JP2004001447A - インクジェットプリンタヘッド及びインクジェットプリンタヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】液滴を安定して吐出できるノズルを有するインクジェットプリンタヘッドとその製造方法を提供する。
【解決手段】片面にインクチャンバ140が形成された基板110と,インクチャンバ140を覆い,そこからのインク液滴が吐出されるノズル121を有し,複数の絶縁層が積層されたノズル板120と,ノズル板120の積層内に埋め込まれ,ノズル121を取り囲むヒータと,ノズル板120の積層内に埋め込まれ,ヒータに電気的に接続される配線層と,ノズル板上に形成され,ノズル板のノズルに連続する貫通孔状の液滴ガイドが形成されているフォトレジストよりなる疏水性コーティング層190と,を備えるインクジェットプリンタヘッド。十分な厚さを有する疏水性コーティング層190により液滴ガイドが与えられるので,メニスカスの迅速な復元及び安定化と高速及び高周波数の吐出が可能になり,耐摩耗性及び耐化学性が向上する。
【選択図】 図2
【解決手段】片面にインクチャンバ140が形成された基板110と,インクチャンバ140を覆い,そこからのインク液滴が吐出されるノズル121を有し,複数の絶縁層が積層されたノズル板120と,ノズル板120の積層内に埋め込まれ,ノズル121を取り囲むヒータと,ノズル板120の積層内に埋め込まれ,ヒータに電気的に接続される配線層と,ノズル板上に形成され,ノズル板のノズルに連続する貫通孔状の液滴ガイドが形成されているフォトレジストよりなる疏水性コーティング層190と,を備えるインクジェットプリンタヘッド。十分な厚さを有する疏水性コーティング層190により液滴ガイドが与えられるので,メニスカスの迅速な復元及び安定化と高速及び高周波数の吐出が可能になり,耐摩耗性及び耐化学性が向上する。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は,インクジェットプリンタヘッド及びインクジェットプリンタヘッドの製造方法に係り,より詳細には,インクジェットプリンタヘッドを製造するにあたり,ノズル板の表面に対する疎水化処理を効率良く行える方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
インクジェットプリンタのインク吐出方式としては,熱源を用いてインクに気泡(バブル)を生じさせ,この力によりインクを吐出させる,電気−熱変換方式(バブルジェット(登録商標)方式)と,圧電体を用い,この圧電体の変形により生じるインクの体積変化によりインクを吐出させる,電気−機械変換方式とがある。
【0003】
さらに,電気−熱変換方式は,バブルの成長方向及びインク液滴の吐出方向に応じて,トップ・シューティング方式,サイド・シューティング方式,及びバック・シューティング方式に大別される。ここで,トップ・シューティング方式は,バブルの成長方向及びインク液滴の吐出方向が同じ方式であり,サイド・シューティング方式は,バブルの成長方向及びインク液滴の吐出方向が直角をなす方式であり,そしてバック・シューティング方式は,バブルの成長方向及びインク液滴の吐出方向が互いに反対となる方式である。
【0004】
これらの方式によるインクジェットプリンタヘッドは,共通してインク液滴が吐出されるノズル(オリフィス)を有するノズル板を備える(例えば,特許文献1参照)。ノズル板は記録用紙などの印刷媒体に直接当接するものであり,ノズルを介して吐出されるインク液滴の吐出に影響を及ぼしうる各種の因子を有する。
【0005】
それら因子のうち一つが,ノズル板の表面の疏水性である。ノズル板の表面の疏水性が小さい場合,すなわち,ノズル板の表面が親水性を有する場合,ノズルを介して吐出されるインクの一部がノズル板の表面に染み出てノズル板の表面を汚すだけではなく,吐出されるインク液滴の大きさ,方向及び速度などが一定にならないといった問題が生じる。このような問題を改善するために,ノズル板の表面には疎水化処理のためのコーティング層が形成される。
【0006】
図1は,ノズル板の表面に疎水化処理の施されたバック・シューティング方式のインクジェットプリンタヘッド10の,概略的な抜粋断面図である。
【0007】
図1を参照すれば,基板11の上面中央に略半球状のチャンバ14が形成されており,その下部には四角チャネル型マニホルド17が形成されている。そして,チャンバ14及びマニホルド17は,流路16を介して繋がっている。基板11上には複層構造のノズル板12が形成されている。ノズル板12は基板11上に形成される積層によるメンブレインであって,チャンバ14の真中に位置するノズル(または,オリフィス)18が形成されている。そして,ノズル18の周りには,チャンバ14の内側に延びるバブルガイド14aが形成されている。ノズル板12は,下部絶縁層12a,中間絶縁層12b,及び上部絶縁層12cを備える。下部絶縁層12aと中間絶縁層12bとの間には,ノズル18を取り囲むヒータ13が形成されており,中間絶縁層12bと上部絶縁層12cとの間には,ヒータ13に接続される配線層15が形成されている。
【0008】
このような構造において,上部絶縁層12cは単一層または複数層の積層からなり,この上には疏水性コーティング膜19が形成されている。疏水性コーティング膜19は,少なくともノズル18周りの表面に形成されることが好ましい。
【0009】
ここで,コーティング膜としては,メッキされた,ニッケル(Ni),金(Au),パラジウム(Pd),またはタンタル(Ta)などの金属と,フルオロカーボン(FC),F−シラン,またはダイヤモンドライクカーボン(DLC)などの,疏水性に優れた過フルオロ化アルカン及びシラン化合物が用いられる。疏水性コーティング膜はスプレーコートやスピンコートなどの湿式法により形成でき,プラズマ気相化学蒸着(PECVD)法やスパッタリングなどの乾式法により蒸着される。疏水性コーティング膜19は,ノズル18,バブルガイド18a,チャンバ14,マニホルド17,及び流路16などが既に形成された状態で形成される。
【0010】
【特許文献1】
米国特許第6,019,457号明細書
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
従来は上記構成であるので,疏水性コーティング膜19の形成時に疏水性物質がノズル18を介してチャンバ14にまで入り込んで,チャンバ14の底面の全体または一部に疏水性物質膜19’が形成される。さらには,この疏水性物質膜19’がマニホルド17につながる流路16の内壁にも形成されてしまう場合もある。
【0012】
このように疏水性物質膜がチャンバ及び流路の内面に形成されれば,親水性インクを拒む疏水性物質の疏水性によりチャンバ14内へのインク供給が円滑にできず,さらには,供給そのものができない場合もある。一方,このような疏水性物質膜19’がバブルガイド18aの内面に形成されれば,ここで形成されるインクのメニスカス14aの挙動に悪影響を及ぼして,良質の液滴を高速で吐出できなくなる。
【0013】
