar spaces in parallel in the length direction. The liquid having one or more inflow surface side filtration layers on the outer peripheral surface of the support body into which the liquid flows into the support body, and flowing into the support body through the inflow surface side filtration layer The above object can be achieved by a double membrane ceramic filter having one or more outflow surface side filtration layers on the inner peripheral surface of the columnar space that flows out of the support.

本発明によれば、第4の視点において、長さ方向に1本の柱状空間部を有するチューブ型の支持体の外周面及び前記柱状空間部の内周面のそれぞれに、1層以上の濾過層を有する両膜式セラミックフィルタにより、上記目的を達成することができる。また、本発明によれば、第5の視点において、長さ方向に2本以上の柱状空間部を並列に有するモノリス型の支持体の外周面及び前記柱状空間部のうちの1本以上の柱状空間部の内周面のそれぞれに、1層以上の濾過層を有する両膜式セラミックフィルタにより、上記目的を達成することができる。本発明の両膜式セラミックフィルタは、支持体がチューブ型又はモノリス型の場合、支持体の端部の外周面及び端面の少なくとも一面(即ち、チューブ型又はモノリス型の前記支持体に存在する2つの端部のうちの一方の端部がわの第1の外周面ともう一方の端部がわの第2の外周面、及び、前記支持体に存在する2つの端面のうちの一方の端面である第1の端面ともう一方の端面である第2の端面の四面のうちの少なくとも一面)に、濾過対象液中の液体の通過が困難ないし不可能なシール層を有することができる。   According to the present invention, in the fourth aspect, one or more layers of filtration are provided on each of the outer peripheral surface of the tube-shaped support body having one columnar space portion in the length direction and the inner peripheral surface of the columnar space portion. The above object can be achieved by the double membrane ceramic filter having layers. Further, according to the present invention, in the fifth aspect, at least one of the columnar space portions and the outer peripheral surface of the monolithic support body having two or more columnar space portions in parallel in the length direction. The above object can be achieved by the double membrane ceramic filter having one or more filtration layers on each inner peripheral surface of the space. When the support is of a tube type or a monolith type, the double membrane ceramic filter of the present invention has at least one of the outer peripheral surface and the end surface of the end of the support (that is, the tube type or the monolith type support 2 One end face of one end is a first outer peripheral face of the hook, the second outer peripheral face of the other end is a hook, and one end face of the two end faces existing on the support. A sealing layer that makes it difficult or impossible to pass the liquid in the liquid to be filtered can be provided on at least one of the first end face and the second end face that is the other end face.

本発明によれば、第6の視点において、上記第1〜3の視点のいずれか一の両膜式セラミックフィルタを用いて濾過対象液を濾過する濾過方法であって、前記流入面側濾過層、前記支持体、前記流出面側濾過層の順に濾過対象液を通過させる濾過方法により、上記目的を達成することができる。また、本発明によれば、第7の視点において、上記第4〜5の視点のいずれか一の両膜式セラミックフィルタを用いて濾過対象液を濾過する濾過方法であって、前記支持体の外周面の濾過層、前記支持体、前記柱状空間部の内周面の濾過層の順に濾過対象液を通過させる濾過方法により、上記目的を達成することができる。   According to the present invention, in the sixth aspect, there is provided a filtration method for filtering a liquid to be filtered using the double membrane ceramic filter according to any one of the first to third aspects, wherein the inflow surface side filtration layer The above object can be achieved by a filtration method in which the liquid to be filtered is passed in the order of the support and the outflow surface side filtration layer. Moreover, according to the present invention, in a seventh aspect, there is provided a filtration method of filtering a liquid to be filtered using the double membrane ceramic filter according to any one of the fourth to fifth aspects, The above object can be achieved by a filtration method in which the filtration target liquid is passed in the order of the filtration layer on the outer circumferential surface, the support, and the filtration layer on the inner circumferential surface of the columnar space.

上記本発明の両膜式セラミックフィルタは、高い濾過圧力で使用する用途においても、濾過膜の支持体からの剥離あるいはフィルタ自体の破損なしに、濾過層が本来有する濾過性能を十分に発揮することができる。また、上記本発明の濾過方法によれば、濾過膜の支持体からの剥離あるいはフィルタ自体の破損なしに、セラミックフィルタの濾過層が本来有する濾過性能を、高い濾過圧力で使用する用途においても十分に発揮させるようにしてセラミックフィルタを使用することができる。   The above-mentioned double membrane ceramic filter of the present invention sufficiently exhibits the filtration performance inherent to the filtration layer without peeling from the support of the filtration membrane or damage to the filter itself even in applications where the filtration pressure is high. Can do. In addition, according to the filtration method of the present invention, the filtration performance inherent to the filter layer of the ceramic filter can be sufficiently used in a high filtration pressure without peeling the filter membrane from the support or damaging the filter itself. A ceramic filter can be used as shown in FIG.

