JP2004244229A5 - - Google Patents

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JP2004244229A5
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【特許請求の範囲】
【請求項1】 スクライブヘッドを有するスクライブ手段と、
ブレイクヘッドを有する分断手段と、
ステージを有し、
前記分断手段は回転押圧式の分断手段であり、
前記ステージ上でガラス基板にスクライブラインを刻むと共に前記ガラス基板を分断するものであることを特徴とするガラス加工装置。
【請求項2】 スクライブヘッドを有するスクライブ手段と、
ブレイクヘッドを有する分断手段と、
2枚のガラス基板を貼り合わせて形成されたパネルが供給されるステージと、
前記パネルの裏表を反転させる手段を有し、
前記分断手段は回転押圧式の分断手段であり、
前記ステージ上で前記2枚のガラス基板それぞれにスクライブラインを刻むと共に前記2枚のガラス基板それぞれを分断するものであることを特徴とするガラス加工装置。
【請求項3】 スクライブヘッドを有するスクライブ手段と、
ブレイクヘッドを有する分断手段と、
2枚のガラス基板を貼り合わせて形成されたパネルが供給されるステージと、
前記パネルの裏表を反転させる手段と、
前記ステージ上にブレイク用のシートを供給すると共に前記シートを回収する機構を有し、
前記分断手段は回転押圧式の分断手段であり、
前記ステージ上で前記2枚のガラス基板それぞれにスクライブラインを刻むと共に前記2枚のガラス基板それぞれを分断するものであることを特徴とするガラス加工装置。
【請求項4】 請求項1乃至請求項3のいずれか一において、前記ブレイクヘッドはブレイクホイールが取り付けられていることを特徴とするガラス加工装置。
【請求項5】 ガイドレールと、
前記ガイドレールに沿って移動するスクライブヘッドと、
前記ガイドレールに沿って移動するブレイクヘッドと、
ステージを有し、
前記ブレイクヘッドはブレイクホイールが取り付けられたものであり、
前記ステージ上で、前記スクライブヘッドを所定の圧力で押圧しながら前記ガイドレールに沿って移動させることによりガラス基板にスクライブラインを刻むと共に、前記ブレイクヘッドを所定の圧力で押圧しながら前記ガイドレールに沿って移動させることにより前記ガラス基板を分断するものであることを特徴とするガラス加工装置。
【請求項6】 ガイドレールと、
前記ガイドレールに沿って移動するスクライブヘッドと、
前記ガイドレールに沿って移動するブレイクヘッドと、
2枚のガラス基板を貼り合わせて形成されたパネルが供給されるステージと、
前記パネルの裏表を反転させる手段を有し、
前記ブレイクヘッドはブレイクホイールが取り付けられたものであり、
前記ステージ上で、前記スクライブヘッドを所定の圧力で押圧しながら前記ガイドレールに沿って移動させることにより前記2枚のガラス基板それぞれにスクライブラインを刻むと共に、前記ブレイクヘッドを所定の圧力で押圧しながら前記ガイドレールに沿って移動させることにより前記2枚のガラス基板それぞれを分断するものであることを特徴とするガラス加工装置。
【請求項7】 ガイドレールと、
前記ガイドレールに沿って移動するスクライブヘッドと
前記ガイドレールに沿って移動するブレイクヘッドと、
2枚のガラス基板を貼り合わせて形成されたパネルが供給されるステージと、
前記パネルの裏表を反転させる手段と、
前記ステージ上にブレイク用のシートを供給すると共に前記シートを回収する機構を有し、
前記ブレイクヘッドはブレイクホイールが取り付けられたものであり、
前記ステージ上で、前記スクライブヘッドを所定の圧力で押圧しながら前記ガイドレールに沿って移動させることにより前記2枚のガラス基板それぞれにスクライブラインを刻むと共に、前記ブレイクヘッドを所定の圧力で押圧しながら前記ガイドレールに沿って移動させることにより前記2枚のガラス基板それぞれを分断するものであることを特徴とするガラス加工装置。
[Claims]
(1) With scribe headScribe means,
With breakheadDividing meansWhen,
stageHas,
The dividing means is a rotary pressing type dividing means.And
A scribe line is cut on the glass substrate on the stage and the glass substrate is cut off.Glass processing equipment characterized by the above-mentioned.
(2) With scribe headScribe means,
With breakheadDividing means,
A stage to which a panel formed by bonding two glass substrates is supplied;
Means for inverting the front and back of the panel,
The dividing means is a rotary pressing type dividing means.And
A scribe line is cut on each of the two glass substrates on the stage, and each of the two glass substrates is cut off.Glass processing equipment characterized by the above-mentioned.
