JP2004063766A - Method of manufacturing multilayer ceramic electronic component and method of gravure printing - Google Patents

Method of manufacturing multilayer ceramic electronic component and method of gravure printing Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component which includes a process that permits high precision printing without any printing skewness when printing a conductive paste or a ceramic paste for eliminating a level difference by gravure printing. <P>SOLUTION: A first gravure printing process is to print the conductive paste or the ceramic paste for eliminating a level difference on a ceramic green sheet, and a second gravure printing process is to print the ceramic paste for eliminating a level difference or the conductive paste in a second region except for the first region on the ceramic green sheet by gravure printing. The first and the second gravure printing processes are repeated to obtain a laminate. In the first and the second gravure printing processes, a plurality of first printing marks and second printing marks are printed, respectively. After the second gravure printing, the deviations between the first printing marks and the second printing marks are detected. Printing conditions are so corrected as to cancel the deviations for the next second printing process onward. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば積層コンデンサなどの積層セラミック電子部品の製造方法及びグラビア印刷方法に関し、より詳細には、導電ペースト及びセラミックグリーンシートをグラビア印刷法を用いて印刷する工程が改良された積層セラミック電子部品の製造方法並びにグラビア印刷方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば積層セラミックコンデンサの製造に際し、支持フィルムに支持されたセラミックグリーンシート上にセラミックペースト及び導電ペーストをグラビア印刷する方法が知られている。
【0003】
特開平8−250370号公報には、積層セラミックコンデンサの製造方法において、長尺状の支持フィルム上に形成された誘電体グリーシート上に第1のグラビアロールにより複数の内部電極用パターンをグラビア印刷し、さらに第2のグラビアロールにより前記パターン間に段差解消用誘電体パターンをグラビア印刷したものが開示されている。
【0004】
上記のように、長尺状の誘電体グリーンシートに内部電極用パターンおよび段差解消用誘電体パターンをグラビアロールによりグラビア印刷を行うに際しては、特に誘電体グリーンシートの幅方向(誘電体グリーンシートの搬送方向に直交する方向)に位置ずれが発生することがある。
【0005】
このような幅方向の位置ずれは、上記のような誘電体グリーシート上に内部電極用パターンと段差解消用誘電体パターンを印刷するものにおいては、内部電極用パターンと段差解消用誘電体パターンが重なり合ったり、両者の隙間が開き過ぎたりして、両者を所望の位置に形成することができない。
【0006】
そこで従来、幅方向のずれの修正は、2回目のグラビア印刷工程の前に、第2のグラビアロールをその軸方向に、すなわち、長尺状の誘電体グリーシートの幅方向に移動させることにより行われていた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
そのため、図21に示すように、グラビアロールの移動のタイミングによっては、歪みのある段差解消用誘電体パターン101bが生じざるを得なかった。図21において、102は、長尺状の誘電体グリーシートを示し、支持フィルム搬送方向は矢印A方向、印刷方向は矢印B方向、グラビアロールを移動させた位置は矢印Cである。また、印刷パターン101a、101b、101cは、それぞれグラビアロール1回転で印刷されたものである。
【0008】
また、グラビアロールの移動のタイミングによっては、段差解消用誘電体パターン101bの塗布厚が変動するという問題もあった。
上記のような段差解消用誘電体パターンの印刷歪みや塗布厚変動が生じると、段差解消用誘電体パターンの本来の目的である内部電極パターンとの段差の解消ができなくなり、デラミネーション等の積層体の構造欠陥が発生してしまうといった問題があった。
【0009】
また、上記積層セラミックコンデンサの製造に際しての導電ペースト及び段差解消用セラミックペーストをグラビア印刷により印刷する方法の他、多色刷りのグラビア印刷法においても、同様に、印刷ずれが生じ、高精度に多色刷りの印刷を行うことが困難であるという問題があった。
【0010】
本発明の目的は、上述した従来技術の現状に鑑み、シート上に導電ペーストまたは段差解消用セラミックペーストをグラビア印刷する工程を備えた積層セラミック電子部品の製造方法であって、印刷ずれの修正を高精度に行うことができ、段差解消用セラミックペーストまたは導電ペーストの印刷歪みが生じ難い、積層セラミック電子部品の製造方法、並びに多色刷りを行う場合に、各色のグラビア印刷のずれを高精度に修正することができ、印刷歪みが生じ難いグラビア印刷方法を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法は、支持フィルム上にセラミックグリーンシートが形成された長尺状の複合シートを用意する工程と、前記セラミックグリーンシート上の印刷領域内の第1の領域にグラビア印刷法により導電ペーストまたは段差解消用セラミックペーストを印刷する第1グラビア印刷工程と、前記セラミックグリーンシート上の印刷領域内の第2の領域にグラビア印刷法により段差解消用セラミックペーストまたは導電ペーストを印刷する第2グラビア印刷工程とを備え、前記第1グラビア印刷工程において、複数の印刷マークが印刷領域外に印刷され、第2グラビア印刷工程において、印刷領域外に複数の第2の印刷マークが印刷され、第2のグラビア印刷工程後に、第1の印刷マークと第2の印刷マークとのずれを検出し、求められたずれ量を解消するように次回以降の第2グラビア印刷工程が行われ、前記セラミックグリーンシートと導電ペーストと段差解消用セラミックペーストとからなる複合グリーンシートを積層する工程を複数回繰り返すことにより積層体を得る工程とをさらに備える。
【0012】
本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法のある特定の局面では、前記複数の第1の印刷マークと複数の第2の印刷マークとのずれを検出するにあたり、セラミックグリーンシート搬送方向に沿うずれ量と、セラミックグリーンシート搬送方向と直交する方向におけるずれ量と、複数の第1の印刷マークを結ぶ方向と、複数の第2の印刷マークを結ぶ方向とのなす角度であるねじれ方向のずれ量とが検出される。
【0013】
本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法の他の特定の局面では、複数の第1の印刷マーク及び複数の第2の印刷マークが、それぞれ、相対的に大きな印刷マークと、相対的に小さな印刷マークとを有する。この場合、相対的に大きな印刷マークを用いて大きな印刷ずれを迅速に検出することができ、次に小さな印刷マークを用いて微小な印刷ずれを検出し、それによって高精度に印刷ずれを修正することができる。
【0014】
相対的に大きな印刷マークは、好ましくは、相対的に大きな印刷マークは、相対的に小さな印刷マークよりも印刷方向前方に配置される。従って、まず、粗い印刷ずれを、前方に配置された相対的に大きな印刷マークを用いて検出することができ、次に、後方に配置された相対的に小さな印刷マークにより微小な印刷ずれを検出することができる。
【0015】
本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法のさらに他の特定の局面では、前記ずれ量を解消するように第2グラビア印刷工程を行うにあたり、前記セラミックグリーンシートを搬送するタイミング及び前記搬送方向と直交する方向におけるセラミックグリーンシートの位置が調整される。すなわち、上記セラミックグリーンシートを搬送するタイミング及び搬送方向と直交する方向におけるセラミックグリーンシートの位置を調整することにより、第2グラビア印刷工程を高精度に行うことができる。
【0016】
本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法のさらに別の特定の局面では、前記ずれ量を解消するように第2グラビア印刷工程を行うにあたり、前記グラビアロールの軸方向と前記セラミックグリーンシートの搬送方向とのなす角度が調整される。この場合には、第2グラビア印刷工程に際し、グラビアロールの軸方向とセラミックグリーンシートの搬送方向とのなす角度が調整されることにより、ねじれ方向の印刷ずれが解消される。
【0017】
本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法のさらに他の特定の局面では、前記マザーのセラミックグリーンシートを積層する工程において、積層後に無地のマザーのセラミックグリーンシート上に第3の複数の印刷マークが印刷され、前記複数の第3の印刷マークを基準として、次の複合グリーンシートを得るための第1グラビア印刷工程において付与される第1の印刷マークのずれが検出され、それによって第1グラビア印刷工程の印刷ずれを補正するように第1グラビア印刷工程が行われる。従って、無地のマザーのセラミックグリーンシート上に、正確に次の第1グラビア印刷工程を実施することができる。
【0018】
本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法のさらに他の特定の局面では、前記積層体を得る工程が、前記支持フィルム上の複合グリーンシート上にさらに無地のセラミックグリーンシートを積層する工程を複数回繰り返す工程をさらに備える。
【0019】
本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法のさらに他の特定の局面では、前記支持フィルム上に複数層の複合グリーンシートが形成され、かつ前記積層体を得る工程が、該複数層の複合グリーンシートを積層する工程を複数回繰り返すことにより行われる。
【0020】
本発明の別の広い局面によれば、多色刷りを行うために、複数回のグラビア印刷工程が実施されるグラビア印刷方法であって、各グラビア印刷工程において、複数の印刷マークが印刷され、前回印刷された複数の印刷マークに対する現に印刷された複数の印刷マークのずれ量を検出する工程と、検出されたずれ量に応じてグラビア印刷工程を補正するようにして次のグラビア印刷工程を実施する工程とを備える、グラビア印刷方法が提供される。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の具体的な実施例を説明することにより、本発明を明らかにする。
【0022】
図4は、本発明の一実施例に係る積層セラミック電子部品の製造方法を説明するための装置の概略構成図である。
積層セラミック電子部品の製造装置1では、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレンナフタレートなどの合成樹脂からなる支持フィルム上に、セラミックグリーンシートが形成された長尺状の複合シート2が図示の矢印Dで示すように供給される。この装置は、第1,第2グラビア印刷部3,4を有し、それぞれにおいて、複合シート2の一方面に印刷が行われる。
【0023】
第1グラビア印刷部3は、第1グラビアロール5と、第1圧接ロール6とを有する。図5に示すように、グラビアロール5は、円筒状の形状を有し、その外周面5aには、周方向に沿って複数の印刷部7aが設けられている。印刷部7aには、内部電極となる導電ペーストを複合シート2上の第1の領域に印刷するために、複数の矩形の凹部(印刷図形)がマトリクス状に設けられている。また、凹部内には格子状の土手によって仕切られた複数のセル(窪み)が設けられている。なお、凹部の形状は、積層セラミック電子部品で必要とされる内部電極形状に合わされており、上記矩形の形状に限定されない。
【0024】
また、第1のグラビアロール5の外周面には、第1の印刷部7aだけでなく、後述する複合シート2の位置ずれを補正するための複数の第1の印刷マークを印刷するために、第1の印刷マーク用印刷部7c,7dが設けられている。さらに、後述のトリガセンサ用マークを印刷するための印刷部7eが設けられている。
【0025】
図5においては、複数の第1の印刷マークを印刷するための印刷マーク用印刷部7c,7dは円形状を有するように構成されている。また、トリガセンサ用マークを印刷するための印刷部7eは、グラビアロール5の軸方向に長手方向を有する矩形の形状とされている。
【0026】
第1グラビア印刷部3のグラビアロール5と圧接ロール6との間に、複合シート2が挟み込まれ、上記印刷部7aの凹部に、グラビアロール5の近傍に設けられた図示しない導電ペースト付与手段により導電ペーストが充填され、複合シート2に転写されてグラビア印刷が行われる。なお、導電ペーストとしては、Ag、Ag−Pd、Ni、CuまたはAuなどからなる導電性粉末と有機ビヒクルとを混合したものが用いられる。
