JP2004131380A - Process for manufacturing opaque quartz glass composite, composite obtained thereby, and its use - Google Patents

Process for manufacturing opaque quartz glass composite, composite obtained thereby, and its use Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a process for manufacturing an opaque quartz glass, especially a large opaque quartz glass material, employing slip casting which reduces or removes defects associated with shrinkage at drying. <P>SOLUTION: In the process for manufacturing the opaque quartz glass material, amorphous SiO<SB>2</SB>particles having particle sizes and a particle size distribution wherein D<SB>50</SB>is ≤15 μm and D<SB>90</SB>is≤50 μm are obtained by finely pulverizing amorphous SiO<SB>2</SB>granules in a liquid; by lowering the pH value, a homogeneous base slip having a solid content of 75 wt.% or higher is prepared; and quartz glass granules are mixed into the homogeneous base slip to form a composite slip having a density of at least 1.85g/cm<SP>3</SP>. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

 本発明は、不透明石英ガラス複合材の製造方法に関するものであり、100μmオーダー以下のサイズの非晶質SiO粒子ならびに100μmオーダー以上のサイズの石英ガラス顆粒を含有するスリップの製造、前記スリップの均質化、前記スリップの成形型への導入、および乾燥による多孔質素地の形成、および前記素地の焼結により、不透明石英ガラス複合材の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for producing an opaque quartz glass composite, and the production of a slip containing amorphous SiO 2 particles having a size of 100 μm or less and quartz glass granules having a size of 100 μm or more, and homogeneity of the slip The present invention relates to a method for producing an opaque quartz glass composite material by forming a porous substrate by forming the slip into a mold, drying, and sintering the substrate.

また本発明は、石英ガラス顆粒が埋め込まれるSiO含有マトリックスを備える複合材に関するものである。 The invention also relates to a composite comprising a SiO 2 containing matrix in which quartz glass granules are embedded.

さらに本発明は、本発明による前記複合材の利用法に関するものである。 The present invention further relates to a method of using the composite material according to the present invention.

 石英ガラスは、低い膨張率と高い耐薬品性を特徴とする。石英ガラス材は、チューブ、ロッド、スラブ、またはブロックといった準完成製品として、あるいは高温安定性と熱衝撃耐性とを伴った高断熱性が重視される熱工学的用途の分野において、完成製品として利用される。例としては、反応炉、拡散チューブ、熱シールド、ベル、坩堝、ノズル、保護チューブ、レール、フランジが挙げられる。 Quartz glass is characterized by a low expansion coefficient and high chemical resistance. Quartz glass materials can be used as semi-finished products such as tubes, rods, slabs or blocks, or as finished products in the field of thermal engineering where high thermal insulation with high temperature stability and thermal shock resistance is important. Is done. Examples include reactors, diffusion tubes, heat shields, bells, crucibles, nozzles, protective tubes, rails, flanges.

 スリップキャスティング法と呼ばれる方法が、セラミックプロセス工学および石英ガラス材製造においては一般的である。米国特許第4042361号は、合成石英ガラス顆粒を用いたスリップキャスティング法に関連する、石英ガラス坩堝の製造方法について記載している。前記石英ガラス顆粒は、シリコン化合物の火炎加水分解中にフィルター粉塵として熱生成されるSiOパウダーから生成されるものであり、まず遊離SiOパウダーを水と混合し攪拌することでゲルを生成し、攪拌工程の形式や速度に従って、前記ゲルの固形分含有量が30〜45重量パーセントとなるよう調整する。前記ゲルの乾燥後に得られたフラグメントを1150〜1500℃で焼結し、高密度の粗粒石英ガラス顆粒を得た後に、粒経1μm〜10μmの微粒に細粒化し、水溶性スリップ中に攪拌する。前記スリップを坩堝成形型中に注入し、坩堝の周縁に付着した層を乾燥し、多孔質の素地を成形する。前記素地を1800〜1900℃の温度で溶融固化すると、所望の石英ガラス坩堝が得られる。 A method called slip casting is common in ceramic process engineering and quartz glass material production. U.S. Pat. No. 4,043,361 describes a method for producing a quartz glass crucible in connection with a slip casting process using synthetic quartz glass granules. The quartz glass granules are produced from SiO 2 powder that is thermally generated as filter dust during flame hydrolysis of silicon compounds. First, the free SiO 2 powder is mixed with water and stirred to form a gel. The solid content of the gel is adjusted to 30 to 45 weight percent according to the type and speed of the stirring step. After the gel is dried, the fragments obtained are sintered at 1150-1500 ° C. to obtain high-density coarse quartz glass granules, then finely divided into fine particles of 1 μm to 10 μm in diameter, and stirred in a water-soluble slip. To do. The slip is poured into a crucible mold, and the layer adhering to the periphery of the crucible is dried to form a porous substrate. When the substrate is melted and solidified at a temperature of 1800 to 1900 ° C., a desired quartz glass crucible is obtained.

 前記周知の方法では、一部分に多量のエネルギーを費やす多数の工程を要するものであり、例えば、粗粒物質を所望の石英ガラス粒子とする溶融固化、細粒化および高温での素地の焼結が要求される。 In the known method, a large number of steps that consume a large amount of energy are required. For example, melting, solidification, and sintering of a base material at a high temperature are performed by using a coarse material as desired quartz glass particles. Required.

 上記に言及のタイプの焼結による耐熱性石英ガラス製品の製造方法は、ドイツ特許第69306169(T2)号により周知である。その中に記載の石英ガラス製品においては、2種類に分級された微粒SiOパウダーが結合相を形成し、粒径の範囲が40〜1000μmである粗粒SiOの形態をとるSiO含有材を形成する。2種の内でより微粒なSiOパウダーは、粒径の範囲が0.2〜0.6μmであり、実質的に球状粒子からなる石英粉塵として存在する。使用に望ましい石英粉塵は、酸化ジルコニウムの溶解過程および還元に由来する。前記石英ガラス出発材料は、乾燥細粒化工程で予め混合され、次いで安定剤の添加によりスリップが製造される。各原料の重量は、54%(粗粒SiO粒子)、33%(微粒SiO粒子)、および13%(石英粉塵)である。前記スリップは真空下で脱ガスされ、石膏型に注入される。それにより成形された素地は乾燥され、1050℃の炉内で焼結され、複合材が得られる。 A method for producing heat-resistant quartz glass products by sintering of the types mentioned above is well known from German Patent 69306169 (T2). In the quartz glass product described therein, a fine SiO 2 powder classified into two types forms a binder phase, and a SiO 2 -containing material takes the form of coarse SiO 2 with a particle size range of 40 to 1000 μm. Form. Of the two types, the finer SiO 2 powder has a particle size range of 0.2 to 0.6 μm and exists as quartz dust consisting of substantially spherical particles. Desirable quartz dust for use comes from the dissolution process and reduction of zirconium oxide. The quartz glass starting material is premixed in a dry granulation process and then a slip is produced by the addition of a stabilizer. The weight of each raw material is 54% (coarse SiO 2 particles), 33% (fine SiO 2 particles), and 13% (quartz dust). The slip is degassed under vacuum and poured into a gypsum mold. The green body thus formed is dried and sintered in a furnace at 1050 ° C. to obtain a composite material.

