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주식회사 테스 |
진공증착장치
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薄膜蒸着装置
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Thin film deposition apparatus
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Thin film deposition apparatus
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주식회사 나파스 |
휴대형 교통 안전표시구
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2011-11-17 |
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박막 증착 장치
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삼성디스플레이 주식회사 |
박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치
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(ja)
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2010-06-29 |
2014-04-23 |
株式会社日立ハイテクノロジーズ |
成膜装置及び成膜方法
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2011-01-12 |
2017-07-25 |
삼성디스플레이 주식회사 |
증착원 및 이를 구비하는 유기막 증착 장치
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(en)
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2011-12-22 |
2015-06-09 |
Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. |
Film formation apparatus and film formation method
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(ko)
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2012-04-24 |
2019-05-07 |
삼성디스플레이 주식회사 |
유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
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KR101462595B1
(ko)
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2012-11-22 |
2014-11-18 |
주식회사 에스에프에이 |
진공증착장치
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KR102075525B1
(ko)
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2013-03-20 |
2020-02-11 |
삼성디스플레이 주식회사 |
유기층 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치
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KR102107104B1
(ko)
|
2013-06-17 |
2020-05-07 |
삼성디스플레이 주식회사 |
유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
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KR101530031B1
(ko)
*
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2013-11-26 |
2015-06-19 |
주식회사 에스에프에이 |
기판 증착장치 및 기판 증착방법
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CN105814231B
(zh)
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2013-12-10 |
2020-03-06 |
应用材料公司 |
用于有机材料的蒸发源、用于在真空腔室中沉积有机材料的沉积设备及蒸发有机材料的方法
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JP2017036512A
(ja)
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2016-11-07 |
2017-02-16 |
株式会社半導体エネルギー研究所 |
成膜装置
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WO2020230359A1
(ja)
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2019-05-13 |
2020-11-19 |
株式会社アルバック |
蒸着ユニット及びこの蒸着ユニットを備える真空蒸着装置
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JP6713093B1
(ja)
*
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2019-05-13 |
2020-06-24 |
株式会社アルバック |
蒸着ユニット及びこの蒸着ユニットを備える真空蒸着装置
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KR102355870B1
(ko)
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2020-07-30 |
2022-02-07 |
주식회사 선익시스템 |
증착 소스의 위치 조절이 가능한 증착 장치
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CN117089811B
(zh)
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2023-10-17 |
2024-01-30 |
焕澄(上海)新材料科技发展有限公司 |
一种制备光学镀膜的装置
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