JP2004163917A - Colored photosensitive resin composition - Google Patents

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JP2004163917A JP2003360327A JP2003360327A JP2004163917A JP 2004163917 A JP2004163917 A JP 2004163917A JP 2003360327 A JP2003360327 A JP 2003360327A JP 2003360327 A JP2003360327 A JP 2003360327A JP 2004163917 A JP2004163917 A JP 2004163917A
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Kazuo Takebe
和男 武部
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a colored photosensitive resin composition which exhibits high sensitivity even if the composition contains coloring materials at a high concentration, the colored photosensitive resin composition which is made into forward tapered shapes at the ends of colored pixels formed by using the colored photosensitive resin composition and prevents ITO (Indium Tin Oxide) films from being disconnected even if the ITO films are formed without via over-coatings on the pixels and a color filter of high quality using the colored photosensitive resin composition. <P>SOLUTION: The colored photosensitive resin composition contains a binder resin (A), a photopolymerizable monomer (B), a photopolymerization initiator (C), the coloring materials (D), and a solvent (E), in which the photopolymerizable monomer (B) includes at least one monomer (b10) selected from the group consisting of a (metha)acrylic monomer (b11) having two (metha)acrylic groups within the same molecule and a vinyl ether monomer (b12) having two vinyl ether groups within the same molecule, and a (metha)acrylic monomer (b20) having ≥5 (metha)acrylic groups within the same molecule. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

本発明は、紫外線硬化型インキやフォトレジストなどに広く利用されている感光性樹脂組成物に関するものであり、特に、カラー液晶表示装置や撮像素子などに使用される着色画像(以下、画素と言うことがある。)を形成するためのレジストに好適な着色感光性樹脂組成物に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition widely used for ultraviolet-curable inks, photoresists, and the like, and particularly to a colored image (hereinafter, referred to as a pixel) used for a color liquid crystal display device, an imaging device, and the like. The present invention relates to a colored photosensitive resin composition suitable for a resist for forming the photosensitive resin composition.

カラー液晶表示装置や撮像素子などにおけるカラーフィルタは、通常、ガラスやシリコンウエハーなどの基板上に、赤、緑および青の三原色画素を形成することにより製造されている。また、通常、これら画素間を遮光するためのブラックマトリックスが設けられる。そして、これら各色の画素を形成するには、ブラックマトリックスが形成された基板上に、各色に相当する顔料を含有するレジスト液をスピンコーターにより均一に塗布した後、加熱乾燥(プリベーク)し、その塗膜を露光、現像する方法が採用されており、これらの操作をカラーフィルタに必要とされる色毎に繰り返すことにより、各色の画像を得ている。このようなレジストとして、顔料およびバインダー樹脂とともに、光重合性モノマーおよび光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物が多く使用されている。また、ブラックマトリックスの形成にも、黒色顔料を含有する感光性樹脂組成物を用いることがある。   2. Description of the Related Art A color filter in a color liquid crystal display device, an imaging device, or the like is usually manufactured by forming three primary color pixels of red, green, and blue on a substrate such as glass or a silicon wafer. Usually, a black matrix for shielding light between these pixels is provided. Then, in order to form pixels of these colors, a resist solution containing a pigment corresponding to each color is uniformly applied by a spin coater on a substrate on which a black matrix is formed, and then heated and dried (prebaked). A method of exposing and developing a coating film is adopted, and an image of each color is obtained by repeating these operations for each color required for a color filter. As such a resist, a photosensitive resin composition containing a photopolymerizable monomer and a photopolymerization initiator together with a pigment and a binder resin is often used. Also, a photosensitive resin composition containing a black pigment may be used for forming a black matrix.

このようなレジストに使用される光重合性モノマーは、カラーフィルタを作製するのに必要な特性および品質を左右することから、感度、現像性、解像性および密着性が良好なカラーフィルタ用光重合性組成物として、重合性モノマーが同一分子内に3〜4個の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリルモノマーと同一分子内に5個以上の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリルモノマーとの混合物が提案されている(例えば、特許文献1など参照。)。   Since the photopolymerizable monomer used in such a resist determines the properties and quality required for producing a color filter, the photopolymerizable monomer having excellent sensitivity, developability, resolution and adhesion is used for a color filter. As the polymerizable composition, the polymerizable monomer has 3 to 4 (meth) acrylic groups in the same molecule and a (meth) acrylic monomer having 5 or more (meth) acrylic groups in the same molecule (meth) A mixture with an acrylic monomer has been proposed (for example, see Patent Document 1).

前記のカラーフィルタを形成する場合、通常は画素上にオーバーコートを介してITO膜を蒸着する(例えば、特許文献3〜5、非特許文献1など参照。)ので、画素が熱履歴を受けても問題は生じなかったが、近年、カラーフィルタの生産性を上げるために、オーバーコートを省略することが望まれている。しかし、オーバーコートを省略して、画素上にITO膜を形成すると、画素にシワが入ったり、ITO膜が断線したりという問題がある(例えば、特許文献6、特許文献2など参照。)。   When forming the color filter, an ITO film is usually deposited on the pixel via an overcoat (for example, refer to Patent Documents 3 to 5, Non-Patent Document 1 and the like). However, in recent years, it has been desired to omit the overcoat in order to increase the productivity of the color filter. However, if the overcoat is omitted and the ITO film is formed on the pixel, there is a problem that the pixel is wrinkled or the ITO film is disconnected (for example, see Patent Documents 6 and 2).

特開平10−319583号公報 2ページ左欄2行目−2ページ左欄8行目Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-319583, page 2, left column, second line-page 2, left column, eighth line 特開2002−236210号公報 2ページ左欄49行目−右欄2行目JP-A-2002-236210, page 49, left column, line 49-right column, second line 特開平7−5319号公報8ページ左欄17行目−47行目JP-A-7-5319, page 8, left column, lines 17-47 特開平7−128519号公報6ページ左欄21行目−35行目JP-A-7-128519, page 6, left column, lines 21-35 特開2002−129307号公報4ページ左欄45行目−6ページ右欄14行目JP-A-2002-129307, page 4, left column, line 45-page 6, right column, line 14 特開平9−292514号公報2ページ左欄11−25行目、3ページ右欄38−46行目JP-A-9-292514, page 2, left column, line 11-25, page 3, right column, line 38-46 特許庁”標準技術集 電気 有機EL スパッタ蒸着法利用ITO電極製造法”、[online]、[更新日 2002.6.28]、[平成15年10月2日検索]、インターネット<URL:http://www.jpo.go.jp/shiryou/s_sonota/hyoujun_gijutsu/yuuki_el/body_htm/d008.htm>Japan Patent Office "Standard Technology Collection, Electro-Organic EL, ITO Electrode Manufacturing Method Using Sputter Deposition Method", [online], [update date 2002.6.28], [searched October 2, 2003], Internet <URL: http: // www.jpo.go.jp/shiryou/s_sonota/hyoujun_gijutsu/yuuki_el/body_htm/d008.htm>

本発明の目的は、着色材料を高濃度で含有しても、高感度を示す着色感光性樹脂組成物、前記の着色感光性樹脂組成物を用いて形成する着色画素の端部の形状が順テーパー形状になり、画素上にオーバーコートを介さずITO膜を形成しても前記のITO膜が断線しない着色感光性樹脂組成物、および前記の着色感光性樹脂組成物を用いる高品質のカラーフィルタを提供することにある。   An object of the present invention is to provide a colored photosensitive resin composition exhibiting high sensitivity even when a colored material is contained at a high concentration, and the shape of the end portion of a colored pixel formed using the colored photosensitive resin composition is in order. A colored photosensitive resin composition which has a tapered shape and does not break the ITO film even if an ITO film is formed on the pixel without an overcoat, and a high quality color filter using the colored photosensitive resin composition Is to provide.

本発明者は、鋭意検討の結果、特定の光重合開始剤を含む着色感光性樹脂組成物が前述の課題を解決できることを見出し、本発明に至った。
すなわち本発明は、 バインダー樹脂(A)、光重合性モノマー(B)、光重合開始剤(C)、着色材料(D)および溶剤(E)を含有する着色感光性樹脂組成物において、光重合性モノマー(B)が、同一分子内に2個の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリルモノマー(b11)および同一分子内に2個のビニルエーテル基を有するビニルエーテルモノマー(b12)からなる群から選ばれる少なくとも1種のモノマー(b10)および同一分子内に5個以上の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリルモノマー(b20)であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物、前記の着色感光性樹脂組成物を、基板または先に形成された着色感光性樹脂組成物の固形分からなる層の上に塗布し、塗布された着色感光性樹脂組成物層から揮発成分を除去し、フォトマスクを介して前記の層を露光し、現像するパターンの形成方法、前記の方法で形成されたパターンを含むカラーフィルタおよび前記のカラーフィルタを使用した液晶表示装置を提供する。
As a result of intensive studies, the present inventors have found that a colored photosensitive resin composition containing a specific photopolymerization initiator can solve the above-mentioned problems, and have accomplished the present invention.
That is, the present invention provides a colored photosensitive resin composition containing a binder resin (A), a photopolymerizable monomer (B), a photopolymerization initiator (C), a coloring material (D) and a solvent (E). The functional monomer (B) is selected from the group consisting of a (meth) acrylic monomer (b11) having two (meth) acrylic groups in the same molecule and a vinyl ether monomer (b12) having two vinylether groups in the same molecule A colored (meth) acrylic monomer (b20) having at least one selected monomer (b10) and five or more (meth) acrylic groups in the same molecule; The colored photosensitive resin composition is applied on a substrate or a layer formed of the solid content of the previously formed colored photosensitive resin composition, and the applied colored photosensitive resin composition layer A volatile component is removed, the layer is exposed through a photomask, and a method for forming a pattern to be developed, a color filter including the pattern formed by the method, and a liquid crystal display device using the color filter are provided. provide.