本発明の両膜式セラミックフィルタ及び濾過方法の着想は、以下のとおりである。支持体の柱状空間部の内周面のみに管状の濾過層を積層させているチューブ型又はモノリス型のような管状のセラミックフィルタを、高い濾過圧力(例えば、8MPa以上)で使用する際に、濾過対象液を濾過層側から支持体側(管状のセラミックフィルタの内側から外側)の順に通過させた場合、得られる濾過液中の粒子数は、前記濾過層が本来達成可能なはずの値ほどには小さくならない。本発明者は、この原因が、前記濾過層で固体粒子が分離された濾過液が前記濾過層に比べて大きな細孔径の支持体内を通過する途中で汚染される(支持体内に存在する固体粒子が混入する)ためである、ということを突き止めた。なお、前記管状のセラミックフィルタを、高い濾過圧力(例えば、8MPa以上)で使用する際に、濾過対象液を濾過層側から支持体側(管状のセラミックフィルタの内側から外側)の順に通過させた場合、フィルタ自体が破損することがある。   The idea of the double membrane ceramic filter and the filtration method of the present invention is as follows. When using a tubular ceramic filter such as a tube type or monolith type in which a tubular filtration layer is laminated only on the inner peripheral surface of the columnar space of the support at a high filtration pressure (for example, 8 MPa or more), When the liquid to be filtered is passed in order from the filtration layer side to the support side (from the inside to the outside of the tubular ceramic filter), the number of particles in the obtained filtrate is as much as the filtration layer should be able to achieve originally. Will not get smaller. The inventor found that the cause is that the filtrate from which the solid particles are separated in the filtration layer is contaminated while passing through the support having a larger pore diameter than the filtration layer (the solid particles existing in the support). ). When the tubular ceramic filter is used at a high filtration pressure (for example, 8 MPa or more), the liquid to be filtered is passed in the order from the filtration layer side to the support side (from the inside to the outside of the tubular ceramic filter). The filter itself may be damaged.

そのため、支持体の柱状空間部の内周面のみに管状の濾過層を積層させているチューブ型又はモノリス型のセラミックフィルタを、高い濾過圧力(例えば、8MPa以上)で使用する際に、濾過対象液を支持体側から濾過層側(管状のセラミックフィルタの外側から内側)の順に通過させることを試みた。しかし、この場合は、濾過層が支持体から剥離する、という問題点が生じてしまった。   Therefore, when a tube-type or monolith-type ceramic filter in which a tubular filtration layer is laminated only on the inner peripheral surface of the columnar space portion of the support is used at a high filtration pressure (for example, 8 MPa or more), the filtration target An attempt was made to pass the liquid in the order from the support side to the filtration layer side (from the outside to the inside of the tubular ceramic filter). However, in this case, the problem that the filtration layer peels off from the support has occurred.

そこで、鋭意研究した結果、支持体の柱状空間部の内周面に管状の濾過層を積層させているチューブ型又はモノリス型のような管状のセラミックフィルタの外周面にさらに濾過層を設けることにより、高い濾過圧力(例えば、8MPa以上)で使用する際に、支持体の外周面の濾過層、支持体、前記内周面の濾過層(管状のセラミックフィルタの外側から内側)の順に濾過対象液を通過させても、濾過層が支持体から剥離したりあるいはフィルタ自体が破損するという問題点なく、前記濾過層が本来達成可能な濾過性能を発揮することができる、ということを見出し、本発明を完成するに至った。   Therefore, as a result of earnest research, by further providing a filtration layer on the outer peripheral surface of a tubular ceramic filter such as a tube type or monolith type in which a tubular filtration layer is laminated on the inner peripheral surface of the columnar space portion of the support. When using at a high filtration pressure (for example, 8 MPa or more), the filtration target liquid in the order of the filtration layer on the outer peripheral surface of the support, the support, and the filtration layer on the inner peripheral surface (from the outside to the inside of the tubular ceramic filter) The present invention has found that the filtration layer can exhibit the filtration performance that can be originally achieved without the problem that the filtration layer is peeled off from the support or the filter itself is damaged even if the filter is passed. It came to complete.

[作用]
第1〜3の視点における本発明の両膜式セラミックフィルタは、濾過対象液中の液体が前記支持体の内部に流入する支持体流入面と前記支持体の外部に流出する支持体流出面の双方に濾過層を有するので、濾過層の前後の差圧(圧力差)を小さくすることができるから、流入面側濾過層、支持体、流出面側濾過層の順に高い濾過圧力で濾過対象液を通過させても、濾過膜の剥離を防止することができる。従って、第1〜3の視点における本発明の両膜式セラミックフィルタにおける流出面側濾過層は、支持体から剥離することなしに、支持体を通過した濾過液に含まれる固体粒子を分離することができる。このように、最終的に濾過層を通過した液を濾過液として得ることができるため、支持体内を通過する時に支持体内で混入する微細粒子を分離除去した濾過液を得ることができる。
[Action]
The double membrane ceramic filter of the present invention according to the first to third aspects includes a support inflow surface through which liquid in the liquid to be filtered flows into the support and a support outflow surface through which the liquid flows out of the support. Since both have a filtration layer, the differential pressure (pressure difference) before and after the filtration layer can be reduced. Even if it is allowed to pass through, the separation of the filtration membrane can be prevented. Therefore, the outflow surface side filtration layer in the two-membrane ceramic filter of the present invention according to the first to third aspects separates the solid particles contained in the filtrate that has passed through the support without peeling from the support. Can do. Thus, since the liquid which finally passed through the filtration layer can be obtained as the filtrate, a filtrate obtained by separating and removing fine particles mixed in the support body when passing through the support body can be obtained.

