JP2004027350A - 金属・セラミックス複合繊維 - Google Patents
金属・セラミックス複合繊維 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004027350A JP2004027350A JP2002218921A JP2002218921A JP2004027350A JP 2004027350 A JP2004027350 A JP 2004027350A JP 2002218921 A JP2002218921 A JP 2002218921A JP 2002218921 A JP2002218921 A JP 2002218921A JP 2004027350 A JP2004027350 A JP 2004027350A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- ceramic
- plasma
- bicomponent fiber
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Manufacture Of Alloys Or Alloy Compounds (AREA)
- Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
Abstract
【課題】小断面積の線状金属の表面の全体または一部分をセラミックスに直接改質し、界面に濃度勾配をもつセラミックス複合繊維を作製する。
【解決手段】高温の金属表面を真空容器内に生成した炭素、窒素などの作用ガスのプラズマ中に曝しておくと、金属材料の表層自体が作用ガスとの化合物であるセラミックス層に変態する。
【選択図】 図1
【解決手段】高温の金属表面を真空容器内に生成した炭素、窒素などの作用ガスのプラズマ中に曝しておくと、金属材料の表層自体が作用ガスとの化合物であるセラミックス層に変態する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【産業上の利用分野】
繊維、電気部品、複合材料など関連分野
【0002】
【従来の技術】
従来、金属など材料表面をセラミックスで被覆する所謂CVDや溶射技術はあったが、細い線状の金属の表面層自体をセラミックス化する技術はなかった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
小断面積の線状、あるいは帯状の金属材料の表面の全体、または一部分をセラミックスに変態させる。また、剥離抵抗を増すために界面にセラミックスと加工物質との混合層を形成する。
【0004】
【課題を解決するための手段】
メタルセラミックスは金属と炭素、窒素、酸素などの化合物であるので、炭素、窒素などの作用ガスをプラズマ化し、そのイオンを高温の金属表面に衝撃させて反応させる手法を解決手段とする。また、拡散速度を増大させるために、プロセス温度を基板材料の融点の1/3以上に上げるなど増速拡散現象を利用することも視野にいれる。
【0005】
【発明の実施の形態】
図1を用いて説明する。真空容器中に炭素、窒素、酸素ガスなどの内、単一、または、複数種のガス元素を含む化学活性なプラズマを発生させ、融点の1/3以上に昇温された線状金属の表面がプラズマに曝されるように配置する。ただし、プラズマと加工金属とはプラズマが発生していない状態では電気的絶縁状態を保持させる。プラズマと加工金属線との間に前者を正とする数kVの外部バイアスを印加することにより、プラズマ中の作用ガスイオンを加工金属表面に加速し衝撃させる。その結果、材料の表層部は作用ガスイオンと化合物を生成し、高温中での交換拡散などにより数10nm〜100μmの厚さのセラミックス層が創製できた。
【0006】
【発明の効果】
芯が細い金属で表層部がセラミックスのセラミックス・金属複合材料ができた。セラミックスのもつ断熱性、赤外線遮蔽性、耐熱性、電気絶縁性、などの性質に加えて金属のもつ引っ張り強度、曲げ応力などを加味した新素材が生成できた。
【0007】
【利用事例】
赤外線遮蔽布、放射線遮蔽布、発熱体、蓄熱材料、保温材料、耐熱衣料、帽子、靴、手袋、寝具、インテリア材料など。
【0008】
【実施例1】
図1に連続加工装置の概略の断面図を示した。真空排気管(イ、ヘ)で容器を真空にする。次いで、導波管(ロ、ハ、ニ)からMW(マイクロウエーブ)を導入して、反応室(チ)をMW場とし、作用ガス口(ホ)から窒素などを10−2Pa程度導入する。ガスは高電離プラズマとなる。そこへ、被加工材料(ト)を導入すると温度が上昇すると共に、プラズマに対して予じめ負のkV台の外部バイアスを印加しておくと、加工品表面に窒素イオンが衝撃し、化学吸着が生じる。
吸着原子は高温下で異常拡散し、セラミックス層が形成できる。層の厚さは作用原子の拡散密度に対応するので界面ではセラミックス粒子の濃度分布は漸減する。また、前処理として、加工品表面に特定の元素を分散させておくなどすると、処理時間の短縮できる場合のあることも分かった
【0009】
【実施例2】
加工品全体を真空容器内に収納しておける場合は、装置の真空系は大気から完全分離でき簡略することができる。超尺の繊維状加工品でも、容器内に巻き取りリールを設定するなどすれば、実施例1の真空度に勾配を設ける真空系がなくとも長尺物の加工ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】セラミックス複合繊維加工機概略図
【符号の説明】
イ、ヘ・・・真空排気口、ロ、ハ、ニ・・・MW導波管、ホ・・・作用ガス口、ト・・・加工材料、チ・・・反応室、リ・・・空芯コイル。