本発明の着色感光性樹脂組成物により得られる着色画素は、順テーパー形状になり好ましい。したがって、前記の順テーパー形状の画素上にオーバーコートを介さずに直接ITO膜を形成してもITO膜が断線することはない。したがって、本発明の着色感光性樹脂組成物を顔料分散レジストとして使用し、カラーフィルタを作製する場合、生産性に優れ、かつ高品質なカラーフィルタを得ることができる。   The colored pixel obtained by the colored photosensitive resin composition of the present invention has a forward tapered shape, which is preferable. Therefore, even if an ITO film is formed directly on the forward-tapered pixel without using an overcoat, the ITO film does not break. Therefore, when the colored photosensitive resin composition of the present invention is used as a pigment-dispersed resist to produce a color filter, a high-quality color filter with excellent productivity can be obtained.

以下、本発明を詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、主に顔料分散レジストとして使用されるものであって、通常は顔料である着色材料(D)、バインダー樹脂(A)、光重合開始剤(C)および光重合性モノマー(B)として、同一分子内に2個の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリルモノマーおよび同一分子内に2個のビニルエーテル基を有するビニルエーテルモノマーからなる群から選ばれる少なくとも1種のモノマーと同一分子内に5個以上の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリルモノマーとの混合物、任意に(F)その他の添加剤が、溶剤(E)に溶解または分散されている。   The colored photosensitive resin composition of the present invention is mainly used as a pigment-dispersed resist, and is usually a pigmented coloring material (D), a binder resin (A), a photopolymerization initiator (C) and As the photopolymerizable monomer (B), at least one selected from the group consisting of a (meth) acryl monomer having two (meth) acryl groups in the same molecule and a vinyl ether monomer having two vinyl ether groups in the same molecule. A mixture of a kind monomer and a (meth) acrylic monomer having 5 or more (meth) acrylic groups in the same molecule, optionally (F) and other additives are dissolved or dispersed in the solvent (E). .

バインダー樹脂(A)は、アルカリ溶解性を有し、また着色材料の分散媒として作用する。本発明で用いられるバインダー樹脂として、不飽和カルボン酸から導かれる構成単位を含む重合体が好ましい。前記のバインダー樹脂として、不飽和カルボン酸およびこれと共重合が可能な他のモノマーとを共重合させて得られる樹脂がより好ましい。   The binder resin (A) has alkali solubility and acts as a dispersion medium for the coloring material. As the binder resin used in the present invention, a polymer containing a structural unit derived from an unsaturated carboxylic acid is preferable. As the binder resin, a resin obtained by copolymerizing an unsaturated carboxylic acid and another monomer copolymerizable therewith is more preferable.

前記の不飽和カルボン酸から導かれる構成単位としては、具体的には、アクリル酸から導かれる構成単位およびメタクリル酸から導かれる構成単位が挙げられる。アクリル酸およびメタクリル酸は、それぞれ単独で、または両者を組み合わせて用いることができる。また、これらのアクリル酸やメタクリル酸に加えて、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸など、他の不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも1種のカルボン酸を併用することもできる。また、α−(ヒドロキシメチル)アクリル酸のような、同一分子中にヒドロキシ基およびカルボキシル基を含有するモノマーを併用することもできる。   Specific examples of the structural unit derived from the unsaturated carboxylic acid include a structural unit derived from acrylic acid and a structural unit derived from methacrylic acid. Acrylic acid and methacrylic acid can be used alone or in combination of both. Further, in addition to these acrylic acid and methacrylic acid, at least one carboxylic acid selected from the group consisting of other unsaturated carboxylic acids and unsaturated carboxylic anhydrides such as crotonic acid, itaconic acid, maleic acid and fumaric acid. An acid can be used in combination. Further, a monomer containing a hydroxy group and a carboxyl group in the same molecule, such as α- (hydroxymethyl) acrylic acid, can be used in combination.

本発明に用いられるバインダー樹脂は、以上のような不飽和カルボン酸から導かれる構成単位と、前記の不飽和カルボン酸から導かれる構成単位と共重合可能な構成単位から得られる樹脂が好ましい。前記の不飽和カルボン酸から導かれる構成単位と共重合可能な構   The binder resin used in the present invention is preferably a resin obtained from a structural unit derived from an unsaturated carboxylic acid as described above and a structural unit copolymerizable with the structural unit derived from the unsaturated carboxylic acid. A structure copolymerizable with the structural unit derived from the unsaturated carboxylic acid

成単位としては、好ましくはアクリル酸エステルから導かれる構成単位が挙げられる。 The constituent unit preferably includes a constituent unit derived from an acrylate ester.

アクリル酸エステルから導かれる構成単位としては、アクリレート化合物が挙げられ、具体的には、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートおよびアミノエチル(メタ)アクリレートのような不飽和カルボン酸の無置換または置換アルキルエステル;
シクロペンチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、メチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘプチル(メタ)アクリレート、シクロオクチル(メタ)アクリレート、メンチル(メタ)アクリレート、シクロペンテニル(メタ)アクリレート、シクロヘキセニル(メタ)アクリレート、シクロヘプテニル(メタ)アクリレート、シクロオクテニル(メタ)アクリレート、メンタジエニル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、ピナニル(メタ)アクリレート、トリシクロデシル(メタ)アクリレート、トリシクロデシルオキシエチル(メタ)アクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレート、ノルボルネニル(メタ)アクリレート、ピネニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレートおよびジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレートのような不飽和カルボン酸の脂環式基を含むエステル;
グリシジル(メタ)アクリレートのような不飽和カルボン酸グリシジルエステル;
オキセタン(メタ)アクリレートのような不飽和カルボン酸オキセタンエステル;
オリゴエチレングリコールモノアルキル(メタ)アクリレートのようなグリコール類のモノ飽和カルボン酸エステルなどが挙げられ、好ましくは、メチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレートが挙げられる。
Examples of the structural unit derived from an acrylate ester include an acrylate compound. Specifically, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, and 2-hydroxyethyl Unsubstituted or substituted alkyl esters of unsaturated carboxylic acids such as (meth) acrylate and aminoethyl (meth) acrylate;
Cyclopentyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, methylcyclohexyl (meth) acrylate, cycloheptyl (meth) acrylate, cyclooctyl (meth) acrylate, menthyl (meth) acrylate, cyclopentenyl (meth) acrylate, cyclohexenyl (meth) ) Acrylate, cycloheptenyl (meth) acrylate, cyclooctenyl (meth) acrylate, mentadienyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, pinanyl (meth) acrylate, tricyclodecyl (meth) acrylate, tricyclodecyloxyethyl (meth) acrylate , Adamantyl (meth) acrylate, norbornenyl (meth) acrylate, pinenyl (meth) acrylate, dicyclope Esters including thenyl (meth) acrylate and alicyclic group of unsaturated carboxylic acids such as dicyclopentenyl oxyethyl (meth) acrylate;
Unsaturated carboxylic acid glycidyl esters such as glycidyl (meth) acrylate;
Unsaturated carboxylic acid oxetane esters such as oxetane (meth) acrylate;
Examples include monosaturated carboxylic esters of glycols such as oligoethylene glycol monoalkyl (meth) acrylate, and preferred examples include methyl (meth) acrylate and benzyl (meth) acrylate.

さらに好ましくは、前記の共重合体において、不飽和カルボン酸およびアクリル酸エステルと共重合が可能な他のモノマーを用いることもできる。前記の他のモノマーから導かれる構成単位としては、スチレン、α−メチルスチレンおよびビニルトルエンのような芳香族ビニル化合物;
酢酸ビニルおよびプロピオン酸ビニルのようなカルボン酸ビニルエステル;
(メタ)アクリロニトリルおよびα−クロロアクリロニトリルのようなシアン化ビニル化合物;
N−フェニルマレイミドのようなマレイミド化合物などが挙げられる。
これらは、バインダー樹脂(A)の製造にあたって、それぞれ単独で用いてもよいし、2種以上組み合わせて用いてもよい。
また、さらに、必要により、アクリル酸エステル以外の不飽和化合物を併用しても差し支えない。
More preferably, in the above copolymer, another monomer copolymerizable with the unsaturated carboxylic acid and the acrylate ester can be used. Structural units derived from the other monomers include aromatic vinyl compounds such as styrene, α-methylstyrene and vinyltoluene;
Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl acetate and vinyl propionate;
Vinyl cyanide compounds such as (meth) acrylonitrile and α-chloroacrylonitrile;
And maleimide compounds such as N-phenylmaleimide.
These may be used alone or in combination of two or more in producing the binder resin (A).
Further, if necessary, an unsaturated compound other than the acrylate ester may be used in combination.

これら他の構成単位のなかでも、(メタ)アクリル酸エステル、とりわけ(メタ)アクリル酸の無置換または置換アルキルエステルや(メタ)アクリル酸の脂環式基を含むエステルが有利に用いられる。   Among these other structural units, (meth) acrylic acid esters, in particular, unsubstituted or substituted alkyl esters of (meth) acrylic acid and esters containing alicyclic groups of (meth) acrylic acid are advantageously used.

バインダー樹脂(A)において、不飽和カルボン酸から導かれる構成単位は、前記共重合体の全構成単位のうち、通常10〜50質量%、好ましくは15〜40質量%の範囲で存在させるのが好ましい。不飽和カルボン酸から導かれる構成単位が前記の基準で10〜50質量%であると、現像液への溶解性が十分であるので、未露光部の基板上に残渣が発生することなく、また現像時に露光部の画素部分の膜減りが生じることがなく画素全体が剥離することがない傾向にあり、好ましい。   In the binder resin (A), the constitutional unit derived from the unsaturated carboxylic acid is usually present in the range of 10 to 50% by mass, preferably 15 to 40% by mass of all the constitutional units of the copolymer. preferable. When the structural unit derived from the unsaturated carboxylic acid is from 10 to 50% by mass based on the above criteria, the solubility in the developing solution is sufficient, so that no residue is generated on the unexposed portion of the substrate. This is preferable because there is no tendency for the pixel portion of the exposed portion to be reduced in film thickness at the time of development and the whole pixel does not peel off.

