JP2005039974A - 回転制御装置、原盤露光装置、回転制御方法および原盤露光方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 ロータリエンコーダのパターンむら等による検出誤差を電気信号処理により補正することで、回転精度、送り精度ともに高い精度を実現するものである。
【解決手段】 本発明は、駆動手段の回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスであるエンコーダパルスＰ２を周波数位相比較器４、ループフィルタ５、電圧制御発振器（ＶＣＯ）６および1／Ｎ分周器７より構成されるＰＬＬ（フェイズロックドループ）によりいったんＮ（整数）倍の高周波に変換し、1／Ｍ分周器８より分周して元と同じ周波数のパルスを得ることにより、ロータリエンコーダの検出誤差を補正する補正手段を有し、ＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段のサーボ状態に応じて補正手段の補正パルスをＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段にフィードバックするようにしたものである。
【選択図】 図１

Description

本発明は、回転基準パルスと駆動手段の回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスのエッジのタイミングを比較し、両者のずれ量を検出して駆動手段の回転駆動信号とするＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段により回転制御を行う回転制御装置、原盤露光装置、回転制御方法および原盤露光方法に関する。

原盤露光装置において、ディスクの記録密度の増加に伴い、送り系、回転系ともに高い精度が要求されるようになっている。送り系では、例えばＣＤではトラックピッチ１．６μｍに対し許容ピッチ誤差は±０．１μｍであったが、ＤＶＤでは０．７４μｍ±０．０３μｍ、Ｂｌｕ−ｒａｙ Ｄｉｓｃでは０．３２μｍ±０．０１０μｍと許容ピッチ誤差が小さくなってきているため、送り速度むらの影響が大きくなる。同様に回転系でも、ＣＤでは最短ピット長が０．８μｍであったが、ＤＶＤでは０．４μｍ、Ｂｌｕ−ｒａｙ Ｄｉｓｃでは０．１５μｍと小さくなっているため、回転むらが再生信号ジッタに影響してしまう。そのため、それぞれのサーボゲインを高く設定し、精度を上げなければならない。

特許文献1には、回転装置において、回転制御の精度を向上するために、ロータリエンコーダの第1のトラックと同心円状に設けられたロータリエンコーダの第2のトラックに基準クロックを記録再生する記録再生手段を設け、校正モード時、ロータリエンコーダの第1のトラックに記録されたパルス発生情報に基づいて、回転力出力源の駆動状態を制御できる周波数帯域よりも十分に高い一定速度でロータリエンコーダを回転させるように回転力出力源を制御しながら、基準クロックを記録再生手段を介してロータリエンコーダの第2のトラックに記録する一方、校正モードに続く回転モード時、ロータリエンコーダの第2のトラックに記録された基準クロックに基づいてロータリエンコーダを所定状態に回転させるように回転力出力源の駆動状態を制御する回転装置が開示されている。
特開平１１−４１９６４号公報

しかしながら、回転角度を検出するロータリエンコーダにはパターンむら等による検出誤差があるのが一般的で、回転系のサーボゲインを上げるとそれに追従してしまい、かえって回転むらが大きくなってしまう。ただし、これらによる回転むらが１回転に１〜８周期程度と記録信号周波数に比べて低周波であるため、あまり大きな問題にはならなかった。

一方で、このような高密度記録に対応するため、近年では電子ビームによる原盤露光が行われるようになった。電子ビーム露光装置では、電子ビームカラムを移動させることは困難なため、露光系は固定で、回転系移動型のメカニズムが採用される。また、従来のレーザビーム露光装置においても、光学系移動型では原盤の内外周で露光条件を合わせるのが難しく、やはり回転系移動型が一般的になってきている。

このような回転系移動型の場合、回転系固定型に比べて回転むらが送り系に与える影響が大きくなる。すなわち、回転むらが振動源になり送り速度むらを誘発してしまう。先に延べたようにトラックピッチ精度に対する要求が厳しくなっているため、この送りむらを防ぐためには送り系のサーボゲインを上げなければならないが、回転むらの周波数の方が送り系のサーボ帯域よりも高く困難である。そのため、回転系のサーボゲインを下げなければならず、回転精度が犠牲になっていた。また、回転系のサーボ特性を、送り系に影響を与える高域のみゲインを落とす方法も考えられるが、制御系を安定に保ったままこのような特性を実現することは難しい。