【0027】
第1グラビア印刷部3では、グラビアロール5と圧接ロール6との間に複合シート2を供給するために、ローラ8a〜8eが配置されている。また、グラビアロール5の後段には、ローラ8fが配置されており、ローラ8fを介して、印刷された複合シート2が第1の乾燥装置9に搬送される。乾燥装置9は、適宜なヒータを備えており、印刷された導電ペーストを搬送するために設けられている。
【0028】
乾燥装置9の下流側には、ローラ10a,10bが配置されており、導電ペーストが乾燥された後、複合シート2が第2グラビア印刷部4に供給される。
第2グラビア印刷部4には、第2のグラビアロール11と第2の圧接ロール12とが配置されている。
【0029】
第2のグラビアロール11は、第1グラビアロール5と印刷部の形状が異なることを除いてはほぼ同様に構成されている。すなわち、第2グラビアロール11には、段差解消用セラミックペーストを複合シート2上の導電ペーストの印刷されていない第2の領域に印刷する形状となる複数の印刷部が設けられている。
【0030】
また、第2のグラビアロールにおいても、印刷部の側方に、第1グラビアロール5と同様に、印刷ずれを補正するための複数の第2の印刷マークを印刷するための印刷マーク用印刷部が設けられている。
【0031】
第2グラビア印刷部4のグラビアロール11と圧接ロール12との間に、導電ペーストが印刷された複合シート2が挟み込まれ、段差解消用セラミックペーストが複合シート2の第2の領域に転写され、グラビア印刷が行われる。このようにして、セラミックグリーンシートと導電ペーストと段差解消用セラミックペーストからなる複合グリーンシートが形成される。
【0032】
なお、段差解消用セラミックペーストは、誘電体セラミックス、磁性体セラミックス、あるいはガラスセラミックスなどのセラミック粉末と有機ビヒクルとを混合したものである。
【0033】
複合シート2をグラビアロール11と圧接ロール12との間に供給するために、ローラ13a〜13eが配置されている。グラビアロール11の後段には、ローラ13fを介して第2の乾燥装置14が配置されている。
【0034】
第2の乾燥装置14の下流には、ローラ15a,15bが配置されており、第1,第2のグラビア印刷部3,4で印刷が行われた複合シート2が矢印E方向に沿って排出される。
【0035】
本実施例の特徴は、上記第1,第2のグラビアロール5,11により第1,第2のグラビア印刷工程を実施するにあたって、第2グラビア印刷工程における段差解消用セラミックペーストの印刷ずれが検出され、該印刷ずれが補正されることにある。これを、図1〜図3を参照して説明する。
【0036】
図1は、第1グラビア印刷工程で、支持フィルム上に長尺状セラミックグリーンシートが形成されている複合シート2のセラミックグリーンシート側の面に、第1グラビア印刷工程で印刷領域F内に内部電極形状に合わせて導電ペーストが印刷された状態を示す模式的部分切欠平面図である。矢印Dは複合シートの搬送方向を示す。印刷領域F内に、導電ペーストが印刷されるが、同時に、印刷領域Fの側方に、複数の第1の印刷マーク21a,21bと、トリガセンサ用マーク22とが印刷される。
【0037】
他方、図2は、第2グラビア印刷工程後の状態を示す模式的部分切欠平面図である。第2グラビア印刷工程では、印刷領域内の第1グラビア印刷工程において印刷された導電ペーストが印刷されていない第2の領域に段差解消用セラミックペーストが印刷される。しかしながら、第2グラビア印刷工程を、第1グラビア印刷工程後に印刷ずれを生じないように印刷することは現実には非常に困難である。従って、図2に示すように、第2グラビア印刷工程における印刷領域F′が第1グラビア印刷工程における印刷領域Fとずれがちとなる。なお、図2では略図的に示されているが、印刷領域F′内に、上記段差解消用セラミックペーストが印刷される。そして、印刷領域F′の側方には、複数の第2の印刷マーク23a,23bが印刷される。
【0038】
本実施例の特徴は、第2グラビア印刷工程を行った後に、第1グラビア印刷工程で印刷された複数の印刷マーク21a,21bと、第2グラビア印刷工程で印刷された複数の第2の印刷マーク23a,23bとの間のずれ量を検出し、該ずれ量に応じて、次回以降の第2グラビア印刷工程における印刷条件を調整することにある。
【0039】
複数の印刷マーク21a,21b及び23a,23bは、印刷領域F,F′に対して所定の位置関係となるように印刷される。すなわち、このような関係で印刷マーク21a,21b,23a,23bが印刷されるように、第1,第2のグラビアロールの印刷部が構成されている。
【0040】
第1グラビア印刷マーク21a,21bに対する第2グラビア印刷マーク23a,23bの位置ずれ量の検出は、カメラ及び画像処理装置を用いて行うことができ、このずれ量に応じて、第2グラビア印刷工程の印刷条件を補正すればよい。例えば、第1の印刷マーク21a,21bに対して、第2の印刷マーク23a,23bが印刷方向すなわち複合シート2の搬送方向においてずれている場合には、第2グラビア印刷工程において第2グラビアロールに複合シート2が圧接されるタイミングをずらせばよい。また、第2印刷マーク23a,23bが、第1の印刷マーク21a,21bに対して、複合シート2の搬送方向と直交する方向にずれている場合には、グラビアロール11をその軸方向に移動させて補正すればよい。
【0041】
さらに、本実施例の特徴は、複数の第1の印刷マーク21a,21bと、複数の第2の印刷マーク23a,23bとが設けられているため、前述したねじれ方向の位置ずれをも検出することができ、かつ該ねじれ方向の位置ずれを補正することができる。図2は、このようなねじれ方向の位置ずれが生じている場合を示す。この場合、複数の印刷マーク21a,21bを結ぶ方向X1と、複数の第2の印刷マーク23a,23bを結ぶ方向X2とが角度θをなして交差することになる。従って、この角度θが0となるように、第2のグラビアロール11の軸方向を搬送方向Dと直交する方向から角度θだけ傾ければよい。
【0042】
図3は、このようなねじれ方向の補正を行う手段の一例を略図的に示す部分切欠正面図である。図3に示すように、第2グラビアロール11は、軸11bの周りに図示しない駆動源により回転し得るように構成されている。図3に示すように、グラビアロール11の軸方向両外側において、軸11bに、それぞれ、例えば位置決めモーターなどからなる駆動手段46a,46bが配置されている。駆動手段46a,46bを駆動することにより、軸11a、ひいてはグラビアロール11を、図3の矢印Y,−Y方向に移動させることができる。従って、位置決めモーター46a,46bによる駆動量を異ならせることにより、グラビアロール11の軸方向を、セラミックグリーンシートの搬送方向と直交する方向から角度θだけずらすことができる。
【0043】
本実施例によれば、上記のように第1の印刷マーク及び第2の印刷マークがそれぞれ複数設けられているため、ねじれ方向の位置ずれをも補正することができる。
【0044】
上記のようにして、第2グラビア印刷工程における位置ずれが補正された後に、長尺状の複合シート2上に、第1グラビア印刷工程を行った後、上記補正結果に従って第2グラビア印刷工程が行われる。このようにして、高精度に、セラミックグリーンシート上の導電ペーストの周囲に段差解消用セラミックペーストが印刷された複合グリーンシートを形成することができる。
【0045】
図6は、上記第1,第2グラビア印刷工程を実施することにより、支持フィルム2上に2層の複合グリーンシート27が積層されている状態を示す部分切欠断面図である。このような構成にするためには、支持フィルム2上に1層目の複合グリーンシートを形成した後に、その上に無地のセラミックグリーンシートを形成し、さらにその上に第1,第2のグラビア印刷を行うことによって2層目の複合グリーンシートを形成すればよい。
【0046】
なお、上記実施形態においては2層の複合グリーンシート27が積層されているが、さらに複数層、例えば3〜5層を積層してもよい。
また、無地のセラミックグリーンシートの形成においては、1層目の複合グリーンシートにダイコータ等の塗工装置により、無地のセラミックグリーンシートを成形してもよいし、予め無地のセラミックグリーンシートを用意しておいて、そのシートを1層目の複合グリーンシートに熱圧着してもよい。無地のセラミックグリーンシートは支持フィルム全面に形成される。
【0047】
また、無地のセラミックグリーンシートを複数層積層した後に、第1,第2のグラビア印刷工程を行ってもよい。無地のセラミックグリーンシート同士が重ねられることによって、セラミックグリーンシートに発生するピンホールによる絶縁不良が防止される。また、このように内部電極が形成されない中間層を構成することによって、特性が向上する積層セラミック電子部品も存在する。
【0048】
また、支持フィルム上の最上層の無地のセラミックグリーンシート上には第1,第2のグラビア印刷工程を行わずに次の積層工程を行ってもよい。その場合には、すでに積層されている複合グリーンシートの最上層の無地のセラミックグリーンシートと、次に積層される複合グリーンシートの最下層のセラミックグリーンシートとが重ねられるため、上記と同様にピンホールによる絶縁不良を防止することができる。
【0049】
しかる後、図示しないカッティングヘッドを用いて支持フィルム上において積層体のみが矩形状に切断され、支持フィルムから剥離される。そして、積層体はカッティングヘッドにより図示しない積層ステージに搬送され、すでに載置されている積層体と仮圧着される。これが順次繰り返されることにより、所望の積層数の積層体が形成される。
【0050】
なお、積層体の上下外層には必要に応じて(積層セラミック電子部品の種類に応じて)無地のセラミックグリーンシートを配置してもよい。また、外層用の無地のセラミックグリーンシートは、長尺状のグリーンシートから矩形状に形成されてもよく、予め矩形状にされたグリーンシートを用いてもよい。
【0051】
しかる後、積層体を厚み方向に本プレスする。
このようにして得られたマザーの積層体を図7(a)に略図的に示す。マザーの積層体31では、複数の導電ペースト32がセラミック層を介して重なり合うように配置されている。次に、マザーの積層体31を個々の積層セラミックコンデンサ単位の積層体を得るように厚み方向に切断する。それによって、図7(b)に略図的に示す積層体33が得られる。この積層体33を焼成することにより、図9に示すセラミック焼結体34が得られる。セラミック焼結体34の端面34a,34bを覆うように、外部電極35,36が形成される。このようにして、積層セラミック電子部品としての積層セラミックコンデンサ36が得られる。
【0052】
次に、図9〜図18(a)及び(b)を参照して、本発明の第2の実施例の積層セラミックコンデンサの製造方法を説明する。第2の実施例では、第1の実施例と同様にして、第1,第2グラビア印刷工程が行われるが、さらに、無地のマザーのセラミックグリーンシートが積層された後に導電ペーストを印刷するための第1グラビア印刷工程においても位置ずれが補正される。従って、マザーの積層体を得るにあたって全ての複合グリーンシートを高精度に形成することができる。
【0053】
図9は、上記印刷ずれを検出する回路及び検出された印刷ずれに応じて印刷条件を補正する回路を含む制御装置を示すブロック図である。図9に示すように、複数の第1の印刷マーク及び第2の印刷マークが、印刷マーク撮影カメラ41,42で撮影される。なお、43はトリガセンサを示し、前述したトリガセンサ用マーク22を検出する。
【0054】
カメラ41,42は、画像処理装置44に接続されている。また、撮影を行うために、セラミックグリーンシートに光を照射する光源45が配置されている。光源45は、例えばストロボ光源装置により構成される。
【0055】
トリガセンサ43は、例えば光電スイッチからなり、トリガセンサ用マーク22を検出した際に、該検出モードを示す信号がアンドゲート46の一方入力端に与えられる。アンドゲート46の他方入力端は、コントローラ51に接続されている。
【0056】
コントローラ51は、データ処理部52、上位通信部53、角度及び速度検出部54及び位置ずれ補正部55a,55bを有する。コントローラ51の角度検出部54は、理論的にトリガセンサ用マーク検出位置である場合に、「ハイ」の信号をアンドゲート46に与える。アンドゲート46に、トリガセンサからトリガセンサ用マークが検出された信号が「ハイ」の信号として入力される。従って、アンドゲートが、オン状態の信号を発生し、その結果、光源45のストロボ光源装置が光をセラミックグリーンシートに照射する。この時、カメラにより、第1,第2の印刷マークが撮影され、撮影されたデータが画像処理装置に与えられ、画像処理装置で二値化されたデータがコントローラ51のデータ処理部52に与えられる。コントローラ51には、出力装置として画像モニター58が接続されており、この撮影データが画像モニター58により目視し得るように構成されている。
【0057】
また、コントローラ51は、画像処理装置44から与えられた上記第1,第2の印刷マークの撮影データをデータ処理部52で処理し、第1の印刷マークに対する第2の印刷マークの位置ずれ量を演算する。このようにして求められた位置ずれ量に応じて、位置決め補正部55a,55bから、出力信号がモーター62,63に与えられる。モーター62,63は、第2グラビアロール11の軸方向位置及び軸方向と直交する方向位置を変化させ得るように構成されている。
【0058】
従って、上記位置ずれ量に応じて、コントローラ51により、モーター62,63が駆動され、グラビアロール11の軸方向位置、すなわちセラミックグリーンシート搬送方向に直交する方向の位置及び印刷方向に沿う位置が調整されることになる。加えて、上記のように、ねじれ方向の位置ずれが生じている場合には、位置決め補正部56a,56bにより、位置決めモーター64a、64bが駆動され、ねじれ方向の位置ずれが補正される。
【0059】
なお、角度及び速度検出部54が、グラビアロール・エンコーダー65に接続されている。グラビアロール・エンコーダー65は、グラビアロールの角度位置及び回転速度を表わす信号、角度及び速度検出部54に与える。角度及び速度検出部54は、グラビアロールが安定された速度で回転されており、かつ設定された角度位置にある場合に「ハイ」の信号をアンドゲート46に与える。
【0060】
第2の実施例においても、第1の実施例と同様の製造装置等が用いられるため、製造装置等の説明については、第1の実施例の説明を援用するとともに、主として異なる部分を以下において説明することとする。
【0061】
第2の実施例では、第1グラビア印刷工程は、第1の実施例と同様に行われる。すなわち、図10に示すように、第1グラビア印刷工程において、印刷領域Fに導電ペーストが印刷され、かつ複数の第1の印刷マーク21a,21bと、トリガセンサ用マーク22とが同じ導電ペーストで印刷される。なお、ここでは、複数の印刷マーク21a,21bは、印刷方向前方にある相対的に大きな印刷マーク21aと、印刷領域後方に位置する相対的に小さな印刷マーク21bとを有するように構成されている。
