JP2004279898A - 光スイッチ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】キャリア注入による屈折率変化により光導波路の伝送経路を切り換える光スイッチにおいて、前記光導波路が形成された半導体基板上に前記注入されたキャリアを蓄積するキャリア蓄積層を設ける。
【選択図】 図1
Description
本発明は、キャリア注入による屈折率変化により光信号の伝送経路を切り換える光スイッチに関し、特に注入された有効なキャリアが有効な部分に蓄積されやすい構造とし、注入電流を低減することが可能な光スイッチに関する。
【0002】
【従来の技術】
現在の通信ネットワークであるLAN(Local Area Network)やWAN(Wide Area Network)等では、通常電気信号をもって情報を伝送する通信方式となっている。
【0003】
光信号をもって情報を伝送する通信方法は大量のデータを伝送する基幹ネットワークやその他一部のネットワークで用いられているだけである。また、これらのネットワークは”point to point”の通信であり、”フォトニックネットワー
ク”と言える通信網までは発達していないのが現状である。
【0004】
このような”フォトニックネットワーク”を実現するためには、電気信号の送
信先を切り換えるルータやスイッチングハブ等といった装置と同様の機能を有する”光ルータ”や”光スイッチングハブ”等が必要になる。
【0005】
また、このような装置では高速に伝送経路を切り換える光スイッチが必要になり、ニオブ酸リチウムやPLZT(Lead Lanthanum Zirconate Titanate)等の強誘電体を用いたものや、半導体に光導波路を形成し半導体中にキャリアを注入して屈折率を変化させ光信号の伝送経路を切り換えるものが存在する。
【0006】
そして、従来の半導体に光導波路を形成し半導体中にキャリアを注入して屈折率を変化させ光信号の伝送経路を切り換える光スイッチに関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【0007】
【特許文献1】
特開平4−320219号公報
【非特許文献1】
「2x2 Optical Waveguide Switch with Bow−Tie Electrode Based on Carrier−Injection Total Internal Reflection in SiGe Alloy」, Baojun Li and Soo−Jin Chua, p206−p208, IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, VOL.13, NO.3, MARCH 2001
【0008】
図4及び図5はこのような従来の光スイッチの一例を示す平面図及び断面図である。
図4において基板1上には”X字状”の光導波路を有する光導波路層2が形成され、”X字状”の光導波路の交差部分には長方形状のN電極3が形成される。
また、”X字状”の光導波路の交差部分の近傍であってN電極3に並行して長方形状のP電極4が形成される。
【0009】
一方、図5は図4中”A−A’”における断面図であり、1はp型Si基板、2は“X字状”の光導波路を有するp型のSiGe層、3は電子が注入されるN電極、4は正孔が注入されるP電極である。
この例ではキャリア注入はSiのPNダイオードへ順方向電流を流すことで行なわれる。
【0010】
ここで、図4に示す従来例の動作を図4を参照しながら説明する。光スイッチが”OFF”の場合、N電極3及びP電極4には電流が供給されない。
【0011】
このため、”X字状”の光導波路の交差部分の屈折率の変化は生じないため、例えば、図4中”PI01”から入射した光信号は交差部分を直進して図4中”PO01”に示す部分から出射される。
【0012】
一方、光スイッチが”ON”の場合、N電極3から電子が注入され、P電極4からは正孔が注入され、このため、前記交差部分にはキャリア(電子、正孔)が注入される。
【0013】
このため、プラズマ効果によって”X字状”の光導波路の交差部分の屈折率が低くなるように変化するため、例えば、図4中”PI01”から入射した光信号は交差部分に生じた低屈折率部分で全反射されて図4中”PO02”に示す部分から出射される。
【0014】
この結果、電極に電流を供給して”X字状”の光導波路の交差部分にキャリア(電子、正孔)を注入して交差部分の屈折率を制御することにより、光信号の出射される位置を制御、言い換えれば、光信号の伝播経路を切り換えることが可能になる。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、キャリア注入型の光スイッチの場合では、駆動電流をより小さくし、駆動回路への負担を軽減することにより動作を容易にすることができる。
この例では、キャリア注入はSiのPNダイオードへ順方向電流を流すことで行われている。このような構造では、注入されたキャリアが、途中で蓄積されることなく容易に反対側の電極まで流れ出てしまう。そのため、非常に多くの電流を流し込むことになり、駆動回路への負担が大きく、高速動作させることも難しくなってしまう。
【0016】
即ち、注入されたキャリアが、途中で蓄積されることなく容易に反対側の電極まで流れ出てしまうため、動作には非常に多くの電流を流し込む必要があり、そのため駆動回路への負担が大きく、高速動作させることも難しくなるという問題があった。
本発明は、注入された有効なキャリアが有効な部分に蓄積されやすい構造とし、駆動回路への負担を小さくし、高速動作させることを目的としている。
【0017】
【課題を解決するための手段】
このような課題を達成するために、本発明の光スイッチは、請求項1においては、