 粗粒石英ガラス顆粒は、より微細な粒子および石英粉塵の球状粒子である相対的に連続したマトリックスに埋め込まれた前記粒子である前記複合材の微構造を代表する。前記複合材の開放気孔率は13%であり、密度は1.91g/cm3である。結晶学的分析によるクリストバライト含有率は、2%以下を示している。 Coarse quartz glass granules represent the microstructure of the composite that is the particles embedded in a relatively continuous matrix of finer particles and spherical particles of quartz dust. The composite has an open porosity of 13% and a density of 1.91 g / cm 3 . The cristobalite content by crystallographic analysis shows 2% or less.

 この開放気孔率、すなわち連続気孔率のために、密度または高純度性が重視される場合には、周知の複合材は、構成材として無制限に用いることは出来ない。金属溶解物は、前記気孔を通じて構成材の壁に浸透し漏出の可能性がある。 When the density or high purity is important for the open porosity, that is, the continuous porosity, a known composite material cannot be used as a constituent material without limitation. The metal melt may permeate into the wall of the component through the pores and leak.

 ドイツ特許第69306169号(T2)による前記方法の変形形態においては、酸化ジルコニウムの溶解過程および還元中に得られた石英粉塵の代わりに、細粒化、または微粒細粒化された石英材料が用いられる。ただし、製造される石英ガラス製品は、低密度かつ曲げ強さは低い。 In a variant of said method according to German Patent 69306169 (T2), instead of quartz dust obtained during the dissolution process and reduction of zirconium oxide, a finely divided or finely divided quartz material is used. It is done. However, the manufactured quartz glass product has low density and low bending strength.

 スリップキャスティング法に次いでは、特に乾燥および焼結の際の前記素地の収縮により、問題が惹起する。収縮割れを生じ、また構成材の寸法安定性がしばしばきわめて低いものとなりうる。 Next to the slip casting method, problems arise due to shrinkage of the substrate, especially during drying and sintering. Shrinkage cracks can occur and the dimensional stability of the components can often be very low.

 乾燥時の収縮のために、コアの周囲にスリップを成形し、乾燥後にコアを取り出すコアキャスティング法と呼ばれる構成材製造方法は、さらに困難となる。乾燥時に収縮するために、前記素地はコア方向に収縮し、それにより損壊、または素地を傷つけずにコアが取り出せなくなる。 Because of shrinkage at the time of drying, a component material manufacturing method called a core casting method in which slip is formed around the core and the core is taken out after drying becomes more difficult. Due to the shrinkage when drying, the substrate shrinks in the direction of the core, which prevents the core from being removed without breaking or damaging the substrate.

 スリップキャスティング法自体は、複素幾何学形状を伴った構成材の安価な製造を可能とするものであり、石英ガラスの製造における上記の欠点を回避することが、極めて望ましい。そこで本発明の目的は、乾燥時の収縮に伴う欠点を減少あるいは解消しつつ、スリップキャスティング法を用いた不透明石英ガラスの製造方法を提供することである。さらに本発明の目的は、耐温度性および耐薬品性が重視される用途に使用可能な不透明石英ガラス複合材を提供することであり、大型の不透明石英ガラス材の製造に特に適するものである。さらに本発明の目的は、本発明により製造される前記複合材の適切な用途を提示することである。 The slip casting method itself enables inexpensive production of components with complex geometric shapes, and it is highly desirable to avoid the above disadvantages in the production of quartz glass. Therefore, an object of the present invention is to provide a method for producing opaque quartz glass using a slip casting method while reducing or eliminating the drawbacks associated with shrinkage during drying. A further object of the present invention is to provide an opaque quartz glass composite that can be used in applications where temperature resistance and chemical resistance are important, and is particularly suitable for the production of large opaque quartz glass materials. A further object of the present invention is to present a suitable use of the composite material produced according to the present invention.

 本発明による前記目的の達成は、前記の方法に関する限り、上述の方法から出発し、液体中での非晶質SiO顆粒の細粒化により、D50値が15μm以下かつD90値が50μm以下であることを特徴とする粒径および粒度分布を有するSiO粒子を得、pH値の低減化により、固形分含有量が少なくとも75重量%以上である均質なベーススリップを製造し、石英ガラス顆粒が前記の均質なベーススリップに混合され、密度が少なくとも1.85g/cm3である複合スリップを形成することにより得られる。 The achievement of the object according to the invention is, as far as the above-mentioned method is concerned, starting from the above-mentioned method, and by refining amorphous SiO 2 granules in a liquid, the D 50 value is 15 μm or less and the D 90 value is 50 μm. A SiO 2 particle having a particle size and particle size distribution characterized by the following is obtained, and a homogeneous base slip having a solid content of at least 75% by weight or more is produced by reducing the pH value. It is obtained by mixing the granules into the homogeneous base slip and forming a composite slip with a density of at least 1.85 g / cm 3 .

 本発明の方法は、スリップキャスティング法、またコアキャスティング法による、割れのない不透明石英ガラス複合材の製造を可能にする。その前提条件は、前記素地の乾燥時における収縮を僅少にすることである。この条件は以下により達成される。 The method of the present invention makes it possible to produce a non-cracked opaque quartz glass composite material by a slip casting method or a core casting method. The precondition is that the shrinkage of the substrate during drying is minimized. This condition is achieved by:

1.少なくとも75重量%の高い固形分含有量を伴うベーススリップの準備。高固形分含有量の達成は、一方では、前記スリップ中の含有固形分の特質、すなわちD50値が15μm以下かつD90値が50μm以下であることを特徴とする粒径および粒度分布を有する、良好に分離した非晶質SiO粒子であることにより実現される。ただし前記固形分のこの特質は、必ず液体中でのSiO顆粒の細粒化によるものであり、前記ベーススリップの当初の固形分含有量がやはり高いことが、有効な細粒化作業の前提条件の一つである。 1. Preparation of a base slip with a high solids content of at least 75% by weight. Achievement of high solids content, on the one hand, has a particle size and particle size distribution is characterized by containing solid qualities in the slip, i.e. D 50 value is less and D 90 values 15μm is 50μm or less This is realized by the well-separated amorphous SiO 2 particles. However, this characteristic of the solid content is always due to the refinement of SiO 2 granules in the liquid, and the high initial solid content of the base slip is also a prerequisite for effective refinement work. One of the conditions.

また、もう一方では、前記ベーススリップのpH値の低下が、SiO顆粒の細粒化過程で増大する比表面積との組み合わせにより、液体中でのSiOの溶解度を高め、高固形分含有量化に寄与する。 On the other hand, the decrease in the pH value of the base slip increases the solubility of SiO 2 in the liquid by combining it with the specific surface area that increases during the refinement of the SiO 2 granule, resulting in a higher solid content. Contribute to.

