JP2004132179A - ポンプの過速度検出装置 - Google Patents

ポンプの過速度検出装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2004132179A
JP2004132179A JP2002294364A JP2002294364A JP2004132179A JP 2004132179 A JP2004132179 A JP 2004132179A JP 2002294364 A JP2002294364 A JP 2002294364A JP 2002294364 A JP2002294364 A JP 2002294364A JP 2004132179 A JP2004132179 A JP 2004132179A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pump
overspeed
setting
controller
rotation speed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2002294364A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4263893B2 (ja
Inventor
Masashi Iguchi
Tatsuo Nakayasu
Tetsuo Obayashi
Yukiro Yamato
中安 龍夫
井口 昌司
大和 幸郎
大林 哲郎
Original Assignee
Osaka Vacuum Ltd
株式会社大阪真空機器製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Osaka Vacuum Ltd, 株式会社大阪真空機器製作所 filed Critical Osaka Vacuum Ltd
Priority to JP2002294364A priority Critical patent/JP4263893B2/ja
Publication of JP2004132179A publication Critical patent/JP2004132179A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4263893B2 publication Critical patent/JP4263893B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00Axial-flow pumps
    • F04D19/02Multi-stage pumps
    • F04D19/04Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042Turbomolecular vacuum pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D27/00Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or systems
    • F04D27/001Testing thereof; Determination or simulation of flow characteristics; Stall or surge detection, e.g. condition monitoring
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D27/00Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or systems
    • F04D27/02Surge control
    • F04D27/0261Surge control by varying driving speed
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D27/00Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or systems
    • F04D27/02Surge control
    • F04D27/0292Stop safety or alarm devices, e.g. stop-and-go control; Disposition of check-valves
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02BCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
    • Y02B30/00Energy efficient heating, ventilation or air conditioning [HVAC]
    • Y02B30/70Efficient control or regulation technologies, e.g. for control of refrigerant flow, motor or heating

