JP2004071967A

JP2004071967A - Liquid material discharging apparatus and cleaning method

Info

Publication number: JP2004071967A
Application number: JP2002231693A
Authority: JP
Inventors: Naoya Goto; 後藤　直也
Original assignee: Apic Yamada Corp
Current assignee: Apic Yamada Corp
Priority date: 2002-08-08
Filing date: 2002-08-08
Publication date: 2004-03-04

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid material discharging apparatus and a cleaning method in which discharge accuracy of a liquid material is improved. <P>SOLUTION: The liquid material discharging apparatus comprises a nozzle in which thickness of an outer wall portion forming a discharge port for discharging the liquid material is 2mm or longer, and a cleaning member which moves on a surface of the outer wall portion including the discharge port for wiping up the liquid material stuck around the discharge port. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般には、ノズル及び液材吐出装置に関する。本発明は、例えば、チップを封止する樹脂封止装置に好適である。
【０００２】
【従来の技術】
半導体チップを封止するための熱硬化性樹脂等の液材をノズルから吐出して非処理体に塗布する液材吐出装置（以下、「ディスペンサ」という。）が従来から広く用いられている。十分な封止を確保するためには、ディスペンサから被処理体に供給される液材の量及び吐出方向を所期の量及び所望の吐出方向に維持する必要がある。例えば、所望の吐出方向に液材が吐出されないと被処理体に供給される液材は所期の量と比べて少なくなり完全に封止することができない。
【０００３】
ディスペンサにおいては、ノズルから液材を吐出させる際、吐出口近傍に吐出した液材が付着し、それが残留する。従って、次々と液材を吐出していくうちにノズルの吐出口近傍に付着残留する液材が次第に増加し、かかる残留液材に吐出液材が引き寄せられて所望の方向に液材が吐出されなくなったり、吐出する液材の量を所期の量に維持することができなくなったりする。
【０００４】
そこで、図１６に示すように、ノズル２０００の吐出面（即ち、液材が吐出する方向に対して垂直な面）２１００をスポンジ２２００等に押し付け、ノズル２０００又はスポンジ２２００を相対的に交差するように移動させてノズル２０００の吐出口２３００近傍に付着残留した液材を拭き取ることが知られている。ここで、図１６は、従来のノズル２０００に付着残留した液材を除去するクリーニングの一例を示す概略拡大断面図である。ノズル２０００は、吐出液材の液切れをよくするために、一般には、吐出口２３００の外径ａが３ｍｍ以下の場合、側壁２４００の厚さｂが０．２ｍｍ程度であり、吐出面２１００の面積が小さくなるように設定されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のクリーニングでは、スポンジ２２００等によって拭き取られてスポンジ２２００等に移った液材の一部が、スポンジ２２００とノズル２０００が離れる際にノズル２０００の側壁２４００に付着する場合がある。側壁２４００に付着した液材は、ノズル２０００を移動させる際の振動や液の自重などにより吐出面２１００に回り込み、その際、ノズル２０００の側壁２４００と吐出口２３００との距離（即ち、側壁２４００の厚さｂ）が極めて短いために、短時間で再び吐出口２３００近傍に付着残留し、吐出精度（液材の吐出量及び吐出方向）に悪影響を及ぼす。具体的には、吐出液材が吐出口２３００近傍に付着残留した液材に引かれて所望の方向に液材を吐出することができなくなったり、吐出液材が吐出口２３００近傍に付着残留した液材に引かれることにより、より多くの液材が吐出口２３００近傍に付着残留したり、その残留した液材が吐出液材と共に吐出されたりする為、被処理体に供給される液材が所期の量を得られないという問題を生じる。
【０００６】
そこで、ノズル２０００の側壁２４００に付着した液材を除去することも考えられるが、側壁２４００のクリーニングは困難であり、仮に、クリーニングを行ったとしても、同様に、拭き取った液材が吐出面２１００に付着する可能性がある。
【０００７】
また、ノズル２０００の吐出面２１００の面積が小さい、即ち、ノズル２０００が細いためにクリーニングを行う際、スポンジ２３００等がノズル２０００に引っかかり易い。そのため、スポンジ２３００等の材料選定、拭き取り動作の調整が難しく、安定してクリーニングを行うことができない。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明は、このような従来の課題を解決する新規且つ有用な液材吐出装置及びクリーニング方法を提供することを概括的な目的とする。
【０００９】
より特定的には、本発明は、液材の吐出精度に優れた液材吐出装置及びクリーニング方法を提供することを例示的目的とする。
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての液材吐出装置は、液材を吐出する吐出口を形成する外壁部の厚さが２ｍｍ以上であるノズルと、前記吐出口を含む前記外壁部の面を移動すると共に、前記吐出口近傍に付着した前記液材を拭き取るクリーニング部材とを有する。かかる液材吐出装置によれば、吐出口近傍に付着した液材を拭き取った際、拭き取った液材の一部が外壁部（の側面）に付着した場合でも外壁部から再び吐出口近傍に付着することを防いだり付着するまでの時間を長くすることができ、吐出動作中に液材が吐出口近傍に付着することを防止して所期の吐出精度を維持することができる。前記吐出口を含む前記外壁部の面は、面取りされている。ここで、外壁部の面とは、クリーニング部材と接触する面である。これにより、拭き取り動作の際に、クリーニング部材がノズルに引っかかることを防止することができる。
【００１１】
本発明の別の側面としての液材吐出装置は、液材を吐出する吐出口を有するノズルと、前記ノズルの吐出面に着脱可能に接続される開口部を有するマスクと、前記吐出口を含む前記マスクを移動すると共に、前記吐出口近傍に付着した前記液材を拭き取るクリーニング部材とを有する。かかる液材吐出装置によれば、吐出口近傍に付着した液材をマスクに残留させて、ノズルから完全に液材を除去することができると共に、残留液材が被処理体に垂れてしまうことを防止することができる。
【００１２】
本発明の更に別の側面としての液材吐出装置は、液材を吐出する吐出口を有するノズルと、前記ノズルが嵌合する嵌合孔を有するノズル受け部と、前記ノズルを前記ノズル受け部の前記嵌合孔に着脱すると共に、当該嵌合孔を介して前記ノズル受け部を摺動可能とする駆動部と、前記吐出口を含む前記ノズル受け部の面を移動すると共に、前記吐出口近傍に付着した前記液材を拭き取るクリーニング部材とを有する。かかる液材吐出装置によれば、吐出口近傍に付着した液材をノズル受け部に残留させて、ノズルから完全に液材を除去することができると共に、残留液材が被処理体に垂れてしまうことを防止することができ、吐出動作時には拭き取った液材が残留するノズル受け部を分離することができる。前記ノズル受け部は、前記嵌合孔を形成する複数の部材から構成され、前記吐出口の上方から前記ノズルに嵌め込まれる。これにより、吐出口近傍に付着していた液材だけでなく、ノズル側面に付着していた液材も除去することができる。
【００１３】
本発明の更に別の側面としてのクリーニング方法は、液材を吐出する吐出口を有するノズルのクリーニング方法であって、前記ノズルが嵌合する嵌合孔を有するノズル受け部を前記吐出口と一致するように前記ノズルに嵌め込むステップと、前記吐出口を含む前記ノズル受け部を拭き取り、前記吐出口近傍に付着した前記液材を除去するステップとを有する。かかるクリーニング方法によれば、上述した液材吐出装置の作用と同様の作用を奏することができる。
【００１４】
本発明の更に別の側面としてのクリーニング方法は、液材を吐出する吐出口を有するノズルの吐出面に、前記吐出口近傍が露呈するように、開口部を有するマスクを接続するステップと、前記マスクにクリーニング部材を押し付けるステップと、前記マスクが接続されたノズルと前記クリーニング部材を相対的に移動させて、前記開口部により露呈した前記ノズルの前記吐出口近傍に付着した前記液材を除去するステップとを有する。
【００１５】
本発明の更なる目的又はその他の特徴は、以下添付図面を参照して説明される好ましい実施例によって明らかにされるであろう。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明者は、液材の吐出精度に優れた液材吐出装置及びクリーニング方法を提供するにあたり、基本に戻ってノズルの吐出面と液材の吐出精度を鋭意検討した結果、クリーニングの際にノズルの側面に付着した液材が吐出動作時（つまり、クリーニングとクリーニングの間）に吐出口近傍に存在する（戻る）ことが問題であることを発見した。
【００１７】
以下、添付図面を参照して本発明の例示的一態様である液材吐出装置及びクリーニング方法について説明する。ここで、図１は、本発明の第１の実施形態に係る液材吐出装置１００を示す概略構成図である。液材吐出装置１００は、ＩＣチップの配線を保護するためにチップを封止する熱硬化性樹脂などの液材１１２を供給する装置であり、図１によく示されるように、液材供給容器１１０と、流路１２０と、液材量調節部１３０と、ノズル１４０と、クリーニング部材１５０とを有する。