【0062】
次に、第2グラビア印刷工程を実施する。この場合、第2グラビア印刷工程では、第1の実施例と同様に段差解消用セラミックペーストが印刷されるが、同時に複数の第2の印刷マークが同じセラミックペーストで印刷される。図11(a)に示すように、第1の印刷マーク21a,21b及びトリガセンサ用マーク22に加えて、第2グラビア印刷マーク23a,23bが印刷される。複数の第2の印刷マーク22a,22bもまた、複数の第1の印刷マーク21a,21bと同様に、相対的に大きな印刷マーク23aと、相対的に小さな印刷マーク23bとを有する。
【0063】
第2の実施例では、上記のように、第1,第2の印刷マークが、いずれも、相対的に大きな印刷マーク21a,23aと、相対的に小さな印刷マーク21b,23bとを有する。従って、図11(b)に示すように、前述したカメラ41,42により印刷マークを撮影するにあたり、印刷方向前方に位置する相対的に大きな印刷マーク21a,23aを、カメラ41を用いてより大きな視野で迅速に撮影することができる。また、このような相対的に大きな印刷マーク21a,23aにより、図12に示すように、印刷方向及び印刷方向と直交する方向の位置ずれ量Z1,Z2を迅速に測定することができる。そして、この位置ずれ量Z1,Z2に応じて粗く位置ずれを補正する。
【0064】
次に、カメラ42を用いて、図13に示すように、より狭い視野で、相対的に小さな第1,第2の印刷マーク21b,23bを迅速に撮影することができる。図13に示すように、相対的に小さな印刷マーク21b,23bを撮影することにより、印刷方向及び印刷方向と直交する方向の正確なずれ量Z1′,Z2′を容易に得ることができ、この結果に基づいて、位置ずれの補正がより高精度に行われる。
【0065】
すなわち、図14に示すように、粗い位置合わせカメラ41と、高精度位置合わせカメラ42とを印刷方向の相対的に前方及び後方に配置することにより、大きさが異なる複数の第1,第2の印刷マーク21a,23a,21b,23bを用いることにより、位置ずれを容易にかつ高精度に補正することができる。
【0066】
このようにして、第2グラビア印刷工程の位置ずれ量が補正され、該補正結果に従って、改めて第2グラビア印刷工程が行われる。
ところで、第2グラビア印刷工程を行い、複合グリーンシートを乾燥させると、乾燥後には、セラミック材料からなる第2の印刷マーク23a,23bが下地のセラミックグリーンシートと同化するため、図15に示すように、第1の印刷マーク21a,21bの側方位置に設けられた第2の印刷マーク23a,23bは、上面側から観察し難くなる(なお、第1の印刷マーク21a,21bは電極材料からなるので、光学的な差異を検出しやすい)。これを利用して、後述する3色目の印刷マーク72a,72bは第2の印刷マークとほぼ同じ位置に重ねられるように設けられている。なお、第2の印刷マーク23a,23bは全く観察できないわけではなく、例えば、印刷マークの有無による反射光量の大小や透過光量の大小で画像処理は可能である。その場合には、3色目の印刷マーク72a,72bは第2の印刷マークに重ねない方が好ましい。
【0067】
次に、複合グリーンシート上に、無地のマザーのセラミックグリーンシートが熱圧着される。図16(a)及び(b)は、無地のマザーのセラミックグリーンシート71の熱圧着後の状態を示す部分切欠平面図及びこれを拡大して示す模式的平面図である。無地のマザーのセラミックグリーンシート71の厚みは約数μmと極めて薄い。従って、マザーのグリーンシートを熱圧着した状態では、マザーのセラミックグリーンシート71を透かして、第1グラビア印刷工程で印刷された複数の第1の印刷マーク21a,21b及びトリガセンサ用マーク22を上面側から検出することができる。
【0068】
しかる後、3色目として、再度第1グラビア印刷工程が行われる。図17(a)及び(b)は、3色目の印刷、再度第1グラビア印刷工程を行った結果を示す部分切欠平面図及びその要部を拡大して示す平面図である。
【0069】
3色目の印刷、すなわち2回目の第1グラビア印刷工程において、印刷マーク72a,72b及びトリガセンサ用マーク73が導電ペーストとともに印刷される。もっとも、ここでは、印刷マーク72a,72b及びトリガセンサ用マーク73は、1色目の印刷で印刷された第1の印刷マーク21a,21b及びトリガセンサ用マーク22の側方位置だけでなく、印刷マーク21a,21b及びトリガセンサ用マーク22が設けられている領域の後方にも、印刷されている。
【0070】
再度第1グラビア印刷工程を行った場合、前述した第1グラビア印刷工程で印刷された複数の第1の印刷マーク21a,21b及びトリガセンサ用マーク22と、3色目の第1グラビア印刷工程において印刷された印刷マーク72a,72b及びトリガセンサ用マーク73が検出され得る。
【0071】
すなわち、図17(b)の破線G1,G2で囲まれた領域をカメラ41,42で撮影することにより上記と同様にして位置ずれ量を検出することができる。従って、3色目の印刷、すなわち2回目の第1グラビア印刷工程に際しては、前回の第1グラビア印刷工程及び第2グラビア印刷工程によって補正された後の第1の印刷マーク21a,21bを基準にして、印刷マーク72a,72bの位置ずれ量を検出することができる。従って、該位置ずれ量に応じて、再度印刷条件を設定し、第1グラビア印刷工程を行えばよい。
【0072】
次に、4色目のグラビア印刷として、再度第2グラビア印刷工程が行われる。第2グラビア印刷工程を行うと、図18(a)及び(b)に示すように、段差解消用セラミックスペーストが印刷されるとともに、2回目の複数の第2の印刷マーク82a,82bが印刷される。この第2の印刷マーク82a,82bは、1色目の印刷マーク21a,21bよりも印刷方向後方に印刷される。すなわち、図17(b)において矢印Hで示した領域に印刷された印刷マーク72a,72bの側方に印刷される。
【0073】
従って、4色目の印刷に際して印刷された第2グラビア印刷マーク82a,82bの3色目の第1グラビア印刷工程により印刷された第1の印刷マーク72a,72bに対する位置ずれ量を上記と同様に検出し、補正すればよい。
【0074】
この場合、好ましくは、上記のように、4色目の複数の第1の印刷マーク82a,82bの位置は、第1の印刷マーク21a,21bの位置と、セラミックグリーンシートの搬送方向において重複しない位置とすることが望ましい。すなわち、4色目のグラビア印刷工程において印刷される第2の印刷マーク82a,82bは、1色目の第1グラビア印刷工程における印刷マーク21a,21bとセラミックグリーンシート搬送方向において既知量離れた位置に印刷することが望ましい。
【0075】
上記のようにして、4色目の第2グラビア印刷工程を実施し、補正した後、4色目のグラビア印刷工程を補正された条件に従って実施する。
上記のように、第2の実施例では、第1,第2グラビア印刷工程を行って複合グリーンシートを得た後に、無地のマザーのセラミックグリーンシートが熱圧着され、さらに3色目及び4色目の印刷として、第1,第2印刷工程が繰り返される。しかも、無地のマザーのセラミックグリーンシートを熱圧着した後には、前回の第1グラビア印刷工程における第1の印刷マークに対して、3色目の第1グラビア印刷工程により印刷された第1の印刷マークの位置ずれ量が検出され、3色目の印刷における印刷ずれの補正が行われて、第1グラビア印刷が行われる。さらに、3色目の印刷マークに対して4色目の第2グラビア印刷工程における印刷マークの位置ずれ量が検出されて、4色目のグラビア印刷工程の印刷ずれが補正される。このような工程を繰り返すことにより、複数の複合グリーンシートが、高精度に積層されたマザーの積層体を得ることができる。以下、第1の実施例と同様にして、マザーの積層体を用いて積層セラミックコンデンサが製造される。
【0076】
なお、本発明において用いられる印刷マークの形状については特に限定されない。すなわち、矩形や十字型のものに限らず、図19(a)では、搬送方向に平行に延びる部分が、搬送方向と直交する方向に比べて相対的に長い十字状の印刷マークが示されている。図19(b)に示す印刷マークはリング状の形状、すなわち、円球状の形状を有する。このように、外形線のみを有する印刷マークを用いてもよい。さらに、図19(c)では印刷マークは、頂点と底辺とを結ぶ方向が搬送方向と直交となるように配置された三角形であり、図19(d)に示す印刷マークは、頂点と底辺とを結ぶ方向が搬送方向とされている三角形であり、図19(e)に示す印刷マークは向き合うコーナ部分が搬送方向と直交する方向に配置されたひし形または正方形である。
【0077】
また、上記印刷工程では、第1,第2グラビア印刷工程を繰り返すことにより、1色目〜4色目の印刷が行われていたが、より多くの回数印刷する場合には、図20に示すように、1色目の第1の印刷マーク91a,91bを、2色目〜5色目の印刷マーク92a,92b〜95a,95bの各側方に配置しておけばよい。すなわち、n色(nは整数)の多色刷りを行う場合、2色目からn色までの印刷マークをセラミックグリーンシートの印刷方向において異なる位置に配置するように印刷し、1色目の印刷マークは、各色目の印刷マークの側方に位置するようにn組印刷しておけばよい。このように構成することにより、2色目以降のグラビア印刷に際し、常に1色目で印刷された第1の印刷マークとの位置合わせを行うことができる。
【0078】
なお、第1グラビア印刷工程において、段差解消用セラミックペーストを印刷し、第2グラビア印刷工程において、段差解消用セラミックペーストが印刷されていない残りの領域に導電ペーストを印刷し、すなわち、導電ペーストと段差解消用セラミックペーストの印刷順序を逆にして複合グリーンシートを得てもよい。
【0079】
上述した実施例では、積層セラミック電子部品の製造方法につき説明したが、図20からも明らかなように、本発明は、n回(nは2以上の整数)の多色刷りを行うグラビア印刷方法にも適用することができる。
【0080】
積層セラミック電子部品としては、積層セラミックコンデンサ、積層インダクタ、積層バリスタ、積層LCフィルタ、積層ノイズフィルタ、積層複合モジュールなとが挙げられる。
【0081】
駆動手段25,26は必ずしもグラビアロールの両側に配置される必要はなく、片側だけでもよい(他方の片側はθ方向に移動可能に保持されていればよい)。
【0082】
トリガセンサ用マークは、第1,第3の導電ペーストのグラビア印刷工程において形成されていたが、第2,第4の段差解消用セラミックペーストのグラビア印刷工程で形成されてもよい。また、トリガセンサ用マークは第1,第2グラビア印刷工程の両方で重ねるように形成されてもよい。
【0083】
実施例では、第1グラビア印刷工程で導電ペーストを印刷し、第2グラビア印刷工程で段差解消用セラミックペーストを印刷しているが、その逆の順序でもよい。
【0084】
第1,第2の印刷マークは印刷領域の同じ側方に設けられているが、第1の印刷マークに対し、印刷領域を間にして第2の印刷マークを反対側の側方に設けてもよい。第1,第2の印刷マーク間の距離を大きく取ることで補正精度が向上する。また、複数の印刷マーク間の距離も大きく取ることで補正精度が向上する。
【0085】
支持フィルム上にセラミックグリーンシートが形成された複合シートとは、支持フィルム上に先に導電ペースト及び段差解消用セラミックペーストをそれぞれグラビア印刷し、その上にセラミックグリーンシートを形成したものも含む。
【0086】
【発明の効果】
本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法では、第1グラビア印刷工程において複数の印刷マークが印刷され、第2グラビア印刷工程においても複数の第2の印刷マークが印刷され、第2グラビア印刷工程後に、第1の印刷マークに対する第2の印刷マークのずれ量が検出され、該ずれ量に応じて補正された条件で次回以降の第2グラビア印刷工程が行われる。そして、第1,第2グラビア印刷工程を得ることにより導電ペーストと段差解消用セラミックペーストとを有する複合グリーンシートが高精度に形成され、かつ該複合グリーンシートを形成する工程を繰り返すことにより、導電ペーストが高精度に積層されたマザーの積層体を得ることができる。従って、信頼性に優れた積層セラミック電子部品を提供することができる。特に、第1,第2グラビア印刷工程が上記のようにして行われるため、段差解消用セラミックペースト及び導電ペーストの印刷が高精度に行われ得る。
【0087】
本発明に係るグラビア印刷方法では、多色刷りを行うにあたり、各グラビア印刷工程において複数の印刷マークが印刷されて、前回印刷された複数の印刷マークに対する現印刷された複数の印刷マークのずれ量が検出され、検出されたずれ量に応じてグラビア印刷工程が補正される。従って、高精度に多色刷りを行うことができる。特に、複数の印刷マークに対する複数の印刷マークのずれ量を検出するため、印刷方向及び印刷方向と直交する方向だけでなく、ねじれ方向に対する補正も行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例において、第1グラビア印刷工程を実施した後の状態を説明するための模式的平面図。
【図2】本発明の第1の実施例において、第2グラビア印刷工程を実施した後の状態であって、位置ずれが生じている場合を示す模式的部分切欠平面図。
【図3】ねじれ方向の位置ずれを補正する機構の一例を説明するための模式的正面図。
【図4】本発明の一実施例において第1,第2グラビア印刷工程を実施するための製造装置の一例を示す概略構成図。
【図5】第1グラビアロールを説明するための斜視図。
【図6】本発明の第1の実施例において得られるマザーの積層体を形成する工程を説明するための部分切欠正面断面図。
【図7】(a)及び(b)は、本発明の第1の実施例で得られるマザーの積層体を示す正面断面図及び個々の積層セラミックコンデンサ単位の積層体を示す正面断面図。
【図8】本発明の一実施例で得られる積層セラミック電子部品としての積層セラミックコンデンサを示す正面断面図。
【図9】本発明の第1の実施例で位置ずれを検出し、補正するための装置を説明するための概略ブロック図。
【図10】本発明の第2の実施例において、第1グラビア印刷工程を行った後の状態を示す模式的部分切欠平面図。
【図11】(a)及び(b)は、第2の実施例において、第2グラビア印刷工程を行った後の状態を示す模式的部分切欠平面図及び印刷マークが形成されている部分を拡大して示す模式的平面図。
【図12】相対的に大きな印刷マークを用いた位置ずれ検出に際して撮影された結果を示す模式図。
【図13】相対的に小さな印刷マークを用いて位置ずれを検出する際に撮影された状態及び位置ずれ量を説明するための模式図。
