JP2004153110A - 窒化物系光学素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上に積層されたn型及びp型窒化物半導体層と、p型窒化物半導体層上に概ね全面に拡がる正電極と、p型窒化物半導体層を除去して露出させたn型窒化物半導体層上に形成された負電極と、を有するフリップチップ型の窒化物半導体光学素子である。正電極及び負電極の少なくとも一方を2層以上の金属層で構成し、窒化物半導体層に接する第1の金属層及び金属バンプに接する第2の金属層に、金属バンプを構成する金属より延性の大きい金属を用いる。
【選択図】図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、発光ダイオード、レーザダイオード等の発光素子や、光センサ、太陽電池等の受光素子に使用される窒化物半導体を用いた光学素子に関し、さらに詳しくは、フリップチップ型の窒化物半導体光学素子に関する。
【0002】
【従来の技術】
現在、青色発光等の短波長発光が可能な窒化物半導体を用いた光学素子が注目され、高輝度な青色LEDや青緑色LEDがディスプレイ、信号灯等に実用化されている。窒化物半導体光学素子を実装基板に実装するには、例えば、光学素子の半導体層を下側にし、光学素子の正電極及び負電極を実装基板上の配線用電極に対向させて接続するフリップチップ型実装方法が用いられている。
【0003】
フリップチップ型実装方法に用いる光学素子は、基板上に形成されたn型窒化物半導体層及びp型窒化物半導体層と、そのn型窒化物半導体層及びp型窒化物半導体層にそれぞれ接続され基板上の同一平面側に形成された正極及び負極と、を有しており、実装基板への実装は、p型窒化物半導体層及びn型窒化物半導体層を下側にし、正電極及び負電極を実装基板上の配線用電極に対向させ、金属バンプを介して配線用電極に押圧接触させて接続することにより行うことができる。
【0004】
ここで、金属バンプを形成するには、金属ワイヤの先端部を溶融させてボール状とし、そのボールを正電極及び負電極に圧着する方法や、金属バンプとの密着性を確保するため厚膜の正電極を用いる方法や、薄膜の正電極の上に厚膜のパッド電極を設ける方法が考えられる。
【0005】
【特許文献1】
特開2000−183400号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記の金属ワイヤの先端部を溶融させてボールにする方法は、ボールを電極毎に圧着させる必要があり、また電極の位置決めに時間を要するため、金属バンプの作製に長時間を要するという問題がある。一方、同時に多数の金属バンプを形成することができる方法として、電解メッキ法がある。しかし、電解メッキ法ではメッキ電流を流すための通電用電極を設ける必要があり、絶縁性基板を用いている光学素子に適用するのは困難である。
【0007】
また、金属バンプとの密着性を向上させるために厚膜の正電極を用いると、正電極のシート抵抗が低下し、発光強度の分布が均一でなくなるという問題も生じる。この原因としては、n型窒化物半導体層のシート抵抗が正電極のシート抵抗に比べ大きいことが理由として考えられる。すなわち、正電極のシート抵抗を小さくしても、n型半導体層のシート抵抗がそれに比べて大きければ、電流は抵抗の小さい負電極の周辺を流れ易くなり、負電極の周辺で明るく、そこから離れるにつれて暗くなると考えられる。また、パッド電極を設ける場合においても、パッド電極をボンディングを容易にするため厚膜にする必要があり、同様な問題が考えられる。
【0008】
そこで、本発明は、上記課題を解決し、均一な発光特性を維持しながら金属バンプと、電極及び窒化物半導体層との密着性を向上させるとともに、金属バンプを効率良く作製することにより、生産性及び発光特性に優れた窒化物半導体光学素子及びその製造方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本出願人は、低コストでの生産が可能であり、かつ高い生産性を期待できる無電解メッキ法を用いて金属バンプを作製することを鋭意検討し、その結果、無電解メッキで形成した金属バンプとの密着性に優れた窒化物半導体光学素子を見出し、本発明を完成させたものである。