バインダー樹脂(A)は、ポリスチレン換算の重量平均分子量が10,000〜100,000の範囲にあることが好ましく、より好ましくは15,000〜50,000の範囲である。バインダー樹脂(A)の重量平均分子量が、10,000〜100,000の範囲にあると、現像時に膜減りが生じにくく、また現像時に非画素部分の抜け性が良好である傾向にあり、好ましい。
このバインダー樹脂(A)は、レジスト組成物中の全固形分量に対して、通常5〜90質量%、好ましくは10〜70質量%の範囲で含有される。バインダー樹脂(A)が、前記の基準で5〜90質量%であると、現像液への溶解性が十分であり、非画素部分の基板上に現像残渣が発生しにくく、また現像時に露光部の画素部分の膜減りが生じにくく、非画素部分の抜け性が良好な傾向にあり、好ましい。
The binder resin (A) preferably has a weight average molecular weight in terms of polystyrene of 10,000 to 100,000, more preferably 15,000 to 50,000. When the weight average molecular weight of the binder resin (A) is in the range of 10,000 to 100,000, it is difficult to reduce the film thickness during development, and the non-pixel portion tends to have good removability during development. .
The binder resin (A) is contained in an amount of usually 5 to 90% by mass, preferably 10 to 70% by mass, based on the total solid content in the resist composition. When the amount of the binder resin (A) is 5 to 90% by mass on the basis of the above, the solubility in a developing solution is sufficient, and a development residue is hardly generated on a substrate in a non-pixel portion. This is preferable because film reduction of the pixel portion hardly occurs and the non-pixel portion tends to have good removability.

本発明の着色感光性樹脂組成物に含まれる光重合性モノマー(B)は、光および後述する光重合開始剤(C)の作用で重合しうる化合物であり、同一分子内に2個の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリルモノマー(b11)および同一分子内に2個のビニルエーテル基を有するビニルエーテルモノマー(b12)からなる群から選ばれる少なくとも1種のモノマー(b10)と、同一分子内に5個以上の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリルモノマー(b20)とを併用することに特徴がある。   The photopolymerizable monomer (B) contained in the colored photosensitive resin composition of the present invention is a compound that can be polymerized by the action of light and a photopolymerization initiator (C) described below. At least one monomer (b10) selected from the group consisting of a (meth) acrylic monomer (b11) having a (meth) acrylic group and a vinylether monomer (b12) having two vinylether groups in the same molecule; In combination with a (meth) acrylic monomer (b20) having five or more (meth) acrylic groups.

同一分子内に2個の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリルモノマーとしては、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,3−ブチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−1,3−ジアクリロキシプロパン、2,2−ビス[4−(アクリロキシエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(アクリロキシジエトキシ)フェニル]プロパン、ビスフェノールAのビス(アクリロイロキシエチル)エーテル、ビスフェノールA型エポキシ樹脂の(メタ)アクリル酸変性物、3−メチルペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−アクリロイロキシプロピルメタクリレート、ジメチロール−トリシクロデカンジ(メタ)アクリレートなどが挙げられ、好ましくはジメチロール−トリシクロデカンジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールA型エポキシ樹脂の(メタ)アクリル酸変性物が挙げられ、より好ましくはジメチロール−トリシクロデカンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ビスフェノールA型エポキシ樹脂のアクリル酸変性物が挙げられる。   Examples of (meth) acrylic monomers having two (meth) acrylic groups in the same molecule include ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, and polyethylene glycol di ( (Meth) acrylate, 1,3-butylene glycol di (meth) acrylate, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, propylene Glycol di (meth) acrylate, dipropylene glycol di (meth) acrylate, tripropylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, 2-hydroxy-1,3-diacrylo Cipropane, 2,2-bis [4- (acryloxyethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (acryloxydiethoxy) phenyl] propane, bis (acryloyloxyethyl) ether of bisphenol A, bisphenol Modified (meth) acrylic acid of A-type epoxy resin, 3-methylpentanediol di (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-acryloyloxypropyl methacrylate, dimethylol-tricyclodecanedi (meth) acrylate, and the like. Preferred are dimethylol-tricyclodecane di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, and (meth) acrylic acid-modified bisphenol A type epoxy resin, and more preferably dimethylol-tricyclodecane diacrylate. Les DOO, neopentyl glycol diacrylate, acrylic acid-modified product of bisphenol A type epoxy resins.

同一分子内に2個のビニルエーテル基を有するビニルエーテルモノマーとしては、エチレングリコールジビニルエーテル、ジエチレングリコールジビニルエーテル、トリエチレングリコールジビニルエーテル、ポリエチレングリコールジビニルエーテル、1,3−ブチレングリコールジビニルエーテル、1,4−ブタンジオールジビニルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジビニルエーテル、1,4−シクロヘキサンジオールジビニルエーテル、ネオペンチルグリコールジビニルエーテル、プロピレングリコールジビニルエーテル、ジプロピレングリコールジビニルエーテル、トリプロピレングリコールジビニルエーテル、ポリプロピレングリコールジビニルエーテル、2−ヒドロキシ−1,3−ジビニルオキシプロパン、2,2−ビス[4−(ビニルオキシエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(ビニルオキシジエトキシ)フェニル]プロパン、3−メチルペンタンジオールジビニルエーテル、ジメチロール−トリシクロデカンジビニルエーテル、ハイドロキノンのジビニルエーテル化物、ビスフェノールAのジビニルエーテル化物などが挙げられ、好ましくはが挙げられ、より好ましくはが挙げられる。   Vinyl ether monomers having two vinyl ether groups in the same molecule include ethylene glycol divinyl ether, diethylene glycol divinyl ether, triethylene glycol divinyl ether, polyethylene glycol divinyl ether, 1,3-butylene glycol divinyl ether, and 1,4-butane. Diol divinyl ether, 1,6-hexanediol divinyl ether, 1,4-cyclohexanediol divinyl ether, neopentyl glycol divinyl ether, propylene glycol divinyl ether, dipropylene glycol divinyl ether, tripropylene glycol divinyl ether, polypropylene glycol divinyl ether, 2-hydroxy-1,3-divinyloxypropane, 2,2-bis [ -(Vinyloxyethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (vinyloxydiethoxy) phenyl] propane, 3-methylpentanediol divinyl ether, dimethylol-tricyclodecane divinyl ether, divinyl etherified hydroquinone, Examples thereof include a divinyl etherified product of bisphenol A, and preferably, and more preferably.

同一分子内に5個以上の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリルモノマーとしては、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートや共栄社化学(株)製のUA−306H、UA−306T、UA−306I等のウレタンアクリレートが挙げられ、好ましくはジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートが挙げられる。   Examples of the (meth) acrylic monomer having five or more (meth) acrylic groups in the same molecule include dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, and UA- manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd. Examples thereof include urethane acrylates such as 306H, UA-306T, and UA-306I, and preferably include dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate.

前記の同一分子内に2個の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリルモノマーおよび同一分子内に2個のビニルエーテル基を有するビニルエーテルモノマーからなる群から選ばれる少なくとも1種のモノマーならびに同一分子内に5個以上の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリルモノマーの分子量またはポリスチレン換算重量平均分子量は1,000未満であることが好ましく、800未満であることがより好ましい。前記の各モノマー成分の分子量ポリスチレン換算重量平均分子量が前記の範囲にあると、均一な塗膜が得られるので好ましい。ただし、前記の各モノマー成分の分子量またはポリスチレン換算重量平均分子量が1,000を越える場合でも、均一な塗膜が得られるものであれば、使用することは差し支えない。   At least one monomer selected from the group consisting of the (meth) acrylic monomer having two (meth) acrylic groups in the same molecule and the vinyl ether monomer having two vinylether groups in the same molecule; The molecular weight or polystyrene equivalent weight average molecular weight of a (meth) acrylic monomer having five or more (meth) acryl groups is preferably less than 1,000, and more preferably less than 800. It is preferred that the molecular weight of each of the monomer components be in the above range in terms of polystyrene, since a uniform coating film can be obtained. However, even when the molecular weight of each monomer component or the weight average molecular weight in terms of polystyrene exceeds 1,000, it may be used as long as a uniform coating film can be obtained.

その他、本発明の効果を損なわない程度に、その他の単官能モノマーやその他の多官能モノマーを使用することができる。その他の単官能モノマーの具体例としては、ノニルフェニルカルビトールアクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、2−エチルヘキシルカルビトールアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、N−ビニルピロリドンなどが挙げられる。
その他の多官能モノマーの具体例としては、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、などが挙げられる。
In addition, other monofunctional monomers and other polyfunctional monomers can be used to the extent that the effects of the present invention are not impaired. Specific examples of other monofunctional monomers include nonylphenyl carbitol acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, 2-ethylhexyl carbitol acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, N-vinylpyrrolidone, and the like.
Specific examples of other polyfunctional monomers include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, and pentaerythritol tetra (meth) acrylate.

光重合性モノマー(B)は、着色感光性樹脂組成物中のバインダー樹脂(A)および光重合性モノマー(B)の合計100質量部に対して、通常1〜60質量部、好ましくは5〜50質量部の範囲で含有される。光重合性モノマー(B)の含有量が、前記の基準で1〜60質量部の範囲であると、画素部の強度、パターン形状や平滑性が良好になる傾向があり、好ましい。
また、同一分子内に2個の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリルモノマーおよび同一分子内に2個のビニルエーテル基を有するビニルエーテルモノマーからなる群から選ばれる少なくとも1種のモノマーと、同一分子内に5個以上の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリルモノマーの使用比率は、これらのモノマーの合計を100質量部とした場合、同一分子内に2個の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリルモノマーおよび同一分子内に2個のビニルエーテル基を有するビニルエーテルモノマーからなる群から選ばれる少なくとも1種のモノマーの使用比率が10〜90質量部の範囲が好ましく、15〜80質量部の範囲がより好ましい。使用比率が前記の範囲内であると、順テーパー形状が得られるので好ましい。
The photopolymerizable monomer (B) is usually 1 to 60 parts by mass, preferably 5 to 5 parts by mass, based on a total of 100 parts by mass of the binder resin (A) and the photopolymerizable monomer (B) in the colored photosensitive resin composition. It is contained in the range of 50 parts by mass. When the content of the photopolymerizable monomer (B) is in the range of 1 to 60 parts by mass based on the above criteria, the strength, pattern shape and smoothness of the pixel portion tend to be good, which is preferable.
Further, at least one monomer selected from the group consisting of a (meth) acryl monomer having two (meth) acryl groups in the same molecule and a vinyl ether monomer having two vinyl ether groups in the same molecule, The ratio of the (meth) acrylic monomer having 5 or more (meth) acrylic groups in the same molecule has two (meth) acrylic groups in the same molecule when the total of these monomers is 100 parts by mass. The use ratio of at least one monomer selected from the group consisting of a (meth) acrylic monomer and a vinyl ether monomer having two vinyl ether groups in the same molecule is preferably in the range of 10 to 90 parts by mass, more preferably 15 to 80 parts by mass. The range is more preferable. When the use ratio is within the above range, a forward tapered shape is obtained, which is preferable.