【図14】相対的に大きな印刷マーク及び相対的に小さな印刷マークによる位置ずれを検出する装置を説明するための略図的正面図。
【図15】第2グラビア印刷工程後に、段差解消用セラミックペーストを印刷した後の状態を示す模式的部分切欠平面図。
【図16】(a)及び(b)は、無地のマザーのセラミックグリーンシートを熱圧着した後の状態を示す模式的部分切欠平面図及び印刷マークが設けられている部分の模式的拡大平面図。
【図17】(a)及び(b)は、3色目の印刷として、2回目の第1グラビア印刷工程を行った後の状態を示す部分切欠平面図及び印刷マークが形成されている部分を拡大して示す模式的平面図。
【図18】(a)及び(b)4色目の印刷工程としての2回目の第2グラビア印刷工程が行われた後の状態を示す模式的部分切欠平面図及び印刷マークが形成されている部分を拡大して示す模式的平面図。
【図19】(a)〜(e)は、印刷マークの形状の変形例を示す各平面図。
【図20】多色刷りを行う場合に好適な印刷マークの配置形態を説明するための模式的部分切欠平面図。
【図21】従来の積層セラミック電子部品の製造方法において導電ペースト及び段差解消用セラミックペーストを印刷する工程を説明するための模式的平面図。
【符号の説明】
2…シート
3,4…第1,第2のグラビア印刷部
5…第1グラビアロール
6…第1圧接ロール
7a…第1の印刷部
7c,7d…印刷マーク用印刷部
7e…トリガセンサ用マークを印刷するための印刷部
11…第2グラビアロール
11a…軸
12…第2の圧接ロール
21a,21b…第1の印刷マーク
22…トリガセンサ用マーク
23a,23b…第2の印刷マーク
27…複合グリーンシート
28…無地のマザーのセラミックグリーンシート
31…マザーの積層体
32…導電ペースト
33…積層体
34…セラミック焼結体
35,36…外部電極
41,42…カメラ
43…トリガセンサ
44…画像処理装置
45…光源
46…アンドゲート
51…コントローラ
52…データ処理部
53…上位通信部
54…角度及び速度検出部
55a,55b…位置ずれ補正部
62,63…位置決めモーター
64a,64b…位置決めモーター
71…無地のマザーのセラミックグリーンシート
72a,73a…3色目の第1の印刷マーク
73…トリガセンサ用マーク
82a,82b…4色目の第2の印刷マーク
91a,91b…第1の印刷マーク
92a,92b〜95a,95b…2色目〜5色目の印刷マーク
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component such as a multilayer capacitor and a gravure printing method. More specifically, the present invention relates to a multilayer ceramic electronic having an improved process for printing a conductive paste and a ceramic green sheet using a gravure printing method. The present invention relates to a part manufacturing method and a gravure printing method.
[0002]
[Prior art]
For example, when manufacturing a multilayer ceramic capacitor, a method of gravure printing a ceramic paste and a conductive paste on a ceramic green sheet supported by a support film is known.
[0003]
Japanese Patent Laid-Open No. 8-250370 discloses a method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor in which a plurality of internal electrode patterns are gravure-printed by a first gravure roll on a dielectric grease sheet formed on a long support film. Further, there is disclosed a technique in which a step-resolving dielectric pattern is gravure-printed between the patterns by a second gravure roll.
[0004]
As described above, when performing gravure printing on the long dielectric green sheet with the gravure roll for the internal electrode pattern and the step eliminating dielectric pattern, the width direction of the dielectric green sheet (dielectric green sheet A positional shift may occur in a direction perpendicular to the transport direction.
[0005]
Such misalignment in the width direction is caused when the internal electrode pattern and the step elimination dielectric pattern are printed on the dielectric grease sheet as described above. They overlap each other, or the gap between the two is excessively open, so that they cannot be formed at a desired position.
[0006]
Therefore, conventionally, the correction of the deviation in the width direction is performed by moving the second gravure roll in its axial direction, that is, in the width direction of the long dielectric grease sheet before the second gravure printing step. It was done.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
Therefore, as shown in FIG. 21, depending on the movement timing of the gravure roll, a distorted level difference eliminating dielectric pattern 101b must be generated. In FIG. 21, reference numeral 102 denotes a long dielectric grease sheet, the support film transport direction is the arrow A direction, the printing direction is the arrow B direction, and the position where the gravure roll is moved is the arrow C. The print patterns 101a, 101b, and 101c are each printed by one rotation of the gravure roll.
[0008]
Further, there is a problem that the coating thickness of the step eliminating dielectric pattern 101b varies depending on the movement timing of the gravure roll.
When the printing distortion of the dielectric pattern for level difference and the variation in coating thickness occur as described above, the level difference with the internal electrode pattern, which is the original purpose of the level-resolving dielectric pattern, cannot be eliminated. There was a problem that structural defects of the body would occur.
[0009]
In addition to the method of printing the conductive paste and step-removing ceramic paste in the production of the above multilayer ceramic capacitor by gravure printing, the multi-color gravure printing method similarly causes printing misalignment and multi-color printing with high accuracy. There is a problem that it is difficult to perform printing.
[0010]
An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component including a step of gravure printing a conductive paste or a step-resolving ceramic paste on a sheet in view of the current state of the prior art described above. Can be performed with high precision, printing distortion of the ceramic paste for eliminating the step or conductive paste is difficult to occur, and the manufacturing method of multilayer ceramic electronic parts, and when performing multi-color printing, correct the deviation of gravure printing of each color with high precision It is an object of the present invention to provide a gravure printing method that can prevent printing distortion.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
The method for producing a multilayer ceramic electronic component according to the present invention includes a step of preparing a long composite sheet in which a ceramic green sheet is formed on a support film, and a first region in a printing region on the ceramic green sheet. A first gravure printing step of printing a conductive paste or a step eliminating ceramic paste on the ceramic green sheet by a gravure printing method, and a step eliminating ceramic paste or conductive paste by a gravure printing method on a second region in the printing region on the ceramic green sheet A second gravure printing step of printing a plurality of print marks outside the print region in the first gravure printing step, and a plurality of second print marks outside the print region in the second gravure printing step. Is printed, and after the second gravure printing step, the first print mark and the second print mark The second gravure printing process from the next time is performed so as to eliminate the required deviation amount, and a composite green sheet composed of the ceramic green sheet, the conductive paste, and the step-resolving ceramic paste is laminated. And a step of obtaining a laminate by repeating the step a plurality of times.