このため,疏水性物質をノズル板12の表面に形成した後,チャンバ14及び流路16内に形成された疏水性物質膜を後続するエッチング工程,例えば,O2プラズマエッチング工程により除去するようにしている。しかしながら,チャンバ内の疏水性物質がO2プラズマにより除去される過程で,ノズル板12,特にノズル板12の表面に形成された疏水性コーティング膜19が,O2プラズマに過度に晒されて激しく損傷するという問題が生じうる。
【0014】
一方,上述したような従来のインクジェットプリンタヘッドは,ヒータ13が薄いノズル板そのものに設けられて,バブルの成長方向が液滴の吐出方向と反対となるバック・シューティング方式である。このため,液滴の膨脹圧力を効果的に伝達するために,ノズルにテトラエトキシシラン(TEOS)などよりなるバブルガイド18aを形成しなければならない。バブルガイドがなければバブルにより生じた圧力がノズルに十分に伝達できず,特に,液滴を安定してかつ迅速に吐出できない。したがって,ノズル板が十分に厚くなければ,ノズルにバブルガイドを必ず形成しなければならない。
【0015】
このようなバブルガイドは,約30μmの大きさを有することが好ましいが,シリコンに対する反応性イオンエッチング(RIE)工程,及びTEOS工程の限界から,実質的に10μmを超え難い。
【0016】
そこで本発明は,ノズルを効率良く,かつ,一層短縮された工程により製造できる,インクジェットプリンタヘッドの製造方法を提供するところにその目的がある。
【0017】
本発明はまた,疏水性,耐化学性,及び耐摩耗性に優れており,良質のインク液滴を高速で吐出できるノズルを有するインクジェットプリンタヘッドの製造方法を提供するところにその目的がある。
【0018】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために,本発明によれば,その片面にインクチャンバが形成された基板と,インクチャンバを覆い,インクチャンバからのインク液滴が吐出されるノズルを有し,複数の絶縁層が積層されたノズル板と,ノズル板の積層内に埋め込まれ,ノズルを取り囲むように設けられたヒータと,ノズル板の積層内に埋め込まれ,ヒータに電気的に接続される配線層と,ノズル板上に形成され,ノズル板のノズルに連続する貫通孔状の液滴ガイドが形成されているフォトレジストよりなる疏水性コーティング層と,を備えることを特徴とするインクジェットプリンタヘッドが提供される。
【0019】
さらに,上記目的を達成するために,本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法は,片面部が開放された所定体積のインクチャンバを有する基板と,基板上に設けられ,インクチャンバの開放された部分に対応するノズルと,ノズルを取り囲むヒータと,ヒータに電気的に接続される配線層と,ノズルと,ヒータ及び配線層を保護する複数の絶縁層が積層されたノズル板と,を備えるインクジェットプリントの製造方法である。そして,(a)インクチャンバの形成部分を有する基板上に,インクチャンバに対応するノズル領域を有する複数の絶縁層による積層と,積層に埋め込まれてノズル領域を取り囲むヒータと,ヒータに接続される配線層と,を形成することにより,基板上にノズル板を形成する段階と,(b)ノズル板のノズル領域に対応する絶縁層部分を除去することにより,ノズル板を貫通するノズルを形成する段階と,(c)ノズル板上にフォトレジスト層を形成することにより,ノズル板上に疏水性コーティング層を形成する段階と,(d)露光及びエッチング過程を含むフォトリソグラフィ法によりノズル内部及びその上方に位置するフォトレジストを除去することにより,ノズル板のノズルを疏水性コーティング層に形成される貫通孔により延ばす段階と,(e)ノズル板及び疎水性コーティング層に設けられたノズルを介して等方性ウェットエッチング液を注入することにより,ヒータの下方に位置するインクチャンバ領域にインクチャンバを形成する段階と,を含む。
【0020】
本発明に係るインクジェットプリンタヘッドにおいて,疏水性コーティング層はネガティブフォトレジストにより形成されることが好ましく,疏水性コーティング層はノズル板よりも厚いことがさらに好ましい。
【0021】
ここで,疏水性コーティング層に設けられる液滴ガイドは,液滴の吐出方向に沿ってその直径が次第に狭まる略テーパ状を有することが好ましい。また,インクチャンバは略半球状であり,ノズル板に形成されるノズルがインクチャンバの上方に直接露出されていることが好ましい。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下に,本発明の実施の形態を,図面を用いて説明する。なお,本明細書及び図面において,実質的に同一の機能構成を有する構成要素については,同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【0023】
図2を参照すれば,本発明の一実施形態によるインクジェットプリンタヘッドは,下記のような特徴を有する。ノズル板上の疏水性コーティング層がフォトレジストにより形成され,好ましくは,この疏水性コーティング層がその下部のノズル板よりも3倍以上と極めて厚く,かつ,フォトレジストがネガティブ型である。一方,疏水性コーティング層に形成される貫通孔は,ノズル板から吐出されるインク液滴をガイドする液滴ガイドである。
【0024】
また,図1に示されたように,従来のインクジェットプリンタヘッドに適用されていたノズル板の内側に設けられる管状のバブルガイドが存在しない点,すなわちインクチャンバは略半球状であり,ノズル板に形成されるノズルがインクチャンバの上方に直接露出されるという点にさらなる特徴がある。このようなバブルガイドは,本実施形態においては,本実施形態を特徴づける疏水性コーティング層の細長い管状の液滴ガイドに取り替えられる。この液滴ガイドは,インクチャンバとは離れている。ノズル板は,基板上に形成される複数の絶縁層,及びこの絶縁層上に形成される疏水性コーティング層により得られる。以下では,たとえ疏水性コーティング層がノズル板の一部として属しているとしても,便宜上多重の絶縁層による積層を「ノズル板」と称し,疏水性コーティング層は別個の要素として説明される。
【0025】
図2に基づき,本発明の実施形態によるインクジェットプリンタヘッド100の概略的な構造について説明する。
【0026】
図2を参照すれば,基板110の上面中央に,略半球状のチャンバ140が形成されている。この略半球状のチャンバ140の下部には四角チャンネル型マニホルド170が形成されており,インクチャンバ140の底面に形成された流路160を介してマニホルド170からのインクがインクチャンバ140に供給される。基板110上には,バック・シューティング方式の構造的な特徴により,複数の絶縁層の積層によるノズル板120が形成されている。
【0027】
ノズル板120は,基板110上に順次に形成される絶縁層によるメンブレインである。ノズル板120には,チャンバ140の真中に位置するノズル121が形成されている。ノズル板120上には,本実施形態の特徴によるフォトレジストよりなる疏水性コーティング層190が形成される。この疏水性コーティング層190には,ノズル121に連続する貫通孔として,液滴の吐出をガイドする液滴ガイド181が形成される。ノズル121及び液滴ガイド181は実質的に単一のノズルを構成する。本実施形態においては,疏水性コーティング層に設けられるノズルの一部としての貫通孔181が,ノズル板120のノズル121と共に吐出される液滴をガイドする機能を有するという点を強調するために,「液滴ガイド」と称する。
