JP2005057289A - リソグラフィ装置及びデバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リソグラフィ装置内で対象物テーブルを位置決めする第1駆動ユニット及び第2駆動ユニットの組合せを説明する。第1駆動ユニットは、対象物テーブルに連結された第1部分と、第2駆動ユニットの第1部分に連結された第2部分とを有する。第1駆動ユニットの第1及び第2部分は、壁によって互いに分離される。それによって、対象物を取り囲む調節された環境の維持が容易になる。
【選択図】図4a
Description
放射投影ビームを提供する照明装置と、
投影ビームの横断面にパターンを付与する働きをするパターン化手段を保持する保持構造体と、
基板を保持する基板テーブルと、
基板の目標部分にパターン化されたビームを投影する投影装置と、
前記保持構造体又は基板テーブルの少なくとも1つを位置決めする位置決め装置とを含むリソグラフィ装置であって、前記位置決め装置が、
第1部分及び第2部分を含み、第1部分が、前記保持構造体又は基板テーブルに連結され、かつ第2部分に対して相対的に移動可能な第1駆動ユニットと、
第1駆動ユニットの第2部分に連結され、少なくとも1方向に前記第1駆動ユニットを移動させる第2駆動ユニットとを含むリソグラフィ装置に関するものである。
さらに本発明は、デバイスの製造方法に関するものである。
放射感受性材料の層により少なくとも部分的に覆われた基板を提供する段階と、
放射装置を使用して放射投影ビームを提供する段階と、
パターン化手段を使用して投影ビームの横断面にパターンを付与する段階と、
放射感受性材料の層の目標部分にパターン化された放射ビームを投影する段階と、
位置決め装置によって前記パターン化手段又は基板の少なくとも1つを位置決めする段階であって、この位置決め装置が、
第1部分が、前記対象物に直接又は間接的に連結されかつ第2部分に対して相対的に移動可能な第1部分及び第2部分を含む第1駆動ユニットと、
第1駆動ユニットの第2部分に連結され、少なくとも1方向に前記第1駆動ユニットを移動させる第2駆動ユニットとを含む、位置決めする段階と、
壁によって第1駆動ユニットの第1部分を第1駆動ユニットの第2部分から分離する段階とを含む。
放射投影ビーム(例えば、UV放射又はEUV放射)PBを提供する照明装置(照明器)ILと、
パターン化手段(例えばマスク)MAを支持し、部品PLに対してパターン化手段を正確に位置決めする第1位置決め手段PMに連結された第1保持構造体(例えばマスク・テーブル)MTと、
基板(例えば、レジストを被覆したウェハ)Wを保持し、部品PLに対して基板を正確に位置決めする第2位置決め手段PWに連結された基板テーブル(例えばウェハ・テーブル)WTと、
基板Wの目標部分C(例えば、1つ又は複数のダイを含む)に、パターン化手段MAによって投影ビームPBに付与されたパターンを結像する投影装置(例えば屈折型投影レンズ)PLとを含む。
1.ステップ・モードでは、マスク・テーブルMT及び基板テーブルWTは本質的に固定したまま、目標部分Cに、投影ビームに付与されたパターン全体を1回で(すなわち1回の静止露光で)投影する。次いで、基板テーブルWTをX方向及び/又はY方向に移動して、異なる目標部分Cを露光することができる。ステップ・モードでは、露光領域の最大サイズが、1回の静止露光で画像形成される目標部分Cのサイズを制限する。
2.スキャン・モードでは、マスク・テーブルMT及び基板テーブルWTが同期して走査され、投影ビームに付与されたパターンが目標部分Cに投影される(すなわち、1回の動的な露光)。マスク・テーブルMTに対する相対的な基板テーブルWTの速度及び方向は、投影装置PLの倍率(縮小率)及び像の反転特性によって決まる。スキャン・モードでは、露光領域の最大サイズが、1回の動的な露光における目標部分の(非走査方向の)幅を制限し、走査移動長により、目標部分の(走査方向の)高さが決まる。
3.別のモードでは、プログラム制御可能なパターン化手段を保持するマスク・テーブルMTが本質的に固定され、基板テーブルWTが移動すなわち走査され、目標部分Cに、投影ビームに付与されたパターンが投影される。一般に、このモードでは、パルス化された放射源を用い、基板テーブルWTの各移動動作後に、又は走査中に連続放射パルス間で、プログラム制御可能なパターン化手段が必要に応じて更新される。この作動モードは、前記で言及した種類のプログラム制御可能なミラー・アレイなどのプログラム制御可能なパターン化手段を利用するマスクのないリソグラフィに容易に適用することができる。
Claims (13)
- 放射投影ビームを提供する照明装置と、