[0012]
In a specific aspect of the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to the present invention, in detecting a shift between the plurality of first print marks and the plurality of second print marks, a shift along a ceramic green sheet conveyance direction is performed. The amount of deviation in the twist direction, which is the angle between the amount, the amount of deviation in the direction perpendicular to the ceramic green sheet conveyance direction, the direction connecting the plurality of first print marks, and the direction connecting the plurality of second print marks Are detected.
[0013]
In another specific aspect of the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to the present invention, the plurality of first print marks and the plurality of second print marks are respectively relatively large print marks and relatively small. And a print mark. In this case, a large printing deviation can be detected quickly using a relatively large printing mark, and then a small printing deviation is detected using a small printing mark, thereby correcting the printing deviation with high accuracy. be able to.
[0014]
The relatively large print mark is preferably arranged in front of the print direction relative to the relatively small print mark. Therefore, it is possible to detect a coarse print misalignment using a relatively large print mark arranged in the front, and then detect a minute print misalignment using a relatively small print mark arranged in the rear. can do.
[0015]
In still another specific aspect of the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to the present invention, in performing the second gravure printing step so as to eliminate the deviation amount, the timing of conveying the ceramic green sheet and the conveying direction; The position of the ceramic green sheet in the orthogonal direction is adjusted. That is, the second gravure printing process can be performed with high accuracy by adjusting the timing of conveying the ceramic green sheet and the position of the ceramic green sheet in the direction orthogonal to the conveying direction.
[0016]
In still another specific aspect of the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to the present invention, in performing the second gravure printing step so as to eliminate the deviation amount, the gravure roll is transported in the axial direction and the ceramic green sheet. The angle made with the direction is adjusted. In this case, in the second gravure printing step, the printing misalignment in the twist direction is eliminated by adjusting the angle between the axial direction of the gravure roll and the conveying direction of the ceramic green sheet.
[0017]
In still another specific aspect of the method for producing a multilayer ceramic electronic component according to the present invention, in the step of laminating the mother ceramic green sheet, a third plurality of printed marks is formed on the solid mother ceramic green sheet after lamination. Is detected, and the shift of the first print mark applied in the first gravure printing step for obtaining the next composite green sheet is detected on the basis of the plurality of third print marks, whereby the first gravure is detected. The first gravure printing process is performed so as to correct the printing deviation in the printing process. Therefore, the next first gravure printing process can be carried out accurately on the plain mother ceramic green sheet.
[0018]
In still another specific aspect of the method for producing a multilayer ceramic electronic component according to the present invention, the step of obtaining the laminate includes a step of further laminating a plain ceramic green sheet on the composite green sheet on the support film. The method further includes a step of repeating the process.
[0019]
In still another specific aspect of the method for producing a multilayer ceramic electronic component according to the present invention, a step of forming a multilayer green sheet on the support film and obtaining the multilayer body includes the step of obtaining the multilayer green This is performed by repeating the process of laminating the sheets a plurality of times.
[0020]
According to another broad aspect of the present invention, a gravure printing method in which a plurality of gravure printing steps are performed in order to perform multicolor printing, and in each gravure printing step, a plurality of print marks are printed, A step of detecting a shift amount of a plurality of print marks currently printed with respect to a plurality of print marks printed, and a next gravure printing step is performed so as to correct the gravure printing step according to the detected shift amount. A gravure printing method comprising the steps of:
[0021]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be clarified by describing specific examples of the present invention.
[0022]
FIG. 4 is a schematic configuration diagram of an apparatus for explaining a method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to an embodiment of the present invention.
In the multilayer ceramic electronic component manufacturing apparatus 1, a long composite sheet 2 in which a ceramic green sheet is formed on a support film made of a synthetic resin such as polyethylene terephthalate, polypropylene, or polyethylene naphthalate is indicated by an arrow D shown in the figure. Supplied as This apparatus has first and second gravure printing units 3 and 4, and printing is performed on one surface of the composite sheet 2 in each.
[0023]
The first gravure printing unit 3 includes a first gravure roll 5 and a first pressure contact roll 6. As shown in FIG. 5, the gravure roll 5 has a cylindrical shape, and the outer peripheral surface 5a is provided with a plurality of printing portions 7a along the circumferential direction. In the printing unit 7a, a plurality of rectangular recesses (printed figures) are provided in a matrix in order to print the conductive paste serving as an internal electrode in the first region on the composite sheet 2. A plurality of cells (dents) partitioned by a grid-like bank are provided in the recess. The shape of the recess is matched to the internal electrode shape required for the multilayer ceramic electronic component, and is not limited to the rectangular shape.
[0024]
Further, in order to print a plurality of first print marks for correcting a positional deviation of the composite sheet 2 described later on the outer peripheral surface of the first gravure roll 5 as well as the first printing unit 7a. First print mark printing sections 7c and 7d are provided. Further, a printing unit 7e for printing a trigger sensor mark to be described later is provided.
[0025]
In FIG. 5, the print mark printing sections 7c and 7d for printing a plurality of first print marks are configured to have a circular shape. In addition, the printing unit 7 e for printing the trigger sensor mark has a rectangular shape having a longitudinal direction in the axial direction of the gravure roll 5.
[0026]
The composite sheet 2 is sandwiched between the gravure roll 5 and the pressure contact roll 6 of the first gravure printing unit 3, and a conductive paste applying means (not shown) provided in the vicinity of the gravure roll 5 in the concave portion of the printing unit 7 a. The conductive paste is filled and transferred to the composite sheet 2 for gravure printing. As the conductive paste, a mixture of conductive powder made of Ag, Ag-Pd, Ni, Cu, Au, or the like and an organic vehicle is used.
[0027]
In the first gravure printing unit 3, rollers 8 a to 8 e are arranged to supply the composite sheet 2 between the gravure roll 5 and the press contact roll 6. In addition, a roller 8f is disposed at the subsequent stage of the gravure roll 5, and the printed composite sheet 2 is conveyed to the first drying device 9 via the roller 8f. The drying device 9 includes an appropriate heater and is provided for transporting the printed conductive paste.
[0028]
Rollers 10 a and 10 b are disposed on the downstream side of the drying device 9, and after the conductive paste is dried, the composite sheet 2 is supplied to the second gravure printing unit 4.
In the second gravure printing unit 4, a second gravure roll 11 and a second press-contact roll 12 are arranged.
[0029]
The second gravure roll 11 is configured in substantially the same manner except that the first gravure roll 5 is different in the shape of the printing part. In other words, the second gravure roll 11 is provided with a plurality of printing portions having a shape for printing the step-resolving ceramic paste on the second region where the conductive paste on the composite sheet 2 is not printed.
[0030]
Also in the second gravure roll, a printing unit for printing marks for printing a plurality of second printing marks for correcting printing misalignment on the side of the printing unit, as in the case of the first gravure roll 5. Is provided.
[0031]
The composite sheet 2 on which the conductive paste is printed is sandwiched between the gravure roll 11 and the pressure contact roll 12 of the second gravure printing unit 4, and the ceramic paste for level difference elimination is transferred to the second region of the composite sheet 2, Gravure printing is performed. In this way, a composite green sheet composed of the ceramic green sheet, the conductive paste, and the step-resolving ceramic paste is formed.
[0032]
The step-resolving ceramic paste is a mixture of ceramic powder such as dielectric ceramics, magnetic ceramics, or glass ceramics and an organic vehicle.
[0033]
In order to supply the composite sheet 2 between the gravure roll 11 and the press-contact roll 12, rollers 13a to 13e are arranged. A second drying device 14 is disposed behind the gravure roll 11 via a roller 13f.
[0034]
Rollers 15a and 15b are arranged downstream of the second drying device 14, and the composite sheet 2 printed by the first and second gravure printing units 3 and 4 is discharged along the direction of arrow E. Is done.
[0035]
The feature of the present embodiment is that when the first and second gravure printing steps are performed by the first and second gravure rolls 5 and 11, printing deviation of the step-resolving ceramic paste in the second gravure printing step is detected. The misregistration is to be corrected. This will be described with reference to FIGS.
[0036]
FIG. 1 shows a composite green sheet 2 having a long ceramic green sheet formed on a support film in a first gravure printing process. It is a typical partial notch top view which shows the state by which the electrically conductive paste was printed according to the electrode shape. An arrow D indicates the conveyance direction of the composite sheet. The conductive paste is printed in the print area F. At the same time, a plurality of first print marks 21 a and 21 b and a trigger sensor mark 22 are printed on the side of the print area F.
[0037]
On the other hand, FIG. 2 is a schematic partially cutaway plan view showing a state after the second gravure printing step. In the second gravure printing step, the step-resolving ceramic paste is printed in the second region where the conductive paste printed in the first gravure printing step is not printed. However, it is actually very difficult to print the second gravure printing process so as not to cause a printing shift after the first gravure printing process. Therefore, as shown in FIG. 2, the printing area F ′ in the second gravure printing process tends to be shifted from the printing area F in the first gravure printing process. Although schematically shown in FIG. 2, the step-resolving ceramic paste is printed in the printing region F ′. A plurality of second print marks 23a and 23b are printed on the side of the print area F ′.
[0038]
The feature of the present embodiment is that after the second gravure printing step, a plurality of print marks 21a and 21b printed in the first gravure printing step and a plurality of second prints printed in the second gravure printing step The amount of deviation between the marks 23a and 23b is detected, and the printing conditions in the second and subsequent second gravure printing steps are adjusted according to the amount of deviation.
[0039]
The plurality of print marks 21a, 21b and 23a, 23b are printed so as to have a predetermined positional relationship with respect to the print areas F, F ′. That is, the printing parts of the first and second gravure rolls are configured so that the print marks 21a, 21b, 23a, and 23b are printed in such a relationship.
[0040]
Detection of the positional deviation amount of the second gravure printing marks 23a and 23b with respect to the first gravure printing marks 21a and 21b can be performed using a camera and an image processing apparatus, and the second gravure printing process is performed according to the deviation amount. The printing conditions may be corrected. For example, when the second print marks 23a and 23b are shifted from the first print marks 21a and 21b in the printing direction, that is, the conveyance direction of the composite sheet 2, the second gravure roll is used in the second gravure printing step. The timing at which the composite sheet 2 is pressed into contact with each other may be shifted. Further, when the second print marks 23a and 23b are shifted from the first print marks 21a and 21b in the direction orthogonal to the conveyance direction of the composite sheet 2, the gravure roll 11 is moved in the axial direction. And correct it.
[0041]
Furthermore, the present embodiment is characterized by the fact that a plurality of first print marks 21a, 21b and a plurality of second print marks 23a, 23b are provided, so that the aforementioned displacement in the twisting direction is also detected. And misalignment in the torsional direction can be corrected. FIG. 2 shows a case where such a displacement in the twist direction occurs. In this case, the direction X1 connecting the plurality of print marks 21a and 21b and the direction X2 connecting the plurality of second print marks 23a and 23b intersect at an angle θ. Accordingly, the axial direction of the second gravure roll 11 may be inclined by an angle θ from the direction orthogonal to the transport direction D so that the angle θ is zero.