【0028】
ノズル板120は,第1絶縁層120a,第2絶縁層120b,及び第3絶縁層120cを備える。第1絶縁層120aと第2絶縁層120bとの間には,ノズル121を取り囲むようにヒータ130が形成される。ヒータ130が,第1絶縁層120aと第2絶縁層120bとの間においてノズル121に隣接して形成されることにより,上記のように拡幅された液滴吐出部180bが形成される。
【0029】
そして,第2絶縁層120bと第3絶縁層120cとの間には,ヒータ130に接続される配線層150が形成される。上記のような構造における第3絶縁層120cは単一層でなく,パッシベーション層を含む複数の絶縁層からなる。第3絶縁層120c上には,疏水性コーティング層190が形成される。この時,疏水性コーティング層190は,フォトレジスト,好ましくは,ネガティブフォトレジストにより形成される。
【0030】
ここで,疏水性コーティング層190は絶縁層によるノズル板120よりも厚いことが好ましい。疏水性コーティング層190がネガティブフォトレジストにより形成される場合,ネガティブフォトレジストの光硬化性により,使用中に紫外線に露出されるほど機械的な強度が一層高まる。
【0031】
ここで,疏水性コーティング層190の液滴ガイドを形成するにあたり適宜な処理を施すことにより,図3に示されたように,疏水性コーティング層190の液滴ガイド191に上狭下広の略円錐台形の断面形状を持たせても良い。これは,液滴の吐出性能を大いに向上させる。
【0032】
以下,本発明の実施形態によるインクジェットプリンタヘッドの製造方法について詳細に説明する。ここで,本実施形態の製造方法に用いられる成膜方法やパターニング方法は,既に知られた方法に基づいており,特定しない限り本発明の技術的な範囲を制限することはない。
【0033】
図4に示されたように,シリコンウェーハなどの基板110上に,PECVD法などによりシリコンオキシドよりなる第1絶縁膜120aを形成し,その上に略環状,または略「Ω」字状のヒータ130を形成する。この時,ヒータ130は,約20μmの直径を有するノズル形成位置Aの中心軸Y−Yを取り囲む様々な形状を有しうる。ヒータ130は,ポリシリコンの蒸着,不純物のドーピング,マスクの形成及びRIEなどを含むパターニング過程を通じて形成される。
【0034】
次に,図5に示されたように,基板110上にCVD法などによりシリコンナイトライドよりなる第2絶縁層120bを形成する。
【0035】
次に,図6に示されたように,第2絶縁層120bに対してフォトリソグラフィ工程を行い,ヒータ130への電気的な接続のためのコンタクトホール121bを形成する。
【0036】
次に,図7に示されたように,第2絶縁層120b上に配線層150及びこれに接続されるパッド122を形成する。配線層150及びパッド122の形成過程は,スパッタリング装置によるアルミニウムまたはアルミニウム合金の蒸着,マスクの形成及びエッチング過程を含むフォトリソグラフィ工程を通じたパターニング工程を伴う。
【0037】
次に,図8に示されたように,このような積層上に第3絶縁層120cを形成する。これにより,斜めの両側壁を有する皿状の凹部Cの初期形状が,ノズル形成領域に上記のような積層構造による結果物として現れる。この時,第3絶縁層120cは,IMD(inter−metal dielectric)であることが好ましい。第3絶縁層120cはヒータ130を保護するものであるため,所定の厚さを有する必要がある。必要に応じて,第3絶縁層120c上にPECVD法によりシリコンオキシドよりなる絶縁層をさらに形成しても良い。ここで,絶縁層120a, 120b, 120cによるノズル板120の厚さは,約10μmになるように調節する。
【0038】
次に,図9に示されたように,第3絶縁層120c上にノズル形成領域Aに対応するウィンドウ202を有するフォトレジストマスク層201を形成した後,RIE法などにより,基板110上の第1絶縁層120a部分まで除去することにより,約20μmの直径を有するノズル121を形成する。
【0039】
次に,図10に示されたように,絶縁層120a, 120b, 120cが積層されたノズル板120上に,フォトレジストよりなる疏水性コーティング層190をスピンコート法などにより,十分な厚さ,例えば,30μm以上形成する。ここで,疏水性コーティング層190が必要以上に厚く形成される場合があるが,これは後述する液滴ガイドの形成のための露光条件の調節に必要とされ,疎水性コーティング層190は露光量の調節により目的とする厚さに調節できる。この時,好ましくは,疏水性コーティング層190をノズル板120よりも3倍以上に厚く形成する。また,マスク層201と疏水性コーティング層190とが光学的に互いに異なる場合,疏水性コーティング層190を形成するに先立って,マスク層201を必ず除去しなければならない。この時,疏水性コーティング層190は,光硬化性ネガティブフォトレジストにより形成することが好ましい。使用可能なフォトレジストとしては,例えば,Su−8,マイクロエレクトロニクス用感光性ポリイミド系コーティング樹脂(PIMEL),ポリイミド系,ポリアミドなどがある。
【0040】
次に,図11に示されたように,マスクを用い,紫外線により疏水性コーティング層190を露光する。この時,ネガティブフォトレジストが光硬化性を帯びるため,除去されるべき部分は紫外線が浸透しないようにマスク300により覆われる。これに対し,ポジティブ型フォトレジストを採用する場合には,除去されてはならない部分が覆われてしまう。
【0041】
次に,図12に示されたように,湿式エッチング液によりノズル121,及びパッド122上にあるフォトレジストを除去する。これにより,ノズル121上にはノズル121に連続する管状の液滴ガイド191が形成される。この時,紫外線が入射するフォトレジストの表面からその底面に行くほど紫外線の吸収量が次第に減るため,液滴ガイド191の形成のために現像液によるエッチングを行う時,液滴ガイド191の深い部分で露光された部分も一部エッチングされ,上に行くほどその量が次第に減る。このような露光の度合いの違いによりエッチングに違いがでれば,図12に示されたように,円錐状の液滴ガイド191aが得られる。
【0042】
このような略円錐状の液滴ガイド191aは,液滴の吐出にあたり,流体力学的な側面において有利である。しかし,露光時に十分な露光がなされれば,フォトレジストの最も深い部分も十分に露光されるため,図2,図3に示されたように,管状の液滴ガイド191が得られる。従って,目的とする構造の液滴ガイド191aを得るために適切な露光条件,例えば,紫外線の強度及び露出時間を調整することにより,上述のように,フォトレジストの最も深い部分におけるオーバーエッチングを起こらせる。このようなエッチングに続き,疎水性コーティング層190を物理化学的に安定化させるために,ハードベークを行う。
【0043】