【００１８】
液材供給容器１１０は、チップを封止するための熱硬化性樹脂等の液材１１２を収容するものであり、上部に加圧エアを送るための図示しない口と、下部に流路１２０の供給口１２２と接続するための口１１４を有している。液材供給容器１１０の下部に設けられた口１１４は、流路１２０に接続可能となるように同一の断面積に形成されるが、継ぎ手などを利用することで任意の大きさの口を接続することもできる。
【００１９】
流路１２０は、液材吐出装置１００において、液材供給容器１１０からノズル１４０まで液材１１２を通過させる部位であり、その端部に供給口１２２とノズル接続口１２４とを有する。供給口１２２は、液材供給容器１１０と接続し、流路１２０に液材１１２を供給する部位であり、ノズル接続口１２４はノズル１４０と接続し、ノズル１４０に液材１１２を供給する部位である。
【００２０】
液材量調節部１３０は、液材供給容器１１０からの液材１１２の流れを調節して所期の量の液材１１２をノズル１４０に供給するものであり、流路１２０中に設けられる。液材量調整部１３０は、例えば、液材１１２を充填させたり吐出したりするピストン１３２及びバルブ（即ち、液材１１２の流れ）の切り替えを行う三方向弁１３４などで構成され、当業界で周知のいかなる構成をも適用することができるので、ここでは詳しい構造及び動作の説明は省略する。
【００２１】
ノズル１４０は、液材１１２を吐出する部材であり、例えば、ステンレスやフッ素樹脂などで構成される。ノズル１４０は、端部に流路接続口１４２と吐出口１４４とを有する。流路接続口１４２は、流路１２０（ノズル接続口１２４）と接続し、ノズル１４０に流路１２０及び液材量調節部１３０を介して押し出された所期の量の液材１１２を供給する部位である。吐出口１４４は、ノズル１４０に供給された所期の量の液材１１２を被処理体に吐出する部位であり、図２によく示されるように、外壁部１４６によって形成される。ここで、図２は、図１に破線Ａで示したノズル１４０の吐出口１４４近傍の要部拡大断面図である。
【００２２】
図２を参照するに、ノズル１４０は、吐出動作時において、外壁部１４６の側面１４６ｂに付着した液材１１２が吐出口１４４を含む外壁部１４６の面（即ち、吐出面）１４６ａに回り込んだときに吐出口１４４近傍に戻らないように外壁部１４６が設定されている。即ち、ノズル１４０は、吐出口１４４の外径ａに対して従来よりも長い外壁部１４６の厚さｂを有し、ノズル１４０の吐出面１４６ａにおいては、従来のノズルの吐出面よりも大きい面積が形成される。外壁部１４６の厚さｂは、吐出口１４４の外径ａ、吐出面１４４の形状、吐出する液材１１２の粘度などによって様々である。本発明者の経験やシミュレーションの結果から、例えば、吐出口１４４の外径ａが３ｍｍ以下の場合において、外壁部１４６の厚さｂは２ｍｍ以上、好ましくは３ｍｍ乃至５ｍｍ以上の寸法であれば、側面１４６ｂに付着した液材１１２が吐出面１４６ａに回り込んだときに吐出口１４４近傍に戻らないことがわかっている。
【００２３】
ノズル１４０は、吐出口１４４と外壁部１４６の側面１４６ｂとの距離（即ち、外壁部１４６の厚さｂ）を長く（例えば、２ｍｍ以上）設定しているので、例えば、後述するクリーニング部材１５０によって拭き取られ外壁部１４６の側面１４６ｂに付着した液材１１２が吐出面１４６ａに回り込み吐出口１４４近傍に付着することを防いだり付着残留するまでの時間を長くすることができる。従って、吐出動作時において、ノズル１４０の側面１４６ｂに付着した液材１１２が吐出口１４４近傍に戻ることを防止し、所望の吐出精度（吐出量と吐出方向）を維持することができる。
【００２４】
また、ノズル１４０の吐出面１４６ａの面積は大きいので、吐出面１４６ａのクリーニングを行う際に、後述するクリーニング部材１５０がノズル１４０に引っかかることを防止することができる。従って、拭き取り動作の調整を必要とせずに安定してクリーニングを行うことができる。
【００２５】
吐出動作において、液材吐出装置１００は、加圧エアが上部から与えられた液材供給容器１１０を流路１２０の供給口１２２に接続する。液材量調節部１３０の三方向弁１３４は、流路１２０が供給口１２２及びピストン１３２に連通し、ノズル接続口１２４が閉口するように配置される。次に、三方向弁１３４の姿勢を維持したまま液材１１２をピストン１３２内に充填させる。液材１１２の充填後、三方向弁１３４を時計回りに９０度回転させてバルブの切り換えを行う。これにより、流路１２０がピストン１３２及びノズル接続口１２４に連通する。次に、ピストン１３２内に充填した液材１１２をノズル１４０の吐出口１４４から吐出すると、吐出口１４４近傍に吐出した液材が残留するため、後述するクリーニング部材１５０により拭き取る。この際、拭き取られた液材１１２の一部がノズル１４０の側面１４６ｂに回り込む場合がある。しかし、ノズル１４０は、吐出口１４４と側壁部１４６との距離（外壁部１４６の厚さｂ）が十分に長いので吐出時に側面１４６ｂに付着した液材１１２が吐出口１４４近傍に戻ることを防止して優れた吐出精度（吐出量と吐出方向）を維持することができる。
【００２６】
なお、図３によく示されるように、吐出口１４４を含む外壁部１４６の面（吐出面）１４６ａを面取りしてもよい。図３は、ノズル１４０の面取りされた吐出面１４６ａを示す拡大断面図である。この場合も、吐出動作時において、外壁部１４６の側面１４６ｂに付着した液材１１２が吐出面１４６ａに回り込んだときに吐出口１４４近傍に戻らないように外壁部１４６が設定されている。即ち、吐出口１４４の外径ａに対して従来よりも長い外壁部１４６の厚さｂを有し、例えば、後述するクリーニング部材１５０によって拭き取られ外壁部１４６の側面１４６ｂに付着した液材１１２が吐出面１４６ａに回り込み吐出口１４４近傍に付着することを防いだり付着残留するまでの時間を長くすることができる。従って、吐出動作時において、ノズル１４０の側面１４６ｂに付着した液材１１２が吐出口１４４近傍に戻ることを防止し、所望の吐出精度（吐出量と吐出方向）を維持することができる。また、ノズル１４０の吐出面１４６ａと側面１４６ｂとの角をなくすことで、更に、クリーニング部材１５０がノズル１４０に引っかかることを防止することができる。なお、吐出面１４６ａに与える曲率Ｒは、吐出面１４６ａと外壁部１４６の側面１４６ｂとが接合する各部のみでよい。これにより、ノズル１４０は、吐出面１４６ａに液材１１２が横移動しない平坦な面を有しながら、クリーニング部材１５０が円滑に移動することができる。
【００２７】
クリーニング部材１５０は、ノズル１４０の吐出口１４４を含む外壁部１４６の面（吐出面）１４６ａを移動すると共に、吐出口１４４近傍に付着した液材１１２を拭き取る。クリーニング部材１５０は、ノズル１４０の吐出面１４６ａ側の面１５０ａが一様に吐出面１４６ａに接触するように弾性を有する材質からなり、液材１１２や吐出面１４６ａの形状によって、スポンジやスキージなどで構成される。クリーニング部材１５０は、図４（ａ）によく示されるように、ノズル１４０の吐出口１４４を跨いで吐出面１４６ａの一部を拭き取るように移動（矢印Ａ）させてもよいし、図４（ｂ）によく示されるように、吐出面１４６ａの全面を拭き取るように移動（矢印Ｂ）させてもよい。図４は、ノズル１４０の吐出面１４６ａにおけるクリーニング部材１５０の移動を示す概略図である。クリーニング部材１５０は、ノズル１４０の吐出面１４６ａの面積が大きいため、図４に示したいずれであっても円滑に移動することができる。
【００２８】
次に、図５を参照して、液材吐出装置１００におけるノズル１４０の吐出面１４６ａのクリーニング動作について説明する。ここで、図５は、液材吐出装置１００におけるノズル１４０の吐出面１４６ａのクリーニング動作を示す概略図である。
【００２９】
液材吐出装置１００は、液材供給容器１１０の上部の口より加圧エアを与えつつ、液材量調節部１３０を作動させることで、図５（ａ）に示すように、ノズル１４０の吐出口１４４から所期の量の液材１１２を所望の方向に吐出する。液材吐出装置１００は液材１１２を吐出していくと、図５（ｂ）に示すように、次第に吐出面１４６ａの吐出口１４４近傍に付着する残留液材１１２ａを生じる。残留液材１１２ａが発生すると、液材吐出装置１００は、所望の方向に液材１１２を吐出できなくなったり、所期の量の液材１１２を吐出できなくなったりするため、図５（ｃ）に示すように、クリーニング部材１５０を吐出面１４６ａに接触させながら矢印Ａ方向に移動させて、図５（ｄ）に示すように、吐出口１４４近傍に生じた残留液材１１２ａを拭き取る。拭き取った残留液材１１２ａは、クリーニング部材１５０が吐出面１４６ａから離れる位置に残留液材１１２ａの一部（例えば、クリーニング部材１５０が図４（ａ）に示した移動を行った場合には吐出面１４６ａに残留液材１１２ｃ、クリーニング部材１５０が図４（ｂ）に示した移動を行った場合には外壁部１４６の側面１４６ｂに残留液材１１２ｄ）を残してしまう場合があるが、かかる残留液材１１２ａの一部は吐出口１４４から、例えば、２ｍｍ以上の距離が離れているので、ノズル１４０の振動や重力などによって再び吐出口１４４近傍に付着することを防いだり付着するまでの時間を長くすることができ、吐出動作中に残留液材１１２ａが吐出口１４４近傍に付着することを防止して所期の吐出精度（吐出量と吐出方向）を維持することができる。
【００３０】
次に、図６を参照して、本発明の第２の実施形態である液材吐出装置２００について説明する。ここで、図６は、本発明の第２の実施形態に係る液材吐出装置２００を示す概略構成図である。図６の液材吐出装置２００は、図１の液材吐出装置１００と同様であるが、マスク１７０を更に有する。液材吐出装置２００は、ＩＣチップの配線を保護するためにチップを封止する熱硬化性樹脂などの液材１１２を供給する装置であり、図６に示すように、液材供給容器１１０と、流路１２０と、液材量調節部１３０と、ノズル２４０と、クリーニング部材１５０と、マスク１７０とを有する。その他、図１に示すものと同一の参照符号を付したものはその参照符号の表わす部材と同一であるものとし、重複説明は省略する。
【００３１】