特許文献1では、ふたつの記録再生トラックを持つロータリエンコーダを、校正モードと回転モードとで順次パターンむらを低減するように記録し、その記録パターンの出力信号を読み出して、モータの回転精度を高めるものであり、本発明のようにロータリエンコーダ自体には処理を施さず回転精度を向上し、これによりスライド送り精度を向上するものとは異なる。

上記課題を解決し、本発明の目的を達成するため、本発明は、上記のようなロータリエンコーダのパターンむら等による検出誤差を電気信号処理により補正することで、回転精度、送り精度ともに高い精度を実現するものである。

本発明は、駆動手段の回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスをＰＬＬ（フェイズロックドループ）によりいったんＮ（整数）倍の高周波に変換し、分周して元と同じ周波数のパルスを得ることにより、ロータリエンコーダの検出誤差を補正する補正手段を有し、ＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段のサーボ状態に応じて補正手段の補正パルスをＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段にフィードバックするようにしたことを特徴とする回転制御装置である。

また、本発明は、回転基準パルスと回転系の駆動手段の回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスのエッジのタイミングを比較し、両者のずれ量を検出して駆動手段の回転駆動信号とするＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段により回転制御を行う回転制御部に対して、駆動手段の回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスをＰＬＬ（フェイズロックドループ）によりいったんＮ（整数）倍の高周波に変換し、分周して元と同じ周波数のパルスを得ることにより、ロータリエンコーダの検出誤差を補正する補正手段を有し、ＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段のサーボ状態に応じて補正手段の補正パルスをＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段にフィードバックするようにしたことを特徴とする原盤露光装置である。

また、本発明は、ＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段の、立ち上げからサーボロックするまでは無補正パルスのままフィードバックするステップと、サーボロックして安定した後に、駆動手段の回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスをＰＬＬ（フェイズロックドループ）によりいったんＮ（整数）倍の高周波に変換し、分周して元と同じ周波数のパルスを得ることにより、ロータリエンコーダの検出誤差を補正する補正手段の補正パルスへ切り替える補正ステップとを備えたことを特徴とする回転制御方法である。

また、本発明は、回転基準パルスと回転系の駆動手段の回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスのエッジのタイミングを比較し、両者のずれ量を検出して駆動手段の回転駆動信号とするＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段により回転制御を行う際にＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段の、立ち上げからサーボロックするまでは無補正パルスのままフィードバックするステップと、サーボロックして安定した後に、駆動手段の回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスをＰＬＬ（フェイズロックドループ）によりいったんＮ（整数）倍の高周波に変換し、分周して元と同じ周波数のパルスを得ることにより、ロータリエンコーダの検出誤差を補正する補正手段の補正パルスへ切り替える補正ステップとを備えたことを特徴とする原盤露光方法である。

上述したように、本発明では原盤露光装置の回転制御系において、回転角度を検出するロータリエンコーダのパターンむら等による検出誤差を補正し、サーボロック時にはこの補正信号をフィードバックすることで角速度むらをなくし、回転精度を向上させることができる。さらにこの補正において、エンコーダの歯数を増やすことも可能であるので、より滑らかな回転制御が可能になる。これにより送り制御系への影響を低減することができ、回転精度、送り精度ともに高い精度を実現することができる。

モータなどの駆動手段の回転制御系は、高い回転精度を実現するためにＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御方式が採用されている。ＰＬＬ回路のブロック図（主用部のみ）を図２に示す。

回転基準パルスＰ１とロータリエンコーダ２５からのフィードバックパルスであるエンコーダパルスＰ２のエッジのタイミングを周波数位相比較器２１で比較し、そのずれ量を検出してループフィルタ２２を介して位相補償器２３で位相補償を行った後にモータドライバ２４へ供給する回転駆動信号とするため、両パルスの位相が揃い、高い回転精度が得られる。