すなわち、本発明の窒化物半導体光学素子は、基板上に積層されたn型窒化物半導体層及びp型窒化物半導体層と、該n型及びp型窒化物半導体層のそれぞれに接続され同一面側に形成されてなる正電極及び負電極とを有し、該正電極及び負電極を金属バンプを介して実装基板に接続するフリップチップ型の窒化物半導体光学素子であって、上記正電極及び負電極の少なくとも一方が2層以上の金属層からなり、該2層以上の金属層は、窒化物半導体層に接する第1の金属層と、金属バンプに接する第2の金属層とからなり、該第1及び第2の金属層が金属バンプを構成する金属より延性の大きい金属から成ることを特徴とする。
【0010】
本発明によれば、金属バンプを作製するに際し、少なくとも正電極のp型窒化物半導体層に接する第1の金属層及び金属バンプに接する第2の金属層を、金属バンプを構成する金属より延性の大きい金属で構成することにより、金属バンプの応力が緩和され、金属バンプが正電極から、又は金属バンプに接合した正電極がp型窒化物半導体層から剥離するのを防止し、密着性を高めることができる。これにより、正電極を厚くする必要がないので、正電極のシート抵抗とn型窒化物半導体層のシート抵抗との差が大きくならず、発光強度の均一性を維持することが可能となる。ここで、延性が大きい金属とは破断までに生じた塑性変形が大きい金属をいい、例えば、JIS Z 2241で規定する破断伸びが、金属バンプを構成する金属よりも大きい金属をいう。
【0011】
本発明においては、金属バンプを構成する金属に、Ni又はCuを用いることができる。その場合、第1の金属層は少なくとも、Rh、Pd、及びPtから選択されるいずれか1種の金属を有することが好ましい。また、第2の金属層は少なくとも、Au、Ag、Cu、Rh、Pd、及びPtから選択されるいずれか1種の金属を有することが好ましい。
【0012】
また、本発明の窒化物半導体光学素子は、負電極を2層以上の金属層で構成し、金属バンプに接する第2の金属層は少なくとも、Au、Ag、Al、Cu、Rh、Pd、及びPtから選択されるいずれか1種の金属を有することが好ましい。
【0013】
また、金属バンプには、無電解メッキで形成したメッキバンプを用いることができる。
【0014】
本発明の窒化物半導体光学素子は、例えば、以下の方法により作製することができる。すなわち、本発明の窒化物半導体光学素子の製造方法は、基板上に積層されたn型窒化物半導体層及びp型窒化物半導体層と、該n型及びp型窒化物半導体層のそれぞれに接続され同一面側に形成されてなる正電極及び負電極とを有し、該正電極及び負電極を金属バンプを介して実装基板に接続するフリップチップ型の窒化物半導体光学素子の製造方法であって、上記正電極及び負電極の少なくとも一方を2層以上の金属層で形成し、ここで少なくとも電極の窒化物半導体層に接する第1の金属層と金属バンプに接する第2の金属層とを金属バンプより延性の大きい金属で形成し、該第2の金属層に接して無電解メッキにより金属バンプを形成することを特徴とする。
【0015】
また、電極を形成した後、非酸化雰囲気で400℃以上の温度でアニールすることが好ましい。ここで、非酸化雰囲気とは実質的に酸素を含まない雰囲気をいう。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係る窒化物半導体光学素子(以下、光学素子と略す。)の構造の一例を示す模式断面図である。図1の光学素子1は、基板2の上に順次形成されたn型窒化物半導体層3とp型窒化物半導体層4と、一端が露出したn型窒化物半導体層3の上面に形成された負電極6と、p型窒化物半導体層4の上面のほぼ全面に形成され、その上面の一部にボンディング面を有する正電極5と、絶縁性保護膜7とからなっている。絶縁性保護膜7は、ボンディング面以外の正電極5の上面と、ボンディング面以外の負電極6の上面と、n型窒化物半導体層3の周囲に露出した基板2の上面とに渡って連続して形成され、正電極5と負電極6とを分離絶縁している。さらに、正電極5と負電極6のぞれぞれのボンディング面には、無電解メッキによりメッキバンプ8,9が形成されている。また、正電極5は、メッキバンプに接する第2の金属層である最上層の金属層5aと、p型窒化物半導体層4に接する第1の金属層である最下層の金属層5cと、最上層と最下層の金属層の間の第3の金属層である中間層5bと、から構成されている。また、負電極6は、メッキバンプに接する第2の金属層である最上層の金属層6aと、n型窒化物半導体層3に接する第1の金属層である最下層の金属6cと、から構成されている。