次に,図13に示されたように,基板110の底面に先行の成膜工程を通じて形成された薄膜を研磨した後,約500μmの幅を有するマニホルド形成用ウィンドウ205付きマスク層204を形成する。
【0044】
次に,図14に示されたように,マスク層204のウィンドウ205を介して露出された基板部分を,所定深さだけテトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)により異方性エッチングすることにより,マニホルド170を形成する。
【0045】
次に,図15に示されたように,ドライエッチング装置,例えば,XeF2エッチング装置を用いて,液滴ガイド191,191aにエッチングガスを供給することにより,30〜40μmの直径を有する所定深さの略半球状インクチャンバ140を形成する。
【0046】
次に,図16に示されたように,インクチャンバ140の底面にドライエッチング法により約25μmの直径を有する流路160を形成する。
【0047】
上述したように,本実施形態は,完全な疏水性ではない適切な疏水性を有するフォトレジストによりノズル板が保護され,これにより液滴ガイドが設けられる。このような構造によれば,適切な疎水性によりインクによるノズル板の表面の濡れが防止され,そして液滴ガイドが提供されることにより,チャンバ内において生じたバブルの外部への漏れが抑えられる。特に,液滴ガイド内においてバブルにより形成される液滴の連続吐出時に,メニスカスを迅速に安定化させる。これは,円滑なインクの供給及び高速の吐出に寄与する。
【0048】
また,本実施形態によれば,別途の工程によりバブルガイドを形成しなくても良いため,従来の方法よりも短縮された工程により目的とするインクジェットプリンタヘッドを得ることができる。本実施形態によれば,疏水性コーティング層によりバブルガイドの替わりに液滴ガイドが与えられるので,さらなる工程が必要とされない。
【0049】
また,本実施形態によれば,疏水性コーティング層がネガティブフォトレジストにより形成されるので,フォトレジストが使用中に生じる紫外線などにより硬化され,耐摩耗性及び耐化学性に極めて良好になる。
【0050】
また,適切な疏水性コーティング層のためのフォトレジスト露光条件の調節などにより,上に行くほどその直径が次第に狭まる略テーパ状の液滴ガイドが得られるが,このような略テーパ状の液滴ガイドは,液滴の直進性,速度及び周波数の増加をもたらす。また,疏水性コーティング層は,ノズル板に十分に厚く形成されるので,その下部の絶縁層の積層構造により現れる不均一な断面プロファイルが疏水性コーティング層により平坦化する。
【0051】
以上,添付図面を参照しながら本発明のインクジェットプリンタヘッド及びインクジェットプリンタヘッドの製造方法の好適な実施形態について説明したが,本発明はこれらの例に限定されない。いわゆる当業者であれば,特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり,それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【0052】
【発明の効果】
本発明によれば,ノズルを効率良く,かつ,一層短縮された工程により製造できる,インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法が提供できた。また,疏水性,耐化学性,及び耐摩耗性に優れ,良質のインク液滴を高速で吐出できるノズルを有するインクジェットプリンタヘッド及びその製造方法が提供できた。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は,従来のインクジェットプリンタヘッドの製造方法において,疏水性コーティング層の形成方法を説明するためのインクジェットプリンタヘッドの概略的な断面図である。
【図2】図2は,本発明の実施形態によるインクジェットプリンタヘッドの概略的な断面図である。
【図3】図3は,本発明の他の実施形態によるインクジェットプリンタヘッドの概略的な断面図である。
【図4】図4は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【図5】図5は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【図6】図6は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【図7】図7は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【図8】図8は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【図9】図9は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【図10】図10は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【図11】図11は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【図12】図12は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【図13】図13は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【図14】図14は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【図15】図15は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【図16】図16は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【符号の説明】
110 基板
120 ノズル板
120a 第1絶縁層
120b 第2絶縁層
120c 第3絶縁層
121 ノズル
140 インクチャンバ
170 マニホルド
181 液滴ガイド
190 疏水性コーティング層
【発明の属する技術分野】
本発明は,インクジェットプリンタヘッド及びインクジェットプリンタヘッドの製造方法に係り,より詳細には,インクジェットプリンタヘッドを製造するにあたり,ノズル板の表面に対する疎水化処理を効率良く行える方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
インクジェットプリンタのインク吐出方式としては,熱源を用いてインクに気泡(バブル)を生じさせ,この力によりインクを吐出させる,電気−熱変換方式(バブルジェット(登録商標)方式)と,圧電体を用い,この圧電体の変形により生じるインクの体積変化によりインクを吐出させる,電気−機械変換方式とがある。
【0003】
さらに,電気−熱変換方式は,バブルの成長方向及びインク液滴の吐出方向に応じて,トップ・シューティング方式,サイド・シューティング方式,及びバック・シューティング方式に大別される。ここで,トップ・シューティング方式は,バブルの成長方向及びインク液滴の吐出方向が同じ方式であり,サイド・シューティング方式は,バブルの成長方向及びインク液滴の吐出方向が直角をなす方式であり,そしてバック・シューティング方式は,バブルの成長方向及びインク液滴の吐出方向が互いに反対となる方式である。
