JP2004063276A - セラミックヒータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の絶縁層1a、1b、1cを積層して成る略平板状の絶縁基体1の内部に、それぞれが発熱体パターン2b、3bを有する複数の発熱体層2、3を、これらの発熱体層2、3の発熱体パターン2b、3b同士が絶縁基体1の主面と平行な方向に互いにずれて位置するように絶縁層1bを挟んで設けた。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の絶縁層を積層して成る略平板状の絶縁基体の内部に発熱体パターンを有する発熱体層を設けて成るセラミックヒータに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、セラミックヒータは、図3に上面図で、図4に断面図で示すように、酸化アルミニウム質焼結体や窒化アルミニウム質焼結体等のセラミックス材料から成る2層の絶縁層11a、11bを積層した略平板状の絶縁基体11の内部にタングステン−レニウム等の抵抗体材料から成る発熱体層12を埋設して成る。
【0003】
そして、絶縁層11aには、その一部に開口部11cが形成されており、この開口部11c内に発熱体層12の端部が露出して外部接続端子12aを形成している。
【0004】
発熱体層12は、開口部11c内に露出した外部接続端子12aとこれに接続された帯状の屈曲した発熱体パターン12bとを有しており、外部接続端子12aを外部の電源に電気的に接続することによって、発熱体パターン12bがジュール発熱する。そして、このセラミックヒータにおいては、絶縁基体11の上面がヒータとしての発熱面を形成しており、発熱体パターン12bの発する熱により絶縁基体11の上面が発熱する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この従来のセラミックヒータにおいては、発熱体パターン12bは絶縁基体11の内部に帯状のパターンを屈曲して設けられており、絶縁基体11の発熱面における発熱体パターン12bに近い部位と遠い部位とで発熱体パターン12bの発する熱の伝達量や伝達時間が大きく異なり、そのため絶縁基体11が昇温するのに長時間を要したり、絶縁基体11の発熱面における温度に大きなばらつきが発生したりしてしまうという問題点を有していた。
【0006】
本発明は、かかる従来の問題点に鑑み案出されたものであり、その目的は、絶縁基体が短時間で昇温するとともに、絶縁基体の発熱面における温度ばらつきが小さなセラミックヒータを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明のセラミックヒータは、複数の絶縁層を積層して成る略平板状の絶縁基体の内部に、それぞれが発熱体パターンを有する複数の発熱体層を、該発熱体層の前記発熱体パターン同士が前記絶縁基体の主面と平行な方向に互いにずれて位置するように前記絶縁層を挟んで設けたことを特徴とするものである。
【0008】
本発明のセラミックヒータによれば、絶縁基体の内部に、それぞれが発熱体パターンを有する複数の発熱体層を、該発熱体層の前記発熱体パターン同士が前記絶縁基体の主面と平行な方向に互いにずれて位置するように前記絶縁層を挟んで設けたことから、絶縁基体の発熱面における各発熱体パターンからの距離の差が小さいものとなり、その結果、発熱体パターンの発する熱が絶縁基体の全体に急速かつ平均的に伝達される。
【0009】
【発明の実施の形態】
次に、本発明を添付の図面を基に詳細に説明する。図1は本発明のセラミックヒータの実施の形態の一例を示す上面図であり、図2はそのX−Xにおける断面図である。これらの図中、1は絶縁基体、2および3は発熱体層であり、絶縁基体1の内部に発熱体層2、3が埋設されることにより本発明のセラミックヒータが構成されている。
【0010】
絶縁基体1は、酸化アルミニウム質焼結体や窒化アルミニウム質焼結体等のセラミックス材料から成る3層の絶縁層1a、1b、1cが積層された略四角平板状であり、発熱体層2を支持するための支持体として機能するとともに発熱体層2の発する熱を外部に伝達する熱伝導体として機能し、その上面がヒータとしての発熱面を形成している。
【0011】
