JP2004079358A - 画像形成装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ゲッタを有する画像形成装置において、真空容器内に発生したガスを速やかに除去し、表示を安定化させる。
【解決手段】蛍光膜、メタルバック、ゲッタ膜を有するフェースプレートと、電子放出素子を有するリアプレートを対向配置した画像形成装置であって、フェースプレートの画像形成部の外周に形成された凹凸部まで被覆した蒸発型ゲッタを設けることにより外周部のゲッタ表面積を大きく取れ、外周部からの脱ガスについても速やかに除去できる。
【選択図】 図1
【解決手段】蛍光膜、メタルバック、ゲッタ膜を有するフェースプレートと、電子放出素子を有するリアプレートを対向配置した画像形成装置であって、フェースプレートの画像形成部の外周に形成された凹凸部まで被覆した蒸発型ゲッタを設けることにより外周部のゲッタ表面積を大きく取れ、外周部からの脱ガスについても速やかに除去できる。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空容器内に、電子放出素子と、該電子放出素子から放出された電子線の照射により画像を形成する画像形成部材(蛍光体)とを備えた画像形成装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
電子放出素子より放出された電子ビームを画像形成部材である蛍光体に照射し、蛍光体を発光させて画像を形成する装置においては、電子放出素子と画像形成部材を内包する真空容器の内部を高真空に保持しなければならない。それは、真空容器内部にガスが発生し、圧力が上昇すると、その影響の程度はガスの種類により異なるが、電子放出素子に悪影響を及ぼして電子放出量を低下させ、画像の安定表示ができなくなるためである。また、発生したガスが、電子ビームにより電離されてイオンとなり、これが電子を加速するための電界により加速されて電子放出素子に衝突することで、電子放出素子に損傷を与えることもある。
【0003】
通常、画像表示装置の真空容器はガラス部材を組み合わせて、接合部をフリットガラスなどにより接着して形成されており、一旦接合が完了した後の圧力の維持は、真空容器内に設置されたゲッタによって行われる。
【0004】
通常のCRTでは、Baを主成分とする合金を、真空容器内で通電あるいは高周波により加熱し、容器内壁に蒸着膜を形成、これにより内部で発生したガスを吸着して高真空を維持している。
【0005】
一方、多数の電子放出素子を平面基板上に配置した電子放出素子を用いた平板状ディスプレイの開発が進められているが、この場合、真空容器の容積はCRTに比べ小さくなるのに対し、ガスを放出する壁面の面積は減少せず、このため同程度のガスの発生があった場合の容器内の圧力の上昇が大きくなり、これによる悪影響は深刻になる。また、CRTでは真空容器内部に、電子放出素子や画像表示部材のない壁面が十分にあって、この部分に上述のようなゲッタ材を蒸着することができるが、平板状ディスプレイの場合は、真空容器内面の面積の多くを、電子放出素子と画像形成部材が占めている。この部分に上記のような蒸着型のゲッタ膜が付着すると、配線のショートなどの悪影響が生ずるため、ゲッタ膜を形成できる場所は限定される。
【0006】
このような画像表示装置における、真空容器内でのガスの発生の問題には、上記のような問題の他、局所的に圧力が上昇しやすいという問題がある。画像形成装置においては、画像表示部材と電子放出素子が、接近しているため、画像形成部材から発生したガスは、十分拡散する前に電子放出素子に到達して、局所的な圧力上昇をもたらす。特に画像形成領域の中央部では、ゲッタ膜を形成した領域まで、拡散することができないため、周辺部に比べ局所的な圧力上昇がより大きく現れるものと考えられる。発生したガスは、電子放出素子から放出されて電子によりイオン化され、電子放出素子と画像表示部材の間に形成された電界によって加速され、電子放出素子に損傷を及ぼしたり、放電を生じせしめて電子放出素子を破壊したりする場合がある。
【0007】
この様な事情を考慮して、特定の構造を有する平板状の画像表示装置では、画像形成領域内にゲッタ材を配置して、発生したガスを即座に吸着するようにした構成が特開平8−22785や特開平9−82245に開示されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の平板状画像形成装置では、画像表示領域内にゲッタ材を配置することにより、発生したガスが即座に吸着できるものの、画像表示領域外から発生したガスは画像表示領域内の外周部で吸着されるため、画面中央部に比べガスの除去が不十分だったり、ゲッタの劣化が早くなったりして,表示が不安定になる場合があった。