次に、本発明の着色感光性樹脂組成物に含まれる光重合開始剤(C)は、ビイミダゾール化合物、トリアジン化合物およびアセトフェノン化合物の少なくとも1種を含有する光重合開始剤であると、得られる着色感光性樹脂組成物は、より高感度となり好ましい。
さらに、トリアジン化合物、アセトフェノン化合物およびビイミダゾール化合物の少なくとも1種を含有する光重合開始剤に加えて、光重合開始助剤(C−1)を併用することで、得られる着色感光性樹脂組成物は更に高感度となり、これを用いてカラーフィルタを形成する際の生産性が向上するので、好ましい。
Next, the photopolymerization initiator (C) contained in the colored photosensitive resin composition of the present invention is obtained when it is a photopolymerization initiator containing at least one of a biimidazole compound, a triazine compound and an acetophenone compound. The colored photosensitive resin composition is preferable because it has higher sensitivity.
Furthermore, in addition to a photopolymerization initiator containing at least one of a triazine compound, an acetophenone compound and a biimidazole compound, a colored photosensitive resin composition obtained by using a photopolymerization initiation auxiliary agent (C-1) in combination Is more preferable because the sensitivity is further improved and the productivity when forming a color filter using this is improved.

本発明の着色感光性樹脂組成物において用いられる光重合開始剤(C)に含まれるトリアジン化合物としては、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシナフチル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−ピペロニル−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシスチリル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジンなどが挙げられ、アセトフェノン化合物としては、ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、2−ヒドロキシ−1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕−2−メチルプロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(1−メチルビニル)フェニル〕プロパン−1−オンのオリゴマーなどが挙げられ、さらに、ビイミダゾール化合物としては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)―4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2、3−ジクロロフェニル)―4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール(例えば特許文献7および8等。)、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)―4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)―4,4’,5,5’−テトラ(アルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)―4,4’,5,5’−テトラ(ジアルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)―4,4’,5,5’−テトラ(トリアルコキシフェニル)ビイミダゾール(例えば特許文献9および10等。)、4,4’5,5’−位のフェニル基がカルボアルコキシ基により置換されているイミダゾール化合物(特許文献11)などが挙げられ、好ましくは2,2’−ビス(2−クロロフェニル)―4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2、3−ジクロロフェニル)―4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾールが挙げられる。   The triazine compound contained in the photopolymerization initiator (C) used in the colored photosensitive resin composition of the present invention includes 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1,3,3 5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxynaphthyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6-piperonyl-1,3,5 -Triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxystyryl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (5-methylfuran -2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, , 4-bis (trichlorometh L) -6- [2- (4-Diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (3,4-dimethoxy Phenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine and the like, and examples of the acetophenone compound include diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzyldimethylketal, and 2-hydroxy -1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] -2-methylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropane-1 -One, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 2-hi Oligomers of roxy-2-methyl-1- [4- (1-methylvinyl) phenyl] propan-1-one; and the like, and as the biimidazole compound, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (2,3-dichlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetraphenylbiimidazole (for example, Patent Document 7 and 8 etc.), 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5 , 5'-Tetra (alkoxyphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (dialkoxyphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (trialkoxyphenyl) biimidazole (for example, Patent Documents 9 and 10 and the like). ) And imidazole compounds in which the phenyl group at the 4,4'5,5'-position is substituted by a carboalkoxy group (Patent Document 11), and the like, and preferably 2,2'-bis (2-chlorophenyl)- 4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole and 2,2′-bis (2,3-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole are exemplified.

特開平6−75372号公報 3ページ左欄27行目−41行目JP-A-6-75372, page 27, left column, lines 27-41 特開平6−75373号公報 3ページ左欄49行目−右欄13行目JP-A-6-75373, page 3, left column, line 49-right column, line 13 特公昭48−38403号公報 2ページ左欄40行目−右欄44行目JP-B-48-38403, page 2, left column, line 40-right column, line 44 特開昭62−174204号公報 2ページ右欄13行目−3ページ左欄9行目JP-A-62-174204, page 2, right column, line 13-3 page, left column, line 9 特開平7−10913号公報 3ページ左欄23行目−37行目Japanese Patent Laid-Open Publication No. 7-10913, page 23, left column, lines 23-37

また、本発明の効果を損なわない程度であれば、この分野で通常用いられている光重合開始剤等を併用することができ、例えば、ベンゾイン系、ベンゾフェノン系、チオキサントン系、アントラセン系、およびその他の開始剤が挙げられる。より具体的には以下のような化合物を挙げることができ、これらをそれぞれ単独で、または2種以上組み合わせて用いることができる。   Further, as long as the effect of the present invention is not impaired, a photopolymerization initiator or the like usually used in this field can be used in combination, for example, benzoin-based, benzophenone-based, thioxanthone-based, anthracene-based, and other Of the initiator. More specifically, the following compounds can be mentioned, and these can be used alone or in combination of two or more.

(a)ベンゾイン系
ベンゾイン、
ベンゾインメチルエーテル、
ベンゾインエチルエーテル、
ベンゾインイソプロピルエーテル、
ベンゾインイソブチルエーテルなど。
(b)ベンゾフェノン系
ベンゾフェノン、
o−ベンゾイル安息香酸メチル、
4−フェニルベンゾフェノン、
4−ベンゾイル−4′−メチルジフェニルサルファイド、
3,3′,4,4′−テトラ(tert−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、
2,4,6−トリメチルベンゾフェノンなど。
(A) benzoin benzoin,
Benzoin methyl ether,
Benzoin ethyl ether,
Benzoin isopropyl ether,
Benzoin isobutyl ether and the like.
(B) benzophenone benzophenone,
methyl o-benzoylbenzoate,
4-phenylbenzophenone,
4-benzoyl-4'-methyldiphenyl sulfide,
3,3 ', 4,4'-tetra (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone,
2,4,6-trimethylbenzophenone and the like.

(c)チオキサントン系
2−イソプロピルチオキサントン、
4−イソプロピルチオキサントン、
2,4−ジエチルチオキサントン、
2,4−ジクロロチオキサントン、
1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなど。
(C) thioxanthone 2-isopropylthioxanthone,
4-isopropylthioxanthone,
2,4-diethylthioxanthone,
2,4-dichlorothioxanthone,
1-chloro-4-propoxythioxanthone and the like.

(d)アントラセン系
9,10−ジメトキシアントラセン、
2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、
9,10−ジエトキシアントラセン、
2−エチル−9,10−ジエトキシアントラセンなど。
(D) anthracene 9,10-dimethoxyanthracene,
2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene,
9,10-diethoxyanthracene,
2-ethyl-9,10-diethoxyanthracene and the like.

(e)その他
2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキシド、
10−ブチル−2−クロロアクリドン、
2−エチルアントラキノン、
ベンジル、
9,10−フェナンスレンキノン、
カンファーキノン、
フェニルグリオキシル酸メチル、
チタノセン化合物など。
(E) other 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide,
10-butyl-2-chloroacridone,
2-ethylanthraquinone,
Benzyl,
9,10-phenanthrenequinone,
Camphor quinone,
Methyl phenylglyoxylate,
Titanocene compounds and the like.

また、光重合開始剤に光重合開始助剤(C−1)を組み合わせて用いることもできる。光重合開始助剤としては、アミン化合物、チオール基含有化合物および特定のカルボン酸化合物が好ましく、アミン化合物は芳香族アミン化合物がより好ましい。光重合開始助剤の具体例としては、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミンなどの脂肪族アミン化合物、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4′−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称ミヒラーズケトン)、4,4′−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンのような芳香族アミン化合物が挙げられ、チオール基含有化合物は、分子中にチオール基を有する化合物であり、チオール基を一個有するチオール化合物として、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール等、脂肪族基にチオール基を複数有する脂肪族多官能チオール化合物の例としては、ヘキサンジチーオル、デカンジチオール、1,4−ジメチルメルカプトベンゼン、ブタンジオールビスチオプロピオネート、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレ−ト、ブタンジオールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピオネートおよび、これらの他に、多価ヒドロキシ化合物のチオグリコレート、チオプロピオネートなどが挙げられ、好ましくはトリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレートおよびペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネートが挙げられる。特定のカルボン酸化合物としては、フェニルチオ酢酸、メチルフェニルチオ酢酸、エチルフェニルチオ酢酸、メチルエチルフェニルチオ酢酸、ジメチルフェニルチオ酢酸、メトキシフェニルチオ酢酸、ジメトキシフェニルチオ酢酸、クロロフェニルチオ酢酸、ジクロロフェニルチオ酢酸、N−フェニルグリシン、フェノキシ酢酸、ナフチルチオ酢酸、N−ナフチルグリシン、ナフトキシ酢酸などが挙げられる。   Further, the photopolymerization initiator may be used in combination with the photopolymerization initiation assistant (C-1). As the photopolymerization initiation aid, an amine compound, a thiol group-containing compound and a specific carboxylic acid compound are preferable, and the amine compound is more preferably an aromatic amine compound. Specific examples of the photopolymerization initiation aid include aliphatic amine compounds such as triethanolamine, methyldiethanolamine, and triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, and 4-dimethylaminobenzoic acid. Isoamyl, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-dimethylaminoethyl benzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone (commonly known as Michler's ketone), 4,4'-bis An aromatic amine compound such as (diethylamino) benzophenone is exemplified, and the thiol group-containing compound is a compound having a thiol group in a molecule. As a thiol compound having one thiol group, 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercapto Benzo Examples of aliphatic polyfunctional thiol compounds having a plurality of thiol groups in an aliphatic group such as oxazole include hexanedithiol, decanedithiol, 1,4-dimethylmercaptobenzene, butanediol bisthiopropionate, and butanediol bis. Thioglycolate, ethylene glycol bisthioglycolate, trimethylolpropane tristhioglycolate, butanediol bisthiopropionate, trimethylolpropane tristhiopropionate, trimethylolpropane tristhioglycolate, pentaerythritol tetrakisthio Propionate, pentaerythritol tetrakisthioglycolate, trishydroxyethyltristhiopropionate, and, in addition to these, thioglycolate, Pioneto and the like, preferably trimethylolpropane tris thiopropionate, trimethylolpropane tris thioglycolate and pentaerythritol tetrakis thio propionate. Specific carboxylic acid compounds include phenylthioacetic acid, methylphenylthioacetic acid, ethylphenylthioacetic acid, methylethylphenylthioacetic acid, dimethylphenylthioacetic acid, methoxyphenylthioacetic acid, dimethoxyphenylthioacetic acid, chlorophenylthioacetic acid, dichlorophenylthioacetic acid, Examples include N-phenylglycine, phenoxyacetic acid, naphthylthioacetic acid, N-naphthylglycine, and naphthoxyacetic acid.