このような絶縁基体1は、例えば絶縁層1a、1b、1cが酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、酸化アルミニウム、酸化珪素、酸化カルシウム、酸化マグネシウム等のセラミック原料粉末に適当な有機バインダ、溶剤、可塑剤、分散剤等を添加混合して泥漿状となすとともに、これを従来周知のドクターブレード法を採用してシート状に形成することにより絶縁層1a、1b、1c用のセラミックグリーンシートを得、しかる後、これらのセラミックグリーンシートに適当な打ち抜き加工を施すとともに上下に積層してセラミックグリーンシートの積層体となし、最後にその積層体を還元雰囲気中、約1600℃の温度で焼成することによって製作される。
【0012】
また、絶縁基体1の内部には絶縁層1aと1bとの間に発熱体層2が、絶縁層1bと1cとの間に発熱体層3がそれぞれ埋設されており、絶縁層1aおよび1bにはこれらの発熱体層2、3の両端部を露出させる開口1dが形成されている。
【0013】
発熱体層2、3は、例えばタングステン−レニウム等の金属抵抗体材料から成り、開口部1d内に露出した両端部が外部接続端子2a、3aを形成しており、この外部接続端子2a、3aに接続された帯状のパターンを絶縁基体1の内部に屈曲して設けることにより発熱体パターン2b、3bが形成されている。そして、外部接続端子2a、3aを外部電源に接続することにより、発熱体パターン2b、3bがそれぞれジュール発熱し、その熱が絶縁基体1に伝わって絶縁基体1が発熱するようになっている。
【0014】
このような発熱体層2、3は、例えばタングステン−レニウムから成る場合であれば、タングステン粉末およびレニウム粉末に適当な有機バインダ、溶剤、可塑剤、分散剤等を添加混合した抵抗体ペーストを絶縁基体1用のセラミックグリーンシートに従来周知のスクリーン印刷法を採用して所定のパターンに印刷塗布し、それを絶縁基体1用セラミックグリーンシートの積層体とともに焼成することによってそれぞれ絶縁基体1の絶縁層1aと1bとの間および1bと1cとの間に埋設される。
【0015】
そして、本発明のセラミックヒータにおいては、発熱体層2、3はその発熱体パターン2b、3b同士が絶縁基体1の主面に平行な方向に互いにずれて位置するように絶縁層1bを挟んで配設されており、そのことが重要である。このように、発熱体層2、3の発熱体パターン2b、3b同士が絶縁基体1の主面に平行な方向に互いにずれて位置するように絶縁層1bを挟んで配設されていることから、絶縁基体1の発熱面における発熱体パターン2bまたは3bからの距離の差が小さいものとなり、その結果、発熱体パターン2b、3bの発する熱が絶縁基体1の発熱面に短時間かつ平均的に伝達される。したがって、本発明のセラミックヒータによれば、絶縁基体1が短時間で昇温するとともに絶縁基体1の発熱面における温度ばらつきが小さなものとなる。
【0016】
なお、発熱体パターン2b、3bは互いに平行なパターン同士が上下に重ならないように配置することが好ましく、さらには互いに平行なパターン同士が上面視した場合に同じ間隔で配置されることが好ましい。
【0017】
さらに、絶縁基体1の発熱面である上面から遠い発熱体パターン3bのパターン幅または厚みを絶縁基体1の上面に近い発熱体パターン2bのパターン幅または厚みよりも小さなものとしたり、あるいは発熱体パターン3bを形成する抵抗体材料の抵抗率を発熱体パターン2bを形成する抵抗体材料の抵抗率より大きなものとしたりすることにより発熱体パターン3bの単位長さ当たりの抵抗値を発熱体パターン2bの単位長さ当たりの抵抗値よりも大きなものとしておくと、両者に同じ電流を流したときに発熱体パターン3bの単位長さ当たりの発熱量が発熱体パターン2bの単位長さ当たりの発熱量よりも多くなるので、発熱面から遠い発熱体パターン3bに対応する領域においても発熱面の温度を発熱体パターン2bに対応する領域と同等となすことができる。したがって、絶縁基体1の発熱面である上面から遠い発熱体パターン3bのパターン幅または厚みを絶縁基体1の上面に近い発熱体パターン2bのパターン幅または厚みよりも小さなものとしたり、あるいは発熱体パターン3bを形成する抵抗体材料の抵抗率を発熱体パターン2bを形成する抵抗体材料の抵抗率より大きなものとしたりすることにより発熱体パターン3bの単位長さ当たりの抵抗値を発熱体パターン2bの単位長さ当たりの抵抗値よりも大きなものとしておくことが好ましい。なお、発熱体パターン3bの単位長さ当たりの抵抗値を発熱体パターン2bの単位長さ当たりの抵抗値に対してどの程度大きなものとするかは、例えば発熱体パターン2b、3bから絶縁基体1の上面までの熱抵抗や発熱体パターン2b、3bの発熱量等を勘案した有限要素法によるコンピュータシミュレーションを行なって決定すればよい。