【0009】
特に、フェースプレートとリアプレートとの基板間隔が1〜2mmと大きく、支持枠を介して構成される平板状画像表示装置では画像形成部外の部分からの放出ガスも多くなるため、画像形成部のゲッタ材のみでは除去しきれず画像形成部の外側からゲッタ材の劣化により表示が不安定になる場合があった。
【0010】
本発明は、以上述べた不都合を解消し得る画像形成装置の提供を目的とするもので、特に、輝度の経時的変化(経時的低下)の少ない画像形成装置の提供を目的とする。又、本発明は、画像形成領域内での経時的な輝度バラツキの発生の少ない画像形成装置の提供を目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明の画像形成装置の特徴としては、蛍光体、メタルバック及びゲッタ材を有するフェースプレートと、電子放出素子を有するリアプレートを対向配置した画像形成装置であって、
フェースプレートの画像形成部及び該画像形成部の外側に形成した凹凸部にまで被覆したゲッタ材を設けた画像形成装置であり、
更に前記外側に形成した凹凸部が局所的に表面積を大きくした構成である画像形成装置であり、
更に前記外側に形成した凹凸部が印刷により形成された粒状の銀膜である画像形成装置であり、
更に前記外側に形成した凹凸部が印刷で形成された粒状の蛍光体である画像形成装置であり、
更に前記外側に形成した凹凸部が印刷で形成されたストライプ状の膜である画像形成装置であり、
更に前記ゲッタ材がBaを主成分とした合金である画像形成装置であり、
更に前記電子放出素子が表面伝導型電子放出素子である画像形成装置でもある。
【0012】
上記のとおり構成された本発明の画像形成装置では、フェースプレートの画像形成部及び該画像形成部の外周に形成した凹凸部にまで被覆したゲッタ材を設けることにより、外周部で発生したガスは表面積の大きく形成された凹凸部上のゲッタ材により吸着させることにより、画像形成部内のゲッタ材のガス吸着を低減できるため、画像形成部内のゲッタ材が、局所的に劣化することが無く、安定した表示が行なえるものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の好ましい態様を例に挙げて、図1を用いて説明する。図1は本発明の画像形成装置を示す概略断面図である。
【0014】
1は電子放出素子であり、2はリアプレート、3は蛍光体、4はメタルバック、5はゲッタ材、6は凹凸部、7は画像形成部、8はフェースプレート、9は支持枠である。
【0015】
電子放出素子1は適正な電圧を印加することにより電子を放出する素子であり、電界放出素子(FED)や表面伝導型電子放出素子等を用いることができる。リアプレート2はガラス等の基体上に複数の電子放出素子1を配置し、適当な配線を施したものである。蛍光体3は電子照射により発光し画像形成を行なうものであり、通常はフルカラー表示のための3原色(R,G,B)の蛍光体に分けられ形成されている。メタルバック4は蛍光体から発生した光を反射させ輝度を向上させるものであるとともに、フェースプレート8の画像形成部7に導電性を与えて、電荷が蓄積されるのを防ぎ、電子放出素子1に対してアノード電極の役割を果たすものであり、Al等の薄膜で構成される。
【0016】
ゲッタ材5は電子放出素子1、蛍光体3、メタルバック4等から発生したガスを吸着するものであり、Baを主要成分とする合金などを蒸着したものを用いることができる。尚,ゲッタとして十分な量のガスを吸着するためには、ある程度の体積が必要となり、従って、膜厚があまり小さくなると、ゲッタとしての能力が不足するので、この点から厚さの下限が定められる。又、メタルバック4及びゲッタ材5のトータル厚さが厚すぎると入射してくる電子ビームが十分蛍光体まで到達しなくなるため輝度が低下してしまうため適当な厚さとする必要がある。このためメタルバックとゲッタ材を含め100nm以下が好ましい。
【0017】
画像形成部7は電子放出素子1からの電子放出により、蛍光体3が発光する領域を示している。
【0018】
凹凸部6は本発明を特徴づけるものであって画像形成部7の外側に形成されており,その上部にはゲッタ材5が画像形成部7と同様に形成されている。凹凸部6はゲッタ材の表面積を大きくとり、ガスの吸着を増加することが重要な役目のため、ストライプ状や、ブロック状の構造体を形成するのが好ましい。更に好ましくは粒状の構造物で形成するのが良く、これらには銀ペーストを印刷したものや蛍光体を用いることができる。例えば、球状に近い粒状の構造物を模して形成すると、平面状に形成した場合に比べて表面積を1.5〜2倍程度増加することが可能である。また、ポーラス状のものを形成すれば更に表面積を増加することも可能である。この凹凸部6上に形成されたゲッタ材5は特に画像形成部7の外周から発生したガスを吸着するために設けられている。