【0004】
これらの方式によるインクジェットプリンタヘッドは,共通してインク液滴が吐出されるノズル(オリフィス)を有するノズル板を備える(例えば,特許文献1参照)。ノズル板は記録用紙などの印刷媒体に直接当接するものであり,ノズルを介して吐出されるインク液滴の吐出に影響を及ぼしうる各種の因子を有する。
【0005】
それら因子のうち一つが,ノズル板の表面の疏水性である。ノズル板の表面の疏水性が小さい場合,すなわち,ノズル板の表面が親水性を有する場合,ノズルを介して吐出されるインクの一部がノズル板の表面に染み出てノズル板の表面を汚すだけではなく,吐出されるインク液滴の大きさ,方向及び速度などが一定にならないといった問題が生じる。このような問題を改善するために,ノズル板の表面には疎水化処理のためのコーティング層が形成される。
【0006】
図1は,ノズル板の表面に疎水化処理の施されたバック・シューティング方式のインクジェットプリンタヘッド10の,概略的な抜粋断面図である。
【0007】
図1を参照すれば,基板11の上面中央に略半球状のチャンバ14が形成されており,その下部には四角チャネル型マニホルド17が形成されている。そして,チャンバ14及びマニホルド17は,流路16を介して繋がっている。基板11上には複層構造のノズル板12が形成されている。ノズル板12は基板11上に形成される積層によるメンブレインであって,チャンバ14の真中に位置するノズル(または,オリフィス)18が形成されている。そして,ノズル18の周りには,チャンバ14の内側に延びるバブルガイド14aが形成されている。ノズル板12は,下部絶縁層12a,中間絶縁層12b,及び上部絶縁層12cを備える。下部絶縁層12aと中間絶縁層12bとの間には,ノズル18を取り囲むヒータ13が形成されており,中間絶縁層12bと上部絶縁層12cとの間には,ヒータ13に接続される配線層15が形成されている。
【0008】
このような構造において,上部絶縁層12cは単一層または複数層の積層からなり,この上には疏水性コーティング膜19が形成されている。疏水性コーティング膜19は,少なくともノズル18周りの表面に形成されることが好ましい。
【0009】
ここで,コーティング膜としては,メッキされた,ニッケル(Ni),金(Au),パラジウム(Pd),またはタンタル(Ta)などの金属と,フルオロカーボン(FC),F−シラン,またはダイヤモンドライクカーボン(DLC)などの,疏水性に優れた過フルオロ化アルカン及びシラン化合物が用いられる。疏水性コーティング膜はスプレーコートやスピンコートなどの湿式法により形成でき,プラズマ気相化学蒸着(PECVD)法やスパッタリングなどの乾式法により蒸着される。疏水性コーティング膜19は,ノズル18,バブルガイド18a,チャンバ14,マニホルド17,及び流路16などが既に形成された状態で形成される。
【0010】
【特許文献1】
米国特許第6,019,457号明細書
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
従来は上記構成であるので,疏水性コーティング膜19の形成時に疏水性物質がノズル18を介してチャンバ14にまで入り込んで,チャンバ14の底面の全体または一部に疏水性物質膜19’が形成される。さらには,この疏水性物質膜19’がマニホルド17につながる流路16の内壁にも形成されてしまう場合もある。
【0012】
このように疏水性物質膜がチャンバ及び流路の内面に形成されれば,親水性インクを拒む疏水性物質の疏水性によりチャンバ14内へのインク供給が円滑にできず,さらには,供給そのものができない場合もある。一方,このような疏水性物質膜19’がバブルガイド18aの内面に形成されれば,ここで形成されるインクのメニスカス14aの挙動に悪影響を及ぼして,良質の液滴を高速で吐出できなくなる。
【0013】
このため,疏水性物質をノズル板12の表面に形成した後,チャンバ14及び流路16内に形成された疏水性物質膜を後続するエッチング工程,例えば,O2プラズマエッチング工程により除去するようにしている。しかしながら,チャンバ内の疏水性物質がO2プラズマにより除去される過程で,ノズル板12,特にノズル板12の表面に形成された疏水性コーティング膜19が,O2プラズマに過度に晒されて激しく損傷するという問題が生じうる。
【0014】
一方,上述したような従来のインクジェットプリンタヘッドは,ヒータ13が薄いノズル板そのものに設けられて,バブルの成長方向が液滴の吐出方向と反対となるバック・シューティング方式である。このため,液滴の膨脹圧力を効果的に伝達するために,ノズルにテトラエトキシシラン(TEOS)などよりなるバブルガイド18aを形成しなければならない。バブルガイドがなければバブルにより生じた圧力がノズルに十分に伝達できず,特に,液滴を安定してかつ迅速に吐出できない。したがって,ノズル板が十分に厚くなければ,ノズルにバブルガイドを必ず形成しなければならない。
【0015】
このようなバブルガイドは,約30μmの大きさを有することが好ましいが,シリコンに対する反応性イオンエッチング(RIE)工程,及びTEOS工程の限界から,実質的に10μmを超え難い。
【0016】
そこで本発明は,ノズルを効率良く,かつ,一層短縮された工程により製造できる,インクジェットプリンタヘッドの製造方法を提供するところにその目的がある。
【0017】
本発明はまた,疏水性,耐化学性,及び耐摩耗性に優れており,良質のインク液滴を高速で吐出できるノズルを有するインクジェットプリンタヘッドの製造方法を提供するところにその目的がある。
【0018】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために,本発明によれば,その片面にインクチャンバが形成された基板と,インクチャンバを覆い,インクチャンバからのインク液滴が吐出されるノズルを有し,複数の絶縁層が積層されたノズル板と,ノズル板の積層内に埋め込まれ,ノズルを取り囲むように設けられたヒータと,ノズル板の積層内に埋め込まれ,ヒータに電気的に接続される配線層と,ノズル板上に形成され,ノズル板のノズルに連続する貫通孔状の液滴ガイドが形成されているフォトレジストよりなる疏水性コーティング層と,を備えることを特徴とするインクジェットプリンタヘッドが提供される。
【0019】
さらに,上記目的を達成するために,本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法は,片面部が開放された所定体積のインクチャンバを有する基板と,基板上に設けられ,インクチャンバの開放された部分に対応するノズルと,ノズルを取り囲むヒータと,ヒータに電気的に接続される配線層と,ノズルと,ヒータ及び配線層を保護する複数の絶縁層が積層されたノズル板と,を備えるインクジェットプリントの製造方法である。そして,(a)インクチャンバの形成部分を有する基板上に,インクチャンバに対応するノズル領域を有する複数の絶縁層による積層と,積層に埋め込まれてノズル領域を取り囲むヒータと,ヒータに接続される配線層と,を形成することにより,基板上にノズル板を形成する段階と,(b)ノズル板のノズル領域に対応する絶縁層部分を除去することにより,ノズル板を貫通するノズルを形成する段階と,(c)ノズル板上にフォトレジスト層を形成することにより,ノズル板上に疏水性コーティング層を形成する段階と,(d)露光及びエッチング過程を含むフォトリソグラフィ法によりノズル内部及びその上方に位置するフォトレジストを除去することにより,ノズル板のノズルを疏水性コーティング層に形成される貫通孔により延ばす段階と,(e)ノズル板及び疎水性コーティング層に設けられたノズルを介して等方性ウェットエッチング液を注入することにより,ヒータの下方に位置するインクチャンバ領域にインクチャンバを形成する段階と,を含む。