[0042]
FIG. 3 is a partially cutaway front view schematically showing an example of means for correcting the twist direction. As shown in FIG. 3, the 2nd gravure roll 11 is comprised so that it can rotate by the drive source which is not shown in figure around the axis | shaft 11b. As shown in FIG. 3, driving means 46 a and 46 b made of, for example, a positioning motor are disposed on the shaft 11 b on both outer sides in the axial direction of the gravure roll 11. By driving the driving means 46a and 46b, the shaft 11a and thus the gravure roll 11 can be moved in the directions of arrows Y and -Y in FIG. Therefore, by varying the driving amounts of the positioning motors 46a and 46b, the axial direction of the gravure roll 11 can be shifted by an angle θ from the direction orthogonal to the conveying direction of the ceramic green sheet.
[0043]
According to the present embodiment, as described above, since a plurality of first print marks and second print marks are provided, it is possible to correct a displacement in the twist direction.
[0044]
After the positional deviation in the second gravure printing process is corrected as described above, the first gravure printing process is performed on the long composite sheet 2, and then the second gravure printing process is performed according to the correction result. Done. In this way, a composite green sheet in which the step-resolving ceramic paste is printed around the conductive paste on the ceramic green sheet can be formed with high accuracy.
[0045]
FIG. 6 is a partially cutaway cross-sectional view showing a state in which two layers of composite green sheets 27 are laminated on the support film 2 by performing the first and second gravure printing processes. In order to achieve such a configuration, after forming the first composite green sheet on the support film 2, a plain ceramic green sheet is formed thereon, and the first and second gravure are further formed thereon. What is necessary is just to form the 2nd layer composite green sheet by printing.
[0046]
In addition, in the said embodiment, although the composite green sheet 27 of 2 layers is laminated | stacked, you may laminate | stack several layers, for example, 3-5 layers.
In forming a plain ceramic green sheet, a plain ceramic green sheet may be formed on the first composite green sheet by a coating device such as a die coater, or a plain ceramic green sheet is prepared in advance. The sheet may be thermocompression bonded to the first composite green sheet. A plain ceramic green sheet is formed on the entire surface of the support film.
[0047]
Alternatively, the first and second gravure printing steps may be performed after a plurality of layers of plain ceramic green sheets are laminated. By overlapping the plain ceramic green sheets, insulation failure due to pinholes generated in the ceramic green sheets is prevented. In addition, there is a multilayer ceramic electronic component whose characteristics are improved by forming an intermediate layer in which no internal electrode is formed.
[0048]
Moreover, you may perform the following lamination process on the solid ceramic green sheet of the uppermost layer on a support film, without performing the 1st, 2nd gravure printing process. In that case, since the plain ceramic green sheet of the uppermost layer of the composite green sheet already laminated and the ceramic green sheet of the lowermost layer of the composite green sheet to be laminated next are stacked, Insulation failure due to holes can be prevented.
[0049]
Thereafter, only the laminated body is cut into a rectangular shape on the support film using a cutting head (not shown) and peeled off from the support film. Then, the laminate is transported to a laminate stage (not shown) by a cutting head and is temporarily pressure-bonded to the already placed laminate. By repeating this sequentially, a laminate having a desired number of layers is formed.
[0050]
In addition, you may arrange | position a plain ceramic green sheet in the upper and lower outer layers of a laminated body as needed (depending on the kind of laminated ceramic electronic component). The plain ceramic green sheet for the outer layer may be formed in a rectangular shape from a long green sheet, or a green sheet that has been rectangular in advance may be used.
[0051]
Thereafter, the laminate is fully pressed in the thickness direction.
The mother laminate thus obtained is schematically shown in FIG. In the mother laminate 31, a plurality of conductive pastes 32 are arranged so as to overlap each other with a ceramic layer interposed therebetween. Next, the mother multilayer body 31 is cut in the thickness direction so as to obtain a multilayer body of individual multilayer ceramic capacitor units. Thereby, a laminate 33 schematically shown in FIG. 7B is obtained. By firing this laminated body 33, a ceramic sintered body 34 shown in FIG. 9 is obtained. External electrodes 35 and 36 are formed so as to cover the end faces 34 a and 34 b of the ceramic sintered body 34. In this way, a multilayer ceramic capacitor 36 as a multilayer ceramic electronic component is obtained.
[0052]
Next, with reference to FIGS. 9-18 (a) and (b), the manufacturing method of the multilayer ceramic capacitor of the 2nd Example of this invention is demonstrated. In the second embodiment, the first and second gravure printing steps are performed in the same manner as in the first embodiment, and further, the conductive paste is printed after the plain mother ceramic green sheets are laminated. The positional deviation is also corrected in the first gravure printing step. Therefore, all composite green sheets can be formed with high accuracy in obtaining a mother laminate.
[0053]
FIG. 9 is a block diagram showing a control device including a circuit for detecting the printing deviation and a circuit for correcting printing conditions in accordance with the detected printing deviation. As shown in FIG. 9, a plurality of first print marks and second print marks are photographed by the print mark photographing cameras 41 and 42. Reference numeral 43 denotes a trigger sensor, which detects the trigger sensor mark 22 described above.
[0054]
The cameras 41 and 42 are connected to the image processing device 44. In addition, a light source 45 for irradiating the ceramic green sheet with light is disposed for photographing. The light source 45 is constituted by, for example, a strobe light source device.
[0055]
The trigger sensor 43 is composed of, for example, a photoelectric switch. When the trigger sensor mark 22 is detected, a signal indicating the detection mode is given to one input terminal of the AND gate 46. The other input terminal of the AND gate 46 is connected to the controller 51.
[0056]
The controller 51 includes a data processing unit 52, a host communication unit 53, an angle and speed detection unit 54, and positional deviation correction units 55a and 55b. The angle detection unit 54 of the controller 51 gives a “high” signal to the AND gate 46 when it is theoretically at the trigger sensor mark detection position. A signal indicating that the trigger sensor mark is detected from the trigger sensor is input to the AND gate 46 as a “high” signal. Accordingly, the AND gate generates an ON-state signal, and as a result, the strobe light source device of the light source 45 irradiates the ceramic green sheet with light. At this time, the first and second print marks are photographed by the camera, the photographed data is given to the image processing device, and the data binarized by the image processing device is given to the data processing unit 52 of the controller 51. It is done. The controller 51 is connected to an image monitor 58 as an output device, and is configured so that the photographed data can be viewed with the image monitor 58.
[0057]
In addition, the controller 51 causes the data processing unit 52 to process the shooting data of the first and second print marks given from the image processing device 44, and the positional deviation amount of the second print mark with respect to the first print mark. Is calculated. Output signals are provided to the motors 62 and 63 from the positioning correction units 55a and 55b in accordance with the positional deviation amounts thus obtained. The motors 62 and 63 are configured to change the axial position of the second gravure roll 11 and the direction position orthogonal to the axial direction.
[0058]
Accordingly, the motors 62 and 63 are driven by the controller 51 in accordance with the amount of positional deviation, and the axial position of the gravure roll 11, that is, the position perpendicular to the ceramic green sheet conveyance direction and the position along the printing direction are adjusted. Will be. In addition, as described above, when the displacement in the twist direction occurs, the positioning motors 64a and 64b are driven by the positioning correction portions 56a and 56b, and the displacement in the twist direction is corrected.
[0059]
The angle and speed detection unit 54 is connected to the gravure roll encoder 65. The gravure roll encoder 65 gives a signal representing the angular position and rotational speed of the gravure roll, and an angle and speed detector 54. The angle and speed detection unit 54 gives a “high” signal to the AND gate 46 when the gravure roll is rotated at a stable speed and is at a set angular position.
[0060]
In the second embodiment, the same manufacturing apparatus as in the first embodiment is used. Therefore, for the description of the manufacturing apparatus, the description of the first embodiment is used, and mainly different parts are described below. I will explain.
[0061]
In the second embodiment, the first gravure printing step is performed in the same manner as in the first embodiment. That is, as shown in FIG. 10, in the first gravure printing process, the conductive paste is printed in the printing region F, and the plurality of first print marks 21a and 21b and the trigger sensor mark 22 are the same conductive paste. Printed. Here, the plurality of print marks 21a and 21b are configured to have a relatively large print mark 21a located in front of the print direction and a relatively small print mark 21b located behind the print area. .
[0062]
Next, a second gravure printing step is performed. In this case, in the second gravure printing step, the step eliminating ceramic paste is printed as in the first embodiment, but a plurality of second print marks are simultaneously printed with the same ceramic paste. As shown in FIG. 11A, in addition to the first print marks 21a and 21b and the trigger sensor mark 22, second gravure print marks 23a and 23b are printed. The plurality of second print marks 22a and 22b also have a relatively large print mark 23a and a relatively small print mark 23b, similarly to the plurality of first print marks 21a and 21b.
[0063]
In the second embodiment, as described above, both the first and second print marks have relatively large print marks 21a and 23a and relatively small print marks 21b and 23b. Therefore, as shown in FIG. 11B, when the print marks are photographed by the cameras 41 and 42 described above, relatively large print marks 21a and 23a positioned in front of the print direction are made larger by using the camera 41. You can shoot quickly in the field of view. Further, with such relatively large print marks 21a and 23a, as shown in FIG. 12, the displacement amounts Z1 and Z2 in the printing direction and the direction orthogonal to the printing direction can be quickly measured. Then, the positional deviation is corrected roughly according to the positional deviation amounts Z1 and Z2.
[0064]
Next, using the camera 42, as shown in FIG. 13, relatively small first and second print marks 21b and 23b can be taken quickly with a narrower field of view. As shown in FIG. 13, by capturing relatively small print marks 21b and 23b, accurate shift amounts Z1 'and Z2' in the direction perpendicular to the print direction and the print direction can be easily obtained. Based on the result, the misalignment is corrected with higher accuracy.
[0065]
That is, as shown in FIG. 14, by arranging the coarse alignment camera 41 and the high-accuracy alignment camera 42 relatively forward and backward in the printing direction, a plurality of first and second different sizes are provided. By using the print marks 21a, 23a, 21b, and 23b, it is possible to easily correct the positional deviation with high accuracy.
[0066]
In this way, the positional deviation amount in the second gravure printing process is corrected, and the second gravure printing process is performed again according to the correction result.
By the way, when the second gravure printing step is performed and the composite green sheet is dried, the second print marks 23a and 23b made of the ceramic material are assimilated with the ceramic green sheet as a base after drying, and as shown in FIG. In addition, the second print marks 23a and 23b provided at the side positions of the first print marks 21a and 21b are difficult to observe from the upper surface side (note that the first print marks 21a and 21b are made of an electrode material). So it is easy to detect optical differences). By utilizing this, print marks 72a and 72b for the third color, which will be described later, are provided so as to be superimposed at substantially the same position as the second print mark. Note that the second print marks 23a and 23b cannot be observed at all. For example, image processing is possible depending on the amount of reflected light and the amount of transmitted light depending on the presence or absence of the print mark. In that case, it is preferable that the print marks 72a and 72b for the third color do not overlap the second print mark.
[0067]
Next, a plain mother ceramic green sheet is thermocompression bonded onto the composite green sheet. FIGS. 16A and 16B are a partially cutaway plan view showing a state after the thermocompression bonding of the plain mother ceramic green sheet 71 and a schematic plan view showing the enlarged state. The thickness of the solid mother ceramic green sheet 71 is as thin as about several μm. Therefore, in a state where the mother green sheet is thermocompression bonded, the plurality of first print marks 21a and 21b and the trigger sensor mark 22 printed in the first gravure printing process are shown on the upper surface through the mother ceramic green sheet 71. Can be detected from the side.
[0068]
Thereafter, the first gravure printing process is performed again as the third color. FIGS. 17A and 17B are a partial cutaway plan view showing a result of performing the third color printing and the first gravure printing process again, and a plan view showing an enlarged main part thereof.