【0019】
フェースプレート8は蛍光体3、メタルバック4、ゲッタ材5、凹凸部6等から構成されている。本発明の画像形成装置は支持枠9を介してフェースプレート8、リアプレート2を対向配置させ、フリットガラス、低融点金属などを用いて互いに接合することにより真空容器である画像形成装置を形成している。尚,ここで図示してないが内部の間隔は均一になるように大気圧支持構造であるスペーサが設置されている。
【0020】
これらのようにして、画像形成部7等から発生したガスは画像形成部上のゲッタ材が主として吸着し、画像形成部外、特に外周部の支持枠等から発生したガスは凹凸部6上のゲッタ材が主として吸着することで安定な表示を維持することができる。
【0021】
以下に好ましい実施例を挙げて、本発明を更に詳述する。
【0022】
(実施例1)
図1は本発明の画像形成装置の第一実施例を示す概略断面図である。図2は本発明に用いた表面伝導型電子放出素子の構成を示す部分平面図である。図3は本発明の画像形成装置の概略平面図である。
【0023】
本発明の画像形成装置はフェースプレート8とリアプレート2を対向配置させ支持枠9を介して低融点ガラス等により接合したものであり、内部は10−6〜10−8Paの高真空に維持されている。尚、ここで図示してないが内部の間隔は均一になるように大気圧支持構造であるスペーサが形成されている。
【0024】
リアプレート2はガラス基体の表面に複数の電子放出素子1を配置し、適当な配線により外部に取り出されている。
【0025】
本実施例では電子放出素子1として表面伝導型電子放出素子をもちいた。電子放出素子1は図2の様に素子電極101,102に渡って形成された電子放出部を含む導電性膜103に電圧を印加することにより、電子放出部より電子を放出するものである。ここで素子電極としてはPt/Tiの薄膜(50nm)をパターニングし電極間ギャップ10μmのものを用いた。続いて信号配線104として銀ペーストを用いスクリーン印刷により形成した。厚さは10μm、幅は50μmとした。続いて層間絶縁層105として酸化鉛を主としたペーストを用いスクリーン印刷により形成した。厚さは30μm幅は100μmとした。続いて走査配線106として銀ペーストを用いスクリーン印刷により形成した。厚さは15μm幅は300μmとした。ここで素子電極101と走査配線106、素子電極102と信号配線104はそれぞれ電気的に接続されており、走査配線106及び信号配線104に選択的に電圧を印加することにより、選択的に電子放出が行なえるようになっている。尚,図2では4ケの電子放出素子しか図示されていないが、実際テレビ画像を形成するため数十万素子以上が形成されている。さらに支持枠9を低融点ガラスを用いリアプレート2接着した。
【0026】
フェースプレート8はリアプレートと同様にガラス基体上に各部材を形成したものである。蛍光体3として赤色蛍光体、青色蛍光体、緑色蛍光体をスクリーン印刷により、ストライプ状に塗り分けた。尚,ここでは図示していないがブラックストライプとして蛍光体と蛍光体の間に黒色材を形成した。メタルバック4としてはフィルミング法によりAlを80nm厚蒸着した物を用いた。凹凸部6としては銀ペーストをスクリーン印刷法により画像形成部の外周に幅10mm厚さ6μm形成した。尚、焼成後の銀パターンの表面は数μmの粒状膜であった。このため凹凸部6としては平面と比して約1.5〜2倍程度の表面積を得ることできる。
【0027】
以上、支持枠9が接合したリアプレート2とフェースプレート8を真空容器内に導入し、ゲッタ材5としてBaAl4粉末を真空容器内で図3の概略平面図に示したように画像形成部7上および、その外周に形成された凹凸部6上に形成した。厚さ30nmのBaをマスク蒸着することで凹凸部6及び画像形成部7の領域に形成した。その後、真空状態を維持したままホットプレートで加熱することで支持枠9を介し、フェースプレート8とリアプレート2を低融点金属で接合し、冷却後取り出すことで画像形成装置を形成した。
【0028】
本実施例の画像形成装置を用いて長時間画像形成を行なったが、画像形成部内で局所的に輝度が劣化することも無く、安定に表示できることを確認した。
【0029】
(実施例2)
図4は本発明の画像形成装置の第二実施例を示す概略断面図である。