【0017】
メッキバンプを構成する金属には、無電解メッキが可能で導電性の高いNi又はCuを用いることできる。無電解メッキによれば、Niは析出速度が大きく短時間でメッキバンプを形成することができ、また低コストであるので好ましい。メッキバンプの厚さは、1〜150μm、より好ましくは1〜50μmである。また、メッキバンプを無電解Niメッキ上に無電解Auメッキを設けた2層構造にすることもできる。例えば、無電解Niを1〜150μmの高さに形成し、その無電解Niメッキ上に無電解Auメッキを5000Å以下の高さで形成すると、配線基板とのボンディング性が良好となり好ましい。
【0018】
メッキバンプは、例えば、以下の方法により形成することができる。すなわち、絶縁性保護膜を用いて正電極と負電極を分離絶縁した後、光学素子の全面にレジスト層を形成する。次に、正電極及び負電極のボンディング面を露出させるように所定のマスクを用いてレジスト層を露光し、ボンディング面上のレジスト層を除去することにより、ボンディング面を露出させる。次に、光学素子が形成されているウェハを酸溶液を用いて洗浄後、所定のメッキ金属を含む所定温度の無電解メッキ浴の中に、ウェハを所定時間浸漬してボンディング面上にメッキバンプを成長させる。メッキバンプの厚さは、浸漬時間、メッキ浴のpHや温度、そして浸漬回数等を変化させることにより調整することができる。ここで、メッキ浴には公知のメッキ浴を使用することができ、例えば、Niメッキには、Ni−P系やNi−B系を用いることができるが、析出速度が速く、高い硬度が得られ低コストであるNi−P系のメッキ浴が好ましい。
【0019】
なお、正電極及び負電極を形成した後、無電解メッキを行う前、非酸化雰囲気、好ましくは窒ガス又はアルゴンガスの存在下、400℃以上、好ましくは、400℃以上600℃以下で光学素子をアニール処理することが好ましい。最上層の金属の酸化を防ぐことができ、メッキバンプとの密着性を向上させることができるからである。
【0020】
正電極を構成する金属は、上記のメッキバンプを構成する金属よりも延性の大きい金属を用いる必要がある。最下層の金属層を構成する金属には少なくとも、Rh、Pd及びPtから選択されるいずれか1種の金属を用いることが好ましい。いずれも、p型窒化物半導体層とのオーミック接触が可能であり、さらに、発光層から光に対する反射率が高いからである。特にRhはp型窒化物半導体層との密着性が良好であり好ましい。最下層の金属層の厚さは、200〜1000Å、より好ましくは200〜800Åである。200Åより小さいと密着性が不十分であり、1000Åより大きいとn型窒化物半導体層のシート抵抗よりも小さくなるからである。
【0021】
また、正電極の最上層の金属層を構成する金属には少なくとも、Au、Ag、Cu、Rh、Pd及びPtから選択されるいずれか1種の金属を用いることが好ましい。最上層の厚さは、50〜3000Å、より好ましくは100〜1000Åである。特に、メッキバンプにNiを用いる場合には、Pdを用いることが好ましい。Pd層がシード層となり、無電解Niメッキを行う場合に、活性化処理が不要となるからである。
【0022】
また、正電極の中間層は、最上層及び最下層の金属層のそれぞれとの間に良好な密着性を確保して、メッキバンプと正電極及びp型窒化物半導体層との間の密着性を確保する働きを有する。中間層の金属層を構成する金属には少なくとも、Pt、Au、Ir及びPdから選択される少なくとも1種の金属を用いることができるが、Irが好ましい。また、中間層の厚さは、200〜1000Å、より好ましくは200〜500Åである。なお、最上層と最下層との組合せによっては、中間層は省略することもできる。
【0023】
ここで、正電極の最下層を構成する金属の延性が最上層を構成する金属の延性よりも大きいことが好ましい。p型窒化物半導体層との密着性を一層高めることができるからである。例えば、メッキバンプを構成する金属にNiを用いた場合、最上層/中間層/最下層が、Pd/Ir/Rh、Pd/Rh、Pt/Ir/Rh、Au/Ir/Rh、Pt/Rh/Au/Rhの組合せを挙げることができる。特に、Pd/Ir/Rhの組合せが好ましい。
【0024】