キャリア注入による屈折率変化により光導波路の伝送経路を切り換える光スイッチにおいて、前記光導波路が形成された半導体基板上に前記注入光スイッチ。
【0018】
請求項2においては、請求項1記載の光スイッチにおいて、
半絶縁基板上にクラッド層、光導波路層を積層し、前記クラッド層のバンドギャップを光導波路層より広げる構成とすることにより光導波路層をキャリア蓄積層としたことを特徴とする。
【0019】
請求項3においては、請求項1または2記載の光スイッチにおいて、
光導波路層の上部にこの層よりバンドキャップが広い半導体層を設けたことを特徴とする。
【0020】
請求項4においては、請求項3に記載の光スイッチにおいて、
光導波路層の上部にこの層よりバンドキャップが広い半導体層を設けるとともに、pnタイプの異なる層で形成したことを特徴とする。
【0021】
請求項5においては、請求項1〜4のいずれかに記載の光スイッチにおいて、
光導波路層をnタイプの半導体としたことを特徴とする。
【0022】
請求項6においては、請求項1〜5のいずれかに記載の光スイッチにおいて、光導波路層はクラッド層よりバンドギャップの狭い半導体層とするとともにpnタイプの異なる層で形成したことを特徴とする。
【0023】
請求項7においては、請求項1〜6のいずれかに記載の光スイッチにおいて、
半絶縁性GaAs基板上に、
クラッド層としてp−AlGaAs
光導波路層としてクラッド層よりAl含有率が低い(0を含む)n−AlGaAsを積層したことを特徴とする。
【0024】
請求項8においては、請求項1〜6のいずれかに記載の光スイッチにおいて、
半導体材料としてSiGe系を用いたことを特徴とする。
【0025】
請求項9においては、請求項1〜6のいずれかに記載の光スイッチにおいて、
半導体材料としてInGa(Al)AsP系を用いたことを特徴とする。
【0026】
請求項10においては、請求項1〜6のいずれかに記載の光スイッチにおいて、
半導体材料としてGaInNAs系を用いたことを特徴とする。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明に係る光スイッチの一実施例を示す断面図、図2は図1に示す光スイッチの電流注入時のバンド模式図である。なお、平面図は図4に示す従来のものと同様なのでここでの記載と説明は省略する。
【0028】
図1において、1はGaAsやInP等の半導体の基板、2は”X字状”の光導波路を有するn―−GaAsからなる光導波路層、3は電子が注入されるN電極、4は正孔が注入されるP電極である。
5はp+−GaAsからなるコンタクト層、6はp−AlGaAsからなるクラッド層、7はn+−GaAsのキャップ層、8はSiO2等の絶縁膜、9a,9b及び9cは絶縁層であるポリイミド層、10a及び10bは配線パターンである。
【0029】
基板1上にはコンタクト層5、クラッド層6及び光導波路層2が台形状になるように順次形成され、光導波路層2上の一部にはキャップ層7が形成される。
【0030】
基板1、コンタクト層5、クラッド層6及び光導波路層2上であってキャップ層7及びコンタクト層5の一部以外には絶縁膜8が形成される。また、キャップ層7及びコンタクト層5の一部にN電極3及びP電極4がそれぞれ形成される。
【0031】
絶縁膜8上にはポリイミド層9a,9b及び9cがそれぞれ形成され、配線パターン10aはポリイミド層9a上に形成されると共にN電極3に接続され、配線パターン10bはポリイミド層9c上に形成されると共にP電極4に接続される。
【0032】
図2は図1に示す光スイッチの電流注入時のバンド模式図を示すものである。
キャリア注入型光スイッチでは、キャリアを注入することで半導体の屈折率変化を起こし、それによって光の経路の切り替えを行う。この屈折率変化量は、キャリアのタイプによっても大きく異なる。
【0033】
この屈折率変化量は、キャリアの有効質量に反比例するため、有効質量の小さいキャリアほどキャリア変化に対応する屈折率変化が大きい。通常の半導体では、ホールより電子の方が有効質量が小さいため、電子を注入した場合の屈折率変化の方が、ホールを注入した場合の屈折率変化に対して大きい。
【0034】
また、光導波路層での屈折率変化のみが、経路切り替えに有効となる。すなわち、キャリアを注入することによって、光導波路層に電子が溜まりやすい構造にすることで、光スイッチの駆動電流を低くできる。
【0035】
図2に示した光スイッチは、光導波路層を比較的濃度の低い(1017cm3以下)n型,クラッド層を中程度(1016〜5×1018cm3程度)の濃度のp型にしている。ホールは、下部p+−GaAsコンタクト層からp−AlGaAsクラッド層を通して、n―−GaAs光導波路層に注入される。
【0036】
一方電子はn+−GaAsキャップ層からn―−GaAs光導波路層に注入される。この場合、電子は、光導波路層に注入されるが、クラッド層がp型のAlGaAs層であるため、電子にとっては大きな障壁となり、電子は光導波路層に溜まりやすくなる。
【0037】
上述のような構成のキャリア注入型光スイッチによれば、濃度変化による屈折率変化が比較的大きい電子が、光導波路層に溜まりやすい構造になっている。そのため、光スイッチの駆動電流を低くすることができ、駆動回路への負担を軽減できる。
【0038】
なお、実施例では、AlGaAs系の半導体で構成しているが、SiGe系、InGa(Al)AsP系、GaInNAs系のような同様の効果を示す半導体材料で構成しても良い。
また、本実施例では、下部にコンタクト層、上部にはキャップ層を設けているが、コンタクト層の代わりにクラッド層にイオン注入や不純物拡散などでコンタクト領域を形成しても良い。
【0039】
また、キャップ層の代わりに、光導波路層にイオン注入や不純物拡散などでコンタクト領域を形成しても良い。
【0040】
また、光導波路層はクラッド層よりバンドギャップの狭い半導体層としpnタイプの異なる層で形成した場合、光導波路層をnにしたときは電子、pにしたときはホールの蓄積効果が高くなる。