【0030】
本実施例では凹凸部10を黒色導電材を用いたストライプ状のパターンに変更した以外は実施例一と同様に形成した。ストライプ状パターンとしてはライン&スペース40μm厚さ10μmとして100ライン蛍光体間に配置される黒色導電材(ブラックストライプ)と同時にスクリーン印刷法により形成した。実施例一と同様に長時間画像形成を行なったが、画像形成部内で局所的に輝度が劣化することも無く、安定に表示できることを確認した。
【0031】
【発明の効果】
以上、述べたように本発明によれば、フェースプレートの画像形成部及び該画像形成部の外周に形成した凹凸部にまで被覆したゲッタ材を設けることにより、外周部で発生したガスは表面積の大きく形成された凹凸部上のゲッタ材により吸着されるため、画像形成部内のゲッタ材のガス吸着を低減できるため、画像形成部内のゲッタ材が、局所的に劣化することが無く、安定した表示が行なえるものである。これらにより長時間動作させた場合でも、安定で画像形成領域内での経時的な輝度バラツキの発生の少ない画像形成装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の画像形成装置の第一実施例を示す概略断面図である。
【図2】本発明に用いた表面伝導型電子放出素子の構成を示す部分平面図である。
【図3】本発明の画像形成装置の概略平面図である。
【図4】本発明の画像形成装置の第二実施例を示す概略断面図である。
【符号の説明】
1 電子放出素子
2 リアプレート
3 蛍光体
4 メタルバック
5 ゲッタ材
6 凹凸部
7 画像形成部
8 フェースプレート
9 支持枠
101、102 素子電極
103 電子放出素子を含む導電性膜
104 信号配線
105 層間絶縁層
106 走査配線
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空容器内に、電子放出素子と、該電子放出素子から放出された電子線の照射により画像を形成する画像形成部材(蛍光体)とを備えた画像形成装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
電子放出素子より放出された電子ビームを画像形成部材である蛍光体に照射し、蛍光体を発光させて画像を形成する装置においては、電子放出素子と画像形成部材を内包する真空容器の内部を高真空に保持しなければならない。それは、真空容器内部にガスが発生し、圧力が上昇すると、その影響の程度はガスの種類により異なるが、電子放出素子に悪影響を及ぼして電子放出量を低下させ、画像の安定表示ができなくなるためである。また、発生したガスが、電子ビームにより電離されてイオンとなり、これが電子を加速するための電界により加速されて電子放出素子に衝突することで、電子放出素子に損傷を与えることもある。
【0003】
通常、画像表示装置の真空容器はガラス部材を組み合わせて、接合部をフリットガラスなどにより接着して形成されており、一旦接合が完了した後の圧力の維持は、真空容器内に設置されたゲッタによって行われる。
【0004】
通常のCRTでは、Baを主成分とする合金を、真空容器内で通電あるいは高周波により加熱し、容器内壁に蒸着膜を形成、これにより内部で発生したガスを吸着して高真空を維持している。
【0005】
一方、多数の電子放出素子を平面基板上に配置した電子放出素子を用いた平板状ディスプレイの開発が進められているが、この場合、真空容器の容積はCRTに比べ小さくなるのに対し、ガスを放出する壁面の面積は減少せず、このため同程度のガスの発生があった場合の容器内の圧力の上昇が大きくなり、これによる悪影響は深刻になる。また、CRTでは真空容器内部に、電子放出素子や画像表示部材のない壁面が十分にあって、この部分に上述のようなゲッタ材を蒸着することができるが、平板状ディスプレイの場合は、真空容器内面の面積の多くを、電子放出素子と画像形成部材が占めている。この部分に上記のような蒸着型のゲッタ膜が付着すると、配線のショートなどの悪影響が生ずるため、ゲッタ膜を形成できる場所は限定される。
【0006】
このような画像表示装置における、真空容器内でのガスの発生の問題には、上記のような問題の他、局所的に圧力が上昇しやすいという問題がある。画像形成装置においては、画像表示部材と電子放出素子が、接近しているため、画像形成部材から発生したガスは、十分拡散する前に電子放出素子に到達して、局所的な圧力上昇をもたらす。特に画像形成領域の中央部では、ゲッタ膜を形成した領域まで、拡散することができないため、周辺部に比べ局所的な圧力上昇がより大きく現れるものと考えられる。発生したガスは、電子放出素子から放出されて電子によりイオン化され、電子放出素子と画像表示部材の間に形成された電界によって加速され、電子放出素子に損傷を及ぼしたり、放電を生じせしめて電子放出素子を破壊したりする場合がある。