光重合開始剤(C)において、バインダー樹脂(A)および光重合性モノマー(B)の合計100質量部に対し、光重合開始剤(C)の合計量は、通常0.1〜40質量部、好ましくは1〜30質量部である。また(3)光重合開始助剤の合計量は、バインダー樹脂(A)および光重合性モノマー(B)の合計100質量部に対し、通常0.1〜50質量部、好ましくは1〜40質量部の範囲で含有される。
光重合開始剤(C)の合計量が前記の範囲にあると、着色感光性樹脂組成物が高感度となり、前記の着色感光性樹脂組成物を用いて形成した画素部の強度や、前記の画素の表面における平滑性が良好になる傾向があり、好ましい。
さらに光重合開始剤(C)に加えて、光重合開始助剤(C−1)の量が前記の範囲にあると、得られる着色感光性樹脂組成物の感度がさらに高くなり、前記の着色感光性樹脂組成物を用いて形成するカラーフィルタの生産性が向上する傾向にあり、好ましい。
In the photopolymerization initiator (C), the total amount of the photopolymerization initiator (C) is usually 0.1 to 40 parts by mass based on 100 parts by mass of the total of the binder resin (A) and the photopolymerizable monomer (B). , Preferably 1 to 30 parts by mass. The total amount of (3) the photopolymerization initiation auxiliary is usually 0.1 to 50 parts by mass, preferably 1 to 40 parts by mass, based on 100 parts by mass of the total of the binder resin (A) and the photopolymerizable monomer (B). Parts.
When the total amount of the photopolymerization initiator (C) is in the above range, the colored photosensitive resin composition has high sensitivity, and the strength of the pixel portion formed using the colored photosensitive resin composition, This is preferable because the smoothness on the surface of the pixel tends to be good.
Further, when the amount of the photopolymerization initiation aid (C-1) in addition to the photopolymerization initiator (C) is within the above range, the sensitivity of the obtained colored photosensitive resin composition is further increased, and The productivity of the color filter formed using the photosensitive resin composition tends to improve, which is preferable.

着色材料(D)は、通常顔料であり、顔料分散レジストに通常用いられる有機顔料または無機顔料であることができる。無機顔料としては、金属酸化物や金属錯塩のような金属化合物が挙げられ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモンなどの金属の酸化物または複合金属酸化物が挙げられる。また有機顔料および無機顔料として、具体的には、カラーインデックス(Colour Index)(The Society of Dyers and Colourists 出版)で、ピグメント(Pigment) に分類されている化合物が挙げられる。より具体的には、以下のようなカラーインデックス(C.I.)番号の化合物が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。   The coloring material (D) is usually a pigment, and can be an organic pigment or an inorganic pigment usually used for a pigment-dispersed resist. Examples of inorganic pigments include metal compounds such as metal oxides and metal complex salts.Specifically, iron, cobalt, aluminum, cadmium, lead, copper, titanium, magnesium, chromium, zinc, and antimony metals Oxides or composite metal oxides are mentioned. Specific examples of organic pigments and inorganic pigments include compounds classified as Pigment in the Color Index (published by The Society of Dyers and Colorists). More specifically, examples include, but are not limited to, compounds having the following color index (CI) numbers.

C.I.ピグメントイエロー20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、137、138、139、147、148、150、153、154、166および173;
C.I.ピグメントオレンジ13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65および71;
C.I.ピグメントレッド9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、215、216、224、242および254;
C.I.ピグメントバイオレット14、19、23、29、32、33、36、37および38;
C.I.ピグメントブルー15(15:3、15:4、15:6など)、2122、28、60および64;
C.I.ピグメントグリーン7、10、15、25、36および47;
C.I.ピグメントブラウン28;
C.I.ピグメントブラック1および7など。
C. I. Pigment Yellow 20, 24, 31, 53, 83, 86, 93, 94, 109, 110, 117, 125, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 153, 154, 166 and 173;
C. I. Pigment Orange 13, 31, 36, 38, 40, 42, 43, 51, 55, 59, 61, 64, 65 and 71;
C. I. Pigment Red 9, 97, 105, 122, 123, 144, 149, 166, 168, 176, 177, 180, 192, 215, 216, 224, 242 and 254;
C. I. Pigment Violet 14, 19, 23, 29, 32, 33, 36, 37 and 38;
C. I. Pigment Blue 15 (15: 3, 15: 4, 15: 6, etc.), 2122, 28, 60 and 64;
C. I. Pigment Green 7, 10, 15, 25, 36 and 47;
C. I. Pigment brown 28;
C. I. Pigment Black 1 and 7, and the like.

これらの着色材料(D)は、それぞれ単独で、または2種以上組み合わせて用いることができる。着色材料(D)は、着色感光性樹脂組成物中の全固形分量を基準に、通常5〜60質量%、好ましくは10〜55質量%の範囲で用いられる。着色材料(D)の含有量が、前記の基準で5〜60質量部の範囲であると、薄膜にしても画素の色濃度が十分であり、現像時に非画素部の抜け性が低下することがないため、残渣が発生しにくい傾向があり、好ましい。   These coloring materials (D) can be used alone or in combination of two or more. The coloring material (D) is used in an amount of usually 5 to 60% by mass, preferably 10 to 55% by mass, based on the total solid content in the colored photosensitive resin composition. When the content of the coloring material (D) is in the range of 5 to 60 parts by mass based on the above-described standard, the color density of the pixel is sufficient even if the film is formed as a thin film, and the removability of the non-pixel portion decreases during development. Therefore, there is a tendency that a residue hardly occurs, which is preferable.

溶剤(E)は、この分野で用いられている各種のものであることができる。その具体例としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテルおよびエチレングリコールモノブチルエーテルのようなエチレングリコールモノアルキルエーテル類;
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテルおよびジエチレングリコールジブチルエーテルのようなジエチレングリコールジアルキルエーテル類;
メチルセロソルブアセテートおよびエチルセロソルブアセテートのようなエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類;
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテートおよびメトキシペンチルアセテートのようなアルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類;
ベンゼン、トルエン、キシレンおよびメシチレンのような芳香族炭化水素類;
メチルエチルケトン、アセトン、メチルアミルケトン、メチルイソブチルケトンおよびシクロヘキサノンのようなケトン類;
エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコールおよびグリセリンのようなアルコール類;
3−エトキシプロピオン酸エチルおよび3−メトキシプロピオン酸メチルのようなエステル類;
γ−ブチロラクトンのような環状エステル類などが挙げられる。
これらの溶剤(E)は、それぞれ単独で、または2種類以上混合して用いることができる。
溶剤(E)の使用量は、前記の溶剤を含む着色感光性樹脂組成物全体の量を基準に、60〜90質量%、好ましくは70〜85質量%である。溶剤(E)の含有量が、前記の基準で60〜90質量部の範囲であると、塗布性が良好になる傾向があり、好ましい。
The solvent (E) can be various ones used in this field. Specific examples thereof include ethylene glycol monoalkyl ethers such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether and ethylene glycol monobutyl ether;
Diethylene glycol dialkyl ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether and diethylene glycol dibutyl ether;
Ethylene glycol alkyl ether acetates, such as methyl cellosolve acetate and ethyl cellosolve acetate;
Alkylene glycol alkyl ether acetates such as propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, methoxybutyl acetate and methoxypentyl acetate;
Aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene and mesitylene;
Ketones such as methyl ethyl ketone, acetone, methyl amyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone;
Alcohols such as ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol and glycerin;
Esters such as ethyl 3-ethoxypropionate and methyl 3-methoxypropionate;
and cyclic esters such as γ-butyrolactone.
These solvents (E) can be used alone or in combination of two or more.
The amount of the solvent (E) to be used is 60 to 90% by mass, preferably 70 to 85% by mass, based on the total amount of the colored photosensitive resin composition containing the solvent. When the content of the solvent (E) is in the range of 60 to 90 parts by mass on the basis of the above, the coating properties tend to be good, which is preferable.

本発明の着色感光性樹脂組成物には、必要に応じて、充填剤、他の高分子化合物、顔料分散剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止材などの添加剤(F)を混合使用することもできる。   In the colored photosensitive resin composition of the present invention, if necessary, additives such as a filler, another polymer compound, a pigment dispersant, an adhesion promoter, an antioxidant, an ultraviolet absorber, and an anti-aggregation material ( F) may be used as a mixture.

充填剤として具体的には、ガラス、シリカ、アルミナなどが、他の高分子化合物として具体的には、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフルオロアルキルアクリレートなどを用いることができる。   Specific examples of the filler include glass, silica, and alumina, and specific examples of the other polymer compound include polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, and polyfluoroalkyl acrylate. .