【0041】
また、光導波路層の上部にこの層よりバンドキャップが広い半導体層を設けるとともにpnタイプの異なる層で形成した場合、光導波路層をnにしたときは電子、pにしたときはホールの蓄積効果が高くなる。
【0042】
更に、本実施例では、光導波路層とクラッド層でバンドギャップの異なる半導体層が接しているシングルへテロ構造になっているが、図3に示すようにキャップ層と光導波路層との間に、光導波路層の下部のクラッド層とpn反転したホール蓄積層20を設けてダブルへテロ構造にすると、光導波路層に電子もホールも蓄積でき、さらに駆動電流が低減できる。
また、本実施例では、光導波路の横方向の光の閉じ込めにリッジ型を使用しているが、本提案の効果は、導波路の光の横方向閉じ込め方法には依存しない。
【0043】
本発明の以上の説明は、説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。したがって本発明はその本質から逸脱せずに多くの変更、変形をなし得ることは当業者に明らかである。
特許請求の範囲の欄の記載により定義される本発明の範囲は、その範囲内の変更、変形を包含するものとする。
【0044】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、キャリア注入による屈折率変化により光導波路の伝送経路を切り換える光スイッチにおいて、前記光導波路が形成された半導体基板上に前記注入されたキャリアを蓄積するキャリア蓄積層を設け、
注入された有効なキャリアが有効な部分に蓄積されやすい構造としたので、駆動回路への負担を小さくし、高速動作させることができる。
また、光導波路層をnタイプの半導体としたので、屈折率変化がホールより大きな電子の蓄積効果を高めることができる。
更に、光導波路層をクラッド層よりバンドギャップの狭い半導体層とし、pnタイプの異なる層で形成したので、光導波路層をnにしたときは電子、pにしたときはホールの蓄積効果を高くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光スイッチの一実施例を示す断面図である。
【図2】図1に示す断面図の電流注入時のバンド模式図である。
【図3】他の実施例の電流注入時のバンド模式図である。
【図4】本発明及び従来の光スイッチの一例を示す平面図である。
【図5】従来の光スイッチの一例を示す断面図である。
【符号の説明】
1 基板
2 光導波路
3 N電極
4 P電極
5 コンタクト層
6 クラッド層
7 キャップ層
8 絶縁膜
9a,9b,9c ポリイミド層
10a,10b 配線パターン
Claims (10)
- キャリア注入による屈折率変化により光導波路の伝送経路を切り換える光スイッチにおいて、前記光導波路が形成された半導体基板上に前記注入されたキャリアを蓄積するキャリア蓄積層を設けたことを特徴とする光スイッチ。
- 半絶縁基板上にクラッド層、光導波路層を積層し、前記クラッド層のバンドギャップを光導波路層より広げる構成とすることにより光導波路層をキャリア蓄積層としたことを特徴とする請求項1記載の光スイッチ。
- 光導波路層の上部にこの層よりバンドキャップが広い半導体層を設けたことを特徴とする請求項1または2記載の光スイッチ。
- 光導波路層の上部にこの層よりバンドキャップが広い半導体層を設けるとともに、pnタイプの異なる層で形成したことを特徴とする請求項3に記載の光スイッチ。
- 光導波路層をnタイプの半導体としたことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の光スイッチ。
- 光導波路層はクラッド層よりバンドギャップの狭い半導体層とするとともにpnタイプの異なる層で形成したことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の光スイッチ。
- 半絶縁性GaAs基板上に、
クラッド層としてp−AlGaAs
光導波路層としてクラッド層よりAl含有率が低い(0を含む)n−AlGaAsを積層したことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の光スイッチ。 - 半導体材料としてSiGe系を用いたことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の光スイッチ。
- 半導体材料としてInGa(Al)AsP系を用いたことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の光スイッチ。
- 半導体材料としてGaInNAs系を用いたことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の光スイッチ。
Priority Applications (2)
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JP2003073495A JP2004279898A (ja) | 2003-03-18 | 2003-03-18 | 光スイッチ |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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Family Applications (1)
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-
2003
- 2003-03-18 JP JP2003073495A patent/JP2004279898A/ja active Pending
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