【0020】
本発明に係るインクジェットプリンタヘッドにおいて,疏水性コーティング層はネガティブフォトレジストにより形成されることが好ましく,疏水性コーティング層はノズル板よりも厚いことがさらに好ましい。
【0021】
ここで,疏水性コーティング層に設けられる液滴ガイドは,液滴の吐出方向に沿ってその直径が次第に狭まる略テーパ状を有することが好ましい。また,インクチャンバは略半球状であり,ノズル板に形成されるノズルがインクチャンバの上方に直接露出されていることが好ましい。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下に,本発明の実施の形態を,図面を用いて説明する。なお,本明細書及び図面において,実質的に同一の機能構成を有する構成要素については,同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【0023】
図2を参照すれば,本発明の一実施形態によるインクジェットプリンタヘッドは,下記のような特徴を有する。ノズル板上の疏水性コーティング層がフォトレジストにより形成され,好ましくは,この疏水性コーティング層がその下部のノズル板よりも3倍以上と極めて厚く,かつ,フォトレジストがネガティブ型である。一方,疏水性コーティング層に形成される貫通孔は,ノズル板から吐出されるインク液滴をガイドする液滴ガイドである。
【0024】
また,図1に示されたように,従来のインクジェットプリンタヘッドに適用されていたノズル板の内側に設けられる管状のバブルガイドが存在しない点,すなわちインクチャンバは略半球状であり,ノズル板に形成されるノズルがインクチャンバの上方に直接露出されるという点にさらなる特徴がある。このようなバブルガイドは,本実施形態においては,本実施形態を特徴づける疏水性コーティング層の細長い管状の液滴ガイドに取り替えられる。この液滴ガイドは,インクチャンバとは離れている。ノズル板は,基板上に形成される複数の絶縁層,及びこの絶縁層上に形成される疏水性コーティング層により得られる。以下では,たとえ疏水性コーティング層がノズル板の一部として属しているとしても,便宜上多重の絶縁層による積層を「ノズル板」と称し,疏水性コーティング層は別個の要素として説明される。
【0025】
図2に基づき,本発明の実施形態によるインクジェットプリンタヘッド100の概略的な構造について説明する。
【0026】
図2を参照すれば,基板110の上面中央に,略半球状のチャンバ140が形成されている。この略半球状のチャンバ140の下部には四角チャンネル型マニホルド170が形成されており,インクチャンバ140の底面に形成された流路160を介してマニホルド170からのインクがインクチャンバ140に供給される。基板110上には,バック・シューティング方式の構造的な特徴により,複数の絶縁層の積層によるノズル板120が形成されている。
【0027】
ノズル板120は,基板110上に順次に形成される絶縁層によるメンブレインである。ノズル板120には,チャンバ140の真中に位置するノズル121が形成されている。ノズル板120上には,本実施形態の特徴によるフォトレジストよりなる疏水性コーティング層190が形成される。この疏水性コーティング層190には,ノズル121に連続する貫通孔として,液滴の吐出をガイドする液滴ガイド181が形成される。ノズル121及び液滴ガイド181は実質的に単一のノズルを構成する。本実施形態においては,疏水性コーティング層に設けられるノズルの一部としての貫通孔181が,ノズル板120のノズル121と共に吐出される液滴をガイドする機能を有するという点を強調するために,「液滴ガイド」と称する。
【0028】
ノズル板120は,第1絶縁層120a,第2絶縁層120b,及び第3絶縁層120cを備える。第1絶縁層120aと第2絶縁層120bとの間には,ノズル121を取り囲むようにヒータ130が形成される。ヒータ130が,第1絶縁層120aと第2絶縁層120bとの間においてノズル121に隣接して形成されることにより,上記のように拡幅された液滴吐出部180bが形成される。
【0029】
そして,第2絶縁層120bと第3絶縁層120cとの間には,ヒータ130に接続される配線層150が形成される。上記のような構造における第3絶縁層120cは単一層でなく,パッシベーション層を含む複数の絶縁層からなる。第3絶縁層120c上には,疏水性コーティング層190が形成される。この時,疏水性コーティング層190は,フォトレジスト,好ましくは,ネガティブフォトレジストにより形成される。
【0030】
ここで,疏水性コーティング層190は絶縁層によるノズル板120よりも厚いことが好ましい。疏水性コーティング層190がネガティブフォトレジストにより形成される場合,ネガティブフォトレジストの光硬化性により,使用中に紫外線に露出されるほど機械的な強度が一層高まる。
【0031】
ここで,疏水性コーティング層190の液滴ガイドを形成するにあたり適宜な処理を施すことにより,図3に示されたように,疏水性コーティング層190の液滴ガイド191に上狭下広の略円錐台形の断面形状を持たせても良い。これは,液滴の吐出性能を大いに向上させる。
【0032】
以下,本発明の実施形態によるインクジェットプリンタヘッドの製造方法について詳細に説明する。ここで,本実施形態の製造方法に用いられる成膜方法やパターニング方法は,既に知られた方法に基づいており,特定しない限り本発明の技術的な範囲を制限することはない。
【0033】
図4に示されたように,シリコンウェーハなどの基板110上に,PECVD法などによりシリコンオキシドよりなる第1絶縁膜120aを形成し,その上に略環状,または略「Ω」字状のヒータ130を形成する。この時,ヒータ130は,約20μmの直径を有するノズル形成位置Aの中心軸Y−Yを取り囲む様々な形状を有しうる。ヒータ130は,ポリシリコンの蒸着,不純物のドーピング,マスクの形成及びRIEなどを含むパターニング過程を通じて形成される。
【0034】
次に,図5に示されたように,基板110上にCVD法などによりシリコンナイトライドよりなる第2絶縁層120bを形成する。
【0035】
次に,図6に示されたように,第2絶縁層120bに対してフォトリソグラフィ工程を行い,ヒータ130への電気的な接続のためのコンタクトホール121bを形成する。
【0036】