この手段で得られた前記ベーススリップは、極めて粘性が高く、全く沈殿傾向を持たない。これは強力な凝集傾向に伴い、高い素地密度および均質性、および前記素地マトリックスの良好な気孔率を実現する。 The base slip obtained by this means is very viscous and has no tendency to settle at all. This is accompanied by a strong tendency to agglomerate, realizing high green density and homogeneity, and good porosity of the green matrix.

2.さらに、高い固形分含有量の調整には、前記均質ベーススリップに含有される固形分を石英ガラス顆粒形態の固形分にさらに添加されることが必要である。ただし、前記スリップの成型能力の妨げとなり低下させることを避けるため、前記石英ガラス顆粒の添加は、前記SiO顆粒の細粒化および前記ベーススリップの均質化の後にのみ行うことが出来る。この工程段階において、前記素地の低収縮率の達成のためには、少なくとも密度1.85g/cm3の複合スリップを得られる分量の石英ガラス顆粒が添加される必要がある。前記石英ガラス顆粒の添加により、前記スリップの固形分含有量が増加するのみならず、素地の形状安定性が向上し、乾燥および焼結での収縮が減少する。したがって、このような顆粒を添加する結果、前記複合材からなる構成材の寸法安定性が向上する。 2. Furthermore, in order to adjust the high solid content, it is necessary that the solid content contained in the homogeneous base slip is further added to the solid content in the form of quartz glass granules. However, the silica glass granules can be added only after the refinement of the SiO 2 granules and the homogenization of the base slip in order to prevent the slip molding ability from being reduced. In this process step, in order to achieve a low shrinkage of the substrate, it is necessary to add an amount of quartz glass granules that can yield a composite slip with a density of at least 1.85 g / cm 3 . The addition of the quartz glass granules not only increases the solid content of the slip, but also improves the shape stability of the substrate and reduces shrinkage during drying and sintering. Therefore, as a result of adding such a granule, the dimensional stability of the constituent material composed of the composite material is improved.

 前記非晶質SiO粒子の粒径および粒度分布は、粒度分布曲線(粒径に基づいたSiO粒子の累積量)におけるD50値およびD90値と呼ばれる値を特徴とする。D90値は、累積SiO粒子量の90%に達しない粒径を示し、D50値も対応する平均的な粒径を示す。前記粒度分布は、ISO 13320による散光分光法およびレーザー回析分光法により定義される。 The particle size and particle size distribution of the amorphous SiO 2 particles are characterized by values called D 50 and D 90 values in a particle size distribution curve (cumulative amount of SiO 2 particles based on particle size). The D 90 value indicates the particle size that does not reach 90% of the cumulative SiO 2 particle amount, and the D 50 value also indicates the corresponding average particle size. The particle size distribution is defined by diffuse spectroscopy and laser diffraction spectroscopy according to ISO 13320.

 石英ガラス顆粒のBET比表面積が1m2/g以下であるのに対して、前記ベーススリップ中の非晶質SiO粒子は2m2/g以上のBET比表面積を有する。前記SiO粒子および石英ガラス顆粒は、同一の、または異なった原材料から得られる。同一原材料または各原材料は、非晶質であり合成または天然由来である。 The quartz glass granules have a BET specific surface area of 1 m 2 / g or less, whereas the amorphous SiO 2 particles in the base slip have a BET specific surface area of 2 m 2 / g or more. The SiO 2 particles and quartz glass granules are obtained from the same or different raw materials. The same raw material or each raw material is amorphous and is synthetic or naturally derived.

 本発明による方法は、開放気孔率の低い複合材をもたらし、1%以下の低い総収縮量(乾燥および焼結による収縮量)および、少なくとも1.90g/cm3の高密度を特徴とする。 The method according to the invention results in a composite with a low open porosity and is characterized by a total shrinkage of less than 1% (shrinkage by drying and sintering) and a high density of at least 1.90 g / cm 3 .

 均質ベーススリップは、まず前記SiO顆粒の細粒化から製造されることが必須である。細粒化工程は前記ベーススリップの均質化に影響すると同時に、細粒化過程におけるSiOの液体への溶解限界量までの段階的溶解に従いpH値が低下し、更なるSiOの溶解に寄与する。前記ベーススリップの細粒化および均質化が、少なくとも12時間継続されることが有利であることが知られており、望ましくは本発明の前述の段階は、少なくとも36時間を要する。この方法で準備された前記ベーススリップは、直ちに成形型の製造に用いることが可能である。 It is essential that the homogeneous base slip is first produced from the refinement of the SiO 2 granules. The fine granulation process affects the homogenization of the base slip, and at the same time, the pH value decreases according to the stepwise dissolution up to the solubility limit of SiO 2 in the fine granulation process, contributing to further dissolution of SiO 2. To do. It has been found that it is advantageous for the base slip to be refined and homogenized for at least 12 hours, and desirably the aforementioned stage of the invention takes at least 36 hours. The base slip prepared by this method can be used immediately for the production of a mold.

 前記細粒化工程により、D50値が15μm以下かつD90値が60μm以下である粒径および粒度分布を有するSiO粒子が製造されるとき、有利であることが知られている。 It is known that the above-mentioned refinement process is advantageous when SiO 2 particles having a particle size and particle size distribution with a D 50 value of 15 μm or less and a D 90 value of 60 μm or less are produced.

 この指標に従って、添加石英ガラス顆粒を組み合わせることで、高い素地密度および高い均質性、および前記素地マトリックスの良好な気孔率がもたらされ、前記素地全体としての乾燥および焼結によって、2.5%以下の低収縮量となる。特に望ましい手段においては、細粒化SiO粒子のD50値は最大で9μmであり、D90値は最大で40μmである。 In accordance with this index, the combination of added quartz glass granules results in high green density and high homogeneity, and good porosity of the green matrix, and drying and sintering as a whole of the green body results in less than 2.5% Low shrinkage. In a particularly desirable way, the D 50 value of the finely divided SiO 2 particles is a maximum of 9 μm and the D 90 value is a maximum of 40 μm.

 乾燥および焼結による収縮量は、前記ベーススリップ中のSiO粒子が10重量%以下で、粒径が1μm以下であるとき、より低減される。 The amount of shrinkage due to drying and sintering is further reduced when the SiO 2 particles in the base slip are 10% by weight or less and the particle size is 1 μm or less.