Abstract

【課題】ポンプの機種に応じた過速度設定を作業ミスなく正しく設定することができるポンプの過速度検出装置を提供する。
【解決手段】コントローラ部1とポンプ本体2からなるポンプにおいて、該ポンプ本体2内にロータを駆動するモータ部3とポンプ機種を識別するための識別素子4を設けると共に、前記コントローラ部1に複数の定格回転速度に応じた過速度設定検出器6を備え、該過速度設定検出器6の中の1つを切換回路7によって選択し、これから運転を開始する前記ポンプの最高回転速度を設定すると共に前記識別素子4を検知して識別したポンプ機種の定格回転速度と前記設定した最高回転速度とを判別し、設定が正しいと判別したときモータ部3を駆動可能とする判別回路5を具備した。
【選択図】    図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体製造装置等において使用されるターボ分子ポンプその他のポンプの過速度検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のターボ分子ポンプとしてポンプ部と、該ポンプ部に接続し該ポンプの回転速度等を制御するコントロール部からなり、該コントロール部により前記ポンプが定格回転速度より大の過速度とならないように制御しているものが知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
この従来のターボ分子ポンプによれば、出荷前に前記ポンプ部に応じて作業員が前記コントロール部の過速度設定を行った後に、該ポンプに該コントロール部を接続して現場で運転を開始しているが、作業ミスにより前記ポンプの機種に対応した過速度設定が前記コントロール部に行われていないと、ポンプが定格回転数に達する以前に過速度エラーで停止したり、又は過速度設定値が定格回転速度よりはるかに大であると、ポンプが異常高速回転の運転状態になってトラブルの危険性がある問題点があった。
【0004】
本発明はこれらの問題点を解消し、ポンプの機種を識別でき、ポンプの機種に応じた過速度の設定を行って、異常高速回転状態を生じない安全なポンプの過速度検出装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の目的を達成すべくポンプに、該ポンプのコントローラを具備するものにおいて、該ポンプに、該ポンプの機種に応じた識別素子を設けると共に、前記コントローラは、異なる複数の定格回転速度に応じた過速度設定検出器と、これら過速度設定検出器のいずれかの過速度設定検出器を選択的に切換える切換回路と、選択した過速度設定検出器が前記識別素子からの信号から識別するポンプの機種の定格回転速度に応じた最高回転速度を設定したものか否から判別する判別回路とを具備することを特徴とする。
【0006】
【発明の実施の形態】
本発明の1実施の形態を図1により説明する。
【0007】
1は本発明の1実施の形態であるポンプの過速度検出装置のコントローラ部、2は分子ポンプのポンプ本体を示し、該ポンプ本体2内には、ポンプのロータを駆動するブラシレスモータなどのモータ部3が設けられ、更にポンプの機種を識別するための所定抵抗値の抵抗素子などにより形成された識別素子4を具備している。
【0008】
前記コントローラ部1は、判別回路5と、該判別回路5に切換回路7を介在して接続し、それぞれ固有の過速度の値が設定されている複数の過速度設定検出器6と、同じく該判別回路5に接続し、正しい設定の時に前記モータ部3を駆動制御するモータ駆動制御回路部8と、前記判別回路5に接続し不適切な設定の時にエラーなどの表示を行う表示部9と、前記判別回路5に接続し運転操作をするための操作部10とからなり、更に該判別回路5には前記識別素子4が接続している。
【0009】
尚、ここで過速度とはポンプの定格回転速度をやや超える速度とする。
【0010】
次に本発明の1実施の形態のポンプの過速度検出装置の作動を図1により説明する。
【0011】
分子ポンプなどのポンプを運転開始するには、先ず、コントローラ部1内の複数の過速度設定検出器6の中の1つをスライドスイッチなどのスイッチによって形成された外部より切換可能な切換回路7によって予め選択し、選択された過速度設定検出器6により該ポンプの最高回転速度即ち許容される過速度を設定されたことになる。
【0012】
次に、該コントローラ部1とポンプ本体2を点線で図示したケーブル1aにより接続して準備が終了する。
【0013】
そして、操作部10の運転ボタンを押すと、判別回路5は、ポンプ本体2内の識別素子4の所定抵抗値によりポンプ機種を識別すると共に予め選択された1つの過速度設定検出器6の所定の抵抗素子からなる設定素子6aとを比較して判別し、選択された過速度設定検出器6の設定が正しければ、即ち、選択された過速度設定検出器6がポンプの機種の定格回路速度に応じた最高回転速度を設定していると該判別回路5が判別したとき、判別信号によって前記モータ駆動制御回路8は前記モータ部3を該最高回転速度までの速度範囲で駆動制御する。
【0014】
もし、該判別回路5の識別素子4と該設定素子6aとの比較判別で前記過速度設定検出器6の選択が前記ポンプの機種の定格回転速度より高い回転速度や低い回転速度になっていると、判別回路5は前記モータ駆動制御回路部8に判別信号を送らず、前記モータ部3が駆動せず、代りに表示部9に判別信号を送ってエラー表示を出したり、ポンプ機種を表示する。
【0015】
作業員はこのエラー表示を見て、切換回路7によって別の過速度設定検出器6に設定を切換えて、再びポンプを運転操作し、設定が正しければポンプは駆動され、否ならばエラー表示がなされ、最終的に正しい設定のみでポンプが駆動される。
【0016】
この様に、コントローラ部1の過速度設定検出部6の選択設定が正し時のみポンプが駆動されることになり、ポンプの定格回転速度をはるかに超える様な異常な高速運転状態となることがなく、ポンプを安全に運転操作することができる。
【0017】
又、設定が間違っていてもエラー表示がされ、この過速度設定検出器6の設定が外部から切換可能に形成されていることにより、最終的に正しい設定にすることができる。
【0018】
【発明の効果】
このように本発明によれば、ポンプの機種を識別できると共に該識別したポンプ機種の定格回転速度とコントローラで選択した最高回転速度とが相応したときにポンプの駆動を可能として、異常な高速回転状態を生じないで安全にポンプを運転操作できる効果を有し、又、従来のコントローラで制御プログラムより過速度の検出と運転の停止を行っている機能に本発明の機能を付加することにより2重の安全性を備える効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施の形態のシステム構成図である。
【符号の説明】
1   コントローラ
2   ポンプ本体
3   モータ部
4   識別素子
5   判別回路
6   過速度設定検出器
6a  設定素子
7   切換回路
8   モータ駆動制御回路部
9   表示部
10  操作部

Claims (4)

  1. ポンプに、該ポンプのコントローラを具備するものにおいて、該ポンプに、該ポンプの機種に応じた識別素子を設けると共に、前記コントローラは、異なる複数の定格回転速度に応じた過速度設定検出器と、これら過速度設定検出器のいずれかの過速度設定検出器を選択的に切換える切換回路と、選択した過速度設定検出器が前記識別素子からの信号から識別するポンプの機種の定格回転速度に応じた最高回転速度を設定したものか否から判別する判別回路とを具備するポンプの過速度検出装置。
  2. 前記コントローラは、選択した過速度設定検出器がポンプの機種の定格回転速度に応じた最高回転速度を設定していると前記判別回路が判別したときに前記ポンプのモータを運転開始する駆動制御回路を具備する請求項1に記載のポンプの過速度検出装置。
  3. 前記コントローラは、選択した過速度設定検出器がポンプの機種の定格回転速度に応じた最高回転速度を設定していないと前記判別回路が判別したときにエラーの表示を行う表示手段を具備することを特徴とする請求項1に記載のポンプの過速度検出装置。
  4. 前記識別素子は電気抵抗素子からなる請求項1乃至請求項3のいずれか1に記載のポンプの過速度検出装置。
JP2002294364A 2002-10-08 2002-10-08 ポンプの過速度検出装置 Active JP4263893B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002294364A JP4263893B2 (ja) 2002-10-08 2002-10-08 ポンプの過速度検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002294364A JP4263893B2 (ja) 2002-10-08 2002-10-08 ポンプの過速度検出装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004132179A true JP2004132179A (ja) 2004-04-30
JP4263893B2 JP4263893B2 (ja) 2009-05-13