次に,図7に示されたように,第2絶縁層120b上に配線層150及びこれに接続されるパッド122を形成する。配線層150及びパッド122の形成過程は,スパッタリング装置によるアルミニウムまたはアルミニウム合金の蒸着,マスクの形成及びエッチング過程を含むフォトリソグラフィ工程を通じたパターニング工程を伴う。
【0037】
次に,図8に示されたように,このような積層上に第3絶縁層120cを形成する。これにより,斜めの両側壁を有する皿状の凹部Cの初期形状が,ノズル形成領域に上記のような積層構造による結果物として現れる。この時,第3絶縁層120cは,IMD(inter−metal dielectric)であることが好ましい。第3絶縁層120cはヒータ130を保護するものであるため,所定の厚さを有する必要がある。必要に応じて,第3絶縁層120c上にPECVD法によりシリコンオキシドよりなる絶縁層をさらに形成しても良い。ここで,絶縁層120a, 120b, 120cによるノズル板120の厚さは,約10μmになるように調節する。
【0038】
次に,図9に示されたように,第3絶縁層120c上にノズル形成領域Aに対応するウィンドウ202を有するフォトレジストマスク層201を形成した後,RIE法などにより,基板110上の第1絶縁層120a部分まで除去することにより,約20μmの直径を有するノズル121を形成する。
【0039】
次に,図10に示されたように,絶縁層120a, 120b, 120cが積層されたノズル板120上に,フォトレジストよりなる疏水性コーティング層190をスピンコート法などにより,十分な厚さ,例えば,30μm以上形成する。ここで,疏水性コーティング層190が必要以上に厚く形成される場合があるが,これは後述する液滴ガイドの形成のための露光条件の調節に必要とされ,疎水性コーティング層190は露光量の調節により目的とする厚さに調節できる。この時,好ましくは,疏水性コーティング層190をノズル板120よりも3倍以上に厚く形成する。また,マスク層201と疏水性コーティング層190とが光学的に互いに異なる場合,疏水性コーティング層190を形成するに先立って,マスク層201を必ず除去しなければならない。この時,疏水性コーティング層190は,光硬化性ネガティブフォトレジストにより形成することが好ましい。使用可能なフォトレジストとしては,例えば,Su−8,マイクロエレクトロニクス用感光性ポリイミド系コーティング樹脂(PIMEL),ポリイミド系,ポリアミドなどがある。
【0040】
次に,図11に示されたように,マスクを用い,紫外線により疏水性コーティング層190を露光する。この時,ネガティブフォトレジストが光硬化性を帯びるため,除去されるべき部分は紫外線が浸透しないようにマスク300により覆われる。これに対し,ポジティブ型フォトレジストを採用する場合には,除去されてはならない部分が覆われてしまう。
【0041】
次に,図12に示されたように,湿式エッチング液によりノズル121,及びパッド122上にあるフォトレジストを除去する。これにより,ノズル121上にはノズル121に連続する管状の液滴ガイド191が形成される。この時,紫外線が入射するフォトレジストの表面からその底面に行くほど紫外線の吸収量が次第に減るため,液滴ガイド191の形成のために現像液によるエッチングを行う時,液滴ガイド191の深い部分で露光された部分も一部エッチングされ,上に行くほどその量が次第に減る。このような露光の度合いの違いによりエッチングに違いがでれば,図12に示されたように,円錐状の液滴ガイド191aが得られる。
【0042】
このような略円錐状の液滴ガイド191aは,液滴の吐出にあたり,流体力学的な側面において有利である。しかし,露光時に十分な露光がなされれば,フォトレジストの最も深い部分も十分に露光されるため,図2,図3に示されたように,管状の液滴ガイド191が得られる。従って,目的とする構造の液滴ガイド191aを得るために適切な露光条件,例えば,紫外線の強度及び露出時間を調整することにより,上述のように,フォトレジストの最も深い部分におけるオーバーエッチングを起こらせる。このようなエッチングに続き,疎水性コーティング層190を物理化学的に安定化させるために,ハードベークを行う。
【0043】
次に,図13に示されたように,基板110の底面に先行の成膜工程を通じて形成された薄膜を研磨した後,約500μmの幅を有するマニホルド形成用ウィンドウ205付きマスク層204を形成する。
【0044】
次に,図14に示されたように,マスク層204のウィンドウ205を介して露出された基板部分を,所定深さだけテトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)により異方性エッチングすることにより,マニホルド170を形成する。
【0045】
次に,図15に示されたように,ドライエッチング装置,例えば,XeF2エッチング装置を用いて,液滴ガイド191,191aにエッチングガスを供給することにより,30〜40μmの直径を有する所定深さの略半球状インクチャンバ140を形成する。
【0046】
次に,図16に示されたように,インクチャンバ140の底面にドライエッチング法により約25μmの直径を有する流路160を形成する。
【0047】
上述したように,本実施形態は,完全な疏水性ではない適切な疏水性を有するフォトレジストによりノズル板が保護され,これにより液滴ガイドが設けられる。このような構造によれば,適切な疎水性によりインクによるノズル板の表面の濡れが防止され,そして液滴ガイドが提供されることにより,チャンバ内において生じたバブルの外部への漏れが抑えられる。特に,液滴ガイド内においてバブルにより形成される液滴の連続吐出時に,メニスカスを迅速に安定化させる。これは,円滑なインクの供給及び高速の吐出に寄与する。
【0048】
また,本実施形態によれば,別途の工程によりバブルガイドを形成しなくても良いため,従来の方法よりも短縮された工程により目的とするインクジェットプリンタヘッドを得ることができる。本実施形態によれば,疏水性コーティング層によりバブルガイドの替わりに液滴ガイドが与えられるので,さらなる工程が必要とされない。
【0049】
また,本実施形態によれば,疏水性コーティング層がネガティブフォトレジストにより形成されるので,フォトレジストが使用中に生じる紫外線などにより硬化され,耐摩耗性及び耐化学性に極めて良好になる。
【0050】
また,適切な疏水性コーティング層のためのフォトレジスト露光条件の調節などにより,上に行くほどその直径が次第に狭まる略テーパ状の液滴ガイドが得られるが,このような略テーパ状の液滴ガイドは,液滴の直進性,速度及び周波数の増加をもたらす。また,疏水性コーティング層は,ノズル板に十分に厚く形成されるので,その下部の絶縁層の積層構造により現れる不均一な断面プロファイルが疏水性コーティング層により平坦化する。
【0051】
以上,添付図面を参照しながら本発明のインクジェットプリンタヘッド及びインクジェットプリンタヘッドの製造方法の好適な実施形態について説明したが,本発明はこれらの例に限定されない。いわゆる当業者であれば,特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり,それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【0052】