(3) With scribe headScribe means,
With breakheadDividing means,
A stage to which a panel formed by bonding two glass substrates is supplied;
Turn the panel overmeansWhen,
On the stageSupply break sheetAnd collect the sheetHas a mechanism to
The dividing means is a rotary pressing type dividing means.And
A scribe line is cut on each of the two glass substrates on the stage, and each of the two glass substrates is cut off.Glass processing equipment characterized by the above-mentioned.
(4) The glass processing apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein a break wheel is attached to the break head.
(5) Guide rails,
A scribe head that moves along the guide rail,
A break head that moves along the guide rail,
Has a stage,
The break head has a break wheel attached thereto,
On the stage, a scribe line is cut on the glass substrate by moving the scribe head along the guide rail while pressing the scribe head at a predetermined pressure. A glass processing apparatus for separating the glass substrate by moving the glass substrate along the glass substrate.
6. Guide rails,
A scribe head that moves along the guide rail,
A break head that moves along the guide rail,
A stage to which a panel formed by bonding two glass substrates is supplied;
Means for inverting the front and back of the panel,
The break head has a break wheel attached thereto,
On the stage, a scribe line is cut on each of the two glass substrates by moving the scribe head along the guide rail while pressing the scribe head at a predetermined pressure, and pressing the break head at a predetermined pressure. The glass processing apparatus, wherein the two glass substrates are separated by moving the glass substrates along the guide rails.
7. Guide rails,
A scribe head that moves along the guide rail;,
A break head that moves along the guide rail,
A stage to which a panel formed by bonding two glass substrates is supplied;
Means for inverting the front and back of the panel,
A mechanism for supplying a sheet for break on the stage and collecting the sheet,
The break head has a break wheel attached thereto,
On the stage, a scribe line is cut on each of the two glass substrates by moving the scribe head along the guide rail while pressing the scribe head at a predetermined pressure, and pressing the break head at a predetermined pressure. The glass processing apparatus, wherein the two glass substrates are separated by moving the glass substrates along the guide rails.
パネルの第1ガラス基板上に左右対称に形成されているアライメントマークを2台のCCDカメラ604で認識してアライメントマークの位置ずれの検出を行い、ステッピングモーターにてステージ605の位置、角度の修正を行う。圧縮空気により、ブレイクホイール802が取り付けられたブレイクヘッド607を下降させ、第1ガラス基板に刻まれたX方向のスクライブラインの真上を第2ガラス基板側から、設定した圧力を押圧したまま、ブレイクヘッド607をガイドレール608に沿って移動させることにより、第1ガラス基板G1のX方向のスクライブラインのみがスクライブ箇所で分断され、ブレイクヘッド607が上昇する。
続いて、ステージ605が90度回転してガイドラインの方向がパネルに対し、X軸方向からY軸方向に入れ替わる。その後、ブレイクヘッド607が下降して、第1ガラス基板に刻まれたY方向のスクライブラインの真上を第2ガラス基板側から、設定した圧力を押圧したまま、ガイドレール608に沿って移動し、第1ガラス基板のY方向のスクライブラインがスクライブ箇所で分断さる。続いてブレイクヘッド607が上昇し、真空吸着が解除され、パネルは押し上げピンにより、ステージ605上から押し上げられる。
Alignment marks formed symmetrically on the first glass substrate of the panel are recognized by the two CCD cameras 604 to detect misalignment of the alignment marks, and the position and angle of the stage 605 are corrected by a stepping motor. I do. With the compressed air , the break head 607 to which the break wheel 802 is attached is lowered, and the set pressure is pressed from directly above the scribe line in the X direction cut on the first glass substrate from the second glass substrate side. By moving the break head 607 along the guide rail 608, only the scribe line in the X direction of the first glass substrate G1 is divided at the scribe location, and the break head 607 rises.
Subsequently, the stage 605 is rotated 90 degrees, and the direction of the guide line is switched from the X-axis direction to the Y-axis direction with respect to the panel. After that, the break head 607 descends and moves along the guide rail 608 from above the second glass substrate just above the scribe line in the Y direction cut on the first glass substrate while pressing the set pressure. , Ru Y direction of the scribe line of the first glass substrate is divided by scribing point. Subsequently, the break head 607 is raised, the vacuum suction is released, and the panel is pushed up from above the stage 605 by the push-up pin.
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