前記投影ビームの横断面にパターンを付与する働きをするパターン化手段を保持する保持構造体と、
基板を保持する基板テーブルと、
前記基板の目標部分にパターン化されたビームを投影する投影装置と、
前記保持構造体又は基板テーブルの少なくとも1つを位置決めする位置決め装置とを含むリソグラフィ装置であって、前記位置決め装置が、
第1部分及び第2部分を含む第1駆動ユニットであって、該第1部分が、前記保持構造体又は前記基板テーブルに連結されかつ前記第2部分に対して相対的に移動可能な第1駆動ユニットと、
前記第1駆動ユニットの前記第2部分に連結され、少なくとも1方向に前記第1駆動ユニットを移動させる第2駆動ユニットとを含むリソグラフィ装置において、
前記第2駆動ユニット及び前記第1駆動ユニットの前記第2部分が、壁によって前記第1駆動ユニットの前記第1部分から分離されていることを特徴とするリソグラフィ装置。 - 前記壁が、前記第1駆動ユニットの前記第1部分及び前記保持構造体又は前記基板テーブルを取り囲む隔室の一部である請求項1に記載されたリソグラフィ装置。
- 前記壁が、前記第1駆動ユニットの前記第2部分及び前記第2駆動ユニットを取り囲む隔室の一部である請求項1に記載されたリソグラフィ装置。
- 前記第1駆動ユニットの前記第1部分が磁石装置を含み、前記第2部分が電気コイル装置を含む請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載されたリソグラフィ装置。
- 前記第1駆動ユニットが、前記第1駆動ユニットの前記第1部分に連結された第1磁石組立体と、前記第1駆動ユニットの前記第2部分に連結された第2磁石組立体とを含む磁気支持装置をさらに含む請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載されたリソグラフィ装置。
- 前記第2駆動ユニットが平面モータである請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載されたリソグラフィ装置。
- 前記保持構造体又は前記基板テーブルが、前記第1駆動ユニットによって6自由度で位置決めされる請求項1から請求項6までのいずれか1項に記載されたリソグラフィ装置。
- 実質的に平坦な前記壁が、実質的に非磁性材料でできている請求項1から請求項7までのいずれか1項に記載されたリソグラフィ装置。
- 実質的に平坦な前記壁が、実質的に非導電材料でできている請求項1から請求項8までのいずれか1項に記載されたリソグラフィ装置。
- 前記第1駆動ユニットが、調節された隔室の壁を前記第1駆動ユニットの前記第2部分に対して相対的に所定の距離で維持する空気軸受けをさらに含む請求項1から請求項9までのいずれか1項に記載されたリソグラフィ装置。
- 第1部分及び第2部分を含む第1駆動ユニットであって、前記第1部分が、対象物テーブルに連結されかつ前記第2部分に対して相対的に移動可能な第1駆動ユニットと、
前記第1駆動ユニットの前記第2部分に連結された第2駆動ユニットであって、前記第2駆動ユニットによって前記第1駆動ユニットを少なくとも1方向に移動させることができる第2駆動ユニットとを含む対象物テーブルを位置決めする位置決め装置において、
前記第2駆動ユニット及び前記第1駆動ユニットの前記第2部分が、壁によって前記第1駆動ユニットの前記第1部分から分離されていることを特徴とする位置決め装置。 - デバイスを製造する方法において、
放射感受性材料の層により少なくとも部分的に覆われた基板を提供する段階と、
放射装置を使用して放射投影ビームを提供する段階と、
パターン化手段を使用して前記投影ビームの横断面にパターンを付与する段階と、
前記放射感受性材料の層の目標部分に前記パターン化された放射ビームを投影する段階と、
位置決め装置によって前記パターン化手段又は基板の少なくとも1つを位置決めする段階であって、前記位置決め装置が、
第1部分が、対象物に直接又は間接的に連結されかつ第2部分に対して相対的に移動可能な、第1部分及び第2部分を含む第1駆動ユニットと、
前記第1駆動ユニットの前記第2部分に連結され、少なくとも1方向に前記第1駆動ユニットを移動させる第2駆動ユニットとを含む、位置決めする段階と、
壁によって前記第1駆動ユニットの前記第1部分を前記第1駆動ユニットの前記第2部分から分離する段階を含む、デバイスを製造する方法。 - 請求項1から請求項11までのいずれか1項に記載されたリソグラフィ装置を使用することによって、LCD又は半導体デバイスを製造する、デバイスを製造する方法。
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