マスク１７０は、ノズル２４０の外壁部２４６に着脱可能に接続され、クリーニング部材１５０が拭き取った液材１１２がノズル２４０の外壁部２４６に付着することを防止する。ノズル２４０は、外壁部２４６の厚さｂに関わらずマスク１７０を接続することができる。マスク１７０には開口部１７２が設けられ、開口部１７２には吐出口２４４が露呈しているため、クリーニング部材１５０をマスク１７０、吐出面２４６ａ、マスク１７０と順次接触しながら移動させて液材１１２を拭き取ることができる。かかるマスク１７０上でクリーニング部材１５０を離すことで、外壁部２４６に拭き取った液材１１２が残ることがなく、ノズル２４０から完全に液材１１２を除去することができると共に、残留液材が被処理体に垂れてしまうことを防止することができる。
【００３２】
マスク１７０は、図７によく示されるように、板状の部材で構成され、中央に開口部１７２を有する。ここで、図７は、マスク１７０の一例を示す概略図であり、図７（ａ）は、マスク１７０の概略平面図、図７（ｂ）は、ノズル２４０の外壁部２４６に接続したときの概略断面図である。なお、本実施形態においては、マスク１７０及び開口部１７２の形状を円形状としたが、四角形をはじめとする多角形形状又はその他の形状で構成してもよい。
【００３３】
図７を参照するに、マスク１７０は、外壁部２４６に接続した際、開口部１７２によってノズル２４０の吐出口２４４近傍を露呈する。即ち、マスク１７０の開口部１７２に相当する吐出面２４６ａをクリーニング部材１５０は拭き取ることになる。従って、開口部１７２の外径ｘは、吐出口２４４を含み液材１１２が付着する吐出面２４６ａの領域を露呈する大きさに形成される。また、マスク１７０の厚さｙが厚いとクリーニング部材１５０の移動が段差によりスムーズに行えないばかりか、かかる段差に拭き取った液材１１２を残すことになる。従って、マスク１７０は、ノズル２４０に接続した際の段差を小さくするためにマスク１７０の厚さｙを薄くすることが好ましい。
【００３４】
なお、ノズル２４０の外壁部２４６の厚さｂがマスク１７０を着脱可能に接続するのに不十分である場合は、図８（ａ）に示すように、ノズル２４０の外壁部２４６に上下可動部１８０を装着してもよい。上下可動部１８０は、ノズル２４０の外壁部２４６に装着され、ノズル２４０の上下方向に移動可能であると共に、上下可動部１８０の下面１８０ａにマスク１７０が着脱可能に接続される。即ち、図８（ｂ）に示すように、上下可動部１８０の下面１８０ａが、ノズル２４０の吐出面２４６ａと平面を形成するように移動させることで、マスク１７０を上下可動部１８０の下面１８０ａに接続することが可能となる。ここで、図８は、上下可動部１８０が装着されたノズル２４０の一例を示す概略断面図である。
【００３５】
次に、図９を参照して、液材吐出装置２００におけるノズル２４０の吐出面２４６ａのクリーニング動作について説明する。ここで、図９は、液材吐出装置２００におけるノズル２４０の吐出面２４６ａのクリーニング動作を示す概略図である。
【００３６】
液材吐出装置２００は、液材供給容器１１０の上部の口より加圧エアを与えつつ液材量調節部１３０を作動させることで、図９（ａ）に示すように、ノズル２４０の吐出口２４４から所期の量の液材１１２を所望の方向に吐出する。液材吐出装置２００は液材１１２を吐出していくと、図９（ｂ）に示すように、次第に吐出面２４６ａの吐出口２４４近傍に付着する残留液材１１２ｅを生じる。残留液材１１２ｅが発生すると、液材吐出装置２００は、所望の方向に液材１１２を吐出できなくなったり、所期の量の液材１１２を吐出できなくなったりするため、図９（ｃ）に示すように、開口部１７２が残留液材１１２ｅの付着した吐出口２４４近傍の吐出面２４６ａを露呈するようにマスク１７０をノズル２４０に接続し、図９（ｄ）に示すように、クリーニング部材１５０をマスク１７０に接触させながら矢印Ａ方向に移動させて（即ち、クリーニング部材１５０は、マスク１７０、吐出面２４６ａ、マスク１７０と順次接触しながら移動する）、吐出口２４４近傍に生じた残留液材１１２ｅを拭き取る。拭き取った残留液材１１２ｅは、クリーニング部材１５０が離れる位置に残留液材１１２ｅの一部を残してしまう場合があるため、図９（ｅ）に示すように、マスク１７０上でクリーニング部材１５０を離すようにする。これにより、拭き取った残留液材１１２ｅの一部が残ってしまう場合であってもノズル２４０ではなくマスク１７０上ということになる。そして、図９（ｆ）に示すように、ノズル２４０とマスク１７０との接続をはずし、ノズル２４０の吐出面２４６ａのクリーニングを終了する。これにより、ノズル２４０の吐出口２４４近傍に付着した残留液材１１２ｅをマスク１７０に残留させて、ノズル２４０から完全に残留液材１１２ｅを除去することができると共に、残留液材が被処理体に垂れてしまうことを防止することができる。
【００３７】
次に、図１０を参照して、本発明の第３の実施形態に係る液材吐出装置３００について説明する。ここで、図１０は、本発明の第３の実施形態に係る液材吐出装置３００を示す概略構成図である。なお、上述した液材吐出装置１００と同一の構成については同一の参照符号を使用し、詳細は省略するものとする。
【００３８】
液材吐出装置３００は、ＩＣチップの配線を保護するためにチップを封止する熱硬化性樹脂などの液材１１２を供給する装置であり、図１０によく示されるように、液材供給容器１１０と、流路１２０と、液材量調節部１３０と、ノズル３１０と、クリーニング機構３２０とを有する。
【００３９】
ノズル３１０は、吐出位置（即ち、被処理体の上）において液材１１２を吐出する部材であり、例えば、ステンレスやフッ素樹脂などで構成される。ノズル３１０は、端部に流路接続口３１２と吐出口３１４とを有する。流路接続口３１２は、流路１２０（ノズル接続口１２４）と接続し、ノズル３１０に流路１２０及び液材量調節部１３０を介して押し出された所期の量の液材１１２を供給する部位である。吐出口３１４は、ノズル３１０に供給された所期の量の液材１１２を被処理体に吐出する部位であり、図１１によく示されるように、外壁部３１６によって形成される。ここで、図１１は、図１０に破線Ｂで示したノズル３１０の吐出口３１４近傍の概略図であり、図１１（ａ）は、ノズル３１０の吐出口３１４近傍の概略断面図、図１１（ｂ）は、ノズル３１０の概略平面図である。
【００４０】
図１１を参照するに、ノズル３１０は、吐出口３１４の外径ａに対して外壁部３１６の厚さｂが短くなるように、即ち、ノズル３１０の全径ｃ（吐出面３１６ａの面積）が小さくなるように設定されている。ノズル３１０は、従来と同様に、例えば、吐出口３１４の外径ａが３ｍｍ以下の場合において、外壁部３１６の厚さｂは０．２ｍｍ程度の寸法を有する。但し、液材吐出装置３００に適用可能なノズルは、ノズル３１０だけではなく業界で周知のいかなるノズルも適用することができ、例えば、上述したノズル１４０も適用可能である。
【００４１】
クリーニング機構３２０は、ノズル３１０の吐出口３１４近傍に付着した液材１１２をノズル３１０から除去する装置を有している。クリーニング機構３２０は、図１０に示すように、ノズル受け部３２２と、駆動部３２４と、クリーニング部材３２６とを有する。クリーニング機構３２０は、クリーニング部材３２６が拭き取った液材が残留する可能性のあるノズル受け部３２２を吐出時にノズル３１０から切り離すことができ、ノズル３１０から完全に液材１１２を除去することができると共に、吐出時に拭き取った液材が被処理体に落ちてしまうことを防止することができる。
【００４２】
ノズル受け部３２２は、図１２に示すように、ノズル３１０が嵌合する嵌合孔３２２ａを有してノズル３１０と嵌合し、後述したクリーニング部材３２６が拭き取った液材１１２がノズル３１０に付着することを防止する。嵌合孔３２２ａは、ノズル３１０の吐出面３１６ａの形状と同じ形状を有し、ノズル３１０をすきまばめ又はしまりばめする。ノズル３１０をしまりばめする場合には吐出面３１６ａの寸法より若干小さな寸法に形成される。本実施形態においては、嵌合孔３２２ａの外径ｘは、ノズル３１０の吐出面３１６ａの寸法と同じ寸法、即ち、ノズル３１０の全径ｃと同じ長さを有し、ノズル３１０をしまりばめする。なお、ノズル受け部３２２の形状を四角形形状としているが、円形などその他の形状で構成してもよい。ここで、図１２は、ノズル受け部３２２の概略図であって、図１２（ａ）は、ノズル受け部３２２の断面図、図１２（ｂ）は、ノズル受け部３２２の平面図である。なお、本実施形態においては、ノズル受け部３２２の外形形状を四角形としているが、かかる形状は例示的であり、その他の形状を有してもよい。
【００４３】
ノズル受け部３２２は、液材吐出装置３００が液材１１２を吐出する際はノズル３１０と分離され、図１３に示すように、ノズル３１０の吐出面３１６ａに付着した液材１１２を拭き取る際にノズル受け部上部３２２ｂからノズル３１０が挿入され、ノズル３１０の吐出面３１６ａとノズル受け部下部３２２ｃにより平面Ｐが形成される。平面Ｐは、後述するクリーニング部材３２６が移動する面であり、引っかかったりせずにクリーニング部材３２６の移動をスムーズに行うために大きい面積を有するように形成される。従って、ノズル受け部３２２の幅ｙは、長い方がよく、２ｍｍ以上、好ましくは、３ｍｍ乃至５ｍｍ以上を有する。ここで、図１３は、嵌合孔３２２ａを介してノズル３１０が嵌合されたノズル受け部３２２の概略断面図である。
【００４４】
なお、ノズル３１０とノズル受け部３２２をしまりばめでノズル３１０の側面３１６ｂに付着残留した場合には、図１３によく示されるように、ノズル３１０の側面３１６ｂに付着残留した液材１１２をノズル受け部上部３２２ｂが押し上げ、付着残留した液材１１２が吐出面３１６ａに回り込み吐出口３１４近傍に付着することを防いだり付着残留するまでの時間を長くし、所望の吐出精度を長く維持することが可能となる。従って、この場合にはノズル受け部３２２の厚さｚも長くすることが好ましい。
【００４５】
また、ノズル受け部３２２は、図１４（ａ）によく示されるように、嵌合孔３２２ａを形成する複数の部材３２３ａ及び３２３ｂから構成してもよい。複数の部材３２３ａ及び３２３ｂは、図１４（ｂ）に示すように、ノズル３１０の吐出口３１４の上方からノズル３１０を挟み込むように嵌め込み、図１４（ｃ）に示すように、ノズル３１０の吐出面３１６ａと複数の部材３２３ａ及び３２３ｂにより平面Ｐを形成する。従って、ノズル３１０の側面３１６ｂに付着残留した液材は、複数の部材３２３ａ及び３２３ｂの下面によって押し下げられ、複数の部材３２３ａ及び３２３ｂの下面に付着する。従って、ノズル３１０の吐出口３１４近傍に付着していた液材だけでなく、ノズル３１０の側面３１６ｂに付着していた液材も除去することができる。ここで、図１４は、複数の部材３２３ａ及び３２３ｂで構成したノズル受け部３２２の概略図である。なお、本実施例においては、嵌合孔３２２ａを形成してノズル受け部３２２を構成する部材の数を２つとしているが、例えば、部材を３つで構成してもよく、その数は限定されない。