第4の視点における本発明の両膜式セラミックフィルタは、長さ方向に1本の柱状空間部を有するチューブ型の支持体の外周面及び前記柱状空間部の内周面のそれぞれに、1層以上の濾過層を有するので、濾過層の前後の差圧(圧力差)を小さくすることができるから、支持体の外周面の濾過層、支持体、柱状空間部の内周面の濾過層の順に高い濾過圧力で濾過対象液を通過させても、濾過層の剥離やフィルタ自体の破損を防止することができる。また、第5の視点における本発明の両膜式セラミックフィルタは、長さ方向に2本以上の柱状空間部を並列に有するモノリス型の支持体の外周面及び前記柱状空間部の内周面のそれぞれに、1層以上の濾過層を有するので、濾過層の前後の差圧(圧力差)を小さくすることができるから、支持体の外周面の濾過層、支持体、柱状空間部の内周面の濾過層の順に高い濾過圧力で濾過対象液を通過させても、濾過層の剥離やフィルタ自体の破損を防止することができる。   The double membrane ceramic filter of the present invention according to the fourth aspect has one layer on each of the outer peripheral surface of the tube-type support having one columnar space portion in the length direction and the inner peripheral surface of the columnar space portion. Since it has the above filtration layer, the differential pressure (pressure difference) before and after the filtration layer can be reduced. Therefore, the filtration layer on the outer peripheral surface of the support, the support, and the filtration layer on the inner peripheral surface of the columnar space portion Even if the liquid to be filtered is passed at a high filtration pressure in order, peeling of the filtration layer and damage to the filter itself can be prevented. Further, the double membrane ceramic filter of the present invention according to the fifth aspect includes an outer peripheral surface of a monolith type support body having two or more columnar space portions in parallel in a length direction and an inner peripheral surface of the columnar space portion. Since each has one or more filtration layers, the differential pressure (pressure difference) before and after the filtration layer can be reduced. Therefore, the filtration layer on the outer peripheral surface of the support, the support, and the inner periphery of the columnar space portion Even if the liquid to be filtered is passed at a high filtration pressure in the order of the filtration layer on the surface, peeling of the filtration layer and damage to the filter itself can be prevented.

従って、第4〜5の視点における本発明の両膜式セラミックフィルタにおける柱状空間部の内周面側濾過層は、支持体から剥離することなしに、支持体を通過した濾過液に含まれる固体粒子を分離することができる。このように、最終的に濾過層を通過した液を濾過液として得ることができるため、支持体内を通過する時に支持体内で混入する微細粒子を分離除去した濾過液を得ることができる。   Therefore, the inner peripheral surface side filtration layer of the columnar space in the double membrane ceramic filter of the present invention from the fourth to fifth viewpoints is a solid contained in the filtrate that has passed through the support without peeling from the support. The particles can be separated. Thus, since the liquid which finally passed through the filtration layer can be obtained as the filtrate, a filtrate obtained by separating and removing fine particles mixed in the support body when passing through the support body can be obtained.

本発明の両膜式セラミックフィルタは、流入面側濾過層と流出面側濾過層を有するので、これらの濾過層のいずれか一方のみを有する場合よりも、前記濾過層の前後の差圧を小さくすることができるから、濾過層が支持体から剥離しにくくなる。これについてより詳細に説明する。   Since the double membrane ceramic filter of the present invention has the inflow surface side filtration layer and the outflow surface side filtration layer, the differential pressure before and after the filtration layer is made smaller than when only one of these filtration layers is provided. Therefore, the filtration layer is difficult to peel from the support. This will be described in more detail.

多孔質セラミックス製のチューブ型の支持体(細孔径10μm)の円柱状の空間部の内周面に管状の多孔質セラミックス製の濾過層(細孔径0.2μm)を積層させている従来のセラミックフィルタであって、前記支持体と前記濾過層との抵抗の比(細孔径と厚さに依存)が1:5であるものは、濾過圧力20MPaで濾過したとすると、濾過対象液が流れた時の差圧は抵抗に比例するため、このときは、前記支持体前後の差圧が3.3MPaとなり、前記濾過層前後の差圧が16.7MPaとなる。   A conventional ceramic in which a tubular porous ceramic filter layer (pore diameter 0.2 μm) is laminated on the inner peripheral surface of a cylindrical space portion of a porous ceramic tube-type support (pore diameter 10 μm). A filter having a resistance ratio (depending on the pore diameter and thickness) of the support and the filtration layer of 1: 5 was filtered at a filtration pressure of 20 MPa. Since the differential pressure at the time is proportional to the resistance, the differential pressure before and after the support is 3.3 MPa, and the differential pressure before and after the filtration layer is 16.7 MPa.