 良好に分離したSiO粒子は少量(最大でもSiO粒子全重量の約10重量%まで)で、前記素地内で結合剤的な効果を発揮する。乾燥時の「ネック形成」を誘導し、焼結補助の役割をなし、焼結を容易にすることで、前記素地およびそれによる複合材の密度および機械的強度の増大に寄与する。10重量%以上になると、必要とする液体量が増加し、収縮量を増大させる。また、そのような良好に分離したSiO粒子は、前記スリップが注入される成形型の排水孔を閉塞させる傾向がある。したがって、前記ベーススリップの10重量%以上の良好に分離したSiO粒子は、原則として避けられる。 A small amount of well-separated SiO 2 particles (up to about 10% by weight of the total weight of the SiO 2 particles) is exerted as a binder in the substrate. Inducing “neck formation” during drying, assisting in sintering, and facilitating sintering contribute to an increase in density and mechanical strength of the substrate and thereby the composite material. When it becomes 10% by weight or more, the amount of liquid required increases and the amount of shrinkage increases. Moreover, such well-separated SiO 2 particles tend to block the drainage holes of the mold into which the slip is injected. Therefore, well-separated SiO 2 particles of 10% by weight or more of the base slip are avoided in principle.

 ベーススリップの製造は、望ましくは固形分含有量81〜86重量%の範囲で行われる。 The production of the base slip is desirably carried out with a solid content of 81 to 86% by weight.

 75重量%以下の固形分含有量においては、前記ベーススリップは沈殿する傾向があり、その結果として顕著に低い素地密度となり、それにより製造される複合材の総収縮量(乾燥および焼結による収縮量)は、割れのない高密度の石英ガラス材の製造を可能とするには高すぎる。この影響は既に、固形分含有量81重量%以下の場合について指摘されている。固形分含有量が先述の上限以上の場合には、SiO塊による閉塞のために、前記スリップの成型能力が損なわれる恐れがある。 At a solids content of less than 75% by weight, the base slip tends to settle, resulting in a significantly lower substrate density, resulting in a total shrinkage (shrinkage due to drying and sintering) of the composite material produced. The amount) is too high to allow the production of a high density quartz glass material without cracks. This effect has already been pointed out when the solid content is 81% by weight or less. When the solid content is equal to or higher than the upper limit described above, the slip molding ability may be impaired due to blockage by the SiO 2 lump.

 本方法の更なる改良は、前記石英ガラス顆粒の混合に先立って、前記ベーススリップが液体で希釈されることで達成される。 Further improvement of the method is achieved by diluting the base slip with liquid prior to mixing the quartz glass granules.

 前記ベーススリップの、追加固形分に対する吸収力を向上させるために、液体が添加される。これは、前記ベーススリップの吸収力が限界となるか、または所望の石英ガラス顆粒の混合がもはや十分でなくなる際に、特に有効である。 A liquid is added to improve the absorption capacity of the base slip with respect to the additional solid content. This is particularly effective when the absorption capacity of the base slip is limited or the desired mixing of quartz glass granules is no longer sufficient.

 望ましくは、前記ベーススリップは、前記石英ガラス顆粒の混合に先立って、固形分含有量75〜80重量%の範囲で希釈される。 Desirably, the base slip is diluted with a solid content of 75 to 80% by weight prior to mixing of the quartz glass granules.

 一般的に、固形分含有量約75重量%を有するベーススリップは、石英ガラス顆粒の混合に先立つ希釈を一切必要としない。特に、希釈の度合いと調整される固形分含有量とは、混合される石英ガラス顆粒の量により決定される。 Generally, a base slip having a solid content of about 75% by weight does not require any dilution prior to mixing the quartz glass granules. In particular, the degree of dilution and the adjusted solid content are determined by the amount of quartz glass granules to be mixed.

 前記SiO顆粒の当初の平均粒径が、0.2〜3mmの範囲であるときに、有利であることが知られている。 It is known to be advantageous when the initial average particle size of the SiO 2 granules is in the range of 0.2 to 3 mm.

 0.2mm以下の粒径では、微小なSiO粒径に制限される粒度分布の範囲で、不十分な細粒結果となり、一方、粒径が上述の上限以上の場合には、細粒に要するエネルギーおよび時間が、不相応に増加し、また細粒結果も不均質となる。 If the particle size is 0.2 mm or less, the result is insufficient fine particle size in the range of particle size distribution limited to the fine SiO 2 particle size. On the other hand, if the particle size is more than the above upper limit, fine particles are required. Energy and time increase disproportionately, and fine grain results are inhomogeneous.

 有利なのは、前記ベーススリップに添加される前記石英ガラス顆粒が、平均粒径(D50値)200〜1000μmの範囲であり、望ましくは250〜400μmである。 Advantageously, the quartz glass granules added to the base slip have an average particle size (D 50 value) in the range of 200-1000 μm, preferably 250-400 μm.

 すでに説明してきたように、前記石英ガラス顆粒が、素地の乾燥および焼結によって収縮量を減少させる。すなわち前記顆粒の添加により、前記複合材による石英ガラス材の形状安定性および寸法安定性が向上される。総収縮量2.5%以下が達成される。前記石英ガラス顆粒は、原則として充填材として供給されるが、複合材の物理的または化学的特性の選択に従って選択可能である。粒径1000μm以上の遊離石英ガラス顆粒の使用が、不均質構造と比較的低い強度の複合材をもたらす一方で、前記石英ガラス顆粒の粒径の縮小に従って、前述の効果も減少する。 As already explained, the quartz glass granules reduce the amount of shrinkage by drying and sintering the substrate. That is, the addition of the granules improves the shape stability and dimensional stability of the quartz glass material made of the composite material. A total shrinkage of 2.5% or less is achieved. The quartz glass granules are in principle supplied as fillers, but can be selected according to the choice of physical or chemical properties of the composite. While the use of free quartz glass granules with a particle size of 1000 μm or more results in a heterogeneous structure and a relatively low strength composite, the aforementioned effects also diminish as the particle size of the quartz glass granules decreases.

 本発明による方法で、特に望ましい変形形態の一つにおいては、石英ガラス顆粒全重量に存在する微細石英ガラス粒子の量が3〜5重量%の範囲であることを条件として、粒径50〜200μmの範囲の微細石英ガラス粒子を用いることである。 In one particularly desirable variant of the method according to the invention, a particle size of 50 to 200 μm, provided that the amount of fine quartz glass particles present in the total weight of the quartz glass granules is in the range of 3 to 5% by weight. It is to use the fine quartz glass particle of the range.

 このように、前記細粒化したSiO顆粒および前記石英ガラス顆粒の粒径の範囲をカバーする微細石英ガラス粒子の添加により、高い素地密度および強度を有する素地が得られることが知られている。 Thus, it is known that a substrate having a high substrate density and strength can be obtained by adding fine silica glass particles covering the range of the particle size of the finely divided SiO 2 granules and the silica glass granules. .

 これまでにSiO顆粒の細粒化から、前記ベーススリップのpH値の低下をもたらす。さらに前記pH値は、SiOの溶解度の増大を目的として、酸性化材の添加、例えばナノスケールのケイ酸粒子またはその粒子を含むゾルの添加によって低下が可能である。望ましい手順においては、前記ベーススリップのpH値は、酸の添加により調整される。 So far, the pH value of the base slip is reduced due to the refinement of the SiO 2 granules. Furthermore, the pH value can be lowered by adding an acidifying material, for example, by adding nano-scale silicic acid particles or a sol containing such particles for the purpose of increasing the solubility of SiO 2 . In a desirable procedure, the pH value of the base slip is adjusted by the addition of acid.