【発明の効果】
本発明によれば,ノズルを効率良く,かつ,一層短縮された工程により製造できる,インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法が提供できた。また,疏水性,耐化学性,及び耐摩耗性に優れ,良質のインク液滴を高速で吐出できるノズルを有するインクジェットプリンタヘッド及びその製造方法が提供できた。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は,従来のインクジェットプリンタヘッドの製造方法において,疏水性コーティング層の形成方法を説明するためのインクジェットプリンタヘッドの概略的な断面図である。
【図2】図2は,本発明の実施形態によるインクジェットプリンタヘッドの概略的な断面図である。
【図3】図3は,本発明の他の実施形態によるインクジェットプリンタヘッドの概略的な断面図である。
【図4】図4は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【図5】図5は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【図6】図6は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【図7】図7は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【図8】図8は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【図9】図9は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【図10】図10は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【図11】図11は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【図12】図12は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【図13】図13は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【図14】図14は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【図15】図15は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【図16】図16は,本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の工程図である。
【符号の説明】
110 基板
120 ノズル板
120a 第1絶縁層
120b 第2絶縁層
120c 第3絶縁層
121 ノズル
140 インクチャンバ
170 マニホルド
181 液滴ガイド
190 疏水性コーティング層
Claims (10)
- 片面にインクチャンバが形成された基板と,
前記インクチャンバを覆い,前記インクチャンバからのインク液滴が吐出されるノズルを有し,複数の絶縁層が積層されたノズル板と,
前記ノズル板の積層内に埋め込まれ,前記ノズルを取り囲むように設けられたヒータと,
前記ノズル板の積層内に埋め込まれ,前記ヒータに電気的に接続される配線層と,
前記ノズル板上に形成され,前記ノズル板のノズルに連続する貫通孔状の液滴ガイドが形成されているフォトレジストよりなる疏水性コーティング層と,
を備えることを特徴とする,インクジェットプリンタヘッド。 - 前記疏水性コーティング層は,ネガティブフォトレジストよりなることを特徴とする,請求項1に記載のインクジェットプリンタヘッド。
- 前記疏水性コーティング層は,前記ノズル板よりも厚いことを特徴とする,請求項1または2に記載のインクジェットプリンタヘッド。
- 前記疏水性コーティング層に設けられる液滴ガイドは,液滴の吐出方向に沿ってその直径が次第に狭まる略テーパ状をなすことを特徴とする,請求項1,2,または3のうちのいずれか1項に記載のインクジェットプリンタヘッド。
- 前記インクチャンバは略半球状であり,前記ノズル板に形成されるノズルが前記インクチャンバの上方に直接露出していることを特徴とする,請求項1,2,3,または4のうちのいずれか1項に記載のインクジェットプリンタヘッド。
- 片面部が開放された所定体積のインクチャンバを有する基板と,前記基板上に設けられ,前記インクチャンバの開放された部分に対応するノズルと,前記ノズルを取り囲むヒータと,前記ヒータに電気的に接続される配線層と,前記ノズルと,前記ヒータ及び前記配線層を保護する複数の絶縁層が積層されたノズル板と,を備えるインクジェットプリンタヘッドの製造方法であって,
(a)前記インクチャンバの形成部分を有する基板上に,前記インクチャンバに対応するノズル領域を有する前記複数の絶縁層による積層と,前記積層に埋め込まれて前記ノズル領域を取り囲むヒータと,前記ヒータに接続される配線層と,を形成することにより,前記基板上にノズル板を形成する段階と,
(b)前記ノズル板のノズル領域に対応する絶縁層部分を除去することにより,前記ノズル板を貫通するノズルを形成する段階と,
(c)前記ノズル板上にフォトレジスト層を形成することにより,前記ノズル板上に疏水性コーティング層を形成する段階と,
(d)露光及びエッチング過程を含むフォトリソグラフィ法により前記ノズル内部及びその上方に位置するフォトレジストを除去することにより,前記ノズル板のノズルを前記疏水性コーティング層に形成される貫通孔により延ばす段階と,(e)前記ノズル板及び疎水性コーティング層に設けられたノズルを介して等方性ウェットエッチング液を注入することにより,前記ヒータの下方に位置するインクチャンバ領域にインクチャンバを形成する段階と,
を含むことを特徴とする,インクジェットプリンタヘッドの製造方法。 - 前記(c)段階において,フォトレジスト層は,
前記ノズル板よりも厚く形成されることを特徴とする,請求項6に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。 - 前記疏水性コーティング層は,ネガティブフォトレジストにより形成されることを特徴とする,請求項6または7に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
- 前記液滴ガイドは,液滴の吐出方向に沿ってその直径が次第に狭まる略テーパ状に形成されることを特徴とする,請求項6,7,または8のうちのいずれか1項に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
- 前記インクチャンバは略半球状に形成され,前記ノズル板のノズルはインクチャンバの上方に直接露出するように形成されることを特徴とする,請求項6,7,8,または9のうちのいずれか1項に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
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