【００４６】
駆動部３２４は、ノズル３１０及びノズル受け部３２２を駆動してノズル３１０をノズル受け部３２２の嵌合孔３２２ａに着脱すると共に、嵌合孔３２２ａを介してノズル受け部３２２を摺動する。駆動部３２４は、ノズル受け部３２２が１つの部材で構成される場合においては、ノズル３１０を駆動して吐出位置からクリーニング機構３２０まで移動させるかもしくはクリーニング機構３２０をノズル３１０部まで移動させ、ノズル受け部上部３２２ｂから嵌合孔３２２ａに挿入する。また、ノズル受け部３２２が複数の部材で構成される場合においては、ノズル３１０を駆動して吐出位置からクリーニング機構３２０まで移動させるかもしくはクリーニング機構３２０をノズル３１０部まで移動させ、ノズル３１０の吐出口３１４の上方からノズル３１０を挟み込むようにノズル受け部３２２を駆動して嵌合孔３２２ａに挿入する。駆動部３２４は、ノズル３１０を嵌合孔３２２ａに挿入すると、ノズル３１０の吐出面３１６ａとノズル受け部３２２の下面によって平面Ｐを形成するように、ノズル受け部３２２を上下方向に摺動する。
【００４７】
クリーニング部材３２６は、ノズル３１０の吐出口３１４を含むノズル受け部３２２の面を移動すると共に、ノズル３１０の吐出口３１４近傍に付着した液材１１２を拭き取る。クリーニング部材３２６は、ノズル３１０の吐出口３１４を含むノズル受け部３２２の面、即ち、平面Ｐに一様に接触するように弾性を有する材質からなり、液材１１２やノズル３１０の吐出面３１６ａやノズル受け部３２２の形状によって、スポンジやスキージなどで構成される。クリーニング部材３２６は、上述したように、ノズル３１０の吐出口３１４を跨いで平面Ｐの一部を拭き取るように移動させてもよいし、平面Ｐの全面を拭き取るように移動させてもよい。クリーニング部材３２６は、平面Ｐの面積が大きいため、円滑に平面Ｐ上を移動することができる。
【００４８】
液材吐出装置３００は、吐出位置において液材供給容器１１０の上部の口より加圧エアを与えつつ液材量調節部１３０を作動させることで、ノズル３１０の吐出口３１４から所期の量の液材１１２を所望の方向に吐出する。液材吐出装置３００は、液材１１２を吐出していくと次第に吐出面３１６ａの吐出口３１４近傍に付着する残留液材を生じる。残留液材が発生すると、液材吐出装置３００は、所望の方向に液材１１２を吐出できなくなったり、所期の量の液材１１２を吐出できなくなったりするため、残留液材を拭き取るクリーニングが必要となる。
【００４９】
以下、図１５を参照して、液材吐出装置３００におけるノズル３１０の吐出面３１６ａのクリーニング方法について説明する。ここで、図１５は、液材吐出装置３００におけるノズル３１０の吐出面３１６ａのクリーニング方法１０００を説明するためのフローチャートである。
【００５０】
まず、吐出面３１６ａの吐出口３１４近傍に残留液材を生じたノズル３１０を吐出位置からクリーニング機構３２０に移動させるかもしくはクリーニング機構３２０をノズル３１０部に移動させる（ステップ１００２）。次に、クリーニング機構３２０において、ノズル３１０が嵌合する嵌合孔３２２ａを有するノズル受け部３２２をノズル３１０の吐出口３１４と一致するようにノズル３１０に嵌め込む（ステップ１００４）。この際、ノズル受け部３２２をノズル３１０に対して上下方向に摺動させて、ノズル３１０の吐出面３１６ａとノズル受け部３２２の下面により平面Ｐを形成する。ノズル３１０をノズル受け部３２２に嵌め込んだら、クリーニング部材３２６によって、ノズル３１０の吐出口３１４を含むノズル受け部３２２、即ち、平面Ｐを拭き取り、吐出口３１４近傍に付着した残留液材を除去する（ステップ１００６）。拭き取った残留液材は、クリーニング部材３２６が離れる位置に残留液材の一部を残してしまう場合があるため、ノズル受け部３２２上でクリーニング部材３２６を離すようにする。これにより、拭き取った残留液材の一部が残ってしまう場合であってもノズル３１０ではなくノズル受け部３２２上ということになる。そして、ノズル３１０とノズル受け部３２２の接続をはずし、ノズル３１０を液材１１２を吐出する吐出位置に移動させるかもしくはクリーニング機構３２０を移動させて（ステップ１００８）、クリーニングを終了する。従って、ノズル３１０の吐出口３１４近傍及び側面３１６ｂに付着した残留液材をノズル受け部３２２に残留させてノズル３１０から完全に残留液材を除去することができる。換言すれば、残留液材をクリーニング機構３２０のノズル受け部３２２に移し変えるこということである。これにより、本発明のクリーニング方法１０００によれば、ノズルから完全に液材を除去することができると共に、吐出位置において、拭き取った残留液材をノズル３１０と一緒に移動させないことにより、残留液材が被処理体に垂れてしまうことを防止することができる。
【００５１】
以上、本発明の好ましい実施例を説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で様々な変形や変更が可能である。例えば、本実施例では、ノズルとして丸ノズルを使用しているが、必ずしもこれに限定する必要はなく、丸ノズル以外のノズルを使用してもよい。
【００５２】
【発明の効果】
本発明の液材吐出装置及びクリーニング方法によれば、液材を吐出するノズルの吐出面を大きくすることによりノズル側面に付着した液材が吐出口近傍に戻ることを防止して優れた吐出精度を維持することができると共に、ノズルの吐出面の拭き取り動作をスムーズに行うことが可能となる。また、ノズルの吐出口近傍及び側面に付着した残留液材を完全にノズルから除去するため、より優れた吐出精度を維持することができると共に拭き取った残留液材が被処理体に垂れてしまうことを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る液材吐出装置を示す概略構成図である。
【図２】図１に破線Ａで示したノズルの吐出口近傍の要部拡大断面図である。
【図３】ノズルの面とりされた吐出面を示す拡大断面図である。
【図４】ノズルの吐出面におけるクリーニング部材の移動を示す概略図である。
【図５】図１に示す液材吐出装置におけるノズルの吐出面のクリーニング動作を示す概略図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係る液材吐出装置を示す概略構成図である。
【図７】図６に示すマスクの一例を示す概略図である。
【図８】上下可動部が装着されたノズルの一例を示す概略断面図である。
【図９】図６に示す液材吐出装置におけるノズルの吐出面のクリーニング動作を示す概略図である。
【図１０】本発明の第３の実施形態に係る液材吐出装置を示す概略構成図である。
【図１１】図１０に破線Ｂで示したノズルの吐出口近傍の概略図である。
【図１２】図１０に示すノズル受け部の概略図である。
【図１３】嵌合孔を介してノズルが嵌合されたノズル受け部の概略断面図である。
【図１４】複数の板部材で構成したノズル受け部の概略図である。
【図１５】図１０に示す液材吐出装置におけるノズルの吐出面のクリーニング方法を説明するためのフローチャートである。
【図１６】従来のノズルに付着残留した液材を除去するクリーニングの一例を示す概略拡大断面図である。
【符号の説明】
１００　　　　　　　　　液材吐出装置
１１０　　　　　　　　　液材供給容器
１２０　　　　　　　　　流路
１３０　　　　　　　　　液材量調節部
１４０　　　　　　　　　ノズル
１４４　　　　　　　　　吐出口
１４６　　　　　　　　　外壁部
１４６ａ　　　　　　　　吐出面
１４６ｂ　　　　　　　　側面
１５０　　　　　　　　　クリーニング部材
１７０　　　　　　　　　マスク
１８０　　　　　　　　　上下可動部
３００　　　　　　　　　液材吐出装置
３２０　　　　　　　　　クリーニング機構
３２２　　　　　　　　　ノズル受け部
３２２ａ　　　　　　　　嵌合孔
３２３ａ、３２３ｂ　　　部材
３２４　　　　　　　　　駆動部
３２６　　　　　　　　　クリーニング部材[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention generally relates to a nozzle and a liquid material discharging device. The present invention is suitable, for example, for a resin sealing device for sealing a chip.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art A liquid material discharging apparatus (hereinafter, referred to as a “dispenser”) for discharging a liquid material such as a thermosetting resin for sealing a semiconductor chip from a nozzle and applying the liquid material to a non-processed body has been widely used. In order to ensure sufficient sealing, it is necessary to maintain the amount and discharge direction of the liquid material supplied from the dispenser to the object to be processed in the desired amount and in the desired discharge direction. For example, if the liquid material is not discharged in a desired discharge direction, the amount of the liquid material supplied to the object to be processed becomes smaller than an expected amount, and the liquid material cannot be completely sealed.