これに対して、上記セラミックフィルタの支持体の外周面にさらに管状の多孔質セラミックス製の濾過層(細孔径0.2μm)を積層させた本発明のセラミックフィルタであって、前記支持体の外周面の濾過層と前記支持体と前記円柱状の空間部の内周面の濾過層との抵抗の比(細孔径と厚さに依存)が5:1:5であるものは、濾過圧力20MPaで濾過したとすると、濾過対象液が流れた時の差圧は抵抗に比例するため、このときは、前記支持体の外周面の濾過層前後の差圧が9.0MPaとなり、前記支持体前後の差圧が2.0MPaとなり、前記内周面の濾過層前後の差圧が9.0MPaとなる。以上のように、本発明の上記セラミックフィルタの場合、上記従来のセラミックフィルタと比較して、前記内周面の濾過層前後の差圧(圧力の差)を約1/2に小さくすることができる。   On the other hand, the ceramic filter of the present invention in which a tubular porous ceramic filtration layer (pore diameter 0.2 μm) is further laminated on the outer peripheral surface of the ceramic filter support, When the ratio of resistance (depending on pore diameter and thickness) of the filtration layer on the surface, the support and the filtration layer on the inner circumferential surface of the cylindrical space is 5: 1: 5, the filtration pressure is 20 MPa. Since the differential pressure when the liquid to be filtered flows is proportional to the resistance, the differential pressure before and after the filtration layer on the outer peripheral surface of the support becomes 9.0 MPa, and the pressure before and after the support is The differential pressure before and after the filtration layer on the inner peripheral surface becomes 9.0 MPa. As described above, in the case of the ceramic filter of the present invention, the differential pressure (pressure difference) before and after the filtration layer on the inner peripheral surface can be reduced to about ½ compared to the conventional ceramic filter. it can.

第6の視点における濾過方法は、第1〜3の視点における両膜式セラミックフィルタを用いて、濾過対象液を濾過する濾過方法であって、前記流入面側濾過層、前記支持体、前記流出面側濾過層の順に濾過対象液を通過させるので、高い濾過圧力で濾過した場合でも、前記流出面側濾過層は、支持体から剥離することなしに、支持体を通過した濾過液に含まれる固体粒子を分離することができる。第7の視点における濾過方法は、第4〜5の視点における両膜式セラミックフィルタを用いて、濾過対象液を濾過する濾過方法であって、前記支持体の外周面の濾過層、前記支持体、前記柱状空間部の内周面の濾過層の順に濾過対象液を通過させるので、高い濾過圧力(例えば、8〜20MPa)で濾過した場合でも、前記柱状空間部の内周面の濾過層は、支持体から剥離することなしに、さらにフィルタ自体が破損することなしに、支持体を通過した濾過液に含まれる固体粒子を分離することができる。   A filtration method according to a sixth aspect is a filtration method for filtering a liquid to be filtered using the two-membrane ceramic filter according to the first to third aspects, and includes the inflow surface side filtration layer, the support, and the outflow. Since the liquid to be filtered is passed in the order of the surface-side filtration layer, even when filtering at a high filtration pressure, the outflow surface-side filtration layer is included in the filtrate that has passed through the support without peeling off from the support. Solid particles can be separated. The filtration method according to the seventh aspect is a filtration method for filtering the liquid to be filtered using the double membrane ceramic filter according to the fourth to fifth aspects, wherein the filtration layer on the outer peripheral surface of the support, the support In addition, since the liquid to be filtered is passed in the order of the filtration layer on the inner peripheral surface of the columnar space, the filtration layer on the inner peripheral surface of the columnar space even when filtered at a high filtration pressure (for example, 8 to 20 MPa) The solid particles contained in the filtrate that has passed through the support can be separated without peeling from the support and without further damaging the filter itself.

本発明の両膜式セラミックフィルタがチューブ型又はモノリス型のような管状のセラミックフィルタである場合、フィルタの外側から内側(柱状空間部の内周面の濾過層側)に濾過対象液を流す理由は、管状のセラミックフィルタの半径外側方向への引っ張り強度に比べ、管状のセラミックフィルタの半径内側方向への圧縮強度が大きいため(通常、前記引っ張り強度の2〜10倍)、前記本発明のフィルタをより高い濾過圧力で使用することが可能になるからである。   When the double membrane ceramic filter of the present invention is a tubular ceramic filter such as a tube type or monolith type, the reason for flowing the liquid to be filtered from the outside of the filter to the inside (the filtration layer side of the inner circumferential surface of the columnar space) Has a higher compressive strength in the radially inner direction of the tubular ceramic filter than the tubular ceramic filter in the radially outward direction (usually 2 to 10 times the tensile strength), the filter of the present invention This is because it becomes possible to use at a higher filtration pressure.

[支持体]
支持体は、多孔質セラミックス製の支持体にすることができる。支持体の形状は、例えば、長さ方向に1本の柱状空間部を有するチューブ型の支持体、又は、長さ方向に2本以上の柱状空間部を並列に有するモノリス型の支持体にすることができる。支持体が多孔質セラミックス製である場合、細孔径が1〜100μm程度(好ましくは5〜20μm)のものを用いることができる。
[Support]
The support can be a porous ceramic support. The shape of the support is, for example, a tube-type support having one columnar space in the length direction, or a monolith type support having two or more columnar spaces in parallel in the length direction. be able to. When the support is made of porous ceramics, those having a pore diameter of about 1 to 100 μm (preferably 5 to 20 μm) can be used.