しかし、上述したＰＬＬ回路では、ロータリエンコーダ２５の１回転中に粗密のパターンむらがあると、そのエンコーダパルスＰ２のエッジを基準パルスＰ１に合わせようと制御するため、実際の角速度がそのロータリエンコーダ２５の粗密に合わせて変わってしまうことになる。

そこで、本発明の実施の形態では、そのロータリエンコーダ２５の粗密を以下に説明する補正手段により補正することで、サーボゲインが高くても角速度むらを低減でき、高い回転精度を保つことができるようにする。これにより、送り制御系への影響も防ぐことができる。

図３に示すように、ロータリエンコーダ２５からのフィードバックパルスであるエンコーダパルスＰ２を周波数位相比較器３１、ループフィルタ３２、電圧制御発振器（ＶＣＯ）３３および1／Ｎ分周器３４より構成されるＰＬＬによりいったんＮ倍の高周波に変換し、1／Ｍ（ここではＭ＝Ｎとする）分周器３５より分周して元と同じ周波数の補正パルスＰ３を得る。

その際にループフィルタ３２の時定数を、疎密の現れる周期に対し大きく設定すれば、パターンむら等による粗密のない補正フィードバックパルスＰ３が得られる。ただし、時定数はむやみに大きくすることはできない。時定数を大きくしすぎると実際の回転むらも検出できなくなってしまうからである。ここでは送り系への影響を低減することを目的に、送り制御のサーボゲインを考慮して最適になるように設定する。

一般的な送り制御系のサーボ特性は図4に示すようであり、１０Ｈｚでは外乱による制御誤差を１／１００に抑えることができるが、３０Ｈｚでは１／１０に、１００Ｈｚ以上では抑圧できなくなる。よって、補正ＰＬＬ回路のループフィルタ３２のカットオフ周波数を３０Ｈｚあたりに設定し、それ以上の周波数のむらには追従しないようにすればよい。

ここで、1／Ｎ分周器３４および1／Ｍ分周器３５の分周比を変えることで、元のエンコーダパルスＰ２と同じ周波数でなくても２倍、４倍等の高い周波数に変換することもできる。すなわちロータリエンコーダ２５の歯数を増やしたことになり、基準パルスＰ１の周波数もこれに合わせて変換することで、回転制御ＰＬＬの１回転中の位相比較ポイント数が増えることになり、より滑らかな回転制御が可能になる。例えば図３において、Ｎ＝２Ｍとすると１回転の歯数は２倍になり、Ｎ＝４Ｍとすれば１回転の歯数は４倍になる。

図１に本発明の実施の形態における回転制御ＰＬＬ回路のブロック図を示す。
この回転制御ＰＬＬ回路は、基準パルスＰ１と駆動手段であるモータの回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスであるエンコーダパルスＰ２のエッジのタイミングを周波数位相比較器１で比較し、両者のずれ量を検出してループフィルタ２を介して位相補償器３で位相補償を行った後にモータドライバ１０へ供給して駆動手段の回転駆動信号とするＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段により回転制御を行う回転制御装置に適用される。

ここで、回転制御ＰＬＬ回路は、駆動手段の回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスであるエンコーダパルスＰ２を周波数位相比較器４、ループフィルタ５、電圧制御発振器（ＶＣＯ）６および1／Ｎ分周器７より構成されるＰＬＬ（フェイズロックドループ）によりいったんＮ（整数）倍の高周波に変換し、1／Ｍ（ここではＭ＝Ｎとする）分周器８より分周して元と同じ周波数のパルスを得ることにより、ロータリエンコーダの検出誤差を補正する補正手段を有し、周波数位相比較器１、ループフィルタ２、位相補償器3から構成されるＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段のサーボ状態、つまりサーボがロックしているか否かに応じて補正手段の補正パルスＰ３をＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段にフィードバックするように構成される。

また、回転制御ＰＬＬ回路は、切換器９により、ＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段の、立ち上げからサーボロックするまでは無補正パルスのままフィードバックし、サーボロックして安定した後に補正手段の補正パルスへ切り替えるように構成される。