[0003]
In the dispenser, when the liquid material is discharged from the nozzle, the discharged liquid material adheres to the vicinity of the discharge port and remains. Therefore, as the liquid material is discharged one after another, the liquid material adhering and remaining near the discharge port of the nozzle gradually increases, and the discharged liquid material is drawn to the remaining liquid material and the liquid material is discharged in a desired direction. Or the amount of liquid material to be discharged cannot be maintained at an expected amount.
[0004]
Therefore, as shown in FIG. 16, the ejection surface 2100 of the nozzle 2000 (that is, the surface perpendicular to the direction in which the liquid material is ejected) 2100 is pressed against the sponge 2200 or the like so that the nozzle 2000 or the sponge 2200 relatively intersects. To wipe off the liquid material adhering and remaining in the vicinity of the discharge port 2300 of the nozzle 2000. Here, FIG. 16 is a schematic enlarged sectional view showing an example of conventional cleaning for removing a liquid material adhered and remaining on the nozzle 2000. In general, when the outer diameter a of the discharge port 2300 is 3 mm or less, the thickness b of the side wall 2400 is about 0.2 mm, and the nozzle 2000 The area is set to be small.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the above-described cleaning, a part of the liquid material wiped off by the sponge 2200 or the like and transferred to the sponge 2200 or the like may adhere to the side wall 2400 of the nozzle 2000 when the sponge 2200 and the nozzle 2000 are separated. The liquid material adhering to the side wall 2400 wraps around the discharge surface 2100 due to the vibration of moving the nozzle 2000 or the weight of the liquid, and at that time, the distance between the side wall 2400 of the nozzle 2000 and the discharge port 2300 (that is, the distance of the side wall 2400 Since the thickness b) is extremely short, it adheres and remains in the vicinity of the discharge port 2300 again in a short time, which adversely affects the discharge accuracy (the discharge amount and the discharge direction of the liquid material). Specifically, the discharged liquid material is attracted to the liquid material adhered and remained in the vicinity of the discharge port 2300, so that the liquid material cannot be discharged in a desired direction, or the discharged liquid material adheres and remains in the vicinity of the discharge port 2300. By being pulled by the liquid material, more liquid material adheres and remains near the discharge port 2300, or the remaining liquid material is discharged together with the discharged liquid material. The problem arises that the desired amount cannot be obtained.
[0006]
Therefore, it is conceivable to remove the liquid material attached to the side wall 2400 of the nozzle 2000. However, it is difficult to clean the side wall 2400. Even if the cleaning is performed, similarly, the wiped liquid material may be removed from the ejection surface 2100. May adhere to the
[0007]
In addition, the sponge 2300 and the like are easily caught by the nozzle 2000 when cleaning is performed because the area of the ejection surface 2100 of the nozzle 2000 is small, that is, the nozzle 2000 is thin. Therefore, it is difficult to select the material of the sponge 2300 and the like and adjust the wiping operation, and it is not possible to stably perform cleaning.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
Accordingly, it is a general object of the present invention to provide a new and useful liquid material discharging apparatus and a cleaning method that solve such a conventional problem.
[0009]
More specifically, it is an exemplary object of the present invention to provide a liquid material discharging apparatus and a cleaning method which are excellent in liquid material discharging accuracy.
[0010]
In order to achieve the above object, a liquid material discharging apparatus according to one aspect of the present invention includes a nozzle having a thickness of an outer wall portion forming a discharge port for discharging a liquid material of 2 mm or more, and the discharge port. A cleaning member that moves on the surface of the outer wall portion and wipes the liquid material attached to the vicinity of the discharge port. According to such a liquid material discharging apparatus, when a liquid material adhered to the vicinity of the discharge port is wiped off, even if a part of the wiped liquid material adheres to (the side surface of) the outer wall, the liquid material adheres again to the vicinity of the discharge port from the outer wall. It is possible to prevent the liquid material from adhering or to increase the time until the liquid material adheres, and to prevent the liquid material from adhering to the vicinity of the discharge port during the discharge operation, thereby maintaining the desired discharge accuracy. The surface of the outer wall portion including the discharge port is chamfered. Here, the surface of the outer wall portion is a surface that comes into contact with the cleaning member. Thus, it is possible to prevent the cleaning member from being caught on the nozzle during the wiping operation.
[0011]
A liquid material discharging apparatus according to another aspect of the present invention includes a nozzle having a discharge port for discharging a liquid material, a mask having an opening detachably connected to a discharge surface of the nozzle, and the discharge port. A cleaning member that moves the mask and wipes off the liquid material attached to the vicinity of the discharge port. According to such a liquid material discharge device, the liquid material adhered to the vicinity of the discharge port can be left on the mask, the liquid material can be completely removed from the nozzle, and the remaining liquid material can drop onto the workpiece. Can be prevented.
[0012]
A liquid material discharging apparatus according to still another aspect of the present invention includes a nozzle having a discharge port for discharging a liquid material, a nozzle receiving portion having a fitting hole into which the nozzle is fitted, and the nozzle receiving portion having the nozzle receiving portion. A drive unit that detaches from the fitting hole and slides the nozzle receiving portion through the fitting hole, and moves a surface of the nozzle receiving portion including the discharge port, and the discharge port A cleaning member for wiping the liquid material attached to the vicinity. According to such a liquid material discharge device, the liquid material attached to the vicinity of the discharge port can be left in the nozzle receiving portion, and the liquid material can be completely removed from the nozzle, and the remaining liquid material drips on the workpiece. It is possible to prevent the nozzle receiving portion where the wiped liquid material remains during the discharging operation. The nozzle receiving portion includes a plurality of members forming the fitting hole, and is fitted into the nozzle from above the discharge port. This makes it possible to remove not only the liquid material attached to the vicinity of the discharge port but also the liquid material attached to the nozzle side surface.
[0013]
A cleaning method as still another aspect of the present invention is a method of cleaning a nozzle having a discharge port for discharging a liquid material, wherein a nozzle receiving portion having a fitting hole into which the nozzle is fitted coincides with the discharge port. And removing the liquid material attached to the vicinity of the discharge port by wiping the nozzle receiving portion including the discharge port. According to this cleaning method, the same operation as the above-described operation of the liquid material ejection device can be achieved.
[0014]
A cleaning method as still another aspect of the present invention includes a step of connecting a mask having an opening to a discharge surface of a nozzle having a discharge port for discharging a liquid material, so that the vicinity of the discharge port is exposed, and Pressing the cleaning member against the mask, and relatively moving the cleaning member and the nozzle connected to the mask to remove the liquid material attached to the vicinity of the discharge port of the nozzle exposed through the opening. And steps.
[0015]
Further objects and other features of the present invention will become apparent from preferred embodiments described below with reference to the accompanying drawings.
[0016]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
In order to provide a liquid material discharge apparatus and a cleaning method with excellent liquid material discharge accuracy, the present inventor returned to the basics and studied the discharge surface of the nozzle and the discharge accuracy of the liquid material. It has been found that the problem is that the liquid material adhering to the side surface of (1) exists (returns) near the ejection port during the ejection operation (that is, between cleaning operations).
[0017]
Hereinafter, a liquid material discharging apparatus and a cleaning method according to an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. Here, FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a liquid material ejection device 100 according to the first embodiment of the present invention. The liquid material discharging device 100 is a device for supplying a liquid material 112 such as a thermosetting resin for sealing a chip to protect the wiring of an IC chip. As shown in FIG. 110, a flow path 120, a liquid material amount adjusting unit 130, a nozzle 140, and a cleaning member 150.
[0018]
The liquid material supply container 110 accommodates a liquid material 112 such as a thermosetting resin for sealing a chip. It has a port 114 for connecting to the supply port 122. The port 114 provided at the lower part of the liquid material supply container 110 is formed to have the same cross-sectional area so as to be connectable to the flow path 120, but a port of an arbitrary size is connected by using a joint or the like. You can also.
[0019]
The flow path 120 is a part where the liquid material 112 passes from the liquid material supply container 110 to the nozzle 140 in the liquid material discharge device 100, and has a supply port 122 and a nozzle connection port 124 at an end thereof. The supply port 122 is a part connected to the liquid material supply container 110 and supplies the liquid material 112 to the flow path 120, and the nozzle connection port 124 is connected to the nozzle 140 and is a part that supplies the liquid material 112 to the nozzle 140. is there.
[0020]
The liquid material amount adjusting unit 130 adjusts the flow of the liquid material 112 from the liquid material supply container 110 to supply an intended amount of the liquid material 112 to the nozzle 140, and is provided in the flow path 120. The liquid material amount adjusting unit 130 includes, for example, a piston 132 that fills and discharges the liquid material 112, a three-way valve 134 that switches a valve (that is, a flow of the liquid material 112), and the like. Since any known configuration can be applied, a detailed description of the structure and operation is omitted here.
[0021]
The nozzle 140 is a member that discharges the liquid material 112, and is made of, for example, stainless steel or fluororesin. The nozzle 140 has a flow path connection port 142 and a discharge port 144 at an end. The flow path connection port 142 is connected to the flow path 120 (nozzle connection port 124), and supplies the nozzle 140 with an intended amount of the liquid material 112 extruded through the flow path 120 and the liquid material amount adjustment unit 130. Part. The discharge port 144 is a portion that discharges an intended amount of the liquid material 112 supplied to the nozzle 140 to the object to be processed, and is formed by the outer wall portion 146 as well shown in FIG. Here, FIG. 2 is an enlarged sectional view of a main part near the discharge port 144 of the nozzle 140 indicated by a broken line A in FIG.