[濾過層]
濾過層は、多孔質セラミックス製の濾過層にすることができ、支持体に1層以上積層させて設けることができる。支持体が多孔質セラミックス製である場合、多孔質セラミックス製の濾過層の細孔径は、一般的に、多孔質セラミック製の支持体の細孔径よりも小さくする。最外層として設ける濾過層の細孔径は、好ましくは0.01〜1.0μm(より好ましくは0.05〜0.2μm)にする。
[Filtration layer]
The filtration layer can be a filtration layer made of porous ceramics, and can be provided by laminating one or more layers on the support. When the support is made of porous ceramic, the pore diameter of the porous ceramic filter layer is generally smaller than the pore diameter of the porous ceramic support. The pore diameter of the filtration layer provided as the outermost layer is preferably 0.01 to 1.0 μm (more preferably 0.05 to 0.2 μm).

多孔質セラミックス製の濾過層を2層以上多孔質セラミックス製の支持体に積層させる場合、前記支持体に近い側の濾過層から順に細孔径が小さくなるように濾過層を積層して設けることができる。濾過対象液が通過する際の流入面側濾過層と流出面側濾過層との抵抗の比は、40/60〜60/40(好ましくは45/55〜55/45)にすることができる。濾過対象液が通過する方向における流入面側濾過層と流出面側濾過層との厚さの比は、40/60〜60/40(好ましくは45/55〜55/45)にすることができる。   When two or more porous ceramic filter layers are stacked on a porous ceramic support, the filter layers may be stacked so that the pore diameter becomes smaller in order from the filter layer closer to the support. it can. The ratio of resistance between the inflow surface side filtration layer and the outflow surface side filtration layer when the liquid to be filtered passes can be 40/60 to 60/40 (preferably 45/55 to 55/45). The ratio of the thickness of the inflow surface side filtration layer and the outflow surface side filtration layer in the direction in which the liquid to be filtered passes can be 40/60 to 60/40 (preferably 45/55 to 55/45). .

[シール層]
支持体がチューブ型又はモノリス型の場合、さらに支持体の両端部にシール層を濾過層を介して又は介さずに設けることができる。前記両端部の外周面でシールする場合は、シール層を外周面に設けることができ、端面でシールする場合は、シール層を端面に設けることができる。
[Seal layer]
When the support is of a tube type or a monolith type, a seal layer can be further provided on both ends of the support with or without a filtration layer. When sealing with the outer peripheral surface of the said both ends, a sealing layer can be provided in an outer peripheral surface, and when sealing with an end surface, a sealing layer can be provided in an end surface.

シール層は、濾過対象液が浸透しない材料で形成することができ、例えば、ガラス又は樹脂等で構成される緻密質である。シール層の材料は、好ましくは、表面を平滑にすることができるものを用いる。シール層の表面は、好ましくは、平滑にする。ケース(容器)内に本発明のチューブ型又はモノリス型のセラミックフィルタをセット(配設)して使用する時、両端部にパッキンやOリングを用いてシールし、濾過時に原液と濾過液とを隔離する。この時、表面が平滑なシール層を設けることにより、シール性を向上でき、濾過液中の粒子数を小さくすることができる。   The sealing layer can be formed of a material that does not penetrate the liquid to be filtered, and is a dense material made of, for example, glass or resin. As the material for the sealing layer, a material that can smooth the surface is preferably used. The surface of the sealing layer is preferably smooth. When the tube type or monolith type ceramic filter of the present invention is set (arranged) in a case (container), seal it with packing or O-ring at both ends, and concentrate the stock solution and filtrate during filtration. Isolate. At this time, by providing a sealing layer having a smooth surface, the sealing performance can be improved, and the number of particles in the filtrate can be reduced.

図面に基づいて本発明の実施例のセラミックフィルタを説明する。図1は、本発明の実施例1のモノリス型のセラミックフィルタの概略斜視図(一部省略)である。図2は、実施例1のセラミックフィルタの径方向の概略断面図である。図3は、実施例1のセラミックフィルタの長さ方向(径方向に対して垂直方向)の概略部分断面図である。図4は、図2の一点鎖線で囲まれたAの領域の概略拡大断面図である。   The ceramic filter of the Example of this invention is demonstrated based on drawing. 1 is a schematic perspective view (partially omitted) of a monolithic ceramic filter according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic sectional view of the ceramic filter of Example 1 in the radial direction. FIG. 3 is a schematic partial cross-sectional view of the ceramic filter of Example 1 in the length direction (perpendicular to the radial direction). FIG. 4 is a schematic enlarged cross-sectional view of a region A surrounded by an alternate long and short dash line in FIG.