前記複合材の高密度と高強度を伴い、総収縮量を可能な限り少なくするには、前記複合スリップ中の全固形分量において、前記ベーススリップ含有の固形分量が30〜60重量%であるとき有利であることが知られている。 To reduce the total shrinkage as much as possible with the high density and high strength of the composite material, when the solid content of the base slip is 30 to 60% by weight in the total solid content in the composite slip It is known to be advantageous.

 前記ベーススリップ中の固形分量が30重量%以下では、架橋結合が減少し、素地の基礎強度が減少する。一方60重量%以上の固形分量では、複合材の収縮量が大きく、寸法安定性が低くなる。 When the solid content in the base slip is 30% by weight or less, the cross-linking is reduced and the basic strength of the substrate is reduced. On the other hand, when the solid content is 60% by weight or more, the shrinkage amount of the composite material is large and the dimensional stability is low.

 一般的に、複合材の密度は高く、全収縮量は低く、前記複合スリップの密度は高めに調節される。特に、複合スリップの密度は少なくとも1.95g/cm3が望ましい。 Generally, the density of the composite material is high, the total shrinkage is low, and the density of the composite slip is adjusted to be high. In particular, the density of the composite slip is desirably at least 1.95 g / cm 3 .

 前記複合スリップに、種結晶成形物質が添加されるとき、特に有利であることが知られている。 It is known that it is particularly advantageous when a seed crystal forming material is added to the composite slip.

 本発明による複合材から製造される石英ガラス材の意図する用途において、前記ガラス材が1400℃以上の高温で使用されるとき、種結晶成形物質または凝集物質がクリストバライト結晶核の形成を促す。クリストバライトは石英ガラスに比べて高い融点を有するため、前記クリストバライトの形成は、そのような使用環境下での石英ガラス材の寸法安定性に有効である。前記凝集物質の添加は、構造を破壊しうるクリストバライトの粗大結晶の形成を抑制し、そのため、前記ベーススリップのSiO粒子から形成された石英ガラスマトリックスの良好に分離した構造が保持される。 In the intended use of the quartz glass material produced from the composite material according to the present invention, when the glass material is used at a high temperature of 1400 ° C. or higher, the seed crystal forming material or the aggregate material promotes the formation of cristobalite crystal nuclei. Since cristobalite has a higher melting point than quartz glass, the formation of cristobalite is effective for the dimensional stability of the quartz glass material under such a use environment. The addition of the agglomerated material suppresses the formation of coarse crystals of cristobalite that can destroy the structure, so that a well-separated structure of the quartz glass matrix formed from the SiO 2 particles of the base slip is retained.

 石英ガラスの結晶化促進物質としては、チタン酸バリウム、炭酸バリウムまたはケイ酸バリウムが望ましい。 As the crystallization promoting substance of quartz glass, barium titanate, barium carbonate or barium silicate is desirable.

 前述の物質は、粒径が数μmの範囲のパウダー状で、前記ベーススリップに導入されると有利であり、さらに細砕され、この過程で均質に分散される。 The above-mentioned substances are in powder form with a particle size in the range of several μm and are advantageously introduced into the base slip, and are further pulverized and homogeneously dispersed in this process.

本発明の更なる改良は、前記懸濁液がその液体の凝固点以下にまで冷却された成形型に注入される際に行われる。 A further improvement of the invention is made when the suspension is poured into a mold cooled to below the freezing point of the liquid.

 前記成形型は、成形の途中またはその前後に、前記懸濁液体の凝固点以下にまで冷却される。これにより前記液体中に結晶形成、水の場合には氷結晶形成が促され、前記結晶形成は特に1μm以下のサイズのSiO粒子の凝集に作用を及ぼす。これにより高強度の素地が得られることが知られている。前記懸濁液に溶解したSiOは、前記液体(特に水)の除去後に、結合剤として強度強化効果を有する。衝撃凍結による前期素地の乾燥と、次の凍結状態での加熱に関する驚くべき効果は、前記素地の低水分含有により、明らかに顕著に高まる。 The mold is cooled to below the freezing point of the suspension during or before molding. This promotes crystal formation in the liquid and, in the case of water, ice crystal formation, and the crystal formation particularly affects the aggregation of SiO 2 particles having a size of 1 μm or less. As a result, it is known that a high-strength substrate can be obtained. SiO 2 dissolved in the suspension has a strengthening effect as a binder after the removal of the liquid (particularly water). The surprising effect on the drying of the substrate by shock freezing and the heating in the next frozen state is clearly markedly increased by the low moisture content of the substrate.

ただし、巨大結晶(氷結晶)の成長によっては、前記素地の強度は損なわれる。すでに前記懸濁液中に溶解したSiOが、氷結晶の成長の抑制要因として働く事実がある。前記懸濁液に、氷結晶の形成を抑制する有機物質が添加されるとき、有利であることが知られている。有機物質の添加は、形成された多数の結晶を、可能な限り小さくする効果を有する。このタイプの有効物質は、グリセロール、ポリエチレングリコール、またはポリアクリレートである。 However, the strength of the substrate is impaired by the growth of giant crystals (ice crystals). There is a fact that SiO 2 already dissolved in the suspension works as a restraining factor of ice crystal growth. It is known to be advantageous when an organic substance that suppresses the formation of ice crystals is added to the suspension. The addition of the organic substance has the effect of making the formed large number of crystals as small as possible. This type of active substance is glycerol, polyethylene glycol, or polyacrylate.

 前記素地が凍結状態で取り出され、乾燥室に導入され、内部で40〜80℃の温度で水分を除去しつつ加熱されるとき、特に有利であることが知られている。 It is known that it is particularly advantageous when the substrate is taken out in a frozen state, introduced into a drying chamber, and heated while removing moisture at a temperature of 40 to 80 ° C. inside.

 前記衝撃凍結素地の乾燥室内での加熱による迅速な水分の除去を通じて、高強度が実現されることが知られている。乾燥室内からの水分の除去が、水蒸気の凝集および、表面構造を破損して素地強度を低下させうる表面での再凍結を回避する。 It is known that high strength can be realized through rapid removal of moisture by heating the shock freezing substrate in a drying chamber. Removal of moisture from the drying chamber avoids water vapor agglomeration and refreezing on the surface that can damage the surface structure and reduce the substrate strength.

 本発明において、当初示された素材を基礎とする前記複合材について、上述の目的は、前記素材が少なくとも密度1.94g/cm3であることにより達成される。 In the present invention, for the composite material based on the originally shown material, the above object is achieved by the material having a density of at least 1.94 g / cm 3 .