【産業上の利用分野】
繊維、電気部品、複合材料など関連分野
【0002】
【従来の技術】
従来、金属など材料表面をセラミックスで被覆する所謂CVDや溶射技術はあったが、細い線状の金属の表面層自体をセラミックス化する技術はなかった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
小断面積の線状、あるいは帯状の金属材料の表面の全体、または一部分をセラミックスに変態させる。また、剥離抵抗を増すために界面にセラミックスと加工物質との混合層を形成する。
【0004】
【課題を解決するための手段】
メタルセラミックスは金属と炭素、窒素、酸素などの化合物であるので、炭素、窒素などの作用ガスをプラズマ化し、そのイオンを高温の金属表面に衝撃させて反応させる手法を解決手段とする。また、拡散速度を増大させるために、プロセス温度を基板材料の融点の1/3以上に上げるなど増速拡散現象を利用することも視野にいれる。
【0005】
【発明の実施の形態】
図1を用いて説明する。真空容器中に炭素、窒素、酸素ガスなどの内、単一、または、複数種のガス元素を含む化学活性なプラズマを発生させ、融点の1/3以上に昇温された線状金属の表面がプラズマに曝されるように配置する。ただし、プラズマと加工金属とはプラズマが発生していない状態では電気的絶縁状態を保持させる。プラズマと加工金属線との間に前者を正とする数kVの外部バイアスを印加することにより、プラズマ中の作用ガスイオンを加工金属表面に加速し衝撃させる。その結果、材料の表層部は作用ガスイオンと化合物を生成し、高温中での交換拡散などにより数10nm〜100μmの厚さのセラミックス層が創製できた。
【0006】
【発明の効果】
芯が細い金属で表層部がセラミックスのセラミックス・金属複合材料ができた。セラミックスのもつ断熱性、赤外線遮蔽性、耐熱性、電気絶縁性、などの性質に加えて金属のもつ引っ張り強度、曲げ応力などを加味した新素材が生成できた。
【0007】
【利用事例】
赤外線遮蔽布、放射線遮蔽布、発熱体、蓄熱材料、保温材料、耐熱衣料、帽子、靴、手袋、寝具、インテリア材料など。
【0008】
【実施例1】
図1に連続加工装置の概略の断面図を示した。真空排気管(イ、ヘ)で容器を真空にする。次いで、導波管(ロ、ハ、ニ)からMW(マイクロウエーブ)を導入して、反応室(チ)をMW場とし、作用ガス口(ホ)から窒素などを10−2Pa程度導入する。ガスは高電離プラズマとなる。そこへ、被加工材料(ト)を導入すると温度が上昇すると共に、プラズマに対して予じめ負のkV台の外部バイアスを印加しておくと、加工品表面に窒素イオンが衝撃し、化学吸着が生じる。
吸着原子は高温下で異常拡散し、セラミックス層が形成できる。層の厚さは作用原子の拡散密度に対応するので界面ではセラミックス粒子の濃度分布は漸減する。また、前処理として、加工品表面に特定の元素を分散させておくなどすると、処理時間の短縮できる場合のあることも分かった
【0009】
【実施例2】
加工品全体を真空容器内に収納しておける場合は、装置の真空系は大気から完全分離でき簡略することができる。超尺の繊維状加工品でも、容器内に巻き取りリールを設定するなどすれば、実施例1の真空度に勾配を設ける真空系がなくとも長尺物の加工ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】セラミックス複合繊維加工機概略図
【符号の説明】
イ、ヘ・・・真空排気口、ロ、ハ、ニ・・・MW導波管、ホ・・・作用ガス口、ト・・・加工材料、チ・・・反応室、リ・・・空芯コイル。
Claims (1)
- 線状金属の表面層自体の一部分、または全体をセラミックス化し、そのセラミックス成分が界面で濃度勾配をもつ複合材料の製法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002218921A JP2004027350A (ja) | 2002-06-24 | 2002-06-24 | 金属・セラミックス複合繊維 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002218921A JP2004027350A (ja) | 2002-06-24 | 2002-06-24 | 金属・セラミックス複合繊維 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004027350A true JP2004027350A (ja) | 2004-01-29 |
Family
ID=31184716
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002218921A Pending JP2004027350A (ja) | 2002-06-24 | 2002-06-24 | 金属・セラミックス複合繊維 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004027350A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006077315A (ja) * | 2004-09-13 | 2006-03-23 | Juki Corp | ミシンの糸切り装置 |
-
2002
- 2002-06-24 JP JP2002218921A patent/JP2004027350A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006077315A (ja) * | 2004-09-13 | 2006-03-23 | Juki Corp | ミシンの糸切り装置 |