[実施例1]
実施例1のセラミックフィルタは、内径4mmの19本の並列の貫通孔(柱状空間部)35を有する外径30mmのモノリス型のフィルタである。このフィルタは、細孔径10μmの多孔質セラミックスからなるモノリス型の支持体31を有する。支持体31の外表面(外周面)と貫通孔35の内表面(内周面)には、管状の濾過中間層(厚さ40μm)と管状の濾過表面層(厚さ40μm)がこの順に積層して形成されている。濾過表面層の細孔径は、0.2μmである。濾過中間層の細孔径は、支持体31の細孔径よりも小さく、濾過表面層の細孔径よりも大きい。
[Example 1]
The ceramic filter of Example 1 is a monolith type filter having an outer diameter of 30 mm and having 19 parallel through holes (columnar spaces) 35 having an inner diameter of 4 mm. This filter has a monolithic support 31 made of porous ceramics having a pore diameter of 10 μm. A tubular filtration intermediate layer (thickness 40 μm) and a tubular filtration surface layer (thickness 40 μm) are laminated in this order on the outer surface (outer circumferential surface) of the support 31 and the inner surface (inner circumferential surface) of the through hole 35. Is formed. The pore diameter of the filtration surface layer is 0.2 μm. The pore diameter of the filtration intermediate layer is smaller than the pore diameter of the support 31 and larger than the pore diameter of the filtration surface layer.

支持体31の両端において、端面から15mmまでの外周面には、ガラス質から成る管状のシール層34が形成されている。両端面においては、中間層(厚さ40μm)及び濾過層(厚さ40μm)の形成は任意である。本実施例のセラミックフィルタは、両端面において中間層及び濾過層を形成しない。この場合には、両端面にもシール層を形成し封止することが一般的に必要であるが、図3では端面に形成されるべきシール層の記載を省略している。   At both ends of the support 31, a tubular sealing layer 34 made of glass is formed on the outer peripheral surface from the end surface to 15 mm. On both end faces, formation of the intermediate layer (thickness 40 μm) and the filtration layer (thickness 40 μm) is optional. The ceramic filter of this example does not form an intermediate layer and a filtration layer on both end faces. In this case, it is generally necessary to form and seal a seal layer on both end faces, but in FIG. 3, the description of the seal layer to be formed on the end face is omitted.

本実施例のセラミックフィルタにおけるセラミックスの材質は、アルミナ質のセラミックスである。本実施例のセラミックフィルタの運転時(使用時)には、図3に示す矢30の向きに、外表面(外周面)から濾過対象液をフィルタに注入する。濾過対象液は、支持体外周面に形成されている二重の積層濾過層32と、支持体31の貫通孔35の内周面に形成されている二重の積層濾過層33で、微細な固形粒子が除去される。微細な固形粒子が除去された濾過液は、貫通孔35の端部より流出する。   The material of the ceramic in the ceramic filter of the present embodiment is alumina ceramic. When the ceramic filter of this embodiment is in operation (in use), the liquid to be filtered is injected into the filter from the outer surface (outer peripheral surface) in the direction of the arrow 30 shown in FIG. The liquid to be filtered is fine with a double laminated filtration layer 32 formed on the outer peripheral surface of the support and a double laminated filtration layer 33 formed on the inner peripheral surface of the through hole 35 of the support 31. Solid particles are removed. The filtrate from which the fine solid particles have been removed flows out from the end of the through hole 35.

図3〜4に示すように、二重の積層濾過層32は、管状の濾過中間層42の外周面に管状の濾過表面層43が積層しているものである。また、二重の積層濾過層33は、管状の濾過中間層42’の内周面に管状の濾過表面層43’が積層しているものである。   As shown in FIGS. 3 to 4, the double laminated filtration layer 32 has a tubular filtration surface layer 43 laminated on the outer peripheral surface of a tubular filtration intermediate layer 42. The double laminated filtration layer 33 is formed by laminating a tubular filtration surface layer 43 ′ on the inner peripheral surface of a tubular filtration intermediate layer 42 ′.

実施例1のモノリス型のセラミックフィルタを用いて、図4の矢40の向きにフィルタの外周面から濾過対象液を供給し、フィルタの外周面の積層濾過膜、支持体、貫通孔の内周面の積層濾過膜の順に(図4の矢41の向きに)濾過対象液を通過させた。この場合、得られた濾過液中の0.2μm以上の粒子数は、30個/mlであり、膜剥離濾過圧力(濾過層が剥離する濾過圧力)は20MPa以上であり、破損濾過圧力(フィルタが破損する濾過圧力)は20MPa以上である。   Using the monolithic ceramic filter of Example 1, the liquid to be filtered is supplied from the outer peripheral surface of the filter in the direction of the arrow 40 in FIG. The liquid to be filtered was passed in the order of the laminated filtration membranes on the surface (in the direction of the arrow 41 in FIG. 4). In this case, the number of particles of 0.2 μm or more in the obtained filtrate is 30 / ml, the membrane peeling filtration pressure (filtration pressure at which the filtration layer peels) is 20 MPa or more, and the damaged filtration pressure (filter The filtration pressure at which is damaged is 20 MPa or more.