[0069]
In the third color printing, that is, the second first gravure printing process, the print marks 72a and 72b and the trigger sensor mark 73 are printed together with the conductive paste. However, here, the print marks 72a and 72b and the trigger sensor mark 73 are not only the side positions of the first print marks 21a and 21b and the trigger sensor mark 22 printed by the first color printing, but also the print marks. It is also printed behind the area where 21a, 21b and the trigger sensor mark 22 are provided.
[0070]
When the first gravure printing process is performed again, printing is performed in the first gravure printing process of the plurality of first print marks 21a and 21b and the trigger sensor mark 22 printed in the first gravure printing process. The printed print marks 72a and 72b and the trigger sensor mark 73 can be detected.
[0071]
That is, the amount of positional deviation can be detected in the same manner as described above by photographing the areas surrounded by the broken lines G1 and G2 in FIG. Therefore, in the third color printing, that is, the second first gravure printing process, the first print marks 21a and 21b after correction by the previous first gravure printing process and second gravure printing process are used as a reference. The amount of displacement of the print marks 72a and 72b can be detected. Therefore, the first gravure printing process may be performed by setting the printing conditions again in accordance with the positional deviation amount.
[0072]
Next, a second gravure printing process is performed again as the fourth color gravure printing. When the second gravure printing step is performed, as shown in FIGS. 18A and 18B, the step-resolving ceramic paste is printed and the second plurality of second print marks 82a and 82b are printed. The The second print marks 82a and 82b are printed behind the first color print marks 21a and 21b in the printing direction. That is, the print marks 72a and 72b printed in the area indicated by the arrow H in FIG.
[0073]
Accordingly, the amount of displacement of the second gravure printing marks 82a and 82b printed during the printing of the fourth color with respect to the first printing marks 72a and 72b printed in the first gravure printing process of the third color is detected in the same manner as described above. Correct.
[0074]
In this case, preferably, as described above, the positions of the plurality of first print marks 82a and 82b of the fourth color do not overlap with the positions of the first print marks 21a and 21b in the conveyance direction of the ceramic green sheet. Is desirable. That is, the second print marks 82a and 82b printed in the fourth color gravure printing process are printed at positions that are separated from the print marks 21a and 21b in the first color gravure printing process by a known amount in the ceramic green sheet conveyance direction. It is desirable to do.
[0075]
As described above, after the second gravure printing process for the fourth color is performed and corrected, the gravure printing process for the fourth color is performed according to the corrected condition.
As described above, in the second embodiment, the first and second gravure printing steps are performed to obtain the composite green sheet, and then the solid mother ceramic green sheet is thermocompression bonded, and the third and fourth colors are further bonded. As printing, the first and second printing steps are repeated. Moreover, the first printed mark printed by the first gravure printing process of the third color is applied to the first printed mark in the previous first gravure printing process after the solid mother ceramic green sheet is thermocompression bonded. , And the first gravure printing is performed by correcting the printing deviation in the third color printing. Further, the positional deviation amount of the print mark in the second gravure printing process of the fourth color is detected with respect to the print mark of the third color, and the printing deviation in the gravure printing process of the fourth color is corrected. By repeating such steps, a mother laminate in which a plurality of composite green sheets are laminated with high accuracy can be obtained. Thereafter, in the same manner as in the first embodiment, a multilayer ceramic capacitor is manufactured using a mother laminate.
[0076]
The shape of the print mark used in the present invention is not particularly limited. That is, not only rectangular or cross-shaped, but in FIG. 19A, a cross-shaped print mark is shown in which the portion extending parallel to the transport direction is relatively longer than the direction orthogonal to the transport direction. Yes. The printed mark shown in FIG. 19B has a ring shape, that is, a spherical shape. Thus, a print mark having only an outline may be used. Further, in FIG. 19C, the print mark is a triangle arranged so that the direction connecting the apex and the base is orthogonal to the transport direction, and the print mark shown in FIG. The printed mark shown in FIG. 19 (e) is a rhombus or square in which the corner portions facing each other are arranged in a direction perpendicular to the transport direction.
[0077]
In the above printing process, the first to fourth colors were printed by repeating the first and second gravure printing processes. However, when printing more times, as shown in FIG. The first print marks 91a and 91b for the first color may be arranged on the sides of the print marks 92a, 92b to 95a and 95b for the second to fifth colors. That is, when performing multicolor printing of n colors (n is an integer), printing marks from the second color to the n color are printed so as to be arranged at different positions in the printing direction of the ceramic green sheet, and the first color printing mark is It suffices to print n sets so as to be positioned on the side of the print marks for the respective colors. With this configuration, it is possible to always perform alignment with the first print mark printed in the first color during gravure printing for the second and subsequent colors.
[0078]
In the first gravure printing step, the step eliminating ceramic paste is printed, and in the second gravure printing step, the conductive paste is printed in the remaining area where the step eliminating ceramic paste is not printed. A composite green sheet may be obtained by reversing the printing order of the step-resolving ceramic paste.
[0079]
In the embodiment described above, the manufacturing method of the multilayer ceramic electronic component has been described. As is clear from FIG. 20, the present invention is a gravure printing method for performing multicolor printing n times (n is an integer of 2 or more). Can also be applied.
[0080]
Examples of the multilayer ceramic electronic component include a multilayer ceramic capacitor, a multilayer inductor, a multilayer varistor, a multilayer LC filter, a multilayer noise filter, and a multilayer composite module.
[0081]
The driving means 25 and 26 are not necessarily arranged on both sides of the gravure roll, and may be provided only on one side (the other side may be held so as to be movable in the θ direction).
[0082]
The trigger sensor mark is formed in the gravure printing process of the first and third conductive pastes, but may be formed in the gravure printing process of the second and fourth step eliminating ceramic pastes. The trigger sensor mark may be formed so as to overlap in both the first and second gravure printing processes.
[0083]
In the embodiment, the conductive paste is printed in the first gravure printing process and the step-resolving ceramic paste is printed in the second gravure printing process, but the reverse order may be used.
[0084]
The first and second print marks are provided on the same side of the print area, but with respect to the first print mark, the second print mark is provided on the opposite side with the print area in between. Also good. Correction accuracy is improved by increasing the distance between the first and second print marks. In addition, the correction accuracy is improved by increasing the distance between the plurality of print marks.
[0085]
The composite sheet in which the ceramic green sheet is formed on the support film includes a sheet in which the conductive paste and the step-removing ceramic paste are each gravure-printed on the support film and the ceramic green sheet is formed thereon.
[0086]
【The invention's effect】
In the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to the present invention, a plurality of print marks are printed in the first gravure printing step, and a plurality of second print marks are printed also in the second gravure printing step. Later, the shift amount of the second print mark with respect to the first print mark is detected, and the second and subsequent second gravure printing steps are performed under the conditions corrected according to the shift amount. Then, by obtaining the first and second gravure printing processes, a composite green sheet having a conductive paste and a step-resolving ceramic paste is formed with high accuracy, and the process of forming the composite green sheet is repeated to conduct the conductive A mother laminate in which pastes are laminated with high accuracy can be obtained. Therefore, it is possible to provide a multilayer ceramic electronic component having excellent reliability. In particular, since the first and second gravure printing steps are performed as described above, the step-resolving ceramic paste and the conductive paste can be printed with high accuracy.
[0087]
In the gravure printing method according to the present invention, when performing multicolor printing, a plurality of print marks are printed in each gravure printing step, and the deviation amount of the plurality of print marks currently printed with respect to the plurality of print marks printed last time is increased. The gravure printing process is corrected according to the detected deviation amount. Accordingly, multicolor printing can be performed with high accuracy. In particular, in order to detect the shift amount of the plurality of print marks with respect to the plurality of print marks, not only the printing direction and the direction orthogonal to the printing direction but also the twist direction can be corrected.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic plan view for explaining a state after performing a first gravure printing step in an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic partially cutaway plan view showing a state after the second gravure printing step is performed in the first embodiment of the present invention, in which a positional deviation has occurred.
FIG. 3 is a schematic front view for explaining an example of a mechanism for correcting a displacement in a twist direction.
FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing an example of a manufacturing apparatus for performing first and second gravure printing processes in an embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a perspective view for explaining a first gravure roll.
FIG. 6 is a partially cutaway front sectional view for explaining a step of forming a mother laminate obtained in the first embodiment of the present invention.
FIGS. 7A and 7B are a front sectional view showing a mother laminated body obtained in the first embodiment of the present invention and a front sectional view showing a laminated body of individual multilayer ceramic capacitor units.
FIG. 8 is a front cross-sectional view showing a multilayer ceramic capacitor as a multilayer ceramic electronic component obtained in an embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a schematic block diagram for explaining an apparatus for detecting and correcting misalignment in the first embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a schematic partially cutaway plan view showing a state after performing a first gravure printing step in the second embodiment of the present invention.
FIGS. 11A and 11B are a schematic partial cutaway plan view showing a state after the second gravure printing step and a portion where a print mark is formed in the second embodiment. FIG.
FIG. 12 is a schematic diagram showing a result obtained when a positional deviation is detected using a relatively large print mark.
FIG. 13 is a schematic diagram for explaining a state and amount of misalignment captured when detecting misalignment using a relatively small print mark.
FIG. 14 is a schematic front view for explaining an apparatus for detecting misalignment caused by a relatively large print mark and a relatively small print mark.
FIG. 15 is a schematic partial cutaway plan view showing a state after printing the step-resolving ceramic paste after the second gravure printing step.
FIGS. 16A and 16B are a schematic partially cutaway plan view and a schematic enlarged plan view of a portion provided with a print mark, showing a state after thermocompression bonding of a plain mother ceramic green sheet; .
FIGS. 17A and 17B are partial cutaway plan views showing a state after performing the second first gravure printing process as the third color printing, and an enlarged portion where the print mark is formed. FIG.
FIGS. 18A and 18B are schematic partial cutaway plan views showing a state after a second second gravure printing step as a fourth color printing step and portions where printing marks are formed; The typical top view which expands and shows.
FIGS. 19A to 19E are plan views showing modified examples of the shape of a print mark. FIGS.
FIG. 20 is a schematic partial cutaway plan view for explaining an arrangement form of print marks suitable for performing multicolor printing.
FIG. 21 is a schematic plan view for explaining a process of printing a conductive paste and a step-resolving ceramic paste in a conventional method for producing a multilayer ceramic electronic component.