[0022]
Referring to FIG. 2, during the discharging operation, the liquid material 112 attached to the side surface 146 b of the outer wall portion 146 wraps around the surface (ie, the discharge surface) 146 a of the outer wall portion 146 including the discharge port 144 during the discharging operation. The outer wall 146 is set so as not to return to the vicinity of the discharge port 144 at times. That is, the nozzle 140 has a thickness b of the outer wall portion 146 longer than the outer diameter a of the discharge port 144 as compared with the related art, and the area of the discharge surface 146a of the nozzle 140 is larger than that of the conventional nozzle. Is formed. The thickness b of the outer wall portion 146 varies depending on the outer diameter a of the discharge port 144, the shape of the discharge surface 144, the viscosity of the liquid material 112 to be discharged, and the like. From the experience of the inventor and the results of simulations, for example, when the outer diameter a of the discharge port 144 is 3 mm or less, the thickness b of the outer wall portion 146 is 2 mm or more, preferably 3 mm to 5 mm or more. It has been found that when the liquid material 112 attached to the side surface 146b goes around the discharge surface 146a, it does not return to the vicinity of the discharge port 144.
[0023]
The nozzle 140 has a long distance (for example, 2 mm or more) between the discharge port 144 and the side surface 146b of the outer wall 146 (that is, the thickness b of the outer wall 146). The liquid material 112 that has been wiped off and adhered to the side surface 146b of the outer wall portion 146 can be prevented from wrapping around the discharge surface 146a and adhering to the vicinity of the discharge port 144, or the time until the liquid material 112 remains adhered can be lengthened. Therefore, during the ejection operation, the liquid material 112 attached to the side surface 146b of the nozzle 140 can be prevented from returning to the vicinity of the ejection port 144, and desired ejection accuracy (ejection amount and ejection direction) can be maintained.
[0024]
Further, since the area of the discharge surface 146a of the nozzle 140 is large, it is possible to prevent a cleaning member 150 described later from being caught on the nozzle 140 when cleaning the discharge surface 146a. Therefore, the cleaning can be stably performed without the necessity of adjusting the wiping operation.
[0025]
In the discharging operation, the liquid material discharging apparatus 100 connects the liquid material supply container 110 to which the pressurized air is supplied from above to the supply port 122 of the flow path 120. The three-way valve 134 of the liquid material amount adjustment unit 130 is arranged such that the flow path 120 communicates with the supply port 122 and the piston 132 and the nozzle connection port 124 is closed. Next, the liquid material 112 is filled into the piston 132 while the posture of the three-way valve 134 is maintained. After the filling of the liquid material 112, the three-way valve 134 is rotated clockwise by 90 degrees to switch the valve. Thereby, the flow path 120 communicates with the piston 132 and the nozzle connection port 124. Next, when the liquid material 112 filled in the piston 132 is discharged from the discharge port 144 of the nozzle 140, the discharged liquid material remains near the discharge port 144, and is wiped by a cleaning member 150 described later. At this time, a part of the wiped liquid material 112 may go around the side surface 146 b of the nozzle 140. However, since the distance between the discharge port 144 and the side wall 146 (the thickness b of the outer wall 146) is sufficiently long, the nozzle 140 prevents the liquid material 112 attached to the side surface 146b from returning to the vicinity of the discharge port 144 during discharge. As a result, excellent ejection accuracy (ejection amount and ejection direction) can be maintained.
[0026]
As shown in FIG. 3, the surface (discharge surface) 146a of the outer wall 146 including the discharge port 144 may be chamfered. FIG. 3 is an enlarged sectional view showing the chamfered ejection surface 146a of the nozzle 140. Also in this case, the outer wall portion 146 is set so that the liquid material 112 attached to the side surface 146b of the outer wall portion 146 does not return to the vicinity of the discharge port 144 when it goes around the discharge surface 146a during the discharging operation. That is, the liquid material 112 has a thickness b of the outer wall portion 146 longer than that of the related art with respect to the outer diameter a of the discharge port 144, and is, for example, wiped by the cleaning member 150 described later and attached to the side surface 146b of the outer wall portion 146. Can be prevented from wrapping around the discharge surface 146a and adhering to the vicinity of the discharge port 144, and the time until the adhering remains can be lengthened. Therefore, during the ejection operation, the liquid material 112 attached to the side surface 146b of the nozzle 140 can be prevented from returning to the vicinity of the ejection port 144, and desired ejection accuracy (ejection amount and ejection direction) can be maintained. Further, by eliminating the corner between the ejection surface 146a and the side surface 146b of the nozzle 140, the cleaning member 150 can be further prevented from being caught on the nozzle 140. Note that the curvature R given to the discharge surface 146a may be only at each part where the discharge surface 146a and the side surface 146b of the outer wall 146 are joined. This allows the cleaning member 150 to move smoothly while the nozzle 140 has a flat surface on which the liquid material 112 does not move laterally on the discharge surface 146a.
[0027]
The cleaning member 150 moves on the surface (discharge surface) 146 a of the outer wall portion 146 including the discharge port 144 of the nozzle 140 and wipes the liquid material 112 attached to the vicinity of the discharge port 144. The cleaning member 150 is made of a material having elasticity such that the surface 150a on the discharge surface 146a side of the nozzle 140 uniformly contacts the discharge surface 146a. Depending on the shape of the liquid material 112 and the discharge surface 146a, a sponge or a squeegee may be used. Be composed. The cleaning member 150 may be moved (arrow A) so as to wipe a part of the discharge surface 146a across the discharge port 144 of the nozzle 140, as shown in FIG. As shown in b), the ejection surface 146a may be moved (arrow B) so as to wipe the entire surface. FIG. 4 is a schematic view showing the movement of the cleaning member 150 on the ejection surface 146a of the nozzle 140. Since the area of the ejection surface 146a of the nozzle 140 is large, the cleaning member 150 can move smoothly regardless of which one shown in FIG.
[0028]
Next, the cleaning operation of the ejection surface 146a of the nozzle 140 in the liquid material ejection device 100 will be described with reference to FIG. Here, FIG. 5 is a schematic diagram showing a cleaning operation of the discharge surface 146a of the nozzle 140 in the liquid material discharge device 100.
[0029]
As shown in FIG. 5A, the liquid material discharge device 100 operates the liquid material amount adjusting unit 130 while supplying pressurized air from the upper opening of the liquid material supply container 110 to discharge the nozzle 140 from the nozzle 140. The desired amount of the liquid material 112 is discharged from the outlet 144 in a desired direction. When the liquid material discharge device 100 discharges the liquid material 112, as shown in FIG. 5B, a residual liquid material 112a gradually adheres to the vicinity of the discharge port 144 of the discharge surface 146a. When the residual liquid material 112a is generated, the liquid material discharging apparatus 100 cannot discharge the liquid material 112 in a desired direction or cannot discharge a desired amount of the liquid material 112. As shown in FIG. 5, the cleaning member 150 is moved in the direction of arrow A while contacting the discharge surface 146a, and the residual liquid material 112a generated near the discharge port 144 is wiped off as shown in FIG. The wiped residual liquid material 112a is part of the residual liquid material 112a at a position where the cleaning member 150 is separated from the discharge surface 146a (for example, when the cleaning member 150 moves as shown in FIG. When the cleaning member 150 moves as shown in FIG. 4B, the residual liquid material 112c may be left on the side surface 146b of the outer wall 146 when the cleaning member 150 moves as shown in FIG. Since a part of the material 112a is separated from the discharge port 144 by a distance of, for example, 2 mm or more, it is possible to prevent the nozzle 140 from adhering again to the vicinity of the discharge port 144 due to the vibration or gravity of the nozzle 140 or to increase the time until the substance is adhered. It is possible to prevent the residual liquid material 112a from adhering to the vicinity of the discharge port 144 during the discharge operation and to maintain the desired discharge accuracy (discharge amount and discharge direction). It can be.
[0030]
Next, a liquid material ejection device 200 according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Here, FIG. 6 is a schematic configuration diagram showing a liquid material ejection device 200 according to the second embodiment of the present invention. The liquid material ejection device 200 of FIG. 6 is the same as the liquid material ejection device 100 of FIG. 1, but further includes a mask 170. The liquid material discharge device 200 is a device that supplies a liquid material 112 such as a thermosetting resin that seals the chip to protect the wiring of the IC chip. As shown in FIG. , A flow channel 120, a liquid material amount adjusting unit 130, a nozzle 240, a cleaning member 150, and a mask 170. In addition, components denoted by the same reference numerals as those shown in FIG. 1 are assumed to be the same as the members represented by the reference numerals, and redundant description will be omitted.
[0031]
The mask 170 is detachably connected to the outer wall 246 of the nozzle 240, and prevents the liquid material 112 wiped by the cleaning member 150 from adhering to the outer wall 246 of the nozzle 240. The nozzle 240 can connect the mask 170 regardless of the thickness b of the outer wall portion 246. An opening 172 is provided in the mask 170, and the ejection port 244 is exposed in the opening 172, so that the cleaning member 150 is moved while sequentially contacting the mask 170, the ejection surface 246 a, and the mask 170, and the liquid material 112 is moved. Can be wiped off. By separating the cleaning member 150 on the mask 170, the wiped liquid material 112 does not remain on the outer wall portion 246, the liquid material 112 can be completely removed from the nozzle 240, and the residual liquid material is processed. It is possible to prevent the body from dropping.