【0007】
この様な事情を考慮して、特定の構造を有する平板状の画像表示装置では、画像形成領域内にゲッタ材を配置して、発生したガスを即座に吸着するようにした構成が特開平8−22785や特開平9−82245に開示されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の平板状画像形成装置では、画像表示領域内にゲッタ材を配置することにより、発生したガスが即座に吸着できるものの、画像表示領域外から発生したガスは画像表示領域内の外周部で吸着されるため、画面中央部に比べガスの除去が不十分だったり、ゲッタの劣化が早くなったりして,表示が不安定になる場合があった。
【0009】
特に、フェースプレートとリアプレートとの基板間隔が1〜2mmと大きく、支持枠を介して構成される平板状画像表示装置では画像形成部外の部分からの放出ガスも多くなるため、画像形成部のゲッタ材のみでは除去しきれず画像形成部の外側からゲッタ材の劣化により表示が不安定になる場合があった。
【0010】
本発明は、以上述べた不都合を解消し得る画像形成装置の提供を目的とするもので、特に、輝度の経時的変化(経時的低下)の少ない画像形成装置の提供を目的とする。又、本発明は、画像形成領域内での経時的な輝度バラツキの発生の少ない画像形成装置の提供を目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明の画像形成装置の特徴としては、蛍光体、メタルバック及びゲッタ材を有するフェースプレートと、電子放出素子を有するリアプレートを対向配置した画像形成装置であって、
フェースプレートの画像形成部及び該画像形成部の外側に形成した凹凸部にまで被覆したゲッタ材を設けた画像形成装置であり、
更に前記外側に形成した凹凸部が局所的に表面積を大きくした構成である画像形成装置であり、
更に前記外側に形成した凹凸部が印刷により形成された粒状の銀膜である画像形成装置であり、
更に前記外側に形成した凹凸部が印刷で形成された粒状の蛍光体である画像形成装置であり、
更に前記外側に形成した凹凸部が印刷で形成されたストライプ状の膜である画像形成装置であり、
更に前記ゲッタ材がBaを主成分とした合金である画像形成装置であり、
更に前記電子放出素子が表面伝導型電子放出素子である画像形成装置でもある。
【0012】
上記のとおり構成された本発明の画像形成装置では、フェースプレートの画像形成部及び該画像形成部の外周に形成した凹凸部にまで被覆したゲッタ材を設けることにより、外周部で発生したガスは表面積の大きく形成された凹凸部上のゲッタ材により吸着させることにより、画像形成部内のゲッタ材のガス吸着を低減できるため、画像形成部内のゲッタ材が、局所的に劣化することが無く、安定した表示が行なえるものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の好ましい態様を例に挙げて、図1を用いて説明する。図1は本発明の画像形成装置を示す概略断面図である。
【0014】
1は電子放出素子であり、2はリアプレート、3は蛍光体、4はメタルバック、5はゲッタ材、6は凹凸部、7は画像形成部、8はフェースプレート、9は支持枠である。
【0015】
電子放出素子1は適正な電圧を印加することにより電子を放出する素子であり、電界放出素子(FED)や表面伝導型電子放出素子等を用いることができる。リアプレート2はガラス等の基体上に複数の電子放出素子1を配置し、適当な配線を施したものである。蛍光体3は電子照射により発光し画像形成を行なうものであり、通常はフルカラー表示のための3原色(R,G,B)の蛍光体に分けられ形成されている。メタルバック4は蛍光体から発生した光を反射させ輝度を向上させるものであるとともに、フェースプレート8の画像形成部7に導電性を与えて、電荷が蓄積されるのを防ぎ、電子放出素子1に対してアノード電極の役割を果たすものであり、Al等の薄膜で構成される。
【0016】
ゲッタ材5は電子放出素子1、蛍光体3、メタルバック4等から発生したガスを吸着するものであり、Baを主要成分とする合金などを蒸着したものを用いることができる。尚,ゲッタとして十分な量のガスを吸着するためには、ある程度の体積が必要となり、従って、膜厚があまり小さくなると、ゲッタとしての能力が不足するので、この点から厚さの下限が定められる。又、メタルバック4及びゲッタ材5のトータル厚さが厚すぎると入射してくる電子ビームが十分蛍光体まで到達しなくなるため輝度が低下してしまうため適当な厚さとする必要がある。このためメタルバックとゲッタ材を含め100nm以下が好ましい。