顔料分散剤としては、市販の顔料分散剤を用いることができ、例えば、シリコーン系、フッ素系、エステル系、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性などの界面活性剤などが挙げられ、それぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせて用いられる。前記の界面活性剤の例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、3級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類等のほか、商品名でKP(信越化学工業(株)製)、ポリフロー(共栄化学(株)製)、エフトップ(トーケムプロダクツ社製)、メガファックス(大日本インキ化学工業(株)製)、フロラード(住友スリーエム(株)製)、アサヒガード、サーフロン(以上、旭硝子(株)製)、ソルスパース(ゼネカ(株)製)、EFKA(EFKA CHEMICALS社製)、PB821(味の素(株)製)などが挙げられる。   As the pigment dispersant, a commercially available pigment dispersant can be used, and examples thereof include silicone-based, fluorine-based, ester-based, cationic, anionic, nonionic, and amphoteric surfactants. Or a combination of two or more. Examples of the surfactant include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkyl phenyl ethers, polyethylene glycol diesters, sorbitan fatty acid esters, fatty acid-modified polyesters, tertiary amine-modified polyurethanes, and polyethylene imines In addition to the above, KP (made by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Polyflow (made by Kyoei Chemical Co., Ltd.), F-top (made by Tochem Products Co., Ltd.), Megafax (made by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) ), Florard (manufactured by Sumitomo 3M Limited), Asahi Guard, Surflon (all manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), Solsperse (manufactured by Zeneca Corporation), EFKA (manufactured by EFKA CHEMICALS), PB821 (manufactured by Ajinomoto Co., Ltd.) ).

密着促進剤として具体的には、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。   Specific examples of the adhesion promoter include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2- Aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) Examples include ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, and 3-mercaptopropyltrimethoxysilane.

酸化防止剤として具体的には、2,2′−チオビス(4−メチル−6−tert−ブチルフェノール)、2,6−ジ−tert−ブチル−4−メチルフェノールなどが挙げられる。   Specific examples of the antioxidant include 2,2'-thiobis (4-methyl-6-tert-butylphenol) and 2,6-di-tert-butyl-4-methylphenol.

紫外線吸収剤として具体的には、2−(3−tert−ブチル−2−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどが挙げられる。   Specific examples of the ultraviolet absorber include 2- (3-tert-butyl-2-hydroxy-5-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole, alkoxybenzophenone, and the like.

他の高分子化合物として具体的には、エポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂やポリエステル、ポリウレタン等の熱可塑性樹脂が挙げられる。   Specific examples of the other polymer compound include a thermosetting resin such as an epoxy resin and a thermoplastic resin such as polyester and polyurethane.

また凝集剤として具体的には、ポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。   Specific examples of the coagulant include sodium polyacrylate.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、例えば、以下のようにして調製することができる。すなわち、着色材料(D)を予め溶剤(E)と混合し、着色材料の平均粒子径が0.2μm以下程度となるまで、ビーズミルなどを用いて分散させる。この際、必要に応じて顔料分散剤が使用され、またバインダー樹脂(A)の一部または全部が配合されることもある。得られた分散液(ミルベース)に、バインダー樹脂(A)の残り、光重合性モノマー(B)および光重合開始剤(C)、必要に応じて使用されるその他の成分、さらには必要により追加の溶剤を、所定の濃度となるように添加し、目的の着色感光性樹脂組成物を得る。   The colored photosensitive resin composition of the present invention can be prepared, for example, as follows. That is, the coloring material (D) is previously mixed with the solvent (E) and dispersed using a bead mill or the like until the coloring material has an average particle diameter of about 0.2 μm or less. At this time, a pigment dispersant is used as needed, and a part or all of the binder resin (A) may be blended. To the resulting dispersion (mill base), the remainder of the binder resin (A), the photopolymerizable monomer (B) and the photopolymerization initiator (C), other components used as needed, and further added as necessary To obtain a desired colored photosensitive resin composition.

こうして調製された感光性樹脂組成物は、例えば、以下のようにして基材上に塗布し、光硬化および現像を行って、ブラックマトリックスまたは着色画像とすることができる。まず、この組成物を基板(通常はガラス)上にスピンコートし、加熱乾燥(プリベーク)することにより溶剤を除去して、平滑な塗膜を得る。このときの塗膜の厚さは、およそ1〜3μm程度である。このようにして得られた塗膜に、目的のブラックマトリックスまたは画像を形成するためのネガマスクを介して紫外線を照射する。この際、露光部全体に均一に平行光線が照射され、かつマスクと基板の正確な位置合わせが行われるよう、マスクアライナーなどの装置を使用するのが好ましい。さらにこの後、硬化の終了した塗膜を希アルカリ水溶液に接触させて非露光部を溶解させ、現像することにより、目的とするブラックマトリックスまたは画像が得られる。現像後、必要に応じて150〜230℃で10〜60分程度の後硬化(ポストベーク)を施すこともできる。   The photosensitive resin composition thus prepared can be applied to a base material as described below, and subjected to photocuring and development to form a black matrix or a colored image. First, the composition is spin-coated on a substrate (usually glass) and dried by heating (prebaking) to remove the solvent, thereby obtaining a smooth coating film. The thickness of the coating film at this time is about 1 to 3 μm. The coating film thus obtained is irradiated with ultraviolet rays through a target black matrix or a negative mask for forming an image. At this time, it is preferable to use a device such as a mask aligner so that the entire exposed portion is uniformly irradiated with parallel light beams and accurate alignment between the mask and the substrate is performed. Thereafter, the cured coating film is brought into contact with a dilute aqueous alkaline solution to dissolve and develop the non-exposed portions, thereby obtaining a desired black matrix or image. After development, post-curing (post-baking) at 150 to 230 [deg.] C. for about 10 to 60 minutes can be performed as necessary.

パターニング露光後の現像に使用する現像液は、通常、アルカリ性化合物と界面活性剤を含む水溶液である。
アルカリ性化合物は、無機および有機のアルカリ性化合物のいずれでもよい。無機アルカリ性化合物の具体例としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、燐酸水素二ナトリウム、燐酸二水素ナトリウム、燐酸水素二アンモニウム、燐酸二水素アンモニウム、燐酸二水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニアなどが挙げられる。
また、有機アルカリ性化合物の具体例としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、2−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミンなどが挙げられる。これらの無機および有機アルカリ性化合物は、それぞれ単独でまたは2種以上組み合わせて用いることができる。アルカリ現像液中のアルカリ性化合物の好ましい濃度は、0.01〜10質量%の範囲であり、より好ましくは0.03〜5質量%である。
The developer used for the development after the patterning exposure is usually an aqueous solution containing an alkaline compound and a surfactant.
The alkaline compound may be any of inorganic and organic alkaline compounds. Specific examples of the inorganic alkaline compound include sodium hydroxide, potassium hydroxide, disodium hydrogen phosphate, sodium dihydrogen phosphate, diammonium hydrogen phosphate, ammonium dihydrogen phosphate, potassium dihydrogen phosphate, sodium silicate, potassium silicate, Examples include sodium carbonate, potassium carbonate, sodium bicarbonate, potassium bicarbonate, sodium borate, potassium borate, and ammonia.
Specific examples of the organic alkaline compound include tetramethylammonium hydroxide, 2-hydroxyethyltrimethylammonium hydroxide, monomethylamine, dimethylamine, trimethylamine, monoethylamine, diethylamine, triethylamine, monoisopropylamine, diisopropylamine, and ethanolamine. And the like. These inorganic and organic alkaline compounds can be used alone or in combination of two or more. The preferred concentration of the alkaline compound in the alkaline developer is in the range of 0.01 to 10% by mass, more preferably 0.03 to 5% by mass.

またアルカリ現像液中の界面活性剤は、ノニオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤またはカチオン系界面活性剤のいずれでもよい。
ノニオン系界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン/オキシプロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミンなどが挙げられる。
アニオン系界面活性剤の具体例としては、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウムやオレイルアルコール硫酸エステルナトリウムのような高級アルコール硫酸エステル塩類、ラウリル硫酸ナトリウムやラウリル硫酸アンモニウムのようなアルキル硫酸塩類、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムやドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウムのようなアルキルアリールスルホン酸塩類などが挙げられる。
カチオン系界面活性剤の具体例としては、ステアリルアミン塩酸塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロライドのようなアミン塩または第四級アンモニウム塩などが挙げられる。
これらの界面活性剤は、それぞれ単独で用いることも、また2種以上組み合わせて用いることもできる。
アルカリ現像液中の界面活性剤の濃度は、通常0.01〜10質量%の範囲、好ましくは0.05〜8質量%、より好ましくは0.1〜5質量%である。
The surfactant in the alkali developer may be any of a nonionic surfactant, an anionic surfactant and a cationic surfactant.
Specific examples of the nonionic surfactant include polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene aryl ether, polyoxyethylene alkyl aryl ether, other polyoxyethylene derivatives, oxyethylene / oxypropylene block copolymer, sorbitan fatty acid ester, polyoxyethylene Oxyethylene sorbitan fatty acid ester, polyoxyethylene sorbitol fatty acid ester, glycerin fatty acid ester, polyoxyethylene fatty acid ester, polyoxyethylene alkylamine and the like can be mentioned.
Specific examples of anionic surfactants include higher alcohol sulfates such as sodium lauryl alcohol sulfate and sodium oleyl alcohol sulfate, alkyl sulfates such as sodium lauryl sulfate and ammonium lauryl sulfate, sodium dodecylbenzene sulfonate, Alkyl aryl sulfonates such as sodium dodecylnaphthalene sulfonate, and the like.
Specific examples of the cationic surfactant include amine salts such as stearylamine hydrochloride and lauryltrimethylammonium chloride, and quaternary ammonium salts.
These surfactants can be used alone or in combination of two or more.
The concentration of the surfactant in the alkali developer is usually in the range of 0.01 to 10% by mass, preferably 0.05 to 8% by mass, and more preferably 0.1 to 5% by mass.