[0032]
As shown in FIG. 7, the mask 170 is formed of a plate-like member, and has an opening 172 at the center. Here, FIG. 7 is a schematic diagram showing an example of the mask 170, FIG. 7A is a schematic plan view of the mask 170, and FIG. 7B is a diagram when the mask 170 is connected to the outer wall portion 246 of the nozzle 240. It is a schematic sectional drawing. In the present embodiment, the shapes of the mask 170 and the opening 172 are circular. However, the mask 170 and the opening 172 may be formed in a polygonal shape including a quadrangle shape or another shape.
[0033]
Referring to FIG. 7, when the mask 170 is connected to the outer wall 246, the opening 172 exposes the vicinity of the discharge port 244 of the nozzle 240. That is, the cleaning member 150 wipes the ejection surface 246a corresponding to the opening 172 of the mask 170. Therefore, the outer diameter x of the opening 172 is formed to have a size that includes the discharge port 244 and exposes the region of the discharge surface 246a to which the liquid material 112 adheres. If the thickness y of the mask 170 is large, the cleaning member 150 cannot be moved smoothly due to the step, and the wiped liquid material 112 remains on the step. Therefore, it is preferable to reduce the thickness y of the mask 170 in order to reduce a step when the mask 170 is connected to the nozzle 240.
[0034]
When the thickness b of the outer wall portion 246 of the nozzle 240 is not enough to detachably connect the mask 170, as shown in FIG. 180 may be attached. The vertically movable portion 180 is attached to the outer wall portion 246 of the nozzle 240, is movable in the vertical direction of the nozzle 240, and has a mask 170 detachably connected to the lower surface 180a of the vertically movable portion 180. That is, as shown in FIG. 8B, the mask 170 is moved to the lower surface 180 a of the vertically movable unit 180 by moving the lower surface 180 a of the vertically movable unit 180 so as to form a plane with the discharge surface 246 a of the nozzle 240. It becomes possible to connect. Here, FIG. 8 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of the nozzle 240 to which the vertically movable unit 180 is mounted.
[0035]
Next, a cleaning operation of the discharge surface 246a of the nozzle 240 in the liquid material discharge device 200 will be described with reference to FIG. Here, FIG. 9 is a schematic diagram illustrating the cleaning operation of the discharge surface 246a of the nozzle 240 in the liquid material discharge device 200.
[0036]
The liquid material discharge device 200 operates the liquid material amount adjusting unit 130 while supplying pressurized air from the upper port of the liquid material supply container 110, thereby, as shown in FIG. From 244, the desired amount of the liquid material 112 is discharged in a desired direction. When the liquid material discharge device 200 discharges the liquid material 112, as shown in FIG. 9B, a residual liquid material 112e is gradually attached to the vicinity of the discharge port 244 of the discharge surface 246a. When the residual liquid material 112e is generated, the liquid material discharging apparatus 200 cannot discharge the liquid material 112 in a desired direction or cannot discharge the desired amount of the liquid material 112. As shown, the mask 170 is connected to the nozzle 240 so that the opening 172 exposes the ejection surface 246a near the ejection port 244 to which the residual liquid material 112e has adhered, and as shown in FIG. Is moved in the direction of arrow A while contacting the mask 170 (that is, the cleaning member 150 moves while sequentially contacting the mask 170, the discharge surface 246a, and the mask 170), and the residual liquid material generated in the vicinity of the discharge port 244 Wipe 112e. Since the wiped residual liquid material 112e may leave a part of the residual liquid material 112e at a position where the cleaning member 150 is separated, the cleaning member 150 is released on the mask 170 as shown in FIG. 9E. To do. Accordingly, even when a part of the wiped residual liquid material 112e remains, it is not on the nozzle 240 but on the mask 170. Then, as shown in FIG. 9F, the connection between the nozzle 240 and the mask 170 is disconnected, and the cleaning of the ejection surface 246a of the nozzle 240 is completed. Accordingly, the residual liquid material 112e attached to the vicinity of the discharge port 244 of the nozzle 240 is left on the mask 170, and the residual liquid material 112e can be completely removed from the nozzle 240. It is possible to prevent dripping.
[0037]
Next, a liquid material ejection device 300 according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Here, FIG. 10 is a schematic configuration diagram showing a liquid material ejection device 300 according to the third embodiment of the present invention. It is to be noted that the same components as those of the above-described liquid material discharging apparatus 100 are denoted by the same reference numerals, and the details are omitted.
[0038]
The liquid material discharge device 300 is a device for supplying a liquid material 112 such as a thermosetting resin for sealing a chip to protect the wiring of the IC chip. As shown in FIG. 110, a flow path 120, a liquid material amount adjusting unit 130, a nozzle 310, and a cleaning mechanism 320.
[0039]
The nozzle 310 is a member that discharges the liquid material 112 at a discharge position (that is, on the object to be processed), and is made of, for example, stainless steel or fluororesin. The nozzle 310 has a flow path connection port 312 and a discharge port 314 at an end. The flow path connection port 312 is connected to the flow path 120 (nozzle connection port 124), and supplies the nozzle 310 with the desired amount of the liquid material 112 extruded through the flow path 120 and the liquid material amount adjustment unit 130. Part. The discharge port 314 is a part that discharges an intended amount of the liquid material 112 supplied to the nozzle 310 to the object to be processed, and is formed by the outer wall portion 316 as well shown in FIG. Here, FIG. 11 is a schematic view of the vicinity of the discharge port 314 of the nozzle 310 indicated by a broken line B in FIG. 10, and FIG. 11A is a schematic sectional view of the vicinity of the discharge port 314 of the nozzle 310. (b) is a schematic plan view of the nozzle 310.
[0040]
Referring to FIG. 11, the nozzle 310 is configured such that the thickness b of the outer wall 316 is shorter than the outer diameter a of the discharge port 314, that is, the total diameter c of the nozzle 310 (the area of the discharge surface 316a). It is set to be smaller. The nozzle 310 has a thickness b of about 0.2 mm, for example, when the outer diameter a of the discharge port 314 is 3 mm or less, as in the related art. However, as the nozzle applicable to the liquid material ejection device 300, not only the nozzle 310 but also any nozzle known in the industry can be applied. For example, the above-described nozzle 140 can also be applied.
[0041]
The cleaning mechanism 320 has a device for removing the liquid material 112 attached near the discharge port 314 of the nozzle 310 from the nozzle 310. The cleaning mechanism 320 includes a nozzle receiving section 322, a driving section 324, and a cleaning member 326, as shown in FIG. The cleaning mechanism 320 can separate the nozzle receiving portion 322 where the liquid material wiped by the cleaning member 326 may remain from the nozzle 310 at the time of ejection, and can completely remove the liquid material 112 from the nozzle 310. Further, it is possible to prevent the liquid material wiped at the time of discharge from dropping on the object to be processed.
[0042]
As shown in FIG. 12, the nozzle receiving portion 322 has a fitting hole 322a into which the nozzle 310 fits, and fits with the nozzle 310, and the liquid material 112 wiped by the cleaning member 326 described later adheres to the nozzle 310. To prevent The fitting hole 322a has the same shape as the shape of the discharge surface 316a of the nozzle 310, and fits the nozzle 310 loosely or tightly. When the nozzle 310 is tightly fitted, it is formed to have a size slightly smaller than the size of the ejection surface 316a. In the present embodiment, the outer diameter x of the fitting hole 322a has the same size as the size of the discharge surface 316a of the nozzle 310, that is, the same length as the total diameter c of the nozzle 310, and the nozzle 310 is tightly fitted. I do. In addition, although the shape of the nozzle receiving portion 322 is a square shape, the nozzle receiving portion 322 may be formed in another shape such as a circle. Here, FIG. 12 is a schematic view of the nozzle receiving portion 322, FIG. 12A is a cross-sectional view of the nozzle receiving portion 322, and FIG. 12B is a plan view of the nozzle receiving portion 322. Note that, in the present embodiment, the outer shape of the nozzle receiving portion 322 is a square, but such a shape is exemplary and may have another shape.
[0043]
The nozzle receiving portion 322 is separated from the nozzle 310 when the liquid material discharge device 300 discharges the liquid material 112, and is used when the liquid material 112 attached to the discharge surface 316a of the nozzle 310 is wiped off as shown in FIG. The nozzle 310 is inserted from the upper receiving portion 322b, and a plane P is formed by the discharge surface 316a of the nozzle 310 and the lower nozzle receiving portion 322c. The plane P is a surface on which the cleaning member 326 described later moves, and is formed to have a large area so that the cleaning member 326 can smoothly move without being caught. Therefore, it is better that the width y of the nozzle receiving portion 322 is longer, and the width y is 2 mm or more, preferably 3 mm to 5 mm or more. Here, FIG. 13 is a schematic sectional view of the nozzle receiving portion 322 into which the nozzle 310 is fitted via the fitting hole 322a.
[0044]
When the nozzle 310 and the nozzle receiving portion 322 are tightly fitted and remain on the side surface 316b of the nozzle 310, as shown in FIG. The upper portion 322b is pushed up to prevent the liquid material 112 remaining adhering to the discharge surface 316a from adhering to the vicinity of the discharge port 314 or to increase the time until the liquid material 112 remains adhering, thereby maintaining a desired discharge accuracy for a long time. It becomes. Therefore, in this case, it is preferable to increase the thickness z of the nozzle receiving portion 322.
[0045]
Further, the nozzle receiving portion 322 may be composed of a plurality of members 323a and 323b forming a fitting hole 322a as well shown in FIG. As shown in FIG. 14B, the plurality of members 323a and 323b are fitted so as to sandwich the nozzle 310 from above the discharge port 314 of the nozzle 310, and as shown in FIG. A plane P is formed by 316a and the plurality of members 323a and 323b. Therefore, the liquid material remaining on the side surface 316b of the nozzle 310 is pushed down by the lower surfaces of the plurality of members 323a and 323b, and adheres to the lower surfaces of the plurality of members 323a and 323b. Accordingly, not only the liquid material attached to the vicinity of the discharge port 314 of the nozzle 310 but also the liquid material attached to the side surface 316b of the nozzle 310 can be removed. Here, FIG. 14 is a schematic diagram of the nozzle receiving portion 322 constituted by a plurality of members 323a and 323b. In the present embodiment, the number of members forming the nozzle receiving portion 322 by forming the fitting hole 322a is two. However, for example, the number of members may be three, and the number is limited. Not done.