 本発明により製造された前記複合材は、高密度であることを特徴とする。その高い素地強度および低収縮量により、大型の不透明石英ガラス材の製造に特に有利である。 The composite material manufactured according to the present invention has a high density. Its high substrate strength and low shrinkage are particularly advantageous for the production of large opaque quartz glass materials.

 前期複合材は本発明の方法を通じて得られる。上述の説明に対して以下に参照する。 The pre-composite material is obtained through the method of the present invention. Reference is made below to the above description.

 本発明により製造された複合材が、ソーラーシリコン溶融用の永久成形型の製造の出発材料として用いられる場合、上述の目的が達成される。 When the composite material manufactured according to the present invention is used as a starting material for manufacturing a permanent mold for solar silicon melting, the above-mentioned object is achieved.

 本発明による複合材が、特にソーラーシリコン溶融用の永久成形型製造の出発材料に適することが知られている。この使用目的としては、ケイ酸溶解物に対する高い耐薬品性が特に重視される。そのような永久成形型は、通常Si3N4分離層が取り付けられる。そのような分離層は、本発明による前記複合材からなる永久成形型に対して特に堅固な様態で接着することが知られている。その他に、前記永久成形型の機械強度および熱衝撃耐性が必要とされる。これを達するために、前記永久成形型の外壁には、安定化層が取付けられ、本用途のような高温下での前記永久成形型の形状安定性の向上に効果がある。
ここで本発明は実施例および図面を参照しつつより詳細に説明する。
It is known that the composites according to the invention are particularly suitable as starting materials for the production of permanent molds for melting solar silicon. For this purpose, high chemical resistance against silicic acid melts is particularly important. Such permanent molds are usually fitted with a Si 3 N 4 separation layer. Such separation layers are known to adhere in a particularly rigid manner to a permanent mold made of the composite material according to the invention. In addition, the mechanical strength and thermal shock resistance of the permanent mold are required. In order to achieve this, a stabilizing layer is attached to the outer wall of the permanent mold, which is effective in improving the shape stability of the permanent mold at high temperatures as in this application.
The invention will now be described in more detail with reference to examples and drawings.

 図1のグラフは、本発明の意味する複合スリップについて、ISO13320に規定の散光分光法およびレーザー回析分光法により決定された粒度分布を示す。粒径(X軸)はμm単位で、それに対応する顆粒体積の相対度数(%表示)に対して、対数表示でプロットされている。 The graph of FIG. 1 shows the particle size distribution determined by the light scattering spectroscopy and laser diffraction spectroscopy specified in ISO13320 for the composite slip meaning the present invention. The particle size (X-axis) is plotted in logarithm relative to the relative frequency (in%) of the corresponding granule volume in μm units.

 この分布曲線は2つの顕著な極大値1および2を示す。前方の極大値は原則として、前記ベーススリップの粒度分布に相当する部位に属する。同部位は粒径0.1以上の範囲をカバーする。極大値1は、2μmより僅かに小さい粒径である。 This distribution curve shows two notable maxima 1 and 2. The maximum value in front belongs to a portion corresponding to the particle size distribution of the base slip in principle. This part covers the range of particle size 0.1 or more. The maximum value 1 is a particle size slightly smaller than 2 μm.

 後方の極大値2は前記分布曲線において原則として、均質なベーススリップに混合された石英ガラス顆粒の粒度分布に相当する部位である。前記部位は、最大900μmまでの粒径を包含する。 The rear maximum 2 is a part corresponding to the particle size distribution of the quartz glass granule mixed with the homogeneous base slip in principle in the distribution curve. The site includes a particle size of up to 900 μm.

 上述の粒度分布曲線上の2つの部位は、100μm付近の部位(部位3)で重複するため、前記ベーススリップの最大粒径および、混合石英ガラス顆粒の最小粒径は、グラフから推測することができない。個別の測定によると、ベーススリップ中のSiO粒子は最大粒径が約60μmであり、またD50値が粒径約5μmかつD90値が粒径約23μmであることを特徴とする粒度分布を有する。 Since the two parts on the above-mentioned particle size distribution curve overlap at a part near 100 μm (part 3), the maximum particle size of the base slip and the minimum particle size of the mixed quartz glass granule can be estimated from the graph. Can not. According to individual measurements, the SiO 2 particles in the base slip have a maximum particle size of about 60 μm, a D 50 value of about 5 μm and a D 90 value of about 23 μm. Have

本実施例において、複合スリップは、細粒化したSiO顆粒以外に、粒径160μm以下(図2参照)の添加SiO粒子を包含する。それらの粒子は、2つの顕著な粒径部位の間のギャップ(極大値1および極大値2の間の部位3)を部分的に補填する。 In this example, the composite slip includes added SiO 2 particles having a particle size of 160 μm or less (see FIG. 2) in addition to the finely divided SiO 2 granules. These particles partially fill the gap between two significant particle size sites (site 3 between maxima 1 and maxima 2).

複合スリップの準備については、設計例を参照しつつ、以下により詳細に説明する。 The preparation of the composite slip will be described in more detail below with reference to design examples.

まず初めに、均質なベーススリップ14が製造される。ベーススリップ(SiO懸濁水溶液)の1バッチ量10kgのために、粒径1〜3mmの天然原材料である非晶質石英ガラス顆粒11、8.2kgが、導電率3μS以下の脱イオン水12、1.8kgと、ポリウレタンでコーティングされた容積14lのドラムミル中で混合される。 Initially, a homogeneous base slip 14 is produced. For 10 kg of batch of base slip (SiO 2 suspension), amorphous quartz glass granule 11, which is a natural raw material with a particle size of 1 to 3 mm, 8.2 kg, deionized water 12 with conductivity 3 μS or less, 1.8 kg is mixed in a drum mill with a volume of 14 liters coated with polyurethane.

上述の混合物13は、ロールスタンド上でAl2O3製のミリングボール(重量2.3kgおよび4.5kg)を用いて、23rpmで5日間、均質ベーススリップ14が固形分含有量82%かつ粘度140mPasとなるまで細粒化を行う。細粒化の過程で、SiOが溶解することで、pH値は5程度にまで低下する。 The above-mentioned mixture 13 was obtained by using Al 2 O 3 milling balls (weights 2.3 kg and 4.5 kg) on a roll stand at 23 rpm for 5 days with a homogeneous base slip 14 having a solid content of 82% and a viscosity of 140 mPas. Refine until fine. In the process of refining, the pH value decreases to about 5 due to dissolution of SiO 2 .

前記石英ガラス顆粒11の細粒化後に、ベーススリップ14中に得られたSiO粒子は、D50値が約5μmかつD90値が約23μmであることを特徴とする粒度分布を有する。 After the silica glass granules 11 are refined, the SiO 2 particles obtained in the base slip 14 have a particle size distribution characterized by a D 50 value of about 5 μm and a D 90 value of about 23 μm.