【0017】
画像形成部7は電子放出素子1からの電子放出により、蛍光体3が発光する領域を示している。
【0018】
凹凸部6は本発明を特徴づけるものであって画像形成部7の外側に形成されており,その上部にはゲッタ材5が画像形成部7と同様に形成されている。凹凸部6はゲッタ材の表面積を大きくとり、ガスの吸着を増加することが重要な役目のため、ストライプ状や、ブロック状の構造体を形成するのが好ましい。更に好ましくは粒状の構造物で形成するのが良く、これらには銀ペーストを印刷したものや蛍光体を用いることができる。例えば、球状に近い粒状の構造物を模して形成すると、平面状に形成した場合に比べて表面積を1.5〜2倍程度増加することが可能である。また、ポーラス状のものを形成すれば更に表面積を増加することも可能である。この凹凸部6上に形成されたゲッタ材5は特に画像形成部7の外周から発生したガスを吸着するために設けられている。
【0019】
フェースプレート8は蛍光体3、メタルバック4、ゲッタ材5、凹凸部6等から構成されている。本発明の画像形成装置は支持枠9を介してフェースプレート8、リアプレート2を対向配置させ、フリットガラス、低融点金属などを用いて互いに接合することにより真空容器である画像形成装置を形成している。尚,ここで図示してないが内部の間隔は均一になるように大気圧支持構造であるスペーサが設置されている。
【0020】
これらのようにして、画像形成部7等から発生したガスは画像形成部上のゲッタ材が主として吸着し、画像形成部外、特に外周部の支持枠等から発生したガスは凹凸部6上のゲッタ材が主として吸着することで安定な表示を維持することができる。
【0021】
以下に好ましい実施例を挙げて、本発明を更に詳述する。
【0022】
(実施例1)
図1は本発明の画像形成装置の第一実施例を示す概略断面図である。図2は本発明に用いた表面伝導型電子放出素子の構成を示す部分平面図である。図3は本発明の画像形成装置の概略平面図である。
【0023】
本発明の画像形成装置はフェースプレート8とリアプレート2を対向配置させ支持枠9を介して低融点ガラス等により接合したものであり、内部は10−6〜10−8Paの高真空に維持されている。尚、ここで図示してないが内部の間隔は均一になるように大気圧支持構造であるスペーサが形成されている。
【0024】
リアプレート2はガラス基体の表面に複数の電子放出素子1を配置し、適当な配線により外部に取り出されている。
【0025】
本実施例では電子放出素子1として表面伝導型電子放出素子をもちいた。電子放出素子1は図2の様に素子電極101,102に渡って形成された電子放出部を含む導電性膜103に電圧を印加することにより、電子放出部より電子を放出するものである。ここで素子電極としてはPt/Tiの薄膜(50nm)をパターニングし電極間ギャップ10μmのものを用いた。続いて信号配線104として銀ペーストを用いスクリーン印刷により形成した。厚さは10μm、幅は50μmとした。続いて層間絶縁層105として酸化鉛を主としたペーストを用いスクリーン印刷により形成した。厚さは30μm幅は100μmとした。続いて走査配線106として銀ペーストを用いスクリーン印刷により形成した。厚さは15μm幅は300μmとした。ここで素子電極101と走査配線106、素子電極102と信号配線104はそれぞれ電気的に接続されており、走査配線106及び信号配線104に選択的に電圧を印加することにより、選択的に電子放出が行なえるようになっている。尚,図2では4ケの電子放出素子しか図示されていないが、実際テレビ画像を形成するため数十万素子以上が形成されている。さらに支持枠9を低融点ガラスを用いリアプレート2接着した。
【0026】
フェースプレート8はリアプレートと同様にガラス基体上に各部材を形成したものである。蛍光体3として赤色蛍光体、青色蛍光体、緑色蛍光体をスクリーン印刷により、ストライプ状に塗り分けた。尚,ここでは図示していないがブラックストライプとして蛍光体と蛍光体の間に黒色材を形成した。メタルバック4としてはフィルミング法によりAlを80nm厚蒸着した物を用いた。凹凸部6としては銀ペーストをスクリーン印刷法により画像形成部の外周に幅10mm厚さ6μm形成した。尚、焼成後の銀パターンの表面は数μmの粒状膜であった。このため凹凸部6としては平面と比して約1.5〜2倍程度の表面積を得ることできる。
【0027】