また、正電極を構成する金属層の総膜厚は、200〜5000Å、より好ましくは、200〜1000Åである。5000Åよりも大きいとシート抵抗が小さくなりn型窒化物半導体層のシート抵抗との差が大きくなりすぎるからである。また、200Åよりも小さいとメッキバンプとの密着性が不十分になるからである。
【0025】
負電極も2層以上の金属層で構成することができる。n型窒化物半導体層に接する最下層の金属層を構成する金属は、n型窒化物半導体とオーミック接触が可能であれば特に限定されない。好ましくは、少なくとも、Pt、Ti、Al、Ni、Au、W及びVから選択されるいずれか1種の金属を用いることができる。最下層の金属層の厚さは、50〜500Å、より好ましくは100〜200Åである。
【0026】
また、負電極の最上層の金属層を構成する金属には少なくとも、Au、Ag、Al、Cu、Rh、Pd及びPtから選択されるいずれか1種の金属を用いることができる。最上層の厚さは、50〜3000Å、より好ましくは100〜1000Åである。また、上述のように、メッキバンプにNiを用いる場合には、Pdを用いることが好ましい。Pd層がシード層となり、無電解Niメッキを行う場合に、活性化処理が不要となるからである。
【0027】
【実施例】
実施例1.
(光学素子の作製)
サファイアから成る絶縁性基板1上に、n型窒化物半導体層2、p型窒化物半導体層3、発光層をMOVPE法により形成した。アニーリング後、ウェハを反応容器から取出し、最上層のp型窒化物半導体層の表面にSiO2から成る絶縁膜を形成した後、その絶縁膜の表面に所定形状のレジスト膜を形成した。次に、RIE(反応性イオンエッチング)装置でp型窒化物半導体層側からエッチングを行い、負電極を形成するn型窒化物半導体層の表面を露出させた。次に、絶縁膜を酸により剥離させた後、p型窒化物半導体層の表面のほぼ全面に、Rh、Ir、Pdをこの順で、膜厚400Å/200Å/1000Åで積層して正電極を形成した。一方、エッチングにより露出させたn型窒化物半導体層の表面には、W、Alをこの順で、膜厚200Å/3500Åで積層して負電極を形成した。正電極及び負電極を形成後、400℃、窒素ガス雰囲気下で光学素子を加熱処理した。
【0028】
次に、パターニングにより正電極と負電極のボンディング面のみを露出させた後、ボンディング面以外の素子全体を覆うようにSiO2から成る絶縁性保護膜を形成した。
【0029】
(メッキバンプ形成)
次に、ニッケルイオンと、還元剤に次亜リン酸ナトリウムを含むメッキ液にウェハを浸漬し、ニッケルを析出させて厚さ50μmのメッキバンプを正電極及び負電極のボンディング面に形成した。
【0030】
(密着性の評価)
メッキバンプと、正電極及びp型窒化物半導体層との密着性は、引張り試験機を用いた剥離試験を行い、メッキバンプが正電極又はp型窒化物半導体層から剥離した時のせん断力を測定することにより評価した。
【0031】
(発光特性の評価)
FFP測定を行い、光学素子の発光分布を評価した。
【0032】
比較例
正電極にNi/Pt(膜厚100Å/500Å)を用い、パッド電極としてPt(膜厚7000Å)を正電極上に積層し、負電極にW/Al(膜厚200Å/2000Å)を用いた以外は、実施例1と同様の方法により窒化物半導体光学素子を作製した。
【0033】
(結果)
剥離試験の結果、せん断力は比較例の50gfに対し、実施例1では420gfと大きく増加し、密着性が大きく向上した。
また、比較例に比べ、実施例1では発光強度の分布がより均一になった。
【0034】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の窒化物半導体光学素子は、正電極及び負電極の少なくとも一方を2層以上の金属層で構成し、少なくとも正電極のp型窒化物半導体層に接する最下層の金属層及び金属バンプに接する最上層の金属層に、金属バンプを構成する金属より延性の大きい金属を用いるようにしたので、最上層及び最下層の金属層が金属バンプの応力を緩和させて、金属バンプと正電極及びp型窒化物半導体層との密着性を向上させることができる。また、厚膜の正電極を用いる必要がなく、またパッド電極を用いる必要もないので、正電極のシート抵抗とn型窒化物半導体層のシート抵抗との差が大きくならず、発光強度の均一性を維持することが可能となる。これにより、生産性及び発光特性に優れたフリップチップ型の窒化物半導体光学素子を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る窒化物半導体光学素子の構造を示す模式断面図である。
