JP2004164837A - ピン固定磁気層のプラズマ平滑化による強化gmr磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ピン固定磁気層と、該ピン固定磁気層上に形成されたスペーサ層と、該スペーサ層上に形成されたフリー磁気層とを具備するセンサ層スタックを有するスピンバルブセンサを具備する磁気ヘッドニ関し、好ましい実施例では、スペーサ層はCuOxから成る。ピン固定磁気層の上面プラズマ平滑化処理は該スペーサ層の堆積前に実施され、好ましいプラズマガスはアルゴンと酸素の混合気体である。
【選択図】 図3
Description
図1は、本発明の磁気ヘッドを具備するハードディスクドライブの重要な構成要素を図に表した正面図である。ハードディスクドライブ10は、電動式スピンドル14上に回転可能なように実装された磁気媒体ハードディスク12を具備している。アクチュエータアーム16は、該アクチュエータアーム16の遠心端22上に配置された本発明の磁気ヘッド20とともに、ハードディスクドライブ10内に旋回可能なように実装されている。
Claims (28)
- スピンバルブセンサを具備する磁気ヘッドであって、
ピン固定磁気層と、該ピン固定磁気層上に配置されたスペーサ層と、該スペーサ層上に配置されたフリー磁気層を有し、
該ピン固定磁気層が、アルゴンと酸素から成るプラズマによって平滑化処理される上面を持つように形成され、該スペーサ層が該ピン固定磁気層の該平滑化処理された上面上に配置されることを特徴とする磁気ヘッド。 - 請求項1に記載の磁気ヘッドであって、該スペーサ層がCuから成ることを特徴とする磁気ヘッド。
- 請求項1に記載の磁気ヘッドであって、該スペーサ層がCuOxから成ることを特徴とする磁気ヘッド。
- 請求項3に記載の磁気ヘッドであって、該ピン固定磁気層がCoFeから成ることを特徴とする磁気ヘッド。
- 請求項3に記載の磁気ヘッドであって、該フリー磁気層がNiFeから成ることを特徴とする磁気ヘッド。
- 請求項3に記載の磁気ヘッドであって、該ピン固定磁気層がCoFeと、Ruと、CoFeの各層を有する積層構造体から成ることを特徴とする磁気ヘッド。
- 請求項3に記載の磁気ヘッドであって、該フリー磁気層がCoFeとNiFeの各層を有する積層構造体から成ることを特徴とする磁気ヘッド。
- スピンバルブセンサを具備する磁気ヘッドであって、
基板基部上に組み立てられている磁気シールド層(S1)と、
該S1上に組み立てられている第一の電気絶縁層G1と、
該G1層上に配置されているスピンバルブセンサ構造体とを有し、
該スピンバルブセンサ構造体が、該G1層上に組み立てられるシード層と、該シード層上に配置される反強磁性層と、該反強磁性層上に配置されているピン固定磁気層と、該ピン固定磁気層上に配置されているスペーサ層と、該スペーサ層上に配置されているフリー磁気層とを具備し、
さらに該ピン固定磁気層が、その上面をプラズマによって平滑化処理された状態で形成され、該スペーサ層がCuOxから成っていることを特徴とする磁気ヘッド。 - 請求項8に記載の磁気ヘッドであって、磁気結合場が、約−5〜約−15Oeの結合場強度を有する該スペーサ層に渡って存在し、該スペーサ層が、厚さ約16〜約20Åとして形成されていることを特徴とする磁気ヘッド。
- 請求項9に記載の磁気ヘッドであって、該結合場強度が約−10Oeで、該スペーサの厚さが約17Åであることを特徴とする磁気ヘッド。
- 請求項9に記載の磁気ヘッドであって、該ピン固定磁気層がCoFeから成ることを特徴とする磁気ヘッド。
- 請求項9に記載の磁気ヘッドであって、該フリー磁気層がNiFeから成ることを特徴とする磁気ヘッド。
- 請求項9に記載の磁気ヘッドであって、該ピン固定磁気層がCoFeと、Ruと、CoFeの各層を有する積層構造体から成ることを特徴とする磁気ヘッド。
