JP2004162174A - 軟磁性材料の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 軟磁性粉末の表面に酸化膜を形成する表面酸化工程と、軟磁性粉末とバインダーとを所定の配合比で混合して軟磁性粉末の成形材料を作製する工程と、軟磁性粉末の成形材料を所定形状にプレス成形するプレス成形工程と、軟磁性粉末のプレス成形物を焼結して軟磁性材料を製造する焼結工程とを実行する。この際、表面酸化工程と焼結工程において、加熱手段としてミリ波焼結装置(又は放電プラズマ焼結装置)を用いる。これにより、ミリ波(又は放電プラズマ)のエネルギが軟磁性粉末の電気抵抗値の大きい表面酸化部分に局所的に作用して、軟磁性粉末の表面が局所的に融点温度近傍に加熱され、軟磁性粉末の表面酸化(酸化膜の形成)や焼結(酸化膜どうしの拡散接合)が促進される。
【選択図】 図1
Description
[粉砕工程]
軟磁性粉末の製造原料としては、Fe−Al合金、Fe−Al−Si合金、Fe−Si合金、Feのいずれかを主成分とする金属を用いる。Fe−Al合金は、例えば、Fe:92.5〜97.5%、Al:2.5〜7.5%の組成比のものを用いれば良く、Fe−Al−Si合金は、例えばFe:90〜97%、Al:3.5〜6.5%、Si:0.1〜5%の組成比のものを用いれば良い。一般に、AlやSiの組成比は、次の3つの要因を考慮して決定すれば良い。
(2) 金属間化合物を形成しない固溶限界内とする。
(3) 酸化膜の膜厚は、目標電気抵抗値を確保できる膜厚以上とする。
尚、Fe−Al合金、Fe−Al−Si合金、Fe−Si合金、Feのうちの2種以上を混合するようにしても良い。
粉砕装置で粉砕した軟磁性粉末の表面には、Cu2 OやOH基等が付着して不活性になっているため、粉砕工程終了後に、表面活性化工程に進む。この表面活性化工程では、還元性雰囲気中にて、軟磁性粉末を800℃前後に加熱して、粉末表面に付着したCu2 OやOH基等を還元して軟磁性粉末の表面を活性化すると共に、軟磁性粉末を焼鈍(アニール)して軟磁性粉末を軟化させる。これにより、後述するプレス成形工程で、軟磁性粉末間の空隙を押し潰すように軟磁性粉末が変形しやすくなり、軟磁性材料中の磁性材の密度を高密度化することができる。
表面活性化工程終了後に、表面酸化工程に進む。この表面酸化工程では、加熱手段としてミリ波焼結装置を用いて、酸化性雰囲気中(例えばO2 雰囲気中)で軟磁性粉末の表面を局所的に約800℃程度に加熱して、軟磁性粉末の表面に酸化膜を形成する。
表面酸化工程終了後に、成形材料作製工程に進む。この成形材料作製工程では、軟磁性粉末にバインダーと溶剤との溶解液を配合して十分に混練し、軟磁性粉末の成形材料を作製する。バインダーとしては、高密度化のために、粘着性とスリップ性の高い樟脳を用いると良い。溶剤としては、アセトン等の有機溶剤を用いれば良い。
[プレス成形工程]
成形材料作製工程終了後に、プレス成形工程に進む。このプレス成形工程では、成形型内に軟磁性粉末の成形材料を注入し、これを所定形状にプレス成形する。プレス圧力は、例えば980Pa(10ton/cm2 )とすれば良い。
プレス成形工程終了後に、脱バインダー工程に進み、軟磁性粉末のプレス成形物を電気炉等で50〜100℃程度に加熱して、プレス成形物中のバインダーと溶剤を気化(蒸発)させて取り除く。
[焼結工程]
脱バインダー工程終了後に、焼結工程に進む。この焼結工程では、表面酸化工程と同じく、加熱手段としてミリ波焼結装置を用いる。この焼結工程では、還元性雰囲気中(例えばN2 雰囲気中)にて、軟磁性粉末のプレス成形物を軟磁性粉末の表面の酸化膜周辺部が融点温度近傍である1200〜1300℃程度に温度上昇させるように加熱する。この焼結工程中は、ミリ波焼結装置から放射されるミリ波のエネルギが電気抵抗値の大きい軟磁性粉末表面の酸化膜周辺部に局所的に作用することで、軟磁性粉末の内部温度をさほど上昇させることなく、軟磁性粉末表面の酸化膜周辺部のみが局所的に融点温度近傍(詳細には融点温度以下の温度)に効率良く加熱され、それによって、軟磁性粉末間の酸化膜どうしが拡散接合して、軟磁性材料の焼結物として一体化される。
ここで、σy は降伏応力、σo は最小降伏応力、kは定数、dは軟磁性粉末の粒径である。
Claims (8)
- 軟磁性粉末の表面に酸化膜を形成する表面酸化工程と、
前記軟磁性粉末をプレス成形するための軟磁性粉末の成形材料を作製する工程と、
前記軟磁性粉末の成形材料を所定形状にプレス成形するプレス成形工程と、
前記軟磁性粉末のプレス成形物をミリ波焼結装置又は放電プラズマ焼結装置を用いて酸化膜周辺部を融点温度近傍に温度上昇させて焼結して軟磁性材料を製造する焼結工程と
を有することを特徴とする軟磁性材料の製造方法。 - 軟磁性粉末の表面に酸化膜を形成する表面酸化工程と、
前記軟磁性粉末をプレス成形するための軟磁性粉末の成形材料を作製する工程と、
前記軟磁性粉末の成形材料を所定形状にプレス成形しながら該プレス成形物をミリ波焼結装置又は放電プラズマ焼結装置を用いて酸化膜周辺部を融点温度近傍に温度上昇させて焼結して軟磁性材料を製造するプレス成形・焼結工程と
を有することを特徴とする軟磁性材料の製造方法。 - 前記表面酸化工程において、ミリ波焼結装置又は放電プラズマ焼結装置を用いて酸化性雰囲気中で前記軟磁性粉末の表面を加熱することで、前記軟磁性粉末の表面に前記酸化膜を形成することを特徴とする請求項1又は2に記載の軟磁性材料の製造方法。
- 前記軟磁性粉末は、平均粒径が0.01〜10μmであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の軟磁性材料の製造方法。
- 前記軟磁性粉末は、Fe−Al合金、Fe−Al−Si合金、Fe−Si合金、Feのいずれかを主成分とすることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の軟磁性材料の製造方法。
- 前記軟磁性粉末を製造する工程で、前記軟磁性粉末の製造原料にCu系粉末を添加して粉砕装置で粉砕することを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の軟磁性材料の製造方法。
- 前記表面酸化工程の前に、還元性雰囲気中で前記軟磁性粉末を加熱して該軟磁性粉末の表面を活性化することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の軟磁性材料の製造方法。
- 軟磁性粉末の表面に酸化膜を形成する表面酸化工程と、
前記軟磁性粉末をプレス成形するための軟磁性粉末の成形材料を作製する工程と、
前記軟磁性粉末の成形材料を所定形状にプレス成形するプレス成形工程と、
前記軟磁性粉末のプレス成形物を焼結して軟磁性材料を製造する焼結工程とを有する軟磁性材料の製造方法において、
前記表面酸化工程において、ミリ波焼結装置又は放電プラズマ焼結装置を用いて酸化性雰囲気中で前記軟磁性粉末の表面を加熱することで、前記軟磁性粉末の表面に前記酸化膜を形成することを特徴とする軟磁性材料の製造方法。
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