また、回転制御ＰＬＬ回路は、ロータリエンコーダの検出精度に応じて補正手段の分周比を変えるように構成される。

このように構成された回転制御ＰＬＬ回路の動作を以下に説明する。
まず、切換器９により、ＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段の、立ち上げからサーボロックするまでは無補正パルスのままフィードバックし、回転基準パルスＰ１とロータリエンコーダ２５からのフィードバックパルスであるエンコーダパルスＰ２のエッジのタイミングを周波数位相比較器１で比較し、そのずれ量を検出してループフィルタ２を介して位相補償器３で位相補償を行った後にモータドライバ１０へ供給する。

次に、切換器９により、ＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段がサーボロックして安定した後に補正手段の補正パルスＰ３へ切り替えてフィードバックし、駆動手段の回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスであるエンコーダパルスＰ２を周波数位相比較器４、ループフィルタ５、電圧制御発振器（ＶＣＯ）６および1／Ｎ分周器７より構成されるＰＬＬ（フェイズロックドループ）によりいったんＮ（整数）倍の高周波に変換し、1／Ｍ（ここではＭ＝Ｎとする）分周器８より分周して元と同じ周波数のパルスを得ることにより、ロータリエンコーダの検出誤差を補正手段により補正し、回転基準パルスＰ１と補正パルスＰ３のエッジのタイミングを周波数位相比較器１で比較し、そのずれ量を検出してループフィルタ２を介して位相補償器３で位相補償を行った後にモータドライバ１０へ供給する。

これにより、回転基準パルスＰ１と補正パルスＰ３のずれ量により生成される回転駆動信号により、両パルスの位相が揃い、高い回転精度が得られる。

なお、補正手段を構成する補正用ＰＬＬの応答性を落とすため、立ち上げ時の加速を高速にしたい場合、ＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段のサーボが追従できないことが考えられる。また、ＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段がサーボ停止時にも補正手段を構成する補正用ＰＬＬの不必要な補正パルスが発生してしまうため、立ち上げからサーボロックするまでは無補正パルスのままフィードバックし、サーボロックして安定した後に補正パルスＰ３へ切り替えるようにする。

また、この回転制御ＰＬＬ回路は、原盤にビームを照射して原盤の露光を行う露光系は固定で、原盤を回転駆動する回転系を露光系に対して原盤の径方向に移動する回転系移動型の原盤露光装置において、回転基準パルスと回転系の駆動手段であるモータの回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスであるエンコーダパルスＰ２のエッジのタイミングを比較し、両者のずれ量を検出して周波数位相比較器１で比較し、両者のずれ量を検出してループフィルタ２を介して位相補償器３で位相補償を行った後にモータドライバ１０へ供給して駆動手段の回転駆動信号とするＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段により回転制御を行う回転制御部に対して適用される。

ここで、この原盤露光装置の回転制御部は、駆動手段の回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスであるエンコーダパルスＰ２を周波数位相比較器４、ループフィルタ５、電圧制御発振器（ＶＣＯ）６および1／Ｎ分周器７より構成されるＰＬＬ（フェイズロックドループ）によりいったんＮ（整数）倍の高周波に変換し、1／Ｍ（ここではＭ＝Ｎとする）分周器８より分周して元と同じ周波数のパルスを得ることにより、ロータリエンコーダの検出誤差を補正する補正手段を有し、周波数位相比較器１、ループフィルタ２、位相補償器3から構成されるＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段のサーボ状態、つまりサーボがロックしているか否かに応じて補正手段の補正パルスＰ３をＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段にフィードバックするように構成される。

また、この原盤露光装置の回転制御部は、ＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段の、立ち上げからサーボロックするまでは無補正パルスのままフィードバックし、サーボロックして安定した後に補正手段の補正パルスへ切り替えるように構成される。

また、この原盤露光装置の回転制御部は、ロータリエンコーダの検出精度に応じて上記補正手段の分周比を変えるように構成される。

これにより、回転基準パルスＰ１と補正パルスＰ３のずれ量により生成される回転駆動信号により、両パルスの位相が揃い、高い回転精度が得られる。

また、この回転制御方法は、回転基準パルスＰ１と駆動手段の回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスであるエンコーダパルスＰ２のエッジのタイミングを比較し、両者のずれ量を検出して周波数位相比較器１で比較し、両者のずれ量を検出してループフィルタ２を介して位相補償器３で位相補償を行った後にモータドライバ１０へ供給して駆動手段の回転駆動信号とするＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段により回転制御を行う回転制御方法に適用される。