JP4546793B2 (ja) * | 2004-09-13 | 2010-09-15 | Juki株式会社 | ミシンの糸切り装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20050208218A1 (en) | Method for depositing boron-rich coatings | |
KR101052036B1 (ko) | 고온 내 부식성 향상을 위한 세라믹 코팅 및 이온빔 믹싱장치 및 이를 이용한 박막의 계면을 개질하는 방법 | |
Keidar et al. | Modeling of atmospheric-pressure anodic carbon arc producing carbon nanotubes | |
Sugai et al. | Development of thick hybrid-type carbon stripper foils with high durability at 1800 K for RCS of J-PARC | |
Ng et al. | Self-organisation processes in the carbon arc for nanosynthesis | |
Eremeev et al. | Nb3Sn multicell cavity coating system at Jefferson Lab | |
Burdovitsin et al. | Electron beam nitriding of titanium in medium vacuum | |
Kieschke et al. | Sputter deposited barrier coatings on SiC monofilaments for use in reactive metallic matrices—I. Optimisation of barrier structure | |
WO2020094929A4 (fr) | Procede de fabrication de fibres termostable a haute temperature | |
Franz et al. | Erosion behavior of composite Al-Cr cathodes in cathodic arc plasmas in inert and reactive atmospheres | |
JP2011518954A (ja) | 蒸着システム | |
Kim et al. | Protective yttria coatings of melting crucible for metallic fuel slugs | |
Klimov et al. | Electron-beam sintering of an Al2O3/Ti composite using a forevacuum plasma-cathode electron source | |
Wilkens et al. | Developing depleted uranium and gold cocktail hohlraums for the National Ignition Facility | |
JP2004027350A (ja) | 金属・セラミックス複合繊維 | |
Baklanova et al. | The effect of heat treatment on the tensile strength of the iridium-coated carbon fiber | |
Beilis et al. | Thin film deposition by plasma beam of a vacuum arc with refractory anodes | |
JP3187487B2 (ja) | ダイヤモンド様薄膜の保護膜付き物品 | |
CN110129746A (zh) | 用于金属零件表面的热化学处理的等离子处理和反应器 | |
EP0719746B1 (en) | Densification of porous articles by plasma enhanced chemical vapor infiltration | |
Kwok et al. | Effects of long pulse width and high pulsing frequency on surface superhydrophobicity of polytetrafluoroethylene in quasi-direct-current plasma immersion ion implantation | |
Ueda et al. | High temperature plasma immersion ion implantation using hollow cathode discharges in small diameter metal tubes | |
Foong et al. | Comparative study between erbium and erbium oxide-doped diamondlike carbon films deposited by pulsed laser deposition technique | |
JPS6229550B2 (ja) | ||
Shoyama et al. | Nitriding of a tool steel with an electron-beam-excited plasma |