以上、支持枠9が接合したリアプレート2とフェースプレート8を真空容器内に導入し、ゲッタ材5としてBaAl4粉末を真空容器内で図3の概略平面図に示したように画像形成部7上および、その外周に形成された凹凸部6上に形成した。厚さ30nmのBaをマスク蒸着することで凹凸部6及び画像形成部7の領域に形成した。その後、真空状態を維持したままホットプレートで加熱することで支持枠9を介し、フェースプレート8とリアプレート2を低融点金属で接合し、冷却後取り出すことで画像形成装置を形成した。
【0028】
本実施例の画像形成装置を用いて長時間画像形成を行なったが、画像形成部内で局所的に輝度が劣化することも無く、安定に表示できることを確認した。
【0029】
(実施例2)
図4は本発明の画像形成装置の第二実施例を示す概略断面図である。
【0030】
本実施例では凹凸部10を黒色導電材を用いたストライプ状のパターンに変更した以外は実施例一と同様に形成した。ストライプ状パターンとしてはライン&スペース40μm厚さ10μmとして100ライン蛍光体間に配置される黒色導電材(ブラックストライプ)と同時にスクリーン印刷法により形成した。実施例一と同様に長時間画像形成を行なったが、画像形成部内で局所的に輝度が劣化することも無く、安定に表示できることを確認した。
【0031】
【発明の効果】
以上、述べたように本発明によれば、フェースプレートの画像形成部及び該画像形成部の外周に形成した凹凸部にまで被覆したゲッタ材を設けることにより、外周部で発生したガスは表面積の大きく形成された凹凸部上のゲッタ材により吸着されるため、画像形成部内のゲッタ材のガス吸着を低減できるため、画像形成部内のゲッタ材が、局所的に劣化することが無く、安定した表示が行なえるものである。これらにより長時間動作させた場合でも、安定で画像形成領域内での経時的な輝度バラツキの発生の少ない画像形成装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の画像形成装置の第一実施例を示す概略断面図である。
【図2】本発明に用いた表面伝導型電子放出素子の構成を示す部分平面図である。
【図3】本発明の画像形成装置の概略平面図である。
【図4】本発明の画像形成装置の第二実施例を示す概略断面図である。
【符号の説明】
1 電子放出素子
2 リアプレート
3 蛍光体
4 メタルバック
5 ゲッタ材
6 凹凸部
7 画像形成部
8 フェースプレート
9 支持枠
101、102 素子電極
103 電子放出素子を含む導電性膜
104 信号配線
105 層間絶縁層
106 走査配線
Claims (7)
- 蛍光体、メタルバック及びゲッタ材を有するフェースプレートと、
電子放出素子を有するリアプレートを対向配置した画像形成装置であって、
フェースプレートの画像形成部及び該画像形成部の外側に形成した凹凸部にまで被覆したゲッタ材を設けたことを特徴とする画像形成装置。 - 前記外側に形成した凹凸部が局所的に表面積を大きくした構成であることを特徴とする請求項1記載の画像形成装置。
- 前記外側に形成した凹凸部が印刷により形成された粒状の銀膜であることを特徴とする請求項1記載の画像形成装置。
- 前記外側に形成した凹凸部が印刷で形成された粒状の蛍光体であることを特徴とする請求項1記載の画像形成装置。
- 前記外側に形成した凹凸部が印刷で形成されたストライプ状の膜であることを特徴とする請求項1記載の画像形成装置。
- 前記ゲッタ材がBaを主成分とした合金であることを特徴とする請求項1記載の画像形成装置。
- 前記電子放出素子が表面伝導型電子放出素子であることを特徴とする請求項1記載の画像形成装置。
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JP2002238690A JP2004079358A (ja) | 2002-08-20 | 2002-08-20 | 画像形成装置 |
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JP2002238690A Pending JP2004079358A (ja) | 2002-08-20 | 2002-08-20 | 画像形成装置 |
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2002
- 2002-08-20 JP JP2002238690A patent/JP2004079358A/ja active Pending
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