【0018】
また、外部接続端子2aと3aとは、互いに電気的に独立させておくと、これらを別々の外部電源に接続することにより発熱体パターン2b、3bを別々に発熱させてヒータ全体の発熱の度合いを細かく制御することができる。したがって、外部接続端子2aと3aとは互いに電気的に独立させておくことが好ましい。
【0019】
さらに、発熱体層2と3との間に介在する絶縁層1bの厚みを、発熱面を形成する絶縁層1aの厚みに対して75%以下の薄いものとしておくと、各発熱体パターン2b、3bから発熱面までの距離の差をより小さいものとして、発熱面の温度ばらつきをより小さいものとすることができる。したがって、発熱体層2と3との間に介在する絶縁層1bの厚みは、発熱面を形成する絶縁層1aの厚みに対して75%以下の薄いものとしておくことが好ましく、さらには50%以下の薄いものとしておくことが好ましい。なお、発熱面を形成する絶縁層1aの厚みは、発熱体パターン2b、3bからの熱を発熱面にむらなく短時間に伝えるためには、0.3〜0.5mm程度の厚みが好ましく、発熱体層2と3との間に介在する絶縁層1bの厚みは、発熱体パターン2b、3bから発熱面までの距離の差を小さいものとするとともに発熱体層2と3との電気的絶縁を良好に保つためには、0.05〜0.2mmの範囲が好ましい。
【0020】
かくして、本発明のセラミックヒータによれば、外部接続端子2a、3aを外部の電源に接続することにより発熱パターン2b、3bがジュール発熱し、その熱が絶縁基体1の全体に急速かつ平均的に伝わって絶縁基体1の発熱面が短時間のうちにばらつきなく発熱する。
【0021】
なお、本発明は上述の実施の形態例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変更は可能であり、例えば上述の実施の形態例では、2層の発熱体層2、3を備えていたが、3層以上の発熱体層を備えていてもよい。また、上述の実施形態例では発熱体層2、3はタングステン−レニウム等の金属抵抗体から形成されていたが、これに絶縁基体を構成するセラミック成分を5〜30質量%程度含有させてその抵抗値を調整するようになしてもよい。さらに、上述の実施の形態例では、発熱体パターン2b、3bは同じ幅の帯状パターンであったが、発熱体パターン2b、3bは、これらが上下に交差する部位でその幅を広くしてもよく、そのようにすることにより発熱体パターン2b、3bが上下に交差する部位での発熱量が部分的に高くなることを抑制することができる。
【0022】
【発明の効果】
本発明のセラミックヒータによれば、絶縁基体の内部に、それぞれが発熱体パターンを有する複数の発熱体層を、該発熱体層の前記発熱体パターン同士が前記絶縁基体の主面と平行な方向に互いにずれて位置するように前記絶縁層を挟んで設けたことから、絶縁基体の各部位における各発熱体パターンからの距離の差が小さいものとなり、その結果、発熱体パターンの発する熱が絶縁基体の全体に急速かつ平均的に伝達され、絶縁基体の表面を短時間のうちにばらつきなく発熱させることが可能なセラミックヒータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のセラミックヒータの実施形態の一例を示す上面図である。
【図2】図1に示すセラミックヒータのX−Xにおける断面図である。
【図3】従来のセラミックヒータの上面図である。
【図4】図3に示すセラミックヒータのX−Xにおける断面図である。
【符号の説明】
1・・・・・・・・・・絶縁基体
1a、1b、1c・・・・絶縁層
2,3・・・・・・・・発熱体層
2b,3b・・・・・・発熱体パターン
Claims (1)
- 複数の絶縁層を積層して成る略平板状の絶縁基体の内部に、それぞれが発熱体パターンを有する複数の発熱体層を、該発熱体層の前記発熱体パターン同士が前記絶縁基体の主面と平行な方向に互いにずれて位置するように前記絶縁層を挟んで設けたことを特徴とするセラミックヒータ。
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