本方法により得られた均質ベーススリップ14から、複合スリップ19が製造される。最終的に15kgのバッチ量の複合スリップ19を得るために、まず固形分含有量8%の前記ベーススリップ14、6.65kgが、ドラムミル中で脱イオン水15、0.250kgで希釈され、混合される。これにより、固形分含有量78.2%かつ粘度75mPasの混合物17がもたらされる。前記混合物17は、粒径50〜125μmの非晶質SiOである粉塵16、0.54kgを添加され、ドラムミル中で回転速度27rpmで混合される。 A composite slip 19 is produced from the homogeneous base slip 14 obtained by this method. In order to finally obtain a composite slip 19 with a batch quantity of 15 kg, the base slip 14,6.65 kg with a solid content of 8% is first diluted and mixed with 15,0.250 kg of deionized water in a drum mill. . This gives a mixture 17 with a solids content of 78.2% and a viscosity of 75 mPas. The mixture 17 is mixed with 0.54 kg of dust 16, which is amorphous SiO 2 having a particle size of 50 to 125 μm, and mixed in a drum mill at a rotation speed of 27 rpm.

20分間の混合に次いで、前記混合物17は、粒径335〜710μmの非晶質石英ガラス顆粒18、約7.6kgを添加され、ドラムミル中で回転速度25rpmで混合される。このように製造された複合スリップ19は固形分含有量90%、粘度1531mPas、密度2.0g/cm3である。 Following mixing for 20 minutes, the mixture 17 is added about 7.6 kg of amorphous quartz glass granules 18 having a particle size of 335-710 μm and mixed in a drum mill at a rotational speed of 25 rpm. The composite slip 19 thus produced has a solid content of 90%, a viscosity of 1531 mPas, and a density of 2.0 g / cm 3 .

次いで、前記均質ベーススリップ19から、素地20が形成される。そのために適する方法は多数ある。ここでは数例が模範的手法により例示される。 Next, a substrate 20 is formed from the homogeneous base slip 19. There are many ways to do this. Here, several examples are illustrated by an exemplary technique.

・前記ベーススリップ19は、市販のダイカスト製造機のダイカスト成形型に注入され、多孔質素地20の形成中に、多孔質プラスチック膜を通じ脱水される。
結合水を脱水するため、前記素地20は換気炉内で約200℃で乾燥され、その後に1430℃で焼結され、不透明複合材21を得る。
The base slip 19 is poured into a die casting mold of a commercially available die casting machine and dehydrated through the porous plastic film during the formation of the porous substrate 20.
In order to dehydrate the bound water, the substrate 20 is dried at about 200 ° C. in a ventilated furnace and then sintered at 1430 ° C. to obtain an opaque composite 21.

・前記複合スリップ19は、フッ化アンモニウムといったゲル形成剤を添加されることで、プラスチック成形型に注入され、固化後、素地20として成形型から取り出される。この場合には、乾燥割れを回避するために、緩徐な乾燥処理が必要である。 The composite slip 19 is injected into a plastic mold by adding a gel forming agent such as ammonium fluoride, and after solidifying, is taken out from the mold as a base 20. In this case, a slow drying process is necessary to avoid dry cracking.

・前記均質ベーススリップ19は、フッ化アンモニウムといったゲル形成剤が添加される。これにより粘性の塊がもたらされ、適当な成形型にプレスされ、内部で固化する。 -The homogeneous base slip 19 is added with a gel-forming agent such as ammonium fluoride. This results in a viscous mass that is pressed into a suitable mold and solidifies inside.

・前記複合スリップ19は、固体炭酸中に埋め込まれた膜成形型に注入される。これは、急速な氷形成とともに、素地20の形成における前記複合スリップの迅速な凝固に有効である。前記複合スリップ19に市販の調剤(Tschimmer & Schwarz社のOptapix PFA 35)を添加することで、粗大な針状氷結晶の形成が抑制される。衝撃凍結された素地20は、膜成形型から取り出され、凍結状態のままで直ちに、予め50℃に加熱した循環気式乾燥キャビネットに導入され、数時間乾燥される。この方法では水分の再凝集および、針状氷結晶および素地構造の破壊を伴う表面上での再凍結が回避される。
 乾燥後の素地20は、1250℃で2時間焼結され、不透明石英ガラスの複合材21が得られる。
 前記複合材は密度2.1g/cm3である。これは、前記石英ガラス顆粒が埋め込まれた、斉一な微細気孔の均質構造を有するマトリックスを包含する。前記複合材は、特にケイ素溶解物に対する高い熱衝撃耐性と優れた耐薬品性を特徴とする。この総収縮(乾燥および焼結における収縮)は、成形型の寸法と比して、1.1%の収縮である。
 前記複合材から、ソーラーシリコン溶融用の、長方形断面を有する永久成形型が製造される。前記永久成形型は850mm×850mm×500mmの寸法である。前記成形型の内壁に適用される、Si3N4被膜形態である分離層は、高い接着力を示す。
The composite slip 19 is injected into a film mold embedded in solid carbonic acid. This is effective for rapid solidification of the composite slip in the formation of the substrate 20 as well as rapid ice formation. By adding a commercially available preparation (Optapix PFA 35 from Tschimmer & Schwarz) to the composite slip 19, formation of coarse needle-like ice crystals is suppressed. The base material 20 subjected to impact freezing is taken out from the film mold, and immediately introduced into a circulating drying cabinet heated to 50 ° C. in a frozen state, and dried for several hours. This method avoids re-aggregation of water and refreezing on the surface with the destruction of needle-like ice crystals and substrate structure.
The substrate 20 after drying is sintered at 1250 ° C. for 2 hours to obtain the opaque quartz glass composite material 21.
The composite material has a density of 2.1 g / cm 3 . This includes a matrix having a homogeneous structure of uniform fine pores embedded with the quartz glass granules. The composite material is particularly characterized by high thermal shock resistance and excellent chemical resistance to silicon melts. This total shrinkage (shrinkage during drying and sintering) is 1.1% shrinkage compared to the mold dimensions.
From the composite material, a permanent mold having a rectangular cross section for melting solar silicon is produced. The permanent mold has dimensions of 850 mm × 850 mm × 500 mm. The separation layer in the form of a Si 3 N 4 coating applied to the inner wall of the mold exhibits high adhesion.

複合スリップ中のSiO粒子および石英ガラス顆粒の粒度分布グラフ図。The particle size distribution graph of the SiO 2 particles and quartz glass granules in the composite slip. 本発明の方法に基づく複合材の製造工程のフローチャート図。The flowchart figure of the manufacturing process of the composite material based on the method of this invention.