ここで、この回転制御方法は、ＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段の、立ち上げからサーボロックするまでは無補正パルスのままエンコーダパルスＰ２をＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段にフィードバックする制御ステップと、サーボロックして安定した後に、駆動手段の回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスであるエンコーダパルスＰ２を周波数位相比較器４、ループフィルタ５、電圧制御発振器（ＶＣＯ）６および1／Ｎ分周器７より構成されるＰＬＬ（フェイズロックドループ）によりいったんＮ（整数）倍の高周波に変換し、1／Ｍ（ここではＭ＝Ｎとする）分周器８より分周して元と同じ周波数のパルスを得ることにより、ロータリエンコーダの検出誤差を補正する補正手段の補正パルスへ切り替えて補正パルスをＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段にフィードバックする補正ステップとを備えるように構成される。

これにより、回転基準パルスＰ１と補正パルスＰ３のずれ量により生成される回転駆動信号により、両パルスの位相が揃い、高い回転精度が得られる。

また、この回転制御方法は、原盤にビームを照射して原盤の露光を行う露光系は固定で、原盤を回転駆動する回転系を露光系に対して原盤の径方向に移動する回転系移動型の原盤露光方法において、回転基準パルスＰ１と回転系の駆動手段の回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスであるエンコーダパルスＰ２のエッジのタイミングを比較し、両者のずれ量を検出して周波数位相比較器１で比較し、両者のずれ量を検出してループフィルタ２を介して位相補償器３で位相補償を行った後にモータドライバ１０へ供給して駆動手段の回転駆動信号とするＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段により回転制御を行う際に適用される。

ここで、この原盤露光方法の回転制御方法は、上記ＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段の、立ち上げからサーボロックするまでは無補正パルスのままエンコーダパルスＰ２をＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段にフィードバックするステップと、

サーボロックして安定した後に、上記駆動手段の回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスであるエンコーダパルスＰ２を周波数位相比較器４、ループフィルタ５、電圧制御発振器（ＶＣＯ）６および1／Ｎ分周器７より構成されるＰＬＬ（フェイズロックドループ）によりいったんＮ（整数）倍の高周波に変換し、1／Ｍ（ここではＭ＝Ｎとする）分周器８より分周して元と同じ周波数のパルスを得ることにより、ロータリエンコーダの検出誤差を補正する補正手段の補正パルスへ切り替えて補正パルスＰ３をＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段にフィードバックする補正ステップとを備えるように構成される。

これにより、回転基準パルスＰ１と補正パルスＰ３のずれ量により生成される回転駆動信号により、両パルスの位相が揃い、高い回転精度が得られる。

本発明は、原盤にビームを照射して原盤の露光を行う露光系は固定で、原盤を回転駆動する回転系を露光系に対して原盤の径方向に移動する回転系移動型の原盤露光装置において、回転基準パルスＰ１と回転系の駆動手段であるモータの回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスであるエンコーダパルスＰ２のエッジのタイミングを比較し、両者のずれ量を検出して周波数位相比較器１で比較し、両者のずれ量を検出してループフィルタ２を介して位相補償器３で位相補償を行った後にモータドライバ１０へ供給して駆動手段の回転駆動信号とするＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段により回転制御を行う回転制御部に対して適用される。

本発明における回転制御ＰＬＬ回路 一般的な回転制御ＰＬＬ回路 エンコーダパルス補正ＰＬＬ回路 一般的な送り制御系のサーボ特性

符号の説明

1…周波数位相検出器、Ｐ１…基準パルス、Ｐ２…エンコータ゛ハ゜ルス、２…ルーフ゜フィルタ、３…位相補償器、４…周波数位相検出器、５…ルーフ゜フィルタ、６…ＶＣＯ、７…1/N分周器、８…1/M分周器、９…切換器、Ｐ３…補正ハ゜ルス、１０…モータドライバ

Claims (8)