[実施例2]
実施例2のセラミックフィルタは、内径10mmの1本の貫通孔を有する外径30mmのチューブ型(円筒状)のフィルタである。チューブ型の支持体の外周面と貫通孔の内周面には、管状の濾過中間層(厚さ40μm)と管状の濾過表面層(厚さ40μm)がこの順に積層して形成されている。濾過表面層の細孔径は、0.2μmである。濾過中間層の細孔径は、支持体の細孔径よりも小さく、濾過表面層の細孔径よりも大きい。
[Example 2]
The ceramic filter of Example 2 is a tube type (cylindrical) filter having an outer diameter of 30 mm and having one through hole having an inner diameter of 10 mm. A tubular filtration intermediate layer (thickness 40 μm) and a tubular filtration surface layer (thickness 40 μm) are laminated in this order on the outer peripheral surface of the tube-type support and the inner peripheral surface of the through hole. The pore diameter of the filtration surface layer is 0.2 μm. The pore diameter of the filtration intermediate layer is smaller than the pore diameter of the support and larger than the pore diameter of the filtration surface layer.

[比較例1]
比較例1のフィルタは、実施例1のフィルタにおいて支持体の外周面に濾過層を設けていないこと以外は、実施例1のセラミックフィルタと同様のモノリス型のセラミックフィルタである。この比較例1のモノリス型のセラミックフィルタを用いて、フィルタの外周面から濾過対象液を供給し、支持体、貫通孔の内周面の積層濾過膜の順に濾過対象液を通過させた。この場合、得られた濾過液中の0.2μm以上の粒子数は、35個/mlであり、膜剥離濾過圧力は6MPaであり、破損濾過圧力は20MPa以上である。
[Comparative Example 1]
The filter of Comparative Example 1 is a monolithic ceramic filter similar to the ceramic filter of Example 1 except that no filter layer is provided on the outer peripheral surface of the support in the filter of Example 1. Using the monolithic ceramic filter of Comparative Example 1, the filtration target liquid was supplied from the outer peripheral surface of the filter, and the filtration target liquid was passed in the order of the support and the laminated filtration membrane on the inner peripheral surface of the through hole. In this case, the number of particles of 0.2 μm or more in the obtained filtrate is 35 / ml, the membrane peeling filtration pressure is 6 MPa, and the breakage filtration pressure is 20 MPa or more.

[比較例2]
比較例1のモノリス型のセラミックフィルタを用いて、フィルタの貫通孔の内周面から濾過対象液を供給し、貫通孔の内周面の積層濾過膜、支持体の順に濾過対象液を通過させた。この場合、得られた濾過液中の0.2μm以上の粒子数は、56個/mlであり、破損濾過圧力は8MPaである。なお、膜(濾過層)が剥離する前にフィルタ自体が破損したため、膜剥離濾過圧力は不明である。破損したフィルタにおいて、濾過層は支持体から剥離していない。
[Comparative Example 2]
Using the monolithic ceramic filter of Comparative Example 1, the filtration target liquid is supplied from the inner peripheral surface of the through hole of the filter, and the filtration target liquid is passed in the order of the laminated filtration membrane on the inner peripheral surface of the through hole and the support. It was. In this case, the number of particles of 0.2 μm or more in the obtained filtrate is 56 particles / ml, and the breakage filtration pressure is 8 MPa. In addition, since the filter itself was damaged before the membrane (filtration layer) peeled, the membrane peeling filtration pressure is unknown. In the damaged filter, the filtration layer does not peel from the support.

なお、実施例1及び比較例1〜2で用いた濾過対象液は、簡易純水(水道水を公称濾過精度0.5μmのカートリッジフィルタとイオン交換樹脂ボンベに通過させて得られた液)である。また、実施例1に記載した外径30mmのモノリス型セラミックフィルタの静圧における内圧破壊強度は、約10MPaであるが、運転開始時(濾過対象液のフィルタへの供給開始時)等の衝撃がある場合には、3〜6MPaで破損することがある。外圧の場合には、20MPaの圧力差をかけても破損することはない。   In addition, the filtration object liquid used in Example 1 and Comparative Examples 1 and 2 is simple pure water (liquid obtained by passing tap water through a cartridge filter having a nominal filtration accuracy of 0.5 μm and an ion exchange resin cylinder). is there. Further, the internal pressure breaking strength at a static pressure of the monolith type ceramic filter having an outer diameter of 30 mm described in Example 1 is about 10 MPa, but there is an impact at the start of operation (at the start of supply of the liquid to be filtered to the filter). In some cases, it may break at 3-6 MPa. In the case of external pressure, no damage is caused even when a pressure difference of 20 MPa is applied.

図1は、本発明の一実施例のセラミックフィルタの概略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view of a ceramic filter according to an embodiment of the present invention. 図2は、本発明の一実施例のセラミックフィルタの径方向の概略断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view in the radial direction of a ceramic filter according to an embodiment of the present invention. 図3は、本発明の一実施例のセラミックフィルタの長さ方向(径方向に対して垂直方向)の概略部分断面図である。FIG. 3 is a schematic partial cross-sectional view in the length direction (perpendicular to the radial direction) of the ceramic filter of one embodiment of the present invention. 図4は、図2の一点鎖線で囲まれたAの領域の概略拡大断面図である。FIG. 4 is a schematic enlarged cross-sectional view of a region A surrounded by an alternate long and short dash line in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

31 支持体
32、33 積層濾過層
34 シール層
35 貫通孔
42、42’ 濾過中間層
43、43’ 濾過表面層
31 Support 32, 33 Laminated filtration layer 34 Seal layer 35 Through hole 42, 42 'Filtration intermediate layer 43, 43' Filtration surface layer