【符号の説明】
1 光学素子、2 基板、 3 n型窒化物半導体層、4 p型窒化物半導体層、5 正電極、5a 最上層、5b 中間層、5c 最下層、6 負電極、6a 最上層、6c 最下層、7 絶縁性保護膜、8,9 メッキバンプ。
Claims (8)
- 基板上に積層されたn型窒化物半導体層及びp型窒化物半導体層と、該n型及びp型窒化物半導体層のそれぞれに接続され同一面側に形成されてなる正電極及び負電極とを有し、該正電極及び負電極を金属バンプを介して実装基板に接続するフリップチップ型の窒化物半導体光学素子であって、
上記正電極及び負電極の少なくとも一方が2層以上の金属層からなり、該2層以上の金属層は、窒化物半導体層に接する第1の金属層と、金属バンプに接する第2の金属層とを有し、該第1及び第2の金属層が金属バンプを構成する金属より延性の大きい金属から成る窒化物半導体光学素子。 - 上記金属バンプを構成する金属は、Ni又はCuである請求項1記載の窒化物半導体光学素子。
- 上記正電極の第1の金属層は少なくとも、Rh、Pd及びPtから選択されるいずれか1種の金属を有する請求項2記載の窒化物半導体光学素子。
- 上記正電極の第2の金属層は少なくとも、Au、Ag、Cu、Rh、Pd及びPtから選択されるいずれか1種の金属を有する請求項2又は請求項3に記載の窒化物半導体光学素子。
- 上記負電極の第2の金属層は少なくとも、Au、Ag、Al、Cu、Rh、Pd及びPtから選択されるいずれか1種の金属を有する請求項2から請求項4のいずれか一つに記載の窒化物半導体光学素子。
- 上記金属バンプは、無電解メッキにより形成されてなるメッキバンプである請求項1から請求項5のいずれか一つに記載の窒化物半導体発光素子。
- 基板上に積層されたn型窒化物半導体層及びp型窒化物半導体層と、該n型及びp型窒化物半導体層のそれぞれに接続され同一面側に形成されてなる正電極及び負電極とを有し、該正電極及び負電極を金属バンプを介して実装基板に接続するフリップチップ型の窒化物半導体光学素子の製造方法であって、
上記正電極及び負電極の少なくとも一方を2層以上の金属層で形成し、ここで少なくとも電極の窒化物半導体層に接する第1の金属層と金属バンプに接する第2の金属層とを金属バンプより延性の大きい金属で形成し、該第2の金属層に接して無電解メッキにより金属バンプを形成する窒化物半導体光学素子の製造方法。 - 上記の2層以上の金属層で形成した正電極を、非酸化雰囲気下、400℃以上の温度でアニールする請求項7記載の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP2002318015A JP4341228B2 (ja) | 2002-10-31 | 2002-10-31 | 窒化物系光学素子及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004153110A true JP2004153110A (ja) | 2004-05-27 |
JP4341228B2 JP4341228B2 (ja) | 2009-10-07 |
Family
ID=32461261
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
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---|---|
JP (1) | JP4341228B2 (ja) |
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JP4341228B2 (ja) | 2009-10-07 |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120717 Year of fee payment: 3 |
|
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120717 Year of fee payment: 3 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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