Claims (20)

 100μmオーダー以下のサイズの非晶質SiO粒子ならびに100μmオーダー以上のサイズの石英ガラス顆粒を含有するスリップの製造、前記スリップの均質化、前記スリップの成形型への導入、および乾燥による多孔質素地の形成、および前記素地の焼結により不透明石英ガラス複合材を得る、不透明石英ガラス複合材の製造方法であって、
 液体中で非晶質SiO顆粒の細粒化を行うことで、D50値が15μm以下かつD90値が50μm以下であることを特徴とする粒径および粒度分布を有するSiO粒子を得、またpH値の低下により、少なくとも75重量%の固形分含有量を有する均質ベーススリップを製造し、また前記石英ガラス顆粒が前記均質ベーススリップに混合されることにより、少なくとも1.85g/cm3の密度である複合スリップを形成することを特徴とする不透明石英ガラス複合材の製造方法。
Production of slips containing amorphous SiO 2 particles with a size of the order of 100 μm or less and quartz glass granules with a size of the order of 100 μm or more, homogenization of the slip, introduction of the slip into a mold, and porous substrate by drying And a method for producing an opaque quartz glass composite material, wherein an opaque quartz glass composite material is obtained by sintering the substrate,
A SiO 2 particle having a particle size and particle size distribution characterized by having a D 50 value of 15 μm or less and a D 90 value of 50 μm or less is obtained by refining amorphous SiO 2 granules in a liquid. and by lowering the pH value, to produce a homogeneous base slip having at least 75% by weight of the solids content, also by the quartz glass granules are mixed into the homogeneous base slip, of at least 1.85 g / cm 3 A method for producing an opaque quartz glass composite material comprising forming a composite slip having a density.
 前期ベーススリップの細粒化ならびに均質化が、少なくとも12時間、望ましくは少なくとも36時間であることを特徴とする請求項1の方法。 The method of claim 1 wherein the pre-base slip refinement and homogenization is at least 12 hours, preferably at least 36 hours.  前記細粒化により、D50値が9μm以下かつD90値が40μm以下であることを特徴とする粒径および粒度分布を有するSiO粒子を製造することを特徴とする請求項1または2の方法。 3. The SiO 2 particles having a particle size and a particle size distribution, wherein the D 50 value is 9 μm or less and the D 90 value is 40 μm or less are produced by the fine graining. Method.  前記ベーススリップ中のSiO粒子の10重量%以下が、1μm以下の粒径を有することを特徴とする上述のいずれか一つの請求項の方法。 The base 10 wt% of SiO 2 particles in the slip below, The process of any one of claims above, characterized in that it has a particle size of less than 1 [mu] m.  ベーススリップが固形分含有量81〜85重量%の範囲で製造されることを特徴とする上述のいずれか一つの請求項の方法。 The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the base slip is produced with a solids content in the range 81-85% by weight. 前記ベーススリップが、前記石英ガラス顆粒の混合に先立って、液体の添加により希釈されることを特徴とする上述のいずれか一つの請求項の方法。 A method according to any one of the preceding claims, wherein the base slip is diluted by addition of liquid prior to mixing of the quartz glass granules.  前記ベーススリップが、前記石英ガラス顆粒の混合に先立って、固形分含有量75〜80重量%にまで希釈されることを特徴とする請求項6の方法。 The method of claim 6, wherein the base slip is diluted to a solids content of 75 to 80 wt% prior to mixing of the quartz glass granules. 前記SiO顆粒の当初の平均粒径が0.2〜3mmの範囲であることを特徴とする上述のいずれか一つの請求項の方法。 The method of any one of claims above, characterized in that the initial average particle diameter of the SiO 2 granules is in the range of 0.2 to 3 mm. 前記ベーススリップ中に添加される前記石英ガラス顆粒が、200〜1000μmの範囲の平均粒径(D50値)を有し、望ましくは250〜400μmの範囲であることを特徴とする上述のいずれか一つの請求項の方法。 Any of the above, wherein the quartz glass granules added into the base slip have an average particle size (D 50 value) in the range of 200-1000 μm, preferably in the range of 250-400 μm The method of one claim. 石英ガラス顆粒全重量中に存在する微細石英ガラス粒子の量が3〜5重量%の範囲にあることを条件として、粒径50〜200μmの範囲の微細石英ガラス粒子が用いられることを特徴とする上述のいずれか一つの請求項の方法。 Fine quartz glass particles having a particle size in the range of 50 to 200 μm are used on condition that the amount of fine quartz glass particles present in the total weight of the quartz glass granules is in the range of 3 to 5% by weight. The method of any one of the preceding claims.  前記ベーススリップのpH値が、酸を添加することより調整されることを特徴とする上述のいずれか一つの請求項の方法。 The method according to any one of the preceding claims, wherein the pH value of the base slip is adjusted by adding an acid. 前記複合スリップの固形分全重量中に存在する前記ベーススリップ由来の固形分の含有量が、30〜60重量%の範囲であることを特徴とする上述のいずれか一つの請求項の方法。 The method according to any one of the preceding claims, wherein the content of solids derived from the base slip present in the total solids weight of the composite slip is in the range of 30-60% by weight. 前記複合スリップが、少なくとも1.95g/cm3の密度を有することを特徴とする上述のいずれか一つの請求項の方法。 The method of any one of the preceding claims, wherein the composite slip has a density of at least 1.95 g / cm 3 . 前記複合スリップに、種結晶形成物質が添加されることを特徴とする上述のいずれか一つの請求項の方法。 A method according to any one of the preceding claims, characterized in that a seed crystal-forming substance is added to the composite slip. 望ましくは石英ガラスの結晶化促進物質として、チタン酸バリウムまたは炭酸バリウムが用いられることを特徴とする請求項14の方法。 15. The method according to claim 14, wherein barium titanate or barium carbonate is preferably used as a crystallization accelerator for quartz glass. 前記複合スリップが、前記液体の凝固点以下にまで冷却された成形型に注入されることを特徴とする上述のいずれか一つの請求項の方法。 A method according to any one of the preceding claims, wherein the composite slip is injected into a mold cooled to below the freezing point of the liquid. 前記複合スリップに、氷結晶の形成を抑制する有機物質が混合されることを特徴とする請求項15の方法。 16. The method of claim 15, wherein the composite slip is mixed with an organic material that inhibits the formation of ice crystals. 前記素地が凍結状態で成形型から取り出され、乾燥室に導入され、40〜80℃の範囲の温度で水分を除去されつつ加熱されることを特徴とする請求項16または17の方法。 The method according to claim 16 or 17, wherein the substrate is taken out of the mold in a frozen state, introduced into a drying chamber, and heated while removing moisture at a temperature in the range of 40 to 80 ° C. 少なくとも1.94g/cm3の密度を有することを特徴とする石英ガラス顆粒が埋め込まれるSiO含有マトリックスを包含する複合材。 A composite comprising a SiO 2 -containing matrix in which quartz glass granules are embedded, characterized in that it has a density of at least 1.94 g / cm 3 .  ソーラーシリコン溶融用の永久成形型製造の出発材料として、請求項1〜18により製造された前記複合材の利用法。
Use of the composite material produced according to claims 1-18 as a starting material for the production of a permanent mold for melting solar silicon.
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