- 請求項9に記載の磁気ヘッドであって、該フリー磁気層がCoFeとNiFeの各層を有する積層構造体から成ることを特徴とする磁気ヘッド。
- スピンバルブセンサを有する磁気ヘッドを具備するハードディスクドライブであって、
基板基部上に組み立てられている磁気シールド層(S1)と、
該S1上に組み立てられている第一の電気絶縁層G1と、
該G1層上に配置されているスピンバルブセンサ構造体とを有し、
該スピンバルブセンサ構造体が、該G1層上に組み立てられているシード層と、該シード層上に配置されている反強磁性層と、該反強磁性層上に配置されているピン固定磁気層と、該ピン固定磁気層上に配置されているスペーサ層と、該スペーサ層上に配置されているフリー磁気層とを具備し、
さらに該ピン固定磁気層が、その上面をプラズマによって平滑化処理された状態で形成され、該スペーサ層がCuOxから成っていることを特徴とするハードディスクドライブ。 - 請求項15に記載の磁気ヘッドを具備するハードディスクドライブであって、磁気結合場が、約−5〜約−15Oeの結合場強度を有する該スペーサ層に渡って存在し、該スペーサ層が、厚さ約16〜約20Åとして形成されていることを特徴とするハードディスクドライブ。
- 請求項16に記載の磁気ヘッドを具備するハードディスクドライブであって、該結合場強度が約−10Oeであり、該スペーサの厚さが約17Åであることを特徴とするハードディスクドライブ。
- 請求項15に記載の磁気ヘッドを具備するハードディスクドライブであって、該ピン固定磁気層がCoFeから成ることを特徴とするハードディスクドライブ。
- 請求項15に記載の磁気ヘッドを具備するハードディスクドライブであって、該フリー磁気層がNiFeから成ることを特徴とするハードディスクドライブ。
- 請求項15に記載の磁気ヘッドを具備するハードディスクドライブであって、該ピン固定磁気層がCoFeと、Ruと、CoFeの各層を有する積層構造体から成ることを特徴とするハードディスクドライブ。
- 請求項15に記載の磁気ヘッドを具備するハードディスクドライブであって、該フリー磁気層がCoFeとNiFeの各層を有する積層構造体から成ることを特徴とするハードディスクドライブ。
- ピン固定磁気層を堆積するプロセスと、
アルゴンと酸素から成るプラズマを利用した該ピン固定磁気層の上面を平滑化処理するプロセスと、
該ピン固定磁気層の該上面上にスペーサ層を堆積するプロセスと、
該スペーサ層上にフリー磁気層を堆積するプロセスとを含むことを特徴とする読み取りセンサを有する磁気ヘッドの製造方法。 - 請求項22に記載の磁気ヘッドを組み立てるための方法であって、該アルゴンと酸素から成るプラズマが、約0.05〜約0.6%の濃度の酸素を含有することを特徴とする方法。
- 請求項22に記載の磁気ヘッドを組み立てるための方法であって、該アルゴンと酸素から成るプラズマを約1x10−3〜3x10−3トールの加圧下で使用し、酸素の分圧が約.5x10−6〜6x10−6トールであることを特徴とする方法。
- 請求項24に記載の磁気ヘッドを組み立てるための方法であって、該スペーサ層が、厚さ約16〜約20Åとして形成されることを特徴とする方法。
- 請求項22に記載の磁気ヘッドを組み立てるための方法であって、磁気結合場が、約−5〜約−15Oeの結合場強度を有する該スペーサ層に渡って存在し、該スペーサ層が、厚さ約16〜約20Åとして形成されることを特徴とする方法。
- 請求項26に記載の磁気ヘッドを組み立てるための方法であって、該アルゴンと酸素から成るプラズマを約1x10−3〜3x10−3トールの加圧下で使用し、酸素の分圧が約.5x10−6〜6x10−6トールであることを特徴とする方法。
- 請求項27に記載の磁気ヘッドを組み立てるための方法であって、該スペーサ層が、厚さ約16〜約20Åとして形成されることを特徴とする方法。
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