以上のような感光性樹脂液の塗布、乾燥、得られる乾燥塗膜へのパターニング露光、そして現像という各工程を経て、感光性樹脂組成物中の着色材料の色に相当する画素またはブラックマトリックスが得られ、さらにこれらの操作を、カラーフィルタに必要とされる色の数だけ繰り返すことにより、カラーフィルタが得られる。すなわち、カラーフィルタは通常、ブラックマトリックス並びに、赤、緑および青の三原色画素を基板上に配置したものであるが、ある色に相当する着色材料を含む本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて上記の操作を行うことにより、その色のブラックマトリックスまたは画素を得て、他の色についても所望の色に相当する着色材料を含む本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて同様の操作を行い、ブラックマトリックスおよび三原色画素を基板上に配置することができる。もちろん、ブラックマトリックスおよび三原色のうちいずれか一色、二色または三色にのみ、本発明の感光性樹脂組成物を適用することも可能である。なお、遮光層であるブラックマトリックスは、例えば、クロム層などで形成されることもあるので、この場合にはもちろん、ブラックマトリックスの形成に本発明の着色感光性樹脂組成物を用いる必要はない。   Through the steps of applying the photosensitive resin liquid as described above, drying, patterning exposure to the obtained dried coating film, and developing, a pixel or a black matrix corresponding to the color of the coloring material in the photosensitive resin composition is formed. The color filter is obtained by repeating these operations by the number of colors required for the color filter. That is, the color filter is usually a black matrix, and three primary color pixels of red, green and blue are arranged on the substrate, but using the colored photosensitive resin composition of the present invention containing a coloring material corresponding to a certain color. By performing the above operation, a black matrix or pixel of that color is obtained, and the same operation is performed using the colored photosensitive resin composition of the present invention containing a coloring material corresponding to a desired color also for other colors. To arrange the black matrix and the three primary color pixels on the substrate. Of course, the photosensitive resin composition of the present invention can be applied to only one, two, or three of the black matrix and the three primary colors. In addition, since the black matrix which is the light-shielding layer may be formed of, for example, a chromium layer, it is not necessary to use the colored photosensitive resin composition of the present invention for forming the black matrix in this case.

そして、本発明の感光液を用いて製造されたカラーフィルタは、面内の膜厚差が小さく、例えば1〜3μmの膜厚で、面内膜厚差を0.15μm以下、さらには0.05μm以下とすることができる。
さらに得られた画素上に、オーバーコートを介することなく、ITO膜を形成することができる。ITO膜は、例えば、非特許文献1に記載の条件を適宜検討することで、形成しうる。
したがって、こうして得られるカラーフィルタは、順テーパー形状の画素パターンを有し、これをカラー液晶表示装置に組み込むことにより、優れた品質の液晶パネルを高い歩留りで製造することができる。
The color filter produced using the photosensitive solution of the present invention has a small in-plane film thickness difference, for example, a film thickness of 1 to 3 μm, an in-plane film thickness difference of 0.15 μm or less, and more preferably 0.1 μm or less. It can be not more than 05 μm.
Further, an ITO film can be formed on the obtained pixels without an overcoat. The ITO film can be formed by appropriately examining the conditions described in Non-Patent Document 1, for example.
Accordingly, the color filter thus obtained has a forward tapered pixel pattern, and by incorporating this into a color liquid crystal display device, a liquid crystal panel of excellent quality can be manufactured with a high yield.

上記において、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味 および範囲内でのすべての変更を含むものである。以下、実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。例中、含有量ないし使用量を表す%および部は、特に断らないかぎり質量基準である。   Although the embodiments of the present invention have been described above, the embodiments of the present invention disclosed above are merely examples, and the scope of the present invention is not limited to these embodiments. The scope of the present invention is defined by the appended claims, and includes all modifications within the meaning and scope equivalent to the description of the claims. Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. In the examples, percentages and parts representing the content or the used amount are based on mass unless otherwise specified.

実施例1
表1に記載の各成分のうち、予め顔料および顔料分散剤の合計量が、顔料、顔料分散剤およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとの混合物に対して20質量%となるように混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させ、これにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの残量を含む残りの成分を加えて混合し、着色感光性樹脂組成物を得た。
Example 1
Among the components described in Table 1, the pigment and the pigment dispersant were previously mixed so that the total amount of the pigment and the pigment dispersant was 20% by mass with respect to the mixture of the pigment, the pigment dispersant, and propylene glycol monomethyl ether acetate. The pigment was sufficiently dispersed using the mixture, and the remaining components including the remaining amount of propylene glycol monomethyl ether acetate were added thereto and mixed to obtain a colored photosensitive resin composition.

Figure 2004163917
Figure 2004163917

2インチ角のコーニング社製#7059ガラス基板を、中性洗剤、水およびアルコールで順次洗浄してから乾燥した。このガラス基板上に、上で調製した感光性樹脂液(表1)をスピンコートし、次にクリーンオーブン中、100℃で3分間プリベークした。冷却後、このレジスト塗布基板と石英ガラス製フォトマスク(透過率を1〜100%の範囲で階段状に変化させるパターンと1ミクロンから50ミクロンまでのライン/スペースパターンを有する)との間隔を100μmとし、ウシオ電機(株)製の超高圧水銀ランプ(型番;USH−250D)を用いて大気雰囲気下、100mJ/cmの露光量で光照射した。その後、非イオン系界面活性剤0.12%と水酸化カリウム0.04%を含む水系現像液に上記塗膜を室温で所定時間浸漬して現像し、水洗後、220℃で30分間ポストベークを行って、画素を得た。得られた結果を表2に示す。得られた画素上にオーバーコートを介することなく、ITO膜を形成した。ITO膜の形成は、アネルバ(株)製の蒸着装置(型番;SPF−530H)を用い、スパッタ温度120℃、蒸着速度50nm/分で3分間ITOスパッタした後、常圧のクリーンオーブン中において230℃で40分間アニール処理してITO膜を形成した。走査型電子顕微鏡による画素断面観察で、ITO膜が断線していないことを確認した。 A 2-inch square # 7059 glass substrate manufactured by Corning Incorporated was washed sequentially with a neutral detergent, water and alcohol, and then dried. The photosensitive resin solution prepared above (Table 1) was spin-coated on this glass substrate, and then prebaked at 100 ° C. for 3 minutes in a clean oven. After cooling, the distance between this resist-coated substrate and a quartz glass photomask (having a pattern in which the transmittance changes stepwise in the range of 1 to 100% and a line / space pattern from 1 to 50 μm) is set to 100 μm. Then, light irradiation was performed using an ultrahigh pressure mercury lamp (model number: USH-250D) manufactured by Ushio Inc. at an exposure amount of 100 mJ / cm 2 in an air atmosphere. Thereafter, the coating film is immersed in a water-based developer containing 0.12% of a nonionic surfactant and 0.04% of potassium hydroxide at room temperature for a predetermined time to be developed, washed with water, and post-baked at 220 ° C. for 30 minutes. Was performed to obtain a pixel. Table 2 shows the obtained results. An ITO film was formed on the obtained pixel without an overcoat. The ITO film was formed by using a vapor deposition device (model number: SPF-530H) manufactured by Anelva Co., Ltd. at a sputtering temperature of 120 ° C. and a vapor deposition rate of 50 nm / min for 3 minutes, and then 230 in a clean oven at normal pressure. Annealing was performed at 40 ° C. for 40 minutes to form an ITO film. Observation of the cross section of the pixel with a scanning electron microscope confirmed that the ITO film was not disconnected.

実施例2
実施例1において、ジメチロール−トリシクロデカンジアクリレートを、ネオペンチルグリコールジアクリレート(分子量212)に変更する以外は、実施例1と同様の操作を行った。得られた結果を表2に示す。得られた画素上にオーバーコートを介することなく形成されたITO膜は、断線していなかった。
Example 2
The same operation as in Example 1 was performed, except that dimethylol-tricyclodecane diacrylate was changed to neopentyl glycol diacrylate (molecular weight: 212) in Example 1. Table 2 shows the obtained results. The ITO film formed on the obtained pixel without an overcoat was not disconnected.

実施例3
実施例1において、ジメチロール−トリシクロデカンジアクリレートを、ビスフェノールAのジグリシジルエーテル化物のアクリル酸変性化物(共栄社化学(株)製 エポキシエステル3000A;分子量484)に変更する以外は、実施例1と同様の操作を行った。得られた結果を表2に示す。得られた画素上にオーバーコートを介することなく、形成されたITO膜は、断線していなかった。
Example 3
Example 1 was the same as Example 1 except that dimethylol-tricyclodecane diacrylate was changed to an acrylic acid-modified product of diglycidyl etherified bisphenol A (Kyoeisha Chemical Co., Ltd. epoxy ester 3000A; molecular weight 484). A similar operation was performed. Table 2 shows the obtained results. The ITO film formed on the obtained pixel without any overcoat was not disconnected.

比較例1
実施例1において、ジメチロール−トリシクロデカンジアクリレートを、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(日本化薬(株)KAYARAD DPHA)に変更する以外は、実施例1と同様の操作を行った。得られた結果を表2に示す。得られた画素上にオーバーコートを介することなく、ITO膜を形成すると、走査型電子顕微鏡による画素断面観察で、逆テーパー部分にITO膜が成膜されておらず、ITO膜が断線していた。
Comparative Example 1
The same operation as in Example 1 was performed, except that dimethylol-tricyclodecane diacrylate was changed to dipentaerythritol hexaacrylate (KAYARAD DPHA). Table 2 shows the obtained results. When an ITO film was formed on the obtained pixel without overcoating, the ITO film was not formed in the reverse tapered portion and the ITO film was broken by observation of the cross section of the pixel with a scanning electron microscope. .

比較例2
実施例1において、ジメチロール−トリシクロデカンジアクリレートを、ペンタエリスリトールテトラアクリレートに変更する以外は、実施例1と同様の操作を行った。得られた結果を表2に示す。得られた画素上にオーバーコートを介することなく、ITO膜を形成すると、走査型電子顕微鏡による画素断面観察で、逆テーパー部分にITO膜が成膜されておらず、ITO膜が断線していた。
Comparative Example 2
In the same manner as in Example 1, except that dimethylol-tricyclodecane diacrylate was changed to pentaerythritol tetraacrylate. Table 2 shows the obtained results. When an ITO film was formed on the obtained pixel without overcoating, the ITO film was not formed in the reverse tapered portion and the ITO film was broken by observation of the cross section of the pixel with a scanning electron microscope. .