Claims (8)

支持体に濾過層を有するセラミックフィルタであって、濾過対象液中の液体が前記支持体の内部に流入する支持体流入面に1層以上の流入面側濾過層を有し、前記流入面側濾過層を通過して前記支持体の内部に流入した前記液体が前記支持体の外部に流出する支持体流出面に1層以上の流出面側濾過層を有することを特徴とする両膜式セラミックフィルタ。   A ceramic filter having a filter layer on a support, the liquid in the liquid to be filtered having at least one inflow surface side filter layer on the support inflow surface into which the liquid flows into the support, and the inflow surface side A bi-membrane type ceramic comprising at least one outflow surface side filtration layer on a support outflow surface through which the liquid flowing through the filtration layer and flowing into the support outflows to the outside of the support filter. 長さ方向に1本の柱状空間部を有するチューブ型の支持体に濾過層を有するセラミックフィルタであって、濾過対象液中の液体が前記支持体の内部に流入する前記支持体の外周面に1層以上の流入面側濾過層を有し、前記流入面側濾過層を通過して前記支持体の内部に流入した前記液体が前記支持体の外部に流出する前記柱状空間部の内周面に1層以上の流出面側濾過層を有することを特徴とする両膜式セラミックフィルタ。   A ceramic filter having a filtration layer on a tube-type support having a single columnar space in the length direction, wherein the liquid in the liquid to be filtered flows into the inside of the support. An inner peripheral surface of the columnar space portion that has one or more inflow surface side filtration layers, and the liquid that has flowed into the support body through the inflow surface side filtration layer flows out to the outside of the support body A double membrane ceramic filter characterized in that it has one or more outflow surface side filtration layers. 長さ方向に2本以上の柱状空間部を並列に有するモノリス型の支持体に濾過層を有するセラミックフィルタであって、濾過対象液中の液体が前記支持体の内部に流入する前記支持体の外周面に1層以上の流入面側濾過層を有し、前記流入面側濾過層を通過して前記支持体の内部に流入した前記液体が前記支持体の外部に流出する前記柱状空間部の内周面に1層以上の流出面側濾過層を有することを特徴とする両膜式セラミックフィルタ。   A ceramic filter having a filtration layer on a monolithic support having two or more columnar spaces in parallel in the length direction, wherein the liquid in the liquid to be filtered flows into the support. The columnar space portion has at least one inflow surface side filtration layer on an outer peripheral surface, and the liquid flowing into the support through the inflow surface side filtration layer flows out of the support. A double membrane ceramic filter comprising one or more outflow surface side filtration layers on an inner peripheral surface. 長さ方向に1本の柱状空間部を有するチューブ型の支持体の外周面及び前記柱状空間部の内周面のそれぞれに、1層以上の濾過層を有することを特徴とする両膜式セラミックフィルタ。   A double membrane ceramic characterized in that it has one or more filtration layers on each of an outer peripheral surface of a tube-type support having one columnar space portion in the length direction and an inner peripheral surface of the columnar space portion. filter. 長さ方向に2本以上の柱状空間部を並列に有するモノリス型の支持体の外周面及び前記柱状空間部のうちの1本以上の柱状空間部の内周面のそれぞれに、1層以上の濾過層を有することを特徴とする両膜式セラミックフィルタ。   One or more layers are provided on each of the outer peripheral surface of the monolithic support having two or more columnar space portions in parallel in the length direction and the inner peripheral surface of one or more columnar space portions of the columnar space portions. A double membrane ceramic filter comprising a filtration layer. 前記チューブ型又は前記モノリス型の支持体の端部の外周面及び端面の少なくとも一面に、濾過対象液中の液体の通過が困難ないし不可能なシール層を有することを特徴とする請求項2〜5のいずれか一に記載の両膜式セラミックフィルタ。   3. A seal layer that makes it difficult or impossible to pass a liquid in a liquid to be filtered is provided on at least one of an outer peripheral surface and an end surface of an end portion of the tube-type or monolith-type support. The double membrane ceramic filter according to any one of 5. 請求項1〜3及び6のいずれか一に記載の両膜式セラミックフィルタを用いて濾過対象液を濾過する濾過方法であって、
前記流入面側濾過層、前記支持体、前記流出面側濾過層の順に濾過対象液を通過させることを特徴とする濾過方法。
A filtration method for filtering a liquid to be filtered using the double membrane ceramic filter according to any one of claims 1 to 3,
A filtration method, wherein the liquid to be filtered is passed in the order of the inflow surface side filtration layer, the support, and the outflow surface side filtration layer.
請求項4〜6のいずれか一に記載の両膜式セラミックフィルタを用いて濾過対象液を濾過する濾過方法であって、
前記支持体の外周面の濾過層、前記支持体、前記柱状空間部の内周面の濾過層の順に濾過対象液を通過させることを特徴とする濾過方法。
A filtration method for filtering a liquid to be filtered using the double membrane ceramic filter according to any one of claims 4 to 6,
The filtration method characterized by allowing the liquid to be filtered to pass in the order of the filtration layer on the outer peripheral surface of the support, the support, and the filtration layer on the inner peripheral surface of the columnar space.
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