Family

ID=32284921

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002294364A Active JP4263893B2 (ja) 2002-10-08 2002-10-08 ポンプの過速度検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4263893B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1767790A2 (de) * 2005-09-22 2007-03-28 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpsystem
JP2011516792A (ja) * 2008-04-17 2011-05-26 オーリコン レイボルド バキューム ゲーエムベーハー 真空ポンプ

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100402715C (zh) * 2005-04-27 2008-07-16 天津工业大学 一种功能纤维及其制造方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6014303A (en) * 1983-07-04 1985-01-24 Hitachi Ltd Knowledge-based diagnosis system
JPH02176933A (en) * 1988-08-19 1990-07-10 General Motors Corp <Gm> Machine diagnostic method and apparatus
JPH0510271A (ja) * 1991-07-04 1993-01-19 Ebara Corp ポンプ装置の軽負荷運転防止装置
JP2000324561A (ja) * 1999-05-06 2000-11-24 Noritz Corp 給湯器のリモコン装置
JP2002021851A (ja) * 2000-07-04 2002-01-23 Koyo Seiko Co Ltd 磁気軸受制御装置
JP2002143022A (ja) * 2000-11-09 2002-05-21 Saraya Kk 薬液供給装置の薬液残量監視装置および監視システム
JP2002339971A (ja) * 2001-05-16 2002-11-27 Ebara Corp 磁気軸受装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6014303A (en) * 1983-07-04 1985-01-24 Hitachi Ltd Knowledge-based diagnosis system
JPH02176933A (en) * 1988-08-19 1990-07-10 General Motors Corp <Gm> Machine diagnostic method and apparatus
JPH0510271A (ja) * 1991-07-04 1993-01-19 Ebara Corp ポンプ装置の軽負荷運転防止装置
JP2000324561A (ja) * 1999-05-06 2000-11-24 Noritz Corp 給湯器のリモコン装置
JP2002021851A (ja) * 2000-07-04 2002-01-23 Koyo Seiko Co Ltd 磁気軸受制御装置
JP2002143022A (ja) * 2000-11-09 2002-05-21 Saraya Kk 薬液供給装置の薬液残量監視装置および監視システム
JP2002339971A (ja) * 2001-05-16 2002-11-27 Ebara Corp 磁気軸受装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1767790A2 (de) * 2005-09-22 2007-03-28 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpsystem
JP2007085337A (ja) * 2005-09-22 2007-04-05 Pfeiffer Vacuum Gmbh 真空ポンプ装置
US8613600B2 (en) * 2005-09-22 2013-12-24 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vacuum pump system
EP1767790A3 (de) * 2005-09-22 2014-04-16 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpsystem
DE102005045283B4 (de) * 2005-09-22 2014-05-15 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpsystem
EP1767790B1 (de) 2005-09-22 2018-02-21 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpsystem
JP2011516792A (ja) * 2008-04-17 2011-05-26 オーリコン レイボルド バキューム ゲーエムベーハー 真空ポンプ

Also Published As

Publication number Publication date
JP4263893B2 (ja) 2009-05-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6624606B2 (en) Drive control circuit for three-phase brushless motor, motor-driven blower and electric vacuum cleaner
US7112900B2 (en) Method and system for sensing switch position to prevent inadvertent startup of a motor
JP4209900B2 (ja) 回転磁界機械のための欠相検出
US6163129A (en) Method of controlling the starting, stopping and speed of an AC induction motor
EP2520397B1 (en) Motorized tool
KR101223164B1 (ko) 치과용 핸드피스의 모터제어방법 및 제어장치
ES2572737T3 (es) Protección contra sobrecalentamiento rápida y redundante con parada segura para un motor de conmutación electrónica
JP3658310B2 (ja) Pwm制御回路、電動送風機及び電気掃除機
JP5409647B2 (ja) 動力工具及び動力工具の使用方法
US8018186B2 (en) Method and apparatus of fan motor brake
US20040207351A1 (en) Braking device for an electric motor, electrical apparatus provided with the braking device, and a method of braking
US20070064359A1 (en) Motor power line break detection method in ac servo driver
US20030128003A1 (en) Methods and apparatus to improve the performance of universal electric motors
EP1814217B1 (en) Motor control method and motor control apparatus
US20130049643A1 (en) Electric power tool
JP5056143B2 (ja) ファン制御システム
JPWO2005055410A1 (ja) 直流モータ駆動装置
CN101346204A (zh) 移动式钻床
CN1943090A (zh) 串励电动机及其控制方法
DE60029663T2 (de) Dateninterfacemodul für ein Motorsteuerungssystem
CA2405973A1 (en) Drive circuit for a brushless dc motor
CN103347658A (zh) 电动工具
JP4147399B2 (ja) Dcブラシレスモータの並列駆動方法
CN102465422B (zh) 滚筒式洗衣机
US20100097732A1 (en) Method and apparatus for limiting torque in an electric drive motor

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050929

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080916

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081107

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081224

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090120

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090213

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120220

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4263893

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120220

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130220

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140220

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250