比較例3
実施例1において、ジメチロール−トリシクロデカンジアクリレートを、トリメチロールプロパントリアクリレートに変更する以外は、実施例1と同様の操作を行った。得られた結果を表2に示す。得られた画素上にオーバーコートを介することなく、ITO膜を形成すると、走査型電子顕微鏡による画素断面観察で、逆テーパー部分にITO膜が成膜されておらず、ITO膜が断線していた。
Comparative Example 3
In Example 1, the same operation as in Example 1 was performed except that dimethylol-tricyclodecane diacrylate was changed to trimethylolpropane triacrylate. Table 2 shows the obtained results. When an ITO film was formed on the obtained pixel without overcoating, the ITO film was not formed in the reverse tapered portion and the ITO film was broken by observation of the cross section of the pixel with a scanning electron microscope. .

実施例4
実施例1において、ジメチロール−トリシクロデカンジアクリレートを、ビスフェノールAのジビニルエーテル化物(日曹丸善ケミカル(株)製 BPA−DEVE;分子量368)に変更する以外は、実施例1と同様の操作を行った。得られた結果を表3に示す。得られた画素上にオーバーコートを介することなく、形成されたITO膜は、断線していなかった。
Example 4
In Example 1, the same operation as in Example 1 was performed except that dimethylol-tricyclodecane diacrylate was changed to divinyl etherified product of bisphenol A (BPA-DEV manufactured by Nisso Maruzen Chemical Co., Ltd .; molecular weight: 368). went. Table 3 shows the obtained results. The ITO film formed on the obtained pixel without any overcoat was not disconnected.

実施例5
実施例4において、ビスフェノールAのジビニルエーテル化物を、ハイドロキノンのジビニルエーテル化物(日曹丸善ケミカル(株)製 HQ−DEVE)に変更する以外は、実施例4と同様の操作を行った。得られた結果を表3に示す。得られた画素上にオーバーコートを介することなく、形成されたITO膜は、断線していなかった。
Example 5
In Example 4, the same operation as in Example 4 was performed, except that the divinyl ether compound of bisphenol A was changed to a divinyl ether compound of hydroquinone (HQ-DEV manufactured by Nisso Maruzen Chemical Co., Ltd.). Table 3 shows the obtained results. The ITO film formed on the obtained pixel without any overcoat was not disconnected.

実施例6
実施例4において、ビスフェノールAのジビニルエーテル化物を、1,4−ブタンジオールのジビニルエーテル化物(BASF社製 Butandiol-1,4-Divinyl ether)に変更する以外は、実施例4と同様の操作を行った。得られた結果を表3に示す。得られた画素上にオーバーコートを介することなく、形成されたITO膜は、断線していなかった。
Example 6
In Example 4, the same operation as in Example 4 was performed except that the divinyl etherified product of bisphenol A was changed to a divinyl etherified product of 1,4-butanediol (Butandiol-1,4-Divinyl ether manufactured by BASF). went. Table 3 shows the obtained results. The ITO film formed on the obtained pixel without any overcoat was not disconnected.

Figure 2004163917
Figure 2004163917

Figure 2004163917
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表中の注釈の説明
*1:現像しても表面荒れがないパターンを形成するために必要な最低必要露光量を示す。
*2:露光量30mJ/cmで露光し、現像およびポストベーク(220℃×20分)後の画素断面を走査型電子顕微鏡観察した。(逆テーパー形状でない形状;○、逆テーパー形状;×)
Explanation of annotations in the table
* 1: Indicates the minimum exposure required to form a pattern without surface roughness even when developed.
* 2: Exposure was performed at an exposure amount of 30 mJ / cm 2 , and the cross section of the pixel after development and post-baking (220 ° C. × 20 minutes) was observed with a scanning electron microscope. (Shape without reverse taper shape; ○, reverse taper shape; ×)

表2および得られた結果からから、本発明の光重合開始剤を含む実施例1〜3の着色感光性樹脂組成物では、高感度で、順テーパー形状のパターンが得られ、ポストベーク後の表面平滑性は良好であることがわかるが、本発明の同一分子内に2個の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリルモノマーを含まない比較例1〜4の着色感光性樹脂組成物では、感度は良好であるが、順テーパー形状が得られないことがわかる。
また、表3および得られた結果から、本発明の光重合開始剤を含む実施例4〜6の着色感光性樹脂組成物では、順テーパー形状のパターンが得られたことがわかる。
From Table 2 and the obtained results, in the colored photosensitive resin compositions of Examples 1 to 3 containing the photopolymerization initiator of the present invention, high sensitivity, a forward tapered pattern was obtained, and after the post-baking, Although it is understood that the surface smoothness is good, the colored photosensitive resin compositions of Comparative Examples 1 to 4 of the present invention which do not contain the (meth) acrylic monomer having two (meth) acrylic groups in the same molecule are not included. It can be seen that the sensitivity is good but a forward tapered shape cannot be obtained.
Table 3 and the obtained results show that the colored photosensitive resin compositions of Examples 4 to 6 containing the photopolymerization initiator of the present invention obtained a forward tapered pattern.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、カラー液晶表示装置や撮像素子などに使用される着色画像を形成するためのレジストに好適な着色感光性樹脂組成物である。
The colored photosensitive resin composition of the present invention is a colored photosensitive resin composition suitable for a resist for forming a colored image used in a color liquid crystal display device, an imaging device, and the like.

Claims (10)

バインダー樹脂(A)、
光重合性モノマー(B)、
光重合開始剤(C)、
着色材料(D)および
溶剤(E)を含有する着色感光性樹脂組成物において、
光重合性モノマー(B)が、同一分子内に2個の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリルモノマー(b11)および同一分子内に2個のビニルエーテル基を有するビニルエーテルモノマー(b12)からなる群から選ばれる少なくとも1種のモノマー(b10)および同一分子内に5個以上の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリルモノマー(b20)を含む
ことを特徴とする着色感光性樹脂組成物。
Binder resin (A),
Photopolymerizable monomer (B),
Photopolymerization initiator (C),
In a colored photosensitive resin composition containing a coloring material (D) and a solvent (E),
The photopolymerizable monomer (B) comprises a (meth) acrylic monomer (b11) having two (meth) acryl groups in the same molecule and a vinyl ether monomer (b12) having two vinyl ether groups in the same molecule. A colored photosensitive resin composition comprising at least one monomer (b10) selected from the group and a (meth) acrylic monomer (b20) having 5 or more (meth) acrylic groups in the same molecule.
同一分子内に2個の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリルモノマー(b11)および同一分子内に2個のビニルエーテル基を有するビニルエーテルモノマー(b12)からなる群から選ばれる少なくとも1種のモノマー(b10)ならびに同一分子内に5個以上の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリルモノマー(b20)の分子量またはポリスチレン換算重量平均分子量が、それぞれ1,000より小さい請求項1に記載の着色感光性樹脂組成物。   At least one monomer selected from the group consisting of a (meth) acrylic monomer (b11) having two (meth) acryl groups in the same molecule and a vinyl ether monomer (b12) having two vinyl ether groups in the same molecule 2. The coloring according to claim 1, wherein the molecular weight of the (b10) and the (meth) acrylic monomer (b20) having 5 or more (meth) acrylic groups in the same molecule is smaller than 1,000, respectively. Photosensitive resin composition. 同一分子内に2個の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリルモノマー(b11)および同一分子内に2個のビニルエーテル基を有するビニルエーテルモノマー(b12)からなる群から選ばれる少なくとも1種のモノマー(b10)と同一分子内に5個以上の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリルモノマー(b20)との合計を100質量部としたとき、同一分子内に2個の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリルモノマー(b11)および同一分子内に2個のビニルエーテル基を有するビニルエーテルモノマー(b12)からなる群から選ばれる少なくとも1種のモノマー(b10)の使用比率が10〜90質量部の範囲である請求項1または2に記載の着色感光性樹脂組成物。   At least one monomer selected from the group consisting of a (meth) acrylic monomer (b11) having two (meth) acryl groups in the same molecule and a vinyl ether monomer (b12) having two vinyl ether groups in the same molecule When the total of (b10) and (meth) acrylic monomer (b20) having 5 or more (meth) acrylic groups in the same molecule is 100 parts by mass, two (meth) acrylic groups in the same molecule The use ratio of at least one monomer (b10) selected from the group consisting of a (meth) acrylic monomer (b11) having the formula (I) and a vinyl ether monomer (b12) having two vinyl ether groups in the same molecule is 10 to 90 parts by mass. The colored photosensitive resin composition according to claim 1 or 2, wherein 光重合開始剤(C)が、トリアジン化合物、アセトフェノン化合物およびビイミダゾール化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種を含んでなることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物。   The colored photosensitive material according to any one of claims 1 to 3, wherein the photopolymerization initiator (C) comprises at least one selected from the group consisting of a triazine compound, an acetophenone compound, and a biimidazole compound. Resin composition. バインダー樹脂(A)が、不飽和カルボン酸から導かれる構成単位を含む重合体である請求項1〜4のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物。   The colored photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the binder resin (A) is a polymer containing a structural unit derived from an unsaturated carboxylic acid. バインダー樹脂(A)が、不飽和カルボン酸から導かれる構成単位と(メタ)アクリレート化合物から導かれる構成単位を含む共重合体である請求項1〜5のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物。   The colored photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 5, wherein the binder resin (A) is a copolymer containing a structural unit derived from an unsaturated carboxylic acid and a structural unit derived from a (meth) acrylate compound. object. さらに、光重合開始助剤(C−1)を含有する請求項1〜6のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物。   The colored photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 6, further comprising a photopolymerization initiation aid (C-1). 請求項1〜7の着色感光性樹脂組成物を、基板または先に形成された着色感光性樹脂組成物の固形分からなる層の上に塗布し、塗布された着色感光性樹脂組成物層から揮発成分を除去し、フォトマスクを介して前記の層を露光し、現像するパターンの形成方法。   The colored photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 7, which is applied on a substrate or a layer formed of the solid content of the previously formed colored photosensitive resin composition, and volatilized from the applied colored photosensitive resin composition layer. A method for forming a pattern in which components are removed, the layer is exposed through a photomask, and developed. 請求項8に記載の方法で形成されたパターンを含むカラーフィルタ。   A color filter comprising a pattern formed by the method according to claim 8. 請求項9に記載のカラーフィルタを使用した液晶表示装置。
A liquid crystal display device using the color filter according to claim 9.
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