[0046]
The driving section 324 drives the nozzle 310 and the nozzle receiving section 322 to attach / detach the nozzle 310 to / from the fitting hole 322a of the nozzle receiving section 322, and slides the nozzle receiving section 322 through the fitting hole 322a. When the nozzle receiving section 322 is formed of one member, the driving section 324 drives the nozzle 310 to move the nozzle 310 from the discharge position to the cleaning mechanism 320 or moves the cleaning mechanism 320 to the nozzle 310 section, It is inserted into the fitting hole 322a from the receiving part upper part 322b. When the nozzle receiving portion 322 is composed of a plurality of members, the nozzle 310 is driven to move from the discharge position to the cleaning mechanism 320, or the cleaning mechanism 320 is moved to the nozzle 310 to discharge the nozzle 310. The nozzle receiving portion 322 is driven to insert the nozzle 310 from above the outlet 314 into the fitting hole 322a. When the driving section 324 inserts the nozzle 310 into the fitting hole 322a, the driving section 324 slides the nozzle receiving section 322 up and down so that the discharge surface 316a of the nozzle 310 and the lower surface of the nozzle receiving section 322 form a plane P.
[0047]
The cleaning member 326 moves on the surface of the nozzle receiving portion 322 including the discharge port 314 of the nozzle 310 and wipes the liquid material 112 attached near the discharge port 314 of the nozzle 310. The cleaning member 326 is made of a material having elasticity so as to uniformly contact the surface of the nozzle receiving portion 322 including the discharge port 314 of the nozzle 310, that is, the plane P, and the liquid material 112 and the discharge surface 316 a of the nozzle 310. Depending on the shape of the nozzle receiving portion 322, the nozzle receiving portion 322 is formed of a sponge, a squeegee or the like. As described above, the cleaning member 326 may be moved so as to wipe a part of the plane P across the discharge port 314 of the nozzle 310, or may be moved to wipe the entire surface of the plane P. The cleaning member 326 can move on the plane P smoothly because the area of the plane P is large.
[0048]
The liquid material discharge device 300 operates the liquid material amount adjustment unit 130 while supplying pressurized air from the upper port of the liquid material supply container 110 at the discharge position, so that the desired amount of liquid is discharged from the discharge port 314 of the nozzle 310. The liquid material 112 is discharged in a desired direction. As the liquid material discharge device 300 discharges the liquid material 112, a residual liquid material that gradually adheres to the vicinity of the discharge port 314 of the discharge surface 316a is generated. When the residual liquid material is generated, the liquid material discharge device 300 cannot discharge the liquid material 112 in a desired direction or discharge a predetermined amount of the liquid material 112. Therefore, cleaning to wipe off the residual liquid material is performed. Required.
[0049]
Hereinafter, a method of cleaning the discharge surface 316a of the nozzle 310 in the liquid material discharge device 300 will be described with reference to FIG. Here, FIG. 15 is a flowchart for explaining a cleaning method 1000 of the discharge surface 316a of the nozzle 310 in the liquid material discharge device 300.
[0050]
First, the nozzle 310 in which the residual liquid material is generated in the vicinity of the discharge port 314 of the discharge surface 316a is moved from the discharge position to the cleaning mechanism 320, or the cleaning mechanism 320 is moved to the nozzle 310 (step 1002). Next, in the cleaning mechanism 320, the nozzle receiving portion 322 having the fitting hole 322a into which the nozzle 310 is fitted is fitted into the nozzle 310 so as to coincide with the discharge port 314 of the nozzle 310 (Step 1004). At this time, the nozzle receiving portion 322 is slid vertically with respect to the nozzle 310, and a plane P is formed by the discharge surface 316 a of the nozzle 310 and the lower surface of the nozzle receiving portion 322. After the nozzle 310 is fitted into the nozzle receiving portion 322, the cleaning member 326 wipes the nozzle receiving portion 322 including the discharge port 314 of the nozzle 310, that is, the plane P, and removes the residual liquid material attached near the discharge port 314. (Step 1006). Since the wiped residual liquid material may leave a part of the residual liquid material at a position where the cleaning member 326 is separated, the cleaning member 326 is separated on the nozzle receiving portion 322. As a result, even when a part of the wiped residual liquid material remains, it is not on the nozzle 310 but on the nozzle receiving portion 322. Then, the connection between the nozzle 310 and the nozzle receiving portion 322 is disconnected, and the nozzle 310 is moved to the discharge position for discharging the liquid material 112 or the cleaning mechanism 320 is moved (Step 1008), and the cleaning is completed. Therefore, the residual liquid material attached to the vicinity of the discharge port 314 and the side surface 316 b of the nozzle 310 remains in the nozzle receiving portion 322, and the residual liquid material can be completely removed from the nozzle 310. In other words, it means transferring the remaining liquid material to the nozzle receiving portion 322 of the cleaning mechanism 320. Thus, according to the cleaning method 1000 of the present invention, it is possible to completely remove the liquid material from the nozzle, and not to move the wiped residual liquid material together with the nozzle 310 at the discharge position. Can be prevented from dripping on the object.
[0051]
The preferred embodiments of the present invention have been described above. However, it goes without saying that the present invention is not limited to these embodiments, and various modifications and changes can be made within the scope of the gist. For example, in the present embodiment, a round nozzle is used as a nozzle, but it is not necessarily limited to this, and a nozzle other than a round nozzle may be used.
[0052]
【The invention's effect】
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to the liquid material discharge apparatus and the cleaning method of this invention, the discharge surface of the nozzle which discharges a liquid material prevents the liquid material adhered to the nozzle side from returning to the vicinity of the discharge port, thereby achieving excellent discharge accuracy. Can be maintained, and the wiping operation of the discharge surface of the nozzle can be performed smoothly. Further, since the residual liquid material attached to the vicinity of the discharge port and the side surface of the nozzle is completely removed from the nozzle, more excellent discharge accuracy can be maintained, and the wiped residual liquid material is dripped on the workpiece. Can be prevented.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram illustrating a liquid material ejection device according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged sectional view of a main part near a discharge port of a nozzle shown by a broken line A in FIG.
FIG. 3 is an enlarged sectional view showing a chamfered ejection surface of a nozzle.
FIG. 4 is a schematic view showing movement of a cleaning member on a discharge surface of a nozzle.
FIG. 5 is a schematic diagram illustrating a cleaning operation of a discharge surface of a nozzle in the liquid material discharge device illustrated in FIG. 1;
FIG. 6 is a schematic configuration diagram illustrating a liquid material ejection device according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a schematic view showing an example of the mask shown in FIG.
FIG. 8 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of a nozzle to which a vertically movable unit is mounted.
9 is a schematic diagram illustrating a cleaning operation of a discharge surface of a nozzle in the liquid material discharge device illustrated in FIG. 6;
FIG. 10 is a schematic configuration diagram illustrating a liquid material ejection device according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 11 is a schematic view of the vicinity of a discharge port of a nozzle indicated by a broken line B in FIG.
FIG. 12 is a schematic view of a nozzle receiving section shown in FIG.
FIG. 13 is a schematic sectional view of a nozzle receiving portion into which a nozzle is fitted via a fitting hole.
FIG. 14 is a schematic view of a nozzle receiving portion constituted by a plurality of plate members.
FIG. 15 is a flowchart for explaining a method of cleaning a discharge surface of a nozzle in the liquid material discharge device shown in FIG. 10;
FIG. 16 is a schematic enlarged sectional view showing an example of conventional cleaning for removing a liquid material remaining on a nozzle.
[Explanation of symbols]
100 liquid material discharge device
110 Liquid material supply container
120 channels
130 Liquid material amount adjustment unit
140 nozzle
144 outlet
146 outer wall
146a Discharge surface
146b side view
150 Cleaning member
170 Mask
180 Vertically movable parts
300 liquid material discharge device
320 Cleaning mechanism
322 nozzle receiving part
322a fitting hole
323a, 323b members
324 drive unit
326 Cleaning member

Claims

A nozzle having a thickness of 2 mm or more of an outer wall forming a discharge port for discharging a liquid material,
A cleaning member that moves on a surface of the outer wall portion including the discharge port and wipes the liquid material attached near the discharge port.

A nozzle having a discharge port for discharging a liquid material,
A mask having an opening detachably connected to the ejection surface of the nozzle,
A cleaning member for moving the mask including the discharge port and wiping the liquid material attached to the vicinity of the discharge port.

A nozzle having a discharge port for discharging a liquid material,
A nozzle receiving portion having a fitting hole into which the nozzle fits,
A drive unit that attaches and detaches the nozzle to and from the fitting hole of the nozzle receiving unit, and enables the nozzle receiving unit to slide through the fitting hole.
A cleaning member that moves on a surface of the nozzle receiving portion including the discharge port and wipes the liquid material attached near the discharge port.

4. The liquid material discharge device according to claim 3, wherein the nozzle receiving portion includes a plurality of members forming the fitting hole, and is fitted into the nozzle from above the discharge port. 5.

A method for cleaning a nozzle having a discharge port for discharging a liquid material,
Fitting the nozzle receiving portion having a fitting hole into which the nozzle fits into the nozzle so as to coincide with the discharge port;
Wiping the nozzle receiving portion including the discharge port to remove the liquid material attached near the discharge port.

Connecting a mask having an opening to a discharge surface of a nozzle having a discharge port for discharging the liquid material, so that the vicinity of the discharge port is exposed;
Pressing a cleaning member against the mask;
Removing the liquid material attached to the vicinity of the discharge port of the nozzle exposed through the opening by relatively moving the cleaning member and the nozzle connected to the mask.