1. 回転基準パルスと駆動手段の回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスのエッジのタイミングを比較し、両者のずれ量を検出して上記駆動手段の回転駆動信号とするＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段により回転制御を行う回転制御装置において、
   上記駆動手段の回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスをＰＬＬ（フェイズロックドループ）によりいったんＮ（整数）倍の高周波に変換し、分周して元と同じ周波数のパルスを得ることにより、上記ロータリエンコーダの検出誤差を補正する補正手段を有し、
   上記ＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段のサーボ状態に応じて上記補正手段の補正パルスを上記ＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段にフィードバックするようにしたことを特徴とする回転制御装置。
2. 請求項1記載の回転制御装置において、
   上記ＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段の、立ち上げからサーボロックするまでは無補正パルスのままフィードバックし、サーボロックして安定した後に上記補正手段の補正パルスへ切り替えるようにすることを特徴とする回転制御装置。
3. 請求項1記載の回転制御装置において、
   上記補正手段の分周比を変えることで上記ロータリエンコーダの分解能を向上させることを特徴とする回転制御装置。
4. 原盤にビームを照射して原盤の露光を行う露光系は固定で、原盤を回転駆動する回転系を上記露光系に対して原盤の径方向に移動する回転系移動型の原盤露光装置において、
   回転基準パルスと上記回転系の駆動手段の回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスのエッジのタイミングを比較し、両者のずれ量を検出して上記駆動手段の回転駆動信号とするＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段により回転制御を行う回転制御部に対して、
   上記駆動手段の回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスをＰＬＬ（フェイズロックドループ）によりいったんＮ（整数）倍の高周波に変換し、分周して元と同じ周波数のパルスを得ることにより、上記ロータリエンコーダの検出誤差を補正する補正手段を有し、
   上記ＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段のサーボ状態に応じて上記補正手段の補正パルスを上記ＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段にフィードバックするようにしたことを特徴とする原盤露光装置。
5. 請求項４記載の原盤露光装置において、
   上記ＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段の、立ち上げからサーボロックするまでは無補正パルスのままフィードバックし、サーボロックして安定した後に上記補正手段の補正パルスへ切り替えるようにすることを特徴とする原盤露光装置。
6. 請求項４記載の原盤露光装置において、
   上記補正手段の分周比を変えることで上記ロータリエンコーダの分解能を向上させることを特徴とする原盤露光装置。
7. 回転基準パルスと駆動手段の回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスのエッジのタイミングを比較し、両者のずれ量を検出して上記駆動手段の回転駆動信号とするＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段により回転制御を行う回転制御方法において、
   上記ＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段の、立ち上げからサーボロックするまでは無補正パルスのままエンコーダパルスＰ２をＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段にフィードバックする制御ステップと、
   サーボロックして安定した後に、上記駆動手段の回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスをＰＬＬ（フェイズロックドループ）によりいったんＮ（整数）倍の高周波に変換し、分周して元と同じ周波数のパルスを得ることにより、上記ロータリエンコーダの検出誤差を補正する補正手段の補正パルスへ切り替えて補正パルスをＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段にフィードバックする補正ステップと
   を備えたことを特徴とする回転制御方法。
8. 原盤にビームを照射して原盤の露光を行う露光系は固定で、原盤を回転駆動する回転系を上記露光系に対して原盤の径方向に移動する回転系移動型の原盤露光方法において、
   回転基準パルスと上記回転系の駆動手段の回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスのエッジのタイミングを比較し、両者のずれ量を検出して上記駆動手段の回転駆動信号とするＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段により回転制御を行う際に、
   上記ＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段の、立ち上げからサーボロックするまでは無補正パルスのままエンコーダパルスＰ２をＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段にフィードバックする制御ステップと、
   サーボロックして安定した後に、上記駆動手段の回転角度を検出するロータリエンコーダからのフィードバックパルスをＰＬＬ（フェイズロックドループ）によりいったんＮ（整数）倍の高周波に変換し、分周して元と同じ周波数のパルスを得ることにより、上記ロータリエンコーダの検出誤差を補正する補正手段の補正パルスへ切り替えて補正パルスをＰＬＬ（フェイズロックドループ）制御手段にフィードバックする補正ステップと
   を備えたことを特徴とする原盤露光方法。

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