[Explanation of symbols]
2 ... Sheet
3, 4 ... 1st and 2nd gravure printing section
5 ... 1st gravure roll
6 ... 1st press contact roll
7a ... 1st printing part
7c, 7d ... Print mark printing section
7e: Print section for printing trigger sensor marks
11 ... Second gravure roll
11a ... axis
12 ... Second pressure contact roll
21a, 21b ... first print mark
22 ... Trigger sensor mark
23a, 23b ... second print mark
27 ... Composite green sheet
28 ... Solid mother ceramic green sheet
31 ... Mother laminate
32 ... Conductive paste
33 ... Laminated body
34. Ceramic sintered body
35, 36 ... external electrodes
41, 42 ... Camera
43 ... Trigger sensor
44. Image processing apparatus
45 ... Light source
46 ... Andgate
51 ... Controller
52 ... Data processing unit
53 ... Upper communication part
54. Angle and speed detector
55a, 55b ... Misalignment correction unit
62, 63 ... Positioning motor
64a, 64b ... positioning motor
71 ... Solid mother ceramic green sheet
72a, 73a ... first print mark of the third color
73 ... Mark for trigger sensor
82a, 82b ... the second print mark of the fourth color
91a, 91b ... first print mark
92a, 92b to 95a, 95b ... second to fifth printing marks

Claims (10)

支持フィルム上にセラミックグリーンシートが形成された長尺状の複合シートを用意する工程と、
前記セラミックグリーンシート上の印刷領域内の第1の領域にグラビア印刷法により導電ペーストまたは段差解消用セラミックペーストを印刷する第1グラビア印刷工程と、
前記セラミックグリーンシート上の印刷領域内の第2の領域にグラビア印刷法により段差解消用セラミックペーストまたは導電ペーストを印刷する第2グラビア印刷工程とを備え、
前記第1グラビア印刷工程において、複数の印刷マークが印刷領域外に印刷され、第2グラビア印刷工程において、印刷領域外に複数の第2の印刷マークが印刷され、
第2のグラビア印刷工程後に、第1の印刷マークと第2の印刷マークとのずれを検出し、求められたずれ量を解消するように次回以降の第2グラビア印刷工程が行われ、
前記セラミックグリーンシートと導電ペーストと段差解消用セラミックペーストとからなる複合グリーンシートを積層する工程を複数回繰り返すことにより積層体を得る工程とをさらに備える、積層セラミック電子部品の製造方法。
Preparing a long composite sheet in which a ceramic green sheet is formed on a support film;
A first gravure printing step of printing a conductive paste or a step-resolving ceramic paste by a gravure printing method on a first region in a printing region on the ceramic green sheet;
A second gravure printing step of printing a step-resolving ceramic paste or conductive paste by a gravure printing method in a second region in the printing region on the ceramic green sheet,
In the first gravure printing step, a plurality of printing marks are printed outside the printing region, and in the second gravure printing step, a plurality of second printing marks are printed outside the printing region,
After the second gravure printing step, the second gravure printing step from the next time is performed so as to detect the deviation between the first printing mark and the second printing mark and eliminate the obtained deviation amount,
A method for producing a multilayer ceramic electronic component, further comprising a step of obtaining a laminate by repeating a step of laminating a composite green sheet comprising the ceramic green sheet, a conductive paste, and a step eliminating ceramic paste.
前記複数の第1の印刷マークと複数の第2の印刷マークとのずれを検出するにあたり、セラミックグリーンシート搬送方向に沿うずれ量と、セラミックグリーンシート搬送方向と直交する方向におけるずれ量と、複数の第1の印刷マークを結ぶ方向と、複数の第2の印刷マークを結ぶ方向とのなす角度であるねじれ方向のずれ量とが検出される、請求項1に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。In detecting a deviation between the plurality of first print marks and the plurality of second print marks, a deviation amount along the ceramic green sheet conveyance direction, a deviation amount in a direction orthogonal to the ceramic green sheet conveyance direction, and a plurality of deviations 2. The manufacture of a multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein a deviation amount in a twist direction, which is an angle formed between a direction connecting the first print marks and a direction connecting the plurality of second print marks, is detected. Method. 複数の第1の印刷マーク及び複数の第2の印刷マークが、それぞれ、相対的に大きな印刷マークと、相対的に小さな印刷マークとを有する請求項1または2に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。The multilayer ceramic electronic component according to claim 1 or 2, wherein each of the plurality of first print marks and the plurality of second print marks has a relatively large print mark and a relatively small print mark. Method. 相対的に大きな印刷マークが、相対的に小さな印刷マークよりも印刷方向前方に配置されている、請求項3に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。The method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 3, wherein the relatively large printed mark is arranged in front of the relatively small printed mark in the printing direction. 前記ずれ量を解消するように第2グラビア印刷工程を行うにあたり、前記セラミックグリーンシートを搬送するタイミング及び前記搬送方向と直交する方向におけるセラミックグリーンシートの位置が調整される、請求項1〜4のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造方法。In performing the second gravure printing step so as to eliminate the deviation amount, the timing of conveying the ceramic green sheet and the position of the ceramic green sheet in a direction orthogonal to the conveying direction are adjusted. The manufacturing method of the multilayer ceramic electronic component in any one. 前記ずれ量を解消するように第2グラビア印刷工程を行うにあたり、前記グラビアロールの軸方向と前記セラミックグリーンシートの搬送方向とのなす角度が調整される、請求項1〜5のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造方法。The angle formed by the axial direction of the gravure roll and the conveying direction of the ceramic green sheet is adjusted in performing the second gravure printing step so as to eliminate the deviation amount. Manufacturing method for multilayer ceramic electronic parts. 前記マザーのセラミックグリーンシートを積層する工程において、積層後に無地のマザーのセラミックグリーンシート上に第3の複数の印刷マークが印刷され、前記複数の第3の印刷マークを基準として、次の複合グリーンシートを得るための第1グラビア印刷工程において付与される第1の印刷マークのずれが検出され、それによって第1グラビア印刷工程の印刷ずれを補正するように第1グラビア印刷工程が行われる、請求項1〜6のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造方法。In the step of laminating the mother ceramic green sheets, a third plurality of print marks are printed on the plain mother ceramic green sheets after lamination, and the next composite green is based on the plurality of third print marks. The first gravure printing process is performed so that a shift of the first print mark applied in the first gravure printing process for obtaining the sheet is detected, and thereby the printing shift of the first gravure printing process is corrected. Item 7. A method for producing a multilayer ceramic electronic component according to any one of Items 1 to 6. 前記積層体を得る工程が、前記支持フィルム上の複合グリーンシート上にさらに無地のセラミックグリーンシートを積層する工程を複数回繰り返す工程をさらに備えることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造方法。The process of obtaining the said laminated body is further equipped with the process of repeating the process of laminating | stacking a plain ceramic green sheet further on the composite green sheet on the said support film in multiple times. The manufacturing method of the multilayer ceramic electronic component of description. 前記支持フィルム上に複数層の複合グリーンシートが形成され、かつ前記積層体を得る工程が、該複数層の複合グリーンシートを積層する工程を複数回繰り返すことにより行われることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造方法。The composite green sheet of a plurality of layers is formed on the support film and the step of obtaining the laminate is performed by repeating the step of laminating the composite green sheets of the plurality of layers a plurality of times. The manufacturing method of the multilayer ceramic electronic component in any one of 1-7. 多色刷りを行うために、複数回のグラビア印刷工程が実施されるグラビア印刷方法であって、
各グラビア印刷工程において、複数の印刷マークが印刷され、前回印刷された複数の印刷マークに対する現に印刷された複数の印刷マークのずれ量を検出する工程と、
検出されたずれ量に応じてグラビア印刷工程を補正するようにして次のグラビア印刷工程を実施する工程とを備える、グラビア印刷方法。
A gravure printing method in which a plurality of gravure printing steps are performed to perform multicolor printing,
In each gravure printing step, a plurality of print marks are printed, and a step of detecting a shift amount of a plurality of print marks that are currently printed with respect to a plurality of print marks printed last time;
And a step of performing the next gravure printing step so as to correct the gravure printing step according to the detected deviation amount.
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Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006040959A1 (en) * 2004-10-13 2006-04-20 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Production method for laminated ceramic electronic components and production device therefor
US7047880B2 (en) * 2003-02-24 2006-05-23 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method of manufacturing ceramic electronic component including a plurality of gravure printing steps
WO2008044724A1 (en) * 2006-10-13 2008-04-17 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Printer and its operating method
WO2008113825A2 (en) 2007-03-19 2008-09-25 Antonio Maccari Method and apparatus for adjusting printing units
CN103213377A (en) * 2013-03-29 2013-07-24 山东泰宝防伪技术产品有限公司 Anti-counterfeiting mark positioning compound transfer device for inserting coil substrate
JP2014033241A (en) * 2010-06-24 2014-02-20 Tdk Corp Chip thermister and manufacturing method therefor
JP2014036150A (en) * 2012-08-09 2014-02-24 Murata Mfg Co Ltd Method of manufacturing electronic component
CN103818135A (en) * 2014-02-28 2014-05-28 山东泰宝防伪技术产品有限公司 Method and device for triple-corresponding positioning compounding of anti-counterfeit printing
CN104553253A (en) * 2013-10-28 2015-04-29 株式会社村田制作所 Method for manufacturing gravure plate, gravure printing method, and method for manufacturing electronic component
JP2016120634A (en) * 2014-12-24 2016-07-07 株式会社小森コーポレーション Printing method and apparatus for electric circuit
JP2016122714A (en) * 2014-12-24 2016-07-07 株式会社小森コーポレーション Printing method and device of electronic circuit
JP2016120633A (en) * 2014-12-24 2016-07-07 株式会社小森コーポレーション Printing method and apparatus for electronic circuit
JP2016120639A (en) * 2014-12-24 2016-07-07 株式会社小森コーポレーション Printing method and apparatus for electronic circuit
JP2016120631A (en) * 2014-12-24 2016-07-07 株式会社小森コーポレーション Printing method and apparatus for electronic circuit
JP2016120632A (en) * 2014-12-24 2016-07-07 株式会社小森コーポレーション Printing method and apparatus for electronic circuit
JP2020116953A (en) * 2020-03-31 2020-08-06 旭化成株式会社 Flexible substrate

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7047880B2 (en) * 2003-02-24 2006-05-23 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method of manufacturing ceramic electronic component including a plurality of gravure printing steps
US7739950B2 (en) 2003-02-24 2010-06-22 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method for manufacturing ceramic electronic component and gravure printing method
JPWO2006040959A1 (en) * 2004-10-13 2008-05-15 松下電器産業株式会社 Manufacturing method and manufacturing apparatus of multilayer ceramic electronic component
WO2006040959A1 (en) * 2004-10-13 2006-04-20 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Production method for laminated ceramic electronic components and production device therefor
WO2008044724A1 (en) * 2006-10-13 2008-04-17 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Printer and its operating method
WO2008113825A2 (en) 2007-03-19 2008-09-25 Antonio Maccari Method and apparatus for adjusting printing units
WO2008113825A3 (en) * 2007-03-19 2008-11-13 Antonio Maccari Method and apparatus for adjusting printing units
JP2014033241A (en) * 2010-06-24 2014-02-20 Tdk Corp Chip thermister and manufacturing method therefor
JP2014036150A (en) * 2012-08-09 2014-02-24 Murata Mfg Co Ltd Method of manufacturing electronic component
CN103213377A (en) * 2013-03-29 2013-07-24 山东泰宝防伪技术产品有限公司 Anti-counterfeiting mark positioning compound transfer device for inserting coil substrate
CN104553253A (en) * 2013-10-28 2015-04-29 株式会社村田制作所 Method for manufacturing gravure plate, gravure printing method, and method for manufacturing electronic component
CN103818135A (en) * 2014-02-28 2014-05-28 山东泰宝防伪技术产品有限公司 Method and device for triple-corresponding positioning compounding of anti-counterfeit printing
JP2016120634A (en) * 2014-12-24 2016-07-07 株式会社小森コーポレーション Printing method and apparatus for electric circuit
JP2016122714A (en) * 2014-12-24 2016-07-07 株式会社小森コーポレーション Printing method and device of electronic circuit
JP2016120633A (en) * 2014-12-24 2016-07-07 株式会社小森コーポレーション Printing method and apparatus for electronic circuit
JP2016120639A (en) * 2014-12-24 2016-07-07 株式会社小森コーポレーション Printing method and apparatus for electronic circuit
JP2016120631A (en) * 2014-12-24 2016-07-07 株式会社小森コーポレーション Printing method and apparatus for electronic circuit
JP2016120632A (en) * 2014-12-24 2016-07-07 株式会社小森コーポレーション Printing method and apparatus for electronic circuit
JP2020116953A (en) * 2020-03-31 2020-08-06 旭化成株式会社 Flexible substrate
JP6998417B2 (en) 2020-03-31 2022-01-18 旭化成株式会社 Flexible substrate

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